JPWO2018029867A1 - モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置 - Google Patents

Abstract

内部で発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができるモータを提供すること。モータは、コイル及びステータコアを備えるステータと、ステータの径方向内側に配置され、ステータに対して相対回転するロータと、吸引排気するための第１の排気穴を備えると共に、ステータを固定するステータハウジングと、ステータハウジングの内部空間と外部との間に、ステータハウジングとロータハウジングとが周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて対向する第１のシール部と、第１のシール部とは異なる位置にあり、内部空間と第１の排気穴とを繋げる第２の間隙を有する第１の絞り部と、を備える。

Description

本発明は、モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置に関する。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いられるモータや、このモータを用いたアクチュエータは、高い信頼性が要求される。また、半導体やフラットパネルディスプレイ等の製造においては、製造物へのダスト混入を避けるため、クリーン環境下における製造工程が必要となる。このようなクリーン環境下で用いられるモータやアクチュエータは、高い信頼性を確保するためにモータやアクチュエータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐ必要がある。

例えば、特許文献１には、２つのフランジ部の間の空気室から空気を吸引することにより、フランジ部と動作軸との間の隙間から空気が吸引されクリーン環境内に非クリーン環境からのゴミが侵入することを防止するシール装置が記載されている。

特開平０９−２９６８２号公報

特許文献１に記載のシール装置は、クリーン環境側のフランジ部と動作軸との間の隙間と、非クリーン環境側のフランジ部と動作軸との間の隙間との双方から空気を吸引するものであり、空気室内に圧力分布が生じることが考えられる。また、クリーン環境側と非クリーン環境側とで圧力差がある場合には、非クリーン環境側からクリーン環境側に空気が漏れ出し、クリーン環境を汚染する可能性がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制できるモータを提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、モータは、コイル及びステータコアを備えるステータと、前記ステータの径方向内側に配置され、前記ステータに対して相対回転するロータと、前記ロータと共に回転するロータハウジングと、吸引排気するための第１の排気穴を備えると共に、前記ステータを固定するステータハウジングと、前記ステータハウジングに対し前記ロータハウジングを回転自在に支持する軸受と、前記ステータハウジングの内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて対向する第１のシール部と、前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる第２の間隙を有する第１の絞り部と、を備える。

上記構成により、排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、モータの内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。

また、望ましい態様として、前記第２の間隙と前記第１の排気穴との間に介在し、前記第２の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第１の溝部をさらに備えることが好ましい。

上記構成により、空気がシール部から均一に吸気され、第１の絞り部から第１の排気穴へ第１の溝部を介して均一に排気される。

望ましい態様として、前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第１の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第１の円環状部材に段差を有していることが好ましい。

上記構成により、第１の絞り部から第１の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第１のシール部が機能する。

望ましい態様として、前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、前記ステータハウジングと前記第１の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えていることが好ましい。

上記構成により、第１の絞り部から第１の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第１のシール部が機能する。スペーサ部材の平面度のみ管理すれば、他の部材の部品精度の管理項目が少なくすることができる。その結果、モータ全体としては、歩留りが向上する。

望ましい態様として、前記内部空間は、前記軸受によって第１内部空間と第２内部空間とに仕切られ、前記ステータハウジングは、第２の排気穴をさらに含み、前記第１内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り前記第１の間隙を隔てて対向する前記第１のシール部と、前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記第１内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる前記第２の間隙を有する前記第１の絞り部と、前記第２内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第３の間隙を隔てて対向する第２のシール部と、前記第１のシール部、前記第２のシール部及び前記第１の絞り部とは異なる位置にあり、前記第２内部空間と前記第２の排気穴とを繋げる第４の間隙を有する第２の絞り部と、を備えることが好ましい。

上記構成により、第１の排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、モータの内部の第１内部空間で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。また、第２の排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、モータの内部の第２内部空間で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。

望ましい態様として、前記第４の間隙と前記第２の排気穴との間に介在し、前記第４の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第２の溝部をさらに備えることが好ましい。

上記構成により、第１内部空間の空気が第１のシール部から均一に吸気され、第１の絞り部から第１の排気穴へ第１の溝部を介して均一に排気される。また、第２内部空間の空気が第２のシール部から均一に吸気され、第２の絞り部から第２の排気穴へ第２の溝部を介して均一に排気される。

望ましい態様として、前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第２の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第２の円環状部材に段差を有していることが好ましい。

上記構成により、第２の絞り部から第２の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第２のシール部が機能する。

望ましい態様として、前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、前記ステータハウジングと前記第２の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えていることが好ましい。

上記構成により、第２の絞り部から第２の排気穴へ吸引される圧力差の周方向のむらが抑制される。また、排気量が小さくても効果的に第２のシール部が機能する。

また、望ましい態様として、前記ステータハウジングは、前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向にモータ駆動用あるいは位置検出用のケーブルを挿通させるための第１ケーブル挿通孔を備える第１のステータハウジング部と、前記第１のステータハウジング部と前記軸方向に重ねて固定され、前記軸方向に前記ケーブルを挿通させるための第２ケーブル挿通孔を備える第２のステータハウジング部とを含み、前記第１のステータハウジング部と前記第２のステータハウジング部とが前記軸方向に重ねて固定されたとき、前記第１ケーブル挿通孔と前記第２ケーブル挿通孔とが前記軸方向に重なる開口面積が前記ケーブルの断面積と略一致するように、前記第１ケーブル挿通孔の径方向中心位置と前記第２ケーブル挿通孔の径方向中心位置とが異なっていることが好ましい。

上記構成により、ケーブルが保持される。また、第１ケーブル挿通孔と第２ケーブル挿通孔とが軸方向に重なる開口部の気密性が保たれる。その結果、第１ケーブル挿通孔と第２ケーブル挿通孔とによって、内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制できる。

また、望ましい態様として、前記ステータハウジングは、前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向に直交し、前記ロータハウジングと対向して第１の間隙に面する第１面と、前記第２の間隙に面し、かつ前記第１面と反対側の第２面と、前記第１の溝部とを備える溝部構成部材と、前記溝部構成部材と前記ステータハウジングを構成する他の構成部材との間に介在するＯリングとを備えることが好ましい。

上記構成により、１つの溝部構成部材により、軸方向に直交する異なる面に、第１の間隙と第２の間隙とができるので、溝部構成部材の平面度が確保できれば、他の部材の部品精度の管理項目が少なくすることができる。その結果、モータ全体としては、歩留りが向上する。

また、望ましい態様として、前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが軸方向に並び配置されていることが好ましい。

上記構成により、回転軸に対する放射方向に関するモータの寸法の増大が抑制され、ハウジングの設置面積(フットプリント)の増大が抑制される。

また、望ましい態様として、前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受とが径方向に並び配置され、前記軸受と前記回転検出器とが軸方向に並び配置されていることが好ましい。

上記構成により、軸方向に関するモータの寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。

また、望ましい態様として、前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが径方向に並び配置されていることが好ましい。

上記構成により、軸方向に関するモータの寸法、つまり、軸方向の高さの増大を抑制することができる。

また、望ましい態様として、前記軸受は、転がり軸受あるいはすべり軸受であることが好ましい。

上記構成により、軸受を駆動するための外部動力源が不要となる。

また、望ましい態様として、前記軸受は、クロスローラ軸受であることが好ましい。

上記構成により、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、アクチュエータは、前述のモータと、前記モータの被駆動物と、を含み構成されている。これにより、クリーン環境下での使用に適したアクチュエータを得ることができる。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、半導体製造装置は、前述のモータを備える。これにより、クリーン環境下での使用に適した半導体製造装置を得ることができる。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、フラットディスプレイ製造装置は、前述のモータを備える。これにより、クリーン環境下での使用に適したフラットディスプレイ製造装置を得ることができる。

本発明によれば、内部で発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制できるモータを提供することができる。

図１Ａは、実施形態１に係るモータの一例を示す断面図である。 図１Ｂは、図１Ａの第１の間隙を拡大して示す拡大断面図である。 図１Ｃは、図１Ａの第３の間隙及び第４の間隙を拡大して示す拡大断面図である。 図２Ａは、実施形態１に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。 図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ−ＩＩＢ’矢視断面図である。 図２Ｃは、第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、図２Ｂと同じ断面を示す断面図である。 図２Ｄは、実施形態１の第１変形例に係る第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、部分断面を示す断面図である。 図３Ａは、実施形態１の第２変形例に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。 図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ’矢視断面図である。 図３Ｃは、第３のステータハウジング部、スペーサ部材及び第１の円環状部材が固定された状態において、図３Ｂと同じ断面を示す断面図である。 図４は、実施形態１における第２の円環状部材の一例を示す図である。 図５は、実施形態１における第２のステータハウジング部の一例を示す図である。 図６は、実施形態２に係るモータの一例を示す断面図である。 図７は、実施形態２に係るモータの図６とは異なる一例を示す断面図である。 図８は、実施形態３に係るモータの一例を示す断面図である。 図９は、本実施形態に係るモータの適用例を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

（実施形態１）
図１Ａは、実施形態１に係るモータの一例を示す断面図である。図１Ｂは、図１Ａの第１の間隙を拡大して示す拡大断面図である。図１Ｃは、図１Ａの第３の間隙及び第４の間隙を拡大して示す拡大断面図である。図１Ａにおいて、モータ１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達するダイレクトドライブモータである。図１Ａに示すように、モータ１は、対象物を回転させるための動力を発生する駆動部２を備える。駆動部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。

モータ１は、ロータ２２の回転を検出する回転検出器３と、駆動部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、ステータ２１と接続されるケーブル２００Ａと、回転検出器３と接続されるケーブル２００Ｂとを備えている。ケーブル２００Ａ，２００Ｂは、モータ１を制御するための図示せぬ制御装置に接続される。

本実施形態において、モータ１は、インナーロータ型のモータである。ロータ２２は、ステータ２１の回転軸ＡＸを中心とする径方向内側に配置される。以下、回転軸ＡＸを中心とする径方向を、単に「径方向」ともいう。

ステータ２１は、ステータコア２１Ａと、ステータコア２１Ａに支持されるコイル２１Ｂとを有する。ステータコア２１Ａは、回転軸ＡＸを中心とする周方向に等間隔で複数配置されるティースを有する。以下、回転軸ＡＸを中心とする周方向を、単に「周方向」ともいう。

コイル２１Ｂは、複数設けられる。コイル２１Ｂは、ステータコア２１Ａの複数のティースのそれぞれに支持される。

ロータ２２は、周方向に等間隔で複数配置された永久磁石を含む。ステータ２１とロータ２２とは、間隙を介して対向する。

回転検出器３は、ステータ２１に対するロータ２２の回転を検出する。回転検出器３は、レゾルバを含み、駆動部２のロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを検出する。本実施形態において、回転検出器３は、アブソリュートレゾルバ及びインクリメンタルレゾルバの２種類のレゾルバを含む。

ハウジング４は、ステータハウジング４１と、ステータハウジング４１の径方向内側に配置されるロータハウジング４２とを含む。図１Ａに示すように、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２はそれぞれ、複数の部材で構成された円筒状の部材である。ステータハウジング４１の中心軸と、ロータハウジング４２の中心軸と、回転軸ＡＸとは、一致する。以下、回転軸ＡＸと平行な方向を「軸方向」ともいう。

ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２は、ステータハウジング４１とロータハウジング４２との間に配置される。ステータ２１は、ステータハウジング４１と接続される。ステータ２１は、ステータハウジング４１の外周面に固定される。ロータ２２は、ロータハウジング４２と接続される。ロータ２２は、ロータハウジング４２の内周面に固定される。

ステータハウジング４１とロータハウジング４２との間に軸受５が配置される。軸受５は、内輪５Ａと、外輪５Ｂと、内輪５Ａと外輪５Ｂとの間に配置される転動体５Ｃとを有する。この軸受５により、ロータハウジング４２は、ステータハウジング４１に対して、回転軸ＡＸを中心に回転可能に支持される。

ステータハウジング４１は、ロータハウジング４２との間に、軸受５で仕切られた第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを設けて配置される。第１内部空間１００Ａは、周方向の全周に亘り第１の間隙６Ａを隔ててステータハウジング４１とロータハウジング４２とが軸方向に対向する第１のシール部７Ａが設けられており、この第１のシール部７Ａでシールされている。第２内部空間１００Ｂは、周方向の全周に亘り第３の間隙６Ｂを隔ててステータハウジング４１とロータハウジング４２とが径方向に対向する第２のシール部７Ｂが設けられており、この第２のシール部７Ｂでシールされている。第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの詳細については後述する。

図１Ａに示すように、ステータハウジング４１は、第１のステータハウジング部４１Ａ、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第２の円環状部材４１Ｅを備えている。

第１のステータハウジング部４１Ａは、円筒状の部材であり、軸受５の外輪５Ｂを軸方向に挟持する部材４１ＡＡと部材４１ＡＢとを含む。第１のステータハウジング部４１Ａは、図１Ａに示す実施形態１に係るモータ１の軸方向の上端側から下端側に向けて、部材４１ＡＡ、部材４１ＡＢの順に並び配置される。

第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡは、内周面に回転検出器３のステータが固定される。第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢは、内周面に駆動部２のステータ２１が固定される。部材４１ＡＡ及び部材４１ＡＢは、軸方向の上端側から下端側に向けて、部材４１ＡＡ、部材４１ＡＢの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｂで締結されている。

第３のステータハウジング部４１Ｂは、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡの外周面に面して嵌合する円筒部を有する。第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部の内周面には、周方向の全周に亘り径方向内側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。また、第３のステータハウジング部４１Ｂは、円筒部から径方向内側に延びる円環部を有する。第１の溝部１２Ａの上端の軸方向位置と、円環部の下面の軸方向位置とは一致している。第１の溝部１２Ａの詳細については後述する。

第３のステータハウジング部４１Ｂの円環部と、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡとの間に、円環状の第１の円環状部材４１Ｄが配置される。第１内部空間１００Ａは、周方向の全周に亘り第２の間隙８Ａを隔てて第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂの円環部とが軸方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられることによって、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。第１の絞り部９Ａの詳細については後述する。

第２のステータハウジング部４１Ｃは、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢの内周面に面して嵌合し、径方向内側に延びる円環部を有する。第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部の第２内部空間１００Ｂ側には、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第２の溝部１２Ｂが設けられている。第２の溝部１２Ｂの詳細については後述する。

また、第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部の第２内部空間１００Ｂ側には、第２の溝部１２Ｂを軸方向上端側から覆うように第２の円環状部材４１Ｅが配置される。第２内部空間１００Ｂは、周方向の全周に亘り第４の間隙８Ｂを隔てて第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部とが軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられることによって、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂと連通している。第２の絞り部９Ｂの詳細については後述する。

図１Ａに示すように、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡ、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢ、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、及び第１の円環状部材４１Ｄは、軸方向の上端側から下端側に向けて、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第１の円環状部材４１Ｄ、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡ、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＢ、第２のステータハウジング部４１Ｃの順に並び配置されている。第３のステータハウジング部４１Ｂ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第１のステータハウジング部４１Ａ（部材４１ＡＡ）は、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ａで締結されている。第１のステータハウジング部４１Ａ（部材４１ＡＢ）及び第２のステータハウジング部４１Ｃは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｃで締結されている。第２のステータハウジング部４１Ｃ及び第２の円環状部材４１Ｅは、例えば、複数本の雄ネジ等の締結部材で締結されている。

ロータハウジング４２には、モータ１を用いた半導体製造装置やフラットディスプレイ製造装置で製造される被製造物への電源ケーブルや信号ケーブルを挿通するための中空穴２３が設けられている。

図１Ａに示すように、ロータハウジング４２は、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、及び第３のロータハウジング部４２Ｃを備えている。第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、及び第３のロータハウジング部４２Ｃは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、軸受５の内輪５Ａを軸方向に挟持する。

第１のロータハウジング部４２Ａは、外周面に回転検出器３のロータが固定されている。第２のロータハウジング部４２Ｂは、外周面にロータ２２が固定されている。第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、及び第３のロータハウジング部４２Ｃは、図１Ａに示す実施形態１に係るモータ１の軸方向の上端側から下端側に向けて、第３のロータハウジング部４２Ｃ、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂの順に配置されている。第３のロータハウジング部４２Ｃ及び第１のロータハウジング部４２Ａは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ａで締結されている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｂで締結されている。

なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、第１の溝部１２Ａを設けた部材、第１の溝部１２Ａを設けた部材と共に第２の間隙８Ａを構成する部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材と共に第４の間隙８Ｂを構成する部材を含む複数の部材で構成されていれば良い。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの部材であってもよいし、２つ以上の部材で構成されていてもよい。

実施形態１に係るモータ１は、ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２、軸受５、及び回転検出器３が軸方向に並び配置される。これにより、回転軸ＡＸに対する放射方向に関するモータ１の寸法の増大が抑制され、ハウジング４の設置面積(フットプリント)の増大が抑制される。

上述した構成の実施形態１に係るモータ１は、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。

ロータハウジング４２にワーク（不図示）が載置される。駆動部２の作動によりロータハウジング４２が回転すると、ロータハウジング４２とともにワークが回転する。ロータハウジング４２は、駆動部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。

ここで、第１のシール部７Ａについて説明する。本実施形態において、第１のシール部７Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂと、第３のロータハウジング部４２Ｃとが、周方向の全周に亘り、例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度の第１の間隙６Ａを隔てて軸方向に対向している。図１Ａに示すように、本実施形態では、第３のステータハウジング部４１Ｂの内径ｒ１は、第３のロータハウジング部４２Ｃの外径ｒ２よりも小さい。従って、第１のシール部７Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂと第３のロータハウジング部４２Ｃとが、第１の間隙６Ａを隔てて軸方向に対向するＷ１の範囲で設けられる。

次に、第１の絞り部９Ａについて説明する。本実施形態において、第１の絞り部９Ａは、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと、第３のステータハウジング部４１Ｂとが、例えば数μｍから数十μｍ程度の第２の間隙８Ａを隔てて軸方向に対向し構成される。

図２Ａは、実施形態１に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ−ＩＩＢ’矢視断面図である。図２Ｃは、第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、図２Ｂと同じ断面を示す断面図である。図２Ａにおいて、第１のステータハウジング部４１Ａと第３のステータハウジング部４１Ｂとで第１の円環状部材４１Ｄを挟み固定するため、第１の円環状部材４１Ｄにはネジ穴４１Ｈが６つ設けられている。第１の円環状部材４１Ｄのネジ穴４１Ｈの数はこれに限るものではない。

図２Ａ及び図２Ｂに示すように、第１の円環状部材４１Ｄには、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓに、突出部４１Ｄｐが設けられている。図２Ｃに示すように、第１の円環状部材４１Ｄに対向する第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面（対向面）４１Ｂｓは平坦である。そして、第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面４１Ｂｓと、突出部４１Ｄｐとが当接している。第３のステータハウジング部４１Ｂに対向する突出部４１Ｄｐの面と、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓとの間に段差がある。これにより、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓと、第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面４１Ｂｓとが、第２の間隙８Ａを介して対向している。具体的には、突出部４１Ｄｐは、第１の円環状部材４１Ｄに設けたネジ穴４１Ｈの周辺の軸方向の厚みを、他の箇所（第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓ）よりも第２の間隙８Ａに相当する分だけ厚くしている。これにより、第３のステータハウジング部４１Ｂと第１の円環状部材４１Ｄとを組み合わせた際に、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとが第２の間隙８Ａを隔てて軸方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。図１Ａに示すように、本実施形態において、第１の絞り部９Ａは、第１の円環状部材４１Ｄの外径ｒ３と内径ｒ４との径方向幅Ｗ２の範囲で設けられる。

図２Ｄは、実施形態１の第１変形例に係る第３のステータハウジング部と第１の円環状部材とが固定された状態において、部分断面を示す断面図である。図２Ｄに示す位置は、図２Ｃと同じ断面である。図２Ｄに示すように、実施形態１の第１変形例において、第３のステータハウジング部４１Ｂに対向する第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓは、平坦面である。第１の円環状部材４１Ｄには、第３のステータハウジング部４１Ｂとの間に第２の間隙８Ａを設けるための段差が設けられていない。第１の円環状部材４１Ｄに対向する、第３のステータハウジング部４１Ｂの対向面４１Ｂｓには、突出部４１Ｂｐが設けられている。突出部４１Ｂｐは、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けた穴の周辺の軸方向の厚みを、第２面４１Ｂｓよりも第２の間隙８Ａに相当する分だけ厚くしている。そして、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓと、突出部４１Ｂｐとが当接している。第３のステータハウジング部４１Ｂには、第１の円環状部材４１Ｄに対向する突出部４１Ｂｐの面と、第２面４１Ｂｓとの間に段差がある。これにより、第１の円環状部材４１Ｄの基準面４１Ｄｓと、第３のステータハウジング部４１Ｂの第２面４１Ｂｓとが、第２の間隙８Ａを介して対向している。第３のステータハウジング部４１Ｂは、第１の円環状部材４１Ｄとの間に第２の間隙８Ａを設けるための段差を設けている。以上説明したように、第２の間隙８Ａは、ステータハウジング４１の第３のステータハウジング部４１Ｂと、第１の円環状部材４１Ｄとが対向する位置にあり、第１の円環状部材４１Ｄに対向する第３のステータハウジング部４１Ｂの対向面または第１の円環状部材４１Ｄに段差を有している。

図３Ａは、実施形態１の第２変形例に係る第１の円環状部材を図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図である。図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ’矢視断面図である。図３Ｃは、第３のステータハウジング部、スペーサ部材及び第１の円環状部材が固定された状態において、図３Ｂと同じ断面を示す断面図である。実施形態１の構成要素と同じ構成要素については、同じ符号を付して、説明を省略する。なお、図１Ａに示すように、第１のステータハウジング部４１Ａと第３のステータハウジング部４１Ｂとで第１の円環状部材４１Ｄを挟み固定するため、第１の円環状部材４１Ｄにはネジ穴４１Ｈが６つ設けられている。第１の円環状部材４１Ｄのネジ穴４１Ｈの数はこれに限るものではない。スペーサ部材１１は、軸方向に第２の間隙８Ａに相当する一定の厚みを有する平座金形状の部材である。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、スペーサ部材１１は、スペーサ部材１１に設けられた貫通穴の中心と、ネジ穴４１Ｈの中心とが一致するように、ネジ穴４１Ｈの周囲にそれぞれ配置されている。図３Ｃに示すように、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間に、第２の間隙８Ａを設けるためのスペーサ部材１１が挟まれる。

図１Ａに示すように、第３のステータハウジング部４１Ｂは、軸方向に直交し、ロータハウジング４２の軸方向の面４２Ｃｓと対向して第１の間隙６Ａ（第１の吸気側間隙）に面する第１面４１Ｂｔ（図１Ｂ参照）と、第２の間隙８Ａ（第１の排気側間隙）に面し、かつ上記第１面４１Ｂｔと反対側の第２面４１Ｂｓ（図２Ｃ参照）と、第１の溝部１２Ａとを備える。これにより、上記第１面４１Ｂｔの平面度、上記第２面４１Ｂｓの平面度、及び、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間の第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。ここで、実施形態１において第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法は、突出部４１Ｄｐの厚みである。実施形態１の第１変形例において第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法は、突出部４１Ｂｐの厚みである。実施形態１の第１変形例において第２の間隙８Ａを設けるための段差の寸法は、スペーサ部材１１の厚みである。

第３のステータハウジング部４１Ｂの外径ｒ６は、第１のステータハウジング部４１Ａの外径ｒ５よりも大きく、第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部は、第１のステータハウジング部４１Ａの径方向外側に面して嵌合する嵌合部を有している。第１の溝部１２Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部の周方向の全周に亘り設けられ、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａを介して、周方向の全周に亘り第１内部空間１００Ａと連通している。

また、第３のステータハウジング部４１Ｂには、第１のステータハウジング部４１Ａの外径ｒ５と第３のステータハウジング部４１Ｂの外径ｒ６との径方向幅Ｗ３の範囲で軸方向下端部に開口し、継手１４Ａを介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐ１の排気用チューブ１５Ａが接続される第１の排気穴１３Ａが第１の溝部１２Ａに連通して設けられている。そして、第３のステータハウジング部４１Ｂには、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと径方向に重なる嵌合面に周方向の全周に亘り凹部１６が設けられ、この凹部１６にＯリング１７が設けられている。このＯリング１７が第３のステータハウジング部４１Ｂと、他の構成部材、例えば第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡとの間に介在することで、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと第３のステータハウジング部４１Ｂとが径方向に重なる嵌合面の気密性が保たれる。なお、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと第３のステータハウジング部４１Ｂとが高精度に嵌合する場合には、第３のステータハウジング部４１Ｂの凹部１６の加工とＯリング１７とを省略可能であるが、これら凹部１６及びＯリング１７を設けることで、第１のステータハウジング部４１Ａの部材４１ＡＡと第３のステータハウジング部４１Ｂとの嵌合面の加工精度を粗くでき、許容範囲を広くできる。その結果、歩留りが向上する。

ここで、第２のシール部７Ｂについて説明する。本実施形態において、第２のシール部７Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃと、第２のロータハウジング部４２Ｂとが、周方向の全周に亘り、径方向に例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度の第３の間隙６Ｂを隔てて重なり構成される。本実施形態において、第２のシール部７Ｂは、図１Ａに示すように、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２のロータハウジング部４２Ｂとが、第３の間隙６Ｂを隔てて径方向に対向するＬ１の範囲で設けられる。

次に、第２の絞り部９Ｂについて説明する。本実施形態において、第２の絞り部９Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃと、第２の円環状部材４１Ｅとが、軸方向に例えば数μｍから数十μｍ程度の第４の間隙８Ｂを隔てて重なり構成される。

図４は、実施形態１における第２の円環状部材の一例を示す図である。図４は、第２の円環状部材４１Ｅを図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図を示している。図５は、実施形態１における第２のステータハウジング部の一例を示す図である。図５は、第２のステータハウジング部４１Ｃを図１ＡのＡ矢視方向に見た平面図を示している。なお、図４及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃに第２の円環状部材４１Ｅを固定するためのネジ穴を６つ設けているが、ネジ穴の数はこれに限るものではない。

図１Ｃ、図４及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する第２の円環状部材４１Ｅの面４１Ｅｓは平坦である。上述したように、第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部の第２内部空間１００Ｂ側には、全周に亘り第２の溝部１２Ｂが設けられている。溝部１２Ｂは、径方向において、面４１Ｃ１と面４１Ｃ２との間に設けられる。また、図１Ｃ、図４及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで第２の円環状部材である第２の円環状部材４１Ｅとの間に第４の間隙８Ｂを設けるための段差が設けられている。これにより、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとが第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。

本実施形態では、図１Ａに示すように、第２の円環状部材４１Ｅの内径ｒ８は、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂの内径ｒ７よりも小さい。従って、第２の絞り部９Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂの内径ｒ７と第２の円環状部材４１Ｅの内径ｒ８との径方向幅Ｗ４の範囲で設けられる。第２の溝部１２Ｂは、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂを介して、周方向の全周に亘り第２内部空間１００Ｂと連通している。

なお、上述した例とは異なり、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで段差を設けず、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面に、第２のステータハウジング部４１Ｃとの間に第４の間隙８Ｂを構成するための段差を設けるようにしてもよい。また、図１Ａに示す例では、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向内側の領域に第２の絞り部９Ｂを設ける例を示したが、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面に段差を設け、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向外側の領域に第２の絞り部９Ｂを設けてもよいし、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面に段差を設け、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向外側の領域に第２の絞り部９Ｂを設けてもよい。さらには、ネジ穴周辺のみで第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが接する構成とし、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向両側に第２の絞り部９Ｂを設けてもよい。

また、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとの間に、第４の間隙８Ｂを構成するためのスペーサ部材を設けるようにしてもよい。さらには、このスペーサ部材は、軸方向に第４の間隙８Ｂに相当する厚みを有する平座金形状の部材とし、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとが重なる径方向両側に第２の絞り部９Ｂを設けてもよい。

上述した構成により、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面の平面度、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面の平面度、及び、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間の第４の間隙８Ｂを構成するための段差の寸法を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。

また、図１Ａ及び図５において、第２のステータハウジング部４１Ｃには、軸方向に貫通して開口し、継手１４Ｂを介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐ２の排気用チューブ１５Ｂが接続される第２の排気穴１３Ｂが第２の溝部１２Ｂに連通して設けられている。

また、図１Ａに示すように、第１のステータハウジング部４１Ａには、ケーブル２００Ａ，２００Ｂを挿通させるための第１ケーブル挿通孔１９が軸方向に設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃには、第１ケーブル挿通孔１９に連通してケーブル２００Ａ，２００Ｂを挿通させるための第２ケーブル挿通孔２０が軸方向に設けられている。なお、図１Ａに示す例では、ケーブル２００Ａ用の第１ケーブル挿通孔１９及び第２ケーブル挿通孔２０を省略している。なお、第２ケーブル挿通孔２０を有する部材が、第１ケーブル挿通孔１９を有する部材と軸方向に重ねて固定される位置関係にある部材であれば、第１のステータハウジング部４１Ａと、第２のステータハウジング部４１Ｃに限られず、第２ケーブル挿通孔２０を有する部材と第１ケーブル挿通孔１９を有する部材とは、ステータハウジング４１を構成するどの部材でもよい。

図５に示すように、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とは、軸方向に重なる位置が互いにずれて設けられている。具体的には、第１のステータハウジング部４１Ａと第２のステータハウジング部４１Ｃとが軸方向に嵌合したとき、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とが軸方向に重なる開口面積がケーブル２００Ａ，２００Ｂの断面積と略一致するように、第１ケーブル挿通孔１９の径方向中心位置Ｘ１と第２ケーブル挿通孔２０の径方向中心位置Ｘ２とが異なっている。これにより、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とが軸方向に重なる開口部の気密性が保たれる。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いられることが想定されるモータや、このモータを用いて構成されたアクチュエータには、高い信頼性が要求される。また、半導体素子やフラットパネルディスプレイ等の製造においては、製造物へのダスト混入を避けるため、クリーン環境下における製造工程が必要となる。このようなクリーン環境下で用いられるモータやアクチュエータは、高い信頼性を確保するためにモータやアクチュエータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐ必要がある。

モータやアクチュエータの内部で発生する発塵としては、軸受等で用いられる潤滑グリースの発塵が考えられる。潤滑グリースから発生する発塵粒子は、半導体素子やフラットパネルディスプレイのクリーン環境下での製造工程における汚染源となり、製品価値を失うような欠陥を生じる要因となる。このため、半導体素子やフラットパネルディスプレイ等の製造工程で用いられるモータやアクチュエータでは、軸受等に使用する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースが用いられることが一般的である。

本実施形態では、上述した構成において、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の排気穴１３Ａに、吸引排気装置Ｐ１を接続する。また、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の排気穴１３Ｂに、吸引排気装置Ｐ２を接続する。そして、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２を作動させると、第１の溝部１２Ａの空気が吸い出され、第２の溝部１２Ｂの空気が吸い出される。

実施形態１に係るモータ１では、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り設けられており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂが数μｍから数十μｍ程度と極めて小さいので、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、吸引圧力を均一にすることができる。これにより、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされる。

また、上述したように、実施形態１に係るモータ１では、第１のシール部７Ａの第１の間隙６Ａ、及び、第２のシール部７Ｂの第３の間隙６Ｂが、例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂよりも大きい場合でも、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより吸引圧力を均一にすることができるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを効果的にシールすることができる。すなわち、実施形態１に係るモータ１では、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

このように、実施形態１に係るモータ１は、少ない排気量で効果的に第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂを機能させることができ、モータ１の内部の第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができる。

また、モータ１の内部で発生する発塵が第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから外部に流出するのを防ぐことができるので、実施形態１に係るモータ１においては、軸受５として、例えば転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、軸受５等の可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

また、第１の絞り部９Ａにおいて、第２の間隙８Ａの精度を管理するためには、第３のステータハウジング部４１Ｂの第１の円環状部材４１Ｄに対向する面の平面度、第１の円環状部材４１Ｄの第３のステータハウジング部４１Ｂに対向する面の平面度、及び、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間の第２の間隙８Ａを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。また、第２の絞り部９Ｂを構成する第４の間隙８Ｂの精度を管理するためには、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面の平面度、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面の平面度、及び、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間の第４の間隙８Ｂを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。このため、部品精度の管理項目が少なくなり、その結果として、モータ１の歩留りを向上することができる。

以上説明したように、実施形態１に係るモータ１は、コイル２１Ｂ及びステータコア２１Ａを備えるステータ２１と、ステータ２１の径方向内側に配置され、ステータ２１に対して相対回転するロータ２２と、ロータ２２と共に回転するロータハウジング４２と、ステータハウジング４１に対しロータハウジング４２を回転自在に支持する軸受５と、ステータ２１を固定すると共に、ロータハウジング４２との間の内部を軸受５で仕切った第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを設けて配置されるステータハウジング４１と、を備える。

ステータハウジング４１は、第１の排気穴１３Ａ及び第２の排気穴１３Ｂを有している。実施形態１に係るモータ１は、第１内部空間１００Ａと外部との間に、ステータハウジング４１とロータハウジング４２とが周方向の全周に亘り第１の間隙６Ａ（第１の吸気側間隙）を隔てて対向する第１のシール部７Ａを備える。実施形態１に係るモータ１は、この第１のシール部７Ａとは異なる位置にあり、第１内部空間１００Ａと第１の排気穴１３Ａとを繋げる第２の間隙８Ａ（第１の排気側間隙）を有する第１の絞り部９Ａを備える。

図１Ａ及び図１Ｃに示すように、実施形態１に係るモータ１は、第２内部空間１００Ｂと外部との間に、ステータハウジング４１とロータハウジング４２とが周方向の全周に亘り第３の間隙６Ｂ（第２の吸気側間隙）を隔てて対向する第２のシール部７Ｂを備える。実施形態１に係るモータ１は、第１のシール部７Ａ、第２のシール部７Ｂ及び第２の間隙８Ａとは異なる位置にあり、第２内部空間１００Ｂと第２の排気穴１３Ｂとを繋げる第４の隙間８Ｂ（第２の排気側間隙）を有する第２の絞り部９Ｂと、を備える。

上記構成により、第１の排気穴１３Ａに吸引排気装置Ｐ１を接続して吸引排気装置Ｐ１を作動させることにより、モータ１の内部の第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、モータ１の内部の第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出する可能性を抑制することができる。

実施形態１に係るモータ１は、第２の間隙８Ａと第１の排気穴１３Ａとの間に介在し、第２の間隙８Ａに沿って周方向の全周に亘りステータハウジング４１の第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａを備える。第１の排気穴１３Ａに吸引排気装置Ｐ１が接続され、吸引排気装置Ｐ１が作動することにより、空気が第１のシール部７Ａから均一に吸気され、第１の絞り部９Ａから第１の排気穴１３Ａへ第１の溝部１２Ａを介して、空気が均一に排気される。これにより、モータ１の内部の第１内部空間１００Ａが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、実施形態１に係るモータ１は、第４の間隙８Ｂと第２の排気穴１３Ｂとの間に介在し、第４の間隙８Ｂに沿って周方向の全周に亘りステータハウジング４１の第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂを備える。第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２が接続されて、吸引排気装置Ｐ２が作動することにより、空気が第２のシール部７Ｂから均一に吸気され、第２の絞り部９Ｂから第２の排気穴１３Ｂへ第２の溝部１２Ｂを介して、空気が均一に排気される。これにより、モータ１の内部の第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１の製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、実施形態１に係るモータ１は、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、実施形態１に係るモータ１は、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

（実施形態２）
図６は、実施形態２に係るモータの一例を示す断面図である。図７は、実施形態２に係るモータの図６とは異なる一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図６に示す実施形態２に係るモータ１ａは、実施形態１に係るモータ１と同様に、インナーロータ型のモータである。

図６に示すように、ステータハウジング４１は、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、第２の円環状部材４１Ｅ、軸受支持部材４１Ｆ、及び回転検出器固定部４１Ｇを備えている。第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、第２の円環状部材４１Ｅ、軸受支持部材４１Ｆ、及び回転検出器固定部４１Ｇは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。本実施形態において、第１の円環状部材４１Ｄは、第１のステータハウジング部を兼ねている。

また、図６に示すように、ロータハウジング４２は、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第３のロータハウジング部４２Ｃ、及び第４のロータハウジング部４２Ｄを備えている。第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第３のロータハウジング部４２Ｃ、及び第４のロータハウジング部４２Ｄは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、軸受５の外輪５Ｂを軸方向に挟持する。第２のロータハウジング部４２Ｂは、内周面に回転検出器３のロータが固定されている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第１のロータハウジング部４２Ａの順に配置されている。第２のロータハウジング部４２Ｂと第１のロータハウジング部４２Ａとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｃで締結されている。第４のロータハウジング部４２Ｄは、外周面にロータ２２が固定されている。第２のロータハウジング部４２Ｂ及び第３のロータハウジング部４２Ｃは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、第２のロータハウジング部４２Ｂ、第４のロータハウジング部４２Ｄの順に配置されている。第２のロータハウジング部４２Ｂと、第４のロータハウジング部４２Ｄとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材（不図示）で締結されている。第２のロータハウジング部４２Ｂ及び第４のロータハウジング部４２Ｄは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、第４のロータハウジング部４２Ｄ、第２のロータハウジング部４２Ｂの順に配置されている。第２のロータハウジング部４２Ｂと、第４のロータハウジング部４２Ｄとは、例えば、複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｄで締結されている。

ステータハウジング４１の第１の円環状部材４１Ｄは、駆動部２のステータ２１が内周面に固定される円筒部４１Ｄａを有する。また、第１の円環状部材４１Ｄは、軸受支持部材４１Ｆと共に軸受５の内輪５Ａを軸方向に挟持する。回転検出器固定部４１Ｇは、外周面に回転検出器３のステータが固定されている。第１の円環状部材４１Ｄ及び軸受支持部材４１Ｆは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、軸受支持部材４１Ｆ、第１の円環状部材４１Ｄの順に配置されている。軸受支持部材４１Ｆと、第１の円環状部材４１Ｄとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｃで締結されている。第１の円環状部材４１Ｄ及び回転検出器固定部４１Ｇは、図６の軸方向の上端側から下端側に向けて、回転検出器固定部４１Ｇ、第１の円環状部材４１Ｄの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材（不図示）で締結されている。

第３のステータハウジング部４１Ｂの外周面には、周方向の全周に亘り径方向外側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。また、第３のステータハウジング部４１Ｂは、径方向外側に張り出した顎部４１Ｂｂを有する。第３のステータハウジング部４１Ｂは、顎部４１Ｂｂが第１の円環状部材４１Ｄの凹部４１Ｄｂに嵌め合わされ、第３のステータハウジング部４１Ｂの外周面と第１の円環状部材４１Ｄの内周面との間に、周方向の全周に亘り径方向に第２の間隙８Ａを隔てて径方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。これにより、第１内部空間１００Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂの円筒部４１Ｂｃの外周面に設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。

また、第３のステータハウジング部４１Ｂの内周面は、第３のロータハウジング部４２Ｃとの間に、周方向の全周に亘り径方向に第１の間隙６Ａを隔てて径方向に対向する第１のシール部７Ａが設けられる。第３のステータハウジング部４１Ｂと、第１の円環状部材４１Ｄとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｄで締結されている。

図６において、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで第２の円環状部材である第２の円環状部材４１Ｅとの間に第４の間隙８Ｂを設けるための段差が設けられている。これにより、第２のステータハウジング部４１Ｃと第２の円環状部材４１Ｅとを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとが第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅ側には、面４１Ｃ１よりも軸方向に突出する突出部４１Ｃａが環状に設けられる。突出部４１Ｃａの外周面が第１の円環状部材４１Ｄの円筒部４１Ｄａの内周面に嵌め合わされ、突出部４１Ｃａの内周面が第２の円環状部材４１Ｅの外周面と接して、第２の円環状部材４１Ｅの径方向の位置決めをする。突出部４１Ｃａの外周面には、周方向の全周に亘り凹部１６ａが設けられ、この凹部１６ａにＯリング１７が設けられている。このＯリング１７ａが第３のステータハウジング部４１Ｂと、第１の円環状部材４１Ｄの円筒部４１Ｄａの内周面との間に介在することで、気密性が保たれる。また、第２のステータハウジング部４１Ｃは、第２の円環状部材４１Ｅが設けられる側の面に、周方向の全周に亘り軸方向下端側に開口した凹形状を成す第２の溝部１２Ｂが設けられている。

第２の円環状部材４１Ｅは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂを軸方向下側から覆うように配置され、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。これにより、第２内部空間１００Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂと連通している。

また、第２のステータハウジング部４１Ｃの軸方向上端面は、第３のロータハウジング部４２Ｃとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第３の間隙６Ｂを隔てて軸方向に対向する第２のシール部７Ｂが設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃ及び第１の円環状部材４１Ｄは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた円環部の外周面が第１の円環状部材４１Ｄの円筒部の内周面に外周面が嵌め合わされ、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｅで締結されている。

なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、第１の溝部１２Ａを設けた部材、第１の溝部１２Ａを設けた部材と共に第２の間隙８Ａを構成する部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材と共に第４の間隙８Ｂを構成する部材を含む複数の部材で構成されていれば良い。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの部材であってもよいし、２つ以上の部材で構成されていてもよい。

また、図７に示すモータ１ｂでは、第３のステータハウジング部４１Ｂａの軸方向上端面に、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。また、第３のステータハウジング部４１Ｂａは、径方向外側に張り出した顎部を有する。第３のステータハウジング部４１Ｂａは、顎部が第１の円環状部材４１Ｄに嵌め合わされ、第３のステータハウジング部４１Ｂａと第１の円環状部材４１Ｄとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第２の間隙８Ａを隔てて軸方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。これにより、第１内部空間１００Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂａの軸方向上端面に設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。

図６及び図７に示すように、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２と軸受５とが径方向に並び配置され、軸受５と回転検出器３とが軸方向に並び配置される。これにより、軸方向に関するモータ１ａ，１ｂの寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。

上述した構成の実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。

ロータハウジング４２にワーク（不図示）が載置される。駆動部２の作動によりロータハウジング４２が回転すると、ロータハウジング４２とともにワークが回転する。ロータハウジング４２は、駆動部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。

なお、第１のシール部７Ａおける第１の間隙６Ａ、第２のシール部７Ｂにおける第３の間隙６Ｂ、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ、及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの各構成については、実施形態１に係るモータ１と同様である。

すなわち、本実施形態に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、実施形態１に係るモータ１と同様に、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り設けられており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂが数μｍから数十μｍ程度と極めて小さくすることで、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、吸引圧力を均一にすることができる。これにより、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされる。

また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、実施形態１に係るモータ１と同様に、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの第１の間隙６Ａ及び第３の間隙６Ｂが例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ａ及び第４の間隙８Ｂよりも大きい場合でも、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより吸引圧力を均一にすることができるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを効果的にシールすることができる。すなわち、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、実施形態１に係るモータ１と同様に、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

このように、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、少ない排気量で効果的に第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂを機能させることができ、モータ１ａ，１ｂの内部の第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができる。

また、実施形態１に係るモータ１と同様に、モータ１ａ，１ｂの内部で発生する発塵が第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから外部に流出するのを防ぐことができるので、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂにおいても、軸受５として、例えば転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、実施形態１に係るモータ１と同様に、軸受５等の可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

また、本実施形態に係るモータ１ａ，１ｂにおいて、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａの精度を管理するためには、第３のステータハウジング部４１Ｂ，４１Ｂａの第１の円環状部材４１Ｄに対向する面の精度、第１の円環状部材４１Ｄの第３のステータハウジング部４１Ｂ，４１Ｂａに対向する面の精度、及び、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂ，４１Ｂａとの間の第２の間隙８Ａを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。また、第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するためには、第２のステータハウジング部４１Ｃの第２の円環状部材４１Ｅに対向する面の精度、第２の円環状部材４１Ｅの第２のステータハウジング部４１Ｃに対向する面の精度、及び、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間の第４の間隙８Ｂを構成する段差の寸法を管理項目として設けていれば良い。このため、部品精度の管理項目が少なくなり、その結果として、モータ１ａ，１ｂの歩留りを向上することができる。

以上説明したように、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、空気が第１のシール部７Ａから均一に吸気され、第１の絞り部９Ａから第１の排気穴１３Ａを介して均一に排気される。これにより、モータ１ａ，１ｂの内部の第１内部空間１００Ａが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、空気が第２のシール部７Ｂから均一に吸気され、第２の絞り部９Ｂから第２の排気穴１３Ｂを介して均一に排気される。これにより、モータ１ａ，１ｂの内部の第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ａ，１ｂの製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、実施形態１に係るモータ１と同様に、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

また、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂは、ステータ２１及びロータ２２を含む駆動部２と軸受５とが径方向に並び配置され、軸受５と回転検出器３とが軸方向に並び配置される。これにより、軸方向に関するモータ１ａ，１ｂの寸法、つまり、軸方向の高さの増大を抑制することができる。

（実施形態３）
図８は、実施形態３に係るモータの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、インナーロータ型のモータである。

図８に示すように、ステータハウジング４１は、第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第２の円環状部材４１Ｅを備えている。第３のステータハウジング部４１Ｂ、第２のステータハウジング部４１Ｃ、第１の円環状部材４１Ｄ、及び第２の円環状部材４１Ｅは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。実施形態３において、第２のステータハウジング部４１Ｃは、第１のステータハウジング部を兼ねている。

また、図８に示すように、ロータハウジング４２は、２つの第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂを備えている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、それぞれ円環状または円筒状の部材である。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、軸受５の外輪５Ｂを軸方向に挟持する。第２のロータハウジング部４２Ｂは、外周面にロータ２２が固定されている。また、第２のロータハウジング部４２Ｂは、内周面に回転検出器３のロータが固定されている。第１のロータハウジング部４２Ａ及び第２のロータハウジング部４２Ｂは、図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃの軸方向の上端側から下端側に向けて、第１のロータハウジング部４２Ａ、第２のロータハウジング部４２Ｂの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９２Ｅで締結されている。

第３のステータハウジング部４１Ｂには、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第１の溝部１２Ａが設けられている。第３のステータハウジング部４１Ｂの内周面には、回転検出器３のステータが固定される。

第１の円環状部材４１Ｄは、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａを軸方向上端側から覆うように配置され、第１の円環状部材４１Ｄと第３のステータハウジング部４１Ｂとの間に、周方向の全周に亘り径方向に第２の間隙８Ａを隔てて径方向に対向する第１の絞り部９Ａが設けられる。これにより、第１内部空間１００Ａは、第３のステータハウジング部４１Ｂに設けられた第１の溝部１２Ａと連通している。

また、第１の円環状部材４１Ｄの軸方向上端面は、第１のロータハウジング部４２Ａとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第１の間隙６Ａを隔てて軸方向に対向する第１のシール部７Ａが設けられる。第３のステータハウジング部４１Ｂ及び第１の円環状部材４１Ｄは、図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃの軸方向の上端側から下端側に向けて、第１の円環状部材４１Ｄ、第３のステータハウジング部４１Ｂの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｆで締結されている。

第２のステータハウジング部４１Ｃは、第３のステータハウジング部４１Ｂと共に軸受５の内輪５Ａを軸方向に挟持する。第２のステータハウジング部４１Ｃと、第３のステータハウジング部４１Ｂとは、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材９１Ｅで締結されている。また、第２のステータハウジング部４１Ｃは、軸受５の内輪５Ａの固定部から径方向に延びる円環部を有し、この円環部の径方向端部に、ステータ２１が固定される。また、第２のステータハウジング部４１Ｃの円環部には、周方向の全周に亘り軸方向上端側に開口した凹形状を成す第２の溝部１２Ｂが設けられている。

第２の円環状部材４１Ｅは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂを軸方向上端側から覆うように配置され、第２の円環状部材４１Ｅと第２のステータハウジング部４１Ｃとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第４の間隙８Ｂを隔てて軸方向に対向する第２の絞り部９Ｂが設けられる。これにより、第２内部空間１００Ｂは、第２のステータハウジング部４１Ｃに設けられた第２の溝部１２Ｂと連通している。

また、第２の円環状部材４１Ｅの軸方向上端面は、第２のロータハウジング部４２Ｂとの間に、周方向の全周に亘り軸方向に第３の間隙６Ｂを隔てて軸方向に対向する第２のシール部７Ｂが設けられる。第２のステータハウジング部４１Ｃ及び第２の円環状部材４１Ｅは、図８に示す実施形態３に係るモータ１ｃの軸方向の上端側から下端側に向けて、第２の円環状部材４１Ｅ、第２のステータハウジング部４１Ｃの順に配置され、例えば、周方向に配置された複数本の雄ネジ等の締結部材（不図示）で締結されている。

なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、第１の溝部１２Ａを設けた部材、第１の溝部１２Ａを設けた部材と共に第２の間隙８Ａを構成する部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材、第２の溝部１２Ｂを設けた部材と共に第４の間隙８Ｂを構成する部材を含む複数の部材で構成されていれば良い。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの部材であってもよいし、３つ以上の部材で構成されていてもよい。

本実施形態では、軸受５は、転動体５Ｃとして円筒形のクロスローラを用いたクロスローラ軸受であることが好ましい。クロスローラ軸受は、クロスローラと内輪５Ａ及び外輪５Ｂとが線接触するため、大きな荷重に耐え得るという利点がある。また、隣り合うクロスローラで回転軸が互いに９０°傾斜しているため、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。

図８に示すように、実施形態３に係るモータ１ｃは、駆動部２、軸受５、及び回転検出器３が径方向に並び配置される。具体的には、回転軸ＡＸに近い方から、回転検出器３、軸受５、駆動部２、の順に並び配置される。これにより、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂよりも、モータ１ｃの軸方向の寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。

また、図８に示すように、実施形態３に係るモータ１ｃは、ステータ２１の軸方向一端部（上端部）及び回転検出器３の軸方向他端部（下端部）からの異物の侵入を防ぐために、第１保護用カバー部材１８ａと第２保護用カバー部材１８ｂとを設けている。

なお、上述した本実施形態に係るモータ１ｃは、軸受５で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐことを目的としている。すなわち、駆動部２や回転検出器３では発塵が発生しないことを前提としている。このため、実施形態１及び実施形態２に示すようなモータ１ｃの内部の空間全体をシールする構造とする必要がなく、モータ１ｃを大型化することなく、クリーン環境下での使用に耐え得るモータ１ｃを得ることができる。

上記したように構成されたモータ１ｃは、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。

ロータハウジング４２にワーク（不図示）が載置される。駆動部２の作動によりロータハウジング４２が回転すると、ロータハウジング４２とともにワークが回転する。ロータハウジング４２は、駆動部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。

なお、第１のシール部７Ａにおける第１の間隙６Ａ、第２のシール部７Ｂにおける第３の間隙６Ｂ、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ、及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの構成については、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様である。

すなわち、本実施形態に係るモータ１ｃにおいても、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り設けられており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ、及び、第２の絞り部９Ｂの第４の間隙８Ｂが数μｍから数十μｍ程度と極めて小さくすることで、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、吸引圧力を均一にすることができる。これにより、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされる。

また、実施形態３に係るモータ１ｃにおいても、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの第１の間隙６Ａ及び第３の間隙６Ｂが例えば０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ａ及び第４の間隙８Ｂよりも大きい場合でも、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより吸引圧力を均一にすることができるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂを効果的にシールすることができる。すなわち、実施形態３に係るモータ１ｃにおいても、実施形態１に係るモータ１、及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａ及び第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

以上説明したように、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、空気が第１のシール部７Ａから均一に吸気され、第１の絞り部９Ａから第１の排気穴１３Ａを介して均一に排気される。これにより、モータ１ｃの内部の第１内部空間１００Ａが効果的にシールされるので、第１内部空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、空気が第２のシール部７Ｂから均一に吸気され、第２の絞り部９Ｂから第２の排気穴１３Ｂを介して均一に排気される。これにより、モータ１ｃの内部の第２内部空間１００Ｂが効果的にシールされるので、第２内部空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、第１の絞り部９Ａにおける第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂにおける第４の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ｃの製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、実施形態３に係るモータ１ｃは、実施形態１に係るモータ１及び実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂと同様に、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

さらに、実施形態３に係るモータ１ｃは、軸受５をクロスローラ軸受とすることで、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。

また、実施形態３に係るモータ１ｃは、駆動部２、軸受５、及び回転検出器３が径方向に並び配置される。これにより、実施形態２に係るモータ１ａ，１ｂよりも、モータ１ｃの軸方向の寸法、つまり、軸方向の高さの増大を抑制することができる。

さらに、駆動部２や回転検出器３では発塵が発生しないことを前提としたモータに対し、実施形態３に係るモータ１ｃにおける構造を適用することで、モータ１ｃを大型化することなく、クリーン環境下での使用に耐え得るモータ１ｃを得ることができる。

図９は、本実施形態に係るモータの適用例を示す図である。本実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、例えば、クリーン環境４００のもとで半導体製造装置４０１やフラットディスプレイ製造装置４０２で用いられる。モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、ハウジング（筐体）の一部（ステータハウジング）が締結部材で基台５００に支持されている。なお、締結部材はネジ、ボルト、ピン等である。これにより、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、基台５００に固定される。

アクチュエータ７００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃのいずれかと、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃにより駆動される被駆動物６００とを備える。被駆動物６００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃのハウジング（筐体）の一部（ステータハウジング）に締結部材で支持されている。なお、締結部材はネジ、ボルト、ピン等である。これにより、被駆動物６００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃに固定される。

被駆動物６００の上部には、被製造物８００が配置される。基台５００には、中空穴５０１が設けられ、被駆動物６００には、中空穴６０１が設けられている。

被製造物８００に電源や信号を供給するケーブル９００は、基台５００の中空穴５０１、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃの中空穴２３、被駆動物６００の中空穴６０１に挿通され、被製造物８００に接続される。

上述したように、本実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃは、内部で発生した発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができるので、この実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃや、この実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃを用いて構成したアクチュエータ７００は、例えば、図９に示すようなクリーン環境４００のもとで半導体製造装置４０１やフラットディスプレイ製造装置４０２に用いるのに適している。

１，１ａ，１ｂ，１ｃ モータ
２ 駆動部
３ 回転検出器
４ ハウジング
５ 軸受
５Ａ 内輪
５Ｂ 外輪
５Ｃ 転動体
６Ａ 第１の間隙（第１の吸気側間隙）
６Ｂ 第３の間隙（第２の吸気側間隙）
７Ａ 第１のシール部
７Ｂ 第２のシール部
８Ａ 第２の間隙（第１の排気側間隙）
８Ｂ 第４の間隙（第２の排気側間隙）
９Ａ 第１の絞り部
９Ｂ 第２の絞り部
１１ スペーサ部材
１２Ａ 第１の溝部
１２Ｂ 第２の溝部
１３Ａ 第１の排気穴
１３Ｂ 第２の排気穴
１４Ａ，１４Ｂ 継手
１５Ａ，１５Ｂ 排気用チューブ
１６ 凹部
１７ Ｏリング
１８ａ 第１保護用カバー部材
１８ｂ 第２保護用カバー部材
１９ 第１ケーブル挿通孔
２０ 第２ケーブル挿通孔
２１ ステータ
２１Ａ ステータコア
２１Ｂ コイル
２２ ロータ
２３ 中空穴
４１ ステータハウジング
４１Ａ 第１のステータハウジング部
４１ＡＡ，４１ＡＢ 部材（第１のステータハウジング部）
４１Ｂ，４１Ｂａ 第３のステータハウジング部
４１Ｃ 第２のステータハウジング部
４１Ｄ 第１の円環状部材
４１Ｅ 第２の円環状部材
４１Ｆ 軸受支持部材
４１Ｇ 回転検出器固定部
４２ ロータハウジング
４２Ａ 第１のロータハウジング部
４２Ｂ 第２のロータハウジング部
４２Ｃ 第３のロータハウジング部
４２Ｄ 第４のロータハウジング部
１００Ａ 第１内部空間
１００Ｂ 第２内部空間
２００Ａ，２００Ｂ ケーブル
４００ クリーン環境
４０１ 半導体製造装置
４０２ フラットディスプレイ製造装置
５００ 基台
５０１ 中空穴（基台）
６００ 被駆動物
６０１ 中空穴（被駆動物）
７００ アクチュエータ
８００ 被製造物
９００ ケーブル（被製造物）
ＡＸ 回転軸
Ｐ１，Ｐ２ 吸引排気装置

Claims (18)

1. コイル及びステータコアを備えるステータと、
   前記ステータの径方向内側に配置され、前記ステータに対して相対回転するロータと、
   前記ロータと共に回転するロータハウジングと、
   吸引排気するための第１の排気穴を備えると共に、前記ステータを固定するステータハウジングと、
   前記ステータハウジングに対し前記ロータハウジングを回転自在に支持する軸受と、
   前記ステータハウジングの内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて対向する第１のシール部と、
   前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる第２の間隙を有する第１の絞り部と、を備えるモータ。
2. 前記第２の間隙と前記第１の排気穴との間に介在し、前記第２の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第１の溝部をさらに備える請求項１に記載のモータ。
3. 前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第１の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第１の円環状部材に段差を有している、請求項１または請求項２に記載のモータ。
4. 前記第２の間隙は、前記ステータハウジングと、第１の円環状部材とが対向する位置にあり、
   前記ステータハウジングと前記第１の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えている、請求項１または請求項２に記載のモータ。
5. 前記内部空間は、前記軸受によって第１内部空間と第２内部空間とに仕切られ、
   前記ステータハウジングは、第２の排気穴をさらに含み、
   前記第１内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り前記第１の間隙を隔てて対向する前記第１のシール部と、
   前記第１のシール部とは異なる位置にあり、前記第１内部空間と前記第１の排気穴とを繋げる前記第２の間隙を有する前記第１の絞り部と、
   前記第２内部空間と外部との間に、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとが周方向の全周に亘り第３の間隙を隔てて対向する第２のシール部と、
   前記第１のシール部、前記第２のシール部及び前記第１の絞り部とは異なる位置にあり、前記第２内部空間と前記第２の排気穴とを繋げる第４の間隙を有する第２の絞り部と、を備える請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のモータ。
6. 前記第４の間隙と前記第２の排気穴との間に介在し、前記第４の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに設けられた第２の溝部をさらに備える請求項５に記載のモータ。
7. 前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、前記第２の円環状部材に対向する前記ステータハウジングの対向面または前記第２の円環状部材に段差を有している、請求項５または請求項６に記載のモータ。
8. 前記第４の間隙は、前記ステータハウジングと、第２の円環状部材とが対向する位置にあり、
   前記ステータハウジングと前記第２の円環状部材との間に介在するスペーサ部材を備えている、請求項５または請求項６に記載のモータ。
9. 前記ステータハウジングは、
   前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向にモータ駆動用あるいは位置検出用のケーブルを挿通させるための第１ケーブル挿通孔を備える第１のステータハウジング部と、
   前記第１のステータハウジング部と前記軸方向に重ねて固定され、前記軸方向に前記ケーブルを挿通させるための第２ケーブル挿通孔を備える第２のステータハウジング部材とを含み、
   前記第１のステータハウジング部と前記第２のステータハウジング部とが前記軸方向に重ねて固定されたとき、前記第１ケーブル挿通孔と前記第２ケーブル挿通孔とが前記軸方向に重なる開口面積が前記ケーブルの断面積と略一致するように、前記第１ケーブル挿通孔の径方向中心位置と前記第２ケーブル挿通孔の径方向中心位置とが異なっている、
   請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のモータ。
10. 前記ステータハウジングは、
    前記ロータの回転軸と平行な方向の軸方向に直交し、前記ロータハウジングと対向して第１の間隙に面する第１面と、前記第２の間隙に面し、かつ前記第１面と反対側の第２面と、前記第１の溝部とを備える溝部構成部材と、
    前記溝部構成部材と前記ステータハウジングを構成する他の構成部材との間に介在するＯリングとを備える、請求項２に記載のモータ。
11. 前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、
    前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが軸方向に並び配置されている、
    請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のモータ。
12. 前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、
    前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受とが径方向に並び配置され、前記軸受と前記回転検出器とが軸方向に並び配置されている、
    請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のモータ。
13. 前記ステータに対する前記ロータの回転を検出する回転検出器を備え、
    前記ステータ及び前記ロータを含む駆動部と、前記軸受と、前記回転検出器とが径方向に並び配置されている、
    請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のモータ。
14. 前記軸受は、転がり軸受あるいはすべり軸受である、請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のモータ。
15. 前記軸受は、クロスローラ軸受である、請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のモータ。
16. 請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のモータと、
    前記モータにより駆動される被駆動物と、
    を含み構成された、アクチュエータ。
17. 請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のモータを備えた、半導体製造装置。
18. 請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のモータを備えた、フラットディスプレイ製造装置。

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