KR102275434B1 - 반도체 칠러장치용 밸브 모듈 - Google Patents

반도체 칠러장치용 밸브 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 칠러장치에서 정전척으로 공급되는 소정 온도의 열매체를 간단한 구조의 밸브 모듈로 제공할 수 있고 정전척에 정확한 온도의 열매체를 공급할 수 있는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에 관한 것으로서, 일체로 제작되되, 일측면에 저온 열매체가 유입되는 저온 열매체 유입구와 고온 열매체가 유입되는 고온 열매체 유입구가 형성되고, 타측면에 저온 열매체가 유출되는 저온 열매체 유출구와 고온 열매체가 유출되는 고온 열매체 유출구가 형성되며, 저면에 저온의 열매체와 고온의 열매체가 섞여 일정 온도로 된 열매체가 유출되는 공급구가 형성되고, 내부에 저온의 열매체가 유입/유출되는 저온 열매체 유로, 고온의 열매체가 유입/유출되는 고온 열매체 유로, 저온의 열매체와 고온의 열매체가 각각 유입되고 섞여서 유출되는 연결유로가 구비되어 있으며, 제1 이방향 밸브, 제2 이방향 밸브 및 삼방향 밸브를 장착하기 위한 제1 설치홈, 제2 설치홈 및 제3 설치홈이 구비되어 있는 밸브바디; 상기 밸브바디의 제3 설치홈에 결합되되, 모터, 동력전달부 및 커넥터를 포함하여 구성되는 액츄에이터와, 상기 액츄에이터와 밸브바디 사이에 개재되는 보닛, 상기 보닛 내부에 구비되고 동력전달부에 의해 회전력이 전달되는 스템, 상기 보닛과 스템의 유격 사이로 유입되는 누액을 차단하는 스템 패킹, 및 상기 스템 패킹 상부에 구비되고 그 내부로 스템이 통과할 수 있도록 중공 구조로 형성되어 스템을 보닛 내부에 지지 고정하는 체결구를 포함하는 보닛 어셈블리와, 저온 열매체 유입유로와 제1 바이패스 유로 사이를 개폐시키는 삼방향 볼, 상기 삼방향 볼에 밀착되는 시트, 및 상기 시트를 내측에 지지하는 시트링을 포함하는 개폐부로 구성되는 삼방향 밸브; 상기 밸브바디의 제1 설치홈에 결합되되, 액츄에이터, 보닛 어셈블리, 및 이방향 볼을 포함하는 개폐부로 구성되는 제1 이방향 밸브; 및 상기 밸브바디의 제2 설치홈에 결합되되, 액츄에이터, 보닛 어셈블리, 및 이방향 볼을 포함하는 개폐부로 구성되는 제2 이방향 밸브;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 칠러장치용 밸브 모듈{Valve module for semiconductor chiller apparatus}
본 발명은 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기존의 반도체 칠러장치에 구비된 복수의 3방향 밸브와 혼합기를 하나의 밸브 모듈로 구성한 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 설비에서 챔버 내의 정전척의 온도를 일정하게 유지하기 위하여 칠러(Chiller)장치를 통해 일정한 온도로 냉각된 열매체가 상기 정전척으로 공급되게 된다.
이와 관련하여 아래의 특허문헌 1에 반도체 제조설비를 위한 온도제어 시스템이 개시되어 있는데, 상기 시스템은 열전소자 블록(10, 20)을 통해 냉각된 열매체와 히터(30, 40)를 통해 가열된 열매체를 원하는 목표 온도에 맞추어 혼합기(50)에서 혼합하여 정전 척(C)에 제공하도록 되어 있다.
그리고 열매체 혼합 공급을 위하여 제1 3방향 스위칭 밸브(60), 제2 3방향 스위칭 밸브(70) 및 상기 제1 3방향 스위칭 밸브(60)와 제2 3방향 스위칭 밸브(70)를 통해 제공되는 열매체들을 혼합하여 제어 온도로 정전 척(C)에 제공하는 혼합기(50)가 구성된다.
이와 같이 상기 시스템에는 제1 3방향 스위칭 밸브(60), 제2 3방향 스위칭 밸브(70) 및 혼합기(50)가 각각 구비되어야 하므로 장치가 복잡해지고 이와 관련된 배관 및 전선배치도 복잡해지며 설치 공간을 많이 차지하는 문제가 있다.
등록특허공보 제10-1367086호(2019. 03. 21. 공고)
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 반도체 칠러장치에서 정전척으로 공급되는 소정 온도의 열매체를 간단한 구조의 밸브 모듈로 제공할 수 있고 정전척에 정확한 온도의 열매체를 공급할 수 있는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 일체로 제작되되, 일측면에 저온 열매체가 유입되는 저온 열매체 유입구와 고온 열매체가 유입되는 고온 열매체 유입구가 형성되고, 타측면에 저온 열매체가 유출되는 저온 열매체 유출구와 고온 열매체가 유출되는 고온 열매체 유출구가 형성되며, 저면에 저온의 열매체와 고온의 열매체가 섞여 일정 온도로 된 열매체가 유출되는 공급구가 형성되고, 내부에 저온의 열매체가 유입/유출되는 저온 열매체 유로, 고온의 열매체가 유입/유출되는 고온 열매체 유로, 저온의 열매체와 고온의 열매체가 각각 유입되고 섞여서 유출되는 연결유로가 구비되어 있으며, 제1 이방향 밸브, 제2 이방향 밸브 및 삼방향 밸브를 장착하기 위한 제1 설치홈, 제2 설치홈 및 제3 설치홈이 구비되어 있는 밸브바디; 상기 밸브바디의 제3 설치홈에 결합되되, 모터, 동력전달부 및 커넥터를 포함하여 구성되는 액츄에이터와, 상기 액츄에이터와 밸브바디 사이에 개재되는 보닛, 상기 보닛 내부에 구비되고 동력전달부에 의해 회전력이 전달되는 스템, 상기 보닛과 스템의 유격 사이로 유입되는 누액을 차단하는 스템 패킹, 및 상기 스템 패킹 상부에 구비되고 그 내부로 스템이 통과할 수 있도록 중공 구조로 형성되어 스템을 보닛 내부에 지지 고정하는 체결구를 포함하는 보닛 어셈블리와, 저온 열매체 유입유로와 제1 바이패스 유로 사이를 개폐시키는 삼방향 볼, 상기 삼방향 볼에 밀착되는 시트, 및 상기 시트를 내측에 지지하는 시트링을 포함하는 개폐부로 구성되는 삼방향 밸브; 상기 밸브바디의 제1 설치홈에 결합되되, 액츄에이터, 보닛 어셈블리, 및 이방향 볼을 포함하는 개폐부로 구성되는 제1 이방향 밸브; 및 상기 밸브바디의 제2 설치홈에 결합되되, 액츄에이터, 보닛 어셈블리, 및 이방향 볼을 포함하는 개폐부로 구성되는 제2 이방향 밸브;로 이루어진다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 상기 저온 열매체 유로는 저온 열매체 유입구와 제1 이방향 밸브 사이에 형성되는 저온 열매체 유입유로와, 저온 열매체 유출구와 제1 이방향 밸브 사이에 형성되는 제1 바이패스 유로로 이루어지고, 상기 고온 열매체 유로는 고온 열매체 유입구와 제2 이방향 밸브 사이에 형성되는 고온 열매체 유입유로와, 고온 열매체 유출구와 제2 이방향 밸브 사이에 형성되는 제2 바이패스 유로로 이루어진다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 상기 연결유로는 저온 열매체 유입유로 일측에서 삼방향 밸브에 연결되어 형성되는 제1 유입유로와, 고온 열매체 유입유로 일측에서 삼방향 밸브에 연결되어 형성되는 제2 유입유로와, 공급구와 삼방향 밸브 사이에 형성되는 공급유로로 이루어진다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 상기 시트링의 상면은 평면부와 상기 평면부로부터 돌출된 단차부로 구성되고, 상기 보닛 하부와 평면부 상에 설치되는 디스크 스프링을 더 구비한다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 상기 삼방향 밸브의 제1 유입유로와 제2 유입유로 상에 저온 열매체와 고온 열매체의 역류를 방지하는 체크밸브가 더 구비된다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 상기 밸브바디 내부의 저온 열매체 유로와 고온 열매체 유로의 사이에 소정 공간을 갖는 유입부 충진홈과 유출부 충진홈이 구비되고, 상기 유입부 충진홈과 유출부 충진홈에 단열재가 충진된다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은, 상기 유입부 충진홈과 유출부 충진홈의 외측은 단열커버에 의해 폐쇄되고, 상기 단열커버의 어느 하나에는 진공포트가 구비되며, 상기 유입부 충진홈 및 유출부 충진홈은 연결통로에 의해 연결된다.
본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에 의하면, 기존의 제1 3방향 스위칭 밸브, 제2 3방향 스위칭 밸브 및 혼합기를 하나의 밸브 모듈로 구현함으로써 장치가 단순해지고 이와 관련된 배관 및 전선배치도 단순해지며 설치 공간을 대폭 감소시킬 수 있게 된다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에 의하면, 삼방향 볼과 시트 사이의 밀봉성이 증대되어 정확한 유량의 고온 열매체와 저온 열매체가 유입되어 혼합되므로 정전척에 정확한 온도의 열매체를 공급할 수 있게 된다.
또한 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에 의하면, 고온 열매체 및 저온 열매체가 서로 영향을 주지 못하도록 하는 구성되어 있어 정전척에 공급되는 열매체의 온도를 보다 정밀하게 제어할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칠러장치용 밸브 모듈의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칠러장치용 밸브 모듈의 밸브바디의수평 단면도이다.
도 3은 도 1의 AA선에 따른 단면도이고, 설명의 편의상 삼방향 밸브의 액츄에이터 부분은 길이 방향의 단면을 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에서 삼방향 밸브 부분의 분해 단면도이다.
도 5는 도 3의 "O" 부분의 확대도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칠러장치용 밸브 모듈의 삼방향 밸브에서 체크밸브의 작동 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 1의 BB선에 따른 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 칠러장치용 밸브 모듈의 밸브바디의 수평 단면도(a)와 그 수평 단면도(a)의 CC선에 따른 단면도(b)이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈은 밸브바디(100)와, 상기 밸브바디(100)에 결합되는 삼방향 밸브(200), 제1 이방향 밸브(300) 및 제2 이방향 밸브(400)를 포함하여 이루어진다.
이하, 각 구성 요소별로 본 발명의 구체적인 내용을 설명한다.
상기 밸브바디(100)는 주물로 일체로 제작되되, 저온의 열매체가 유입/유출되는 저온 열매체 유로(110)와, 고온의 열매체가 유입/유출되는 고온 열매체 유로(120)와, 저온의 열매체와 고온의 열매체가 각각 유입되고 섞여서 유출되는 연결유로(130)를 각각 구비하며, 제1 이방향 밸브(300), 제2 이방향 밸브(400) 및 삼방향 밸브(200)를 장착하기 위한 설치홈들(102, 104, 106)이 구비되어 있다.
구체적으로, 상기 밸브바디(100)는 직육면체의 형상으로 이루어지되 일측면에 저온 열매체가 유입되는 저온 열매체 유입구(111)와 고온 열매체가 유입되는 고온 열매체 유입구(121)가 형성되고, 타측면에 저온 열매체가 유출되는 저온 열매체 유출구(113)와 고온 열매체가 유출되는 고온 열매체 유출구(123)가 형성된다.
또한, 상기 밸브바디(100)의 저면에는 저온의 열매체와 고온의 열매체가 섞여 일정 온도로 된 열매체가 유출되는 공급구(131)가 형성되어 있다.
또한, 상기 밸브바디(100)의 상면에는 제1 이방향 밸브(300)를 장착하기 위한 제1 설치홈(102), 제2 이방향 밸브(400)를 장착하기 위한 제2 설치홈(104) 및 삼방향 밸브(200)를 장착하기 위한 제3 설치홈(106)이 형성되어 있다.
상기 설치홈들(102, 104, 106)은 후술하는 보닛(221)의 하부 형상에 대응되도록 복수 단의 홈으로 이루어져 있다.
이와 같이 본 발명은 밸브바디(100)의 설치홈들(102, 104, 106)을 통해 제1 이방향 밸브(300), 제2 이방향 밸브(400) 및 삼방향 밸브(200)가 삽입 결합되어 있는바, 상기 설치홈들(102, 104, 106)의 상부에서 볼, 시트, 시트링 및 오링의 교체가 가능해지므로 부품 교체에 따른 장비의 수리가 매우 용이해진다.
상기 저온 열매체 유로(110)는 저온 열매체 유입구(111)와 제1 이방향 밸브(300) 사이에 형성되는 저온 열매체 유입유로(110a)와, 저온 열매체 유출구(113)와 제1 이방향 밸브(300) 사이에 형성되는 제1 바이패스 유로(110b)로 이루어지고, 상기 고온 열매체 유로(120)는 고온 열매체 유입구(121)와 제2 이방향 밸브(400) 사이에 형성되는 고온 열매체 유입유로(120a)와, 고온 열매체 유출구(123)와 제2 이방향 밸브(400) 사이에 형성되는 제2 바이패스 유로(120b)로 이루어진다.
상기 연결유로(130)는 저온 열매체 유입유로(110a) 일측에서 삼방향 밸브(200)에 연결되어 형성되는 제1 유입유로(130a)와, 고온 열매체 유입유로(120a) 일측에서 삼방향 밸브(200)에 연결되어 형성되는 제2 유입유로(130b)와, 공급구(131)와 삼방향 밸브(200) 사이에 형성되는 공급유로(130c)로 이루어진다.
상기 삼방향 밸브(200)는 밸브바디(100)의 제3 설치홈(106)에 결합되되 액츄에이터(210), 보닛 어셈블리(220) 및 개폐부(230)를 포함한다.
구체적으로, 상기 액츄에이터(210)는 모터(211), 동력전달부(212) 및 커넥터(213)를 포함하여 구성되고, 상기 동력전달부(212)는 복수의 기어조합으로 이루어져 모터(211)로부터 인가받은 회전력을 스템(222)에 전달하며, 상기 커넥터(213)는 외부에 마련된 컨트롤박스와의 통신 연결 및 외부 전원과의 연결을 위한 구성이다.
상기 보닛 어셈블리(220)는 액츄에이터(210)와 밸브바디(100) 사이에 개재되는 보닛(221), 상기 보닛(221) 내부에 구비되되 다단의 막대 형상으로 이루어지며 상부가 액츄에이터(210)의 기어조합 중 어느 하나에 결합되고 하부가 삼방향 볼(231)에 결합되는 스템(222), 중공 원통형으로서 테프론 재질이 사용되고 보닛(221)과 스템(222)의 유격 사이로 유입되는 누액을 차단하는 스템 패킹(223), 상기 스템 패킹(223) 상부에 구비되고 그 내부로 스템(222)이 통과할 수 있도록 중공 구조로 형성되어 스템(222)을 보닛(221) 내부에 지지 고정하는 체결구(224)를 포함하여 구성된다.
상기 체결구(224)는 보닛(221)의 내주면에 나사결합되며, 체결구(224)가 보닛(221) 내주면과 나사체결되면서 하부의 스템 패킹(223)을 가압하여 스템 패킹(223)이 제 기능을 발휘할 수 있게 된다.
상기 개폐부(230)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 저온 열매체 유입유로(110a)와 제1 바이패스 유로(110b) 사이를 개폐시키는 삼방향 볼(231), 상기 삼방향 볼(231)에 밀착되는 시트(232), 상기 시트(232)를 내측에 지지하는 시트링(233), 상기 시트링(233)과 밸브바디(100) 사이에 개재되는 오링(234)을 포함한다.
또한, 본 발명에서는 상기 시트링(233)을 가압하는 구조를 채택하는데, 이로 인해 삼방향 볼(231)과 시트(232) 사이의 밀폐 성능을 향상시킬 수 있게 된다.
구체적으로, 상기 시트링(233)의 상면은 평면부(233a)와 상기 평면부(233a)로부터 돌출된 단턱부(233b)로 구성되고, 보닛(221) 하부와 평면부(233a) 상에 설치되는 디스크 스프링(235)을 더 구비한다.
상기 디스크 스프링(235)은 도 5에 도시된 바와 같이, 외측이 밸브바디(100)의 제3 설치홈(106)의 복수 단 중에서 가장 안쪽 홈에 위치하고 내측이 시트링(233)의 평면부(233a) 상에 위치하되 단턱부(233b)에 걸리도록 설치한다.
그리고 보닛(221)이 밸브바디(100)에 결합될 때 보닛(221)에 의해 디스크 스프링(235)이 눌려지고 상기 디스크 스프링(235)의 탄성력으로 시트링(233)을 가압하게 되므로 시트링(233) 내측에 위치한 시트(232)가 삼방향 볼(231)에 더욱 밀착될 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 삼방향 볼(231)과 시트(232) 사이의 밀봉성이 더욱 향상되므로 정확한 유량의 고온 열매체와 저온 열매체가 유입되어 혼합되므로 정전척에 정확한 온도의 열매체를 공급할 수 있게 된다.
한편, 본 발명에서는 저온 열매체와 고온 열매체를 공급하는 펌프가 고장 등의 원인으로 작동하지 않는 경우 저온 열매체와 고온 열매체의 역류를 방지하기 위하여 상기 삼방향 밸브(200)의 제1 유입유로(130a)와 제2 유입유로(130b) 상에 체크밸브(500)가 더 구비될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 저온 열매체와 고온 열매체가 정상적으로 삼방향 밸브(200)에 유입되는 경우에는 체크밸브(500)가 개방된 상태이고, 도 3에 도시된 바와 같이 저온 열매체와 고온 열매체가 삼방향 밸브(200)에 유입되지 않는 경우에는 체크밸브(500)가 폐쇄된 상태가 된다.
한편, 소정 온도의 열매체를 얻기 위하여 상기 삼방향 밸브(200)는 삼방향 볼(231)을 조절하여 제1 유입유로(130a)로부터 유입되는 저온 열매체의 유량과 제2 유입유로(130b)로부터 유입되는 고온 열매체의 유량이 소정 비율이 있도록 한다.
이때, 저온 열매체 유입유로(110a)로 유입된 저온 열매체 중에서 상기 삼방향 밸브(200)로 공급된 것을 제외한 나머지 저온 열매체는 제1 이방향 밸브(300)를 거쳐 제1 바이패스 유로(110b)로 배출되고, 고온 열매체 유입유로(120a)로 유입된 고온 열매체 중에서 상기 삼방향 밸브(200)로 공급된 것을 제외한 나머지 고온 열매체는 제2 이방향 밸브(400)를 거쳐 제2 바이패스 유로(120b)로 배출된다.
그리고 이렇게 제1 바이패스 유로(110b)와 제2 바이패스 유로(120b)로 배출된 저온 열매체와 고온 열매체는 각각 저온 열매체 탱크와 고온 열매체 탱크로 회수되어 재사용된다.
상기 제1 이방향 밸브(300)는 밸브바디(100)의 제1 설치홈(102)에 결합되되, 도 7에 도시된 바와 같이 삼방향 밸브(200)와 동일한 구조 즉, 액츄에이터(310), 보닛 어셈블리(320) 및 개폐부(330)를 포함하되 이방향 볼(331)을 구비하고 있다.
이때, 상기 제1 이방향 밸브(300)는 저온 열매체 유입유로(110a)로부터 제1 바이패스 유로(110b)로 유동하는 저온 열매체의 유량을 제어하게 된다.
상기 제2 이방향 밸브(400)는 밸브바디(100)의 제2 설치홈(104)에 결합되되 제1 이방향 밸브(300)와 동일한 구조를 갖는다.
이때, 상기 제2 이방향 밸브(400)는 고온 열매체 유입유로(120a)로부터 제2 바이패스 유로(120b)로 유동하는 고온 열매체의 유량을 제어하게 된다.
이와 같이 본 발명은 기존의 복수의 3방향 스위칭 밸브와 혼합기를 하나의 밸브 모듈로 구현함으로써 장치가 단순해지고 이와 관련된 배관 및 전선배치도 단순해지며 설치 공간을 대폭 감소시킬 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 반도체 칠러장치용 밸브 모듈에는 고온 열매체와 저온 열매체가 각각 유입/유출되는바 고온 열매체 및 저온 열매체가 서로 영향을 줄 수 있게 되고, 이는 정전척으로 공급되는 열매체의 정밀한 온도 제어를 방해할 수 있다.
이에 본 발명은 고온 열매체 및 저온 열매체가 서로 영향을 주지 못하도록 하는 구성이 추가된다.
구체적으로, 도 8(a)에 도시된 바와 같이 밸브바디(100) 내부의 저온 열매체 유로(110)와 고온 열매체 유로(120)의 사이에 소정 공간을 갖는 유입부 충진홈(610)과 유출부 충진홈(620)을 구성하고, 상기 유입부 충진홈(610)과 유출부 충진홈(620)에 단열재(s)가 충진된다.
이와 같이 단열재(s)가 충진된 유입부 충진홈(610)과 유출부 충진홈(620)의 외측은 단열커버(630)에 의해 폐쇄된다.
또한, 상기 단열재(s) 충진 작업시 유입부 충진홈(610) 및 유출부 충진홈(620)에 공기가 들어가 있으면 단열 성능에 영향을 미칠 수 있으므로 상기 유입부 충진홈(610)과 유출부 충진홈(620)의 내부를 진공상태로 구성하는 것이 바람직하다.
이에 본 발명은 유입부 충진홈(610) 및 유출부 충진홈(620)를 도 8(a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 연결통로(640)에 의해 연결하고 단열커버(630)의 어느 하나에 진공포트(630a)를 구비함으로써 유입부 충진홈(610) 및 유출부 충진홈(620) 내부에 단열재(s)를 충진하고 단열커버(630)로 폐쇄한 후 진공포트(630a)를 통해 유입부 충진홈(610) 및 유출부 충진홈(620) 내부를 진공상태로 만들며 마지막으로 상기 진공포트(630a)를 밀봉시킨다.
여기서, 유입부 충진홈(610)과 유출부 충진홈(620)의 내부를 진공상태로 만들기 위해 진공포트(630a)에 연결된 진공설비는 일반적인 수단이 사용되므로 자세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 밸브바디(100) 외부는 단열재킷(650)으로 감싸 밸브모듈과 외부를 단열시키는 것이 바람직하다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능하다.
100: 밸브바디
102: 제1 설치홈 104: 제2 설치홈 106: 제3 설치홈
110: 저온 열매체 유로 111: 저온 열매체 유입구
113: 저온 열매체 유출구 120: 고온 열매체 유로
121: 고온 열매체 유입구 123: 고온 열매체 유출구
130: 연결유로 131: 공급구
200: 삼방향 밸브
210: 액츄에이터 220: 보닛 어셈블리 230: 개폐부
300: 제1 이방향 밸브
310: 액츄에이터 320: 보닛 어셈블리 330: 개폐부
400: 제2 이방향 밸브
500: 체크밸브
610: 유입부 충진홈 620: 유출부 충진홈 630: 단열커버
640: 연결통로 650: 단열재킷

Claims (7)

  1. 일체로 제작되되, 일측면에 저온 열매체가 유입되는 저온 열매체 유입구와 고온 열매체가 유입되는 고온 열매체 유입구가 형성되고, 타측면에 저온 열매체가 유출되는 저온 열매체 유출구와 고온 열매체가 유출되는 고온 열매체 유출구가 형성되며, 저면에 저온의 열매체와 고온의 열매체가 섞여 일정 온도로 된 열매체가 유출되는 공급구가 형성되고, 내부에 저온의 열매체가 유입/유출되는 저온 열매체 유로, 고온의 열매체가 유입/유출되는 고온 열매체 유로, 저온의 열매체와 고온의 열매체가 각각 유입되고 섞여서 유출되는 연결유로가 구비되어 있으며, 제1 이방향 밸브, 제2 이방향 밸브 및 삼방향 밸브를 장착하기 위한 제1 설치홈, 제2 설치홈 및 제3 설치홈이 구비되어 있는 밸브바디;
    상기 밸브바디의 제3 설치홈에 결합되되, 모터, 동력전달부 및 커넥터를 포함하여 구성되는 액츄에이터와, 상기 액츄에이터와 밸브바디 사이에 개재되는 보닛, 상기 보닛 내부에 구비되고 동력전달부에 의해 회전력이 전달되는 스템, 상기 보닛과 스템의 유격 사이로 유입되는 누액을 차단하는 스템 패킹, 및 상기 스템 패킹 상부에 구비되고 그 내부로 스템이 통과할 수 있도록 중공 구조로 형성되어 스템을 보닛 내부에 지지 고정하는 체결구를 포함하는 보닛 어셈블리와, 저온 열매체 유입유로와 제1 바이패스 유로 사이를 개폐시키는 삼방향 볼, 상기 삼방향 볼에 밀착되는 시트, 및 상기 시트를 내측에 지지하는 시트링을 포함하는 개폐부로 구성되는 삼방향 밸브;
    상기 밸브바디의 제1 설치홈에 결합되되, 액츄에이터, 보닛 어셈블리, 및 이방향 볼을 포함하는 개폐부로 구성되는 제1 이방향 밸브; 및
    상기 밸브바디의 제2 설치홈에 결합되되, 액츄에이터, 보닛 어셈블리, 및 이방향 볼을 포함하는 개폐부로 구성되는 제2 이방향 밸브;
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 저온 열매체 유로는 저온 열매체 유입구와 제1 이방향 밸브 사이에 형성되는 저온 열매체 유입유로와, 저온 열매체 유출구와 제1 이방향 밸브 사이에 형성되는 제1 바이패스 유로로 이루어지고,
    상기 고온 열매체 유로는 고온 열매체 유입구와 제2 이방향 밸브 사이에 형성되는 고온 열매체 유입유로와, 고온 열매체 유출구와 제2 이방향 밸브 사이에 형성되는 제2 바이패스 유로로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연결유로는 저온 열매체 유입유로 일측에서 삼방향 밸브에 연결되어 형성되는 제1 유입유로와, 고온 열매체 유입유로 일측에서 삼방향 밸브에 연결되어 형성되는 제2 유입유로와, 공급구와 삼방향 밸브 사이에 형성되는 공급유로로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 시트링의 상면은 평면부와 상기 평면부로부터 돌출된 단차부로 구성되고, 상기 보닛 하부와 평면부 상에 설치되는 디스크 스프링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 삼방향 밸브의 제1 유입유로와 제2 유입유로 상에 저온 열매체와 고온 열매체의 역류를 방지하는 체크밸브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 밸브바디 내부의 저온 열매체 유로와 고온 열매체 유로의 사이에 소정 공간을 갖는 유입부 충진홈과 유출부 충진홈이 구비되고, 상기 유입부 충진홈과 유출부 충진홈에 단열재가 충진되는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 유입부 충진홈과 유출부 충진홈의 외측은 단열커버에 의해 폐쇄되고, 상기 단열커버의 어느 하나에는 진공포트가 구비되며, 상기 유입부 충진홈 및 유출부 충진홈은 연결통로에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러장치용 밸브 모듈.
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