WO2017149582A1 - データ処理方法及び計測装置 - Google Patents

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WO2017149582A1
WO2017149582A1 PCT/JP2016/055977 JP2016055977W WO2017149582A1 WO 2017149582 A1 WO2017149582 A1 WO 2017149582A1 JP 2016055977 W JP2016055977 W JP 2016055977W WO 2017149582 A1 WO2017149582 A1 WO 2017149582A1
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spatial coordinate
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PCT/JP2016/055977
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康成 森
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三井造船株式会社
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/02Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S13/00
    • GPHYSICS
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    • G01S13/00Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
    • G01S13/02Systems using reflection of radio waves, e.g. primary radar systems; Analogous systems
    • G01S13/06Systems determining position data of a target
    • G01S13/08Systems for measuring distance only
    • G01S13/32Systems for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated

Definitions

  • the present invention relates to a data processing method that uses a computer to process measurement data of a wave whose value is determined by the frequency of the wave such as electromagnetic waves generated in space and the spatial coordinates of the space, and a data processing by measuring the wave. It relates to a measuring device.
  • a radar apparatus using an array antenna in which a plurality of antennas are arranged on a plane is known as a non-destructive method for inspecting the inside of a non-metallic structure such as concrete or wood.
  • the array antenna has a configuration in which antennas such as planar antennas are arranged in one direction, for example, and the transmitting array antenna and the receiving array antenna are arranged close to each other. Further, in the radar apparatus, in order to accurately measure the inside of the structure, the object to be measured is measured with a broadband frequency while changing the frequency of the electromagnetic wave at a set frequency interval.
  • the spatial resolution in measurement is high in order to accurately inspect the inside of the structure.
  • the spatial resolution of data obtained by radiation of waves having a frequency such as electromagnetic waves is such that the distance between the structure to be measured and the measurement surface of the transmitting array antenna and the receiving array antenna is relatively close. For example, when the distance is equal to or less than a quarter of the array length of the array antenna and the measurement interval of the measurement data is small, the distance is determined by the center frequency of the wave.
  • the spatial resolution is a resolution in a plane where each antenna of the array antenna is arranged.
  • the theoretical spatial resolution when the measurement interval along the plane of measurement data is sufficiently small is taken into account when the frequency of the radiated wave is swept with a frequency band in consideration of the round-trip path of the electromagnetic wave. Becomes a quarter of the wave wavelength at the center frequency.
  • the spatial resolution in actual measurement is larger than the ideal spatial resolution, and in some cases becomes the measurement interval.
  • a radar apparatus using an array antenna for example, a radar apparatus having a configuration in which a transmitting array antenna and a receiving array antenna configured by a plurality of planar antennas are formed on a common dielectric substrate is known (Patent Document). 1).
  • the arrangement direction of the planar antenna of the transmission array antenna is parallel to the arrangement direction of the planar antenna of the reception array antenna, and the position of the reception array antenna in the arrangement direction of the planar antenna is the transmission array antenna. Between two adjacent planar antenna positions.
  • the electromagnetic wave is measured in a wide frequency band from a low frequency to a high frequency, and therefore the maximum wavelength of the electromagnetic wave becomes long. For this reason, the size of each antenna constituting the array antenna is increased, and the length of the array antenna in the array direction is increased. As a result, the antenna arrangement interval in the receiving array antenna becomes long, the measurement interval of the measurement data tends to exceed a quarter of the minimum wavelength of the radiated electromagnetic wave, and the spatial resolution is lower than the theoretical resolution. In the measurement data, aliasing components are likely to occur. To make the spatial resolution ideal theoretical spatial resolution (one quarter of the wavelength of electromagnetic waves at the center frequency), the number of antennas must be increased within the receiving array antenna to shorten the arrangement interval. . However, increasing the number of antennas is not preferable because the cost of the radar apparatus increases and the circuit configuration of the radar apparatus becomes complicated.
  • an object of the present invention is to provide a data processing method and a measuring apparatus capable of improving the spatial resolution in measurement while keeping the number of antennas arranged constant.
  • One embodiment of the present invention is a data processing method for processing, using a computer, wave measurement data whose value is determined by the frequency of a wave generated in space and the space coordinates of the space.
  • the method is A second spatial coordinate component (for example, x component, y component) excluding a first spatial coordinate component (for example, z component) among spatial coordinate components in space while generating a wave whose frequency changes at a set frequency interval. Sampling the spatial response for the wave at a coarser sampling interval than the spatial resolution determined from the maximum frequency of the frequency according to a sampling theorem.
  • the computer obtains measurement data (for example, s (x ′, y ′, f)) whose value is determined;
  • the computer converts the second spatial coordinate component (for example, x component, y component) of the measurement data into a wave number component (for example, kx component, ky component), thereby the second spatial coordinate component (for example, First processing that is a result of wave number conversion processing of measurement data whose value is determined by positive and negative wave number components (for example, kx component, ky component) corresponding to x component, y component) and the frequency (for example, frequency f) Calculating data (eg, S (k x , k y , f));
  • the computer includes a constraint condition (e.g., a frequency component (e.g., kx component, ky component, kz component) corresponding to all spatial coordinate components in the space and the frequency (e.g., frequency f)).
  • the frequency e.g., frequency f
  • the second space coordinate component e.g., x component and y component
  • the second processing data whose values are determined by all wave number components (for example, kx component, ky component, kz component) corresponding to all the spatial coordinate components in the space S '(k x, k , Calculating a k z)
  • the computer converts the second processing data to all the spatial coordinate components by converting all the wave number components into values of all the spatial coordinate components (for example, x component, y component, z component).
  • the computer is Extending the range of the second wave number component (eg, ky component) in the positive region and the negative region of the second wave number component (eg, ky component) corresponding to at least one of the second spatial coordinate components;
  • the second wave number component (eg, ky component) is Giving a value of the first processing data when ⁇ is larger than a negative value obtained by multiplying the maximum value before expansion of the second wave number component by ⁇ 1;
  • the expanded second wavenumber component (e.g., k y component) data interval of the spatial coordinate component (y component) corresponding to the more than one-quarter of a wavelength corresponding to the maximum frequency, it is preferable.
  • the computer expands the range of the second wavenumber component by two times the range of the second wavenumber component before expansion until the data interval becomes equal to or less than a quarter of the wavelength corresponding to the maximum frequency. It is preferable to repeat this.
  • the reconstruction of the first processing data includes the computer setting the number of data of the first wave number component to be twice or more the sampling number of the frequency.
  • the measurement data includes reflected waves of electromagnetic waves reflected by the measurement object when the measurement object is irradiated with electromagnetic waves from the plurality of transmission antennas arranged at a constant first interval in the first direction.
  • it is data obtained by receiving with a receiving antenna located closest to each of the transmitting antennas,
  • the receiving antennas are arranged at the first interval in the first direction, and are displaced in the first direction by a length that is half the first interval with respect to the arrangement of the transmitting antennas.
  • the sampling interval of the spatial coordinate component corresponding to the second wave number component is preferably half the length of the first interval.
  • the second wave number component includes a wave number component corresponding to the spatial coordinate component in the first direction.
  • the second wave number component includes a wave number component corresponding to a spatial coordinate component in a second direction perpendicular to the first direction, which is a direction in a plane of a plane where the transmitting antenna and the receiving antenna are provided. Is also preferable.
  • the transmitting antenna and the receiving antenna move relative to the measurement object in the second direction.
  • the first spatial coordinate component is preferably a spatial coordinate component in a normal direction of a plane on which the transmission antenna and the reception antenna are provided.
  • the measuring device is A transmitter configured to generate a wave whose frequency changes at a set frequency interval, and a first spatial coordinate component (for example, z component) is excluded from the spatial coordinate components in the space during the generation of the wave Spatial resolution (for example, spatial resolution ⁇ y) determined according to the sampling theorem from the maximum frequency of the frequency (for example, frequency f) for at least one of the second spatial coordinate components (for example, x component, y component) And a reception unit configured to receive the spatial response regarding the wave at a coarser sampling interval (for example, sampling interval ⁇ y), and by receiving the reception unit, the frequency (for example, frequency f) and the A measurement unit comprising: an acquisition unit configured to generate measurement data whose value is determined by a second spatial coordinate component (for example, x component, y component); A data processing unit configured to calculate third processing
  • the data processing unit is By converting the second spatial coordinate component (for example, x component, y component) of the measurement data into a wave number component (for example, kx component, ky component), the second spatial coordinate component (for example, x component, y component) First processing data (for example, first processing data S (k x , a first processing unit configured to calculate k y , f)); A constraint condition (for example, k x 2 + k) between all wave number components (for example, kx component, ky component, kz component) corresponding to all spatial coordinate components in the space and the frequency (for example, frequency f).
  • First processing data for example, first processing data S (k x , a first processing unit configured to calculate k y , f)
  • a constraint condition for example, k x 2 + k
  • the first processing data is reconstructed by obtaining a first wave number component (for example, kz component) corresponding to the first spatial coordinate component (for example, z component) from (for example, kx component, ky component).
  • a second processing unit configured to calculate second processing data whose value is determined by all wave number components (for example, kx component, ky component, kz component) corresponding to all spatial coordinate components in the space.
  • a third processing unit configured to calculate data (for example, third processing data f (x, y, z)).
  • the second processing unit includes: Extending the range of the second wave number component (for example, ky component) in the positive region and the negative region of the second wave number component (for example, ky component) corresponding to at least one of the second spatial coordinate components.
  • the extension data of the positive extension portion of the wave number component in which the second wave number component is ⁇ larger than the maximum value of the range is a negative data obtained by multiplying the maximum value by ⁇ 1 by the second wave number component.
  • the extension data of the negative extension part of the wave number component having a value of ⁇ smaller than the negative value obtained by multiplying the maximum value by ⁇ 1 is A value of the first processing data when a second wave number component (for example, a ky component) is smaller than the maximum value by ⁇
  • the second processing unit is configured to calculate the second processing data using the extension data in addition to the first processing data.
  • the second processing unit expands the range of the second wavenumber component so that the data interval of the spatial coordinate component corresponding to the second wavenumber component is equal to or less than a quarter of the wavelength corresponding to the maximum frequency. It is preferable that it is comprised.
  • the second processing unit sets the range of the second wavenumber component to twice the range of the second wavenumber component before expansion until the data interval is equal to or less than one quarter of the wavelength corresponding to the maximum frequency. It is preferable that the expansion is repeated one by one.
  • the second processing unit is configured to set the number of data of the first wave number component to be twice or more the sampling number of the frequency when reconstructing the measurement data.
  • the transmitting unit includes a plurality of transmitting antennas arranged to irradiate a measurement object with electromagnetic waves and arranged at a constant first interval in a first direction;
  • the receiving unit includes a plurality of transmitting antennas arranged at the first interval in the first direction, configured to receive a reflected wave of an electromagnetic wave reflected by the measurement object,
  • a position that is displaced in the first direction by a length that is half the first interval is provided.
  • the sampling interval of the spatial coordinate component corresponding to the second wave number component is preferably half the length of the first interval.
  • the second wave number component includes a wave number component corresponding to the spatial coordinate component in the first direction.
  • the second wave number component includes a wave number component corresponding to a spatial coordinate component in a second direction perpendicular to the first direction, which is a direction in a plane of a plane where the transmitting antenna and the receiving antenna are provided. Is also preferable.
  • the transmitting antenna and the receiving antenna move relative to the measurement object in the second direction.
  • the first spatial coordinate component is preferably a spatial coordinate component in a normal direction of a plane on which the transmission antenna and the reception antenna are provided.
  • the spatial resolution in measurement can be improved.
  • FIG. 1 It is a figure which shows the structure of an example of the radar apparatus of this embodiment. It is a figure which shows the structure of the array antenna shown in FIG. It is a figure explaining the positional relationship of the array antenna of this embodiment, and a measuring object. It is a figure explaining an example of conversion from angular frequency omega performed by data processing to a kz component.
  • (A), (b) is a figure explaining the part which an aliasing component generate
  • (A) is a figure which shows the relationship between ky component and nky of 1st process data S (kx, ky, (omega)) before the expansion performed in this embodiment, (b) is the expansion performed in this embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an example of a radar apparatus which is an embodiment of a measurement apparatus.
  • FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the array antenna shown in FIG.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining the positional relationship between the array antenna and the measurement object according to the present embodiment.
  • the description will be made on the assumption that the electromagnetic wave is radiated into the space, but a wave propagating in the space such as an X-ray or an ultrasonic wave may be used instead of the electromagnetic wave.
  • the radar apparatus 60 of the present embodiment shown in FIG. 1 receives the reflected wave of the measurement object by radiating the electromagnetic wave from the transmission antenna while sweeping the frequency of the electromagnetic wave using the transmission array antenna and the reception array antenna.
  • Receive measurement data with antenna The measurement data is data having the x-coordinate component, the y-coordinate component, the z-coordinate component, and the frequency of the electromagnetic wave as variables.
  • the measurement data is subjected to the following data processing to calculate spatial distribution data (third processing data) of the reflectance of the measurement object.
  • the measurement data is subjected to double DFT processing related to coordinate components along the plane forming the array antenna, for example, the x coordinate component and the y coordinate component (second spatial coordinate component), to correspond to the x coordinate component and the y coordinate component.
  • First processing data is calculated using the kx component and ky component, which are wave number components, as variables.
  • the range that at least one of the kx component and the ky component (second wave number component), which are variables of the first processing data can be expanded to calculate expanded first processing data.
  • a variable frequency or angular frequency is converted into a z-coordinate component (first spatial coordinate component: a coordinate component in a direction orthogonal to the plane forming the transmitting array antenna and the receiving array antenna. )
  • first spatial coordinate component a coordinate component in a direction orthogonal to the plane forming the transmitting array antenna and the receiving array antenna.
  • second processing data is calculated.
  • a triple inverse DFT process on the kx component, the ky component, and the kz component is performed on the second processing data to calculate third processing data that is spatial distribution data of the reflectance of the measurement object.
  • the x coordinate component and the y coordinate component of the third processing data are Since at least one measurement interval (sampling interval) can be shortened, the spatial resolution is improved.
  • this embodiment will be described in detail using the radar device 60.
  • the radar apparatus 60 includes a measurement unit 61, a data processing unit 66, and an image display unit 68.
  • the measurement unit 61 includes a transmitting array antenna 50, a receiving array antenna 52, high frequency switches 58 and 59, a high frequency circuit 62, and a system control circuit 64.
  • the radar device 60 emits an electromagnetic wave of 10 MHz or more, for example, 10 to 20 GHz, but the frequency of the electromagnetic wave is not particularly limited.
  • a plurality of transmitting antennas 10a are arranged in one direction, and each transmitting antenna 10a radiates an electromagnetic wave toward a measurement object.
  • a plurality of receiving antennas 10b are arranged along the arrangement direction of the transmitting antennas 10a, and each receiving antenna 10b receives an electromagnetic wave reflected from the measurement object.
  • the transmitting antenna 10a of the transmitting array antenna 50 and the receiving antenna 10b of the receiving array antenna 52 are provided on one plane, and the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 are arranged so that the measurement object faces this plane. Is placed.
  • the data processing unit 66 performs a plurality of measurements obtained by performing transmission toward the measurement object by the plurality of transmission antennas 10a of the transmission array antenna 50 and reception by the plurality of reception antennas 10b of the reception array antenna 52. The data is processed to calculate image data relating to the measurement object.
  • the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 10b of the present embodiment are planar antennas in which an antenna pattern is planarly formed on a substrate, but are not limited to planar antennas.
  • the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 are configured to move parallel to the surface of the measurement object. That is, the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 perform measurement while scanning along the surface of the measurement object.
  • the system control circuit 64 transmits the transmission array antenna 50 for each unit length of the moving distance of the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52.
  • the operation of the high frequency circuit 62 is controlled so as to radiate electromagnetic waves while switching the antenna 10 with the high frequency switch 58.
  • the movement of the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 is integrally provided on a substrate on which the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 are provided, and an encoder 69 that generates a pulse signal at every fixed moving distance.
  • the plurality of receiving antennas 10b are sequentially switched and received by the respective receiving antennas 10b by the high frequency switch 59.
  • the frequency of the electromagnetic wave radiated from the transmitting array antenna 50 is swept at a set frequency interval within a range of, for example, 10 to 20 GHz, for example, to radiate the electromagnetic wave. Therefore, the measurement data obtained from the high frequency circuit 62 is data whose value is determined by the position received by the receiving antenna 10b and the frequency.
  • the operation of the high-frequency switch 59 is such that the reflected wave of the electromagnetic wave when the electromagnetic wave radiated from the transmitting antenna 10a is reflected by the measurement object is received by the receiving antenna 10b closest to the transmitting antenna 10a that radiated the electromagnetic wave. It is controlled.
  • the receiving microwave amplifier (RF amplifier) is set so that the gain is changed for each pair of the transmitting antenna 10a for transmitting and the receiving antenna 10b for receiving. It has a variable gain amplification function that switches the gain according to the selection of the pair of the transmission antenna 10a and the reception antenna 10b, and can increase the inspectable depth of a defect or the like in the measurement object.
  • the arrangement direction of the transmission antenna 10a of the transmission array antenna 50 and the reception antenna 10b of the reception array antenna 52 are parallel, and as shown in FIG. 2, the arrangement direction is the y direction (see FIG. 2).
  • the moving direction (scanning direction) of the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 is assumed to be the x direction (see FIGS. 1 and 2).
  • the direction in which the measurement object is present (the electromagnetic wave transmission direction) when viewed from the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 is defined as the z direction (see FIGS. 1 and 2).
  • the sampling interval ⁇ y (see FIG. 2) of the measurement data, which is half of the interval 2 ⁇ y (see FIG.
  • the radar apparatus 60 includes a transmission unit including the transmission array antenna 50 and the high frequency switch 58, a reception unit including the reception array antenna 52 and the high frequency switch 59, and an acquisition unit including the high frequency circuit 62.
  • the transmitter is configured to generate an electromagnetic wave whose frequency changes at a set frequency interval.
  • the receiving unit is configured to receive a response (reflected wave) of the space including the measurement object regarding the electromagnetic wave while generating the electromagnetic wave.
  • the acquisition unit is configured to generate measurement data s (x ′, y ′, f) whose values are determined by the frequency f, the x-coordinate component, and the y-coordinate component (second spatial coordinate component) by reception of the receiving unit. ing.
  • the data processing unit 66 processes the measurement data s (x ′, y ′, f) obtained by transmitting and receiving electromagnetic waves by the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52, and displays image data representing the inside of the measurement object. 3rd processing data corresponding to is created.
  • the data processing unit 66 is configured by a computer, for example, and can display the functions of the data processing unit 66 by calling and starting a program stored in the storage unit 66a. That is, the data processing unit 66 can be configured by a software module. An image inside the measurement object is displayed on the image display unit 68 using the created image data.
  • FIG. 2 schematically illustrates the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52.
  • the positions of the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 10b in the x direction are shifted by ⁇ L.
  • the positions of the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 10b in the x direction are between the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 10b.
  • the following description will be made assuming that the dot is in the middle circle. This circled point is called a transmission / reception point. Therefore, the positional relationship among the measurement object, the transmitting array antenna 50, and the receiving array antenna 52 can be expressed as shown in FIG.
  • s (x ′, y ′, z 0 , f) is measurement data
  • z 0 is a coordinate value in the z direction of the transmission / reception point and is constant.
  • f (x, y, z) is spatial distribution data of the reflectance of the measurement object, and data calculated by the data processing unit 66 from the measurement data s (x ′, y ′, f) (third processing data). And corresponds to image data representing the inside of the measurement object.
  • f (x, y, z) and s (x ′, y ′, ⁇ ) have the relationship of the following formula (1).
  • the electromagnetic wave is represented by a spherical wave, and distance attenuation is omitted. This distance attenuation is omitted because it does not affect the subsequent processing.
  • the exponent part of the integrand of the second-stage equation in the above equation (1) is expressed by the Fourier transform notation, the following equation (2) is obtained.
  • kx, ky, and kz are wave number components of the wave number vector k of the electromagnetic wave corresponding to the x coordinate component, the y coordinate component, and the z coordinate component.
  • the wave vector k is a wave vector of an electromagnetic wave propagating back and forth between the transmission / reception point and the reflection position of the measurement object.
  • Formula (2) can be arranged like the following Formula (3).
  • the inner part of ⁇ in the second-stage formula in the formula (3) is a triple-fold Fourier transform formula for x, y, and z.
  • the outer part of [] in the second-stage equation is a double inverse Fourier transform equation relating to kx and ky. Therefore, double Fourier transform is performed on both sides x ′ and y ′, the function after Fourier transform of f (x, y, z) is F (kx, ky, kz), and measurement data s (x ′, y ′ , ⁇ ) after the Fourier transform function is S (kx, ky, ⁇ ), the second-stage expression in the above expression (3) can be written as the following expression (4).
  • the third target data f (x, y, z), which is the final target, is obtained by performing the triple inverse Fourier transform on kx, ky, kz on both sides of the second-stage formula in formula (4). It can be obtained as in equation (5).
  • the third processing data f (x, y, z) is calculated. This data processing is performed by the data processing unit 66.
  • the data processing unit 66 includes a first processing unit 66b, a second processing unit 66c, and a third processing unit 66d. From the measurement data s (x ′, y ′, ⁇ ), all data in the space is included. F (x, y, z) whose value is determined by the x-coordinate component, y-coordinate component, and z-coordinate component, which are the spatial coordinate components, is calculated.
  • the first processing unit 66b converts the x-coordinate component and the y-coordinate component (second spatial coordinate component) of the measurement data s (x ′, y ′, ⁇ ) into a kx component and a ky component that are wavenumber components, First processing data S (kx) which is a result of wave number conversion processing of measurement data whose values are determined by the positive and negative kx and ky components corresponding to the x and y coordinate components and the angular frequency ⁇ (or frequency f). , Ky, ⁇ ).
  • DFT Discrete Fourier Transform
  • Inverse DFT is used as inverse Fourier transform.
  • the second processing unit 66c includes the kx component, the ky component, and the kz component, which are all wave number components corresponding to all the spatial coordinate components in the space, and the constraint condition k x between the angular frequency ⁇ (or the frequency f).
  • the third processing unit 66d converts all the wave number components into all the spatial coordinate components (triple inverse Fourier transform) of the second processing data S ′ (kx, ky, kz), thereby obtaining all the spatial coordinate components.
  • Third processing data f (x, y, z) whose values are determined by (x coordinate component, y coordinate component, and z coordinate component) is calculated.
  • the kx component, the ky component, and the value of ⁇ are represented by discrete values.
  • kx n kx / (N kx / 2) ⁇ kx max for positive kx components
  • kx (n kx ⁇ N kx ) / (N kx / 2) ⁇ kx max for positive kx components
  • positive Ky n ky / (N ky / 2) ⁇ ky max for negative ky components
  • ky (n ky ⁇ N ky ) / (N ky / 2) ⁇ ky max
  • nf for negative ky components / Nf ⁇ 2 ⁇ ⁇ f max .
  • N kx and N ky are the number of measurement points of the x coordinate component and the y coordinate component.
  • n kx and n ky are discrete value parameters which are integers of 0 or more and less than N kx and 0 or more and less than N ky and determine values of the kx component and the ky component.
  • the positive kx component and ky component correspond to n kx and n ky being 1 or more and N kx / 2 and N ky / 2 or less, and the negative kx component and The ky component corresponds to n kx and n ky being N kx / 2 + 1, N ky / 2 + 1 or more, less than N kx, and less than N ky .
  • kx max and ky max are the maximum wave numbers of the kx component and the ky component, and are ⁇ / ⁇ x and ⁇ / ⁇ y determined from the sampling theorem.
  • ⁇ x is a sampling interval (measurement interval) in the x direction (scanning direction) shown in FIG.
  • ⁇ y is a sampling interval (measurement interval) in the y direction.
  • f max is the maximum frequency of the electromagnetic wave
  • N f is the frequency measurement number
  • n f is an integer from 1 to N f and is a discrete value parameter that determines the value of ⁇ .
  • n f corresponding to the specific frequency band is a part of an integer of 1 or more and N f or less.
  • N kz is the sampling number of the z coordinate component.
  • n kz is an integer of 0 or more and less than N kz , and is a discrete value parameter that determines the value of the kz component.
  • N kz is an even number
  • the positive kz component corresponds to n kz being 1 or more and N kz / 2 or less
  • the negative kz component corresponds to n kz being N kz / 2 + 1 or more and less than N kz.
  • kz max is the maximum wave number of the kz component, and is ⁇ / ⁇ z determined from the sampling theorem.
  • ⁇ z is a data interval in the z direction shown in FIG. This data interval ⁇ z can be expressed as c / (4 ⁇ ⁇ f) / N kz in consideration of the maximum range in the z direction determined by c / (4 ⁇ ⁇ f).
  • N kz of the z direction is appropriate, as described below, is preferably 2 times or more of N f.
  • the discrete value parameter n kz corresponding to the kz component is converted into an integer when converting from ⁇ to kz. It is difficult to define as. Therefore, the value of the discrete value parameter n kz that is an integer is set from 0 to N kz in order, and at this time, the value of ⁇ obtained under the constraint condition using the value of the kx component and the value of the ky component is set.
  • the calculated value of ⁇ , the value of the kx component, and the value of the first processing data S (kx, ky, ⁇ ) in the value of the ky component are used as the first processing data S (kx, ky, ⁇ ). It is preferable to calculate using this interpolation.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of conversion from ⁇ to kz.
  • the kx component value, the ky component value, and the kz component value of the second processing data S ′ (kx, ky, kz)
  • the corresponding n kx value, n ky value, and n It is expressed by a value of kz
  • the value of n kx , the value of n ky , and n f It is expressed by the value of In the example shown in FIG.
  • FIGS. 5A and 5B are diagrams illustrating a portion where aliasing occurs.
  • the aliasing component in the data is noise in which a frequency component lower than the actual frequency appears due to a small number of sampling points (number of measurement points).
  • the absolute value of the ky component exceeds ky max , indicating that the data of the extended portion becomes an aliasing component (aliasing component).
  • the angular frequency ⁇ corresponding to the expanded ky component is satisfied even if n f and n ky of the extended portion satisfy the above-described constraint conditions and the absolute value of the ky component expanded n ky exceeds ky max.
  • the first processing data S (kx, ky, ⁇ ) can exist.
  • FIG. 6A is a diagram illustrating the relationship between the ky component of the first processing data S (kx, ky, ⁇ ) before expansion and n ky .
  • the extension of the first processing data is performed by the second processing unit 66c.
  • the n ky 0 to N ky / 2
  • the value of ky components with increasing n ky increases
  • the value of the negative ky component, n It is set to increase as ky increases and approaches zero.
  • the positive ky component is expanded as indicated by arrow A
  • the negative ky component is expanded as indicated by arrow B.
  • n ky is set in the range of 0 to Nky for the positive ky component, and is set in the range of greater than ⁇ N ky and less than 0 for the negative ky component.
  • the sizes of the positive extension part and the negative extension part are the same.
  • the second processing section 66c is extended in the positive region and the negative region of the ky components, the range of ky components, set wider than ky max ⁇ -ky max of ky components, namely a range of ky components Configured to do.
  • the extension data of the positive extension portion of the wave number component in which the ky component is larger than the maximum value ky max before expansion by ⁇ is obtained by multiplying the maximum value ky max before expansion by ⁇ 1 by the ky component.
  • FIG. 6B is a diagram illustrating the relationship between the original ky component before expansion and n ky , and the relationship between the ky component in the expanded portion and n ky . In this way, the maximum wave number of the ky component is expanded from ky max to 2 ⁇ ky max .
  • FIG. 6C is a diagram illustrating an example of the expansion of the ky component and the expanded first processing data S (kx, ky, ⁇ ).
  • Such expansion is performed by the second processing unit 66c illustrated in FIG. 1 and is performed before calculating the second processing data S ′ (kx, ky, kz). Therefore, in the calculation of the second processing data S ′ (kx, ky, kz), the above-described extension data is used in addition to the original first processing data S (kx, ky, ⁇ ).
  • the data obtained by integrating the original first processing data S (kx, ky, ⁇ ) and the above-mentioned extension data obtained from the first processing data S (kx, ky, ⁇ ) by expanding the wave number component is first expanded. This is referred to as processing data S 2 (kx, ky, ⁇ ).
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a graph corresponding to the graph illustrated in FIG. 5A of the extended first process data S 2 (kx, ky, ⁇ ).
  • n ky2 64
  • the ky component has the maximum wave number.
  • FIG. 8 shows an example in which reconstruction is performed using the result of extending the first processing data S (kx, ky, ⁇ ), that is, the second processing data S ′ (kx, ky, kz) is calculated. Yes.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a relationship between the extended first processing data S 2 (kx, ky, ⁇ ) and the second processing data S ′ (kx, ky, kz). In FIG. 8, similarly to FIG.
  • the second processing unit 66c performs such expansion and reconfiguration. Therefore, the second processing data S ′ (kx, ky, kz) calculated by the second processing unit 66c includes an expanded ky component.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the flow of data processing.
  • the data processing unit 66 acquires the measurement data s (x ′, y ′, ⁇ ) and stores it in the storage unit 66a (ST10).
  • the first processing unit 66a performs a frequency conversion process (DFT process) on the x-coordinate component and the y-coordinate component on the measurement data s (x ′, y ′, ⁇ ) to obtain the first processing data S ( kx, ky, ⁇ ) is calculated (ST12).
  • DFT process frequency conversion process
  • the second processing unit 66c expands the ky component of the first processing data S (kx, ky, ⁇ ), thereby increasing the ky max to increase the first processing data S (kx, ky, ⁇ ).
  • the extended first process data S 2 (kx, ky, ⁇ ) incorporating the extended data is created (ST14).
  • the third processing unit 66d converts the kx component, the ky component, and the kz component of the second processing data S ′ (kx, ky, kz) into an x coordinate component, a y coordinate component, and a z coordinate component (
  • third processing data f (x, y, z) whose values are determined by the x coordinate component, the y coordinate component, and the z coordinate component is calculated (ST18).
  • information on the ky component is included in the measurement data s (x ′, y ′, ⁇ ).
  • ⁇ y is a sampling interval between transmission and reception points determined by the transmission antenna 10a and the reception antenna 10b, reducing ⁇ y is limited because the number of transmission antennas and reception antennas is increased.
  • the maximum wave number ky max of the ky component can be increased by the expansion of the ky component described above. Therefore, the third processing data f (x, y obtained by the inverse DFT processing is used. , Z), the data interval of the y coordinate component becomes small. For example, if the maximum wave number ky max is n times, the data interval of the y coordinate component is 1 / n times. Therefore, the spatial resolution in measurement can be improved. For example, the spatial resolution can be set to the theoretical resolution (1/4 of the wavelength corresponding to the center frequency of the electromagnetic wave).
  • the ky component is expanded as an example, but the kx component can be expanded.
  • the x direction is the scanning direction of the transmitting array antenna 50 and the receiving array antenna 52 as shown in FIG. 2, the kx component is expanded instead of the ky component even if the measurement interval in the scanning direction is rough.
  • the spatial resolution in the scanning direction can be improved.
  • N ky 64
  • maximum frequency f max 20 GHz
  • minimum frequency f min 10 GHz
  • number of measurements N f 64
  • relative permittivity ⁇ r 1, minimum wavelength of electromagnetic wave (wavelength at maximum frequency 20 GHz)
  • a quarter of 15 mm) is 3.75 mm.
  • the sampling interval of the y coordinate component is ⁇ / (2 ⁇ ky max )
  • the sampling interval (data interval) of the y coordinate component becomes 1 / n. Therefore, in the radar apparatus 60 or data processing of this embodiment, in order to improve the spatial resolution in the y direction, the sampling interval (data interval) of the y coordinate component corresponding to the expanded ky component corresponds to the maximum frequency. It is preferable that it is 1/4 or less of the minimum wavelength which is a wavelength. That is, it is preferable to extend the ky component so that the sampling interval (data interval) of the y coordinate component is equal to or less than a quarter of the minimum wavelength that is a wavelength corresponding to the maximum frequency.
  • the range of the ky component is set so that the sampling interval (data interval) of the y coordinate component is equal to or less than 1 ⁇ 4 of the minimum wavelength. It is preferable to repeat the expansion by twice the range of the ky component.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining the relationship between the ky component and the discrete value parameter n ky when the original ky component before expansion (bold line AB portion and CD portion) is expanded four times. In this way, the expansion can be repeated twice using the original part.
  • the ky component is targeted for expansion.
  • ⁇ x is larger than a quarter of the minimum wavelength
  • the kx component can be targeted for expansion.
  • the kx component and the ky component can be targeted for expansion.
  • the reconstruction of the first processing data S (kx, ky, ⁇ ) performed by the second processing unit 66c is performed by changing the number of kz component data (sampling number) to the number of frequency samplings. It is preferable to include setting to 2 times or more of (the number of measurements). That is, it is preferable that N kz ⁇ 2 ⁇ N f . Thereby, at the time of reconfiguration
  • a method that uses a pair of the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 19b that are closest to each other is used as a method for transmitting and receiving electromagnetic waves, but one transmitting antenna 10a.
  • a method of obtaining measurement data multipath method by receiving it also at the receiving antenna 10b located at a distant position can be used.
  • multipath method multipath method
  • the measurement data s (x ′, y ′, ⁇ ) is the electromagnetic wave reflected by the measurement object when the measurement object is irradiated from a plurality of transmission antennas 10a arranged at a constant first interval in the y direction. This is data obtained by receiving the reflected wave with the receiving antenna 10b located closest to each of the transmitting antennas 10a among the plurality of receiving antennas 10b.
  • the receiving antennas 10b are arranged at a first interval (2 ⁇ y in FIG. 2) in the y direction, and are displaced in the y direction by a length that is half the first interval with respect to the arrangement of the transmitting antennas 10a. It has been.
  • the sampling interval ⁇ y of the y coordinate component corresponding to the ky component is half the length of the first interval.
  • the wave number component to be expanded preferably includes a ky component corresponding to the y coordinate component in the arrangement direction (y direction) of the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 10b. Further, in the radar device 60 or data processing of the present embodiment, the wave number component to be expanded is the x-coordinate in the x direction orthogonal to the y direction, which is the direction in the plane of the plane where the transmitting antenna 10a and the receiving antenna 10b are provided. It is also preferable to include a kx component corresponding to the component. In the radar device 60 or the data processing of the present embodiment, it is preferable that the transmission antenna 10a and the reception antenna 10b move and scan relative to the measurement object in the x direction.
  • k x 2 + k y 2 + k z 2 4 ⁇ ⁇ r ⁇ (2 ⁇ f / c 0) 2 (c 0 is the velocity of light in a vacuum, epsilon r is preferably the relative dielectric constant of the medium through which the electromagnetic wave propagates.

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Abstract

電磁波を測定対象物に放射し、電磁波の測定対象物で反射した反射波を計測した計測データを処理するデータ処理方法及びその計測装置を開示する。取得した計測データs(x',y',ω)に、x成分及びy成分に関するDFT(離散化フーリエ変換)が施されて第1処理データS(k,k,ω)が取得される。この後、ky成分の取り得る範囲が拡張された後、角周波数ωをkz成分に変換して、第2処理データS(kx,ky,kz)が算出される。この後、第2処理データに逆フーリエ変換を施して測定対象物の反射率のデータf(x,y,z)が算出される。前記ky成分の拡張では、正のky成分の、拡張前の最大値よりδ大きい拡張部分には、ky成分の拡張前の最大値に-1を乗算した負の値よりδ大きいときの第1処理データの値を与え、負のky成分の、拡張前の最大値に-1を乗算した負の値よりδ小さい拡張部分には、ky成分が拡張前の前記最大値よりδ小さいときの第1処理データの値を与える。

Description

データ処理方法及び計測装置
 本発明は、空間に生成する電磁波等の波動の周波数と空間の空間座標とによって値が定まる波動の計測データを、コンピュータを用いて処理するデータ処理方法、及び、波動を計測してデータ処理をする計測装置に関する。
 従来より、コンクリートや木材等の非金属の構造物の内部を非破壊で検査する方法として、平面上に複数のアンテナが配置されたアレイアンテナを用いたレーダ装置が知られている。アレイアンテナは、例えば平面アンテナ等のアンテナが一方向に並んだ構成であり、送信用アレイアンテナと受信用アレイアンテナが近接して配置される。また、レーダ装置では、構造物の内部を精度よく計測するために、電磁波の周波数を設定された周波数間隔で変更しながら、広帯域の周波数で測定対象物を計測する。
 レーダ装置では、構造物の内部を正確に検査するために、計測における空間分解能が高いことが望まれる。一般に、電磁波等の周波数を持った波動の放射によって得られるデータの空間分解能は、計測対象の構造物と送信用アレイアンテナ及び受信用アレイアンテナの計測面との間の距離が相対的に近接し、例えば、前記距離がアレイアンテナの配列長さの4分の1以下であり、かつ計測データの計測間隔が小さい場合、波動の中心周波数によって定まる。ここで空間分解能は、アレイアンテナの各アンテナが配置される平面内の分解能である。
 例えば、計測データの上記平面に沿った計測間隔が十分に小さい場合の理論空間分解能は、電磁波の往復経路を考慮して、放射する波動の周波数が周波数帯域を持って掃引される場合、周波数帯域の中心周波数における波動の波長の4分の1になる。しかし、計測データの計測間隔が大きく、この計測間隔が電磁波の最小波長の4分の1を超える場合、実際の計測における空間分解能は、理想空間分解能より大きくなり、場合によっては計測間隔になる。
 アレイアンテナを用いたレーダ装置に関して、例えば、複数の平面アンテナで構成された送信用アレイアンテナと受信用アレイアンテナが共通の誘電体基板に形成された構成のレーダ装置が知られている(特許文献1)。このレーダ装置では、送信用アレイアンテナの平面アンテナの配列方向は、受信用アレイアンテナの平面アンテナの配列方向と平行であり、受信用アレイアンテナの平面アンテナの配列方向における位置は、送信用アレイアンテナの隣接する平面アンテナの2つの位置の中間にある。
特開2015-095840号公報
 上記レーダ装置では、低い周波数から高い周波数まで広い周波数帯域で電磁波を計測するため、電磁波の最大波長は長くなる。このため、アレイアンテナを構成する各アンテナの大きさは大きくなり、アレイアンテナにおけるアンテナの配列方向の長さは長くなる。その結果、受信用アレイアンテナにおけるアンテナの配置間隔は長くなり、計測データの上記計測間隔は、放射される電磁波の最小波長の4分の1を超え易く、空間分解能は理論分解能より低下し、しかも、計測データにはエイリアシング成分が生じ易い。空間分解能を、理想とする理論空間分解能(中心周波数における電磁波の波長の4分の1)にするには、受信用アレイアンテナ内でアンテナの配置数を増やして、配置間隔を短くしなければならない。しかし、アンテナの配置数を増やすことにより、レーダ装置のコストは上昇し、さらにレーダ装置の回路構成は複雑になり、好ましくない。
 そこで、本発明は、アンテナの配置数を一定に維持したまま、計測における空間分解能を向上させることができるデータ処理方法及び計測装置を提供することを目的とする。
 本発明の一態様は、空間に生成する波動の周波数と前記空間の空間座標とによって値が定まる波動の計測データを、コンピュータを用いて処理するデータ処理方法である。
 当該方法は、
 設定された周波数間隔で周波数が変わる波動を生成しながら、空間内の空間座標成分のうち第1空間座標成分(例えば、z成分)を除く第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)の少なくとも1つ以上について、前記周波数の最大周波数からサンプリング定理に従がって定まる空間分解能に比べて粗いサンプリング間隔で前記波動に関する前記空間の応答をサンプリングすることにより、前記周波数(例えば、周波数f)と前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)とによって値が定まる計測データ(例えば、s(x’,y’,f))をコンピュータが取得するステップと、
 前記コンピュータが、前記計測データの前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)を波数成分(例えば、kx成分,ky成分)に変換することにより、前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)に対応する正及び負の波数成分(例えば、kx成分,ky成分)と前記周波数(例えば、周波数f)とによって値が定まる計測データの波数変換処理結果である第1処理データ(例えば、S(k,k,f))を算出するステップと、
 前記コンピュータが、前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分(例えば、kx成分,ky成分,kz成分)と前記周波数(例えば、周波数f)との間の拘束条件(例えば、k +k +k =4×εr×(2πf/c)下、前記周波数(例えば、周波数f)と前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)に対応する波数成分(例えば、kx成分,ky成分)から、前記第1空間座標成分(例えば、z成分)に対応する第1波数成分(例えば、kz成分)を求めることにより、前記第1処理データの再構成をして、前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分(例えば、kx成分,ky成分,kz成分)によって値が定まる第2処理データ(例えば、第2処理データS’(k,k,k))を算出するステップと、
 前記コンピュータが、前記第2処理データを、前記全ての波数成分を前記全ての空間座標成分に変換することにより、前記全ての空間座標成分(例えば、x成分、y成分、z成分)によって値が定まる第3処理データ(例えば、第3処理データf(x,y,z))を算出するステップと、を含む。
 前記第1処理データの前記再構成では、
 前記コンピュータが、
 前記第2空間座標成分の少なくとも1つに対応する第2波数成分(例えば、ky成分)の正の領域及び負の領域において、前記第2波数成分(例えば、ky成分)の範囲を拡張し、
 前記第2波数成分の拡張前の最大値よりδ大きい、前記第2波数成分(例えば、ky成分)の正の拡張部分の拡張データには、前記第2波数成分(例えば、ky成分)が前記第2波数成分の拡張前の前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ大きいときの前記第1処理データの値を与え、
 拡張前の前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ小さい、前記第2波数成分(例えば、ky成分)の負の拡張部分の拡張データには、前記第2波数成分(例えば、ky成分)が拡張前の前記最大値よりδ小さいときの前記第1処理データの値を与え、
 前記第1処理データの他に前記拡張データを用いて、前記第2処理データを算出する。
 前記拡張した第2波数成分(例えば、k成分)に対応する空間座標成分(y成分)のデータ間隔は、前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下である、ことが好ましい。
 前記コンピュータは、前記データ間隔が前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下になるまで、前記第2波数成分の範囲を、拡張前の前記第2波数成分の範囲の2倍ずつ拡張することを繰り返す、ことが好ましい。
 前記第1処理データの再構成は、前記コンピュータが、前記第1波数成分のデータ数を、前記周波数のサンプリング数の2倍以上に設定することを含む、ことが好ましい。
 前記計測データは、第1方向に一定の第1間隔で配列した複数の送信アンテナから測定対象物に電磁波を照射したときに、前記測定対象物で反射した電磁波の反射波を、複数の受信アンテナのうち、前記送信アンテナのそれぞれに最も近い位置にある受信アンテナで受信することにより得られるデータであり、
 前記受信アンテナは、前記第1方向に前記第1間隔で配列し、かつ、前記送信アンテナの配列に対して前記第1間隔の半分の長さだけ、前記第1方向に位置ずれして設けられ、
 前記第2波数成分に対応する空間座標成分のサンプリング間隔は、前記第1間隔の半分の長さである、ことが好ましい。
 前記第2波数成分は、前記第1方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、ことが好ましい。
 前記第2波数成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の面内の方向であって、前記第1方向と直交する第2方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、ことも好ましい。
 前記送信アンテナ及び前記受信アンテナは、前記第2方向に前記測定対象物に対して相対的に移動する、ことが好ましい。
 前記第1空間座標成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の法線方向の空間座標成分である、ことが好ましい。
 前記全ての波数成分をk、k、kとし、前記周波数をfとしたとき、前記拘束条件は、k +k +k =4×εr×(2πf/c(cは真空中の光速、εrは電磁波の伝播する媒体の比誘電率)である、ことが好ましい。
 本発明の他の一態様は、空間に生成する波動の周波数と前記空間の空間座標によって値が定まる波動を計測してデータ処理をする計測装置である。
 当該計測装置は、
 設定された周波数間隔で周波数が変わる波動を生成するように構成された送信部と、前記波動の生成中に、空間内の空間座標成分のうち第1空間座標成分(例えば、z成分)を除く第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)の少なくとも1つ以上について、前記周波数(例えば、周波数f)の最大周波数からサンプリング定理に従がって定まる空間分解能(例えば、空間分解能δy)に比べて粗いサンプリング間隔(例えば、サンプリング間隔Δy)で前記波動に関する前記空間の応答を受信するように構成された受信部と、前記受信部の受信によって、前記周波数(例えば、周波数f)と前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)によって値が定まる計測データを生成するように構成された取得部と、を備える計測ユニットと、
 前記計測データから、前記空間内の全ての空間座標成分によって値が定まる第3処理データを算出するように構成されたデータ処理ユニットと、を備える。
 前記データ処理ユニットは、
 前記計測データの前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)を波数成分(例えば、kx成分,ky成分)に変換することにより、前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)に対応する正及び負の波数成分(例えば、kx成分,ky成分)と前記周波数(例えば、周波数f)とによって値が定まる第1処理データ(例えば、第1処理データS(k,k,f))を算出するように構成された第1処理部と、
 前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分(例えば、kx成分,ky成分,kz成分)と前記周波数(例えば、周波数f)との間の拘束条件(例えば、k +k +k =4×εr×(2πf/c)下、前記周波数(例えば、周波数f)と前記第2空間座標成分(例えば、x成分、y成分)に対応する波数成分(例えば、kx成分,ky成分)から、前記第1空間座標成分(例えば、z成分)に対応する第1波数成分(例えば、kz成分)を求めることにより、前記第1処理データを再構成して、前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分(例えば、kx成分,ky成分,kz成分)によって値が定まる第2処理データを算出するように構成された第2処理部と、
 前記第2処理データを、前記全ての波数成分を前記全ての空間座標成分に変換することにより、前記全ての空間座標成分(例えば、x成分、y成分、z成分)によって値が定まる第3処理データ(例えば、第3処理データf(x,y,z))を算出するように構成された第3処理部と、を含む。
 前記第2処理部は、
 前記第2空間座標成分の少なくとも1つに対応する第2波数成分(例えば、ky成分)の正の領域及び負の領域において、前記第2波数成分(例えば、ky成分)の範囲を拡張するように構成され、
 前記拡張された範囲において、前記第2波数成分が前記範囲の最大値よりδ大きい波数成分の正の拡張部分の拡張データは、前記第2波数成分が前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ大きいときの前記第1処理データの値を備え、前記第2波数成分が前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ小さい波数成分の負の拡張部分の拡張データは、前記第2波数成分(例えば、ky成分)が前記最大値よりδ小さいときの前記第1処理データの値を備え、
 前記第2処理部は、前記第1処理データの他に前記拡張データを用いて、前記第2処理データを算出するように構成されている。
 前記第2処理部は、前記第2波数成分に対応する空間座標成分のデータ間隔が、前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下となるように、前記第2波数成分の範囲を拡張するように構成されている、ことが好ましい。
 前記第2処理部は、前記データ間隔が前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下になるまで、前記第2波数成分の範囲を、拡張前の前記第2波数成分の範囲の2倍ずつ拡張することを繰り返すように構成されている、ことが好ましい。
 前記第2処理部は、前記計測データを再構成するとき、前記第1波数成分のデータ数を、前記周波数のサンプリング数の2倍以上に設定するように構成されている、ことが好ましい。
 前記送信部は、測定対象物に電磁波を照射するように構成された、第1方向に一定の第1間隔で配列した複数の送信アンテナを含み、
 前記受信部は、前記測定対象物で反射した電磁波の反射波を受信するように構成された、前記第1方向に前記第1間隔で配列した複数の送信アンテナを含み、前記送信アンテナは、前記送信アンテナの配列に対して、前記第1間隔の半分の長さだけ、前記第1の方向に位置ずれして設けられ、
 前記第2波数成分に対応する空間座標成分のサンプリング間隔は、前記第1間隔の半分の長さである、ことが好ましい。
 前記第2波数成分は、前記第1方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、ことが好ましい。
 前記第2波数成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の面内の方向であって、前記第1方向と直交する第2方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、ことも好ましい。
 前記送信アンテナ及び前記受信アンテナは、前記第2方向に前記測定対象物に対して相対的に移動する、ことが好ましい。
 前記第1空間座標成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の法線方向の空間座標成分である、ことが好ましい。
 前記全ての波数成分をk、k、kとし、前記周波数をfとしたとき、前記拘束条件は、k +k +k =4×εr×(2πf/c(cは真空中の光速、εrは電磁波の伝播する媒体の比誘電率)である、ことが好ましい。
 上述のデータ処理方法及び計測装置によれば、計測における空間分解能を向上させることができる。
本実施形態のレーダ装置の一例の構成を示す図である。 図1に示すアレイアンテナの構成を示す図である。 本実施形態のアレイアンテナと測定対象物との位置関係を説明する図である。 データ処理で行う角周波数ωからkz成分への変換の一例を説明する図である。 (a),(b)は、エイリアシング成分の発生する部分を説明する図である。 (a)は、本実施形態で行う拡張前の第1処理データS(kx,ky,ω)のky成分とnkyの関係を示す図であり、(b)は、本実施形態で行う拡張前のオリジナルのky成分とnkyの関係と、拡張部分のky成分とnkyの関係を示す図であり、(c)は、ky成分の拡張と、ky成分を拡張した第1処理データS(kx,ky,ω)の一例を示す図である。 本実施形態の拡張第1処理データS(kx,ky,ω)の、図5(a)に示すグラフに対応したグラフを示す図である。 本実施形態で用いる拡張第1処理データS(kx,ky,ω)と第2処理データS’(kx,ky,kz)との関係を示す図である。 本実施形態のデータ処理のフローを説明する図である。 本実施形態の拡張前のオリジナルのky成分を4倍拡張したときのky成分と離散値パラメータnkyの関係を説明する図である。
 以下、本実施形態のデータ処理方法及び計測装置について詳細に説明する。図1は、計測装置の一形態であるレーダ装置の一例の構成を示す図である。図2は、図1に示すアレイアンテナの構成を示す図である。図3は、本実施形態のアレイアンテナと測定対象物との位置関係を説明する図である。本実施形態では、電磁波を空間に放射する波動として説明するが、電磁波の代わりにX線や超音波等の空間中に伝播する波動を用いることもできる。
 図1に示す本実施形態のレーダ装置60は、送信用アレイアンテナ及び受信用アレイアンテナを用いて、電磁波の周波数を掃引しながら、電磁波を送信アンテナから放射して測定対象物の反射波を受信アンテナで受信して計測データを得る。計測データは、x座標成分、y座標成分、及びz座標成分と電磁波の周波数とを変数とするデータである。この計測データに、以下のデータ処理を行って、測定対象物の反射率の空間分布データ(第3処理データ)を算出する。具体的には、
(1)アレイアンテナを形成する平面に沿った座標成分、例えばx座標成分及びy座標成分(第2空間座標成分)に関する2重DFT処理を計測データに施してx座標成分及びy座標成分に対応する波数成分であるkx成分及びky成分を変数とする第1処理データを算出する。
(2)次に、第1処理データの変数であるkx成分及びky成分(第2波数成分)の少なくとも一方の取り得る範囲を拡張し、拡張第1処理データを算出する。この拡張第1処理データを用いて、変数である周波数あるいは角周波数をz座標成分(第1空間座標成分:送信用アレイアンテナ及び受信用アレイアンテナを形成する平面に対して直交する方向の座標成分)に対応する波数成分であるkz成分(第1波数成分)に変換して、第2処理データを算出する。
(3)この後、第2処理データに、kx成分、ky成分、およびkz成分に関する3重逆DFT処理を施して、測定対象物の反射率の空間分布データである第3処理データを算出する。
 このように、本実施形態では、kx成分及びky成分の少なくとも一方の取り得る範囲を拡張することにより、3重逆DFT処理を施したとき、第3処理データのx座標成分及びy座標成分の少なくとも一方の計測間隔(サンプリング間隔)を短くできるので、空間分解能は向上する。以下、レーダ装置60を用いて本実施形態について詳細に説明する。
(レーダ装置の構成)
 レーダ装置60は、計測ユニット61と、データ処理ユニット66と、画像表示ユニット68と、を有する。計測ユニット61は、送信用アレイアンテナ50と、受信用アレイアンテナ52と、高周波スイッチ58,59と、高周波回路62と、システム制御回路64と、を有する。レーダ装置60は、10MHz以上、例えば10~20GHzの電磁波を放射するが、電磁波の周波数は、特に制限されない。
 送信用アレイアンテナ50には、複数の送信アンテナ10aが一方向に配列しており、各送信アンテナ10aが電磁波を測定対象物に向けて放射する。
 受信用アレイアンテナ52には、送信アンテナ10aの配列方向に沿って複数の受信アンテナ10bが配列しており、各受信アンテナ10bは、測定対象物から反射した電磁波を受信する。送信用アレイアンテナ50の送信アンテナ10aと、受信用アレイアンテナ52の受信アンテナ10bは一平面上に設けられ、この平面に測定対象物が対向するように送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52は配置される。
 データ処理ユニット66は、送信用アレイアンテナ50の複数の送信アンテナ10aによる測定対象物に向けた送信と、受信用アレイアンテナ52の複数の受信アンテナ10bによる受信とを行なうことによって得られる複数の計測データを処理し、測定対象物に関する画像データを算出する。本実施形態の送信アンテナ10a及び受信アンテナ10bは、基板に平面的にアンテナパターンが形成された平面アンテナであるが、平面アンテナに制限されない。
 送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52は、測定対象物の面に平行に移動するように構成されている。すなわち、送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52は、測定対象物の表面に沿って走査しながら計測する。送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52が移動するとき、システム制御回路64は、送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52の移動距離の単位長さ毎に、送信用アレイアンテナ50の送信アンテナ10を高周波スイッチ58により切り替えつつ、電磁波を放射するように、高周波回路62の動作を制御する。送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52の移動は、送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52が設けられる基板に一体的に設けられ、一定の移動距離ごとにパルス信号を発生するエンコーダ69によって感知される。このとき、個々の送信アンテナ10aから電磁波の放射が行われる度に複数の受信アンテナ10bを順次切り替えて各受信アンテナ10bに受信させることを、高周波スイッチ59により繰り返す。
 なお、送信用アレイアンテナ50から放射される電磁波の周波数を、一定の時間に、例えば10~20GHzの範囲で、設定された周波数間隔で掃引して、電磁波が放射される。したがって、高周波回路62からから得られる計測データは、受信アンテナ10bの受信した位置と、周波数とによって値が定まるデータである。
 このとき、送信アンテナ10aから放射された電磁波が測定対象物で反射したときの電磁波の反射波を、電磁波を放射した送信アンテナ10aに最も近い受信アンテナ10bで受信するように高周波スイッチ59の動作は制御されている。受信用マイクロ波増幅器(RFアンプ)は、送信する送信アンテナ10aと受信する受信アンテナ10bの対毎にゲインを変化させるように設定しておく。送信アンテナ10aと受信アンテナ10bの対の選択に応じてゲインを切り替える可変ゲイン増幅機能を有し、測定対象物中の欠陥等の検査可能な深度を大きくすることもできる。
 本実施形態では、送信用アレイアンテナ50の送信アンテナ10a及び受信用アレイアンテナ52の受信アンテナ10bの配列方向は平行であり、図2に示すように、配列方向をy方向(図2参照)とする。一方、送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52の移動方向(走査方向)をx方向(図1、2参照)とする。送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52からみて測定対象物のある方向(電磁波の送信方向)をz方向(図1、2参照)とする。
 レーダ装置60では、受信アンテナ10bの配置数を増やすと、レーダ装置のコストは上昇し、さらにレーダ装置の回路構成は複雑になることから、受信アンテナ10bの配置数を増やすことは難しい。このため、隣り合う受信アンテナ10bの間隔2Δy(図2参照)の半分である計測データのサンプリング間隔Δy(図2参照)は、電磁波の周波数fの最大周波数fmaxからサンプリング定理(ナイキストの定理)に従がって定まる空間分解能δy(=最小波長/4=c/4/(ε 1/2・fmax):cは真空中の光速、εは、測定対象物の比誘電率)に比べて大きくなっている。
 このように、レーダ装置60は、送信用アレイアンテナ50および高周波スイッチ58を含む送信部と、受信用アレイアンテナ52及び高周波スイッチ59を含む受信部と、高周波回路62を含む取得部とを備える。送信部は、設定された周波数間隔で周波数が変わる電磁波を生成するように構成されている。受信部は、電磁波を生成中に、電磁波に関する、測定対象物を含む空間の応答(反射波)を受信するように構成されている。取得部は、受信部の受信によって、周波数fとx座標成分及びy座標成分(第2空間座標成分)によって値が定まる計測データs(x’,y’,f)を生成するように構成されている。
 データ処理ユニット66は、送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52による電磁波の送受信によって得られる計測データs(x’,y’,f)を処理して、測定対象物の内部を表す画像データに対応する第3処理データを作成する。データ処理ユニット66は、例えばコンピュータにより構成され、記憶部66aに記憶されているプログラムを呼び出して起動することにより、データ処理ユニット66の機能を発揮することができる。すなわち、データ処理ユニット66は、ソフトウェアモジュールで構成することができる。作成された画像データを用いて、測定対象物の内部の画像が画像表示ユニット68にて表示される。
(データ処理)
 図2は、送信用アレイアンテナ50と受信用アレイアンテナ52を模式的に説明している。送信アンテナ10aと受信アンテナ10bは、x方向の位置がΔLだけずれているが、以降の説明では、送信アンテナ10aと受信アンテナ10bのx方向の位置は、送信アンテナ10aと受信アンテナ10bの間の中間の丸印の点にあるとして、以降説明する。この丸印の点は、送受信点という。したがって、測定対象物と送信用アレイアンテナ50と受信用アレイアンテナ52との位置関係は、図3に示すように表すことができる。ここで、s(x’,y’,z0,f)は、計測データであり、z0は、送受信点のz方向の座標値であり一定であるので、以降では、s(x’,y’,f)あるいは、周波数fの代わりに角周波数ω(=2πf)を用いて、s(x’,y’,ω)と表す。f(x,y,z)は、測定対象物の反射率の空間分布データであり、計測データs(x’,y’,f)からデータ処理ユニット66で算出するデータ(第3処理データ)であり、測定対象物の内部を表す画像データに対応する。
 ここで、f(x,y,z)とs(x’,y’,ω)は下記式(1)の関係を有する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 
 但し、k=ω/c(c=c/ε 1/2:cは真空中の光速、εは、測定対象物の比誘電率)
 上記式(1)では、電磁波を球面波で表しており、距離減衰は省略されている。この距離減衰は、以降の処理を行う上で影響しないため、省略されている。上記式(1)中の二段目の式の被積分関数の指数部をフーリエ変換の表記で表すと、下記式(2)となる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
 
  ここで、kx、ky、kzは、x座標成分、y座標成分、z座標成分に対応する電磁波の波数ベクトルkの波数成分である。波数ベクトルkは、上記送受信点と測定対象物の反射位置との間を往復して伝播する電磁波の波数ベクトルである。ここで、式(2)中の一段目の式の指数部と二段目の式の指数部は同一であるので、kx、ky、kzは、kx+ky+kz=4k(=4×εr×(2πf/c)の式を満足する。この式が後述する拘束条件である。
 ここで、式(2)は、下記式(3)のように整理することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
 
 ここで、上記式(3)中の二段目の式の{ }の内側部分はx、y、zに関する3 重フーリエ変換の式となっている。また、二段目の式の[ ]の外側部分はkx、kyに関するの2重逆フーリエ変換の式となっている。そこで両辺をx’、y’に関して2重フーリエ変換を行い、f(x,y,z)のフーリエ変換後の関数をF(kx,ky,kz)とし、計測データs(x’,y’,ω)のフーリエ変換後の関数をS(kx,ky,ω)とすると、上記式(3)中の二段目の式は下記式(4)のように書くことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
 
 式(4)中の二段目の式の両辺をkx、ky、kz について3 重逆フーリエ変換を行うことによって、最終的なターゲットである第3処理データf(x,y,z)を下記式(5)のように得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
 
 ここで、送受信点のz方向の位置をz=0とすることにより、下記式(6)のように簡単に纏めることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
 
 すなわち、本実施形態のデータ処理では、計測データs(x’,y’,ω)をx,yに関して2重フーリエ変換し、この後、kx,ky,ωからkx+ky+kz=4k(=4×εr×(ω/c))の拘束条件下で角周波数ωからkz成分に変換し、変換結果を、kx成分、ky成分、及びkz成分 に関する3 重逆フーリエ変換をすることにより、第3処理データf(x,y,z)を算出する。このデータ処理を、データ処理ユニット66が実施する。
 具体的には、データ処理ユニット66は、第1処理部66b、第2処理部66c、及び第3処理部66dを備え、計測データs(x’,y’,ω)から、空間内の全ての空間座標成分であるx座標成分、y座標成分、及びz座標成分によって値が定まるf(x,y,z)を算出するように構成されている。
 第1処理部66bは、計測データs(x’,y’,ω)のx座標成分及びy座標成分(第2空間座標成分)を波数成分であるkx成分及びky成分に変換することにより、x座標成分及びy座標成分に対応する正及び負のkx成分及びky成分と、角周波数ω(あるいは周波数f)とによって値が定まる計測データの波数変換処理結果である第1処理データS(kx,ky,ω)を取得するように構成されている。本実施形態では、x座標成分、y座標成分、及び周波数fは離散的な値を取る変数であるので、フーリエ変換あるいは波数変換として、DFT(Discrete Fourier Transform)が用いられる。また、逆フーリエ変換として逆DFTが用いられる。
 第2処理部66cは、空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分であるkx成分、ky成分、及びkz成分と角周波数ω(あるいは周波数f)との間の拘束条件k +k +k =4×εr×(ω/c)の下、角周波数ω(あるいは周波数f)とkx成分及びky成分から、kz成分を求めることにより、第1処理データS(kx,ky,ω)を再構成して、空間内の全ての空間座標成分に対応するkx成分、ky成分、及びkz成分によって値が定まる第2処理データS’(kx,ky,kz)を算出するように構成されている。上記再構成については、詳述する。
 第3処理部66dは、第2処理データS’(kx,ky,kz)を、全ての波数成分を全ての空間座標成分に変換(3重逆フーリエ変換)することにより、全ての空間座標成分(x座標成分、y座標成分、及びz座標成分)によって値が定まる第3処理データf(x,y,z)を算出するように構成されている。
(第1処理データの再構成)
 第2処理部66cで行う第2処理データの算出のために行う再構成では、第1処理データS(kx,ky,ω)のkx成分の値及びky成分の値とωの値に対して上述の拘束条件を満足するようなkz成分の値を求める。
 ここで、kx成分、ky成分、及びωの値は、離散的な値で表されている。例えば、正のkx成分についてはkx=nkx/(Nkx/2)・kxmax、負のkx成分についてはkx=(nkx-Nkx)/(Nkx/2)・kxmax、正のky成分についてはky=nky/(Nky/2)・kymax、負のky成分についてはky=(nky-Nky)/(Nky/2)・kymax、及びω=nf/Nf・2π・fmaxで表される。
 ここで、Nkx及びNkyは、x座標成分及びy座標成分の計測点数である。nkx及びnkyは、0以上Nkx未満及び0以上Nky未満の整数で、kx成分及びky成分の値を定める離散値パラメータである。Nkx及びNkyが偶数であるとして、正のkx成分及びky成分は、nkx、nkyが1以上Nkx/2、Nky/2以下であることに対応し、負のkx成分及びky成分は、nkx、nkyがNkx/2+1、Nky/2+1以上、Nkx未満、Nky未満であることに対応する。kxmax及びkymaxは、kx成分及びky成分の最大波数であり、サンプリング定理から定まるπ/Δx及びπ/Δyである。Δxは、図2に示すx方向(走査方向)におけるサンプリング間隔(計測間隔)である。Δyは、y方向におけるサンプリング間隔(計測間隔)である。fmaxは、電磁波の最大周波数であり、Nは、周波数の計測数であり、nは、1以上N以下の整数で、ωの値を定める離散値パラメータである。ここで、電磁波の放射する周波数が特定の周波数帯域である場合、特定の周波数帯域に対応するnは、1以上N以下の整数の一部である。
 kz成分も、上述したように逆DFT処理をするので、正のkz成分についてはkz=nkz/(Nkz/2)・kzmax、負のkz成分についてはkz=(nkz-Nkz)/(Nkz/2)・kzmaxで定められる。Nkzは、z座標成分のサンプリング数である。nkzは、0以上Nkz未満の整数で、kz成分の値を定める離散値パラメータである。Nkzが偶数であるとして、正のkz成分は、nkzが1以上Nkz/2以下であり、負のkz成分は、nkzがNkz/2+1以上、Nkz未満であることに対応する。kzmaxは、kz成分の最大波数であり、サンプリング定理から定まるπ/Δzである。ここで、Δzは、図2に示すz方向におけるデータ間隔である。このデータ間隔Δzは、c/(4・Δf)で定まるz方向の最大レンジを考慮して、c/(4・Δf)/Nkzで表すことができる。なお、z方向のサンプリング数Nkzは適宜設定することができるが、後述するように、Nの2倍以上であることが好ましい。
 このように、kx成分の値、ky成分の値、ωの値、及びkz成分の値は離散化されるため、ωからkzの変換の際にkz成分に対応する離散値パラメータnkzを整数として定めることは難しい。このため、整数である離散値パラメータnkzの値を0から順番にNkzまで設定し、このとき、kx成分の値、ky成分の値を用いて拘束条件の下で求められるωの値を算出し、この算出したωの値、上記kx成分の値、及びky成分の値における第1処理データS(kx,ky,ω)の値を、第1処理データS(kx,ky,ω)の内挿補間を用いて算出することが好ましい。
 図4は、ωからkzへの変換の一例を説明する図である。図4では、第2処理データS’(kx,ky,kz)のkx成分の値、ky成分の値、及びkz成分の値に代えて対応するnkxの値、nkyの値、及びnkzの値で表し、第1処理データs(kx,ky,ω)のkx成分の値、ky成分の値、及びωの値に代えて、nkxの値、nkyの値、及びnの値で表している。図4に示す例では、nkx=0、nky=28、nkz=64の時、nkx=0、nky=28、n=84.8であり、nkx=0、nky=62、nkz=125の時、nkx=0、nky=62、n=125.1である。したがって、nkx=0、nky=28、及びn=84.8における第1処理データS(kx,ky,ω)の値を、nkx=0、nky=28、及びn=85における第1処理データS(kx,ky,ω)の値と、nkx=0、nky=28、及びn=84における第1処理データS(kx,ky,ω)の値とを用いて内挿補間により算出する。nkx=0、nky=62、n=125.1における第1処理データS(kx,ky,ω)の値も同様の方法で算出する。
 しかし、このようなωからkzへの変換によって再構成される第2処理データS’(kx,ky,kz)は、第2処理データS’(kx,ky,kz)に3重逆DFT処理を行うと、第3処理データf(x,y,z)においてエイリアシングが発生する原因となっている。図5(a),(b)は、エイリアシングの発生する部分を説明する図である。データ中のエイリアシング成分は、サンプリング点数(計測点数)が少ないことが原因となって、実際の周波数に比べて低い周波数成分が現れるノイズである。図5(a),(b)では、Nky=64とし、N=128とし、nky=0でky成分を0としnky=32でky成分を最大値とし、nky=1~32の領域を、ky成分がnkyの増加とともに徐々に増加するky成分の正の領域とし、nky=33~63を、負のky成分がnkyの増加とともに徐々に増加し0に近づくky成分の負の領域としている。すなわち、正のky成分についてky=nky/(Nky/2)・kymax、負のky成分についてky=(nky-Nky)/(Nky/2)・kymaxとしている。
 図5(a),(b)では、nkx=0,32のとき、nkzを種々変化させた時の、上述した拘束条件で制限されるnkyとnの関係を示したものである。nky=32でky成分の値が最大になり、nky=33では、ky成分の値が負で最小になるので、nkyとnの関係を示す曲線あるいは直線がnky=32で互いに横切って延びた延長部分は、ky成分の絶対値がkymaxを越えており、この延長部分のデータはエイリアシング成分(エイリアシング成分)となることを示している。しかし、この延長部分のnとnkyが上述の拘束条件を満足し、かつ、nkyを拡張したky成分の絶対値がkymaxを越えても、拡張したky成分に対応した角周波数ωの第1処理データS(kx,ky,ω)が存在し得ることを意味している。このため、本実施形態のレーダ装置60では、エイリアシング成分である延長部分を有効に利用するために、ky成分を正及び負の領域で拡張し、拡張した第1処理データを用いて再構成する。なお、n=64~128が本実施形態における周波数帯域であるので、n=64~128におけるエイリアシング成分を有効に活用する。
(第1処理データの拡張)
 図6(a)は、拡張前の第1処理データS(kx,ky,ω)のky成分とnkyの関係を示す図である。第1処理データの拡張は、第2処理部66cで行われる。図示されるように、nky=0からNky/2まで、nkyの増加とともにky成分の値は増加し、nkyがNky/2を超えると、負のky成分の値が、nkyの増加とともに増加し0に近づくように設定されている。このとき、正のky成分を矢印Aのように拡張し、負のky成分を矢印Bのように拡張する。例えば、サンプリング数Nkyを2・Nkyとするとき、正のky成分では、nkyを0~Nkyの範囲に定め、負のky成分では、-Nkyより大きく0未満の範囲に定める。このとき、ky成分の拡張前の最大値kymaxよりδ大きい正の拡張部分の拡張データには、k成分の拡張前の最大値kymaxに-1を乗算した負の値-kymaxよりδ大きいときの第1処理データS(kx,ky,ω)の値を与え、k成分の拡張前の最大値kymaxに-1を乗算した負の値-kymaxよりδ小さい負の拡張部分の拡張データには、k成分の拡張前の最大値kymaxよりδ小さいときの第1処理データS(kx,ky,ω)の値を与える。この時、正の拡張部分と負の拡張部分の大きさは同じである。
 このように、第2処理部66cは、ky成分の正の領域及び負の領域において、ky成分の範囲を、ky成分のkymax~-kymaxより広く設定する、すなわちky成分の範囲を拡張するように構成される。このとき、設定された範囲において、ky成分が拡張前の最大値kymaxよりδ大きい波数成分の正の拡張部分の拡張データは、ky成分が拡張前の最大値kymaxに-1を乗算した負の値-kymaxよりδ大きいときの第1処理データS(kx,ky,ω)の値を備え、ky成分が拡張前の最大値kymaxに-1を乗算した負の値-kymaxよりδ小さい波数成分の負の拡張部分の拡張データは、ky成分が拡張前の最大値kymaxよりδ小さいときの第1処理データS(kx,ky,ω)の値を備える。
 図6(b)は、拡張前のオリジナルのky成分とnkyの関係と、拡張部分のky成分とnkyの関係を示す図である。このようにして、ky成分の最大波数をkymaxから2・kymaxに拡張する。図6(c)は、ky成分の拡張と、拡張した第1処理データS(kx,ky,ω)の一例を示す図である。
 このような拡張は、図1に示す第2処理部66cで行われ、第2処理データS’(kx,ky,kz)を算出する前に行われる。したがって、第2処理データS’(kx,ky,kz)の算出では、オリジナルの第1処理データS(kx,ky,ω)の他に、上述した拡張データが用いられる。オリジナルの第1処理データS(kx,ky,ω)と、波数成分を拡張して第1処理データS(kx,ky,ω)から得られる上述の拡張データとを統合したデータを拡張第1処理データS(kx,ky,ω)という。
 図7は、拡張第1処理データS(kx,ky,ω)の、図5(a)に示すグラフに対応したグラフを示す図である。図7では、Nky(=64)を2倍にした2・Nky(=128)のサンプリング数における離散値パラメータをnky2としている。この離散値パラメータnky2において、nky2=64でky成分は最大波数となる。図7では、実線の直線あるいは曲線が、nky2=64で互いに横切ることがないので、ky成分を拡張したここにより新たなエイリアシング成分が形成されることはない。
 図8は、第1処理データS(kx,ky,ω)を拡張した結果を用いて、再構成をする、すなわち第2処理データS’(kx,ky,kz)を算出する例を示している。図8は、拡張第1処理データS(kx,ky,ω)と第2処理データS’(kx,ky,kz)との関係を示す図である。図8中では、図4と同様に、第2処理データS’(kx,ky,kz)のkx成分の値、ky成分の値、及びkz成分の値に代えて対応するnkxの値、nkyの値、及びnkzの値で表し、拡張第1処理データS(kx,ky,ω)のkx成分の値、ky成分の値、及びωの値に代えて、nkxの値、nkyの値、及びnの値で表している。図8に示す例でが、nkx=0、nky=16、nkz=64の時、nkx=0、nky=16、n=71.5で拘束条件を満足し、nkx=0、nky=88、nkz=32の時、nkx=0、nky=88、n=85.6で拘束条件を満足する。したがって、nkx=0、nky=16、及びn=71.5における拡張第1処理データS(kx,ky,ω)の値は、nkx=0、nky=16、及びn=71における拡張第1処理データS(kx,ky,ω)の値と、nkx=0、nky=16、及びn=72における拡張第1処理データS(kx,ky,ω)の値とを用いて内挿補間により算出される。nkx=0、nky=88、n=85.6における拡張第1処理データS(kx,ky,ω)の値も同様の方法で算出される。
 このような拡張と再構成を第2処理部66cは行う。したがって、第2処理部66cで算出される第2処理データS’(kx,ky,kz)は、拡張したky成分を含む。
(データ処理方法)
 図9は、データ処理のフローを説明する図である。
 データ処理ユニット66は、まず、計測データs(x’,y’,ω)を取得し、記憶部66aに記憶する(ST10)。
 この後、第1処理部66aは、計測データs(x’,y’,ω)に対してx座標成分及びy座標成分に関する周波数変換処理(DFT処理)を行って、第1処理データS(kx,ky,ω)を算出する(ST12)。
 この後、第2処理部66cは、第1処理データS(kx,ky,ω)のky成分を拡張することにより、kymaxを大きくして、第1処理データS(kx,ky,ω)に拡張データを組み込んだ拡張第1処理データS(kx,ky,ω)を作成する(ST14)。
 さらに、第2処理部66cは、拘束条件k +k +k =4×εr×(ω/cの下、角周波数ω(あるいは周波数f)とkx成分及びky成分とから、kz成分(第1波数成分)を求めて拡張第1処理データS(kx,ky,ω)から第2処理データS’(kx,ky,kz)を算出する(ST16)。
 最後に、第3処理部66dは、第2処理データS’(kx,ky,kz)のkx成分、ky成分、及びkz成分を、x座標成分、y座標成分、及びz座標成分に変換(逆DFT)処理をすることにより、x座標成分、y座標成分、及びz座標成分によって値が定まる第3処理データf(x,y,z)を算出する(ST18)。
 このように、ky成分を拡張できるのは、電磁波の周波数fの計測数Nが多く、サンプリング間隔Δyによってサンプリング定理から定まるky成分の最大波数kymax(=π/Δy)の値よりも大きいky成分の情報が、計測データs(x’,y’,ω)に含まれているためである。とくに、Δyは、送信アンテナ10a及び受信アンテナ10bによって定まる送受信点のサンプリング間隔であるので、Δyを小さくすることは、送信アンテナ及び受信アンテナの配置数を増やすことになることから制限される。本実施形態では、サンプリング間隔Δyが大きくても、上述のky成分の拡張によりky成分の最大波数kymaxを大きくすることができるので、逆DFT処理により得られる第3処理データf(x,y,z)のy座標成分のデータ間隔は細かくなる。例えば、最大波数kymaxがn倍になれば、y座標成分のデータ間隔は1/n倍になる。したがって、計測における空間分解能を向上させることができる。例えば、空間分解能を、理論分解能(電磁波の中心周波数に対応する波長の4分の1)にすることができる。本実施形態では、ky成分を拡張することを例に挙げたが、kx成分を拡張対象にすることもできる。x方向は、図2に示すように、送信用アレイアンテナ50及び受信用アレイアンテナ52の走査方向であるので、走査方向の計測間隔が粗くても、ky成分に代えてkx成分を拡張して、走査方向の空間分解能を向上させることができる。
 例えば、計測データs(x’,y’,ω)を、Δx=2mm、x座標成分の計測数N(=Nkx)=256、Δy=7.5mm、y座標成分の計測数N(=Nky)=64、最大周波数fmax=20GHz、最小周波数fmin=10GHz、計測数N=64、比誘電率ε=1としたとき、電磁波の最小波長(最大周波数20GHzにおける波長15mm)の4分の1は、3.75mmである。Δx=2mmは上記最小波長の4分の1(=3.75m)以下なので、x方向の空間分解能は、理論分解能、すなわち、10~20GHzの周波数帯域の中心周波数15GHzにおける波長(最小波長)の4分の1である5mmである。しかし、Δy=7.5mmは、上記最小波長の4分の1(=3.75m)より大きいので、y方向の空間分解能は、上記最小波長の4分の1より大きく、7.5mmであり、y方向の空間分解能は理論分解能5mmに比べて低下している。
 本実施形態では、ky成分のサンプリング数Nkyを2・Nkyとして、ky成分を拡張し、ky成分の最大波数kymaxを2倍にすることにより、逆DFT処理をしたとき、処理後のy座標成分のサンプリング間隔は、π/(2・kymax)となるので、Δy=7.5mmの2分の1である3.75mmになる。したがって、このサンプリング間隔は上記最小波長の4分の1波長以下(=3.75m)であるので、y方向の空間分解能は、理論分解能5mmになる。
 このように、ky成分をn倍拡張することにより、y座標成分のサンプリング間隔(データ間隔)はn分の1になる。したがって、本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、y方向の空間分解能を向上させるためには、拡張したky成分に対応するy座標成分のサンプリング間隔(データ間隔)が、最大周波数に対応する波長である最小波長の4分の1以下であることが好ましい。つまり、y座標成分のサンプリング間隔(データ間隔)が、最大周波数に対応する波長である最小波長の4分の1以下となるように、ky成分を拡張することが好ましい。このとき、本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、y座標成分のサンプリング間隔(データ間隔)が、上記最小波長の4分の1以下となるように、ky成分の範囲は、拡張前のky成分の範囲の2倍ずつ拡張することを繰り返すことが好ましい。図10は、拡張前のオリジナルのky成分(太線のAB部分及びCD部分)を4倍拡張したときのky成分と離散値パラメータnkyの関係を説明する図である。このように、オリジナル部分を用いて2倍ずつ拡張を繰り返すことができる。
 このような好ましい形態では、ky成分を拡張の対象としているが、Δxが上記最小波長の4分の1より大きい場合、kx成分を拡張の対象とすることができる。また、kx成分及びky成分を拡張の対象とすることもできる。
 本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、第2処理部66cで行う第1処理データS(kx,ky,ω)の再構成は、kz成分のデータ数(サンプリング数)を周波数のサンプリング数(計測数)の2倍以上に設定することを含むことが好ましい。すなわち、Nkz≧2・Nであることが好ましい。これにより、再構成のとき、周波数の変化によって第1処理データS(kx,ky,ω)の値が変化する情報を確実に取り込むことができる。
 本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、電磁波の送受信の方式として、互いに最も近い送信アンテナ10aと受信アンテナ19bの組を用いて行う方式(シングルパス方式)を用いるが、1つの送信アンテナ10aから放射された電磁波の反射波を最も近い受信アンテナ10bで受信するのみならず、離れた位置にある受信アンテナ10bでも受信することによって計測データを得る方式(マルチパス方式)を用いることもできる。しかし、好ましくは、上記シングルパス方式を用いることが好ましい。すなわち、以下の形態であることが好ましい。計測データs(x’,y’,ω)は、y方向に一定の第1間隔で配列した複数の送信アンテナ10aから測定対象物に電磁波を照射したときに、測定対象物で反射した電磁波の反射波を、複数の受信アンテナ10bのうち、送信アンテナ10aのそれぞれに最も近い位置にある受信アンテナ10bで受信することにより得られるデータである。受信アンテナ10bは、y方向に第1間隔(図2中の2Δy)で配列し、かつ、送信アンテナ10aの配列に対して第1間隔の半分の長さだけ、y方向に位置ずれして設けられている。ky成分に対応するy座標成分のサンプリング間隔Δyは、第1間隔の半分の長さである。
 本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、拡張する波数成分は、送信アンテナ10a及び受信アンテナ10bの配列方向(y方向)のy座標成分に対応するky成分を含むことが好ましい。
 また、本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、拡張する波数成分は、送信アンテナ10a及び受信アンテナ10bが設けられる平面の面内の方向であって、y方向と直交するx方向のx座標成分に対応するkx成分を含むことも好ましい。
 本実施形態のレーダ装置60あるいはデータ処理では、送信アンテナ10a及び受信アンテナ10bは、x方向に測定対象物に対して相対的に移動して走査することが好ましい。
 なお、本実施形態でωからkz成分を求めるときの拘束条件は、k +k +k =4×εr×(2πf/c(cは真空中の光速、εrは電磁波の伝播する媒体の比誘電率)であることが好ましい。
 以上、本発明のデータ処理方法及び計測装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
10a 送信アンテナ
10b 受信アンテナ
50 送信用アレイアンテナ
52 受信用アレイアンテナ
58,59 高周波スイッチ
60 レーダ装置
62 高周波回路
64 システム制御回路
61 計測ユニット
66 データ処理ユニット
66a 記憶部
66b 第1処理部
66c 第2処理部
66d 第3処理部
68 画像表示ユニット
69 エンコーダ

Claims (20)

  1.  空間に生成する波動の周波数と前記空間の空間座標とによって値が定まる波動の計測データを、コンピュータを用いて処理するデータ処理方法であって、
     設定された周波数間隔で周波数が変わる波動を生成しながら、空間内の空間座標成分のうち第1空間座標成分を除く第2空間座標成分の少なくとも1つ以上について、前記周波数の最大周波数からサンプリング定理に従がって定まる空間分解能に比べて粗いサンプリング間隔で前記波動に関する前記空間の応答をサンプリングすることにより、前記周波数と前記第2空間座標成分とによって値が定まる計測データをコンピュータが取得するステップと、
     前記コンピュータが、前記計測データの前記第2空間座標成分を波数成分に変換することにより、前記第2空間座標成分に対応する正及び負の波数成分と前記周波数とによって値が定まる計測データの波数変換処理結果である第1処理データを算出するステップと、
     前記コンピュータが、前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分と前記周波数との間の拘束条件下、前記周波数と前記第2空間座標成分に対応する波数成分から、前記第1空間座標成分に対応する第1波数成分を求めることにより、前記第1処理データの再構成をして、前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分によって値が定まる第2処理データを算出するステップと、
     前記コンピュータが、前記第2処理データを、前記全ての波数成分を前記全ての空間座標成分に変換することにより、前記全ての空間座標成分によって値が定まる第3処理データを算出するステップと、を含み、
     前記第1処理データの前記再構成では、
     前記コンピュータが、
     前記第2空間座標成分の少なくとも1つに対応する第2波数成分の正の領域及び負の領域において、前記第2波数成分の範囲を拡張し、
     前記第2波数成分の拡張前の最大値よりδ大きい、前記第2波数成分の正の拡張部分の拡張データには、前記第2波数成分が前記第2波数成分の拡張前の前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ大きいときの前記第1処理データの値を与え、
     拡張前の前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ小さい、前記第2波数成分の負の拡張部分の拡張データには、前記第2波数成分が拡張前の前記最大値よりδ小さいときの前記第1処理データの値を与え、
     前記第1処理データの他に前記拡張データを用いて、前記第2処理データを算出する、ことを含む、こと特徴とするデータ処理方法。
  2.  前記拡張した第2波数成分に対応する空間座標成分のデータ間隔は、前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下である、請求項1に記載のデータ処理方法。
  3.  前記コンピュータは、前記データ間隔が前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下になるまで、前記第2波数成分の範囲を、拡張前の前記第2波数成分の範囲の2倍ずつ拡張することを繰り返す、請求項2に記載のデータ処理方法。
  4.  前記第1処理データの再構成は、前記コンピュータが、前記第1波数成分のデータ数を、前記周波数のサンプリング数の2倍以上に設定することを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載のデータ処理方法。
  5.  前記計測データは、第1方向に一定の第1間隔で配列した複数の送信アンテナから測定対象物に電磁波を照射したときに、前記測定対象物で反射した電磁波の反射波を、複数の受信アンテナのうち、前記送信アンテナのそれぞれに最も近い位置にある受信アンテナで受信することにより得られるデータであり、
     前記受信アンテナは、前記第1方向に前記第1間隔で配列し、かつ、前記送信アンテナの配列に対して前記第1間隔の半分の長さだけ、前記第1方向に位置ずれして設けられ、
     前記第2波数成分に対応する空間座標成分のサンプリング間隔は、前記第1間隔の半分の長さである、請求項1~4のいずれか1項に記載のデータ処理方法。
  6.  前記第2波数成分は、前記第1方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、請求項5に記載のデータ処理方法。
  7.  前記第2波数成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の面内の方向であって、前記第1方向と直交する第2方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、請求項5または6に記載のデータ処理方法。
  8.  前記送信アンテナ及び前記受信アンテナは、前記第2方向に前記測定対象物に対して相対的に移動する、請求項7に記載のデータ処理方法。
  9.  前記第1空間座標成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の法線方向の空間座標成分である、請求項5~8のいずれか1項に記載のデータ処理方法。
  10.  前記全ての波数成分をk、k、kとし、前記周波数をfとしたとき、前記拘束条件は、k +k +k =4×εr×(2πf/c(cは真空中の光速、εrは電磁波の伝播する媒体の比誘電率)である、請求項1~9のいずれか1項に記載のデータ処理方法。
  11.  空間に生成する波動の周波数と前記空間の空間座標によって値が定まる波動を計測してデータ処理をする計測装置であって、
     設定された周波数間隔で周波数が変わる波動を生成するように構成された送信部と、前記波動の生成中に、空間内の空間座標成分のうち第1空間座標成分を除く第2空間座標成分の少なくとも1つ以上について、前記周波数の最大周波数からサンプリング定理に従がって定まる空間分解能に比べて粗いサンプリング間隔で前記波動に関する前記空間の応答を受信するように構成された受信部と、前記受信部の受信によって、前記周波数と前記第2空間座標成分によって値が定まる計測データを生成するように構成された取得部と、を備える計測ユニットと、
     前記計測データから、前記空間内の全ての空間座標成分によって値が定まる第3処理データを算出するように構成されたデータ処理ユニットと、を備え、
     前記データ処理ユニットは、
     前記計測データの前記第2空間座標成分を波数成分に変換することにより、前記第2空間座標成分に対応する正及び負の波数成分と前記周波数とによって値が定まる第1処理データを算出するように構成された第1処理部と、
     前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分と前記周波数との間の拘束条件下、前記周波数と前記第2空間座標成分に対応する波数成分から、前記第1空間座標成分に対応する第1波数成分を求めることにより、前記第1処理データを再構成して、前記空間内の全ての空間座標成分に対応する全ての波数成分によって値が定まる第2処理データを算出するように構成された第2処理部と、
     前記第2処理データを、前記全ての波数成分を前記全ての空間座標成分に変換することにより、前記全ての空間座標成分によって値が定まる第3処理データを算出するように構成された第3処理部と、を含み、
     前記第2処理部は、
     前記第2空間座標成分の少なくとも1つに対応する第2波数成分の正の領域及び負の領域において、前記第2波数成分の範囲を拡張するように構成され、
     前記拡張された範囲において、前記第2波数成分が前記範囲の最大値よりδ大きい波数成分の正の拡張部分の拡張データは、前記第2波数成分が前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ大きいときの前記第1処理データの値を備え、前記第2波数成分が前記最大値に-1を乗算した負の値よりδ小さい波数成分の負の拡張部分の拡張データは、前記第2波数成分が前記最大値よりδ小さいときの前記第1処理データの値を備え、
     前記第2処理部は、前記第1処理データの他に前記拡張データを用いて、前記第2処理データを算出するように構成されている、ことを特徴とする計測装置。
  12.  前記第2処理部は、前記第2波数成分に対応する空間座標成分のデータ間隔が、前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下となるように、前記第2波数成分の範囲を拡張するように構成されている、請求項11に記載の計測装置。
  13.  前記第2処理部は、前記データ間隔が前記最大周波数に対応する波長の4分の1以下になるまで、前記第2波数成分の範囲を、拡張前の前記第2波数成分の範囲の2倍ずつ拡張することを繰り返すように構成されている、請求項12に記載の計測装置。
  14.  前記第2処理部は、前記計測データを再構成するとき、前記第1波数成分のデータ数を、前記周波数のサンプリング数の2倍以上に設定するように構成されている、請求項11~13のいずれか1項に記載の計測装置。
  15.  前記送信部は、測定対象物に電磁波を照射するように構成された、第1方向に一定の第1間隔で配列した複数の送信アンテナを含み、
     前記受信部は、前記測定対象物で反射した電磁波の反射波を受信するように構成された、前記第1方向に前記第1間隔で配列した複数の送信アンテナを含み、前記送信アンテナは、前記送信アンテナの配列に対して、前記第1間隔の半分の長さだけ、前記第1の方向に位置ずれして設けられ、
     前記第2波数成分に対応する空間座標成分のサンプリング間隔は、前記第1間隔の半分の長さである、請求項11~14のいずれか1項に記載の計測装置。
  16.  前記第2波数成分は、前記第1方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、請求項15に記載の計測装置。
  17.  前記第2波数成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の面内の方向であって、前記第1方向と直交する第2方向の空間座標成分に対応する波数成分を含む、請求項15または16に記載の計測装置。
  18.  前記送信アンテナ及び前記受信アンテナは、前記第2方向に前記測定対象物に対して相対的に移動する、請求項17に記載の計測装置。
  19.  前記第1空間座標成分は、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが設けられる平面の法線方向の空間座標成分である、請求項15~18のいずれか1項に記載の計測装置。
  20.  前記全ての波数成分をk、k、kとし、前記周波数をfとしたとき、前記拘束条件は、k +k +k =4×εr×(2πf/c(cは真空中の光速、εrは電磁波の伝播する媒体の比誘電率)である、請求項11~19のいずれか1項に記載の計測装置。
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