WO2017208543A1 - リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器 - Google Patents

リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器 Download PDF

Info

Publication number
WO2017208543A1
WO2017208543A1 PCT/JP2017/007664 JP2017007664W WO2017208543A1 WO 2017208543 A1 WO2017208543 A1 WO 2017208543A1 JP 2017007664 W JP2017007664 W JP 2017007664W WO 2017208543 A1 WO2017208543 A1 WO 2017208543A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
leak
work
pseudo
workpiece
leaker
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/007664
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
真央 平田
努 原
直人 出雲
正春 杉原
Original Assignee
株式会社フクダ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社フクダ filed Critical 株式会社フクダ
Priority to US16/301,906 priority Critical patent/US11248984B2/en
Priority to DE112017002705.5T priority patent/DE112017002705B4/de
Priority to JP2018520660A priority patent/JP6857179B2/ja
Publication of WO2017208543A1 publication Critical patent/WO2017208543A1/ja
Priority to US17/556,042 priority patent/US11860065B2/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3236Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers
    • G01M3/3263Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers using a differential pressure detector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/28Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds
    • G01M3/2807Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for pipes
    • G01M3/2815Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for pipes using pressure measurements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3281Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/007Leak detector calibration, standard leaks

Definitions

  • the present invention relates to a leak test method having a pseudo leak process and a pseudo leaker used in the leak test.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 9-72817
  • a hollow work and a master container are connected to the downstream ends of these branch passages, respectively.
  • a valve is disposed in each of the two branch passages, and a differential pressure sensor is connected between the branch passages downstream of the valve.
  • Patent Document 1 discloses an embodiment in which a work is directly connected to a branch passage, it is also known to connect a work capsule to the branch passage and seal a hollow work in the work capsule. Hereinafter, the latter will be described as an example.
  • the difference between the pressure in the work capsule and the pressure in the master container is detected by a differential pressure sensor. If the work has a defect such as a pinhole, the test pressure in the work capsule leaks into the work, so the pressure of the work capsule is reduced. When the differential pressure detected by the differential pressure sensor exceeds a threshold, it is determined that the workpiece is a defective product having a pinhole.
  • a pseudo leaker is connected to a branch passage on the work side of the leak test device.
  • This pseudo leaker is configured such that the atmospheric pressure reduced leakage amount is a predetermined amount with respect to the test pressure.
  • the simulated leak process is carried out at the time of delivery to the user and periodically after delivery.
  • the pseudo leak step similar to the above-mentioned leak test step, after the test pressure is supplied to the work capsule and the master container to shut off the two branch paths, the pseudo leak is caused from the pseudo leaker.
  • the pressure on the work capsule side is reduced, and the differential pressure is detected by the differential pressure sensor.
  • the detected differential pressure in the pseudo leak step corresponds to a known atmospheric pressure reduced leak amount, and can be used as reference data for a leak test. For example, if the atmospheric pressure reduced leak amount in the pseudo leak step is the allowable limit value, the detected differential pressure can be used as a threshold value for determining whether the workpiece is good or bad in the leak test step.
  • the present invention comprises a leak test step in which a hollow workpiece to be tested is sealed in a workpiece capsule, and a test pressure is applied from a passage connected to the workpiece capsule.
  • a leak test method of detecting a pressure fluctuation in a work capsule in the state of supplying and interrupting the passage, and judging the leak of the work based on the detection output Furthermore, the dummy leak process is provided, and in this dummy leak process, a dummy leaker having a known pinhole is attached to the same workpiece for the false leak as the workpiece to be tested, and the workpiece for the false leak is attached to the workpiece capsule.
  • Sealing supplying the test pressure to the work capsule from the passage, and blocking the passage, cause the work for the work on the work on the work on the work with the work on the work through the work on the work on the work on the work. It is characterized by detecting pressure fluctuation in a work capsule. According to the above method, in the same situation as in the case where the workpiece to be tested has a pinhole in the workpiece capsule, a false leak can be generated, and the pressure fluctuation of the workpiece capsule detected at the false leak is leak test Can be used as reliable reference data for
  • an opening is formed in advance on the workpiece for the pseudo leakage, and the pseudo leaker is attached to the periphery of the opening, and in the pseudo leak step, pinholes of the pseudo leaker And create an artificial leak through the opening.
  • the above method is particularly effective when there is no existing opening in the work and the work is formed of a sheet, a bag or the like.
  • Another aspect of the present invention is a leak test pseudo leaker characterized by comprising a base on which a pinhole is formed and an attachment structure to a work provided on the periphery of the base. . According to the above configuration, the structure of the pseudo leaker can be simplified.
  • the substrate and the mounting structure are flexible. According to the above configuration, attachment to a work is easy.
  • the apparatus further comprises a filter attached to both sides of the base material to cover the pinhole. According to the above configuration, it is possible to prevent a fine pinhole from being clogged with dust.
  • the base material is thin and flexible
  • the attachment structure has a thin and flexible sealing material having an opening formed at the center, and any one surface of the sealing material
  • the peripheral portion of the above-mentioned base material is adhered to the radially inner annular region in the above, and the adhesive layer for adhering to the work is formed in the radially outer annular region on either side of the above sealing material .
  • an auxiliary sealing material is detachably attached to the surface of the sealing material opposite to the adhesive layer, and covers the opening of the sealing material.
  • the reference value for the leak test can be obtained easily and with high accuracy.
  • the leak test apparatus includes a common passage 1 and branch passages 2a and 2b connected to the downstream end of the common passage 1, respectively.
  • a pressure source 3 is connected to the upstream end of the common passage 1.
  • the pressure source 3 of the present embodiment is a pressurized air source.
  • the common passage 1 is provided with a regulator 4 and a three-way valve 5 downstream thereof.
  • the branch passages 2a and 2b are provided with valves 6a and 6b (on-off valve or two-way valve), respectively.
  • the auxiliary passages 7a and 7b are respectively connected to the downstream sides of the valves 6a and 6b in the branch passages 2a and 2b, and the auxiliary passages 7a and 7b respectively include the valves 8a and 8b and the tanks 9a and 9b of the same volume. 9b is connected.
  • Two ports of a differential pressure sensor 10 are connected to the downstream side of the on-off valves 6a and 6b in the branch passages 2a and 2b, thereby detecting a differential pressure between the branch passages 2a and 2b.
  • a differential pressure sensor 10 pressure sensor
  • the work capsule 11 is connected to the downstream end of the branch passage 2a, and the master container 12 is connected to the branch passage 2b.
  • the work capsule 11 is composed of two capsule halves that can be opened and closed, and can be sealed in a state of containing a work described later.
  • the master container 12 is schematically shown in the figure, but may be, for example, a closed container having the same volume as the work capsule 11 or may have the same structure as the work capsule.
  • the master container 12 contains the same work as the test object for which it has been confirmed that there is no leak.
  • the valves 5, 6a, 6b, 8a, 8b are sequence-controlled by a controller (not shown).
  • the controller also performs opening / closing of the work capsule 11, and determination of the quality of the work (determination of the presence or absence of leakage) based on the detected differential pressure with the differential pressure sensor 10.
  • the hollow work to be tested in the present embodiment is a packaging container 20 for medicine.
  • simulation leak mentioned later is shown by FIG. 6, this packaging container 20' for pseudo
  • the packaging container 20 to be tested will be described with reference to FIG.
  • the packaging container 20 to be tested is configured by welding a resin base sheet 21 and a transparent resin cover sheet 22 having a plurality of bulging portions 22a.
  • a sealed space 23 is formed by the respective bulging portions 22 a and the base sheet 21, and the tablet 25 is accommodated in the sealed space 23.
  • a pseudo leaker 30, which will be described later, is attached to the pseudo leak packaging container 20, and a hole 29 is formed in the base sheet 21.
  • the packaging container 20 to be tested is determined in the state of being accommodated in the work capsule 11 as shown in FIG.
  • the leak test process includes a micro leak detection process and a large leak detection process, but the micro leak detection process relates to the present invention. A brief description will be given below.
  • the packaging container 20 is accommodated in the work capsule 11 and sealed.
  • the test pressure from the pressure source 3 is supplied to the work capsule 11 and the master container 12 via the branch passages 2a and 2b.
  • the valves 6a and 6b are closed, and the downstream branch passages 2a and 2b are isolated from each other.
  • the process proceeds to the minute leak detection step. That is, the differential pressure detected by the differential pressure sensor 10 after a predetermined time has elapsed since the valves 6a and 6b are closed is compared with the first threshold value. If the packaging container 20 has a defect such as a minute pinhole, the pressurized air in the work capsule 11 enters the sealed space 23 of the packaging container 20, and as a result, the pressure in the work capsule 11 gradually decreases from the test pressure. Do. On the other hand, the test pressure is maintained in the master container 12. As a result, a difference occurs between the pressure in the work capsule 11 and the pressure in the master container 12. The differential pressure (pressure fluctuation of the work capsule 11) is detected by the differential pressure sensor 10. If the detected differential pressure is larger than the first threshold, it is determined that a minute leak exists, and if the detected differential pressure is smaller than a first threshold, it is determined that the packaging container 20 does not have a minute leak.
  • the test pressure is supplied at the same time as the test pressure enters the sealed space 23 having the pinhole (a large leak), so the leak in the minute leak detection step It is because it can not detect.
  • the valves 8a and 8b are opened to make the tanks 9a and 9b communicate with the branch passage 2a and the branch passage 2b, respectively. Since the tanks 9a and 9b are at atmospheric pressure, the test pressure in the work capsule 11 and the master container 12 escapes to the tanks 9a and 9b and is divided. The pressure of the work side passage 2a is higher than the pressure of the master side passage 2b by the amount of the pressurized air in the sealed space 23 where the large leak has occurred. This differential pressure is compared with the second threshold by the differential pressure sensor 10, and if it exceeds the second threshold, it is determined that the packaging container 20 has a large leak.
  • the pseudo leak process is performed at the time of delivery of the leak test device and at the time of periodic inspection and the like. This is to evaluate the performance of the leak test apparatus, set a threshold in the minute leak detection step, and obtain reference data for calibrating the detection output.
  • the simulated leak packaging container 20 'accommodated in the work capsule 11 is simulated. Mount the leaker 30.
  • the pseudo leaker 30 will be described in detail below.
  • the pseudo-leakage device 30 is attached to a circular base 31, a circular filter 32 attached to both sides of the base 31, and a peripheral portion of the base 31. It is made of an annular seal material 33, and has a thin and flexible shape.
  • the base 31 is made of a metal thin film such as stainless steel, and has a diameter of 9.5 mm and a thickness of 15 ⁇ m, for example.
  • the substrate 31 may be another metal, glass, resin, ceramic or the like.
  • a pinhole 31a is formed at the center of the base material 31 at the center of the base material 31 at the center of the base material 31 at the center of the base material 31, a pinhole 31a is formed.
  • the diameter of the pinhole 31a is, for example, 1 ⁇ m to several tens of ⁇ m.
  • the pair of filters 32 is for preventing the fine pinholes 31a of the base material 31 from being clogged with dust, and the resin, glass fiber, resin fiber, ceramic fiber, etc. that has become porous by drawing And the like.
  • the filter 32 has, for example, a diameter of 4.5 mm and a thickness of 0.1 mm.
  • the peripheral portion of the filter 32 is adhered to the base 31 by the adhesive layer 35.
  • the adhesive layer 35 is not disposed at the central portion of the base 31 including the pinhole 31a.
  • the sealing material 33 is made of resin, and has an opening 33a at its center. One filter 32 is disposed in the opening 33a.
  • the sealing material 33 has, for example, an outer diameter 14 5 mm, an inner diameter 5.8 mm, and a thickness 0.2 mm, and the adhesive layer 36 is applied over the entire area of one surface.
  • the peripheral portion of the base material 31 is adhered to the radially inner annular region of the sealing material 33 by the adhesive layer 36.
  • the adhesive layer 36 is exposed in the radially outer annular region of the sealing material 33.
  • the sealing material 33 and the adhesive layer 36 are provided as a mounting structure A for mounting the base 31 on the pseudo leak packaging container 20 ′.
  • the adhesive layer 36 in the annular region in the radially outer side of the sealing material 33 may be formed on the opposite surface of the base 31.
  • the dimensions of the components of the above-described pseudo leaker 30 are appropriately selected according to the work to be tested.
  • the pinhole 31a of the above-mentioned pseudo leaker 30 has known characteristics. That is, the pseudo leaker 30 measures the atmospheric pressure conversion leak amount beforehand by test pressure provision. Pseudo leakers 30 having various leakage characteristics may be prepared and selected according to the work. The size itself of the pinhole 31a may be measured in advance instead of the leakage characteristic, and may be selected according to the work from among the pseudo-leakers 30 having pinholes 31a of various sizes.
  • the simulated leaker 30 having the above configuration is attached to the simulated leak packaging container 20 'as shown in FIG.
  • This packaging container 20 uses what is confirmed beforehand that there is no defect such as a pinhole.
  • Holes 29 are formed in advance in selected portions of the base sheet 21 of the packaging container 20 ′, that is, portions corresponding to one of the plurality of sealed spaces 23.
  • the hole 29 has a diameter much larger than that of the pinhole 31 a of the artificial leaker 30.
  • An annular region on the radially outer side of the sealing material 33 of the pseudo leaker 30 is attached to the selected portion of the base sheet 21 via the adhesive layer 36.
  • the sealed space 23 is connected to the outside only through the holes 29 of the base sheet 21 and the pin holes 31 a of the artificial leaker 30 by the sealing material 33.
  • the packaging container 20 'mounted with the pseudo leaker 30 is sealed in the work capsule 11 of the leak test apparatus, and the same process as the micro leak detection process in the normal leak test process is performed.
  • the differential pressure detected by the differential pressure sensor 10 in the pseudo leakage step corresponds to the size of the pinhole 31a or the amount of leaked air converted to the atmospheric pressure by the pinhole 31a.
  • the detection output of the differential pressure sensor 10 in this pseudo leak step is used as reference data for a leak test. For example, it is used to evaluate the performance of a leak test apparatus, calibrate the detection output in a micro leak process, or determine the threshold in a micro leak process. The details will be described below.
  • the pinhole 31a of the pseudo leaker 30 causes a leak corresponding to the allowable pressure equivalent leak amount in the packaging container 20, use the detected differential pressure in the pseudo leak process as a threshold in the micro leak detection process. Can. Moreover, a pseudo leak process is performed using the pseudo leaker 30 which has a different leak characteristic, and the time-dependent change of the detection differential pressure is memorize
  • the pseudo-leakage in the pseudo-leakage process can be performed in the micro leak detection process of the leak test process. It can be performed in a situation similar to a leak from a pinhole of the packaging container 20.
  • the pseudo leaker used in the present invention can adopt various forms.
  • a pseudo leaker 30 'according to the second embodiment is shown in FIG.
  • a thin auxiliary sealing material 38 made of, for example, resin is attached to the surface of the sealing material 33 (the surface on the opposite side of the base material 31).
  • the opening 33a of the sealing material 33 is closed by the auxiliary sealing material 38, and the pinhole 31a of the base 31 is isolated from the outside.
  • the packaging container 20 with the pseudo-leakage container 30 ' is sealed in the work capsule 11 as a packaging container without leakage, and the differential pressure detected by the differential pressure sensor 10 in the case of the packaging container without leakage in the minute leakage step described above. You can get data.
  • the simulated leaker 30 ' is used in the same manner as in the first embodiment with the auxiliary seal 38 removed.
  • the sealing material 33 is omitted.
  • the peripheral portion of the base 31 is the packaging container 20 via the adhesive layer 37.
  • the adhesive layer 37 is provided as a mounting structure.
  • the present invention is applicable not only to the leak test apparatus shown in FIGS. 1A and 1B but also to various leak test apparatuses.
  • the leak test apparatus shown in FIG. 9 does not have a master container.
  • the pressure source 3 is connected to the upstream end of the main passage 1A, and the work capsule 11 is connected to the downstream end.
  • a regulator 4 and valves 13, 14 are sequentially provided toward the downstream side, and a tank 15 is connected to the main passage 1A between the valves 13, 14.
  • the pressure of the tank 15 can be detected by the pressure sensor 16.
  • One port of the differential pressure sensor 10 is connected to the downstream side of the valve 14 in the main passage 1A, and the other port is connected to the main passage 1A via the valve 17. Further, the downstream side of the valve 14 in the main passage 1A is connected to the atmosphere via the exhaust valve 18.
  • the valve 13 is opened and the valve 14 is closed to supply the tank 15 with a pressure higher than the test pressure.
  • the valve 17 is opened and the valve 14 is opened while the valve 18 is closed, whereby the pressure of the tank 15 is divided downstream of the valve 14, and this partial pressure is detected by the pressure sensor 16. If the detected partial pressure does not reach the test pressure, it is determined that the packaging container 20 has a large leak. If the detected pressure is the test pressure, it is determined that there is no large leak, and the process proceeds to the minute leak detection step.
  • the minute leak detection step the on-off valve 17 is closed, and the differential pressure sensor 10 detects a differential pressure. The determination of the presence or absence of the minute leak based on the detected differential pressure is the same as that of the first embodiment.
  • the pseudo leak process is also performed in the same manner as the micro leak detection process.
  • the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
  • the pressure source may provide a negative pressure close to vacuum.
  • the works to be tested may be not only packaging containers for medicine but also packaging containers for food. Even if the packaging container is a flexible bag, the simulated leaker of the present invention can be stuck well. The false leaker may not be flexible.
  • the present invention can be applied to a leak test that is performed in a state in which a workpiece to be tested is sealed in a workpiece capsule.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

リークテスト方法は、リークテスト工程と疑似漏れ工程を備えている。リークテスト工程では、ワークカプセル11内にテスト対象の中空のワーク20を密閉し、ワークカプセル11に接続された通路2aからテスト圧を供給し、通路2aを遮断した状態でワークカプセル11内の圧力変動を検出し、この検出出力に基づいてワークの漏れを判断する。疑似漏れ工程では、上記テスト対象のワーク20と同じ疑似漏れ用ワーク20'に、既知のピンホール31aを有する疑似漏れ器30を装着し、この疑似漏れ用ワーク20'を、ワークカプセル11に密閉し、ワークカプセル11に通路2aからテスト圧を供給し、通路2aを遮断した状態で、疑似漏れ用ワーク20'に疑似漏れ器30を介して疑似漏れを生じさせ、この疑似漏れに伴うワークカプセル11内の圧力変動を検出する。

Description

リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器
 本発明は、疑似漏れ工程を備えたリークテスト方法およびリークテストで用いられる疑似漏れ器に関する。
 テスト対象となる中空ワークの密封性を評価する方法として、ワークにテスト圧を付与して漏れを検出する方法が知られている。この方法を実行するリークテスト装置は、例えば特許文献1(特開平9-72817号公報)に開示されているように、圧力源に接続された共通通路の下流端に2つの分岐通路が接続されており、これら分岐通路の下流端にそれぞれ中空のワークとマスタ容器が接続される。2つの分岐通路にはそれぞれ弁が配置されており、分岐通路間には上記弁より下流側において、差圧センサが接続されている。
 特許文献1では分岐通路にワークを直接接続する実施例が開示されているが、分岐通路にワークカプセルを接続し、このワークカプセルに中空のワークを密閉することも周知である。以下後者を例にとって説明する。
 圧力源から例えば正圧のテスト圧を供給した後、弁を閉じることにより2つの分岐通路を遮断した状態で、ワークカプセル内の圧力とマスタ容器の圧力との差を差圧センサで検出する。ワークにピンホール等の欠陥があれば、ワークカプセル内のテスト圧がワーク内に漏れるため、ワークカプセルの圧力が減じられる。差圧センサで検出される差圧が閾値を超えた時には、ワークをピンホールがある不良品と判定する。
 特許文献1に開示されているように、リークテスト装置のワーク側の分岐通路には疑似漏れ器が接続されている。この疑似漏れ器は、テスト圧に対して大気圧換算漏れ量が所定量となるように構成されている。リークテスト装置では、ユーザーへの納入時および納入後定期的に疑似漏れ工程を実施する。この疑似漏れ工程では、上記リークテスト工程と同様に、ワークカプセルとマスタ容器にテスト圧を供給して2つの分岐通路を遮断した後、疑似漏れ器から疑似漏れを生じさせる。これによりワークカプセル側の圧力が減じられ、差圧センサで差圧が検出される。
 上記疑似漏れ工程での検出差圧は既知の大気圧換算漏れ量に対応するものであり、リークテストのための基準データとして用いることができる。例えば疑似漏れ工程での大気圧換算漏れ量が許容限界値であれば、上記検出差圧をリークテスト工程においてワークの良否判定の閾値として用いることができる。
 特許文献1の疑似漏れ工程では、ワークカプセルとは別の専用の疑似漏れ器をリークテスト装置に接続している。疑似漏れ工程では、この疑似漏れ器を介して、ワークカプセル内のテスト圧を大気中に逃がすようになっている。しかし、実際のリークテスト工程においては、ワークカプセル内のテスト圧がワークのピンホールを介してワーク内に逃げるため、疑似漏れ工程での検出圧力の変動とリークテスト工程での検出圧力の変動は、厳密には対応していなかった。また、疑似漏れ器も精密かつ複雑であり、塵埃の侵入を防ぐように保管するのが煩雑であった。
 上記問題点を解決するために、本発明は、リークテスト工程を備え、このリークテスト工程において、ワークカプセル内にテスト対象の中空のワークを密閉し、ワークカプセルに接続された通路からテスト圧を供給し、この通路を遮断した状態でワークカプセル内の圧力変動を検出し、この検出出力に基づいてワークの漏れを判断するリークテスト方法において、
 さらに疑似漏れ工程を備え、この疑似漏れ工程では、上記テスト対象のワークと同じ疑似漏れ用ワークに、既知のピンホールを有する疑似漏れ器を装着し、この疑似漏れ用ワークを、上記ワークカプセルに密閉し、上記ワークカプセルに上記通路から上記テスト圧を供給し、上記通路を遮断した状態で、上記疑似漏れ用ワークに上記疑似漏れ器を介して疑似漏れを生じさせ、この疑似漏れに伴う上記ワークカプセル内の圧力変動を検出することを特徴とする。
 上記方法によれば、ワークカプセル内においてテスト対象のワークがピンホールを有する場合と同様の状況で、疑似漏れを生じさせることができ、疑似漏れ時に検出されるワークカプセルの圧力変動を、リークテストのための信頼性の高い基準データとして用いることができる。
 好ましくは、上記疑似漏れ工程に先立って、上記疑似漏れ用ワークに予め開口を形成し、この開口の周縁部に上記疑似漏れ器を貼り付け、上記疑似漏れ工程では、上記疑似漏れ器のピンホールと上記開口を介して疑似漏れを生じさせる。
 上記方法は、ワークに既存の開口が無く、ワークがシートや袋等で形成されている場合に、特に有効である。
 本発明の他の態様は、リークテスト用疑似漏れ器において、ピンホールが形成された基材と、この基材の周縁部に設けられたワークへの取付構造とを備えたことを特徴とする。
 上記構成によれば、疑似漏れ器の構造を簡略化することができる。
 好ましくは、上記基材と取付構造が可撓性を有している。
 上記構成によれば、ワークへの装着が容易である。
 好ましくは、さらに、上記基材の両面に貼り付けられて上記ピンホールを覆うフィルタを備えたことを特徴とする。
 上記構成によれば、微細なピンホールが塵埃で塞がるのを防止することができる。
 好ましくは、上記基材が薄く可撓性を有しており、上記取付構造が、中央に開口が形成された薄く可撓性を有するシール材を有し、上記シール材のいずれか一方の面における径方向内側の環状領域に、上記基材の周縁部が接着され、上記シール材のいずれか一方の面における径方向外側の環状領域に、ワークへ接着するための接着層が形成されている。
 上記構成によれば、ワークへの装着が容易である。
 好ましくは、上記シール材における上記接着層の反対側の面には、補助シール材が着脱可能に貼られており、上記シール材の開口を覆っている。
 上記構成によれば、補助シールが貼られた状態で疑似漏れ用ワークを、漏れ無しワークとしてリークテストし、その時の検出出力をリークテストのための基準データとして用いることができる。さらに、補助シールを取り外すことにより、疑似漏れ器付きの疑似漏れ用ワークとして用い、その疑似漏れ時の検出出力を他の基準データとして用いることができる。
 本発明によれば、リークテストのための基準値を、簡単かつ高精度で得ることができる。
本発明のリークテスト方法を実行するためのリークテスト装置の回路構成図であり、テスト対象のワークをワークカプセルに密封した状態を示す。 上記リークテスト装置の回路構成図であり、本発明の第1実施形態に係る疑似漏れ器を装着したワークを、ワークカプセルに密封した状態を示す。 上記疑似漏れ器の断面図である。 上記疑似漏れ器を分解して示す断面図である。 上記疑似漏れ器の平面図である。 上記疑似漏れ器の拡大断面図であり、各構成要素の厚さを誇張して示すとともにピンホールの径を誇張して示す。 上記疑似漏れ器をワークに装着した状態を、厚さを誇張して示す断面図である。 本発明の第2実施形態に係る疑似漏れ器を示す図5相当図である。 本発明の第3実施形態に係る疑似漏れ器を示す図5相当図である。 本発明のリークテスト方法を実行するための他のリークテスト装置の回路構成図である。
 以下、本発明の第1実施形態を図1~図6を参照しながら説明する。最初に、本発明が適用されるリークテスト装置を、図1A,図1Bを参照しながら説明する。このリークテスト装置の基本構成は公知である。
 リークテスト装置は、共通通路1と、この共通通路1の下流端にそれぞれ接続された分岐通路2aおよび分岐通路2bとを備えている。共通通路1の上流端には圧力源3が接続されている。本実施形態の圧力源3は加圧空気源である。共通通路1には、レギュレータ4およびその下流側の三方弁5が設けられている。
 分岐通路2a,2bには、弁6a,6b(開閉弁または2方弁)がそれぞれ設けられている。上記分岐通路2a,2bにおいて弁6a,6bの下流側には補助通路7a,7bがそれぞれ接続されており、この補助通路7a,7bには、それぞれ弁8a,8bと、同容積のタンク9a,9bが接続されている。
 上記分岐通路2a,2bにおいて開閉弁6a,6bの下流側には差圧センサ10(圧力センサ)の2つのポートが接続されており、これにより分岐通路2a,2b間の差圧を検出することができる。
 分岐通路2aの下流端にはワークカプセル11が接続され、分岐通路2bにはマスタ容器12が接続されている。ワークカプセル11は、開閉可能な2つのカプセル半体からなり、後述するワークを収容した状態で密封できるようになっている。マスタ容器12は、図では模式的に示すが、例えば、ワークカプセル11と同一容積を有する密閉容器により構成してもよいし、ワークカプセルと同一構造を有していてもよい。マスタ容器12には漏れのないことが確認されたテスト対象と同じワークが収容されている。
 上記弁5,6a,6b,8a,8bは図示しないコントローラでシーケンス制御される。また、コントローラは、ワークカプセル11の開閉、差圧センサ10での検出差圧に基づくワークの良否判定(漏れの有無の判定)も行う。
 本実施形態においてテスト対象となる中空のワークは、医薬用の包装容器20である。図6には、後述する疑似漏れ用ワークとしての包装容器20’が示されているが、この疑似漏れ用の包装容器20’は、テスト対象の包装容器20と基本構造が同じである。以下、図6を参照してテスト対象の包装容器20について説明する。
 テスト対象の包装容器20は、樹脂製のベースシート21と、複数の膨出部22aを有する透明な樹脂製のカバーシート22とを溶着することにより構成されている。各膨出部22aとベースシート21により、密閉空間23が形成されており、この密閉空間23に錠剤25が収容されている。
 なお、疑似漏れ用包装容器20には後述する疑似漏れ器30が装着され、ベースシート21に穴29が形成されている。
 上記テスト対象となる包装容器20は、リークテスト工程において、図1Aに示すようにワークカプセル11内に収容された状態で、漏れの有無を判定される。リークテスト工程は微小漏れ検出工程と大漏れ検出工程を含んでいるが、本発明と関係するのは微小漏れ検出工程である。以下、簡単に説明する。
 最初にワークカプセル11に包装容器20が収容されて密閉される。
 次に、三方弁5をオンすることにより、圧力源3からのテスト圧が、分岐通路2a,2bを介してワークカプセル11とマスタ容器12に供給される。次に、弁6a,6bが閉じられ、その下流側の分岐通路2a,2bが互いに隔離される。
 次に、微小漏れ検出工程に移行する。すなわち、弁6a,6bが閉じてから所定時間経過後の差圧センサ10の検出差圧を第1閾値と比較する。包装容器20に微小のピンホール等の欠陥があると、ワークカプセル11内の加圧空気が包装容器20の密閉空間23に入り込み、その結果、ワークカプセル11内の圧力がテスト圧から徐々に低下する。他方、マスタ容器12ではテスト圧が維持されている。その結果、ワークカプセル11内の圧力とマスタ容器12内の圧力との間には差が生じる。この差圧(ワークカプセル11の圧力変動)が差圧センサ10で検出される。検出差圧が第1閾値より大きい場合には、微小漏れ有りと判断され、検出差圧が第1閾値より小さい場合には、包装容器20の微小漏れ無しと判断される。
 次に、大漏れ検出工程が実行される。包装容器20に大きなピンホールがある場合には、テスト圧供給と同時に、テスト圧がピンホールがある密閉空間23内に加圧空気が入る(大漏れする)ため、上記微小漏れ検出工程では漏れを検出できないからである。
 大漏れ検出工程では、弁8a,8bが開き、タンク9a,9bをそれぞれ分岐通路2a,分岐通路2bと連通させる。タンク9a,9bは大気圧であるため、ワークカプセル11、マスタ容器12内のテスト圧がタンク9a,9bへと逃げて、分圧される。大漏れがあった密閉空間23内の加圧空気の分だけワーク側通路2aの圧力はマスタ側通路2bの圧力より高い。この差圧を差圧センサ10で第2閾値と比較し、第2閾値を超えている場合には包装容器20に大漏れ有りと判断する。
 次に、疑似漏れ工程について説明する。疑似漏れ工程は、リークテスト装置の納入時および定期的検査等の際に行う。上記リークテスト装置の性能を評価したり、微小漏れ検出工程での閾値を設定したり、検出出力の較正を行うための基準データを得るためである。
 本発明では、リークテスト装置のワーク側の分岐回路2aに専用の疑似漏れ器を接続する代わりに、図1Bに示すように、ワークカプセル11内に収容される疑似漏れ用包装容器20’に疑似漏れ器30を装着する。以下、疑似漏れ器30について詳述する。
 図2~図5に示すように、疑似漏れ器30は、円形の基材31と、この基材31の両面に貼り付けられた円形のフィルタ32と、基材31の周縁部に貼り付けられた円環形状のシール材33により構成されており、薄く柔軟性を有している。
 本実施形態では、基材31は、ステンレス等の金属薄膜からなり、例えば径9.5mm、厚さ15μmである。基材31は、他の金属でもよいし、ガラス、樹脂、セラミック等であってもよい。基材31の中央には、ピンホール31aが形成されている。ピンホール31aの径は、例えば1μm~数10μmである。
 一対のフィルタ32は、基材31の微小のピンホール31aが塵埃で塞がれるのを防止するためのものであり、延伸によりポーラス状態となった樹脂や、ガラス繊維、樹脂繊維、セラミック繊維等の不織布等によって形成されている。本実施形態ではフィルタ32は例えば径4.5mm、厚さ0.1mmである。
 フィルタ32の周縁部は基材31に接着層35により接着されている。なお、この接着層35はピンホール31aを含む基材31の中央部には配されていない。
 シール材33は樹脂からなり、その中央部に開口33aを有している。この開口33a内に一方のフィルタ32が配されている。
 シール材33は例えば外径14,5mm、内径5.8mm、厚さ0.2mmであり、その一方の面の全域にわたって接着層36が塗布されている。上記基材31の周縁部は、この接着層36によりシール材33の径方向内側の環状領域に接着されている。シール材33の径方向外側の環状領域では接着層36が露出している。
 本実施形態では、上記シール材33と接着層36が、疑似漏れ用包装容器20’に基材31を取り付けるための取付構造Aとして提供されている。シール材33の径方向外側の環状領域の接着層36は、基材31の反対側の面に形成されていてもよい。
 なお、上述した疑似漏れ器30の構成要素の寸法は、テストすべきワークに応じて適宜選択される。
 上記疑似漏れ器30のピンホール31aは既知の特性を有している。すなわち、疑似漏れ器30は、テスト圧付与により大気圧換算漏れ量を予め計測している。種々の漏れ特性を有する疑似漏れ器30を用意しておき、ワークに応じて選択してもよい。なお、漏れ特性の代わりにピンホール31aのサイズそのものを予め計測し、種々のサイズのピンホール31aを有する疑似漏れ器30の中から、ワークに応じて選択してもよい。
 上記構成をなす疑似漏れ器30が、図6に示すように、疑似漏れ用包装容器20’に貼り付けられる。この包装容器20’は予めピンホール等の欠陥の無いことが確認されているものを用いる。この包装容器20’のベースシート21の選択された部位、すなわち複数の密閉空間23のうちの1つに対応する部位には、予め穴29が形成されている。この穴29は疑似漏れ器30のピンホール31aよりはるかに大きな径を有している。ベースシート21の上記選択された部位に、疑似漏れ器30のシール材33の径方向外側の環状領域を、接着層36を介して貼り付ける。このシール材33により、密閉空間23はベースシート21の穴29および疑似漏れ器30のピンホール31aを介してのみ外部に連なっている。
 疑似漏れ工程では、疑似漏れ器30を装着した包装容器20’が、リークテスト装置のワークカプセル11に密封され、通常のリークテスト工程における微小漏れ検出工程と同様の工程が実行される。
 上記疑似漏れ工程で、差圧センサ10により検出された差圧は、ピンホール31aのサイズまたはピンホール31aによる大気圧換算漏れ量に対応している。この疑似漏れ工程での差圧センサ10の検出出力は、リークテストのための基準データとして用いられる。例えば、リークテスト装置の性能評価を行なったり、微小漏れ工程での検出出力の較正を行なったり、微細漏れ工程での閾値を決定するために用いられる。以下、具体的に説明する。
 疑似漏れ器30のピンホール31aが、包装容器20における許容限界の大気圧換算漏れ量に相当する漏れを生じさせる場合、疑似漏れ工程での検出差圧を微小漏れ検出工程での閾値として用いることができる。
 また、異なる漏れ特性を有する疑似漏れ器30を用いて疑似漏れ工程を実行し、その検出差圧の経時変化をデータとして記憶する。リークテスト工程では検出差圧の経時変化を疑似漏れデータと比較して大気圧換算漏れ量を算出し、この算出値を閾値と比較する。
 上記のようにテスト対象の包装容器20と同じ疑似漏れ用包装容器20’に直接疑似漏れ器30を装着することにより、疑似漏れ工程での疑似漏れを、リークテスト工程の微小漏れ検出工程での包装容器20のピンホールからの漏れと似た状況で実行することができる。
 本発明に用いられる疑似漏れ器は、種々の形態を採用可能である。図7には第2実施形態に係る疑似漏れ器30’が示されている。この疑似漏れ器30’では、シール材33の面(基材31の反対側の面)に、例えば樹脂製の薄い補助シール材38が貼り付けられている。この疑似漏れ器30’を包装容器20に貼った状態では、シール材33の開口33aが補助シール材38により塞がれており、基材31のピンホール31aは外部と遮断されている。この疑似漏れ器30’付きの包装容器20は、漏れの無い包装容器としてワークカプセル11に密封され、上述した微小漏れ工程で、漏れの無い包装容器の場合の差圧センサ10の検出差圧のデータを得ることができる。疑似漏れ工程を実行する場合には、疑似漏れ器30’は、上記補助シール38を剥がして第1実施形態と同様にして用いられる。
 図8に示す第3実施形態に係る疑似漏れ器30”では、シール材33が省かれている。この疑似漏れ器30”では、基材31の周縁部が接着層37を介して包装容器20に直接貼り付けられる。本実施形態では接着層37が取付構造として提供される。
 本発明は図1A,図1Bに示すリークテスト装置に限らず、種々のリークテスト装置に適用することができる。図9に示すリークテスト装置は、マスタ容器を備えていない。簡単に説明すると、このリークテスト装置では、主通路1Aの上流端に圧力源3が接続されており、下流端にワークカプセル11が接続されている。主通路1Aには、レギュレータ4、弁13、14が下流側に向かって順に設けられ、弁13,14間の主通路1Aにはタンク15が接続されている。タンク15の圧力は圧力センサ16で検出できるようになっている。
 上記主通路1Aにおいて弁14の下流側には差圧センサ10の一方のポートが接続され、他方のポートは弁17を介して主通路1Aに接続されている。さらに主通路1Aにおいて弁14の下流側は、排気弁18を介して大気に連なっている。
 リークテスト工程では、弁13を開き、弁14を閉じることにより、タンク15にテスト圧より高い圧力を供給する。次に、弁17を開き弁18を閉じた状態で弁14を開くことにより、タンク15の圧力を弁14の下流側に分圧し、この分圧を圧力センサ16で検出する。検出した分圧がテスト圧に達しない場合には、包装容器20に大漏れ有りと判断する。検出圧力がテスト圧であれば、大漏れ無しと判断し、微小漏れ検出工程に移行する。微小漏れ検出工程では開閉弁17を閉じ、差圧センサ10で差圧を検出する。この検出差圧に基づく微小漏れの有無の判断は第1実施形態と同様である。疑似漏れ工程も微小漏れ検出工程と同様に実行される。
 本発明は、上記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
 圧力源は、真空に近い負圧を供給してもよい。
 テスト対象となるワークは、医薬用の包装容器のみならず、食品の包装容器であってもよい。包装容器が柔軟な袋であっても、本発明の疑似漏れ器を良好に貼り付けることができる。
 疑似漏れ器は可撓性を有さなくてもよい。
 本発明は、ワークカプセルにテスト対象となるワークを密封した状態で実行されるリークテストに適用できる。

Claims (7)

  1.  リークテスト工程を備え、このリークテスト工程において、ワークカプセル(11)内にテスト対象の中空のワーク(20)を密閉し、ワークカプセルに接続された通路(2a)からテスト圧を供給し、この通路を遮断した状態でワークカプセル内の圧力変動を検出し、この検出出力に基づいてワークの漏れを判断するリークテスト方法において、
     さらに疑似漏れ工程を備え、この疑似漏れ工程では、上記テスト対象のワーク(20)と同じ疑似漏れ用ワーク(20’)に、既知のピンホール(31a)を有する疑似漏れ器(30)を装着し、この疑似漏れ用ワークを、上記ワークカプセル(11)に密閉し、上記ワークカプセルに上記通路(2a)から上記テスト圧を供給し、上記通路を遮断した状態で、上記疑似漏れ用ワークに上記疑似漏れ器を介して疑似漏れを生じさせ、この疑似漏れに伴う上記ワークカプセル内の圧力変動を検出することを特徴とするリークテスト方法。
  2.  上記疑似漏れ工程に先立って、上記疑似漏れ用ワーク(20’)に予め開口(29)を形成し、この開口の周縁部に上記疑似漏れ器(30)を貼り付け、上記疑似漏れ工程では、上記疑似漏れ器のピンホール(31a)と上記開口を介して疑似漏れを生じさせることを特徴とする請求項1に記載のリークテスト方法。
  3.  ピンホール(31a)が形成された基材(31)と、この基材の周縁部に設けられたワーク(20’)への取付構造(A)とを備えたことを特徴とするリークテスト用疑似漏れ器。
  4.  上記基材(31)と取付構造(A)が可撓性を有していることを特徴とする請求項3に記載のリークテスト用疑似漏れ器。
  5.  さらに、上記基材(31)の両面に貼り付けられて上記ピンホール(31a)を覆うフィルタ(32)を備えたことを特徴とする請求項3に記載のリークテスト用疑似漏れ器。
  6.  上記基材(31)が薄く可撓性を有しており、上記取付構造(A)が、中央に開口(33a)が形成された薄く可撓性を有するシール材(33)を有し、上記シール材のいずれか一方の面における径方向内側の環状領域に、上記基材の周縁部が接着され、上記シール材のいずれか一方の面における径方向外側の環状領域に、ワーク(20’)へ接着するための接着層(36)が形成されていることを特徴とする請求項5に記載のリークテスト用疑似漏れ器。
  7.  上記シール材(33)における上記接着層(36)の反対側の面には、補助シール材(38)が着脱可能に貼られており、上記シール材(33)の開口(33a)を覆っていることを特徴とする請求項5に記載のリークテスト用疑似漏れ器。
PCT/JP2017/007664 2016-05-31 2017-02-28 リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器 WO2017208543A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/301,906 US11248984B2 (en) 2016-05-31 2017-02-28 Method for leak testing and reference leak device for leak testing
DE112017002705.5T DE112017002705B4 (de) 2016-05-31 2017-02-28 Verfahren zur Dichtheitsprüfung und Referenzleckvorrichtung zur Dichtheitsprüfung
JP2018520660A JP6857179B2 (ja) 2016-05-31 2017-02-28 リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器
US17/556,042 US11860065B2 (en) 2016-05-31 2021-12-20 Method for leak testing and reference leak device for leak testing

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016-108114 2016-05-31
JP2016108114 2016-05-31

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/301,906 A-371-Of-International US11248984B2 (en) 2016-05-31 2017-02-28 Method for leak testing and reference leak device for leak testing
US17/556,042 Division US11860065B2 (en) 2016-05-31 2021-12-20 Method for leak testing and reference leak device for leak testing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2017208543A1 true WO2017208543A1 (ja) 2017-12-07

Family

ID=60479304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/007664 WO2017208543A1 (ja) 2016-05-31 2017-02-28 リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器

Country Status (4)

Country Link
US (2) US11248984B2 (ja)
JP (2) JP6857179B2 (ja)
DE (1) DE112017002705B4 (ja)
WO (1) WO2017208543A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020076592A (ja) * 2018-11-06 2020-05-21 株式会社フクダ リークテスト用疑似漏れ器および疑似漏れ用ワーク
JP7462006B2 (ja) 2018-05-09 2024-04-04 株式会社フクダ 密封性評価のための疑似漏れ試験方法及び疑似漏れ試験装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112019002384T5 (de) * 2018-05-10 2021-01-28 Fukuda Co., Ltd. Verfahren zur abdichtbarkeitsbewertung und dergleichen und vorrichtung einer künstlichen standardundichtigkeit
JP7426780B2 (ja) * 2019-01-29 2024-02-02 株式会社フクダ 拡散流量又は漏れ孔寸法の演算方法、基準漏れ素子選定方法、リークテスト装置における閾値設定方法
JP7353060B2 (ja) * 2019-04-03 2023-09-29 株式会社フクダ 漏れ検査方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5337485A (en) * 1976-09-15 1978-04-06 Continental Group Test tool for leakage detector and method of producing the tool
JPH01276036A (ja) * 1988-04-27 1989-11-06 Hitachi Metals Ltd 洩れ検査機の評価方法
JPH0968474A (ja) * 1995-08-30 1997-03-11 Fukuda:Kk エアリークテスタ
JP2002148135A (ja) * 2000-11-09 2002-05-22 Cosmo Instruments Co Ltd 洩れ検査装置
JP2003149076A (ja) * 2001-11-09 2003-05-21 Fukuda:Kk エアリークテスト方法および装置
JP2006189425A (ja) * 2005-01-06 2006-07-20 Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi 標準校正リーク
JP2015532431A (ja) * 2012-10-18 2015-11-09 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 被試験部材の可撓性壁に取付けるためのリーク試験装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02161329A (ja) * 1988-12-14 1990-06-21 Cosmo Keiki:Kk 洩れ校正器
JPH0972817A (ja) 1995-09-04 1997-03-18 Fukuda:Kk エアリークテスタ用微小漏れ装置
DE19846801A1 (de) * 1998-10-10 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur integralen Lecksuche an Prüflingen mit relativ dünnen Wandungen
JP2001264205A (ja) * 2000-03-21 2001-09-26 Welfide Corp ピンホール検査
FI20002630A0 (fi) * 2000-11-30 2000-11-30 Teuvo Rajamaeki Pitkänippipuristuslaite kuiturainoja kuljettavia koneita varten
JP3935677B2 (ja) * 2001-01-30 2007-06-27 大和グラビヤ株式会社 包装体
JP4242180B2 (ja) * 2003-03-04 2009-03-18 株式会社デンソー 蒸発燃料処理装置のリークチェック装置
US7228968B1 (en) * 2004-09-16 2007-06-12 Starliner, Llc Stick-on, flexible, peel and seal package dispenser
IT1393996B1 (it) * 2008-09-18 2012-05-17 Univ Degli Studi Genova Dispositivo di fuga di riferimento per la calibrazione delle perdite
JP5702992B2 (ja) * 2010-11-24 2015-04-15 株式会社フクダ リーク量標準器
DE102012220108A1 (de) 2012-11-05 2014-05-22 Inficon Gmbh Verfahren zur Prüfung einer Dichtheitsprüfanlage
JP6310355B2 (ja) * 2014-07-30 2018-04-11 株式会社コスモ計器 流量抵抗ノズル

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5337485A (en) * 1976-09-15 1978-04-06 Continental Group Test tool for leakage detector and method of producing the tool
JPH01276036A (ja) * 1988-04-27 1989-11-06 Hitachi Metals Ltd 洩れ検査機の評価方法
JPH0968474A (ja) * 1995-08-30 1997-03-11 Fukuda:Kk エアリークテスタ
JP2002148135A (ja) * 2000-11-09 2002-05-22 Cosmo Instruments Co Ltd 洩れ検査装置
JP2003149076A (ja) * 2001-11-09 2003-05-21 Fukuda:Kk エアリークテスト方法および装置
JP2006189425A (ja) * 2005-01-06 2006-07-20 Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi 標準校正リーク
JP2015532431A (ja) * 2012-10-18 2015-11-09 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH 被試験部材の可撓性壁に取付けるためのリーク試験装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7462006B2 (ja) 2018-05-09 2024-04-04 株式会社フクダ 密封性評価のための疑似漏れ試験方法及び疑似漏れ試験装置
JP2020076592A (ja) * 2018-11-06 2020-05-21 株式会社フクダ リークテスト用疑似漏れ器および疑似漏れ用ワーク
JP7194563B2 (ja) 2018-11-06 2022-12-22 株式会社フクダ リークテスト用疑似漏れ器および疑似漏れ用ワーク

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017215310A (ja) 2017-12-07
US11860065B2 (en) 2024-01-02
US20220113218A1 (en) 2022-04-14
JPWO2017208543A1 (ja) 2019-03-28
JP6857179B2 (ja) 2021-04-14
US11248984B2 (en) 2022-02-15
DE112017002705B4 (de) 2023-06-01
US20190285507A1 (en) 2019-09-19
DE112017002705T5 (de) 2019-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017208543A1 (ja) リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器
TWI611620B (zh) 檢測裝置、檢測方法及電池檢測室
JP6129870B2 (ja) 非剛体の被試験物の漏れを検出する方法
TWI633793B (zh) 測試mems壓力感測器裝置之方法
US6513366B1 (en) Method and apparatus for package leak testing
US6450012B1 (en) Multi-port gas leakage measurement fixture
JP6602852B2 (ja) グロスリーク検知のための容積測定機能を備えるフィルムチャンバ
JP2017090155A (ja) 弁座漏れ検査装置と検査方法
JPS5837495B2 (ja) 洩れの検査方法及び装置
JP7165303B2 (ja) 電池パックのリーク検査方法およびリーク検査装置
JP2006177810A (ja) 検査装置及び検査方法
JPS5944637A (ja) 密封容器の密封不良検査方法とその装置
CN110530584A (zh) 一种防水透气膜密封性能自动化测试方法和设备
TWI592642B (zh) 氣密性檢測方法及氣密性檢測裝置
CN103900774B (zh) 油冷器干、湿混合密封性试验方法及其设备
JP3983479B2 (ja) 電池の液漏れ検査装置
JP2021110594A (ja) ガスリーク検知器の検査方法、ガスリーク検査方法、ガスリーク検知器
CN214893929U (zh) 一种油箱泄漏检测装置
JP7194563B2 (ja) リークテスト用疑似漏れ器および疑似漏れ用ワーク
JP6522143B2 (ja) 容器の密閉性検査をするための構造および方法
RU192637U1 (ru) Устройство контроля качества материала герметичного пакета
CN104813152A (zh) 贴附于被测物柔性壁上的泄漏测试装置
JP7426780B2 (ja) 拡散流量又は漏れ孔寸法の演算方法、基準漏れ素子選定方法、リークテスト装置における閾値設定方法
KR20060042617A (ko) 용기의 리크감지장치
JP3610889B2 (ja) 気密封止型ワーク用保管器及びガスリーク検査装置並びにガスリーク検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018520660

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17806105

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17806105

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1