JP2002148135A - 洩れ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】洩れ検査装置の校正を最適時点で実行する。 【解決手段】洩れ検査毎に洩れ無しと判定したときの差
圧値を複数記憶し、この複数の記憶値の移動平均値を求
め、この移動平均値が所定の値に達した時点で校正要求
信号を発信させ校正を行わせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は洩れがあってはな
らない各種の容器等の洩れの有無を検査することに用い
られる洩れ検査装置に関し、特にドリフトを自動検出
し、校正作業を最適時期に行えるように構成した洩れ検
査装置を提案するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７に従来から一般に用いられている差
圧式の洩れ検査装置の概略の構成を示す。この差圧式の
洩れ検査装置は洩れの有無を検出すべきワーク７と同等
の内容積を持つマスタタンク１１（洩れの無いタンク）
を設け、このマスタタンク１１とワーク７に同一の空気
圧を印加する。この印加状態で制御弁４Ａ、４Ｂを閉じ
る。制御弁４Ａ、４Ｂが閉じている状態で差圧計５はワ
ーク７とマスタタンク１１との間に発生する差圧を測定
する。ワーク７に洩れが無ければワーク７とマスタタン
ク１１との間には差圧は発生しない。またワーク７に洩
れが存在する場合はワーク７とマスタタンク１１との間
には差圧が発生する。

【０００３】従って比較判定手段８は差圧計５が測定す
る差圧値が所定の数値の範囲内であれば「洩れ無し」と
判定し、差圧値が所定の範囲を越える値を示した場合は
「洩れ有り」と判定する。図７に示した差圧式洩れ検査
装置は非密封ワークに対しての洩れ検査に適し、密封ワ
ークに対しては検査不能である。図８に密封ワークを検
査することができる洩れ検査装置の構成を示す。この洩
れ検査装置はワークカプセル１２Ａとマスタカプセル１
２Ｂとを有し、ワークカプセル１２Ａにワーク７を投入
し、マスタカプセル１２Ｂには洩れのないマスタ容器
（洩れのないワーク７の同等品）１３を投入し、ワーク
カプセル１２Ａとマスタカプセル１２Ｂに空気圧源１か
ら空気圧を印加する。制御弁４Ａ、４Ｂを遮断した状態
で差圧検出器５に差圧の発生が見られなければワーク７
に洩れ無しと判定、差圧検出器５に差圧の発生が見られ
た場合はワーク７に洩れ有りと判定する。

【０００４】但し、この場合、ワーク７に大きな洩れ
（空気圧を印加した時点で瞬時にワーク７の内部に空気
が侵入しワーク７の内部もワークカプセル１２Ａの内部
の圧力と同等の空気圧になってしまう洩れ）が存在した
場合は差圧検出器５に差圧が発生しない。従って大きい
洩れの存在を検出することができない欠点がある。この
不都合を解消して微小な内容積の容器の洩れを検査する
ことができる洩れ検査装置が本出願人により開発されて
いる。図９はその微小な内容積の容器の洩れを検査する
ことができる洩れ検査装置の構成を示す。

【０００５】この洩れ検査装置は数ｍｍ角程度の微小容
積の容器に洩れがあるか否かを試験することに用いられ
ている。具体的には、例えば携帯電話機等に搭載される
水晶振動子の容器が密封されているか否かを試験するこ
と等に用いられている。この洩れ検査装置の特徴とする
構成は同一内容積のワークカプセル１２Ａとマスタカプ
セル１２Ｂのそれぞれにワーク７とマスタ容器（洩れの
無いワークと同等品）を格納してワーク７の洩れの有無
を検査する点と、ワークカプセル１２Ａとマスタカプセ
ル１２Ｂに空気圧を供給する空気圧供給路３Ａと３Ｂに
容積可変手段１４Ａ、１４Ｂを接続した点である。

【０００６】容積可変手段１４Ａと１４Ｂはワークカプ
セル１２Ａ及びマスタカプセル１２Ｂの検査回路の内容
積を変化させる動作を実行する。つまり、空気圧源１か
らワークカプセル１２Ａとマスタカプセル１２Ｂの双方
に空気圧を印加し、その印加状態を維持すべく制御弁４
Ａと４Ｂを遮断する。この状態で差圧計５が差圧の発生
を検出しなければワーク７に微小な洩れが存在しないこ
とが解る。この検査工程を以下微小リーク検査工程と称
す。一方、ワーク７に大きな洩れ（空気圧の印加時点で
瞬時にワーク７内に空気圧が侵入してしまう程大きい洩
れ）が存在する場合はワークカプセル１２Ａ及びマスタ
カプセル１２Ｂの相互間に差圧の発生は見られない。こ
のために、空気圧の印加後に差圧が発生しない場合は容
積可変手段１４Ａ、１４Ｂによりワークカプセル１２Ａ
側とマスタカプセル１２Ｂ側の検査回路の内容積を変化
させる。ワーク７に大きな洩れが無ければワークカプセ
ル１２Ａとマスタカプセル１２Ｂの相互の検査回路の内
容積は全く等しい状態にあるから、容積可変手段１４Ａ
と１４Ｂによってワークカプセル１２Ａとマスタカプセ
ル１２Ｂの検査回路の内容積を変化させても差圧が発生
することはない。

【０００７】これに対し、ワーク７に大きな洩れが存在
する場合は、ワークカプセル１２Ａの検査回路の内容積
はワーク７の内容積に相当する分だけマスタカプセル１
２Ｂ側の検査回路の内容積より大きい値となる。このた
めに、容積可変手段１４Ａと１４Ｂで容積変化を与えた
場合に差圧が発生しなければワーク７には大きな洩れが
存在しないことが解り、差圧が発生する場合はワーク７
に大きな洩れが存在することが解る。この検査工程を以
下大リーク検査工程と称す。このように図９に示した洩
れ検査装置は上述したところから明らかなように、ワー
ク７とマスタ容器１３との間の体積差によって差圧を発
生させて洩れの有無を検査する方法を採るため、ここで
は体積比較型洩れ検査装置と呼ぶことにする。

【０００８】尚、図９に示す容積可変手段１４Ａ、１４
ＢはそれぞれダイヤフラムＤＦを用いた形式の容積可変
手段を示す。空気圧源１からワークカプセル１２Ａとマ
スタカプセル１２Ｂに空気圧を印加すると、空気圧源１
５側に接続した三方電磁弁１６はＢ−Ｃ間が連通してい
る状態に制御されているものとすると、ダイヤフラムＤ
Ｆは室Ｃ１を塞ぎ、室Ｃ２が最大容積となる状態に制御
される。この状態で三方電磁弁１６をＡ−Ｂ間が連通す
る状態に制御することにより空気圧源１５から空気圧源
１の空気圧より高い圧力の空気圧を容積可変手段１４
Ａ、１４Ｂに印加すると、ダイヤフラムＤＦは室Ｃ２を
塞ぐ方向に移動し、室Ｃ１が最大容積の状態に変位す
る。このダイヤフラムＤＦの移動によってワークカプセ
ル１２Ａとマスタカプセル１２Ｂの内容積が変化する。

【０００９】上述したように、図９に示した差圧式の洩
れ検査装置により洩れがあるか否かを判定するには、差
圧計５が測定する差圧値が所定の数値の範囲内であれば
洩れ無しと判定し、所定の値以上の差圧値が発生した場
合は洩れ有りと判定する。従って、比較判定手段８では
洩れ有り無しの判定を行うための基準値（一般には基準
電圧）を用意し、基準値で定められる値の範囲内で差圧
の発生が収まれば洩れ無しと判定している。然し乍ら、
現実にはこの程度の単純な判定方法では洩れの有無を判
定することはできない。つまり、ワーク７或いはワーク
カプセル１２Ａ、マスタ容器１３、マスタカプセル１２
Ｂに印加する空気の温度及びワーク７の温度、ワークカ
プセル１２Ａの温度、マスタ容器１３の温度、マスタカ
プセル１２Ｂの温度が時々刻々変化するために、差圧検
出器５で測定される差圧値（主に大リーク検査工程にお
ける差圧値）は温度の影響を受けて洩れによって発生す
る差圧値により大きい値の差圧値が発生する現象が見ら
れる。この現象を一般にドリフトと称している。ドリフ
トが発生した場合、洩れの無いワークに対して洩れ有り
と判定したり、或いはその逆の誤った判定を下す恐れが
ある。

【００１０】ドリフトの発生は主に周囲温度、ワーク７
に加えられた熱等によって発生する。従って、ドリフト
の発生には方向性及び規則性を有し、その変化量はなだ
らかな変化を呈する。このため、差圧計５で測定された
差圧値の中の「洩れ無し」と判定した差圧値を毎回取り
込んで、その変動量を求め、変動量の移動平均を求めて
ドリフト値と定め、このドリフト量を測定した差圧値か
ら差し引くことにより、熱的なドリフトを補正すること
ができる。図７に示した洩れ検査装置はこのドリフト補
正方法により安定に動作させることができる。然し乍
ら、図９に示した体積比較型の洩れ検査装置は熱的なド
リフト補正だけでは解決できない誤判定が発生すること
が解った。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】図９に示す体積比較型
の洩れ検査装置に自動ドリフト補正機能を付加したとし
ても、大リークの無いワークを「洩れ有り」と判定した
り、或いは大リークのあるワークを「洩れ無し」と判定
する現象が発生し、検査の信頼性に問題がある。この誤
判定が発生する要因が以下に示す点であることが判明し
た。つまり、微小な内容積の容器であっても、製造のロ
ット、製造装置の寸法誤差等によって製造された容器の
体積及び内容積に差が発生し、この体積差或いは内容積
の差によって各検査毎に差圧の発生値に差が発生するこ
とを解明した。

【００１２】図１０にその様子を示す。図１０におい
て、曲線Ａ１は第１製造ロットで製造された製品の体積
分布曲線、曲線Ａ２は第２製造ロットで製造された製品
の体積分布曲線、曲線Ａ３は第３製造ロットで製造され
た製品の体積分布曲線を示す。これらの体積分布はマス
タ容器１３（図９参照）と各製品（ワーク７）との体積
差によって発生する。体積分布曲線Ａ１はその中心値が
比較判定値＋ＮＧと−ＮＧのほぼ中央に存在する分布曲
線を示す。この体積分布曲線Ａ１に含まれる製品におい
て、大きい洩れが存在する製品は比較判定値＋ＮＧを越
えて曲線Ａ´で規定される差圧分布を発生する。

【００１３】体積分布曲線Ａ２は製品の体積がマスタ容
器１３の体積よりわずかに小さい方にずれている場合の
体積分布曲線を示す。大きい洩れがある製品を検査した
場合に発生する差圧分布はＡ２´となる。体積分布曲線
Ａ２において、中心値からさらに小さい体積を持つ製品
（曲線Ａ２に斜線を付して示す）の場合、洩れが無くて
も比較判定値＋ＮＧを外れて「洩れが有る」と判定され
る。体積分布曲線Ａ３は製品の体積がマスタ容器１３の
体積より大きい方にずれている場合の体積分布曲線を示
す。この場合には洩れのある製品であっても、中心値か
ら体積が更に大きい方にずれている製品の差圧発生値は
比較判定値＋ＮＧを越えて洩れの無い領域（図に斜線を
付して示す）に侵入しこの場合には洩れが有るにも係わ
らず、洩れ無しと判定される。また、洩れの無い製品で
も体積が大きい方にずれている製品も比較判定値−ＮＧ
を越えてしまうため、この場合も洩れありと判定され
る。

【００１４】このように、図９に示した体積比較型の洩
れ検査装置では熱的な要因で発生するドリフトに加えて
製品の体積差によっても差圧値が変動する。この体積差
によって発生する差圧値の変動は体積差を持つ製品を無
作為に検査するために規則性が無く、従って、差圧の発
生値を加算して平均化し、その平均値で自動的にドリフ
ト補正する方法によって補正することはできない。つま
り、製品の体積差によって発生する差圧値の変動を補正
することはできないことになる。図１０に示した体積分
布曲線Ａ２、Ａ３のように分布の中心値が比較判定値＋
ＮＧと−ＮＧの中心値からδ１、δ２の偏差を持つよう
な製品群を検査する場合、その偏差δ１、δ２を求める
ことにより、この偏差δ１又はδ２に相当する補正値を
差圧測定値から差し引くことにより差圧発生値の分布を
曲線Ａ１の位置に修正することができ、体積差によって
発生する差圧値の変動を補正することができる。

【００１５】然し乍ら、偏差δ１又はδ２を検査中に自
動的に検出することは難しい。この偏差δ１又はδ２を
求めるには人為的に現在検査工程に流れ込んでくる製品
群の中から適当な製品を選んで体積分布の中心値を求め
る必要がある。従って、この体積分布の中心値の偏差δ
１、δ２を測定するには人手を必要とし、校正作業が必
要となる。このために、ある期間を定め、一定期間毎に
校正作業を行う方法が考えられる。然し乍ら、この構成
方法を採った場合、校正を行う必要がなくても一定の時
間毎に校正を行うため、無駄に校正を行ってしまう不都
合が生じる。

【００１６】図１１にその様子を示す。図１１に示す時
点０で洩れ検査装置の稼動を開始した場合、図１１の例
では稼動開始の初期ではドリフトの発生量が比較的小さ
い。この時期を安定領域として示す。安定領域の次にド
リフト発生領域、ドリフト量最大発生領域が到来するも
のとする。図示する曲線Ｘは洩れ検査装置で測定される
差圧値の生データを示す。稼動開始の初期では安定領域
であることから、ドリフトの発生量は小さい。然し乍
ら、時間がＴ１ずつ経過する毎に校正を行ったとする
と、先ず安定期ではドリフト量が小さいにも係わらず校
正を行うから、この校正を行っている間、洩れ検査装置
は検査を休まなければならない。特に図９に示した洩れ
検査装置は高価であるため稼働率の低下は利用者にとっ
て大きな不利益である。

【００１７】また、定期的に校正を行う場合、ドリフト
量大発生領域ではドリフト量が「洩れ有り」の比較判定
値ＮＧに近づき過ぎるため、この状態ではわずかな差圧
値が発生しても「洩れ有り」と判定してしまう恐れがあ
る。このように、定期的に校正を行う場合は各種の不都
合が生じる。この発明の目的は検査すべきワークに体積
差があっても、その体積差によって発生する差圧値の変
動を正しく補正することができ、また常に適正な時期に
校正を行うことができる洩れ検査装置を提供しようとす
るものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１で
は、ワークを格納したワークカプセルと、洩れの無い容
器を格納したマスタカプセルの双方に空気圧を印加し、
これらワークカプセル及びマスタカプセルの相互間に接
続した差圧計により徐々に差圧が発生することを検出し
てワークに微小な洩れが存在すると判定する微小リーク
検査工程と、ワークカプセルとマスタカプセルの相互に
差圧の発生が検出されない場合はワークカプセル側及び
マスタカプセル側の双方の検査回路の内容積を同量ずつ
変化させ、ワークカプセル及びマスタカプセルの相互間
に差圧が発生することを検出してワークに大きい洩れが
あると判定する大リーク検査工程とを実行する比較判定
手段を具備した洩れ検査装置において、差圧計が大リー
ク検査工程で測定する差圧値に発生するドリフト量を捕
捉するドリフト捕捉手段と、このドリフト捕捉手段で捕
捉したドリフト量が所定量に達したことを検出する異常
検出手段と、ドリフト量が所定量に達したことを異常検
出手段が検出することにより、校正要求信号を発信する
校正要求信号発信手段と、を付加した構成とした洩れ検
査装置を提案する。

【００１９】この発明の請求項２では、請求項１記載の
洩れ検査装置において、ドリフト量捕捉手段を、マスタ
カプセルとワークカプセルとの間に大リーク検査工程で
発生する差圧値が比較判定値以下であることを検出して
洩れ無しと判定する毎に、その差圧値を記憶する差圧記
憶手段と、この差圧記憶手段に記憶した複数の差圧値の
移動平均値を算出する移動平均算出手段と、異常検出手
段は移動平均値が所定値に達した時点で異常と判定する
構成とした洩れ検査装置を提案する。

【００２０】この発明の請求項３では、請求項１記載の
洩れ検査装置において、ドリフト補足手段を、洩れの無
いワークを使って行う校正モードにより、複数の差圧値
を求め、これら複数の差圧値の平均値を算出する平均値
算出手段と、この平均値算出手段が算出した平均値を記
憶する平均値記憶手段と、この平均値記憶器に記憶した
平均値から所定の範囲を指定する数値の範囲を記憶する
範囲記憶器と、検査モードにおいて、測定される差圧値
と平均値記憶器に記憶した平均値との偏差を求める偏差
算出手段と、とによって構成し、異常検出手段は偏差算
出手段が算出した偏差と範囲記憶器に記憶した数値の範
囲を比較し、偏差が範囲記憶器に記憶した数値の範囲か
ら外れた時点で異常と判定する構成とした洩れ検査装置
を提案する。

【００２１】この発明の請求項４では、請求項１記載の
洩れ検査装置において、ドリフト量捕捉手段を、比較判
定手段が大きい洩れが有ると判定する毎に、その回数を
計数するカウンタと、このカウンタで計数した計数値が
所定の検査回数に占める割合を算出する演算手段と、に
よって構成し、異常検出手段は演算手段が算出した割合
が所定の比率に達した時点で異常と判定する構成とした
洩れ検査装置を提案する。

【００２２】この発明の請求項５では、請求項１記載の
洩れ検査装置において、ドリフト捕捉手段を、比較判定
手段が大リーク検査工程で大きい洩れが有ると判定する
毎にその回数を計数し、大リーク検査工程で洩れ無しと
判定する毎に計数値をリセットされるカウンタによって
構成し、異常検出手段はカウンタの計数値が所定値に達
した時点で異常と判定する構成とした洩れ検査装置を提
案する。

【００２３】

【作用】この発明による洩れ検査装置によれば差圧計が
測定する差圧値に含まれるドリフト成分をドリフト捕捉
手段により捕捉し、このドリフト捕捉手段が捕捉したド
リフト量が所定値を越えた時点で校正要求信号を発信さ
せる構成としたから、ドリフト量が極端に小さい状態で
校正を行うことはなく、また、ドリフト量が比較判定値
ＮＧに近づくまで検査を続けるような不都合を回避する
ことができる。更にワークの体積変化によって発生する
差圧測定値の変動に対しても的確に校正要求信号を発信
するから、常に最適時期に校正を行うことができる利点
が得られる。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１にこの発明の請求項１で提案
する洩れ検査装置の一実施例を示す。図１において、空
気圧源１からワークカプセル１２Ａ及びマスタカプセル
１３Ｂに至る空気圧回路及び空気圧源１５から可変容積
手段１４Ａ、１４Ｂに至る空気圧回路は全て図９に示し
た洩れ検査装置と同じ構成である。この発明では図９で
説明したとものと同じ体積比較型の洩れ検査装置におい
て、ドリフト捕捉手段１７と、このドリフト捕捉手段１
７に捕捉されたドリフト量が所定値に達した時点で異常
と判定する異常検出手段１８と、この異常検出手段１８
が異常を検出すると校正信号要求信号を発信する校正要
求信号発信器１９とを設けた構成を特徴とするものであ
る。

【００２５】ドリフト捕捉手段１７はこの例では記憶器
１７Ａと移動平均算出手段１７Ｂとによって構成した場
合を示す。記憶器１７Ａには比較判定手段８が大リーク
検査工程でワーク７に「洩れが無い」と判定した場合に
その大リーク検査工程で測定した差圧値を記憶する。記
憶器１７Ａには複数の記憶部が設けられ、この複数の記
憶部に順次複数回の差圧測定値を記憶する。複数の記憶
部の全てに差圧測定値が記憶されると、次に測定された
差圧測定値は最も古い差圧測定値の記憶位置に上書きさ
れる。このようにして記憶器１７Ａには常に最新のＮ個
の差圧測定値が記憶される。

【００２６】記憶器１７Ａに記憶したＮ個、例えばＮ個
の差圧測定値は移動平均算出手段１７Ｂに読み出され、
この移動平均算出手段１７ＢがそのＮ個の差圧測定値の
平均値を算出する。この結果、移動平均算出手段１７Ｂ
はＮ個の差圧測定値の移動平均を算出することになる。
移動平均算出手段１７Ｂで算出した移動平均は異常検出
手段１８に入力される。異常検出手段１８では予め設定
された設定値と移動平均値とを比較し、移動平均値が設
定値に達すると異常検出信号を校正要求信号発信器１９
に出力する。

【００２７】校正要求信号発信器１９に異常検出信号が
入力されると、校正要求信号発信器１９は表示器９に校
正要求信号を出力し、表示器９に校正要求を表示する。
この校正要求が表示されたことによりオペレータはワー
ク７の体積差と熱的なドリフトを含む補正値が比較判定
手段８に設定した比較判定値＋ＮＧ及び−ＮＧに近づい
たことを知ることができる。従って、この時点で洩れ検
査装置を停止し、校正作業に入る。校正作業は新たなワ
ーク群（現在検査工程に投入された製品群）の中から適
当な製品（洩れが無いことを確認する）を選んでワーク
カプセル１２Ａに投入し、そのワークを使って学習運転
（洩れ検査を行う）を行う。学習運転により現在検査工
程に投入された製品群の標準的な差圧発生値を求める。
この差圧発生値を補正値と定め、この補正値を以後の差
圧発生値から差し引いて比較判定手段８に入力する。こ
の補正値の設定変更により校正が終了する。

【００２８】校正後は、再びその製品群の洩れ検査を再
開する。このとき、校正モードで用いたワーク７が仮に
体積分布曲線の中心値（平均値）でなかった場合には他
のワーク７を検査すると比較的大きな差圧が発生し、不
良発生率が高くなる。この結果として、早期に校正要求
信号が再び発信されることになる。従って、再度校正を
行えばよい。校正を繰り返す程製品群の中の各製品は体
積分布曲線のほぼ中心値を持つ製品が圧倒的に多いた
め、ワーク７として体積分布曲線の中心値を持つ製品を
選ぶ確率が高くなる。

【００２９】図２に移動平均値により異常を検出するた
めの設定値と移動平均値との関係を示す。ＡＶは差圧測
定値の移動平均値を示す。＋ＮＧ／２と−ＮＧ／２は異
常と判定するための設定値、＋ＮＧ及び−ＮＧは洩れの
有無を判定するための比較判定値を示す。図２の例では
移動平均値が設定値又は＋ＮＧ／２、−ＮＧ／２に達し
た時点で校正が行われ、移動平均値ＡＶがゼロに修正さ
れた場合を示す。尚、設定値は＋ＮＧ／２及び−ＮＧ／
２に限られるものでなく、＋ＮＧ／２、−ＮＧ／２の近
くの任意の値に設定することができる。

【００３０】このように、洩れの有無を判定するための
比較判定値＋ＮＧ及び−ＮＧより小さい値の設定値、例
えば＋ＮＧ／２、−ＮＧ／２に差圧測定値の移動平均値
ＡＶが達する毎に校正を行うことにより、現実に差圧測
定値に重畳しているドリフトが比較判定値＋ＮＧ又は−
ＮＧに近づくことがない。従って、洩れの無いワーク７
に体積変化が発生し、この体積変化によって発生する差
圧測定値が多少大きく発生しても、このワークを洩れ有
りと判定するような誤った判定を下す恐れはなく、信頼
性を向上することができる。

【００３１】図３はこの発明の他の実施例を示す。この
実施例ではドリフト捕捉手段１７を平均値算出手段１７
Ｃと、この平均値算出手段１７Ｃで算出した平均値を記
憶する平均値記憶手段１７Ｄと、偏差算出手段１７Ｅ
と、設定値記憶手段１７Ｆとによって構成した場合を示
す。つまり、図３に示す実施例では校正モード（ワーク
７に洩れの無いワークを用いて測定を行う）において複
数の差圧値を求め、その平均値を平均値算出手段１７Ｃ
で算出する。

【００３２】平均値算出手段で算出した平均値を平均値
記憶手段１７Ｄに記憶させ、この記憶動作の完了により
校正モードを終了する。この校正モードで求めた平均値
は図４に示す正規分布曲線Ａのほぼ中心値Ｘ１と見るこ
とができる。設定値記憶手段１７Ｆには正規分布曲線Ａ
のすその値Ｘ２とＸ３を記憶させる。このすその値Ｘ２
とＸ３は個別に求めて設定することができる。この設定
値Ｘ２とＸ３の設定により、異常判定手段１８は図４に
示す領域Ｎ１とＮ２、Ｎ３を区別して判定することがで
きる。

【００３３】つまり、検査モードで大リーク検査工程に
おいて、洩れの無いワークで発生する差圧値は構成直後
のドリフトを含まない状態では領域Ｎ１に含まれること
になる。つまり検査モードで大リーク検査時に洩れ無し
と判定される差圧の発生値が領域Ｎ１に入る差圧値が測
定されている状態ではドリフトの影響を受けていないも
のと見ることができる。これに対し、時間の経過に従っ
てドリフトが発生するか、或いはワーク７の体積が校正
時に用いたワークの体積から大きく異なる場合には大リ
ーク検査工程で洩れ無しと判定される差圧値は図４に点
線で示す分布を呈し、領域Ｎ２又はＮ３に含まれる値の
差圧値が発生する。

【００３４】従って、異常検出手段１８は図４に示す領
域Ｎ２、又はＮ３に含まれる差圧値が検出された場合は
その差圧発生値にドリフトが含まれていると判定し、校
正要求信号を発信し、表示器９に校正要求を表示する。
この校正要求によりその時点で検査工程に投入されてい
る製品を使って２回目の校正ＮＯ．２を行うことによ
り、１回目の校正（ＮＯ．１）を行った場合に用いた製
品の体積と、今回用いた製品の体積に差がある場合は例
えば体積分布がＡ´に移ったとすると、新たな中心値Ｘ
１´とすその値Ｘ２´、Ｘ３´を求めることができる。
この中心値Ｘ１´とすその値Ｘ２´、Ｘ３´を設定値記
憶手段１７Ｆに設定すれば新たな製品群の検査を行うこ
とができる。

【００３５】尚、図３に示した実施例では校正モードで
求めたすその値Ｘ２、Ｘ３を設定したが、この設定値及
び異常検出手段としては標準偏差、平均偏差、工程能力
等を利用することができる。図５はこの発明の更に他の
実施例を示す。この実施例ではドリフト捕捉手段１７を
２台のカウンタ１７Ｈ、１７Ｉと演算手段１７Ｊとによ
って構成した場合を示す。カウンタ１７Ｈは比較判定手
段８が「大きい洩れが有る」と判定する毎にその回数を
計数する。カウンタ１７Ｉは検査回数を計数する。演算
手段１７Ｊはカウンタ１７Ｈの計数値をカウンタ１７Ｉ
の計数値によって割り算し、検査回数に対する大きい洩
れの発生回数が占める割合を求める。

【００３６】カウンタ１７Ｈに計数された計数値はカウ
ンタ１７Ｉの計数値が所定数、例えば１００回に達する
毎にリセットされる。従って、演算手段１７Ｊでは検査
回数が１００回に達する毎に大きい洩れが有ると判定し
たワーク７の割合が算出される。演算手段１７Ｊが算出
する値が例えば０．１（１０％）を越えると、異常検出
手段１９は異常と判定し、校正要求信号発信器１８に検
出信号を出力し、校正要求信号を発信させる。

【００３７】このように、不良発生の発生頻度を求める
ことによっても、ドリフト量が比較判定値＋ＮＧ及び−
ＮＧに近づいていることを検出することができる。ま
た、図１０で説明した体積差の偏差δ１又はδ２が発生
していることを検出することができる。図６はこの発明
の更に他の実施例を示す。この実施例ではドリフト捕捉
手段１７を１台のカウンタ１７Ｈによって構成した場合
を示す。カウンタ１７Ｈは比較判定手段８が大リーク検
査工程で大リーク有りと判定する毎にその発生回数を計
数する。更に大リーク検査工程で洩れ無しと判定する毎
に、カウンタ１７Ｈの計数値をリセットさせる。

【００３８】異常検出手段１８はカウンタ１７Ｈの計数
値が所定値、例えば「５」に達した時点で異常と判定
し、構成要求信号を発信させる。この実施例によれば大
リークが存在する製品が連続して、例えば５個検出され
ると、校正の必要があるものと判定し、校正要求信号を
発信させる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
ドリフトが異常値に達したことを検出して校正要求信号
を発信させる構成としたから、常に適正な状態（最も校
正を行う必要がある状態）で校正を行うことができるか
ら、校正を必要としない状況で無駄に校正を行うことが
無く、洩れ検査装置の稼働率の低下を招く恐れはない。
また、構成要求信号の発生を比較判定値ＮＧより小さい
設定値に設置したから、実動中にドリフト量が比較判定
値ＮＧに近づくことはない。この結果、ワーク７の体積
変化によって発生する差圧値が比較判定値ＮＧを越えて
洩れ有りと判定する率を下げることができ、検査の信頼
性を高めることができる利点も得られ、その効果は実用
に供して頗る大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を説明するためのブロック
図。

【図２】図１の動作を説明するためのグラフ。

【図３】この発明の他の実施例を説明するためのブロッ
ク図。

【図４】図３の動作を説明するためのグラフ。

【図５】この発明の更に他の実施例を説明するためのブ
ロック図。

【図６】この発明の更に他の実施例を説明するためのブ
ロック図。

【図７】従来の技術を説明するためのブロック図。

【図８】従来の技術の他の例を説明するためのブロック
図。

【図９】従来の技術の更に他の例を説明するためのブロ
ック図。

【図１０】従来の技術の不都合を説明するためのグラ
フ。

【図１１】図１０と同様のグラフ。

【符号の説明】

１ 空気圧源 ２ 三方電磁弁 ３、３Ａ、３Ｂ 空気圧供給路 ４、４Ｂ、４Ｂ 制御弁 ５Ａ 圧力計 ５Ｂ 差圧計 ６ ワーク接続部 ７ ワーク ８ 比較判定手段 ９ 表示器 １７ ドリフト捕捉手段 １７Ａ 記憶器 １７Ｂ 移動平均算出手段 １７Ｃ 平均値算出手段 １７Ｄ 平均値記憶手段 １７Ｅ 偏差値算出手段 １７Ｆ 偏差値記憶手段 １７Ｇ 偏差値移動平均算出手段 １８ 異常検出手段 １９ 校正要求信号発信器

フロントページの続き (72)発明者 土屋 篤 東京都八王子市石川町2974番地23 株式会 社コスモ計器内 Ｆターム(参考） 2G067 BB28 DD03 EE10

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】Ａ、ワークを格納したワークカプセルと、
   洩れの無い容器を格納したマスタカプセルの双方に空気
   圧を印加し、これらワークカプセル及びマスタカプセル
   の相互間に接続した差圧計により徐々に差圧が発生する
   ことを検出して上記ワークに微小な洩れが存在すると判
   定する微小リーク検査工程と、上記ワークカプセルとマ
   スタカプセルの相互に差圧の発生が検出されない場合は
   上記ワークカプセル側及びマスタカプセル側の双方の検
   査回路の内容積を同量ずつ変化させ、上記ワークカプセ
   ル及びマスタカプセルの相互間に差圧が発生することを
   検出して上記ワークに大きい洩れがあると判定する大リ
   ーク検査工程とを実行する比較判定手段を具備した洩れ
   検査装置において、 Ｂ、上記差圧計が大リーク検査工程で測定する差圧値に
   発生するドリフト量を捕捉するドリフト捕捉手段と、 Ｃ、このドリフト捕捉手段で捕捉したドリフト量が所定
   量に達したことを検出する異常検出手段と、 Ｄ、ドリフト量が所定量に達したことを上記異常検出手
   段が検出することにより、校正要求信号を発信する校正
   要求信号発信手段と、 を付加した構成としたことを特徴とする洩れ検査装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の洩れ検査装置において、上
   記ドリフト量捕捉手段を、 Ａ、マスタカプセルとワークカプセルとの間に大リーク
   検査工程で発生する差圧値が比較判定値以下であること
   を検出して洩れ無しと判定する毎に、その差圧値を記憶
   する差圧記憶手段と、 Ｂ、この差圧記憶手段に記憶した複数の差圧値の移動平
   均値を算出する移動平均算出手段と、 によって構成し、 Ｃ、上記異常検出手段は上記移動平均値が所定値に達し
   た時点で異常と判定する構成としたことを特徴とする洩
   れ検査装置。
3. 【請求項３】請求項１記載の洩れ検査装置において、上
   記ドリフト捕捉手段を、 Ａ、洩れの無いワークを使って行う校正モードにより、
   複数の差圧値を求め、これら複数の差圧値の平均値を算
   出する平均値算出手段と、 Ｂ、この平均値算出手段が算出した平均値を記憶する平
   均値記憶手段と、 Ｃ、この平均値記憶器に記憶した平均値から所定の範囲
   を指定する数値の範囲を記憶する範囲記憶器と、 Ｄ、検査モードにおいて、測定される差圧値と上記平均
   値記憶器に記憶した平均値との偏差を求める偏差算出手
   段と、 とによって構成し、 Ｅ、上記異常検出手段は上記偏差算出手段が算出した偏
   差と上記範囲記憶器に記憶した数値の範囲を比較し、上
   記偏差が上記範囲記憶器に記憶した数値の範囲から外れ
   た時点で異常と判定する構成としたことを特徴とする洩
   れ検査装置。
4. 【請求項４】請求項１記載の洩れ検査装置において、上
   記ドリフト捕捉手段を、 Ａ、上記比較判定手段が大リーク検査工程で大きい洩れ
   が有ると判定する毎に、その回数を計数するカウンタ
   と、 Ｂ、このカウンタで計数した計数値が所定の検査回数に
   占める割合を算出する演算手段と、 によって構成し、 Ｃ、上記異常検出手段は上記演算手段が算出した割合が
   所定の比率に達した時点で異常と判定する構成としたこ
   とを特徴とする洩れ検査装置。
5. 【請求項５】請求項１記載の洩れ検査装置において、上
   記ドリフト捕捉手段を、 Ａ、上記比較判定手段が上記大リーク検査工程で大きい
   洩れが有ると判定する毎にその回数を計数し、大リーク
   検査工程で洩れ無しと判定する毎に計数値をリセットさ
   れるカウンタによって構成し、 Ｂ、上記異常検出手段は上記カウンタの計数値が所定値
   に達した時点で異常と判定する構成としたことを特徴と
   する洩れ検査装置。