WO2017082168A1 - バルブアクチュエータ - Google Patents

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WO2017082168A1
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cylinder
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valve actuator
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公平 多屋
初男 森
平井　健二
由 平田
正泰 田中
健 ▲高▼木
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株式会社Ihi
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    • F04B39/10—Adaptations or arrangements of distribution members
    • F04B39/1013—Adaptations or arrangements of distribution members the members being of the poppet valve type
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means

Definitions

  • This disclosure relates to a valve actuator.
  • Patent Document 1 Japanese Patent No. 5600760 (Patent Document 1)).
  • an electric motor is used as a drive source, and rotational movement by the electric motor is converted into linear movement using a ball screw, so that the valve body of the poppet valve has a constant speed regardless of the stroke. And configured to operate with constant force.
  • the opening and closing speed of the poppet valve may be slowed if an attempt is made to increase the force for operating the valve body in order to obtain a closing force necessary for closing the valve.
  • the opening / closing speed of the poppet valve is increased, the force for operating the valve body is reduced, and the closing force required for closing the valve may not be obtained.
  • an object of the present disclosure is to provide a valve actuator capable of satisfying both an opening / closing speed necessary for opening / closing a poppet valve and a closing force necessary for closing the poppet valve.
  • a valve actuator is a valve actuator that opens and closes a poppet valve, and includes a motor and a transmission mechanism that transmits a driving force of the motor to the poppet valve.
  • the transmission mechanism includes a booster mechanism.
  • the booster mechanism includes a cylinder, an input panel that rotates around the axis within the cylinder, an output panel that reciprocates along the axial direction within the cylinder, an input panel, and an output. This is a three-dimensional toggle mechanism including a link connecting the boards.
  • the booster mechanism includes a ball joint.
  • the ball joint connects the outer edge of the input panel and one end of the link, and connects the outer edge of the output panel and the other end of the link to the inner peripheral surface of the cylinder. You may arrange
  • the booster mechanism may include a load limiter that is provided between the output panel and the valve body of the poppet valve and limits a load transmitted from the output panel to the valve seat through the valve body.
  • the booster mechanism is formed on the inner peripheral surface of the cylinder and includes a stopper that restricts the movement of the link.
  • the stopper may be disposed at a position beyond the position where the link is parallel to the cylinder axis.
  • the valve actuator according to the present disclosure can achieve both the opening / closing speed necessary for opening and closing the poppet valve and the closing force necessary for closing the valve.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a valve actuator according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the three-dimensional toggle mechanism.
  • FIG. 3A is an explanatory diagram showing an outline of the stopper.
  • FIG. 3B is an explanatory diagram showing an outline of the stopper.
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the force output from the booster mechanism and the position of the valve element.
  • the valve actuator 1 drives the poppet valve 2 shown in FIG.
  • the poppet valve 2 is a valve of a type in which the valve element moves in a direction perpendicular to the valve seat surface (JIS standard).
  • the poppet valve 2 is used, for example, to open and close a flow path for supplying fuel to a rocket engine.
  • the poppet valve 2 includes a valve housing 4 in which a fluid flow path 3 is formed, and a valve seat 5 disposed in the middle of the flow path 3.
  • a valve body 6 for opening and closing the valve seat 5 is disposed in the valve housing 4.
  • the valve body 6 includes a valve stem 7 that is a shaft portion of the valve body 6, and an umbrella portion 8 that is attached to the distal end portion of the valve stem 7.
  • reference numeral 9 a indicates a coupling hole of the valve body 6 provided in the output board 18 described later
  • reference numeral 9 b indicates a coupling nut of the valve body 6, and reference numeral 10 indicates adjustment of the valve body 6.
  • the center mechanism is shown, and the code
  • the valve actuator 1 includes a motor 12 and a transmission mechanism 13 that transmits the driving force of the motor 12 to the poppet valve 2.
  • the motor 12 is, for example, a stepping motor. An electric signal is transmitted to a motor 12 from a power supply driver (not shown) provided outside the valve actuator 1, and the motor 12 provided in the valve actuator 1 is operated.
  • the motor 12 is not limited to a stepping motor, and may be a motor other than a stepping motor.
  • the transmission mechanism 13 includes a speed reducer 14 and a booster mechanism 15.
  • the reduction gear 14 is, for example, a planetary gear mechanism.
  • the rotation of the motor 12 is transmitted to the booster mechanism 15 by reducing the rotational speed by the speed reducer 14 and increasing the torque.
  • the reduction gear 14 is not limited to the planetary gear mechanism, and may be a transmission using a general gear transmission, continuously variable transmission, cam, or the like.
  • the booster mechanism 15 includes a cylinder 16, an input panel 17 that rotates about the axis CL in the cylinder 16, an output panel 18 that reciprocates along the axis CL in the cylinder 16, and the input panel 17 and the output panel.
  • 18 is a three-dimensional toggle mechanism including a link 19 connecting 18.
  • the output shaft of the speed reducer 14 is coupled to the input panel 17, and the valve body 6 of the poppet valve 2 is coupled to the output panel 18.
  • the input board 17 can rotate around the axis CL of the cylinder 16 and cannot reciprocate in the direction of the axis CL.
  • the output board 18 cannot rotate about the axis CL of the cylinder 16 and can reciprocate in the direction of the axis CL.
  • the input board 17 and the output board 18 are formed in a circular shape.
  • the present invention is not limited to this, and the input board 17 and the output board 18 may have a shape other than a circular shape.
  • the input board 17 and the output board 18 are connected by three links 19, between the outer edge of the input board 17 and one end of the link 19, and the outer edge of the output board 18 and the link.
  • the other end of 19 is connected by a ball joint 20.
  • the ball joint 20 includes a ball 21 provided at the outer edge of the input board 17 and the outer edge of the output board 18, and a hemispherical tray 22 provided at the end of the link 19.
  • the ball joint 20 is disposed in the cylinder 16 so as to contact the inner peripheral surface of the cylinder 16.
  • the rotation of the motor 12 is converted from a rotational motion to a linear motion by the booster mechanism 15 and is transmitted to the valve body 6 of the poppet valve 2 with an increased force. Specifically, the rotation of the motor 12 transmitted from the speed reducer 14 to the input panel 17 is output as a reciprocating motion along the axis CL direction of the cylinder 16 at the output panel 18.
  • FIG. 4 is a graph showing the relationship between the force output from the booster mechanism 15 and the position of the valve body 6.
  • the horizontal axis represents the rotation angle of the input panel 17, and the rotation angle of the input panel 17 when the link 19 is parallel to the axis CL of the cylinder 16 is “0 °”.
  • the vertical axis indicates the force output from the booster mechanism 15 and the position of the valve body 6. The state in which the valve body 6 approaches the valve seat 5 as it goes from the lower side to the upper side of the graph. Show.
  • the rotation of the motor 12 is transmitted from the input board 17 to the output board 18 via the link 19.
  • the opening / closing speed of the valve body 6 is slow, but the force output from the booster mechanism 15 (the valve body 6 is The force pressed against the valve seat 5 is increased.
  • the force output from the booster mechanism 15 is small, but the opening / closing speed of the valve body 6 is increased.
  • the booster mechanism 15 further includes a load limiter 23 and a stopper (mechanical stopper) 24, as shown in FIGS. 3A and 3B.
  • the load limiter 23 is provided between the output board 18 and the valve body 6 of the poppet valve 2, and limits the load transmitted from the output board 18 to the valve seat 5 via the valve body 6.
  • a disc spring 25 is interposed between the output board 18 of the booster mechanism 15 and the valve body 6 of the poppet valve 2. By doing in this way, this disc spring 25 exhibits the function as the load limiter 23 in which the load more than predetermined is not transmitted to the valve seat 5 from the output board 18 via the valve body 6 (refer FIG. 4).
  • the characteristic of the load limiter 23 can be changed by changing the number and combination (parallel, series, parallel series) of the disc springs 25.
  • the stopper 24 is formed on the inner peripheral surface of the cylinder 16 and restricts the movement of the link 19.
  • a stopper 24 is provided at a position slightly beyond the position where the link 19 is parallel to the axis CL of the cylinder 16, and the link 19 is moved to that position. Is done.
  • the disc spring 25 and the stopper 24 exhibit a function as a latch mechanism that prevents the valve body 6 from moving in the fully closed position even when the motor 12 is turned off. That is, in order for the valve body 6 to return from the state shown in FIG. 3B to the opening direction, it is necessary to apply a force determined by the disc spring 25. Therefore, the valve body 6 does not return to the opening direction unless such a force is applied. Absent.
  • the valve actuator 1 is a valve actuator 1 that opens and closes the poppet valve 2, and includes a motor 12 and a transmission mechanism 13 that transmits the driving force of the motor 12 to the poppet valve 2.
  • the transmission mechanism 13 includes a booster mechanism 15.
  • the booster mechanism 15 includes a cylinder 16, an input panel 17 that rotates about the axis CL in the cylinder 16, an output panel 18 that reciprocates along the axis CL in the cylinder 16, and the input panel 17 and the output panel.
  • 18 is a three-dimensional toggle mechanism including a link 19 connecting 18.
  • a three-dimensional toggle mechanism is used to convert the rotational motion by the motor 12 into linear motion.
  • a closing force necessary for closing the valve body 6 of the poppet valve 2 at the fully closed position where the valve element 6 contacts the valve seat 5 can be obtained, and an opening / closing speed required for opening and closing the poppet valve 2 can also be obtained.
  • the rotation of the motor 12 is transmitted from the input panel 17 to the output panel 18 via the link 19, and when the valve body 6 is close to the fully closed position, the opening and closing speed of the valve body 6 is slow, but from the booster mechanism 15. The output force increases.
  • the booster mechanism 15 includes the ball joint 20, which connects the outer edge portion of the input panel 17 and one end of the link 19 and outputs the output panel. The outer edge of 18 and the other end of the link 19 are connected.
  • the ball joint 20 is disposed in the cylinder 16 so as to contact the inner peripheral surface of the cylinder 16.
  • the ball joint 20 moves in the cylinder 16 using the inner peripheral surface of the cylinder 16 as a guide, so that the assembled state of the ball joint 20 can be maintained.
  • the ball joint 20 can be configured to be easily assembled without using screws or the like, and the number of parts can be reduced.
  • the booster mechanism 15 is provided between the output board 18 and the valve body 6 of the poppet valve 2, and the valve seat is passed through the valve body 6 from the output board 18.
  • 5 includes a disc spring 25 (load limiter 23) that limits the load transmitted to 5.
  • the booster mechanism 15 includes a stopper 24 that is formed on the inner peripheral surface of the cylinder 16 and restricts the movement of the link 19. Is disposed at a position beyond the position parallel to the axis CL.
  • the valve body 6 coupled to the output panel 18 can be reliably stopped at a predetermined position (for example, a fully closed position).
  • the stopper 24 is provided at a position beyond the position where the link 19 is parallel to the axis CL of the cylinder 16, so that the stopper 24 can exhibit a function as a latch mechanism.
  • valve actuator of this indication was explained taking the example in the above-mentioned embodiment, it can adopt various other embodiments in the range which is not restricted to this embodiment and does not deviate from the gist of this indication.
  • connection part between the input panel and the link and the connection part between the output panel and the link are not limited to ball joints, and universal joints (universal joints) can also be used.
  • number of links connecting the input board and the output board is not limited to three and can be arbitrarily selected.

Abstract

バルブアクチュエータは、ポペットバルブを開閉駆動するバルブアクチュエータであって、モータと、モータの駆動力をポペットバルブに伝達する伝達機構と、を備える。伝達機構は、倍力機構を含む。倍力機構は、シリンダと、シリンダ内で軸線を中心に回転する入力盤と、シリンダ内で軸線方向に沿って往復動する出力盤と、入力盤と出力盤とを繋ぐリンクと、を含む立体トグル機構である。

Description

バルブアクチュエータ
　本開示は、バルブアクチュエータに関する。
　従来から、いわゆるポペットバルブを開閉駆動するバルブアクチュエータが公知である（特許第５６００７６０号公報（特許文献１））。
　この特許文献１に記載のバルブアクチュエータでは、電動モータを駆動源とし、電動モータによる回転運動を、ボールねじを用いて直線運動に変換して、ポペットバルブの弁体をストロークに依らず一定の速度および一定の力で作動させるように構成される。
特許第５６００７６０号公報
　特許文献１に記載のバルブアクチュエータでは、閉弁に必要な締切力を得るために弁体を作動させる力を大きくしようとするとポペットバルブの開閉速度が遅くなることがある。その一方で、ポペットバルブの開閉速度を速くしようとすると弁体を作動させる力が小さくなり、閉弁に必要な締切力が得られないことがある。
　そこで、本開示は、ポペットバルブの開閉に必要な開閉速度と閉弁に必要な締切力とを両立することができるバルブアクチュエータを提供することを目的とする。
　本開示の一態様に係るバルブアクチュエータは、ポペットバルブを開閉駆動するバルブアクチュエータであって、モータと、モータの駆動力をポペットバルブに伝達する伝達機構と、を備える。伝達機構は、倍力機構を含み、倍力機構は、シリンダと、シリンダ内で軸線を中心に回転する入力盤と、シリンダ内で軸線方向に沿って往復動する出力盤と、入力盤と出力盤とを繋ぐリンクと、を含む立体トグル機構である。
　倍力機構は、ボールジョイントを含み、ボールジョイントは、入力盤の外縁部とリンクの一端とを連結するとともに、出力盤の外縁部とリンクの他端とを連結し、シリンダの内周面に当接するようにシリンダ内に配設されてもよい。
　倍力機構は、出力盤とポペットバルブの弁体との間に設けられ、出力盤から弁体を介して弁座シートに伝わる荷重を制限するロードリミッタを含んでもよい。
　倍力機構は、シリンダの内周面に形成され、リンクの移動を規制するストッパを含み、ストッパは、リンクがシリンダの軸線と平行になる位置を超えた位置に配設されてもよい。
　本開示に係るバルブアクチュエータによれば、ポペットバルブの開閉に必要な開閉速度と閉弁に必要な締切力とを両立することができる。
図１は、本開示の実施形態に係るバルブアクチュエータの概略を示す断面図である。 図２は、立体トグル機構の概略を示す斜視図である。 図３Ａは、ストッパの概略を示す説明図である。 図３Ｂは、ストッパの概略を示す説明図である。 図４は、倍力機構より出力される力と弁体の位置との関係を示すグラフである。
　以下、本開示の実施形態を図面とともに詳述する。
　本実施形態に係るバルブアクチュエータ１は、図１に示すポペットバルブ２を開閉駆動するものである。ポペットバルブ２は、弁体が弁座シート面から直角方向に移動する形式のバルブである（ＪＩＳ規格）。このポペットバルブ２は、例えば、ロケットエンジンに燃料を供給する流路を開閉するために用いられる。
　図１に示すように、ポペットバルブ２は、内部に流体の流路３が形成されたバルブハウジング４と、流路３の途中に配設される弁座シート５と、を含む。バルブハウジング４内には、弁座シート５を開閉する弁体６が配設される。弁体６は、弁体６の軸部分であるバルブステム７と、バルブステム７の先端部に装着された傘部８と、から構成される。なお、図１において、符号９ａは後述する出力盤１８に設けられた弁体６の結合用穴部を示し、符号９ｂは弁体６の結合用ナットを示し、符号１０は弁体６の調心機構を示し、符号１１はベローズを示す。
　本実施形態に係るバルブアクチュエータ１は、モータ１２と、モータ１２の駆動力をポペットバルブ２に伝達する伝達機構１３と、を備える。
　モータ１２は、例えば、ステッピングモータである。バルブアクチュエータ１の外部に備えられた電源ドライバ（図示せず）からモータ１２に電気信号が送信されて、バルブアクチュエータ１に備えられたモータ１２が作動する。なお、モータ１２は、ステッピングモータに限定されず、ステッピングモータ以外のモータであってもよい。
　伝達機構１３は、減速機１４と、倍力機構１５と、を含む。
　減速機１４は、例えば、遊星ギア機構である。モータ１２の回転は、減速機１４により回転数を落としトルクを高めて、倍力機構１５に伝達される。なお、減速機１４は、遊星ギア機構に限定されず、一般的なギア変速機、無段変速機、カムなどを用いた形式の変速機であってもよい。
　倍力機構１５は、シリンダ１６と、シリンダ１６内で軸線ＣＬを中心に回転する入力盤１７と、シリンダ１６内で軸線ＣＬ方向に沿って往復動する出力盤１８と、入力盤１７と出力盤１８とを繋ぐリンク１９と、を含む立体トグル機構である。入力盤１７に、減速機１４の出力軸が結合され、出力盤１８には、ポペットバルブ２の弁体６が結合される。
　入力盤１７は、シリンダ１６の軸線ＣＬを中心とする回転が可能であり、かつ、軸線ＣＬ方向に対する往復動が不能である。その一方で、出力盤１８は、シリンダ１６の軸線ＣＬを中心とする回転が不能であり、かつ、軸線ＣＬ方向に対する往復動が可能である。本実施形態では、入力盤１７および出力盤１８は、円形状に形成されている。しかしながら、これに限定されず、入力盤１７および出力盤１８は、円形状以外の形状としてもよい。
　入力盤１７と出力盤１８とは、図２に示すように、３本のリンク１９により繋がっており、入力盤１７の外縁部とリンク１９の一端との間、出力盤１８の外縁部とリンク１９の他端との間は、ボールジョイント２０により連結される。ボールジョイント２０は、入力盤１７の外縁部および出力盤１８の外縁部に設けられたボール２１と、リンク１９の端部に設けられた半球状の受け皿２２と、から構成される。このボールジョイント２０は、シリンダ１６の内周面に当接するようにシリンダ１６内に配設される。
　モータ１２の回転は、倍力機構１５により回転運動から直線運動に変換されるとともに、力を高めて、ポペットバルブ２の弁体６に伝達される。具体的には、減速機１４から入力盤１７に伝えられたモータ１２の回転は、出力盤１８ではシリンダ１６の軸線ＣＬ方向に沿った往復動として出力される。
　図４は、倍力機構１５より出力される力と弁体６の位置との関係を示すグラフである。なお、図４において、横軸は入力盤１７の回転角度であり、リンク１９がシリンダ１６の軸線ＣＬと平行となったときの入力盤１７の回動角度を「０°」としている。また、縦軸は倍力機構１５より出力される力および弁体６の位置を示しており、グラフの下側から上側に行くに従い弁体６が弁座シート５に対して近づいていく状態を示す。
　モータ１２の回転は、リンク１９を介して入力盤１７から出力盤１８に伝わる。図４から分かるように、弁体６が全閉位置に近い位置（図４の左側部分）では、弁体６の開閉速度は遅いが、倍力機構１５より出力される力（弁体６を弁座シート５に押し付ける力）は大きくなる。その一方で、弁体６の全閉位置から離れた位置（図４の右側部分）では、倍力機構１５より出力される力は小さいが、弁体６の開閉速度は速くなる。
　倍力機構１５は、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、ロードリミッタ２３と、ストッパ（メカニカルストッパ）２４と、をさらに含む。
　ロードリミッタ２３は、出力盤１８とポペットバルブ２の弁体６との間に設けられ、出力盤１８から弁体６を介して弁座シート５に伝わる荷重を制限するものである。本実施形態では、倍力機構１５の出力盤１８とポペットバルブ２の弁体６との間に皿ばね２５を介在させている。このようにすることにより、この皿ばね２５が、所定以上の荷重が出力盤１８から弁体６を介して弁座シート５に伝わらないロードリミッタ２３としての機能を発揮する（図４参照）。これに対して、出力盤１８と弁体６との間に皿ばね２５がないと、図４中に破線で示すように、弁体６の全閉位置近傍において倍力機構１５より出力される力が大きくなり過ぎる可能性がある。なお、皿ばね２５の数や組み合わせ（並列、直列、並直列）を変えることにより、ロードリミッタ２３の特性を変えることができる。
　ストッパ２４は、シリンダ１６の内周面に形成され、リンク１９の移動を規制するものである。本実施形態では、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、リンク１９がシリンダ１６の軸線ＣＬと平行になる位置を少し超えた位置にストッパ２４を設け、その位置までリンク１９を移動させるように構成される。このようにすることにより、これらの皿ばね２５およびストッパ２４が、モータ１２の電源が切れても弁体６が全閉位置のままで動かないようなラッチ機構としての機能を発揮する。すなわち、弁体６が図３Ｂに示す状態から開方向に戻るためには、皿ばね２５で決まる力をかける必要があるため、そのような力がかからない限り弁体６が開方向に戻ることはない。
　以下に、本実施形態による作用効果を説明する。
　（１）本実施形態に係るバルブアクチュエータ１は、ポペットバルブ２を開閉駆動するバルブアクチュエータ１であって、モータ１２と、モータ１２の駆動力をポペットバルブ２に伝達する伝達機構１３と、を備える。伝達機構１３は、倍力機構１５を含む。倍力機構１５は、シリンダ１６と、シリンダ１６内で軸線ＣＬを中心に回転する入力盤１７と、シリンダ１６内で軸線ＣＬ方向に沿って往復動する出力盤１８と、入力盤１７と出力盤１８とを繋ぐリンク１９と、を含む立体トグル機構である。
　本実施形態に係るバルブアクチュエータ１では、モータ１２による回転運動を直線運動に変換するために、立体トグル機構を用いている。このようにすることにより、ポペットバルブ２の弁体６が弁座シート５に当接する全閉位置において閉弁に必要な締切力が得られ、かつ、ポペットバルブ２の開閉に必要な開閉速度も得ることができる。すなわち、モータ１２の回転は、リンク１９を介して入力盤１７から出力盤１８に伝わり、弁体６が全閉位置に近い位置では、弁体６の開閉速度は遅いが、倍力機構１５より出力される力は大きくなる。その一方で、弁体６の全閉位置から離れた位置では、倍力機構１５より出力される力は小さいが、弁体６の開閉速度は速くなる。したがって、ポペットバルブ２の開閉に必要な開閉速度と閉弁に必要な締切力とを両立することができる。
　（２）本実施形態に係るバルブアクチュエータ１では、倍力機構１５は、ボールジョイント２０を含み、このボールジョイント２０は、入力盤１７の外縁部とリンク１９の一端とを連結するとともに、出力盤１８の外縁部とリンク１９の他端とを連結する。ボールジョイント２０は、シリンダ１６の内周面に当接するようにシリンダ１６内に配設される。
　このようにすることにより、ボールジョイント２０がシリンダ１６内をシリンダ１６の内周面をガイドとして動くようになるため、ボールジョイント２０の組立状態を維持することができる。このため、ボールジョイント２０を、ねじなどを使用しないで簡易に組み立てることができる構造とすることができ、部品点数を少なくすることができる。
　（３）本実施形態に係るバルブアクチュエータ１では、倍力機構１５は、出力盤１８とポペットバルブ２の弁体６との間に設けられ、出力盤１８から弁体６を介して弁座シート５に伝わる荷重を制限する皿ばね２５（ロードリミッタ２３）を含む。
　倍力機構１５が皿ばね２５（ロードリミッタ２３）を含むことにより、所定以上の荷重が出力盤１８から弁体６を介して弁座シート５に伝わらないようにすることができ、弁座シート５の破損を確実に抑制することができる。
　（４）本実施形態に係るバルブアクチュエータ１では、倍力機構１５は、シリンダ１６の内周面に形成され、リンク１９の移動を規制するストッパ２４を含み、ストッパ２４は、リンク１９がシリンダ１６の軸線ＣＬと平行になる位置を超えた位置に配設される。
　倍力機構１５がストッパ２４を含むことにより、出力盤１８に結合された弁体６を所定の位置（例えば、全閉位置）に確実に停止させることが可能になる。また、リンク１９がシリンダ１６の軸線ＣＬと平行になる位置を超えた位置にストッパ２４が配設されることにより、ストッパ２４がラッチ機構としての機能を発揮することが可能になる。
　ところで、本開示のバルブアクチュエータは前述の実施形態に例をとって説明したが、この実施形態に限ることなく本開示の要旨を逸脱しない範囲で他の実施形態を各種採用することができる。
　例えば、入力盤とリンクとの接続部、出力盤とリンクとの接続部は、ボールジョイントに限定されず、ユニバーサルジョイント（自在継手）などを用いることもできる。また、入力盤と出力盤とを繋ぐリンクの数は、３本に限定されず、任意に選択することができる。

Claims (4)

  1. 　ポペットバルブを開閉駆動するバルブアクチュエータであって、
    　モータと、前記モータの駆動力を前記ポペットバルブに伝達する伝達機構と、を備え、
    　前記伝達機構は、倍力機構を含み、
    　前記倍力機構は、シリンダと、前記シリンダ内で軸線を中心に回転する入力盤と、前記シリンダ内で軸線方向に沿って往復動する出力盤と、前記入力盤と前記出力盤とを繋ぐリンクと、を含む立体トグル機構である
    　バルブアクチュエータ。
  2. 　前記倍力機構は、ボールジョイントを含み、前記ボールジョイントは、前記入力盤の外縁部と前記リンクの一端とを連結するとともに、前記出力盤の外縁部と前記リンクの他端とを連結し、前記シリンダの内周面に当接するように前記シリンダ内に配設される請求項１に記載のバルブアクチュエータ。
  3. 　前記倍力機構は、前記出力盤と前記ポペットバルブの弁体との間に設けられ、前記出力盤から前記弁体を介して弁座シートに伝わる荷重を制限するロードリミッタを含む請求項１に記載のバルブアクチュエータ。
  4. 　前記倍力機構は、前記シリンダの内周面に形成され、前記リンクの移動を規制するストッパを含み、前記ストッパは、前記リンクが前記シリンダの軸線と平行になる位置を超えた位置に配設される請求項１に記載のバルブアクチュエータ。
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