CN110088568B - 信号处理装置、传感器装置及信号处理方法 - Google Patents

Abstract

一种信号处理装置，其执行下述处理，即，降低基于由检测对象物反射的光进行测量的位移量的噪声，该信号处理装置具备：移动平均运算部(17)，其针对输入信号实施移动平均运算而降低输入信号所包含的噪声成分；以及无限脉冲响应滤波器(18)，其通过数字信号处理而降低输入信号所包含的噪声成分，无限脉冲响应滤波器的滤波系数是基于在将同一信号输入至移动平均运算部及无限脉冲响应滤波器的情况下由移动平均运算部输出的第1运算结果和由无限脉冲响应滤波器输出的第2运算结果的差决定的。

Description

信号处理装置、传感器装置及信号处理方法

技术领域

本发明涉及在对作为测定对象的物体投射激光，基于其反射光求出物体的位移量的激光位移传感器装置中进行信号处理的信号处理装置。

背景技术

激光位移传感器装置对由测定对象物反射的激光的强度进行反复测定，基于各测定结果对测定对象物的位移量进行计算。由于在光强度的测定结果中包含噪声，因此在计算出的位移量中也包含噪声。位移量所包含的噪声表现为对相同对象物的位移量进行了反复测定的情况下的各位移量的波动。因此，激光位移传感器装置通过将位移量的计算结果取移动平均，从而求出降低了噪声的位移量。在移动平均的计算中，如专利文献1等说明的那样，针对时序式的数字信号，在某特定的期间连续地进行算术平均。例如，激光位移传感器装置通过将64次量的数据相加而除以64，从而求出移动平均，将其作为测定对象物的位移量。

专利文献1：日本特开2002-280997号公报

发明内容

在使用移动平均而降低噪声的情况下，噪声的降低性能依赖于实施移动平均的对象区间的长度，即移动平均的对象的数据数。具体而言，如果移动平均的对象的数据数多，则噪声的降低性能提高。但是，如果移动平均的对象的数据数多，则存在运算时间也变长的问题。例如，如果针对将根据光强度求出的位移量作为最终的位移量而不执行移动平均的情况与以根据光强度求出的N个位移量作为对象而执行移动平均来计算最终的位移量的情况进行比较，则进行移动平均而得到的位移量的波动为不进行移动平均的情况的大致1/√N，但响应时间为N倍。

本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于得到信号处理装置，该信号处理装置实现能够防止响应时间增大并使测定性能提高的激光位移传感器装置。

为了解决上述课题，达成目的，本发明为执行使基于由检测对象物反射的光进行测量的位移量的噪声降低的处理的信号处理装置。信号处理装置具备：移动平均运算部，其针对输入信号实施移动平均运算而降低输入信号所包含的噪声成分；无限脉冲响应滤波器，其通过数字信号处理而降低输入信号所包含的噪声成分。另外，无限脉冲响应滤波器的滤波系数是基于在将同一信号输入至移动平均运算部及无限脉冲响应滤波器的情况下由移动平均运算部输出的第1运算结果和由无限脉冲响应滤波器输出的第2运算结果的差决定的。

发明的效果

本发明涉及的信号処理装置取得下述效果，即，能够实现可防止响应时间增大并使测定性能提高的激光位移传感器装置。

附图说明

图1是表示实施方式1涉及的激光位移传感器装置的结构例的图。

图2是实施方式1涉及的激光位移传感器装置所具备的IIR(Infinite ImpulseResponse)滤波器的结构图。

图3是表示实施方式1涉及的激光位移传感器装置所具备的IIR滤波器的系数的例子的图。

图4是表示由实施方式1涉及的外部装置的显示部显示的画面的一个例子的图。

图5是表示实现以下部分的硬件的图，即，实施方式1涉及的激光位移传感器装置的位移量测量部及移动平均运算部。

图6是表示实施方式2涉及的激光位移传感器装置的结构例的图。

图7是表示实施方式3涉及的激光位移传感器装置的结构例的图。

图8是表示实施方式3涉及的信号处理部所包含的各开关的设定模式的图。

具体实施方式

下面，基于附图对本发明的实施方式涉及的信号处理装置、传感器装置及信号处理方法进行详细说明。此外，并不是通过该实施方式对本发明进行限定。

实施方式1.

图1是表示传感器装置即激光位移传感器装置的结构例的图，该传感器装置具备本发明的实施方式1涉及的信号处理装置。在图1中，除了激光位移传感器装置1之外，还记载了与激光位移传感器装置1连接而使用的外部装置2。

激光位移传感器装置1具备激光元件10、拍摄元件11、位移量测量部12、投光及受光控制部13、系统控制部14、透镜15、控制器16、移动平均运算部17、IIR(无限脉冲响应)滤波器18及输出部19。移动平均运算部17及IIR滤波器18构成作为信号处理装置的信号处理部51。

激光元件10发出向检测位移量的对象物即检测对象3投射的激光。拍摄元件11对由检测对象3反射的光进行受光。位移量测量部12基于由拍摄元件11受光的光的强度求出检测对象3的位移量的测量值。投光及受光控制部13对激光元件10及拍摄元件11进行控制。系统控制部14对位移量测量部12、投光及受光控制部13、移动平均运算部17及IIR滤波器18进行控制。透镜15对由检测对象3反射的光进行聚光而使其入射至拍摄元件11。控制器16是用于与经由通信线路连接的外部装置2之间对各种信息进行收发的通信用控制器。控制器16如果从系统控制部14接收到向外部装置2的输出信息，则将其向外部装置2发送，如果从外部装置2接收到信息，则将其传送给系统控制部14。移动平均运算部17针对检测对象3的位移量的测量值实施移动平均运算。IIR滤波器18针对由移动平均运算部17计算出的位移量的平均值执行滤波处理而降低噪声成分。输出部19对通过IIR滤波器18降低了噪声成分后的位移量的平均值进行输出。

另外，外部装置2具备显示部21、控制部22及专用工具23，外部装置2是在用户进行激光位移传感器装置1的动作参数的设定及确认、由激光位移传感器装置1得到的测定结果的确认等的情况下使用的。作为激光位移传感器装置1的动作参数，能够例示由移动平均运算部17执行的移动平均运算的对象数据数、IIR滤波器18的滤波系数等。外部装置2能够通过个人计算机等实现。

显示部21对激光位移传感器装置1的动作参数、由激光位移传感器装置1得到的测定结果等进行显示。控制部22对构成外部装置2的各部分进行控制。专用工具23具有与激光位移传感器装置1进行通信的功能，在用户进行激光位移传感器装置1的动作参数的设定、已经设定的动作参数的确认等的情况下被使用。

下面，对本实施方式涉及的激光位移传感器装置1的整体动作进行说明。激光位移传感器装置1从激光元件10向检测对象3照射激光，由拍摄元件11经由透镜15对来自检测对象3的反射光进行受光。拍摄元件11为排列有多个光电转换元件的结构，光电转换元件各自将受光的光转换为与受光强度对应的电压值而输出。由此，得到受光位置和受光强度的分布的信息。位移量测量部12使用受光位置和受光强度的分布的信息对受光强度的峰值位置进行计算，然后，通过进行使用了计算出的峰值位置的三角测距而求出检测对象3的位移量。位移量测量部12将求出的位移量输出至移动平均运算部17。

由于由位移量测量部12输出的位移量求出噪声，因此移动平均运算部17进行用于降低噪声的移动平均计算。具体而言，移动平均运算部17针对作为时序式的数字信号而输入的信号即位移量，通过对从某特定时刻的值起连续回溯至多次前为止的信号进行算术平均，从而降低来自位移量测量部12的输入信号即位移量所包含的噪声成分。移动平均运算部17例如将32次量的位移量相加，将其除以32而求出平均值。移动平均运算部17如果计算出位移量的平均值，则将其输出至IIR滤波器18。

IIR滤波器18对从移动平均运算部17输入的位移量的平均值执行数字信号处理，降低在输入信号中残留的噪声成分。

这里，如已经说明过那样，越增加由移动平均运算部17执行的移动平均的运算点数，即相加的位移量的数量，由平均化实现的噪声的降低效果越大，但如果增加运算点数，则运算时间增加，直至得到运算结果为止的所需要的时间变长。

因此，在本实施方式涉及的激光位移传感器装置1中，将由移动平均运算部17执行的移动平均的运算点数抑制为恰当的值，在下一级的IIR滤波器18中，以一次运算执行有效地降低噪声的滤波处理。IIR滤波器18为图2所示的结构，输出如下值，即，将前1次的输出信号X_n-1与当前的输入信号X_n之差乘以用于降低噪声的滤波器的参数即系数α，将所得到的值与当前的输入信号相加而得到的值。如果通过数学式表示IIR滤波器18的输入信号与输出信号的关系，则为下式(1)。

X＝X_n+α(X_n-1-X_n) …(1)

即，IIR滤波器18针对作为序列式的数字信号而输入的当前的输入信号X_n，进行将当前的信号与在存储器存储的前1个输出信号X_n-1之间的变动即差值所包含的噪声去除的运算。这里，在变动量即差值中，包含输入信号的实际变动和噪声成分。因此，就IIR滤波器18而言，对系数α(0≤α≤1)进行设定，使得变动量即差值中以α倍的比率包含噪声，作为噪声成分从当前的输入信号减去将当前的输入信号与前1个输出信号之差乘以α后的值，降低噪声成分。例如，α的设定值能够通过对信号强度和噪声成分强度进行测量而模型化，通过进行模拟而求出。作为一个例子，在本实施方式中α＝0.98。这里，基于下面的见解对α进行设定。

在将当前的校正后的位移量即从IIR滤波器18输出的值设为X，将当前的位移量即输入至IIR滤波器18的值设为X_n，将前1个校正后的位移量设为X_n-1，将2个以前的校正后的位移量设为X_n-2，…，将n个以前的校正后的位移量设为X₁的情况下，下式(2)成立。

X＝(1-α)Xn+(1-α)αX_n-1+(1-α)α²X_n-2+…+(1-α)αⁿX₂+αⁿX₁ …(2)

另一方面，n个数据的移动平均的计算即单纯的算术平均计算由下式(3)表示。

X_mn＝(1/n)(X_n+X_n-1+X_n-2+…+X₂+X₁) …(3)

上述X_mn与X的差由下式(4)表示。

X_mn-X＝(1/n)(X_n+X_n-1+X_n-2+…+X₂+X₁)-(1-α)X_n+(1-α)αX_n-1+…+(1-α)αnX₂+αⁿX₁＝[(1/n-(1-α))]X_n+[(1/n-(1-α)α)]X_n-1+…+[(1/n-(1-α)αn)]X₂+[(1/n-αⁿ)]X₁ …(4)

另外，如果通过曲线图来表示式(4)，则如图3所示，近似于直线的系数为最佳系数。

通过对α进行设定以使得由式(4)表示的X_mn与X的差为最小，从而图2所示的结构的IIR滤波器18仅通过当前输出值就能够得到与n次量的算术平均计算相当的值。即，对α进行设定以使得在将同一信号输入至移动平均运算部17及IIR滤波器18的情况下的移动平均运算部17的输出信号与IIR滤波器18的输出信号的差最小。α为输入X的函数，但在进行简化而想作是不取决于输入的常数的情况下，如果针对至第n个为止的数据，对各X(＝X₁、X₂、…、X_n)的系数的差值的方均值最小的α进行计算，则例如，n＝5时的最佳α＝0.77，n＝30时的最佳α＝0.98，n＝100时的最佳α＝0.99。例如，在IIR滤波器18的前级的移动平均运算部17求出以30个数据为对象的移动平均的情况下n＝30，IIR滤波器18的滤波系数的设定值为α＝0.98。此外，实际上是以常数项与输入的函数部分的积的形式设计α。

这样，通过恰当地设定IIR滤波器18的滤波系数，从而IIR滤波器18能够针对从移动平均运算部17输出的噪声降低后的位移量的数据，进一步实现噪声降低。因此，即使在通过移动平均运算部17计算移动平均时没有为了增加过去的贡献而取过多的计算点数，通过恰当地选择IIR滤波器18的滤波系数，也能够实现由移动平均运算部17带来的噪声降低效果和由IIR滤波器18带来的噪声降低效果的关系的最优化，实现得到所期望的噪声降低性能的信号处理部51。另外，与仅使用移动平均运算部17的处理而实现同等的噪声降低性能的情况相比，信号处理部51能够缩短运算时间。

α的值可以设定为固有的值，也可以作为可变的参数通过激光位移传感器装置1的控制器16设定为恰当的值。另外，也可以替代控制器16，使用与激光位移传感器装置1连接的外部装置2的专用工具23而设定α的值。另外，α也可以不是常数，而是通过将X_n-X_n-1'作为输入的函数进行适当更新。在该情况下，能够更有效地降低噪声，并且还能够无延迟地追随于实际的位移量变动。此外，X_n-1'是通过IIR滤波器18对X_n-1进行校正而得到的值。

激光位移传感器装置1的输出部19将进行了由移动平均运算部17的移动平均实现的噪声降低和由IIR滤波器18实现的噪声降低的值作为位移量的测定结果而输出。

此外，除了IIR滤波器18的系数α之外，也可以使得移动平均运算部17中的计算点数的设定，即由移动平均运算部17求出平均值时使用的数据数的设定是可变的。在该情况下，用户使用外部装置2的专用工具23对系数α及计算点数的设定进行变更。图4是表示在使用外部装置2的专用工具23对系数α及计算点数的设定进行变更的情况下由显示部21显示的画面的一个例子的图。使用者将系数α的设定值输入至图4所示的画面210的噪声降低参数这一项目211，将计算点数输入至移动平均累计次数这一项目212。在图4中示出的是，将0.980设定为系数α，将30设定为计算点数的例子。另外，画面210包含对由激光位移传感器装置1测定出的最新的位移量进行显示的项目213、及对当前至过去一定期间的位移量进行显示的项目214。此外，在图4中以μm为单位显示出最新的位移量。用户能够一边对项目213及214所显示的位移量的测定值进行确认，一边对系数α及计算点数的设定进行变更。因此，用户能够在使用了变更后的设定值的情况下立即得知是否得到所期望的噪声降低效果，能够高效地进行设定值的变更作业。

这样，在本实施方式涉及的激光位移传感器装置1中，使用由移动平均运算部17进行的移动平均处理和由IIR滤波器18进行的滤波处理这2个阶段的处理来降低由位移量测量部12测量到的位移量所包含的噪声。

就由移动平均实现的噪声降低而言，越增加求出移动平均时的样本数量，效果越佳，如果假设为高斯分布型的噪声，则通过将运算样本数量乘以N，从而误差成分(标准偏差)为大致1/√N。但是，由于增加运算样本数量会引起运算时间的增加，因此没有无谓地增加运算样本数量而是止于适度的数量，牺牲了误差成分的降低效果。相对于此，由于在本实施方式涉及的激光位移传感器装置中针对移动平均的运算结果应用IIR滤波器来降低噪声，因此能够使噪声降低效果提高而不增加移动平均的计算量。在通过本实施方式涉及的激光位移传感器装置实现与仅进行移动平均而降低噪声的情况同等的噪声降低性能的情况下，能够将移动平均的执行次数降低为2/3～1/2以下。

这里，对实现以下部分的硬件进行说明，即，激光位移传感器装置1的位移量测量部12及移动平均运算部17。激光位移传感器装置1的位移量测量部12及移动平均运算部17能够由图5所示的处理器101及存储器102实现。处理器101是CPU(Central ProcessingUnit，也称为中央处理装置、处理装置、运算装置、微处理器、微型计算机、处理器、DSP(Digital Signal Processor))、系统LSI(Large Scale Integration)等。存储器102是RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、闪存、EPROM(Erasable ProgrammableRead Only Memory)、EEPROM(注册商标)(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)等非易失性或易失性半导体存储器、磁盘、软盘、光盘、高密度盘、迷你盘或DVD(Digital Versatile Disc)等。

位移量测量部12及移动平均运算部17能够通过由处理器101从存储器102读出与各自对应的程序而执行该程序来实现。存储器102也用作由处理器101实施的各处理中的暂时存储器。

此外，位移量测量部12及移动平均运算部17也可以通过作为专用硬件的处理电路实现。在该情况下，处理电路为单一电路、复合电路、被程序化的处理器、被并行程序化的处理器、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、FPGA(Field ProgrammableGate Array)、或将它们组合而成的电路。也可以由专用的硬件实现位移量测量部12及移动平均运算部17的一者，由处理器101及存储器102实现另一者。

关于激光位移传感器装置1的投光及受光控制部13、系统控制部14及控制器16，能够由图5所示的处理器101及存储器102实现。

实施方式2.

图6是表示实施方式2涉及的激光位移传感器装置的结构例的图。实施方式2涉及的激光位移传感器装置1a是将图1所示的实施方式1涉及的激光位移传感器装置1的信号处理部51换为信号处理部52。关于激光位移传感器装置1a的信号处理部52之外的各部分，由于与实施方式1涉及的激光位移传感器装置1相同，因此省略说明。

信号处理部52具备：IIR滤波器18，其针对从位移量测量部12输出的位移量，进行用于降低噪声的滤波处理；以及移动平均运算部17，其针对从IIR滤波器18输出的位移量实施移动平均运算。在实施方式1中说明过的信号处理部51与实施方式2涉及的信号处理部52的区别是执行滤波处理和移动平均运算的顺序，即移动平均运算部17及IIR滤波器18的排列顺序。由信号处理部51的移动平均运算部17及IIR滤波器18执行的各处理与由信号处理部52的移动平均运算部17及IIR滤波器18执行的各处理相同。

这样，在本实施方式涉及的激光位移传感器装置1a中，使用由IIR滤波器18进行的滤波处理和由移动平均运算部17进行的移动平均处理这2个阶段的处理来降低由位移量测量部12测量到的位移量所包含的噪声。在实施方式2涉及的激光位移传感器装置1a中，由于在移动平均运算部17的前级配置有IIR滤波器18，因此与实施方式1涉及的激光位移传感器装置1相比具有噪声降低效果劣化但针对输入信号的变化的响应性变好这样的特征。在实施方式2涉及的激光位移传感器装置1a中也与实施方式1涉及的激光位移传感器装置1相同地，能够使噪声降低效果提高而不增加移动平均的计算量。

实施方式3.

图7是表示实施方式3涉及的激光位移传感器装置的结构例的图。实施方式3涉及的激光位移传感器装置1b是将图1所示的实施方式1涉及的激光位移传感器装置1的信号处理部51换为信号处理部53。关于激光位移传感器装置1b的信号处理部53之外的各部分，由于与实施方式1涉及的激光位移传感器装置1相同，因此省略说明。

信号处理部53具备开关41A、41B、42A、42B、43A、43B、在实施方式1中说明过的移动平均运算部17及IIR滤波器18。该信号处理部53通过对开关41A、41B、42A、42B、43A、43B的设定进行变更，能够对移动平均运算部17与IIR滤波器18的连接关系进行变更。另外，信号处理部53也能够对移动平均运算部17及IIR滤波器18与外部的位移量测量部12及输出部19的连接关系进行变更。同时对开关41A及41B进行控制，将一者设定为闭合状态(ON状态)，将另一者设定为断开状态(OFF状态)。相同地，同时对开关42A及42B进行控制，将一者设定为闭合状态，将另一者设定为断开状态。同时对开关43A及43B进行控制，将一者设定为闭合状态，将另一者设定为断开状态。即，不会使被同时控制的2个开关双方变为闭合状态，另外，也不会使双方变为断开状态。开关41A、41B、42A、42B、43A、43B是对移动平均运算部17与IIR滤波器18的连接关系进行变更的切换部。

图8是表示信号处理部53所包含的各开关的设定模式的图。在本实施方式中，按照图8所示的模式#1～#4的任意者对各开关进行设定。用户能够使用外部装置2的专用工具23对各开关的设定进行变更。

在图8所示的模式#1中，将开关41A、42A及43A设定为ON，将剩余的开关设定为OFF。在该情况下，从位移量测量部12输入至信号处理部53的信号首先由移动平均运算部17处理，然后，由IIR滤波器18处理，从信号处理部53输出。在按照模式#1作出的设定的情况下，由信号处理部53实施的处理与由实施方式1涉及的激光位移传感器装置1的信号处理部51实施的处理相同。

在图8所示的模式#2中，将开关41B、42B及43B设定为ON，将剩余的开关设定为OFF。在该情况下，从位移量测量部12输入至信号处理部53的信号首先由IIR滤波器18处理，然后，由移动平均运算部17处理，从信号处理部53输出。在按照模式#2作出的设定的情况下，由信号处理部53实施的处理与由实施方式2涉及的激光位移传感器装置1a的信号处理部52实施的处理相同。

在图8所示的模式#3中，将开关41A及43B设定为ON，将剩余的开关设定为OFF。在该情况下，从位移量测量部12输入至信号处理部53的信号在由移动平均运算部17处理后，从信号处理部53输出。在按照模式#3作出的设定的情况下，信号处理部53仅使用移动平均运算部17来降低输入信号即位移量所包含的噪声。

在图8所示的模式#4中，将开关41B及43A设定为ON，将剩余的开关设定为OFF。在该情况下，从位移量测量部12输入至信号处理部53的信号在由IIR滤波器18处理后，从信号处理部53输出。在按照模式#4作出的设定的情况下，信号处理部53仅使用IIR滤波器18来降低输入信号即位移量所包含的噪声。

这样，本实施方式涉及的激光位移传感器装置1b具备移动平均运算部17及IIR滤波器18、以及用于对它们的连接关系进行变更的多个开关41A、41B、42A、42B、43A、43B。由此，能够灵活地变更使由位移量测量部12测量到的位移量所包含的噪声降低的处理的结构。

在本实施方式中，为了方便说明，对信号处理部53具备1级IIR滤波器18及1级移动平均运算部17的结构进行了说明，但也可以将它们各自设为多级，设为具备多级IIR滤波器和多级移动平均运算部的结构。在该情况下，信号处理部53具备用于对多级IIR滤波器与多级移动平均运算部的连接关系进行变更的开关、用于对IIR滤波器的级数进行变更的开关、用于对移动平均运算部的级数进行变更的开关。由此，信号处理部53能够与激光位移传感器装置1b的测定对象的条件及环境的至少1者相匹配地改变噪声降低处理的组合。另外，此时，移动平均运算部与IIR滤波器的级数并非必须相同。另外，信号处理部53也可以是与激光位移传感器装置1b的测定对象的噪声的种类及特性的至少1者对应地，将中值滤波器等其它数字滤波器插入于任意位置的结构。

以上的实施方式所示的结构表示的是本发明的内容的一个例子，也可以与其它的公知的技术组合，在不脱离本发明的主旨的范围，也可以对结构的一部分进行省略、变更。

标号的说明

1、1a、1b激光位移传感器装置，2外部装置，10激光元件，11拍摄元件，12位移量测量部，13投光及受光控制部，14系统控制部，15透镜，16控制器，17移动平均运算部，18IIR滤波器，19输出部，21显示部，22控制部，23专用工具，41A、41B、42A、42B、43A、43B开关，51、52、53信号处理部。

Claims (7)

1.一种信号处理装置，其执行下述处理，即，降低基于由检测对象物反射的光进行测量的位移量的噪声，

该信号处理装置的特征在于，具备：

移动平均运算部，其针对输入信号实施移动平均运算而降低所述输入信号所包含的噪声成分；以及

无限脉冲响应滤波器，其通过数字信号处理而降低输入信号所包含的噪声成分，

所述无限脉冲响应滤波器的滤波系数是基于在将同一信号输入至所述移动平均运算部及所述无限脉冲响应滤波器的情况下由所述移动平均运算部输出的第1运算结果和由所述无限脉冲响应滤波器输出的第2运算结果的差决定的。

2.根据权利要求1所述的信号处理装置，其特征在于，

所述滤波系数是以使得所述第1运算结果与所述第2运算结果的差接近零的方式决定的。

3.根据权利要求1或2所述的信号处理装置，其特征在于，

将所述位移量作为向所述移动平均运算部的输入信号，将来自所述移动平均运算部的输出信号作为向所述无限脉冲响应滤波器的输入信号。

4.根据权利要求1或2所述的信号处理装置，其特征在于，

将所述位移量作为向所述无限脉冲响应滤波器的输入信号，将来自所述无限脉冲响应滤波器的输出信号作为向所述移动平均运算部的输入信号。

5.根据权利要求1或2所述的信号处理装置，其特征在于，

具备切换部，该切换部对所述移动平均运算部和所述无限脉冲响应滤波器的连接关系进行变更。

6.一种传感器装置，其特征在于，具备：

激光元件，其对检测对象物照射激光；

位移量测量部，其基于由所述检测对象物反射的光的受光强度对所述检测对象物的位移量进行测量；以及

权利要求1至5中任一项所述的信号处理装置。

7.一种信号处理方法，其降低基于由检测对象物反射的光进行测量的位移量的噪声，

该信号处理方法的特征在于，包含如下步骤：

移动平均运算部针对输入信号实施移动平均运算而降低所述输入信号所包含的噪声成分；以及

无限脉冲响应滤波器通过数字信号处理而降低输入信号所包含的噪声成分，

所述无限脉冲响应滤波器的滤波系数是基于在将同一信号输入至所述移动平均运算部及所述无限脉冲响应滤波器的情况下由所述移动平均运算部输出的第1运算结果和由所述无限脉冲响应滤波器输出的第2运算结果的差决定的。

Images