WO2018029867A1 - モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置 - Google Patents

モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置 Download PDF

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WO2018029867A1
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stator housing
stator
gap
rotor
motor
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英也 樋口
逸男 渡辺
中村　剛
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日本精工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a motor, an actuator, a semiconductor manufacturing apparatus, and a flat display manufacturing apparatus.
  • High reliability is required for motors used in semiconductor manufacturing apparatuses and flat panel display manufacturing apparatuses and actuators using such motors. Further, in the manufacture of semiconductors, flat panel displays and the like, a manufacturing process in a clean environment is required in order to avoid dust contamination in the product. A motor or actuator used in such a clean environment must prevent dust generated inside the motor or actuator from flowing out to ensure high reliability.
  • Patent Document 1 by sucking air from an air chamber between two flange portions, air is sucked from a gap between the flange portion and the operating shaft, and dust from a non-clean environment is contained in the clean environment.
  • a sealing device is described which prevents the intrusion.
  • the sealing device described in Patent Document 1 sucks air from both the gap between the clean environment side flange and the operating shaft and the gap between the non-clean environment side flange and the operating shaft. It is conceivable that pressure distribution is generated in the air chamber. Further, when there is a pressure difference between the clean environment side and the non-clean environment side, air may leak from the non-clean environment side to the clean environment side, which may contaminate the clean environment.
  • This invention is made in view of the above, Comprising: It aims at providing the motor which can suppress possibility that the dust generated inside will flow out outside.
  • a motor is provided with a stator including a coil and a stator core, a rotor that is disposed radially inward of the stator, and rotates relative to the stator, and rotates together with the rotor.
  • a rotor housing A rotor housing, a first exhaust hole for sucking and exhausting, a stator housing for fixing the stator, a bearing for rotatably supporting the rotor housing with respect to the stator housing, and an interior of the stator housing A position where the stator housing and the rotor housing are opposed to each other across the entire circumference in the circumferential direction with a first gap between the space and the outside, and the position different from the first seal portion And a first throttle portion having a second gap connecting the internal space and the first exhaust hole.
  • the first gap is interposed between the second gap and the first exhaust hole, and is provided in the stator housing over the entire circumference in the circumferential direction along the second gap. It is preferable to further include a groove.
  • the second gap is located at a position where the stator housing and the first annular member face each other, and the opposing surface of the stator housing facing the first annular member or the first It is preferable that the annular member has a step.
  • the second gap is located at a position where the stator housing and the first annular member face each other, and a spacer member interposed between the stator housing and the first annular member is provided. It is preferable to provide.
  • the internal space is partitioned into a first internal space and a second internal space by the bearing, and the stator housing further includes a second exhaust hole, between the first internal space and the outside.
  • the first seal portion and the first seal portion which face the stator housing and the rotor housing across the entire circumference in the circumferential direction with the first gap therebetween, are located at different positions.
  • the stator housing and the rotor housing are disposed between the first throttle portion having the second gap connecting the first internal space and the first exhaust hole, and the second internal space and the outside.
  • the second internal space and the A second diaphragm portion having a fourth gap to connect the second exhaust hole is preferably provided with a.
  • a second groove provided between the fourth gap and the second exhaust hole and provided in the stator housing over the entire circumference in the circumferential direction along the fourth gap. It is preferable to further provide.
  • the air in the first internal space is uniformly sucked from the first seal portion, and is uniformly exhausted from the first throttle portion to the first exhaust hole via the first groove portion. Further, air in the second internal space is uniformly sucked from the second seal portion, and is uniformly exhausted from the second throttle portion to the second exhaust hole via the second groove portion.
  • the fourth gap is located at a position where the stator housing and the second annular member are opposed to each other, and the opposing surface of the stator housing or the second opposed to the second annular member. It is preferable that the annular member has a step.
  • the fourth gap is located at a position where the stator housing and the second annular member face each other, and a spacer member interposed between the stator housing and the second annular member is provided. It is preferable to provide.
  • the stator housing includes a first cable insertion hole for inserting a motor driving or position detection cable in an axial direction parallel to the rotation axis of the rotor.
  • a second stator housing part that includes a second cable insertion hole that is fixed to the first stator housing part so as to overlap with the first stator housing and that passes through the cable in the axial direction.
  • an opening area where the first cable insertion hole and the second cable insertion hole overlap in the axial direction is The radial center position of the first cable insertion hole and the radial center position of the second cable insertion hole so as to substantially match the cross-sectional area of the cable It is preferable that the door is different.
  • the cable is held by the above configuration. Further, the airtightness of the opening where the first cable insertion hole and the second cable insertion hole overlap in the axial direction is maintained. As a result, the possibility that dust generated inside flows out to the outside can be suppressed by the first cable insertion hole and the second cable insertion hole.
  • the stator housing is orthogonal to the axial direction parallel to the rotation axis of the rotor, and faces the first gap facing the rotor housing, and the second surface.
  • a groove component that includes a second surface that faces the gap and is opposite to the first surface, and the first groove, and between the groove component and another component that forms the stator housing. It is preferable to provide an O-ring interposed between the two.
  • the first gap and the second gap can be formed on different surfaces orthogonal to the axial direction by one groove component member. Therefore, if the flatness of the groove component member can be ensured, the component accuracy of other members The number of management items can be reduced. As a result, the yield of the motor as a whole is improved.
  • a rotation detector that detects rotation of the rotor with respect to the stator is provided, and a drive unit including the stator and the rotor, the bearing, and the rotation detector are arranged in an axial direction. Preferably it is.
  • the above configuration suppresses an increase in the size of the motor in the radial direction with respect to the rotation axis, and suppresses an increase in the installation area (footprint) of the housing.
  • a rotation detector that detects rotation of the rotor relative to the stator is provided, and a drive unit including the stator and the rotor and the bearing are arranged in a radial direction, and the bearing and the rotation detection are arranged. It is preferable that the container is arranged in the axial direction.
  • the above configuration suppresses an increase in the dimension of the motor in the axial direction, that is, the height in the axial direction.
  • a rotation detector that detects rotation of the rotor relative to the stator, and the drive unit including the stator and the rotor, the bearing, and the rotation detector are arranged in a radial direction. Preferably it is.
  • the bearing is preferably a rolling bearing or a sliding bearing.
  • the bearing is preferably a cross roller bearing.
  • the actuator includes the above-described motor and a driven object of the motor. Thereby, an actuator suitable for use in a clean environment can be obtained.
  • the semiconductor manufacturing apparatus includes the above-described motor. Thereby, a semiconductor manufacturing apparatus suitable for use in a clean environment can be obtained.
  • the flat display manufacturing apparatus includes the above-described motor. Thereby, a flat display manufacturing apparatus suitable for use in a clean environment can be obtained.
  • FIG. 1A is a cross-sectional view illustrating an example of a motor according to Embodiment 1.
  • FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view showing the first gap in FIG. 1A in an enlarged manner.
  • FIG. 1C is an enlarged cross-sectional view showing the third gap and the fourth gap of FIG. 1A in an enlarged manner.
  • FIG. 2A is a plan view of the first annular member according to the first embodiment when viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A.
  • 2B is a cross-sectional view taken along the line IIB-IIB ′ of FIG. 2A.
  • FIG. 2C is a cross-sectional view showing the same cross section as FIG.
  • FIG. 2B in a state where the third stator housing portion and the first annular member are fixed.
  • FIG. 2D is a cross-sectional view showing a partial cross section in a state where the third stator housing portion and the first annular member according to the first modification of the first embodiment are fixed.
  • FIG. 3A is a plan view of the first annular member according to the second modification of the first embodiment when viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A.
  • 3B is a cross-sectional view taken along the line IIIB-IIIB ′ of FIG. 3A.
  • FIG. 3C is a cross-sectional view showing the same cross section as FIG. 3B in a state where the third stator housing portion, the spacer member, and the first annular member are fixed.
  • FIG. 3A is a plan view of the first annular member according to the second modification of the first embodiment when viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A.
  • 3B is a cross-sectional view taken along the line IIIB
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a second annular member according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a second stator housing portion in the first embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an example of a motor according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an example different from FIG. 6 of the motor according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating an example of a motor according to the third embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an application example of the motor according to the present embodiment.
  • FIG. 1A is a cross-sectional view illustrating an example of a motor according to Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view showing the first gap in FIG. 1A in an enlarged manner.
  • FIG. 1C is an enlarged cross-sectional view showing the third gap and the fourth gap of FIG. 1A in an enlarged manner.
  • a motor 1 is a direct drive motor that directly transmits generated power to an object without using a speed reduction mechanism.
  • the motor 1 includes a drive unit 2 that generates power for rotating the object.
  • the drive unit 2 includes a stator 21 and a rotor 22 that can rotate with respect to the stator 21.
  • the rotor 22 rotates about the rotation axis AX.
  • the motor 1 is connected to the rotation detector 3 that detects the rotation of the rotor 22, the housing 4 that holds the drive unit 2 and the rotation detector 3, the cable 200 ⁇ / b> A that is connected to the stator 21, and the rotation detector 3. Cable 200B.
  • the cables 200A and 200B are connected to a control device (not shown) for controlling the motor 1.
  • the motor 1 is an inner rotor type motor.
  • the rotor 22 is disposed radially inward with the rotation axis AX of the stator 21 as the center.
  • the radial direction around the rotation axis AX is also simply referred to as “radial direction”.
  • the stator 21 has a stator core 21A and a coil 21B supported by the stator core 21A.
  • the stator core 21A has a plurality of teeth arranged at equal intervals in the circumferential direction around the rotation axis AX.
  • the circumferential direction around the rotation axis AX is also simply referred to as “circumferential direction”.
  • a plurality of coils 21B are provided. Coil 21B is supported by each of a plurality of teeth of stator core 21A.
  • the rotor 22 includes a plurality of permanent magnets arranged at equal intervals in the circumferential direction.
  • the stator 21 and the rotor 22 are opposed to each other through a gap.
  • the rotation detector 3 detects the rotation of the rotor 22 with respect to the stator 21.
  • the rotation detector 3 includes a resolver and detects at least one of the rotation speed, the rotation direction, and the rotation angle of the rotor 22 of the drive unit 2.
  • the rotation detector 3 includes two types of resolvers, an absolute resolver and an incremental resolver.
  • the housing 4 includes a stator housing 41 and a rotor housing 42 disposed on the radially inner side of the stator housing 41.
  • each of the stator housing 41 and the rotor housing 42 is a cylindrical member composed of a plurality of members.
  • the central axis of the stator housing 41, the central axis of the rotor housing 42, and the rotation axis AX coincide with each other.
  • a direction parallel to the rotation axis AX is also referred to as an “axial direction”.
  • the drive unit 2 including the stator 21 and the rotor 22 is disposed between the stator housing 41 and the rotor housing 42.
  • the stator 21 is connected to the stator housing 41.
  • the stator 21 is fixed to the outer peripheral surface of the stator housing 41.
  • the rotor 22 is connected to the rotor housing 42.
  • the rotor 22 is fixed to the inner peripheral surface of the rotor housing 42.
  • the bearing 5 is disposed between the stator housing 41 and the rotor housing 42.
  • the bearing 5 includes an inner ring 5A, an outer ring 5B, and a rolling element 5C disposed between the inner ring 5A and the outer ring 5B.
  • the rotor housing 42 is supported by the stator housing 41 so as to be rotatable about the rotation axis AX.
  • the stator housing 41 is disposed between the rotor housing 42 and a first internal space 100A and a second internal space 100B that are partitioned by the bearing 5.
  • the first inner space 100A is provided with a first seal portion 7A in which the stator housing 41 and the rotor housing 42 face each other in the axial direction with a first gap 6A around the entire circumference in the circumferential direction. 1 seal portion 7A.
  • the second internal space 100B is provided with a second seal portion 7B in which the stator housing 41 and the rotor housing 42 are opposed to each other in the radial direction across the third gap 6B over the entire circumference in the circumferential direction. It is sealed with two seal portions 7B. Details of the first seal portion 7A and the second seal portion 7B will be described later.
  • the stator housing 41 includes a first stator housing portion 41A, a third stator housing portion 41B, a second stator housing portion 41C, a first annular member 41D, and a second annular shape.
  • a member 41E is provided.
  • the first stator housing portion 41A is a cylindrical member, and includes a member 41AA and a member 41AB that sandwich the outer ring 5B of the bearing 5 in the axial direction.
  • the first stator housing portion 41A is arranged in the order of the member 41AA and the member 41AB from the upper end side in the axial direction of the motor 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1A to the lower end side.
  • stator of the rotation detector 3 is fixed to the inner peripheral surface of the member 41AA of the first stator housing portion 41A.
  • stator 21 of drive part 2 is fixed to an inner skin.
  • the member 41AA and the member 41AB are arranged in the order of the member 41AA and the member 41AB from the upper end side to the lower end side in the axial direction, and are fastened by fastening members 91B such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example. ing.
  • 3rd stator housing part 41B has a cylindrical part which faces and fits the outer peripheral surface of member 41AA of 1st stator housing part 41A.
  • the inner surface of the cylindrical portion of the third stator housing portion 41B is provided with a first groove portion 12A having a concave shape that opens radially inward over the entire circumference in the circumferential direction.
  • the third stator housing portion 41B has an annular portion that extends radially inward from the cylindrical portion.
  • the axial position of the upper end of the first groove 12A coincides with the axial position of the lower surface of the annular portion. Details of the first groove 12A will be described later.
  • An annular first annular member 41D is disposed between the annular part of the third stator housing part 41B and the member 41AA of the first stator housing part 41A.
  • the first annular member 41D and the annular portion of the third stator housing portion 41B are opposed to each other in the axial direction with the second gap 8A around the entire circumference in the circumferential direction.
  • the throttle part 9A By providing the throttle part 9A, the first groove part 12A provided in the third stator housing part 41B is communicated. Details of the first aperture 9A will be described later.
  • the second stator housing portion 41C has an annular portion that fits to the inner peripheral surface of the member 41AB of the first stator housing portion 41A and extends radially inward.
  • a second groove portion 12B having a concave shape opened to the upper end in the axial direction over the entire circumference is provided. Details of the second groove 12B will be described later.
  • a second annular member 41E is disposed so as to cover the second groove portion 12B from the upper end side in the axial direction.
  • the second annular member 41E and the annular portion of the second stator housing portion 41C are opposed to each other in the axial direction with the fourth gap 8B around the entire circumference in the circumferential direction.
  • the annular member 41D includes, from the upper end side in the axial direction toward the lower end side, the third stator housing portion 41B, the first annular member 41D, the member 41AA of the first stator housing portion 41A, and the first stator housing portion.
  • the 41A member 41AB and the second stator housing portion 41C are arranged in this order.
  • the third stator housing portion 41B, the first annular member 41D, and the first stator housing portion 41A are fastened with fastening members 91A such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the first stator housing portion 41A (member 41AB) and the second stator housing portion 41C are fastened by fastening members 91C such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E are fastened by fastening members such as a plurality of male screws, for example.
  • the rotor housing 42 is provided with a hollow hole 23 through which a power cable and a signal cable are inserted into a workpiece manufactured by a semiconductor manufacturing apparatus or a flat display manufacturing apparatus using the motor 1.
  • the rotor housing 42 includes a first rotor housing portion 42A, a second rotor housing portion 42B, and a third rotor housing portion 42C.
  • the first rotor housing part 42A, the second rotor housing part 42B, and the third rotor housing part 42C are each an annular or cylindrical member.
  • the first rotor housing portion 42A and the second rotor housing portion 42B sandwich the inner ring 5A of the bearing 5 in the axial direction.
  • the rotor of the rotation detector 3 is fixed to the outer peripheral surface of the first rotor housing portion 42A.
  • the rotor 22 is being fixed to the outer peripheral surface.
  • the first rotor housing part 42A, the second rotor housing part 42B, and the third rotor housing part 42C are arranged from the upper end side in the axial direction of the motor 1 according to the first embodiment shown in FIG.
  • the third rotor housing portion 42C, the first rotor housing portion 42A, and the second rotor housing portion 42B are arranged in this order.
  • the third rotor housing portion 42C and the first rotor housing portion 42A are fastened by fastening members 92A such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the first rotor housing portion 42A and the second rotor housing portion 42B are fastened by fastening members 92B such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the stator housing 41 and the rotor housing 42 are not limited to the configuration described above.
  • the stator housing 41 includes, for example, a member provided with the first groove 12A, a member constituting the second gap 8A together with a member provided with the first groove 12A, a member provided with the second groove 12B, What is necessary is just to be comprised by the several member containing the member which comprises the 4th gap
  • the rotor housing 42 may be, for example, one member or may be composed of two or more members.
  • the drive unit 2 including the stator 21 and the rotor 22, the bearing 5, and the rotation detector 3 are arranged in the axial direction. Thereby, the increase in the dimension of the motor 1 regarding the radial direction with respect to the rotating shaft AX is suppressed, and the increase in the installation area (footprint) of the housing 4 is suppressed.
  • the rotor housing 42 rotates about the rotation axis AX with respect to the stator housing 41 when the rotor 22 rotates with respect to the stator 21.
  • a work (not shown) is placed on the rotor housing 42.
  • the rotor housing 42 is rotated by the operation of the drive unit 2, the work is rotated together with the rotor housing 42.
  • the rotor housing 42 functions as an output shaft that rotates about the rotation axis AX by the operation of the drive unit 2.
  • the first seal portion 7A includes a third stator housing portion 41B and a third rotor housing portion 42C that are, for example, about 0.1 mm to 0.5 mm in the circumferential direction.
  • the first gap 6A is opposed in the axial direction.
  • the inner diameter r1 of the third stator housing portion 41B is smaller than the outer diameter r2 of the third rotor housing portion 42C. Therefore, the first seal portion 7A is provided in a range of W1 in which the third stator housing portion 41B and the third rotor housing portion 42C are opposed in the axial direction with the first gap 6A interposed therebetween.
  • the member 41AA of the first stator housing portion 41A and the third stator housing portion 41B have a second gap 8A of about several ⁇ m to several tens of ⁇ m, for example. It is configured to be opposed to each other in the axial direction.
  • FIG. 2A is a plan view of the first annular member according to the first embodiment when viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A.
  • 2B is a cross-sectional view taken along the line IIB-IIB ′ of FIG. 2A.
  • FIG. 2C is a cross-sectional view showing the same cross section as FIG. 2B in a state where the third stator housing portion and the first annular member are fixed.
  • the first annular member 41D since the first annular member 41D is sandwiched and fixed by the first stator housing portion 41A and the third stator housing portion 41B, the first annular member 41D is provided with six screw holes 41H. It has been. The number of screw holes 41H of the first annular member 41D is not limited to this.
  • the first annular member 41D is provided with a protrusion 41Dp on the reference surface 41Ds of the first annular member 41D.
  • the second surface (opposing surface) 41Bs of the third stator housing portion 41B facing the first annular member 41D is flat.
  • the second surface 41Bs of the third stator housing portion 41B is in contact with the protruding portion 41Dp.
  • the reference surface 41Ds of the first annular member 41D and the second surface 41Bs of the third stator housing portion 41B are opposed to each other with the second gap 8A interposed therebetween.
  • the protrusion 41Dp has a thickness in the axial direction around the screw hole 41H provided in the first annular member 41D that is larger than that of the other portion (the reference surface 41Ds of the first annular member 41D). The thickness is increased by an amount corresponding to the second gap 8A.
  • the first annular member 41D and the third stator housing portion 41B separate the second gap 8A.
  • a first diaphragm portion 9A facing in the axial direction is provided.
  • the first throttle portion 9A is provided in a range of the radial width W2 between the outer diameter r3 and the inner diameter r4 of the first annular member 41D.
  • FIG. 2D is a cross-sectional view showing a partial cross section in a state where the third stator housing portion and the first annular member according to the first modification of Embodiment 1 are fixed.
  • the position shown in FIG. 2D is the same cross section as FIG. 2C.
  • the reference surface 41Ds of the first annular member 41D that faces the third stator housing portion 41B is a flat surface.
  • the first annular member 41D is not provided with a step for providing the second gap 8A with the third stator housing portion 41B.
  • a projecting portion 41Bp is provided on the facing surface 41Bs of the third stator housing portion 41B that faces the first annular member 41D.
  • the protrusion 41Bp is thicker in the axial direction around the hole provided in the third stator housing portion 41B by an amount corresponding to the second gap 8A than the second surface 41Bs.
  • the reference surface 41Ds of the first annular member 41D is in contact with the protruding portion 41Bp.
  • the third stator housing portion 41B has a step between the surface of the protruding portion 41Bp facing the first annular member 41D and the second surface 41Bs. Accordingly, the reference surface 41Ds of the first annular member 41D and the second surface 41Bs of the third stator housing portion 41B are opposed to each other with the second gap 8A interposed therebetween.
  • the third stator housing portion 41B is provided with a step for providing the second gap 8A with the first annular member 41D.
  • the second gap 8A is at a position where the third stator housing portion 41B of the stator housing 41 and the first annular member 41D are opposed to each other, and is opposed to the first annular member 41D.
  • FIG. 3A is a plan view of the first annular member according to the second modification of the first embodiment when viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A.
  • 3B is a cross-sectional view taken along the line IIIB-IIIB ′ of FIG. 3A.
  • FIG. 3C is a cross-sectional view showing the same cross section as FIG. 3B in a state where the third stator housing portion, the spacer member, and the first annular member are fixed.
  • the same components as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. As shown in FIG.
  • the spacer member 11 is a flat washer-shaped member having a certain thickness corresponding to the second gap 8A in the axial direction. As shown in FIGS. 3A and 3B, the spacer member 11 is arranged around the screw hole 41H so that the center of the through hole provided in the spacer member 11 and the center of the screw hole 41H coincide with each other. Yes. As shown in FIG. 3C, the spacer member 11 for providing the second gap 8A is sandwiched between the first annular member 41D and the third stator housing portion 41B.
  • the third stator housing part 41B is orthogonal to the axial direction and faces the axial surface 42Cs of the rotor housing 42 and faces the first gap 6A (first intake side gap).
  • a first surface 41Bt (see FIG. 1B), a second surface 41Bs (see FIG. 2C) facing the second gap 8A (first exhaust side gap) and opposite to the first surface 41Bt, And a first groove portion 12A. Accordingly, the flatness of the first surface 41Bt, the flatness of the second surface 41Bs, and the second gap 8A between the first annular member 41D and the third stator housing portion 41B are provided.
  • the dimension of the step for providing the second gap 8A in the first embodiment is the thickness of the protrusion 41Dp.
  • the step size for providing the second gap 8A is the thickness of the protruding portion 41Bp.
  • the dimension of the step for providing the second gap 8A is the thickness of the spacer member 11.
  • the outer diameter r6 of the third stator housing portion 41B is larger than the outer diameter r5 of the first stator housing portion 41A, and the cylindrical portion of the third stator housing portion 41B is in the radial direction of the first stator housing portion 41A. It has the fitting part which fits facing outside.
  • the first groove portion 12A is provided over the entire circumference in the circumferential direction of the cylindrical portion of the third stator housing portion 41B, and is arranged on the entire circumference in the circumferential direction via the second gap 8A of the first throttle portion 9A. It communicates with the first internal space 100A.
  • the third stator housing portion 41B has an opening at the lower end in the axial direction within the range of the radial width W3 between the outer diameter r5 of the first stator housing portion 41A and the outer diameter r6 of the third stator housing portion 41B.
  • a first exhaust hole 13A to which an exhaust tube 15A of a suction exhaust device P1 such as a vacuum pump is connected via the joint 14A is provided in communication with the first groove portion 12A.
  • the third stator housing portion 41B is provided with a recess 16 over the entire circumference in the circumferential direction on the fitting surface that overlaps with the member 41AA of the first stator housing portion 41A in the radial direction. 17 is provided.
  • the O-ring 17 is interposed between the third stator housing portion 41B and another component, for example, the member 41AA of the first stator housing portion 41A, so that the member 41AA of the first stator housing portion 41A and The airtightness of the fitting surface where the third stator housing portion 41B overlaps in the radial direction is maintained.
  • the member 41AA of the first stator housing portion 41A and the third stator housing portion 41B are fitted with high precision, the processing of the recess 16 of the third stator housing portion 41B and the O-ring 17 are performed.
  • the processing accuracy of the fitting surface between the member 41AA of the first stator housing portion 41A and the third stator housing portion 41B can be roughened, and the allowable range. Can be widened. As a result, the yield is improved.
  • the second seal portion 7B will be described.
  • the second seal portion 7B is configured such that the second stator housing portion 41C and the second rotor housing portion 42B are, for example, 0.1 mm to 0.00 mm in the radial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • the third gap 6B is about 5 mm apart from each other.
  • the second seal portion 7B is configured such that the second stator housing portion 41C and the second rotor housing portion 42B are opposed to each other in the radial direction with the third gap 6B interposed therebetween. It is provided in the range of L1.
  • the second aperture 9B will be described.
  • the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E have a fourth gap 8B of about several ⁇ m to several tens ⁇ m in the axial direction, for example. Separated and configured.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a second annular member according to the first embodiment.
  • FIG. 4 shows a plan view of the second annular member 41E viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a second stator housing portion in the first embodiment.
  • FIG. 5 shows a plan view of the second stator housing portion 41C as viewed in the direction of arrow A in FIG. 1A. 4 and 5, six screw holes for fixing the second annular member 41E are provided in the second stator housing portion 41C, but the number of screw holes is not limited to this. .
  • the surface 41Es of the second annular member 41E facing the second stator housing portion 41C is flat.
  • the second groove portion 12B is provided over the entire circumference on the second internal space 100B side of the annular portion of the second stator housing portion 41C.
  • the groove 12B is provided between the surface 41C1 and the surface 41C2 in the radial direction.
  • the second annular member, which is the second annular member is formed by the surface 41C1 and the surface 41C2 facing the second annular member 41E of the second stator housing portion 41C.
  • a step for providing the fourth gap 8B is provided between the member 41E and the member 41E.
  • the inner diameter r8 of the second annular member 41E is smaller than the inner diameter r7 of the second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C. Accordingly, the second throttle portion 9B is provided in a range of the radial width W4 between the inner diameter r7 of the second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C and the inner diameter r8 of the second annular member 41E. It is done.
  • the second groove portion 12B communicates with the second internal space 100B over the entire circumference in the circumferential direction via the fourth gap 8B of the second throttle portion 9B.
  • no step is provided between the surface 41C1 and the surface 41C2 facing the second annular member 41E of the second stator housing portion 41C, and the second annular member 41E has a second step.
  • the example shown in FIG. 1A the example in which the second throttle portion 9B is provided in the radially inner region where the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E overlap is shown.
  • a step is provided on the surface of the stator housing portion 41C facing the second annular member 41E, and the second throttle portion is formed in a radially outer region where the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E overlap.
  • 9B may be provided, or a step is provided on the surface of the second annular member 41E facing the second stator housing portion 41C so that the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E overlap. You may provide the 2nd aperture
  • the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E are in contact with each other only around the screw hole, and both radial direction sides where the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E overlap each other.
  • the second diaphragm 9B may be provided in the second.
  • a spacer member for forming the fourth gap 8B may be provided between the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E. Further, the spacer member is a flat washer-shaped member having a thickness corresponding to the fourth gap 8B in the axial direction, and both radial direction sides where the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E overlap.
  • the second diaphragm 9B may be provided in the second.
  • the second stator housing portion 41C has an exhaust tube 15B of a suction exhaust device P2 such as a vacuum pump, which is opened through in the axial direction and is connected through a joint 14B.
  • a second exhaust hole 13B to be connected is provided in communication with the second groove 12B.
  • the first stator housing portion 41A is provided with a first cable insertion hole 19 for inserting the cables 200A and 200B in the axial direction.
  • the second stator housing portion 41C is provided with a second cable insertion hole 20 in the axial direction for communicating with the first cable insertion hole 19 and allowing the cables 200A and 200B to be inserted therethrough.
  • the first cable insertion hole 19 and the second cable insertion hole 20 for the cable 200A are omitted.
  • the member having the second cable insertion hole 20 is a member that has a positional relationship in which the member having the first cable insertion hole 19 is axially overlapped and fixed, the first stator housing portion 41A,
  • the member having the second cable insertion hole 20 and the member having the first cable insertion hole 19 are not limited to the two stator housing portions 41 ⁇ / b> C, and may be any member constituting the stator housing 41.
  • the first cable insertion hole 19 and the second cable insertion hole 20 are provided so that the positions overlapping in the axial direction are shifted from each other. Specifically, when the first stator housing portion 41A and the second stator housing portion 41C are fitted in the axial direction, the first cable insertion hole 19 and the second cable insertion hole 20 overlap in the axial direction.
  • the radial center position X1 of the first cable insertion hole 19 and the radial center position X2 of the second cable insertion hole 20 are different so that the area substantially matches the cross-sectional area of the cables 200A and 200B. Thereby, the airtightness of the opening part which the 1st cable penetration hole 19 and the 2nd cable penetration hole 20 overlap in an axial direction is maintained.
  • High reliability is required for a motor that is supposed to be used in a semiconductor manufacturing apparatus or a flat panel display manufacturing apparatus, or an actuator configured using this motor. Further, in the manufacture of semiconductor elements, flat panel displays, etc., a manufacturing process in a clean environment is required in order to avoid dust contamination in the product. A motor or actuator used in such a clean environment must prevent dust generated inside the motor or actuator from flowing out to ensure high reliability.
  • the dust generated by the lubricating grease used in bearings can be considered. Dust particles generated from the lubricating grease become a source of contamination in the manufacturing process of semiconductor elements and flat panel displays in a clean environment, and cause defects that lose product value. For this reason, in a motor or actuator used in a manufacturing process of a semiconductor element, a flat panel display, or the like, a low dusting grease having a low dusting property is generally used as a lubricating grease used for a bearing or the like.
  • the suction exhaust device P1 is connected to the first exhaust hole 13A provided in the third stator housing portion 41B. Further, the suction exhaust device P2 is connected to the second exhaust hole 13B provided in the second stator housing portion 41C.
  • the suction / exhaust devices P1 and P2 are operated, the air in the first groove 12A is sucked out and the air in the second groove 12B is sucked out.
  • the first throttle portion 9A and the second throttle portion 9B are provided over the entire circumference in the circumferential direction, and the second gap 8A of the first throttle portion 9A, and Since the fourth gap 8B of the second throttle portion 9B is as small as several ⁇ m to several tens ⁇ m, the suction force of the air in the suction and exhaust devices P1 and P2 is small, and even if the exhaust amount is small, the first The suction pressure can be made uniform over the entire circumference in the circumferential direction of the narrowed portion 9A and the second narrowed portion 9B. Thereby, the first internal space 100A and the second internal space 100B are effectively sealed.
  • the first gap 6A of the first seal portion 7A and the third gap 6B of the second seal portion 7B are, for example, from 0.1 mm. Even if it is about 0.5 mm and is larger than the second gap 8A of the first restrictor 9A and the fourth gap 8B of the second restrictor 9B, the first restrictor 9A and the second restrictor 9A described above are used. Since the suction pressure can be made uniform by the two throttle portions 9B, the first internal space 100A and the second internal space 100B can be effectively sealed. That is, in the motor 1 according to the first embodiment, the air flows uniformly over the entire circumference in the circumferential direction of the first seal portion 7A and the second seal portion 7B, respectively. 2 Since the internal space 100B is effectively sealed, it is possible to reliably prevent dust generated in the first internal space 100A and the second internal space 100B from flowing out.
  • the motor 1 according to the first embodiment can effectively cause the first seal portion 7A and the second seal portion 7B to function with a small displacement, and the first internal space 100A inside the motor 1 can be used. And it can prevent more reliably that the dust generation which generate
  • the bearing 5 For example, a mechanical bearing that does not require an external power source such as a power source or compressed air, such as a rolling bearing or a sliding bearing, can be used.
  • a low dust generation grease having a low dust generation property as a lubrication grease for lubricating a moving part such as the bearing 5, and an optimum lubrication grease can be used according to driving conditions.
  • the flatness of the surface of the third stator housing portion 41B facing the first annular member 41D the first The flatness of the surface of the annular member 41D facing the third stator housing portion 41B, and the level difference constituting the second gap 8A between the first annular member 41D and the third stator housing portion 41B It is only necessary to provide these dimensions as management items.
  • the flatness of the surface of the second stator housing portion 41C that faces the second annular member 41E, the second The flatness of the surface of the annular member 41E facing the second stator housing portion 41C and the fourth gap 8B between the second annular member 41E and the second stator housing portion 41C are configured.
  • the dimension of the step may be provided as a management item. For this reason, management items for component accuracy are reduced, and as a result, the yield of the motor 1 can be improved.
  • the motor 1 includes the stator 21 including the coil 21 ⁇ / b> B and the stator core 21 ⁇ / b> A, the rotor 22 that is disposed on the radially inner side of the stator 21, and rotates relative to the stator 21.
  • a rotor housing 42 that rotates together with the stator housing 41, a bearing 5 that rotatably supports the rotor housing 42 with respect to the stator housing 41, and a stator 21 that fixes the interior of the rotor 21.
  • a stator housing 41 provided with a space 100A and a second internal space 100B.
  • the stator housing 41 has a first exhaust hole 13A and a second exhaust hole 13B.
  • the motor 1 according to the first embodiment includes a first gap 6A (first intake side gap) between the first inner space 100A and the outside, where the stator housing 41 and the rotor housing 42 extend over the entire circumference in the circumferential direction.
  • the first seal portion 7A that is opposed to each other is provided.
  • the motor 1 according to the first embodiment is located at a position different from the first seal portion 7A, and the second gap 8A (first exhaust side gap) connecting the first internal space 100A and the first exhaust hole 13A. ) Having the first aperture portion 9A.
  • the motor 1 according to the first embodiment includes a third portion of the stator housing 41 and the rotor housing 42 that extends between the second internal space 100B and the outside over the entire circumference.
  • a second seal portion 7B is provided opposite to the gap 6B (second intake side gap).
  • the motor 1 according to the first embodiment is located at a position different from the first seal portion 7A, the second seal portion 7B, and the second gap 8A, and connects the second internal space 100B and the second exhaust hole 13B.
  • a second throttle portion 9B having a fourth gap 8B (second exhaust side gap).
  • the dust exhaust generated in the first internal space 100A inside the motor 1 can flow out by connecting the suction exhaust device P1 to the first exhaust hole 13A and operating the suction exhaust device P1. Sex can be suppressed. Further, by connecting the suction / exhaust device P2 to the second exhaust hole 13B and operating the suction / exhaust device P2, there is a possibility that dust generated in the second internal space 100B inside the motor 1 may flow out to the outside. Can be suppressed.
  • the motor 1 according to the first embodiment is interposed between the second gap 8A and the first exhaust hole 13A, and extends along the second gap 8A over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a first groove portion 12A provided in the stator housing portion 41B is provided.
  • the suction / exhaust device P1 is connected to the first exhaust hole 13A, and the suction / exhaust device P1 is operated, so that air is uniformly sucked from the first seal portion 7A, and the first exhaust portion 9A performs the first exhaust. Air is uniformly exhausted through the first groove 12A to the hole 13A.
  • the motor 1 according to the first embodiment is interposed between the fourth gap 8B and the second exhaust hole 13B, and extends along the fourth gap 8B over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C.
  • the number of management items for managing the accuracy of the second gap 8A in the first throttle portion 9A and the accuracy of the fourth gap 8B in the second throttle portion 9B is small, and as a result, when the motor 1 is manufactured.
  • the yield can be improved.
  • the motor 1 according to the first embodiment can use a mechanical bearing that does not require an external power source such as a power source or compressed air, such as a rolling bearing or a sliding bearing.
  • an external power source such as a power source or compressed air, such as a rolling bearing or a sliding bearing.
  • the motor 1 according to the first embodiment does not need to use a low dust generation grease having a low dust generation property as a lubrication grease for lubricating the movable part, and an optimum lubrication grease can be used according to driving conditions. It is.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an example of a motor according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an example different from FIG. 6 of the motor according to the second embodiment.
  • symbol is attached
  • the motor 1a according to the second embodiment shown in FIG. 6 is an inner rotor type motor, like the motor 1 according to the first embodiment.
  • the stator housing 41 includes a third stator housing portion 41B, a second stator housing portion 41C, a first annular member 41D, a second annular member 41E, a bearing support member 41F, and A rotation detector fixing part 41G is provided.
  • the third stator housing part 41B, the second stator housing part 41C, the first annular member 41D, the second annular member 41E, the bearing support member 41F, and the rotation detector fixing part 41G are respectively annular or It is a cylindrical member.
  • the first annular member 41D also serves as the first stator housing portion.
  • the rotor housing 42 includes a first rotor housing portion 42A, a second rotor housing portion 42B, a third rotor housing portion 42C, and a fourth rotor housing portion 42D.
  • the first rotor housing part 42A, the second rotor housing part 42B, the third rotor housing part 42C, and the fourth rotor housing part 42D are each an annular or cylindrical member.
  • the first rotor housing portion 42A and the second rotor housing portion 42B sandwich the outer ring 5B of the bearing 5 in the axial direction.
  • the rotor of the rotation detector 3 is fixed to the inner peripheral surface.
  • the first rotor housing part 42A and the second rotor housing part 42B are arranged in the order of the second rotor housing part 42B and the first rotor housing part 42A from the upper end side in the axial direction to the lower end side in FIG. Has been.
  • the second rotor housing part 42B and the first rotor housing part 42A are fastened by fastening members 92C such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • fastening members 92C such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • 4th rotor housing part 42D the rotor 22 is being fixed to the outer peripheral surface.
  • the second rotor housing portion 42B and the third rotor housing portion 42C are arranged in the order of the second rotor housing portion 42B and the fourth rotor housing portion 42D from the upper end side to the lower end side in the axial direction of FIG. Has been.
  • the second rotor housing part 42B and the fourth rotor housing part 42D are fastened by fastening members (not shown) such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the second rotor housing portion 42B and the fourth rotor housing portion 42D are arranged in the order of the fourth rotor housing portion 42D and the second rotor housing portion 42B from the upper end side in the axial direction to the lower end side in FIG. Has been.
  • the second rotor housing part 42B and the fourth rotor housing part 42D are fastened by fastening members 92D such as a plurality of male screws, for example.
  • the first annular member 41D of the stator housing 41 has a cylindrical portion 41Da on which the stator 21 of the drive unit 2 is fixed to the inner peripheral surface. Further, the first annular member 41D holds the inner ring 5A of the bearing 5 in the axial direction together with the bearing support member 41F. In the rotation detector fixing portion 41G, the stator of the rotation detector 3 is fixed to the outer peripheral surface.
  • the first annular member 41D and the bearing support member 41F are arranged in the order of the bearing support member 41F and the first annular member 41D from the upper end side to the lower end side in the axial direction of FIG.
  • the bearing support member 41F and the first annular member 41D are fastened by fastening members 91C such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the first annular member 41D and the rotation detector fixing portion 41G are arranged in the order of the rotation detector fixing portion 41G and the first annular member 41D from the upper end side to the lower end side in the axial direction of FIG. For example, it is fastened by fastening members (not shown) such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction.
  • the outer surface of the third stator housing portion 41B is provided with a first groove portion 12A having a concave shape that opens radially outward over the entire circumference. Further, the third stator housing portion 41B has a jaw portion 41Bb protruding outward in the radial direction. In the third stator housing portion 41B, the jaw portion 41Bb is fitted into the concave portion 41Db of the first annular member 41D, and the outer peripheral surface of the third stator housing portion 41B and the inner peripheral surface of the first annular member 41D. In the meantime, there is provided a first restricting portion 9A which is opposed to the radial direction with a second gap 8A in the radial direction over the entire circumference in the circumferential direction. Thus, the first inner space 100A communicates with the first groove portion 12A provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 41Bc of the third stator housing portion 41B.
  • the inner circumferential surface of the third stator housing portion 41B is opposed to the third rotor housing portion 42C in the radial direction with the first gap 6A in the radial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a first seal portion 7A is provided.
  • the third stator housing part 41B and the first annular member 41D are fastened by fastening members 91D such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the fourth annular member 41 ⁇ / b> E that is the second annular member is formed between the surface 41 ⁇ / b> C ⁇ b> 1 and the surface 41 ⁇ / b> C ⁇ b> 2 that face the second annular member 41 ⁇ / b> E of the second stator housing portion 41 ⁇ / b> C.
  • a step for providing the gap 8B is provided.
  • the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E are combined, the second annular member 41E and the second stator housing portion 41C are disposed over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a second diaphragm portion 9B is provided which is opposed in the axial direction with a fourth gap 8B therebetween.
  • a protruding portion 41Ca that protrudes in the axial direction from the surface 41C1 is annularly provided.
  • the outer peripheral surface of the protruding portion 41Ca is fitted to the inner peripheral surface of the cylindrical portion 41Da of the first annular member 41D, and the inner peripheral surface of the protruding portion 41Ca is in contact with the outer peripheral surface of the second annular member 41E.
  • the annular member 41E is positioned in the radial direction.
  • a recess 16a is provided over the entire circumference in the circumferential direction, and an O-ring 17 is provided in the recess 16a.
  • the O-ring 17a is interposed between the third stator housing portion 41B and the inner peripheral surface of the cylindrical portion 41Da of the first annular member 41D, so that airtightness is maintained.
  • the second stator housing portion 41C has a second groove portion 12B having a concave shape opened on the lower end side in the axial direction over the entire circumference in the surface on the side where the second annular member 41E is provided. Is provided.
  • the second annular member 41E is disposed so as to cover the second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C from the lower side in the axial direction, and the second annular member 41E and the second stator housing Between the portion 41C, there is provided a second throttle portion 9B that faces the axial direction across the entire circumference in the axial direction with a fourth gap 8B therebetween. Accordingly, the second internal space 100B communicates with the second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C.
  • the upper end surface in the axial direction of the second stator housing portion 41C is opposed to the third rotor housing portion 42C in the axial direction with a third gap 6B in the axial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a second seal portion 7B is provided.
  • the outer peripheral surface of the annular portion provided in the second stator housing portion 41C is the inner peripheral surface of the cylindrical portion of the first annular member 41D.
  • the outer peripheral surfaces are fitted together and, for example, fastened by fastening members 92E such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction.
  • the stator housing 41 and the rotor housing 42 are not limited to the configuration described above.
  • the stator housing 41 includes, for example, a member provided with the first groove 12A, a member constituting the second gap 8A together with a member provided with the first groove 12A, a member provided with the second groove 12B, What is necessary is just to be comprised by the several member containing the member which comprises the 4th gap
  • the rotor housing 42 may be, for example, one member or may be composed of two or more members.
  • the first groove portion 12A having a concave shape opened on the upper end side in the axial direction is provided on the upper end surface in the axial direction of the third stator housing portion 41Ba.
  • the third stator housing portion 41Ba has a jaw portion protruding outward in the radial direction.
  • the jaw portion of the third stator housing portion 41Ba is fitted into the first annular member 41D, and the third stator housing portion 41Ba extends over the entire circumference in the circumferential direction between the third stator housing portion 41Ba and the first annular member 41D.
  • a first throttle portion 9A is provided which is opposed in the axial direction with a second gap 8A in the axial direction.
  • the first internal space 100A communicates with the first groove portion 12A provided on the upper end surface in the axial direction of the third stator housing portion 41Ba.
  • the motors 1 a and 1 b according to the second embodiment are configured such that the drive unit 2 including the stator 21 and the rotor 22 and the bearing 5 are arranged in the radial direction, and the bearing 5 and the rotation detector 3 are arranged. Are arranged side by side in the axial direction. Thereby, the increase of the dimension of the motors 1a and 1b in the axial direction, that is, the height in the axial direction is suppressed.
  • the rotor housing 42 rotates relative to the stator housing 41 by rotating the rotor 22 relative to the stator 21 in the same manner as the motor 1 according to the first embodiment. Rotate around axis AX.
  • a work (not shown) is placed on the rotor housing 42.
  • the rotor housing 42 is rotated by the operation of the drive unit 2, the work is rotated together with the rotor housing 42.
  • the rotor housing 42 functions as an output shaft that rotates about the rotation axis AX by the operation of the drive unit 2.
  • Each configuration of the four gaps 8B is the same as that of the motor 1 according to the first embodiment.
  • the first throttle portion 9A and the second throttle portion 9B are provided over the entire circumference in the circumferential direction, similarly to the motor 1 according to the first embodiment. Since the second gap 8A of the first throttle portion 9A and the fourth gap 8B of the second throttle portion 9B are extremely small, such as about several ⁇ m to several tens ⁇ m, the suction exhaust devices P1, P2 Even if the air suction force is small and the exhaust amount is small, the suction pressure can be made uniform over the entire circumference in the circumferential direction of the first throttle portion 9A and the second throttle portion 9B. Thereby, the first internal space 100A and the second internal space 100B are effectively sealed.
  • the first gap 6A and the third gap 6B of the first seal portion 7A and the second seal portion 7B are the same as in the motor 1 according to the first embodiment. Is about 0.1 mm to 0.5 mm, for example, and is larger than the second gap 8A and the fourth gap 8B of the first diaphragm 9A and the second diaphragm 9B. Since the suction pressure can be made uniform by the portion 9A and the second throttle portion 9B, the first internal space 100A and the second internal space 100B can be effectively sealed.
  • each of the first seal portion 7A and the second seal portion 7B is uniform over the entire circumference in the circumferential direction. Since the first internal space 100A and the second internal space 100B are effectively sealed by the inflow of air, the dust generated in the first internal space 100A and the second internal space 100B flows out to the outside. It can be surely prevented.
  • the motors 1a and 1b according to the second embodiment enable the first seal portion 7A and the second seal portion 7B to function effectively with a small displacement, similarly to the motor 1 according to the first embodiment. It is possible to more reliably prevent the dust generated in the first internal space 100A and the second internal space 100B inside the motors 1a and 1b from flowing out to the outside.
  • a mechanical bearing that does not require an external power source such as a power source or compressed air, such as a rolling bearing or a sliding bearing, is used as the bearing 5. it can.
  • a low dust generation grease having a low dust generation property as a lubrication grease for lubricating a moving part such as the bearing 5, and the optimum lubrication grease according to driving conditions. Can be used.
  • the first annular member of the third stator housing portions 41B and 41Ba is used in order to manage the accuracy of the second gap 8A in the first throttle portion 9A.
  • the size of the step forming the second gap 8 ⁇ / b> A between 41 ⁇ / b> Ba may be provided as a management item.
  • the accuracy of the surface of the second stator housing portion 41C facing the second annular member 41E, the second annular shape The accuracy of the surface of the member 41E facing the second stator housing portion 41C, and the size of the step forming the fourth gap 8B between the second annular member 41E and the second stator housing portion 41C. It may be provided as a management item. For this reason, management items for component accuracy are reduced, and as a result, the yield of the motors 1a and 1b can be improved.
  • the motors 1a and 1b according to the second embodiment are similar to the motor 1 according to the first embodiment in that the second gap 8A in the first throttle portion 9A and the fourth gap 8B in the second throttle portion 9B.
  • the number of management items for managing the accuracy is small, and as a result, the yield in manufacturing the motors 1a and 1b can be improved.
  • the motors 1a and 1b according to the second embodiment do not require an external power source such as a power source or compressed air, such as a rolling bearing or a sliding bearing. Can be used.
  • an external power source such as a power source or compressed air, such as a rolling bearing or a sliding bearing. Can be used.
  • the motors 1a and 1b according to the second embodiment do not need to use a low dust generation grease having a low dust generation property as a lubricating grease for lubricating the movable part, and driving conditions It is possible to use the optimum lubricating grease according to the conditions.
  • the drive unit 2 including the stator 21 and the rotor 22 and the bearing 5 are arranged in the radial direction, and the bearing 5 and the rotation detector 3 are arranged in the axial direction.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating an example of a motor according to the third embodiment.
  • symbol is attached
  • the motor 1c according to the third embodiment shown in FIG. 8 is an inner rotor type motor, similarly to the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment.
  • the stator housing 41 includes a third stator housing part 41B, a second stator housing part 41C, a first annular member 41D, and a second annular member 41E.
  • the third stator housing portion 41B, the second stator housing portion 41C, the first annular member 41D, and the second annular member 41E are annular or cylindrical members, respectively.
  • the second stator housing portion 41C also serves as the first stator housing portion.
  • the rotor housing 42 includes two first rotor housing portions 42A and a second rotor housing portion 42B.
  • Each of the first rotor housing part 42A and the second rotor housing part 42B is an annular or cylindrical member.
  • the first rotor housing portion 42A and the second rotor housing portion 42B sandwich the outer ring 5B of the bearing 5 in the axial direction.
  • the rotor 22 is being fixed to the outer peripheral surface.
  • the rotor of the rotation detector 3 is fixed to the inner peripheral surface.
  • the first rotor housing portion 42A and the second rotor housing portion 42B are arranged such that the first rotor housing portion 42A and the second rotor housing portion 42B are arranged from the upper end side in the axial direction of the motor 1c according to the third embodiment shown in FIG.
  • the two rotor housing portions 42B are arranged in this order, and are fastened by fastening members 92E such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the third stator housing portion 41B is provided with a first groove portion 12A having a concave shape opened to the upper end in the axial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • the stator of the rotation detector 3 is fixed to the inner peripheral surface of the third stator housing portion 41B.
  • the first annular member 41D is disposed so as to cover the first groove 12A provided in the third stator housing portion 41B from the upper end side in the axial direction, and the first annular member 41D and the third stator housing Between the portion 41B, there is provided a first restricting portion 9A that is opposed to the radial direction with a second gap 8A in the radial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • the first inner space 100A communicates with the first groove portion 12A provided in the third stator housing portion 41B.
  • first annular member 41D is opposed to the first rotor housing portion 42A in the axial direction with the first gap 6A in the axial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a first seal portion 7A is provided.
  • the third stator housing portion 41B and the first annular member 41D are arranged in such a manner that the first annular member 41D, the first annular member 41D, and the first annular member 41D
  • the three stator housing portions 41B are arranged in this order, and are fastened by fastening members 91F such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the second stator housing portion 41C holds the inner ring 5A of the bearing 5 in the axial direction together with the third stator housing portion 41B.
  • the second stator housing part 41C and the third stator housing part 41B are fastened by fastening members 91E such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction, for example.
  • the second stator housing portion 41C has an annular portion extending in the radial direction from the fixed portion of the inner ring 5A of the bearing 5, and the stator 21 is fixed to the radial end portion of the annular portion.
  • the annular portion of the second stator housing portion 41C is provided with a second groove portion 12B having a concave shape opened to the upper end side in the axial direction over the entire circumference.
  • the second annular member 41E is disposed so as to cover the second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C from the upper end side in the axial direction, and the second annular member 41E and the second stator housing Between the portion 41C, there is provided a second throttle portion 9B that faces the axial direction across the entire circumference in the axial direction with a fourth gap 8B therebetween. Accordingly, the second internal space 100B communicates with the second groove portion 12B provided in the second stator housing portion 41C.
  • the upper end surface in the axial direction of the second annular member 41E is opposed to the second rotor housing portion 42B in the axial direction with the third gap 6B in the axial direction over the entire circumference in the circumferential direction.
  • a second seal portion 7B is provided.
  • the second stator housing portion 41C and the second annular member 41E are arranged in such a manner that the second annular member 41E, the second annular member 41E,
  • the two stator housing portions 41C are arranged in this order, and are fastened by, for example, fastening members (not shown) such as a plurality of male screws arranged in the circumferential direction.
  • the stator housing 41 and the rotor housing 42 are not limited to the configuration described above.
  • the stator housing 41 includes, for example, a member provided with the first groove 12A, a member constituting the second gap 8A together with a member provided with the first groove 12A, a member provided with the second groove 12B, What is necessary is just to be comprised by the several member containing the member which comprises the 4th gap
  • the rotor housing 42 may be, for example, one member or may be configured by three or more members.
  • the bearing 5 is preferably a cross roller bearing using a cylindrical cross roller as the rolling element 5C.
  • the cross roller bearing has an advantage that it can withstand a large load because the cross roller and the inner ring 5A and the outer ring 5B are in line contact.
  • the rotation axes of the adjacent cross rollers are inclined by 90 °, they are resistant to loads in any direction and can maintain high rigidity.
  • the drive unit 2, the bearing 5, and the rotation detector 3 are arranged in the radial direction. Specifically, the rotation detector 3, the bearing 5, and the drive unit 2 are arranged in this order from the side closer to the rotation axis AX. Thereby, the increase in the dimension in the axial direction of the motor 1c, that is, the height in the axial direction is suppressed more than in the motors 1a and 1b according to the second embodiment.
  • the motor 1 c prevents foreign matter from entering from one axial end (upper end) of the stator 21 and the other axial end (lower end) of the rotation detector 3.
  • a first protective cover member 18a and a second protective cover member 18b are provided.
  • the motor 1c according to this embodiment described above is intended to prevent the dust generated in the bearing 5 from flowing out to the outside. That is, it is assumed that no dust is generated in the drive unit 2 or the rotation detector 3. Therefore, it is not necessary to have a structure for sealing the entire space inside the motor 1c as shown in the first and second embodiments, and the motor can withstand use in a clean environment without increasing the size of the motor 1c. 1c can be obtained.
  • a work (not shown) is placed on the rotor housing 42.
  • the rotor housing 42 is rotated by the operation of the drive unit 2, the work is rotated together with the rotor housing 42.
  • the rotor housing 42 functions as an output shaft that rotates about the rotation axis AX by the operation of the drive unit 2.
  • the first gap 6A in the first seal portion 7A, the third gap 6B in the second seal portion 7B, the second gap 8A in the first throttle portion 9A, and the second gap in the second throttle portion 9B. 4 is the same as the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment.
  • the first throttle portion 9A and the second throttle portion 9B are arranged in the circumferential direction, similarly to the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment.
  • the second gap 8A of the first throttle portion 9A and the fourth gap 8B of the second throttle portion 9B are extremely small, such as about several ⁇ m to several tens of ⁇ m. Therefore, even if the suction force of the suction exhaust devices P1 and P2 is small and the exhaust amount is small, the suction pressure is uniform over the entire circumference of the first restrictor 9A and the second restrictor 9B. Can be. Thereby, the first internal space 100A and the second internal space 100B are effectively sealed.
  • the first seal portion 7A and the first seal portion 7B are the same as the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment.
  • the gap 6A and the third gap 6B are, for example, about 0.1 mm to 0.5 mm, and are larger than the second gap 8A and the fourth gap 8B of the first throttle portion 9A and the second throttle portion 9B. Even in this case, since the suction pressure can be made uniform by the first throttle portion 9A and the second throttle portion 9B described above, the first internal space 100A and the second internal space 100B can be effectively sealed. .
  • the motor 1c according to the third embodiment is similar to the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment, and the second gap 8A and the second throttle portion in the first throttle portion 9A.
  • the number of management items for managing the accuracy of the fourth gap 8B in 9B is small, and as a result, the yield in manufacturing the motor 1c can be improved.
  • the motor 1c according to the third embodiment is similar to the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment, such as a rolling bearing and a sliding bearing.
  • a mechanical bearing that does not require a power source can be used.
  • the motor 1c according to the third embodiment is a low dust generation grease having a low dust generation property as a lubricating grease for lubricating the movable part, similarly to the motor 1 according to the first embodiment and the motors 1a and 1b according to the second embodiment. It is possible to use the optimum lubricating grease according to the driving conditions.
  • the motor 1c according to the third embodiment is strong against a load in any direction and can maintain high rigidity by using the bearing 5 as a cross roller bearing.
  • the drive unit 2, the bearing 5, and the rotation detector 3 are arranged in the radial direction. Thereby, the increase of the dimension of the motor 1c in the axial direction, that is, the height in the axial direction can be suppressed as compared with the motors 1a and 1b according to the second embodiment.
  • the motor 1c can be cleaned without increasing its size.
  • a motor 1c that can withstand use in an environment can be obtained.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an application example of the motor according to the present embodiment.
  • the motors 1, 1 a, 1 b, and 1 c according to the present embodiment are used in, for example, the semiconductor manufacturing apparatus 401 and the flat display manufacturing apparatus 402 under a clean environment 400.
  • a part (stator housing) of a housing (housing) is supported on the base 500 with a fastening member.
  • the fastening member is a screw, bolt, pin or the like.
  • the motors 1, 1 a, 1 b and 1 c are fixed to the base 500.
  • the actuator 700 includes any one of the motors 1, 1a, 1b, and 1c and a driven object 600 that is driven by the motors 1, 1a, 1b, and 1c.
  • the driven object 600 is supported by a fastening member on a part (stator housing) of the housing (housing) of the motors 1, 1a, 1b, and 1c.
  • the fastening member is a screw, bolt, pin or the like. Thereby, the driven object 600 is fixed to the motors 1, 1a, 1b, 1c.
  • the workpiece 800 is disposed on the driven object 600.
  • the base 500 is provided with a hollow hole 501
  • the driven object 600 is provided with a hollow hole 601.
  • a cable 900 that supplies power and signals to the workpiece 800 is inserted into the hollow hole 501 of the base 500, the hollow hole 23 of the motors 1, 1 a, 1 b, and 1 c, and the hollow hole 601 of the driven object 600. Connected to the object 800.
  • the motors 1, 1a, 1b, and 1c according to the present embodiment can reliably prevent the dust generated inside from flowing out to the outside
  • 1b, 1c and the actuator 700 configured using the motors 1, 1a, 1b, 1c according to this embodiment include, for example, a semiconductor manufacturing apparatus 401 and a flat display in a clean environment 400 as shown in FIG. Suitable for use in the manufacturing apparatus 402.

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Abstract

内部で発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができるモータを提供すること。モータは、コイル及びステータコアを備えるステータと、ステータの径方向内側に配置され、ステータに対して相対回転するロータと、吸引排気するための第１の排気穴を備えると共に、ステータを固定するステータハウジングと、ステータハウジングの内部空間と外部との間に、ステータハウジングとロータハウジングとが周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて対向する第１のシール部と、第１のシール部とは異なる位置にあり、内部空間と第１の排気穴とを繋げる第２の間隙を有する第１の絞り部と、を備える。

Description

モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置
　本発明は、モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置に関する。
　半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いられるモータや、このモータを用いたアクチュエータは、高い信頼性が要求される。また、半導体やフラットパネルディスプレイ等の製造においては、製造物へのダスト混入を避けるため、クリーン環境下における製造工程が必要となる。このようなクリーン環境下で用いられるモータやアクチュエータは、高い信頼性を確保するためにモータやアクチュエータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐ必要がある。
　例えば、特許文献１には、２つのフランジ部の間の空気室から空気を吸引することにより、フランジ部と動作軸との間の隙間から空気が吸引されクリーン環境内に非クリーン環境からのゴミが侵入することを防止するシール装置が記載されている。
特開平０９－２９６８２号公報
　特許文献１に記載のシール装置は、クリーン環境側のフランジ部と動作軸との間の隙間と、非クリーン環境側のフランジ部と動作軸との間の隙間との双方から空気を吸引するものであり、空気室内に圧力分布が生じることが考えられる。また、クリーン環境側と非クリーン環境側とで圧力差がある場合には、非クリーン環境側からクリーン環境側に空気が漏れ出し、クリーン環境を汚染する可能性がある。
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制できるモータを提供することを目的とする。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、モータは、コイル及びステータコアを備えるステータと、前記ステータの径方向内側に配置され、前記ステータに対して相対回転するロータと、前記ロータと共に回転するロータハウジングと、吸引排気するための第１の排気穴を備えると共に、前記ステータを固定するステータハウジングと、前記ステータハウジングに対し前記ロータハウジングを回転自在に支持する軸受と、前記ステータハウジングの内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて対向する第１のシール部と、前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる第２の間隙を有する第１の絞り部と、を備える。
　上記構成により、排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、モータの内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。
　また、望ましい態様として、前記第２の間隙と前記第１の排気穴との間に介在し、前記第２の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第１の溝部をさらに備えることが好ましい。
　上記構成により、空気がシール部から均一に吸気され、第１の絞り部から第１の排気穴へ第１の溝部を介して均一に排気される。
　望ましい態様として、前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第１の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第１の円環状部材に段差を有していることが好ましい。
　上記構成により、第１の絞り部から第１の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第１のシール部が機能する。
　望ましい態様として、前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、前記ステータハウジングと前記第１の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えていることが好ましい。
　上記構成により、第１の絞り部から第１の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第１のシール部が機能する。スペーサ部材の平面度のみ管理すれば、他の部材の部品精度の管理項目が少なくすることができる。その結果、モータ全体としては、歩留りが向上する。
　望ましい態様として、前記内部空間は、前記軸受によって第１内部空間と第２内部空間とに仕切られ、前記ステータハウジングは、第２の排気穴をさらに含み、前記第１内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り前記第１の間隙を隔てて対向する前記第１のシール部と、前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記第１内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる前記第２の間隙を有する前記第１の絞り部と、前記第２内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第３の間隙を隔てて対向する第２のシール部と、前記第１のシール部、前記第２のシール部及び前記第１の絞り部とは異なる位置にあり、前記第２内部空間と前記第２の排気穴とを繋げる第４の間隙を有する第２の絞り部と、を備えることが好ましい。
　上記構成により、第１の排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、モータの内部の第１内部空間で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。また、第２の排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、モータの内部の第２内部空間で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。
　望ましい態様として、前記第４の間隙と前記第２の排気穴との間に介在し、前記第４の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第２の溝部をさらに備えることが好ましい。
　上記構成により、第１内部空間の空気が第１のシール部から均一に吸気され、第１の絞り部から第１の排気穴へ第１の溝部を介して均一に排気される。また、第２内部空間の空気が第２のシール部から均一に吸気され、第２の絞り部から第２の排気穴へ第２の溝部を介して均一に排気される。
　望ましい態様として、前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第２の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第２の円環状部材に段差を有していることが好ましい。
　上記構成により、第２の絞り部から第２の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第２のシール部が機能する。
　望ましい態様として、前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、前記ステータハウジングと前記第２の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えていることが好ましい。
　上記構成により、第２の絞り部から第２の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第２のシール部が機能する。
　また、望ましい態様として、前記ステータハウジングは、前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向にモータ駆動用あるいは位置検出用のケーブルを挿通させるための第１ケーブル挿通孔を備える第１のステータハウジング部と、前記第１のステータハウジング部と前記軸方向に重ねて固定され、前記軸方向に前記ケーブルを挿通させるための第２ケーブル挿通孔を備える第２のステータハウジング部とを含み、前記第１のステータハウジング部と前記第２のステータハウジング部とが前記軸方向に重ねて固定されたとき、前記第１ケーブル挿通孔と前記第２ケーブル挿通孔とが前記軸方向に重なる開口面積が前記ケーブルの断面積と略一致するように、前記第１ケーブル挿通孔の径方向中心位置と前記第２ケーブル挿通孔の径方向中心位置とが異なっていることが好ましい。
　上記構成により、ケーブルが保持される。また、第１ケーブル挿通孔と第２ケーブル挿通孔とが軸方向に重なる開口部の気密性が保たれる。その結果、第１ケーブル挿通孔と第２ケーブル挿通孔とによって、内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制できる。
　また、望ましい態様として、前記ステータハウジングは、前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向に直交し、前記ロータハウジングと対向して第１の間隙に面する第１面と、前記第２の間隙に面し、かつ前記第１面と反対側の第２面と、前記第１の溝部とを備える溝部構成部材と、前記溝部構成部材と前記ステータハウジングを構成する他の構成部材との間に介在するＯリングとを備えることが好ましい。
　上記構成により、１つの溝部構成部材により、軸方向に直交する異なる面に、第１の間隙と第２の間隙とができるので、溝部構成部材の平面度が確保できれば、他の部材の部品精度の管理項目が少なくすることができる。その結果、モータ全体としては、歩留りが向上する。
　また、望ましい態様として、前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが軸方向に並び配置されていることが好ましい。
　上記構成により、回転軸に対する放射方向に関するモータの寸法の増大が抑制され、ハウジングの設置面積(フットプリント)の増大が抑制される。
　また、望ましい態様として、前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受とが径方向に並び配置され、前記軸受と前記回転検出器とが軸方向に並び配置されていることが好ましい。
　上記構成により、軸方向に関するモータの寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。
　また、望ましい態様として、前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが径方向に並び配置されていることが好ましい。
　上記構成により、軸方向に関するモータの寸法、つまり、軸方向の高さの増大を抑制することができる。
　また、望ましい態様として、前記軸受は、転がり軸受あるいはすべり軸受であることが好ましい。
　上記構成により、軸受を駆動するための外部動力源が不要となる。
　また、望ましい態様として、前記軸受は、クロスローラ軸受であることが好ましい。
　上記構成により、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、アクチュエータは、前述のモータと、前記モータの被駆動物と、を含み構成されている。これにより、クリーン環境下での使用に適したアクチュエータを得ることができる。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、半導体製造装置は、前述のモータを備える。これにより、クリーン環境下での使用に適した半導体製造装置を得ることができる。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、フラットディスプレイ製造装置は、前述のモータを備える。これにより、クリーン環境下での使用に適したフラットディスプレイ製造装置を得ることができる。
　本発明によれば、内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制できるモータを提供することができる。
図１Ａは、実施形態１に係るモータの一例を示す断面図である。 図１Ｂは、図１Ａの第１の間隙を拡大して示す拡大断面図である。 図１Ｃは、図１Ａの第３の間隙及び第４の間隙を拡大して示す拡大断面図である。 図２Ａは、実施形態１に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。 図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ’矢視断面図である。 図２Ｃは、第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、図２Ｂと同じ断面を示す断面図である。 図２Ｄは、実施形態１の第１変形例に係る第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、部分断面を示す断面図である。 図３Ａは、実施形態１の第２変形例に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。 図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ’矢視断面図である。 図３Ｃは、第３のステータハウジング部、スペーサ部材及び第１の円環状部材が固定された状態において、図３Ｂと同じ断面を示す断面図である。 図４は、実施形態１における第２の円環状部材の一例を示す図である。 図５は、実施形態１における第２のステータハウジング部の一例を示す図である。 図６は、実施形態２に係るモータの一例を示す断面図である。 図７は、実施形態２に係るモータの図６とは異なる一例を示す断面図である。 図８は、実施形態３に係るモータの一例を示す断面図である。 図９は、本実施形態に係るモータの適用例を示す図である。
　本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
（実施形態１）
　図１Ａは、実施形態１に係るモータの一例を示す断面図である。図１Ｂは、図１Ａの第１の間隙を拡大して示す拡大断面図である。図１Ｃは、図１Ａの第３の間隙及び第４の間隙を拡大して示す拡大断面図である。図１Ａにおいて、モータ１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達するダイレクトドライブモータである。図１Ａに示すように、モータ１は、対象物を回転させるための動力を発生する駆動部２を備える。駆動部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。
　モータ１は、ロータ２２の回転を検出する回転検出器３と、駆動部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、ステータ２１と接続されるケーブル２００Ａと、回転検出器３と接続されるケーブル２００Ｂとを備えている。ケーブル２００Ａ，２００Ｂは、モータ１を制御するための図示せぬ制御装置に接続される。
　本実施形態において、モータ１は、インナーロータ型のモータである。ロータ２２は、ステータ２１の回転軸ＡＸを中心とする径方向内側に配置される。以下、回転軸ＡＸを中心とする径方向を、単に「径方向」ともいう。
　ステータ２１は、ステータコア２１Ａと、ステータコア２１Ａに支持されるコイル２１Ｂとを有する。ステータコア２１Ａは、回転軸ＡＸを中心とする周方向に等間隔で複数配置されるティースを有する。以下、回転軸ＡＸを中心とする周方向を、単に「周方向」ともいう。
　コイル２１Ｂは、複数設けられる。コイル２１Ｂは、ステータコア２１Ａの複数のティースのそれぞれに支持される。
　ロータ２２は、周方向に等間隔で複数配置された永久磁石を含む。ステータ２１とロータ２２とは、間隙を介して対向する。
　回転検出器３は、ステータ２１に対するロータ２２の回転を検出する。回転検出器３は、レゾルバを含み、駆動部２のロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを検出する。本実施形態において、回転検出器３は、アブソリュートレゾルバ及びインクリメンタルレゾルバの２種類のレゾルバを含む。
　ハウジング４は、ステータハウジング４１と、ステータハウジング４１の径方向内側に配置されるロータハウジング４２とを含む。図１Ａに示すように、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２はそれぞれ、複数の部材で構成された円筒状の部材である。ステータハウジング４１の中心軸と、ロータハウジング４２の中心軸と、回転軸ＡＸとは、一致する。以下、回転軸ＡＸと平行な方向を「軸方向」ともいう。
　ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２は、ステータハウジング４１とロータハウジング４２との間に配置される。ステータ２１は、ステータハウジング４１と接続される。ステータ２１は、ステータハウジング４１の外周面に固定される。ロータ２２は、ロータハウジング４２と接続される。ロータ２２は、ロータハウジング４２の内周面に固定される。
　ステータハウジング４１とロータハウジング４２との間に軸受５が配置される。軸受５は、内輪５Ａと、外輪５Ｂと、内輪５Ａと外輪５Ｂとの間に配置される転動体５Ｃとを有する。この軸受５により、ロータハウジング４２は、ステータハウジング４１に対して、回転軸ＡＸを中心に回転可能に支持される。
　ステータハウジング４１は、ロータハウジング４２との間に、軸受５で仕切られた第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを設けて配置される。第１内部空間１００Ａは、周方向の全周に亘り第１の間隙６Ａを隔ててステータハウジング４１とロータハウジング４２とが軸方向に対向する第１のシール部７Ａが設けられており、この第１のシール部７Ａでシールされている。第２内部空間１００Ｂは、周方向の全周に亘り第３の間隙６Ｂを隔ててステータハウジング４１とロータハウジング４２とが径方向に対向する第２のシール部７Ｂが設けられており、この第２のシール部７Ｂでシールされている。第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの詳細については後述する。
　図１Ａに示すように、ステータハウジング４１は、第１のステータハウジング部４１Ａ、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第２の円環状部材４１Ｅを備えている。
　第１のステータハウジング部４１Ａは、円筒状の部材であり、軸受５の外輪５Ｂを軸方向に挟持する部材４１ＡＡと部材４１ＡＢとを含む。第１のステータハウジング部４１Ａは、図１Ａに示す実施形態１に係るモータ１の軸方向の上端側から下端側に向けて、部材４１ＡＡ、部材４１ＡＢの順に並び配置される。
　第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡは、内周面に回転検出器３のステータが固定される。第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢは、内周面に駆動部２のステータ２１が固定される。部材４１ＡＡ及び部材４１ＡＢは、軸方向の上端側から下端側に向けて、部材４１ＡＡ、部材４１ＡＢの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｂで締結されている。
　第３のステータハウジング部４１Ｂは、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡの外周面に面して嵌合する円筒部を有する。第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部の内周面には、周方向の全周に亘り径方向内側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。また、第３のステータハウジング部４１Ｂは、円筒部から径方向内側に延びる円環部を有する。第１の溝部１２Ａの上端の軸方向位置と、円環部の下面の軸方向位置とは一致している。第１の溝部１２Ａの詳細については後述する。
　第３のステータハウジング部４１Ｂの円環部と、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡとの間に、円環状の第１の円環状部材４１Ｄが配置される。第１内部空間１００Ａは、周方向の全周に亘り第２の間隙８Ａを隔てて第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂの円環部とが軸方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられることによって、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。第１の絞り部９Ａの詳細については後述する。
　第２のステータハウジング部４１Ｃは、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢの内周面に面して嵌合し、径方向内側に延びる円環部を有する。第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部の第２内部空間１００Ｂ側には、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第２の溝部１２Ｂが設けられている。第２の溝部１２Ｂの詳細については後述する。
　また、第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部の第２内部空間１００Ｂ側には、第２の溝部１２Ｂを軸方向上端側から覆うように第２の円環状部材４１Ｅが配置される。第２内部空間１００Ｂは、周方向の全周に亘り第４の間隙８Ｂを隔てて第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部とが軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられることによって、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂと連通している。第２の絞り部９Ｂの詳細については後述する。
　図１Ａに示すように、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡ、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢ、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、及び第１の円環状部材４１Ｄは、軸方向の上端側から下端側に向けて、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第１の円環状部材４１Ｄ、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡ、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢ、第２のステータハウジング部４１Ｃの順に並び配置されている。第３のステータハウジング部４１Ｂ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第１のステータハウジング部４１Ａ（部材４１ＡＡ）は、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ａで締結されている。第１のステータハウジング部４１Ａ（部材４１ＡＢ）及び第２のステータハウジング部４１Ｃは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｃで締結されている。第２のステータハウジング部４１Ｃ及び第２の円環状部材４１Ｅは、例えば、複数本の雄ネジ等の締結部材で締結されている。
　ロータハウジング４２には、モータ１を用いた半導体製造装置やフラットディスプレイ製造装置で製造される被製造物への電源ケーブルや信号ケーブルを挿通するための中空穴２３が設けられている。
　図１Ａに示すように、ロータハウジング４２は、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、及び第３のロータハウジング部４２Ｃを備えている。第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、及び第３のロータハウジング部４２Ｃは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、軸受５の内輪５Ａを軸方向に挟持する。
　第１のロータハウジング部４２Ａは、外周面に回転検出器３のロータが固定されている。第２のロータハウジング部４２Ｂは、外周面にロータ２２が固定されている。第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、及び第３のロータハウジング部４２Ｃは、図１Ａに示す実施形態１に係るモータ１の軸方向の上端側から下端側に向けて、第３のロータハウジング部４２Ｃ、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂの順に配置されている。第３のロータハウジング部４２Ｃ及び第１のロータハウジング部４２Ａは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ａで締結されている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｂで締結されている。
　なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、第１の溝部１２Ａを設けた部材、第１の溝部１２Ａを設けた部材と共に第２の間隙８Ａを構成する部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材と共に第４の間隙８Ｂを構成する部材を含む複数の部材で構成されていれば良い。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの部材であってもよいし、２つ以上の部材で構成されていてもよい。
　実施形態１に係るモータ１は、ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２、軸受５、及び回転検出器３が軸方向に並び配置される。これにより、回転軸ＡＸに対する放射方向に関するモータ１の寸法の増大が抑制され、ハウジング４の設置面積(フットプリント)の増大が抑制される。
　上述した構成の実施形態１に係るモータ１は、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。
　ロータハウジング４２にワーク（不図示）が載置される。駆動部２の作動によりロータハウジング４２が回転すると、ロータハウジング４２とともにワークが回転する。ロータハウジング４２は、駆動部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。
　ここで、第１のシール部７Ａについて説明する。本実施形態において、第１のシール部７Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂと、第３のロータハウジング部４２Ｃとが、周方向の全周に亘り、例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度の第１の間隙６Ａを隔てて軸方向に対向している。図１Ａに示すように、本実施形態では、第３のステータハウジング部４１Ｂの内径ｒ１は、第３のロータハウジング部４２Ｃの外径ｒ２よりも小さい。従って、第１のシール部７Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂと第３のロータハウジング部４２Ｃとが、第１の間隙６Ａを隔てて軸方向に対向するＷ１の範囲で設けられる。
　次に、第１の絞り部９Ａについて説明する。本実施形態において、第１の絞り部９Ａは、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと、第３のステータハウジング部４１Ｂとが、例えば数μｍから数十μｍ程度の第２の間隙８Ａを隔てて軸方向に対向し構成される。
　図２Ａは、実施形態１に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ’矢視断面図である。図２Ｃは、第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、図２Ｂと同じ断面を示す断面図である。図２Ａにおいて、第１のステータハウジング部４１Ａと第３のステータハウジング部４１Ｂとで第１の円環状部材４１Ｄを挟み固定するため、第１の円環状部材４１Ｄにはネジ穴４１Ｈが６つ設けられている。第１の円環状部材４１Ｄのネジ穴４１Ｈの数はこれに限るものではない。
　図２Ａ及び図２Ｂに示すように、第１の円環状部材４１Ｄには、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓに、突出部４１Ｄｐが設けられている。図２Ｃに示すように、第１の円環状部材４１Ｄに対向する第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面（対向面）４１Ｂｓは平坦である。そして、第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面４１Ｂｓと、突出部４１Ｄｐとが当接している。第３のステータハウジング部４１Ｂに対向する突出部４１Ｄｐの面と、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓとの間に段差がある。これにより、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓと、第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面４１Ｂｓとが、第２の間隙８Ａを介して対向している。具体的には、突出部４１Ｄｐは、第１の円環状部材４１Ｄに設けたネジ穴４１Ｈの周辺の軸方向の厚みを、他の箇所（第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓ）よりも第２の間隙８Ａに相当する分だけ厚くしている。これにより、第３のステータハウジング部４１Ｂと第１の円環状部材４１Ｄとを組み合わせた際に、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとが第２の間隙８Ａを隔てて軸方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。図１Ａに示すように、本実施形態において、第１の絞り部９Ａは、第１の円環状部材４１Ｄの外径ｒ３と内径ｒ４との径方向幅Ｗ２の範囲で設けられる。
　図２Ｄは、実施形態１の第１変形例に係る第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、部分断面を示す断面図である。図２Ｄに示す位置は、図２Ｃと同じ断面である。図２Ｄに示すように、実施形態１の第１変形例において、第３のステータハウジング部４１Ｂに対向する第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓは、平坦面である。第１の円環状部材４１Ｄには、第３のステータハウジング部４１Ｂとの間に第２の間隙８Ａを設けるための段差が設けられていない。第１の円環状部材４１Ｄに対向する、第３のステータハウジング部４１Ｂの対向面４１Ｂｓには、突出部４１Ｂｐが設けられている。突出部４１Ｂｐは、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けた穴の周辺の軸方向の厚みを、第２面４１Ｂｓよりも第２の間隙８Ａに相当する分だけ厚くしている。そして、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓと、突出部４１Ｂｐとが当接している。第３のステータハウジング部４１Ｂには、第１の円環状部材４１Ｄに対向する突出部４１Ｂｐの面と、第２面４１Ｂｓとの間に段差がある。これにより、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓと、第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面４１Ｂｓとが、第２の間隙８Ａを介して対向している。第３のステータハウジング部４１Ｂは、第１の円環状部材４１Ｄとの間に第２の間隙８Ａを設けるための段差を設けている。以上説明したように、第２の間隙８Ａは、ステータハウジング４１の第３のステータハウジング部４１Ｂと、第１の円環状部材４１Ｄとが対向する位置にあり、第１の円環状部材４１Ｄに対向する第３のステータハウジング部４１Ｂの対向面または第１の円環状部材４１Ｄに段差を有している。
　図３Ａは、実施形態１の第２変形例に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ’矢視断面図である。図３Ｃは、第３のステータハウジング部、スペーサ部材及び第１の円環状部材が固定された状態において、図３Ｂと同じ断面を示す断面図である。実施形態１の構成要素と同じ構成要素については、同じ符号を付して、説明を省略する。なお、図１Ａに示すように、第１のステータハウジング部４１Ａと第３のステータハウジング部４１Ｂとで第１の円環状部材４１Ｄを挟み固定するため、第１の円環状部材４１Ｄにはネジ穴４１Ｈが６つ設けられている。第１の円環状部材４１Ｄのネジ穴４１Ｈの数はこれに限るものではない。スペーサ部材１１は、軸方向に第２の間隙８Ａに相当する一定の厚みを有する平座金形状の部材である。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、スペーサ部材１１は、スペーサ部材１１に設けられた貫通穴の中心と、ネジ穴４１Ｈの中心とが一致するように、ネジ穴４１Ｈの周囲にそれぞれ配置されている。図３Ｃに示すように、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間に、第２の間隙８Ａを設けるためのスペーサ部材１１が挟まれる。
　図１Ａに示すように、第３のステータハウジング部４１Ｂは、軸方向に直交し、ロータハウジング４２の軸方向の面４２Ｃｓと対向して第１の間隙６Ａ（第１の吸気側間隙）に面する第１面４１Ｂｔ（図１Ｂ参照）と、第２の間隙８Ａ（第１の排気側間隙）に面し、かつ上記第１面４１Ｂｔと反対側の第２面４１Ｂｓ（図２Ｃ参照）と、第１の溝部１２Ａとを備える。これにより、上記第１面４１Ｂｔの平面度、上記第２面４１Ｂｓの平面度、及び、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間の第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。ここで、実施形態１において第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法は、突出部４１Ｄｐの厚みである。実施形態１の第１変形例において第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法は、突出部４１Ｂｐの厚みである。実施形態１の第１変形例において第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法は、スペーサ部材１１の厚みである。
　第３のステータハウジング部４１Ｂの外径ｒ６は、第１のステータハウジング部４１Ａの外径ｒ５よりも大きく、第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部は、第１のステータハウジング部４１Ａの径方向外側に面して嵌合する嵌合部を有している。第１の溝部１２Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部の周方向の全周に亘り設けられ、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａを介して、周方向の全周に亘り第１内部空間１００Ａと連通している。
　また、第３のステータハウジング部４１Ｂには、第１のステータハウジング部４１Ａの外径ｒ５と第３のステータハウジング部４１Ｂの外径ｒ６との径方向幅Ｗ３の範囲で軸方向下端部に開口し、継手１４Ａを介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐ１の排気用チューブ１５Ａが接続される第１の排気穴１３Ａが第１の溝部１２Ａに連通して設けられている。そして、第３のステータハウジング部４１Ｂには、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと径方向に重なる嵌合面に周方向の全周に亘り凹部１６が設けられ、この凹部１６にＯリング１７が設けられている。このＯリング１７が第３のステータハウジング部４１Ｂと、他の構成部材、例えば第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡとの間に介在することで、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと第３のステータハウジング部４１Ｂとが径方向に重なる嵌合面の気密性が保たれる。なお、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと第３のステータハウジング部４１Ｂとが高精度に嵌合する場合には、第３のステータハウジング部４１Ｂの凹部１６の加工とＯリング１７とを省略可能であるが、これら凹部１６及びＯリング１７を設けることで、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと第３のステータハウジング部４１Ｂとの嵌合面の加工精度を粗くでき、許容範囲を広くできる。その結果、歩留りが向上する。
　ここで、第２のシール部７Ｂについて説明する。本実施形態において、第２のシール部７Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃと、第２のロータハウジング部４２Ｂとが、周方向の全周に亘り、径方向に例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度の第３の間隙６Ｂを隔てて重なり構成される。本実施形態において、第２のシール部７Ｂは、図１Ａに示すように、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２のロータハウジング部４２Ｂとが、第３の間隙６Ｂを隔てて径方向に対向するＬ１の範囲で設けられる。
　次に、第２の絞り部９Ｂについて説明する。本実施形態において、第２の絞り部９Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃと、第２の円環状部材４１Ｅとが、軸方向に例えば数μｍから数十μｍ程度の第４の間隙８Ｂを隔てて重なり構成される。
　図４は、実施形態１における第２の円環状部材の一例を示す図である。図４は、第２の円環状部材４１Ｅを図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図を示している。図５は、実施形態１における第２のステータハウジング部の一例を示す図である。図５は、第２のステータハウジング部４１Ｃを図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図を示している。なお、図４及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃに第２の円環状部材４１Ｅを固定するためのネジ穴を６つ設けているが、ネジ穴の数はこれに限るものではない。
　図１Ｃ、図４及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する第２の円環状部材４１Ｅの面４１Ｅｓは平坦である。上述したように、第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部の第２内部空間１００Ｂ側には、全周に亘り第２の溝部１２Ｂが設けられている。溝部１２Ｂは、径方向において、面４１Ｃ１と面４１Ｃ２との間に設けられる。また、図１Ｃ、図４及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで第２の円環状部材である第２の円環状部材４１Ｅとの間に第４の間隙８Ｂを設けるための段差が設けられている。これにより、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとが第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。
　本実施形態では、図１Ａに示すように、第２の円環状部材４１Ｅの内径ｒ８は、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂの内径ｒ７よりも小さい。従って、第２の絞り部９Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂの内径ｒ７と第２の円環状部材４１Ｅの内径ｒ８との径方向幅Ｗ４の範囲で設けられる。第２の溝部１２Ｂは、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂを介して、周方向の全周に亘り第２内部空間１００Ｂと連通している。
　なお、上述した例とは異なり、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで段差を設けず、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面に、第２のステータハウジング部４１Ｃとの間に第４の間隙８Ｂを構成するための段差を設けるようにしてもよい。また、図１Ａに示す例では、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向内側の領域に第２の絞り部９Ｂを設ける例を示したが、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面に段差を設け、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向外側の領域に第２の絞り部９Ｂを設けてもよいし、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面に段差を設け、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向外側の領域に第２の絞り部９Ｂを設けてもよい。さらには、ネジ穴周辺のみで第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが接する構成とし、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向両側に第２の絞り部９Ｂを設けてもよい。
　また、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとの間に、第４の間隙８Ｂを構成するためのスペーサ部材を設けるようにしてもよい。さらには、このスペーサ部材は、軸方向に第４の間隙８Ｂに相当する厚みを有する平座金形状の部材とし、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向両側に第２の絞り部９Ｂを設けてもよい。
　上述した構成により、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面の平面度、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面の平面度、及び、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間の第４の間隙８Ｂを構成するための段差の寸法を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。
　また、図１Ａ及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃには、軸方向に貫通して開口し、継手１４Ｂを介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐ２の排気用チューブ１５Ｂが接続される第２の排気穴１３Ｂが第２の溝部１２Ｂに連通して設けられている。
　また、図１Ａに示すように、第１のステータハウジング部４１Ａには、ケーブル２００Ａ，２００Ｂを挿通させるための第１ケーブル挿通孔１９が軸方向に設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃには、第１ケーブル挿通孔１９に連通してケーブル２００Ａ，２００Ｂを挿通させるための第２ケーブル挿通孔２０が軸方向に設けられている。なお、図１Ａに示す例では、ケーブル２００Ａ用の第１ケーブル挿通孔１９及び第２ケーブル挿通孔２０を省略している。なお、第２ケーブル挿通孔２０を有する部材が、第１ケーブル挿通孔１９を有する部材と軸方向に重ねて固定される位置関係にある部材であれば、第１のステータハウジング部４１Ａと、第２のステータハウジング部４１Ｃに限られず、第２ケーブル挿通孔２０を有する部材と第１ケーブル挿通孔１９を有する部材とは、ステータハウジング４１を構成するどの部材でもよい。
　図５に示すように、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とは、軸方向に重なる位置が互いにずれて設けられている。具体的には、第１のステータハウジング部４１Ａと第２のステータハウジング部４１Ｃとが軸方向に嵌合したとき、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とが軸方向に重なる開口面積がケーブル２００Ａ，２００Ｂの断面積と略一致するように、第１ケーブル挿通孔１９の径方向中心位置Ｘ１と第２ケーブル挿通孔２０の径方向中心位置Ｘ２とが異なっている。これにより、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とが軸方向に重なる開口部の気密性が保たれる。
　半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いられることが想定されるモータや、このモータを用いて構成されたアクチュエータには、高い信頼性が要求される。また、半導体素子やフラットパネルディスプレイ等の製造においては、製造物へのダスト混入を避けるため、クリーン環境下における製造工程が必要となる。このようなクリーン環境下で用いられるモータやアクチュエータは、高い信頼性を確保するためにモータやアクチュエータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐ必要がある。
　モータやアクチュエータの内部で発生する発塵としては、軸受等で用いられる潤滑グリースの発塵が考えられる。潤滑グリースから発生する発塵粒子は、半導体素子やフラットパネルディスプレイのクリーン環境下での製造工程における汚染源となり、製品価値を失うような欠陥を生じる要因となる。このため、半導体素子やフラットパネルディスプレイ等の製造工程で用いられるモータやアクチュエータでは、軸受等に使用する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースが用いられることが一般的である。
　本実施形態では、上述した構成において、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の排気穴１３Ａに、吸引排気装置Ｐ１を接続する。また、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の排気穴１３Ｂに、吸引排気装置Ｐ２を接続する。そして、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２を作動させると、第１の溝部１２Ａの空気が吸い出され、第２の溝部１２Ｂの空気が吸い出される。
　実施形態１に係るモータ１では、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り設けられており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂが数μｍから数十μｍ程度と極めて小さいので、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、吸引圧力を均一にすることができる。これにより、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされる。
　また、上述したように、実施形態１に係るモータ１では、第１のシール部７Ａの第１の間隙６Ａ、及び、第２のシール部７Ｂの第３の間隙６Ｂが、例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂよりも大きい場合でも、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより吸引圧力を均一にすることができるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを効果的にシールすることができる。すなわち、実施形態１に係るモータ１では、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　このように、実施形態１に係るモータ１は、少ない排気量で効果的に第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂを機能させることができ、モータ１の内部の第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができる。
　また、モータ１の内部で発生する発塵が第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから外部に流出するのを防ぐことができるので、実施形態１に係るモータ１においては、軸受５として、例えば転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。
　また、軸受５等の可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。
　また、第１の絞り部９Ａにおいて、第２の間隙８Ａの精度を管理するためには、第３のステータハウジング部４１Ｂの第１の円環状部材４１Ｄに対向する面の平面度、第１の円環状部材４１Ｄの第３のステータハウジング部４１Ｂに対向する面の平面度、及び、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間の第２の間隙８Ａを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。また、第２の絞り部９Ｂを構成する第４の間隙８Ｂの精度を管理するためには、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面の平面度、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面の平面度、及び、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間の第４の間隙８Ｂを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。このため、部品精度の管理項目が少なくなり、その結果として、モータ１の歩留りを向上することができる。
　以上説明したように、実施形態１に係るモータ１は、コイル２１Ｂ及びステータコア２１Ａを備えるステータ２１と、ステータ２１の径方向内側に配置され、ステータ２１に対して相対回転するロータ２２と、ロータ２２と共に回転するロータハウジング４２と、ステータハウジング４１に対しロータハウジング４２を回転自在に支持する軸受５と、ステータ２１を固定すると共に、ロータハウジング４２との間の内部を軸受５で仕切った第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを設けて配置されるステータハウジング４１と、を備える。
　ステータハウジング４１は、第１の排気穴１３Ａ及び第２の排気穴１３Ｂを有している。実施形態１に係るモータ１は、第１内部空間１００Ａと外部との間に、ステータハウジング４１とロータハウジング４２とが周方向の全周に亘り第１の間隙６Ａ（第１の吸気側間隙）を隔てて対向する第１のシール部７Ａを備える。実施形態１に係るモータ１は、この第１のシール部７Ａとは異なる位置にあり、第１内部空間１００Ａと第１の排気穴１３Ａとを繋げる第２の間隙８Ａ（第１の排気側間隙）を有する第１の絞り部９Ａを備える。
　図１Ａ及び図１Ｃに示すように、実施形態１に係るモータ１は、第２内部空間１００Ｂと外部との間に、ステータハウジング４１とロータハウジング４２とが周方向の全周に亘り第３の間隙６Ｂ（第２の吸気側間隙）を隔てて対向する第２のシール部７Ｂを備える。実施形態１に係るモータ１は、第１のシール部７Ａ、第２のシール部７Ｂ及び第２の間隙８Ａとは異なる位置にあり、第２内部空間１００Ｂと第２の排気穴１３Ｂとを繋げる第４の隙間８Ｂ（第２の排気側間隙）を有する第２の絞り部９Ｂと、を備える。
　上記構成により、第１の排気穴１３Ａに吸引排気装置Ｐ１を接続して吸引排気装置Ｐ１を作動させることにより、モータ１の内部の第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、モータ１の内部の第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。
　実施形態１に係るモータ１は、第２の間隙８Ａと第１の排気穴１３Ａとの間に介在し、第２の間隙８Ａに沿って周方向の全周に亘りステータハウジング４１の第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａを備える。第１の排気穴１３Ａに吸引排気装置Ｐ１が接続され、吸引排気装置Ｐ１が作動することにより、空気が第１のシール部７Ａから均一に吸気され、第１の絞り部９Ａから第１の排気穴１３Ａへ第１の溝部１２Ａを介して、空気が均一に排気される。これにより、モータ１の内部の第１内部空間１００Ａが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　また、実施形態１に係るモータ１は、第４の間隙８Ｂと第２の排気穴１３Ｂとの間に介在し、第４の間隙８Ｂに沿って周方向の全周に亘りステータハウジング４１の第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂを備える。第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２が接続されて、吸引排気装置Ｐ２が作動することにより、空気が第２のシール部７Ｂから均一に吸気され、第２の絞り部９Ｂから第２の排気穴１３Ｂへ第２の溝部１２Ｂを介して、空気が均一に排気される。これにより、モータ１の内部の第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　また、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１の製造の際の歩留まりを向上することができる。
　また、実施形態１に係るモータ１は、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。
　また、実施形態１に係るモータ１は、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。
（実施形態２）
　図６は、実施形態２に係るモータの一例を示す断面図である。図７は、実施形態２に係るモータの図６とは異なる一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
　図６に示す実施形態２に係るモータ１ａは、実施形態１に係るモータ１と同様に、インナーロータ型のモータである。
　図６に示すように、ステータハウジング４１は、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、第２の円環状部材４１Ｅ、軸受支持部材４１Ｆ、及び回転検出器固定部４１Ｇを備えている。第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、第２の円環状部材４１Ｅ、軸受支持部材４１Ｆ、及び回転検出器固定部４１Ｇは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。本実施形態において、第１の円環状部材４１Ｄは、第１のステータハウジング部を兼ねている。
　また、図６に示すように、ロータハウジング４２は、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第３のロータハウジング部４２Ｃ、及び第４のロータハウジング部４２Ｄを備えている。第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第３のロータハウジング部４２Ｃ、及び第４のロータハウジング部４２Ｄは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、軸受５の外輪５Ｂを軸方向に挟持する。第２のロータハウジング部４２Ｂは、内周面に回転検出器３のロータが固定されている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第１のロータハウジング部４２Ａの順に配置されている。第２のロータハウジング部４２Ｂと第１のロータハウジング部４２Ａとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｃで締結されている。第４のロータハウジング部４２Ｄは、外周面にロータ２２が固定されている。第２のロータハウジング部４２Ｂ及び第３のロータハウジング部４２Ｃは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第４のロータハウジング部４２Ｄの順に配置されている。第２のロータハウジング部４２Ｂと、第４のロータハウジング部４２Ｄとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材（不図示）で締結されている。第２のロータハウジング部４２Ｂ及び第４のロータハウジング部４２Ｄは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、第４のロータハウジング部４２Ｄ、第２のロータハウジング部４２Ｂの順に配置されている。第２のロータハウジング部４２Ｂと、第４のロータハウジング部４２Ｄとは、例えば、複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｄで締結されている。
　ステータハウジング４１の第１の円環状部材４１Ｄは、駆動部２のステータ２１が内周面に固定される円筒部４１Ｄａを有する。また、第１の円環状部材４１Ｄは、軸受支持部材４１Ｆと共に軸受５の内輪５Ａを軸方向に挟持する。回転検出器固定部４１Ｇは、外周面に回転検出器３のステータが固定されている。第１の円環状部材４１Ｄ及び軸受支持部材４１Ｆは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、軸受支持部材４１Ｆ、第１の円環状部材４１Ｄの順に配置されている。軸受支持部材４１Ｆと、第１の円環状部材４１Ｄとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｃで締結されている。第１の円環状部材４１Ｄ及び回転検出器固定部４１Ｇは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、回転検出器固定部４１Ｇ、第１の円環状部材４１Ｄの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材（不図示）で締結されている。
　第３のステータハウジング部４１Ｂの外周面には、周方向の全周に亘り径方向外側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。また、第３のステータハウジング部４１Ｂは、径方向外側に張り出した顎部４１Ｂｂを有する。第３のステータハウジング部４１Ｂは、顎部４１Ｂｂが第１の円環状部材４１Ｄの凹部４１Ｄｂに嵌め合わされ、第３のステータハウジング部４１Ｂの外周面と第１の円環状部材４１Ｄの内周面との間に、周方向の全周に亘り径方向に第２の間隙８Ａを隔てて径方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。これにより、第１内部空間１００Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部４１Ｂｃの外周面に設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。
　また、第３のステータハウジング部４１Ｂの内周面は、第３のロータハウジング部４２Ｃとの間に、周方向の全周に亘り径方向に第１の間隙６Ａを隔てて径方向に対向する第１のシール部７Ａが設けられる。第３のステータハウジング部４１Ｂと、第１の円環状部材４１Ｄとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｄで締結されている。
　図６において、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで第２の円環状部材である第２の円環状部材４１Ｅとの間に第４の間隙８Ｂを設けるための段差が設けられている。これにより、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとが第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅ側には、面４１Ｃ１よりも軸方向に突出する突出部４１Ｃａが環状に設けられる。突出部４１Ｃａの外周面が第１の円環状部材４１Ｄの円筒部４１Ｄａの内周面に嵌め合わされ、突出部４１Ｃａの内周面が第２の円環状部材４１Ｅの外周面と接して、第２の円環状部材４１Ｅの径方向の位置決めをする。突出部４１Ｃａの外周面には、周方向の全周に亘り凹部１６ａが設けられ、この凹部１６ａにＯリング１７が設けられている。このＯリング１７ａが第３のステータハウジング部４１Ｂと、第１の円環状部材４１Ｄの円筒部４１Ｄａの内周面との間に介在することで、気密性が保たれる。また、第２のステータハウジング部４１Ｃは、第２の円環状部材４１Ｅが設けられる側の面に、周方向の全周に亘り軸方向下端側に開口した凹形状を成す第２の溝部１２Ｂが設けられている。
　第２の円環状部材４１Ｅは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂを軸方向下側から覆うように配置され、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。これにより、第２内部空間１００Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂと連通している。
　また、第２のステータハウジング部４１Ｃの軸方向上端面は、第３のロータハウジング部４２Ｃとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第３の間隙６Ｂを隔てて軸方向に対向する第２のシール部７Ｂが設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃ及び第１の円環状部材４１Ｄは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた円環部の外周面が第１の円環状部材４１Ｄの円筒部の内周面に外周面が嵌め合わされ、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｅで締結されている。
　なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、第１の溝部１２Ａを設けた部材、第１の溝部１２Ａを設けた部材と共に第２の間隙８Ａを構成する部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材と共に第４の間隙８Ｂを構成する部材を含む複数の部材で構成されていれば良い。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの部材であってもよいし、２つ以上の部材で構成されていてもよい。
　また、図７に示すモータ１ｂでは、第３のステータハウジング部４１Ｂａの軸方向上端面に、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。また、第３のステータハウジング部４１Ｂａは、径方向外側に張り出した顎部を有する。第３のステータハウジング部４１Ｂａは、顎部が第１の円環状部材４１Ｄに嵌め合わされ、第３のステータハウジング部４１Ｂａと第１の円環状部材４１Ｄとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第２の間隙８Ａを隔てて軸方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。これにより、第１内部空間１００Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂａの軸方向上端面に設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。
　図６及び図７に示すように、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２と軸受５とが径方向に並び配置され、軸受５と回転検出器３とが軸方向に並び配置される。これにより、軸方向に関するモータ１ａ，１ｂの寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。
　上述した構成の実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。
　ロータハウジング４２にワーク（不図示）が載置される。駆動部２の作動によりロータハウジング４２が回転すると、ロータハウジング４２とともにワークが回転する。ロータハウジング４２は、駆動部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。
　なお、第１のシール部７Ａおける第１の間隙６Ａ、第２のシール部７Ｂにおける第３の間隙６Ｂ、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ、及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの各構成については、実施形態１に係るモータ１と同様である。
　すなわち、本実施形態に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、実施形態１に係るモータ１と同様に、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り設けられており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂが数μｍから数十μｍ程度と極めて小さくすることで、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、吸引圧力を均一にすることができる。これにより、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされる。
　また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、実施形態１に係るモータ１と同様に、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの第１の間隙６Ａ及び第３の間隙６Ｂが例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ａ及び第４の間隙８Ｂよりも大きい場合でも、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより吸引圧力を均一にすることができるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを効果的にシールすることができる。すなわち、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、実施形態１に係るモータ１と同様に、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　このように、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、少ない排気量で効果的に第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂを機能させることができ、モータ１ａ，１ｂの内部の第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができる。
　また、実施形態１に係るモータ１と同様に、モータ１ａ，１ｂの内部で発生する発塵が第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから外部に流出するのを防ぐことができるので、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、軸受５として、例えば転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。
　また、実施形態１に係るモータ１と同様に、軸受５等の可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。
　また、本実施形態に係るモータ１ａ，１ｂにおいて、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａの精度を管理するためには、第３のステータハウジング部４１Ｂ，４１Ｂａの第１の円環状部材４１Ｄに対向する面の精度、第１の円環状部材４１Ｄの第３のステータハウジング部４１Ｂ，４１Ｂａに対向する面の精度、及び、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂ，４１Ｂａとの間の第２の間隙８Ａを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。また、第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するためには、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面の精度、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面の精度、及び、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間の第４の間隙８Ｂを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。このため、部品精度の管理項目が少なくなり、その結果として、モータ１ａ，１ｂの歩留りを向上することができる。
　以上説明したように、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、空気が第１のシール部７Ａから均一に吸気され、第１の絞り部９Ａから第１の排気穴１３Ａを介して均一に排気される。これにより、モータ１ａ，１ｂの内部の第１内部空間１００Ａが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、空気が第２のシール部７Ｂから均一に吸気され、第２の絞り部９Ｂから第２の排気穴１３Ｂを介して均一に排気される。これにより、モータ１ａ，１ｂの内部の第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ａ，１ｂの製造の際の歩留まりを向上することができる。
　また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。
　また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。
　また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２と軸受５とが径方向に並び配置され、軸受５と回転検出器３とが軸方向に並び配置される。これにより、軸方向に関するモータ１ａ，１ｂの寸法、つまり、軸方向の高さの増大を抑制することができる。
（実施形態３）
　図８は、実施形態３に係るモータの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
　図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、インナーロータ型のモータである。
　図８に示すように、ステータハウジング４１は、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第２の円環状部材４１Ｅを備えている。第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第２の円環状部材４１Ｅは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。実施形態３において、第２のステータハウジング部４１Ｃは、第１のステータハウジング部を兼ねている。
　また、図８に示すように、ロータハウジング４２は、２つの第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂを備えている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、軸受５の外輪５Ｂを軸方向に挟持する。第２のロータハウジング部４２Ｂは、外周面にロータ２２が固定されている。また、第２のロータハウジング部４２Ｂは、内周面に回転検出器３のロータが固定されている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃの軸方向の上端側から下端側に向けて、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｅで締結されている。
　第３のステータハウジング部４１Ｂには、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。第３のステータハウジング部４１Ｂの内周面には、回転検出器３のステータが固定される。
　第１の円環状部材４１Ｄは、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａを軸方向上端側から覆うように配置され、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間に、周方向の全周に亘り径方向に第２の間隙８Ａを隔てて径方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。これにより、第１内部空間１００Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。
　また、第１の円環状部材４１Ｄの軸方向上端面は、第１のロータハウジング部４２Ａとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第１の間隙６Ａを隔てて軸方向に対向する第１のシール部７Ａが設けられる。第３のステータハウジング部４１Ｂ及び第１の円環状部材４１Ｄは、図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃの軸方向の上端側から下端側に向けて、第１の円環状部材４１Ｄ、第３のステータハウジング部４１Ｂの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｆで締結されている。
　第２のステータハウジング部４１Ｃは、第３のステータハウジング部４１Ｂと共に軸受５の内輪５Ａを軸方向に挟持する。第２のステータハウジング部４１Ｃと、第３のステータハウジング部４１Ｂとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｅで締結されている。また、第２のステータハウジング部４１Ｃは、軸受５の内輪５Ａの固定部から径方向に延びる円環部を有し、この円環部の径方向端部に、ステータ２１が固定される。また、第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部には、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第２の溝部１２Ｂが設けられている。
　第２の円環状部材４１Ｅは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂを軸方向上端側から覆うように配置され、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。これにより、第２内部空間１００Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂと連通している。
　また、第２の円環状部材４１Ｅの軸方向上端面は、第２のロータハウジング部４２Ｂとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第３の間隙６Ｂを隔てて軸方向に対向する第２のシール部７Ｂが設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃ及び第２の円環状部材４１Ｅは、図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃの軸方向の上端側から下端側に向けて、第２の円環状部材４１Ｅ、第２のステータハウジング部４１Ｃの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材（不図示）で締結されている。
　なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、第１の溝部１２Ａを設けた部材、第１の溝部１２Ａを設けた部材と共に第２の間隙８Ａを構成する部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材と共に第４の間隙８Ｂを構成する部材を含む複数の部材で構成されていれば良い。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの部材であってもよいし、３つ以上の部材で構成されていてもよい。
　本実施形態では、軸受５は、転動体５Ｃとして円筒形のクロスローラを用いたクロスローラ軸受であることが好ましい。クロスローラ軸受は、クロスローラと内輪５Ａ及び外輪５Ｂとが線接触するため、大きな荷重に耐え得るという利点がある。また、隣り合うクロスローラで回転軸が互いに９０°傾斜しているため、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。
　図８に示すように、実施形態３に係るモータ１ｃは、駆動部２、軸受５、及び回転検出器３が径方向に並び配置される。具体的には、回転軸ＡＸに近い方から、回転検出器３、軸受５、駆動部２、の順に並び配置される。これにより、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂよりも、モータ１ｃの軸方向の寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。
　また、図８に示すように、実施形態３に係るモータ１ｃは、ステータ２１の軸方向一端部（上端部）及び回転検出器３の軸方向他端部（下端部）からの異物の侵入を防ぐために、第１保護用カバー部材１８ａと第２保護用カバー部材１８ｂとを設けている。
　なお、上述した本実施形態に係るモータ１ｃは、軸受５で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐことを目的としている。すなわち、駆動部２や回転検出器３では発塵が発生しないことを前提としている。このため、実施形態１及び実施形態２に示すようなモータ１ｃの内部の空間全体をシールする構造とする必要がなく、モータ１ｃを大型化することなく、クリーン環境下での使用に耐え得るモータ１ｃを得ることができる。
　上記したように構成されたモータ１ｃは、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。
　ロータハウジング４２にワーク（不図示）が載置される。駆動部２の作動によりロータハウジング４２が回転すると、ロータハウジング４２とともにワークが回転する。ロータハウジング４２は、駆動部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。
　なお、第１のシール部７Ａにおける第１の間隙６Ａ、第２のシール部７Ｂにおける第３の間隙６Ｂ、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ、及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの構成については、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様である。
　すなわち、本実施形態に係るモータ１ｃにおいても、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り設けられており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂが数μｍから数十μｍ程度と極めて小さくすることで、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、吸引圧力を均一にすることができる。これにより、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされる。
　また、実施形態３に係るモータ１ｃにおいても、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの第１の間隙６Ａ及び第３の間隙６Ｂが例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ａ及び第４の間隙８Ｂよりも大きい場合でも、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより吸引圧力を均一にすることができるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを効果的にシールすることができる。すなわち、実施形態３に係るモータ１ｃにおいても、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　以上説明したように、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、空気が第１のシール部７Ａから均一に吸気され、第１の絞り部９Ａから第１の排気穴１３Ａを介して均一に排気される。これにより、モータ１ｃの内部の第１内部空間１００Ａが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、空気が第２のシール部７Ｂから均一に吸気され、第２の絞り部９Ｂから第２の排気穴１３Ｂを介して均一に排気される。これにより、モータ１ｃの内部の第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。
　また、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ｃの製造の際の歩留まりを向上することができる。
　また、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。
　また、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。
　さらに、実施形態３に係るモータ１ｃは、軸受５をクロスローラ軸受とすることで、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。
　また、実施形態３に係るモータ１ｃは、駆動部２、軸受５、及び回転検出器３が径方向に並び配置される。これにより、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂよりも、モータ１ｃの軸方向の寸法、つまり、軸方向の高さの増大を抑制することができる。
　さらに、駆動部２や回転検出器３では発塵が発生しないことを前提としたモータに対し、実施形態３に係るモータ１ｃにおける構造を適用することで、モータ１ｃを大型化することなく、クリーン環境下での使用に耐え得るモータ１ｃを得ることができる。
　図９は、本実施形態に係るモータの適用例を示す図である。本実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、例えば、クリーン環境４００のもとで半導体製造装置４０１やフラットディスプレイ製造装置４０２で用いられる。モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、ハウジング（筐体）の一部（ステータハウジング）が締結部材で基台５００に支持されている。なお、締結部材はネジ、ボルト、ピン等である。これにより、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、基台５００に固定される。
　アクチュエータ７００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃのいずれかと、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃにより駆動される被駆動物６００とを備える。被駆動物６００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃのハウジング（筐体）の一部（ステータハウジング）に締結部材で支持されている。なお、締結部材はネジ、ボルト、ピン等である。これにより、被駆動物６００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃに固定される。
　被駆動物６００の上部には、被製造物８００が配置される。基台５００には、中空穴５０１が設けられ、被駆動物６００には、中空穴６０１が設けられている。
　被製造物８００に電源や信号を供給するケーブル９００は、基台５００の中空穴５０１、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃの中空穴２３、被駆動物６００の中空穴６０１に挿通され、被製造物８００に接続される。
　上述したように、本実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、内部で発生した発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができるので、この実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃや、この実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃを用いて構成したアクチュエータ７００は、例えば、図９に示すようなクリーン環境４００のもとで半導体製造装置４０１やフラットディスプレイ製造装置４０２に用いるのに適している。
　１，１ａ，１ｂ，１ｃ　モータ
　２　駆動部
　３　回転検出器
　４　ハウジング
　５　軸受
　５Ａ　内輪
　５Ｂ　外輪
　５Ｃ　転動体
　６Ａ　第１の間隙（第１の吸気側間隙）
　６Ｂ　第３の間隙（第２の吸気側間隙）
　７Ａ　第１のシール部
　７Ｂ　第２のシール部
　８Ａ　第２の間隙（第１の排気側間隙）
　８Ｂ　第４の間隙（第２の排気側間隙）
　９Ａ　第１の絞り部
　９Ｂ　第２の絞り部
　１１　スペーサ部材
　１２Ａ　第１の溝部
　１２Ｂ　第２の溝部
　１３Ａ　第１の排気穴
　１３Ｂ　第２の排気穴
　１４Ａ，１４Ｂ　継手
　１５Ａ，１５Ｂ　排気用チューブ
　１６　凹部
　１７　Ｏリング
　１８ａ　第１保護用カバー部材
　１８ｂ　第２保護用カバー部材
　１９　第１ケーブル挿通孔
　２０　第２ケーブル挿通孔
　２１　ステータ
　２１Ａ　ステータコア
　２１Ｂ　コイル
　２２　ロータ
　２３　中空穴
　４１　ステータハウジング
　４１Ａ　第１のステータハウジング部
　４１ＡＡ，４１ＡＢ　部材（第１のステータハウジング部）
　４１Ｂ，４１Ｂａ　第３のステータハウジング部
　４１Ｃ　第２のステータハウジング部
　４１Ｄ　第１の円環状部材
　４１Ｅ　第２の円環状部材
　４１Ｆ　軸受支持部材
　４１Ｇ　回転検出器固定部
　４２　ロータハウジング
　４２Ａ　第１のロータハウジング部
　４２Ｂ　第２のロータハウジング部
　４２Ｃ　第３のロータハウジング部
　４２Ｄ　第４のロータハウジング部
　１００Ａ　第１内部空間
　１００Ｂ　第２内部空間
　２００Ａ，２００Ｂ　ケーブル
　４００　クリーン環境
　４０１　半導体製造装置
　４０２　フラットディスプレイ製造装置
　５００　基台
　５０１　中空穴（基台）
　６００　被駆動物
　６０１　中空穴（被駆動物）
　７００　アクチュエータ
　８００　被製造物
　９００　ケーブル（被製造物）
　ＡＸ　回転軸
　Ｐ１，Ｐ２　吸引排気装置

Claims (18)

  1. 　コイル及びステータコアを備えるステータと、
    　前記ステータの径方向内側に配置され、前記ステータに対して相対回転するロータと、
    　前記ロータと共に回転するロータハウジングと、
    　吸引排気するための第１の排気穴を備えると共に、前記ステータを固定するステータハウジングと、
    　前記ステータハウジングに対し前記ロータハウジングを回転自在に支持する軸受と、
    　前記ステータハウジングの内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて対向する第１のシール部と、
    　前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる第２の間隙を有する第１の絞り部と、を備えるモータ。
  2. 　前記第２の間隙と前記第１の排気穴との間に介在し、前記第２の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第１の溝部をさらに備える請求項１に記載のモータ。
  3. 　前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第１の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第１の円環状部材に段差を有している、請求項１または請求項２に記載のモータ。
  4. 　前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、
    　前記ステータハウジングと前記第１の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えている、請求項１または請求項２に記載のモータ。
  5. 　前記内部空間は、前記軸受によって第１内部空間と第２内部空間とに仕切られ、
    　前記ステータハウジングは、第２の排気穴をさらに含み、
    　前記第１内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り前記第１の間隙を隔てて対向する前記第１のシール部と、
    　前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記第１内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる前記第２の間隙を有する前記第１の絞り部と、
    　前記第２内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第３の間隙を隔てて対向する第２のシール部と、
    　前記第１のシール部、前記第２のシール部及び前記第１の絞り部とは異なる位置にあり、前記第２内部空間と前記第２の排気穴とを繋げる第４の間隙を有する第２の絞り部と、を備える請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のモータ。
  6. 　前記第４の間隙と前記第２の排気穴との間に介在し、前記第４の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第２の溝部をさらに備える請求項５に記載のモータ。
  7. 　前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第２の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第２の円環状部材に段差を有している、請求項５または請求項６に記載のモータ。
  8. 　前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、
    　前記ステータハウジングと前記第２の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えている、請求項５または請求項６に記載のモータ。
  9. 　前記ステータハウジングは、
    　前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向にモータ駆動用あるいは位置検出用のケーブルを挿通させるための第１ケーブル挿通孔を備える第１のステータハウジング部と、
    　前記第１のステータハウジング部と前記軸方向に重ねて固定され、前記軸方向に前記ケーブルを挿通させるための第２ケーブル挿通孔を備える第２のステータハウジング部材とを含み、
    　前記第１のステータハウジング部と前記第２のステータハウジング部とが前記軸方向に重ねて固定されたとき、前記第１ケーブル挿通孔と前記第２ケーブル挿通孔とが前記軸方向に重なる開口面積が前記ケーブルの断面積と略一致するように、前記第１ケーブル挿通孔の径方向中心位置と前記第２ケーブル挿通孔の径方向中心位置とが異なっている、
    　請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のモータ。
  10. 　前記ステータハウジングは、
    　前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向に直交し、前記ロータハウジングと対向して第１の間隙に面する第１面と、前記第２の間隙に面し、かつ前記第１面と反対側の第２面と、前記第１の溝部とを備える溝部構成部材と、
    　前記溝部構成部材と前記ステータハウジングを構成する他の構成部材との間に介在するＯリングとを備える、請求項２に記載のモータ。
  11. 　前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、
    　前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが軸方向に並び配置されている、
    　請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のモータ。
  12. 　前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、
    　前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受とが径方向に並び配置され、前記軸受と前記回転検出器とが軸方向に並び配置されている、
    　請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のモータ。
  13. 　前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、
    　前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが径方向に並び配置されている、
    　請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のモータ。
  14. 　前記軸受は、転がり軸受あるいはすべり軸受である、請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のモータ。
  15. 　前記軸受は、クロスローラ軸受である、請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のモータ。
  16. 　請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のモータと、
    　前記モータにより駆動される被駆動物と、
    　を含み構成された、アクチュエータ。
  17. 　請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のモータを備えた、半導体製造装置。
  18. 　請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のモータを備えた、フラットディスプレイ製造装置。
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