JPS58196380A - バルブ装置 - Google Patents
バルブ装置Info
- Publication number
- JPS58196380A JPS58196380A JP7887382A JP7887382A JPS58196380A JP S58196380 A JPS58196380 A JP S58196380A JP 7887382 A JP7887382 A JP 7887382A JP 7887382 A JP7887382 A JP 7887382A JP S58196380 A JPS58196380 A JP S58196380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- valve body
- fluid
- passage
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、流体の流通を制御するために用いられるバル
ブ装置！＋こ関するものである。
ブ装置！＋こ関するものである。
従来、この撞のバルブ装置として、通路を開閉する１こ
めの弁体を弁軸により支持し、この弁軸を通路外Ｉこ配
設したアクチュエータにより作動させることＩこよって
、通路中を流れる流体の流通状態を制御するようにした
ものがある。
めの弁体を弁軸により支持し、この弁軸を通路外Ｉこ配
設したアクチュエータにより作動させることＩこよって
、通路中を流れる流体の流通状態を制御するようにした
ものがある。
ところが、このような構成のものでは、弁軸等を介して
通路内の熱が外部へ流出し１こり、外部の熱が通路内へ
流入し易い。そのため、前記通路内を高温の流体ρ）流
通する場合には、前記アクチュエータが加熱されて故障
するおそれがあり、また、前記通路内を低温の流体が流
通する場合暑こは外部の熱が通路内に漏入して前記流体
の温度を＾めてしまうというような不都合がある。
通路内の熱が外部へ流出し１こり、外部の熱が通路内へ
流入し易い。そのため、前記通路内を高温の流体ρ）流
通する場合には、前記アクチュエータが加熱されて故障
するおそれがあり、また、前記通路内を低温の流体が流
通する場合暑こは外部の熱が通路内に漏入して前記流体
の温度を＾めてしまうというような不都合がある。
特に、クライオ関係の各種の機器類に液体ヘリウム等の
極低温流体を送給するような通路１こ前述した従来のバ
ルブ装置を用いると、通路内外の温度差が極度に大きい
ため、外部の熱が前記弁軸等を通して通路内に漏入し易
く、しかも、前記弁軸の軸封部や螺合部等で発生する摩
擦熱がそれ確付加される。そのため、前記通路を流通す
る極低温流体１こ比較的多量の熱が付与されることとな
って前述した機器類の性能等に悪影響を及ぼすという不
都合がある。したがって、このような不都合を招かない
バルブ装置の出現が強く望まれている。
極低温流体を送給するような通路１こ前述した従来のバ
ルブ装置を用いると、通路内外の温度差が極度に大きい
ため、外部の熱が前記弁軸等を通して通路内に漏入し易
く、しかも、前記弁軸の軸封部や螺合部等で発生する摩
擦熱がそれ確付加される。そのため、前記通路を流通す
る極低温流体１こ比較的多量の熱が付与されることとな
って前述した機器類の性能等に悪影響を及ぼすという不
都合がある。したがって、このような不都合を招かない
バルブ装置の出現が強く望まれている。
本発明は、このような事情に着目してなされｔこもので
、対をなすベローズを用いて弁体を遠隔駆動し得るよう
暑こ構成することによって、前述した不都合を解消する
ことができるようにした／＜ルブ装置を提供するもので
ある。
、対をなすベローズを用いて弁体を遠隔駆動し得るよう
暑こ構成することによって、前述した不都合を解消する
ことができるようにした／＜ルブ装置を提供するもので
ある。
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
極低温の液体ヘリウムムを流通させるための通路１の途
中易こ弁座２を介設し、この弁座２上に弁体８を配設し
ている。そして、この弁体８を従動側ベローズ４１こよ
り支持して前記弁座２方向に進退させるようにしている
。この従動側ベローズ４は、固定１１４ｍと可動！１４
ｂとの聞Ｉζ伸縮可能な蛇腹状の周１１４０を介在させ
てなるもので、訂記弁体８は前記可動壁４ｔｚこ一体に
形成されている。そして、この従動側ベローズ４の内部
空間４ｄを流体流通路５を介して駆動−ベローズ６の内
部空間６ｄ１こ連通させている。この駆動側ベローズ６
は、固定Ｗ６ａと可動＠６ｂとの間に伸縮可能な蛇腹状
のｌ壁６ｅを介在させてなるもので、この駆動側ベロー
ズ６の内部空間６ｄおよび前記従動側ベローズ４の内部
空間４ｄにはガス状の作動流体７を充満させである。そ
して、前記駆動側ベローズ６をベローズ駆動機構８によ
って伸縮させて該駆動側ベローズ６の内部空間６ｄの容
積を増′減させるよう１こしている。このベローズ駆動
機構８は、電動ロータリアクチュエータ９の回転出力軸
９ａに送りねじ部９ｂｆｒ設け、この送りねじ部９ｂを
前記駆動側ベローズ６の可動＠６ｂのねじ部６ｅに螺合
させてなるもので、前記回転出力軸９ａを所要方向に回
転させること（こよって前記可動壁６ｂを昇降動作させ
ることができるよう着こなっている。なお、１１は前記
可動壁６ｂを回転を禁止した状態で上、下に案内する案
内部材でＪ）る。
中易こ弁座２を介設し、この弁座２上に弁体８を配設し
ている。そして、この弁体８を従動側ベローズ４１こよ
り支持して前記弁座２方向に進退させるようにしている
。この従動側ベローズ４は、固定１１４ｍと可動！１４
ｂとの聞Ｉζ伸縮可能な蛇腹状の周１１４０を介在させ
てなるもので、訂記弁体８は前記可動壁４ｔｚこ一体に
形成されている。そして、この従動側ベローズ４の内部
空間４ｄを流体流通路５を介して駆動−ベローズ６の内
部空間６ｄ１こ連通させている。この駆動側ベローズ６
は、固定Ｗ６ａと可動＠６ｂとの間に伸縮可能な蛇腹状
のｌ壁６ｅを介在させてなるもので、この駆動側ベロー
ズ６の内部空間６ｄおよび前記従動側ベローズ４の内部
空間４ｄにはガス状の作動流体７を充満させである。そ
して、前記駆動側ベローズ６をベローズ駆動機構８によ
って伸縮させて該駆動側ベローズ６の内部空間６ｄの容
積を増′減させるよう１こしている。このベローズ駆動
機構８は、電動ロータリアクチュエータ９の回転出力軸
９ａに送りねじ部９ｂｆｒ設け、この送りねじ部９ｂを
前記駆動側ベローズ６の可動＠６ｂのねじ部６ｅに螺合
させてなるもので、前記回転出力軸９ａを所要方向に回
転させること（こよって前記可動壁６ｂを昇降動作させ
ることができるよう着こなっている。なお、１１は前記
可動壁６ｂを回転を禁止した状態で上、下に案内する案
内部材でＪ）る。
また、１２は、前記流体流通路５内に作動流体７を補充
するための作動流体補充機構である、このような構成の
ものであれば、電動ロータリアクチュエータ９を所要方
向１こ作動させて駆動側ベローズ６の可動壁６ｂを降下
させると、該ベローズ６の内部空間６ｄの容積が減少し
、該内部空間６ｄ内の作動流体７の圧力が丘昇する。そ
のため、前記駆動側ベローズ６円の作動流体７が逐次流
体流通路５内へ流出するととも身こ、この流体流通路５
内の作動流体７が従動側ベローズ４の内部空間４ｄ内に
流入し、該従動側ベローズ４が伸長して弁体８が閉成方
向綴こ移行させられる。また前記電動ロークリアクチュ
エータ９を前述と逆の方向に作動させて前記駆動側ベロ
ーズ６の可動壁ｅｂｌｔｈ昇させると、該ベローズ６の
内部空間６ｄの容積が減少し、該内部空間６ｄ内の圧力
が降下する。そのため、前記作動流体７が前述とは逆の
方向醗こ流れ、前記従動側ベローズ６が縮小して前記弁
体３が開成方向に移行させられる。しため５つて、この
ようなものであれば、前記電動ロータソアクチュエータ
９を正逆転させることによって、前記弁体８を自在に開
閉制御することができる。
するための作動流体補充機構である、このような構成の
ものであれば、電動ロータリアクチュエータ９を所要方
向１こ作動させて駆動側ベローズ６の可動壁６ｂを降下
させると、該ベローズ６の内部空間６ｄの容積が減少し
、該内部空間６ｄ内の作動流体７の圧力が丘昇する。そ
のため、前記駆動側ベローズ６円の作動流体７が逐次流
体流通路５内へ流出するととも身こ、この流体流通路５
内の作動流体７が従動側ベローズ４の内部空間４ｄ内に
流入し、該従動側ベローズ４が伸長して弁体８が閉成方
向綴こ移行させられる。また前記電動ロークリアクチュ
エータ９を前述と逆の方向に作動させて前記駆動側ベロ
ーズ６の可動壁ｅｂｌｔｈ昇させると、該ベローズ６の
内部空間６ｄの容積が減少し、該内部空間６ｄ内の圧力
が降下する。そのため、前記作動流体７が前述とは逆の
方向醗こ流れ、前記従動側ベローズ６が縮小して前記弁
体３が開成方向に移行させられる。しため５つて、この
ようなものであれば、前記電動ロータソアクチュエータ
９を正逆転させることによって、前記弁体８を自在に開
閉制御することができる。
なお、弁体は、内示実施例のようなポペ・スト弁形式の
ものに限定されないのは勿論であり、例えば、バタフラ
イ弁、玉形弁あるいはゲート弁等と称される形式のもの
であってもよも）。
ものに限定されないのは勿論であり、例えば、バタフラ
イ弁、玉形弁あるいはゲート弁等と称される形式のもの
であってもよも）。
５−
また、ベローズの形式も前記実施例のものＩｎ限らず、
例えば、第２図に示すようなものであってもよい、すな
わち、ｌ＠２図に示すベローズ４’ｊ、ｔ１１１１４ｅ
’の途中に座屈防止用のガイドリック４’ｒを介在させ
たものである。
例えば、第２図に示すようなものであってもよい、すな
わち、ｌ＠２図に示すベローズ４’ｊ、ｔ１１１１４ｅ
’の途中に座屈防止用のガイドリック４’ｒを介在させ
たものである。
さら艮、作動流体は、ガス状のもの１こ限らず液状のも
のであってもよい。しかしながら、ガス状のものにすれ
ば、封入モル数の調節だけで、制御範囲を変化させるこ
とができ、広範囲の圧力領域をカバーできるという利点
がある。
のであってもよい。しかしながら、ガス状のものにすれ
ば、封入モル数の調節だけで、制御範囲を変化させるこ
とができ、広範囲の圧力領域をカバーできるという利点
がある。
また、ベローズ駆動機構も前記実施例のもσ）−こ限定
されないのは勿論であり、油圧式、空気圧式あるいは手
動式等のものであってもよいが、前記のような構成のも
のであれば、送りねじ部のリード角を変えること盛こよ
ってゲｊノを簡単Ｉこ変更することができるという利点
がある。
されないのは勿論であり、油圧式、空気圧式あるいは手
動式等のものであってもよいが、前記のような構成のも
のであれば、送りねじ部のリード角を変えること盛こよ
ってゲｊノを簡単Ｉこ変更することができるという利点
がある。
以上、説明したように、本発明は、対をなすベローズを
用いて弁体を遠隔駆動し得るよう１こ構成しているので
、駆動機構たるアクチュエータ等を通路内の流体から熱
的に隔離して配置すること６− が容易である。そのため、通路内の流体の温度屹よって
前記アクチュエータ等に悪影響が及ぶという不都合を解
消することができる。また、本発明ｌこよれば、熱伝導
性Ｉこ富む弁軸等の部材を通路内から通路外１こＥって
設ける必要がないため、通路内、外１こおける熱の出入
りを有効に抑制することができるとともに、前記通路内
ｉこ面圧の大きな摺動部を設ける必要が全くないため、
通路内ｉこおける摩擦熱の発生を防止することができる
。そのため、前記通路ξこ液体ヘリウム等の極低温流体
を流通させるような場合でも、該極低温流体ｌこ外部か
らの熱や摩擦熱等が不当に付与されるという不都合が生
じない。したがって、特に、クライオ関係の機器類等ｇ
こ適用するのに好適なバルブ装置を提供することができ
るものである。また、本発明では、弁体をベローズ磨こ
よって作動させるよう憂こしているので、例えば、ダイ
ヤフラムＩこよって弁体を作動させる場合のよう着こり
ファレンス圧力や制御対象圧力の変動等によってハノチ
ノグが生じるというような不都合が無く、安定した弁体
の開閉制御を行なうことができるものである
用いて弁体を遠隔駆動し得るよう１こ構成しているので
、駆動機構たるアクチュエータ等を通路内の流体から熱
的に隔離して配置すること６− が容易である。そのため、通路内の流体の温度屹よって
前記アクチュエータ等に悪影響が及ぶという不都合を解
消することができる。また、本発明ｌこよれば、熱伝導
性Ｉこ富む弁軸等の部材を通路内から通路外１こＥって
設ける必要がないため、通路内、外１こおける熱の出入
りを有効に抑制することができるとともに、前記通路内
ｉこ面圧の大きな摺動部を設ける必要が全くないため、
通路内ｉこおける摩擦熱の発生を防止することができる
。そのため、前記通路ξこ液体ヘリウム等の極低温流体
を流通させるような場合でも、該極低温流体ｌこ外部か
らの熱や摩擦熱等が不当に付与されるという不都合が生
じない。したがって、特に、クライオ関係の機器類等ｇ
こ適用するのに好適なバルブ装置を提供することができ
るものである。また、本発明では、弁体をベローズ磨こ
よって作動させるよう憂こしているので、例えば、ダイ
ヤフラムＩこよって弁体を作動させる場合のよう着こり
ファレンス圧力や制御対象圧力の変動等によってハノチ
ノグが生じるというような不都合が無く、安定した弁体
の開閉制御を行なうことができるものである
ａｔ図は本発明の一実施例を示す概略断面図第２図は本
発明の他の実施例を示す部分動向図である。 ｌ・・・通路 ３・・・弁体 ４・・・従動側ベローズ ５・・・流２体流通路６・
・・駆動側ベローズ ７・・・作動流体代理人 弁理
士 赤澤−博
発明の他の実施例を示す部分動向図である。 ｌ・・・通路 ３・・・弁体 ４・・・従動側ベローズ ５・・・流２体流通路６・
・・駆動側ベローズ ７・・・作動流体代理人 弁理
士 赤澤−博
Claims (1)
- 通路々開閉するための弁体と、この弁体を支持し内部空
間の容積の増減１こ伴って前記弁体を開閉動作させる従
動側ベローズと、作動流体を充満させた内部空間を流体
流通路を介して前記従動側ベローズの内部空間１こ連通
させた駆動側ベローズと、この駆動側ベローズを伸縮さ
せて該駆動側ベローズの内部空間の容積を増減させるベ
ローズ駆動機構とを具備してなることを特徴とする）（
ルブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7887382A JPS58196380A (ja) | 1982-05-10 | 1982-05-10 | バルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7887382A JPS58196380A (ja) | 1982-05-10 | 1982-05-10 | バルブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58196380A true JPS58196380A (ja) | 1983-11-15 |
Family
ID=13673935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7887382A Pending JPS58196380A (ja) | 1982-05-10 | 1982-05-10 | バルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58196380A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10527189B2 (en) | 2015-11-13 | 2020-01-07 | Ihi Corporation | Valve actuator for an electrically actuated poppet valve including a continuously variable transmission and a power free latching mechanism |
-
1982
- 1982-05-10 JP JP7887382A patent/JPS58196380A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10527189B2 (en) | 2015-11-13 | 2020-01-07 | Ihi Corporation | Valve actuator for an electrically actuated poppet valve including a continuously variable transmission and a power free latching mechanism |
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