KR102527898B1 - 온도 제어용 밸브 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템은, 유체가 제 1 면을 통해 공급되고 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 배출되는 몸체; 몸체의 제 1 면에 위치되고, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체가 공급되고 배출되는 고온 유도부; 몸체의 제 1 면에서 고온 유도부로부터 이격되어 위치되고, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체가 공급되고 배출되는 저온 유도부; 및 몸체의 상면에 위치되고, 몸체에 공급된 유체의 온도에 따라 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 제어하는 제어부를 포함하되, 제어부는 몸체에 공급된 유체를 고온 유체 및 저온 유체와 혼합시켜 설정 온도로 몸체로부터 배출시키는 것을 특징으로 할 수 있다.

Description

온도 제어용 밸브 시스템{Valve system for controlling temperature}

본 발명은 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체 공정에 이용되는 유체 상태의 화학물질의 온도를 제어하여 설비에 공급할 수 있도록 하는 온도 제어용 밸브 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자, 반도체 칩 등은 실리콘 등으로 형성되는 웨이퍼를 반도체 제조설비를 이용하여 처리함으로써 제조된다. 웨이퍼는 포토 리소그래피, 화학 또는 물리적 증착 및 플라즈마 에칭 등과 같은 반도체 공정을 거쳐 처리됨으로써, 반도체 소자, 반도체 칩 등으로 제조된다.

반도체 소자, 반도체 칩 등의 품질은 웨이퍼의 품질 또는 웨이퍼가 처리되는 방식 등과 같은 다양한 변수에 의해 영향을 받는다. 반도체 소자, 반도체 칩 등의 품질에서 중요한 변수들 중 하나는 웨이퍼의 표면 온도이다. 웨이퍼의 표면 온도가 상이할 경우, 웨이퍼 표면의 식각률 등은 상이하게 나타난다. 이로 인해, 웨이퍼의 표면 온도가 균일하게 제어됨으로써, 고품질의 반도체 소자, 반도체 칩 등이 제조되고 있다.

웨이퍼의 표면 온도는 웨이퍼가 장착되는 척의 온도를 제어함으로써 제어된다. 칠러(chiller), 열교환기 등에 의해 일정한 온도를 갖는 유체(예를 들어, '브라인'(brine)이라 하기도 한다)는 웨이퍼의 척에 유입되어 웨이퍼의 척의 온도를 제어하는 데에 이용된다.

반도체 공정 설비에서 냉매 경로와 유체 경로가 부분적으로 중첩되어, 유체는 냉매와 열교환되어 일정한 온도로 제어되어 웨이퍼의 척에 유입될 수 있다. 이러한 열교환 방식은 유체의 온도를 신속하게 제어하는 데에 있어 어려움을 가져, 웨이퍼의 척의 온도를 일정하게 유지하도록 신속하게 제어하기 어려운 실정이다.

본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 제어용 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 칠러로부터 에칭 장비로 공급되는 유체의 온도를 신속하고 정확하게 제어할 수 있도록 하는 온도 제어용 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 제어용 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 유체를 신속하게 설정 온도로 제어하여 배출할 수 있도록 하는 온도 제어용 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 제어용 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 용이하게 유지보수될 수 있는 온도 제어용 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 제어용 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 기술적 사상에 의한 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템은, 유체가 제 1 면을 통해 공급되고 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 배출되는 몸체; 몸체의 제 1 면에 위치되고, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체가 공급되고 배출되는 고온 유도부; 몸체의 제 1 면에서 고온 유도부로부터 이격되어 위치되고, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체가 공급되고 배출되는 저온 유도부; 및 몸체의 상면에 위치되고, 몸체에 공급된 유체의 온도에 따라 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 제어하는 제어부를 포함하되, 제어부는 몸체에 공급된 유체를 고온 유체 및 저온 유체와 혼합시켜 설정 온도로 몸체로부터 배출시키는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 몸체의 내부에서 폐쇄된 형태의 유입 공간이 형성되고, 상호 간에 이격되어 그 사이에 유입 공간이 위치되도록 각각 폐쇄된 형태의 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간이 형성되며, 몸체는, 몸체의 제 1 면과 직교하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되고, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체의 내부에 위치되는 파이프 형태의 유입관; 몸체의 제 1 면의 반대편인 제 2 면과 직교하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되고, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체의 내부에 위치되는 파이프 형태의 공급관; 몸체의 내부에 위치되어 유입관과 유입 공간을 연결하는 파이프 형태의 연결 유입관; 각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 내부에서 유입 공간과 제 1 보조 공간 사이 또는 유입 공간과 제 2 보조 공간 사이에 위치되는 한 쌍의 유입 유도관; 각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 내부에서 유입관과 제 1 보조 공간을 연결하거나 유입관과 제 2 보조 공간을 연결하고, 측면에 유입 유도관이 연결되는 한 쌍의 연결 유도관; 각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 내부에서 제 1 보조 공간 또는 제 2 보조 공간에 연결되는 한 쌍의 배출 유도관; 및 몸체의 내부에서 유입 공간과 공급관 사이에 위치되고, 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간을 공급관에 연결하는 공급 유도관을 포함하되, 고온 유체가 고온 유도부를 통해 제 1 보조 공간에 연결되는 유입 유도관에 유입되고, 저온 유체가 저온 유도부를 통해 제 2 보조 공간에 연결되는 유입 유도관에 유입되며, 유체가 유입관에 유입되고 유입 유도관 및 유입 공간을 통과한 후에 공급 유도관에 유입될 때, 제어부는 공급 유도관의 유체 온도에 따라 제 1 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 고온 유체의 양 또는 제 2 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 저온 유체의 양을 제어하여 유체를 설정 온도로 공급관을 통해 배출시킬 수 있다.

또한, 고온 유도부는, 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 제 1 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 고온 유입관; 및 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 고온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 배출 유도관에 연결되는 고온 배출관을 포함하되, 제어부는 고온 유입관, 유입 유도관 및 연결 유도관을 통해 제 1 보조 공간에 유도된 이후에, 공급 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양 또는 고온 배출관에 연결된 배출 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양을 제어할 수 있다.

또한, 저온 유도부는, 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 제 2 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 저온 유입관; 및 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 저온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 배출 유도관에 연결되는 저온 배출관을 포함하되, 제어부는 저온 유입관, 유입 유도관 및 연결 유도관을 통해 제 2 보조 공간에 유도된 이후에, 공급 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양 또는 저온 배출관에 연결된 배출 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양을 제어할 수 있다.

또한, 제어부는, 몸체의 상면에 설치되어 공급 유도관에 대응하도록 위치되고, 공급 유도관에서 고온 유체 및 저온 유체와 혼합된 유체의 온도를 측정하는 온도 센서; 제 1 보조 공간에 대응하도록 몸체에 위치되고, 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관, 고온 배출관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하는 고온 제어 밸브; 및 제 2 보조 공간에 대응하도록 몸체에 위치되고, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관, 저온 배출관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하는 저온 제어 밸브를 포함하되, 고온 제어 밸브는 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 고온 배출관을 개방하고 제 1 보조 공간 배출관을 폐쇄하며, 저온 제어 밸브는 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 저온 배출관을 개방하고 제 2 보조 공간 배출관을 폐쇄하며, 온도 센서가 설정 온도보다 낮은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 고온 제어 밸브는 고온 배출관을 점점 폐쇄하면서 제 1 보조 공간 배출관을 점점 개방하고, 온도 센서가 설정 온도보다 높은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 저온 제어 밸브는 저온 배출관을 점점 폐쇄하면서 제 2 보조 공간 배출관을 점점 개방할 수 있다.

또한, 고온 제어 밸브는, 일부가 제 1 보조 공간에 삽입되어 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 개방하고 고온 배출관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하며, 나머지 일부가 모터 형태로 이루어져 일부에 연결되는 고온 밸브 몸체; 및 고온 밸브 몸체에 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 고온 밸브 몸체를 작동시키는 고온 구동 몸체를 포함하고, 저온 제어 밸브는, 일부가 제 2 보조 공간에 삽입되어 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 개방하고 저온 배출관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하며, 나머지 일부가 모터 형태로 이루어져 일부에 연결되는 저온 밸브 몸체; 및 저온 밸브 몸체에 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 저온 밸브 몸체를 작동시키는 저온 구동 몸체를 포함할 수 있다.

또한, 제어부는, 공급 유도관에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 공급 유도관에서 유체의 유량을 측정하고 출력하는 유량 센서를 더 포함하되, 공급관은 에칭 장비에 연결되고, 유량 센서에 측정된 유체의 유량에 따라 에칭 장비에 연결된 펌프는 제어될 수 있다.

또한, 제어부는, 유입 공간에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 유입 공간에서 유체의 압력을 측정하고, 유체의 압력값을 출력하는 압력 센서를 더 포함하되, 압력 센서는 유입 공간에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때 알람음 또는 알람 신호를 생성할 수 있다.

또한, 제어부는 관리자 단말기와 네트워크를 통해 연결되고, 압력 센서가 유입 공간에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때 알림 정보를 생성하고 관리자 단말기로 전송하며, 압력 센서는 알림 정보를 디지털 신호로 변환할 수 있으며, 압력 센서는 상기 변환된 디지털 신호의 전체 디지털 신호의 순서 번호를 고려한 회전 시작 번호를 랜덤으로 생성하고, 상기 회전 시작 번호보다 순서 번호가 작은 디지털 신호를 마지막 디지털 신호 뒤에 위치하도록 재배치시키는 회전 키크리에이팅 모듈; 회전된 전체 디지털 신호를 상기 관리자 단말기로 전송하는 제 1 회전 디스패칭 모듈; 및 상기 회전 시작 번호를 상기 관리자 단말기로 전송하는 제 2 회전 디스패칭 모듈을 포함하고, 상기 관리자 단말기는, 상기 관리자 단말기에 전송된 회전된 전체 디지털 신호 및 상기 회전 시작 번호를 전송받고, 회전된 전체 디지털 신호를 상기 회전 시작 번호에 따라 역회전하여 역회전된 디지털 신호를 생성하는 회전 리어셈블링 모듈을 포함할 수 있다.

또한, 제어부는 관리자 단말기와 네트워크를 통해 연결되고, 압력 센서가 유입 공간에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때 알림 정보를 생성하고 관리자 단말기로 전송하며, 압력 센서는 알림 정보를 디지털 신호로 변환하며, 압력 센서는, 상기 변환된 디지털 신호의 이진값에 대하여 순서대로 순서 번호를 부여하되, 자연수가 1부터 1씩 증가하도록 부여하고, 상기 순서 번호들 중 어느 하나의 순서 번호를 회전 시작 번호로 결정하되, 상기 회전 시작 번호는 랜덤으로 생성되며, 상기 회전 시작 번호보다 순서 번호가 작은 디지털 신호의 이진값들을 디지털 신호의 마지막 이진값 뒤에 위치하도록 재배치시키는 회전 키크리에이팅 모듈; 회전된 전체 디지털 신호를 상기 관리자 단말기에 전송하는 제 1 회전 디스패칭 모듈; 및 상기 회전 시작 번호를 상기 관리자 단말기에 전송하는 제 2 회전 디스패칭 모듈을 포함하고, 상기 관리자 단말기는, 상기 관리자 단말기에 전송된 회전된 전체 디지털 신호 및 상기 회전 시작 번호를 전송받고, 회전된 전체 디지털 신호를 상기 회전 시작 번호에 따라 역회전하여 역회전된 디지털 신호를 생성하는 회전 리어셈블링 모듈을 포함할 수 있다.

또한, 제어부는 관리자 단말기와 네트워크를 통해 연결되며, 관리자 단말기는 제어 정보를 입력받아 제어부에 전송하고, 제어부는 제어 정보에 따라 제어되며, 관리자 단말기는, 관리자 단말기의 일면에 위치되고 제어 정보에 대한 제어 항목 및 제어 항목에 대응되는 값을 입력할 수 있는 입력 영역을 출력할 수 있는 디스플레이 형태의 표시부; 및 관리자 단말기의 일면에서 표시부로부터 이격되고 관리자 단말기의 제 1 종단 부분에 위치되는 카메라 또는 센서 형태의 감지부를 포함하고, 온도 제어용 밸브 시스템은, 내부에는 관리자 단말기에 대응되는 형상을 갖고 개방된 양 종단면을 가지면서 관리자 단말기를 수용할 수 있는 수용 공간이 형성되고, 상면에는 수용 공간에 연결되는 표시 개구가 형성되며, 수용 공간의 바닥면에는 관리자 단말기에 대응하도록 오목하게 장착 공간이 형성되고, 양측면의 각각에 일 방향을 따라 상호 간에 이격되도록 위치되는 복수 개의 이동 가이드를 포함하는 입력 가이드 베이스; 및 판 형상으로 이루어지되, 확인 개구 및 입력 개구가 형성되며, 양측에 일 방향을 따라 위치되고 래크 기어의 형태로 이루어지며 이동 가이드와 맞물릴 수 있는 한 쌍의 이동 몸체를 포함하는 입력 가이드 몸체를 더 포함하며, 이동 가이드는, 입력 가이드 베이스의 측면에 위치되는 모터 형태의 구동체; 및 수용 공간에 위치되어 구동체에 연결되고 구동체에 의해 회전될 수 있으며 이동 몸체와 맞물릴 수 있는 피니언 기어 형태의 회전체를 포함하고, 관리자 단말기는 수용 공간에 수용되고 장착 공간에 삽입되어 고정되며, 표시부 및 감지부는 표시 개구에 대응하도록 위치되고, 입력 가이드 몸체가 수용 공간에 삽입되어 수용되어, 관리자 단말기의 상측에 위치되고, 이동 몸체와 이동 가이드의 회전체는 맞물리며, 이동 가이드의 구동체가 회전체를 회전시킬 때, 이동 몸체는 이동되어 입력 가이드 몸체는 수용 공간에서 이동하고, 입력 가이드 몸체의 하면의 제 1 종단 부분에는 식별자가 형성되고, 입력 가이드 몸체가 표시 개구에 대응하도록 위치될 때, 식별자는 감지부에 대응하도록 위치되고 감지부에 의해 감지되며, 표시부는 식별자에 대응되는 복수 개의 제어 항목들 및 제어 항목들의 각각에 대응되는 입력 영역을 출력하고, 입력 가이드 몸체의 확인 개구 및 입력 개구는 각각 표시부의 제 1 종단 부분에 출력된 하나의 제어 항목 및 하나의 제어 항목에 대응되는 입력 영역에 대응하도록 위치되며, 관리자가 입력 개구를 통해 표시부에 출력된 입력 영역에 접촉될 때, 표시부는 접촉된 입력 영역에 대응하도록 선택 표시를 출력하며, 관리자 단말기는 작동 신호를 생성하여 입력 가이드 베이스에 전송하고, 구동체는 회전체를 회전시키고, 이동 몸체는 표시부의 제 1 종단 부분의 반대편인 제 2 종단 부분을 향하도록 이동되고, 확인 개구 및 입력 개구는 표시부에 출력된 다른 제어 항목 및 다른 제어 항목에 대응되는 입력 영역에 대응하도록 위치되고, 입력 가이드 몸체의 일부는 수용 공간으로부터 돌출되도록 위치될 수 있다.

본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 온도 제어용 밸브 시스템은 하기와 같은 효과를 가진다.

(1) 칠러로부터 에칭 장비로 공급되는 유체의 온도가 신속하고 정확하게 제어될 수 있다.

(2) 유체가 신속하게 설정 온도로 제어되어 배출될 수 있다.

(3) 유지보수가 용이하게 이루어질 수 있다.

다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템이 달성할 수 있는 효과는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템을 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템에서 몸체의 내부를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템에 연결되는 관리자 단말기에 적용되는 입력 가이드 베이스 및 입력 가이드 몸체를 분리하여 도시하는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템에 연결되는 관리자 단말기에 입력 가이드 베이스 및 입력 가이드 몸체를 적용한 모습을 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템에 연결되는 관리자 단말기에 적용된 입력 가이드 베이스 및 입력 가이드 몸체의 작동 모습을 도시하는 도면들이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 이를 상세한 설명을 통해 상세히 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명은 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제 1, 제 2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.

또한, 본 명세서에서, 일 구성요소가 다른 구성요소와 "연결된다" 거나 "접속된다" 등으로 언급된 때에는, 상기 일 구성요소가 상기 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 직접 접속될 수도 있지만, 특별히 반대되는 기재가 존재하지 않는 이상, 중간에 또 다른 구성요소를 매개하여 연결되거나 또는 접속될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

또한, 본 명세서에서 '~부'로 표현되는 구성요소는 2개 이상의 구성요소가 하나의 구성요소로 합쳐지거나 또는 하나의 구성요소가 보다 세분화된 기능별로 2개 이상으로 분화될 수도 있다. 또한, 이하에서 설명할 구성요소 각각은 자신이 담당하는 주기능 이외에도 다른 구성요소가 담당하는 기능 중 일부 또는 전부의 기능을 추가적으로 수행할 수도 있으며, 구성요소 각각이 담당하는 주기능 중 일부 기능이 다른 구성요소에 의해 전담되어 수행될 수도 있음은 물론이다.

이하, 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들을 차례로 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)을 도시하는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)을 도시하는 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)에서 몸체(101)의 내부를 도시하는 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)은 몸체(101), 고온 유도부(102), 저온 유도부(103) 및 제어부(104)를 포함하고, 반도체 설비의 칠러(chiller)(미도시 됨)로부터 유체를 공급받아 에칭 장비(미도시 됨), 특히 웨이퍼의 척에 공급할 수 있다. 여기서, 유체는 에칭 장비를 냉각시키는 데에 이용될 수 있는 액체로서, 에칭 장비에 공급된 이후에 다시 칠러로 회수될 수 있고, 예를 들어, -50℃ 내지 128℃에서 액체 상태일 수 있는 3M사의 FC-3283 등일 수 있다.

몸체(101)는 유체를 칠러로부터 에칭 장비에 공급될 수 있도록 하는 유동 경로를 형성할 수 있다. 구체적으로 후술될 고온 유도부(102), 저온 유도부(103) 및 제어부(104)는 몸체(101)에 설치될 수 있다. 유체는 몸체(101)의 제 1 면을 통해 몸체(101)에 유입될 수 있고, 몸체(101)의 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 몸체(101)로부터 배출될 수 있다.

상기와 같은 몸체(101)는 직육면체 형상으로 이루어질 수 있고, 본 실시예에서는 길이 및 폭에 비하여 현저하게 작은 높이를 가질 수 있다. 이러한 몸체(101)의 내부에는 유입 공간(110) 및 한 쌍의 보조 공간들(120, 130)이 형성될 수 있다.

유입 공간(110)은 폐쇄된 형태로 이루어지되, 몸체(101)의 내부 중앙에 위치될 수 있다.

보조 공간들(120, 130)은 각각 폐쇄된 형태로 이루어지되, 몸체(101)의 내부에 위치되고, 상호 간에 이격되면서 그 사이에 유입 공간(110)이 위치될 수 있다. 유입 공간(110)과 보조 공간들(120, 130)은 몸체(101)의 내부에서 동일 직선 상에 위치될 수 있다. 여기서, 한 쌍의 보조 공간들(120, 130) 중에서 유입 공간(110)의 좌측에 위치된 보조 공간(120)은 제 1 보조 공간(120)이라 하고, 유입 공간(110)의 우측에 위치된 보조 공간(130)은 제 2 보조 공간(130)이라 한다(도 3 참조).

또한, 몸체(101)는 유입관(111), 공급관(112), 연결 유입관(113), 유입 유도관(114), 연결 유도관(115), 배출 유도관(116) 및 공급 유도관(117)을 포함할 수 있다.

유입관(111)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체(101)의 제 1 면과 직교하도록 위치될 수 있다. 여기서, 유입관(111)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 외부에 위치될 수 있고, 유입관(111)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체(101)의 내부에 위치될 수 있다.

유입관(111), 특히 유입관(111)의 제 1 종단면은 반도체 설비의 칠러에 연결되고, 칠러로부터 유체를 공급받을 수 있다.

공급관(112)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체(101)의 제 1 면의 반대편인 제 2 면과 직교하도록 위치될 수 있다. 여기서, 공급관(112)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 외부에 위치될 수 있고, 공급관(112)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체(101)의 내부에 위치될 수 있다.

공급관(112)은 반도체 설비의 에칭 장비에 연결될 수 있고, 유체를 배출하여 에칭 장비로 공급할 수 있다.

연결 유입관(113)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체(101)의 내부에서 유입 공간(110)과 유입관(111)을 연결하도록 위치될 수 있다. 여기서, 연결 유입관(113)의 제 1 종단면은 유입관(111)의 제 2 종단면에 연결될 수 있고, 연결 유입관(113)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 유입 공간(110)에 연결될 수 있다.

유입 유도관(114)은 한 쌍으로 이루어지고, 연결 유입관(113)과 평행하고 몸체(101)의 제 1 면에 인접하도록 위치될 수 있다. 유입 유도관(114)들은 몸체(101)의 내부에 위치되고, 각각 파이프의 형태로 이루어지고, 상호 간에 이격되어 각각 유입 공간(110)과 제 1 보조 공간(120) 사이 및 유입 공간(110)과 제 2 보조 공간(130) 사이에 위치될 수 있다. 여기서, 유입 유도관(114)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 제 1 면에 인접하도록 위치될 수 있다.

연결 유도관(115)은 한 쌍으로 이루어지고, 각각 구부러진 파이프의 형태로 이루어져 제 1 보조 공간(120)과 유입관(111)을 연결하고 제 2 보조 공간(130)과 유입관(111)을 연결할 수 있다. 여기서, 연결 유도관(115)은 몸체(101)의 내부에 위치되며, 연결 유도관(115)의 제 1 종단면은 제 1 보조 공간(120) 또는 제 2 보조 공간(130)에 연결되고, 연결 유도관(115)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 유입관(111)의 측면에 연결될 수 있다.

또한, 연결 유도관(115)에는 유입 유도관(114)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면에 연결될 수 있다. 여기서, 유입 유도관(114)은 연결 유도관(115)의 측면에 연결되어, 연결 유도관(115)과 직교하도록 위치될 수 있다.

배출 유도관(116)은 한 쌍으로 이루어지되, 각각 파이프의 형태로 이루어지고 유입 유도관(114)과 평행하도록 위치되고 제 1 보조 공간(120) 및 제 2 보조 공간(130)에 연결될 수 있다. 여기서, 배출 유도관(116)은 몸체(101)의 내부에 위치되되, 배출 유도관(116)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 제 1 면에 인접하도록 위치되고, 배출 유도관(116)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 제 1 보조 공간(120) 또는 제 2 보조 공간(130)에 연결될 수 있다.

공급 유도관(117)은 유입 공간(110)과 공급관(112) 사이의 몸체(101)의 내부에서 유입관(111)과 교차하는 방향을 따라 위치될 수 있다. 여기서, 공급 유도관(117)은 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130)을 따르는 방향으로 위치될 수 있다. 공급관(112)은 공급 유도관(117)을 통해 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130)에 연결될 수 있고, 유입 공간(110), 제 1 보조 공간(120) 및 제 2 보조 공간(130)은 각각 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통해 공급 유도관(117)에 연결될 수 있고, 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)은 상호 간에 이격되어 평행하도록 위치될 수 있다.

또한, 공급 유도관(117)은 제 1 공급 유도관(117a), 제 2 공급 유도관(117b) 및 유도 연결관(117c)을 포함할 수 있다.

제 1 공급 유도관(117a)은 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130) 근처에서 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130)을 따르는 방향으로 위치될 수 있고, 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)에 연결될 수 있다. 제 1 공급 유도관(117a)의 양종단면은 폐쇄되고, 제 1 공급 유도관(117a)은 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)에 연결될 수 있다.

제 2 공급 유도관(117b)은 제 1 공급 유도관(117a)과 평행하도록 위치되고 공급관(112)에 연결될 수 있다. 여기서, 제 2 공급 유도관(117b)의 제 1 종단면은 공급관(112)에 연결될 수 있고, 제 2 공급 유도관(117b)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 폐쇄될 수 있다.

유도 연결관(117c)은 제 1 공급 유도관(117a)과 제 2 공급 유도관(117b) 사이에서 공급관(112)으로부터 이격되도록 위치되고 제 1 공급 유도관(117a)과 제 2 공급 유도관(117b)을 연결할 수 있다. 여기서, 유도 연결관(117c)은 제 2 공급 유도관(117b)의 제 2 종단면 근처에 위치될 수 있다.

고온 유도부(102)는 몸체(101)의 제 1 면에 위치되며, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체를 공급받고, 고온 유체의 일부를 몸체(101)에 유입된 유체와 혼합시킬 수 있고 고온 유체의 나머지 일부를 배출시킬 수 있다. 여기서, 고온 유도부(102)는 제 1 보조 공간(120)에 대응하도록 위치될 수 있다. 고온 유체는 구체적으로 후술될 제어부(104)에 의해 몸체(101)에 유입된 유체와 혼합되는 양 및 고온 유도부(102)로부터 배출되는 양이 제어될 수 있다.

또한, 고온 유도부(102)는 고온 유입관(121) 및 고온 배출관(123)을 포함할 수 있다.

고온 유입관(121)은 몸체(101)의 제 1 면에서 제 1 보조 공간(120)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 고온 유입관(121)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 외부에 위치될 수 있고, 고온 유입관(121)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체(101)의 내부에 위치되고 유입 유도관(114)에 연결되어 제 1 보조 공간(120)에 연결될 수 있다.

고온 배출관(123)은 몸체(101)의 제 1 면에 위치될 수 있다. 여기서, 고온 배출관(123)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 외부에서 고온 유입관(121)으로부터 이격되도록 위치될 수 있고, 고온 배출관(123)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체(101)의 내부에 위치되어, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 배출 유도관(116)에 연결될 수 있다.

고온 유입관(121)의 제 1 종단면 및 고온 배출관(123)의 제 1 종단면은 고온 유체를 위한 저장 장치에 연결될 수 있다. 고온 유체는 고온 유입관(121)에 유입되어 유입 유도관(114)으로 유도되고, 연결 유도관(115)을 통해 유입관(111) 및 제 1 보조 공간(120)으로 공급될 수 있다.

유입관(111)에서 고온 유체는 유입관(111)에 유입된 유체와 혼합되어 유입 공간(110)으로 유도될 수 있다. 여기서, 유체는 고온 유체로 인해 상승된 온도를 가질 수 있다. 또한, 제 1 보조 공간(120)에서 고온 유체는 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 통해 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)으로 유도되거나, 고온 배출관(123)으로 유도될 수 있다(도 3의 좌측 실선 화살표 참조). 고온 유체가 제 1 공급 유도관(117a)으로 유도된 경우, 고온 유체는 유입 공간(110)을 통과한 유체와 다시금 혼합될 수 있다(도 3의 좌측 점선 화살표 참조). 또한, 고온 유체가 고온 배출관(123)으로 유도된 경우, 고온 유체는 고온 유체를 위한 저장 장치로 배출되어 다시 고온 유입관(121)으로 유입될 수 있다.

저온 유도부(103)는 몸체(101)의 제 1 면에서 고온 유도부(102)로부터 이격되어 위치되며, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체를 공급받고, 저온 유체의 일부를 몸체(101)에 유입된 유체와 혼합시킬 수 있고 저온 유체의 나머지 일부를 배출시킬 수 있다. 여기서, 저온 유도부(103)는 제 2 보조 공간(130)에 대응하도록 위치될 수 있다. 저온 유체는 구체적으로 후술될 제어부(104)에 의해 몸체(101)에 유입된 유체와 혼합된 양 및 저온 유도부(103)로부터 배출되는 양이 제어될 수 있다.

또한, 저온 유도부(103)는 저온 유입관(131) 및 저온 배출관(133)을 포함할 수 있다.

저온 유입관(131)은 몸체(101)의 제 1 면에 제 2 보조 공간(130)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 저온 유입관(131)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 외부에 위치될 수 있고, 저온 유입관(131)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체(101)의 내부에 위치되고 유입 유도관(114)에 연결되어 제 2 보조 공간(120)에 연결될 수 있다.

저온 배출관(133)은 몸체(101)의 제 1 면에 위치될 수 있다. 여기서, 저온 배출관(133)의 제 1 종단면은 몸체(101)의 외부에서 저온 유입관(131)과 이격되도록 위치될 수 있고, 저온 배출관(133)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체(101)의 내부에 위치되어, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 배출 유도관(116)에 연결될 수 있다.

저온 유입관(131)의 제 1 종단면 및 저온 배출관(133)의 제 1 종단면은 저온 유체를 위한 저장 장치에 연결될 수 있다. 저온 유체는 저온 유입관(131)에 유입되어 유입 유도관(114)으로 유도되고, 연결 유도관(115)을 통해 유입관(111) 및 제 2 보조 공간(130)으로 공급될 수 있다.

유입관(111)에서 저온 유체는 유입관(121)에 유입된 유체와 혼합되어 유입 공간(110)으로 유도될 수 있다. 여기서, 유체는 저온 유체로 인해 하강된 온도를 가질 수 있다. 또한, 제 2 보조 공간(130)에서 저온 유체는 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통해 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)으로 유도되거나, 저온 배출관(133)으로 유도될 수 있다(도 3의 우측 실선 화살표 참조). 저온 유체가 제 1 공급 유도관(117a)으로 유도된 경우, 저온 유체는 유입 공간(110)을 통과한 유체와 다시금 혼합될 수 있다(도 3의 우측 점선 화살표 참조). 또한, 저온 유체가 저온 배출관(133)으로 유도된 경우, 저온 유체는 저온 유체를 위한 저장 장치로 배출되어 다시 저온 유입관(131)으로 유입될 수 있다.

상기와 같은 고온 유도부(102) 및 저온 유도부(103)로 인해, 공급 유도관(117)에서 유체, 고온 유체 및 저온 유체가 혼합될 수 있다. 공급 유도관(117)에서 유체는 고온 유체 및 저온 유체와의 혼합으로 인해 제어된 온도를 가질 수 있고, 설정 온도로 에칭 장비에 공급될 수 있다. 이로 인해, 에칭 장비는 안정적으로 작동될 수 있다.

제어부(104)는 몸체(101), 특히 몸체(101)의 상면에 위치되어, 몸체(101)에 공급되는 유체의 조건을 감지하고, 유체의 조건에 따라 유체 뿐 아니라, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 제어할 수 있다. 여기서, 유체의 조건은 유체의 온도, 압력, 유량 등을 의미할 수 있다.

또한, 제어부(104)는 칠러로부터 몸체(101)에 공급되는 유체의 온도에 따라 유체와 혼합되는 고온 유체 및 저온 유체의 양을 제어하여 에칭 장비에 공급되도록 몸체(101)로부터 배출되는 유체의 온도를 제어할 수 있다. 여기서, 유체는 유입 공간(110)을 통과한 이후에 공급 유도관(117)에서 설정 온도에 이를 수 있다.

또한, 제어부(104)는 온도 센서(141), 압력 센서(142), 유량 센서(143), 고온 제어 밸브(144), 저온 제어 밸브(145)를 포함할 수 있다.

온도 센서(141)는 몸체(101)의 상면에 설치되어 공급 유도관(117)에 대응하도록 위치될 수 있고, 공급 유도관(117)에서 고온 유체 및 저온 유체와 혼합된 유체의 온도를 측정할 수 있다. 여기서, 온도 센서(141)는 공급관(112)을 통과할 유체의 온도를 측정할 수 있다.

압력 센서(142)는 유입 공간(110)에 대응하는 몸체(101)의 상면에 위치되되, 유입 공간(110)에서 유체의 압력을 측정하고, 유체의 압력값을 출력할 수 있다. 즉, 압력 센서(142)는 유입 공간(110)을 통과하여 공급 유도관(117)으로 유도되는 유체의 압력을 측정할 수 있다.

또한, 압력 센서(142)는 유입 공간(110)에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때, 알람음 또는 알람 신호를 생성할 수 있다. 여기서, 설정 압력은 유입 공간(110)에서 이물질의 축적으로 인한 유입 공간(110)에 유입된 유체의 비정상 유동시 압력을 의미할 수 있다. 즉, 관리자는 압력 센서(142)를 이용하여 유입 공간(110)에서 유체의 이상 유동을 감지하고 필요한 유지보수 작업을 용이하게 실시할 수 있다.

한편, 구체적으로 후술될 고온 제어 밸브(144) 및 저온 제어 밸브(145)는 온도 센서(141)에 의해 측정된 유체의 온도, 및 압력 센서(142)에 의해 측정된 압력에 따라 제어되어 공급관(112)으로부터 배출되는 유체의 온도를 제어할 수 있다.

유량 센서(143)는 공급 유도관(117)에 대응하는 몸체(101)의 상면에 위치되되, 공급 유도관(117)에서 유체의 유량을 측정할 수 있고 출력할 수 있다. 관리자는 유체의 유량을 확인할 수 있고, 에칭 장비에 대한 유체의 공급 상태를 확인할 수 있다.

또한, 유량 센서(143)는 공급관(112)에서 유체의 유량을 설정 유량 이하로 측정할 수 있다. 또한, 유량 센서(143)에 측정된 유체의 유량에 따라, 에칭 장비에 연결된 펌프는 제어되어, 유체를 설정 유량으로 에칭 장비에 공급할 수 있다. 여기서, 설정 유량은 에칭 장비의 성능을 저하할 수 있는 공급관(112)에 배출되는 유체의 유량을 의미할 수 있다. 이로 인해, 유체는 일정한 유량으로 에칭 장비에 공급될 수 있다.

고온 제어 밸브(144)는 제 1 보조 공간(120)에 대응하도록 몸체(101)에 위치될 수 있다. 여기서, 고온 제어 밸브(144)의 일부는 제 1 보조 공간(120)에 삽입되어, 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 고온 배출관(123)의 제 2 종단면 및 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 개폐할 수 있다.

고온 제어 밸브(144)는 연결 유도관(115)의 제 1 종단면 및 고온 배출관(123)의 제 2 종단면을 개방할 수 있고 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 폐쇄할 수 있다. 여기서, 고온 유체는 고온 유입관(121)에 유입되어 연결 유도관(115)을 통해 유입관(111)으로 유도되어 유입관(111)에 유입된 유체와 혼합되어 유체의 온도를 상승시킬 수 있다. 또한, 고온 유체는 고온 유입관(121)에 유입되어 연결 유도관(115)을 통해 제 1 보조 공간(120)으로 유도된 이후에 고온 배출관(123)을 따라 유동하여 배출되어 고온 유체를 위한 저장 장치에 대하여 순환할 수 있다.

또한, 온도 센서(141)가 설정 온도보다 낮은 공급 유도관(117)의 유체 온도를 측정할 때, 고온 제어 밸브(144)는 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 개방한 상태로 유지하고, 고온 배출관(123)의 제 2 종단면을 점점 폐쇄하면서 폐쇄된 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 점점 개방할 수 있다. 여기서, 고온 유체는 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 통과하여 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유입되고, 유입 공간(110)으로부터 유입 공간 배출관(110a)을 통해 제 1 공급 유도관(117a)에 유입된 유체와 혼합되어, 유체의 온도를 상승시킬 수 있다. 또한, 공급 유도관(117)에서 유체 온도는 설정 온도에 도달할 수 있고, 고온 제어 밸브(144)는 연결 유도관(115)의 제 1 종단면 및 고온 배출관(123)의 제 2 종단면을 개방하고 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 폐쇄하도록 작동될 수 있다.

또한, 고온 제어 밸브(144)는 고온 밸브 몸체(144a) 및 고온 구동 몸체(144b)를 포함할 수 있다.

고온 밸브 몸체(144a)는 제 1 보조 공간(120)에 삽입되어, 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 개방하고, 고온 배출관(123)의 제 2 종단면 및 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 개폐할 수 있다. 여기서, 고온 밸브 몸체(144a)의 일부는 제 1 보조 공간(120)에 삽입되고, 고온 밸브 몸체(144a)의 나머지 일부는 모터 형태로 이루어져 고온 밸브 몸체(144a)의 일부에 연결될 수 있다. 이러한 고온 밸브 몸체(144a)는 제 1 보조 공간(120)과 조합하여 삼방 밸브의 형태로 이루어질 수 있다.

고온 구동 몸체(144b)는 고온 밸브 몸체(144a)에 연결되어 몸체(101)의 상면에 위치되고, 고온 밸브 몸체(144a)를 작동시킬 수 있다. 본 실시예의 고온 구동 몸체(144b)는 온도 센서(141)에 의해 측정된 공급 유도관(117)의 유체 온도에 따라 고온 밸브 몸체(144a)를 작동시킬 수 있다.

저온 제어 밸브(145)는 제 2 보조 공간(130)에 대응하도록 몸체(101)에 위치될 수 있다. 여기서, 저온 제어 밸브(145)의 일부는 제 2 보조 공간(130)에 삽입되어, 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 저온 배출관(133)의 제 2 종단면 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 개폐할 수 있다.

저온 제어 밸브(145)는 연결 유도관(115)의 제 1 종단면 및 저온 배출관(133)의 제 2 종단면을 개방할 수 있고 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 폐쇄할 수 있다. 여기서, 저온 유체는 저온 유입관(131)에 유입되어 연결 유도관(115)을 통해 유입관(111)으로 유도되어 유입관(111)에 유입된 유체와 혼합되어 유체의 온도를 하강시킬 수 있다. 또한, 저온 유체는 저온 유입관(131)에 유입되어 연결 유도관(115)을 통해 제 2 보조 공간(130)으로 유도된 이후에 저온 배출관(133)을 따라 유동하여 배출되어 저온 유체를 위한 저장 장치에 대하여 순환할 수 있다.

또한, 온도 센서(141)가 설정 온도보다 높은 공급 유도관(117)의 유체 온도를 측정할 때, 저온 제어 밸브(145)는 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 개방한 상태로 유지하고, 저온 배출관(133)의 제 2 종단면을 점점 폐쇄하면서 폐쇄된 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 점점 개방할 수 있다. 여기서, 저온 유체는 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통과하여 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유입되고, 유입 공간(110)으로부터 유입 공간 배출관(110a)을 통해 제 1 공급 유도관(117a)에 유입된 유체와 혼합되어, 유체의 온도를 하강시킬 수 있다. 또한, 공급 유도관(117)에서 유체의 온도는 설정 온도에 도달할 수 있고, 저온 제어 밸브(145)는 연결 유도관(115)의 제 1 종단면 및 저온 배출관(133)의 제 2 종단면을 개방하고 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 폐쇄하도록 작동될 수 있다.

또한, 저온 제어 밸브(145)는 저온 밸브 몸체(145a) 및 저온 구동 몸체(145b)를 포함할 수 있다.

저온 밸브 몸체(145a)는 제 2 보조 공간(130)에 삽입되어, 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 개방하고, 저온 배출관(133)의 제 2 종단면 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 개폐할 수 있다. 여기서, 저온 밸브 몸체(145a)의 일부는 제 2 보조 공간(130)에 삽입되고, 저온 밸브 몸체(145a)의 나머지 일부는 모터 형태로 이루어져 저온 밸브 몸체(145a)의 일부에 연결될 수 있다. 이러한 저온 밸브 몸체(145a)는 제 2 보조 공간(130)과 조합하여 삼방 밸브의 형태로 이루어질 수 있다.

저온 구동 몸체(145b)는 저온 밸브 몸체(145a)에 연결되어 몸체(101)의 상면에 위치되고, 저온 밸브 몸체(145a)를 작동시킬 수 있다. 본 실시예의 저온 구동 몸체(145b)는 온도 센서(141)에 의해 측정된 공급 유도관(117)의 유체 온도에 따라 저온 밸브 몸체(145a)를 작동시킬 수 있다.

상기와 같이 고온 제어 밸브(144) 및 저온 제어 밸브(145)는 유입관(111)을 통해 몸체(101)의 내부에 유입된 유체에 대한 고온 유체 및 저온 유체의 양을 조절할 수 있다. 여기서, 고온 유체 및 저온 유체는 몸체(101)에서 유체와 혼합되고, 유체의 온도를 설정 온도에 도달하도록 제어할 수 있다. 유체는 고온 유체 및 저온 유체와의 혼합을 통해 제어된 온도로 에칭 장비에 공급될 수 있다.

한편, 본 실시예의 제어부(104)는 보조 센서(146)를 더 포함할 수 있다.

보조 센서(146)는 복수 개로 이루어지되, 각각 고온 유입관(121), 고온 배출관(123), 저온 유입관(131) 및 저온 배출관(133)에 대응하도록 몸체(101)의 상면에 위치될 수 있다. 여기서, 보조 센서(146)는 몸체(101)에 공급되고 몸체(101)로부터 배출되는 고온 유체의 온도 및 저온 유체의 온도를 측정할 수 있다. 측정된 고온 유체의 온도 및 저온 유체의 온도는 고온 유체 및 저온 유체의 몸체(101)에 대한 공급 상태를 확인할 수 있고, 저장 장치에서 고온 유체 및 저온 유체의 온도를 제어하는 데에 이용될 수 있다.

본 실시예의 온도 제어용 밸브 시스템(100)에서 몸체(101)는 유체를 칠러로부터 공급받아 에칭 장비로 공급할 수 있다. 고온 유도부(102) 및 저온 유도부(103)는 몸체(101)에 설치되어 고온 유체 및 저온 유체를 몸체(101)에 대하여 공급하고 배출하여 순환시킴으로써 에칭 장비에 공급되는 유체에 혼합되도록 할 수 있다. 여기서, 제어부(104)는 몸체(101)에서 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 제어하여 유체를 고온 유체 및 저온 유체와 혼합하여 유체의 온도를 제어할 수 있다. 이로 인해, 유체는 몸체(101)의 내부에 고온 유체 및 저온 유체에 의해 제어되어 에칭 장비로 공급될 수 있다. 따라서, 본 실시예의 온도 제어용 밸브 시스템(100)은 상이한 온도를 갖는 유체의 혼합되는 정도를 제어하여 에칭 장비에 공급되는 유체의 온도를 신속하게 제어할 수 있다.

또한, 본 실시예의 온도 제어용 밸브 시스템(100)은 몸체(101)의 내부에 유로를 형성하여 제어부(104)를 이용하여 유체의 유동을 제어할 수 있는 구조를 갖는다. 이로 인해, 본 실시예의 온도 제어용 밸브 시스템(100)은 상대적으로 간단한 구조로 이루어져 용이하게 유지보수될 수 있다.

한편, 제어부(104), 특히 압력 센서(142)는 네트워크를 통해 관리자 단말기(10)와 연결될 수 있다. 압력 센서(142)는 유입 공간(110)에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때, 알림 정보를 생성하여 관리자 단말기(10)에 전송할 수 있다. 여기서, 알림 정보는 유체의 압력이 설정 압력 이상으로 측정된 압력 센서(142)에 대응되는 온도 제어용 밸브 시스템(100)의 위치, 압력 센서(142)에 의해 측정된 압력값 및 알림 메시지(예를 들어, "밸브 시스템이 막힐 수 있습니다."등의 내용)를 포함할 수 있다. 알림 정보는 관리자 단말기(10)에 출력될 수 있고, 관리자는 알림 정보에 대한 온도 제어용 밸브 시스템(100)을 직접 확인하고 온도 제어용 밸브 시스템(100)의 상태에 따른 조치를 취할 수 있다.

또한, 압력 센서(142)로부터 관리자 단말기(10)에 전송되는 알림 정보의 보안화를 위하여, 압력 센서(142)는 알림 정보를 디지털 신호로 변환할 수 있으며, 압력 센서(142)는 전체 디지털 신호의 순서를 고려한 회전 시작 번호를 랜덤으로 생성하고, 처음 디지털 신호를 순서 번호 1로 시작하여 1씩 증가하고 마지막 디지털 신호를 자연수 D라고 할 경우, 회전 시작 번호보다 순서 번호가 작은 디지털 신호를 마지막 디지털 신호 뒤에 위치하도록 재배치시키는 회전 키크리에이팅 모듈; 회전된 전체 디지털 신호를 관리자 단말기(10)에 전송하는 제 1 회전 디스패칭 모듈; 및 회전 시작 번호를 관리자 단말기(10)에 전송하는 제 2 회전 디스패칭 모듈을 포함할 수 있다. 관리자 단말기(10)는, 관리자 단말기(10)에 전송된 회전된 전체 디지털 신호 및 회전 시작 번호를 전송받고, 회전된 전체 디지털 신호를 회전 시작 번호에 따라 역회전하여 역회전된 디지털 신호를 생성하는 회전 리어셈블링 모듈을 포함할 수 있다.

예를 들어, 전체 디지털 신호가 "0101111011"일 경우, 회전 시작 번호가 4이면, 회전된 전체 디지털 신호는 "1111011010"이 되고, 역회전된 전체 디지털 신호는 "0101111011"가 될 수 있다.

또한, 압력 센서(142)로부터 관리자 단말기(10)에 전송되는 알림 정보의 보안화를 위하여, 압력 센서(142)는 알림 정보를 이진수의 디지털 신호로 변환할 수 있으며, 압력 센서(142)는 처음 디지털 신호를 순서 번호 1로 시작하여 1씩 증가하여 마지막 디지털 신호에 자연수 D를 순서번호로 부여하고, 처음 디지털 신호를 마지막 디지털 신호의 뒤에 위치하도록 하고 순서 번호 1의 디지털 신호가 12시 방향에 오도록 하여 전체 디지털 신호를 환형의 형태로 재배치하고, 12시 방향의 디지털 신호와 그 바로 앞의 디지털 신호 사이를 절단 위치로 설정한 후에, 순서 번호들 중에서 어느 하나를 회전 시작 번호로 랜덤으로 결정하고, 회전시작 번호로 결정된 디지털 신호가 12시 방향에 위치하도록 환형의 전체 디지털 신호를 일 방향으로 회전시키며, 절단 위치에서 환형의 전체 디지털 신호를 절단하는 회전 키크리에이팅 모듈; 절단 위치에서 절단된 전체 디지털 신호를 관리자 단말기(10)에 전송하는 제 1 회전 디스패칭 모듈; 및 회전 시작 번호를 관리자 단말기(10)에 전송하는 제 2 회전 디스패칭 모듈을 포함할 수 있다. 관리자 단말기(10)는, 관리자 단말기(10)에 전송된 전체 디지털 신호 및 회전 시작 번호를 전송받고, 전송된 전체 디지털 신호의 처음 디지털 신호를 마지막 디지털 신호의 뒤에 위치하도록 하고, 처음 디지털 신호를 12시 방향에 오도록 하여 전체 디지털 신호를 환형의 형태로 재배치하고, [회전 시작 번호 - 1]의 디지털 신호 간격만큼 상기 일방향의 역방향으로 회전시키고, 절단 위치에서 환형의 전체 디지털 신호를 절단하여 최초의 전체 디지털 신호를 복원하는 회전 리어셈블링 모듈을 포함할 수 있다.

예를 들어, 전체 디지털 신호가 "0101111011"일 경우, 회전 시작 번호가 4이면, 회전된 전체 디지털 신호는 "1111011010"이 되고, 전송 후 역회전되어 복원된 전체 디지털 신호는 "0101111011"가 될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)에 연결되는 관리자 단말기(10)에 적용되는 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)를 분리하여 도시하는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)에 연결되는 관리자 단말기(10)에 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)를 적용한 모습을 도시하는 도면이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 제어용 밸브 시스템(100)에 연결되는 관리자 단말기(10)에 적용된 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)의 작동 모습을 도시하는 도면들이다.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 관리자 단말기(10)는 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)와 결합되고, 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)를 이용하여, 제어 정보를 입력받을 수 있고 제어부(104)에 전송할 수 있다. 여기서, 제어 정보는 온도 제어용 밸브 시스템(100)에 대한 유체의 설정 온도, 유체의 설정 유량, 유체의 설정 유량 등을 포함하고, 제어부(104)는 제어 정보에 따라 온도 제어용 밸브 시스템(100)을 제어할 수 있다.

관리자 단말기(10)는 스마트폰의 형태로 이루어지되, 관리자 단말기(10)의 일면에 위치되고 제어 정보에 대한 제어 항목(a) 및 제어 항목(a)에 대응되는 입력값을 선택하여 입력할 수 있는 입력 영역(b)을 출력할 수 있는 디스플레이 형태의 표시부(11) 및 관리자 단말기(10)의 일면에서 표시부(11)로부터 이격되고 관리자 단말기(10)의 제 1 종단 부분에 위치되는 카메라 또는 센서 형태의 감지부(12)를 포함할 수 있다. 여기서, 제어 항목은 "유체의 설정 속도", "유체의 설정 유량", "유체의 설정 압력" 등의 형태로 이루어질 수 있고, 입력 영역은 1 내지 3 중 어느 하나의 값을 입력할 수 있도록 이루어질 수 있다. 여기서, 입력 영역은 3개로 이루어진 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않고, 5개, 7개, 9개 등과 같이 3개 이상으로 이루어질 수 있다.

입력 가이드 베이스(201)는 관리자 단말기(10)에 대응되는 형상으로 이루어지되, 관리자 단말기(10)를 분리가능하도록 수용될 수 있다. 이러한 입력 가이드 베이스(201)에는 수용 공간(210), 표시 개구(201a) 및 장착 공간(201b)이 형성될 수 있다.

수용 공간(210)은 입력 가이드 베이스(201)의 내부에서 관리자 단말기(10)에 대응되는 형상으로 이루어지고, 개방된 양 종단면을 가질 수 있다. 관리자 단말기(10)는 수용 공간(210)의 양 종단면을 통과하여 수용 공간(210)에 수용될 수 있고, 일 방향(A)을 따라 이동가능하다.

표시 개구(201a)는 입력 가이드 베이스(201)의 상면에 형성되어 수용 공간(210)에 연결될 수 있다. 관리자 단말기(10)가 수용 공간(210)에 수용될 때, 관리자 단말기(10)의 표시부(11) 및 감지부(12)는 표시 개구(201a)에 대응하도록 위치될 수 있다.

장착 공간(201b)은 수용 공간(210)의 바닥면에 관리자 단말기(10)에 대응하도록 오목하게 형성될 수 있고, 표시 개구(201a)에 대응하도록 위치될 수 있다. 관리자 단말기(10)는 수용 공간(210)에 수용되어 장착 공간(201b)에 삽입되어 고정될 수 있고, 표시부(11) 및 감지부(12)는 표시 개구(201a)에 대응하도록 위치되어 표시 개구(201a)를 통해 확인될 수 있다.

또한, 입력 가이드 베이스(201)는 이동 가이드(211)를 포함할 수 있다. 이동 가이드(211)는 복수 개로 이루어지되, 입력 가이드 베이스(201)의 양측면의 각각에 일 방향(A)을 따라 상호 간에 이격되도록 위치될 수 있다. 관리자 단말기(10)가 수용 공간(210)에 수용된 상태에서, 이동 가이드(211)는 관리자 단말기(10)의 상측에 위치되고 수용 공간(210)의 상면으로부터 이격되도록 위치될 수 있다.

또한, 이동 가이드(211)는 구동체(211a) 및 회전체(211b)를 포함할 수 있다.

구동체(211a)는 모터의 형태로 이루어지되, 입력 가이드 베이스(201)의 측면에 위치될 수 있다.

회전체(211b)는 피니언(pinion) 기어의 형태로 이루어지되, 수용 공간(210)에 위치되어 구동체(211a)에 연결될 수 있다. 여기서, 회전체(211b)는 구동체(211a)에 의해 회전될 수 있다.

입력 가이드 몸체(202)는 표시 개구(201a)에 대응되는 판 형상으로 이루어질 수 있다. 여기서, 입력 가이드 몸체(202)는 수용 공간(210)에 삽입되어 이동 가이드(211)와 맞물릴 수 있고, 이동 가이드(211)에 의해 이동가능하다. 입력 가이드 몸체(202)에는 확인 개구(202a) 및 입력 개구(202b)가 형성될 수 있다.

확인 개구(202a)는 관리자 단말기(10)의 표시부(11)에 출력되는 제어 정보를 위한 하나의 제어 항목(a)에 대응되는 크기로 입력 가이드 몸체(202)에 형성될 수 있다.

입력 개구(202b)는 관리자 단말기(10)의 표시부(11)에 출력되는 제어 정보에 따른 입력값의 선택 및 입력을 위한 입력 영역(b)에 대응되는 크기로 입력 가이드 몸체(202)에 형성될 수 있다. 여기서, 입력 개구(202b)는 확인 개구(202a)와 조합하여 일 방향(A)과 직교하는 방향을 따라 동일 직선을 형성하도록 입력 가이드 몸체(202)에 위치될 수 있고, 입력 영역(b)에 대응하여 복수 개로 형성될 수 있다.

또한, 입력 가이드 몸체(202)의 하면의 제 1 종단 부분(도 4의 입력 가이드 몸체(202)에서 상단 부분 참조)에는 식별자(220)가 형성될 수 있다. 여기서, 식별자(220)는 QR 코드, 바 코드 등의 형태로 이루어질 수 있다.

입력 가이드 몸체(202)가 수용 공간(210)에 수용된 상태에서 식별자(220)는 수용 공간(210)에 수용된 관리자 단말기(10)의 감지부(12)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 감지부(12)는 식별자(220)를 감지하여, 표시부(11)는 식별자에 대응되는 제어 정보의 입력을 위한 복수 개의 제어 항목(a)들 및 제어 항목(a)들의 각각에 대응되는 입력 영역(b)을 출력할 수 있다. 또한, 표시부(11)의 제 1 종단 부분에 출력되는 하나의 제어 항목(a) 및 하나의 제어 항목(a)에 대응되는 입력 영역(b)은 확인 개구(202a) 및 입력 개구(202b)를 통해 확인될 수 있다.

또한, 입력 가이드 몸체(202)는 이동 몸체(221)를 포함할 수 있다.

이동 몸체(221)는 한 쌍으로 이루어지되, 입력 가이드 몸체(202)의 양측에서 일 방향(A)을 따라 위치될 수 있다. 여기서, 이동 몸체(221)는 래크(rack) 기어의 형태로 이루어질 수 있다. 입력 가이드 몸체(202)가 수용 공간(210)에 삽입될 때, 이동 몸체(221)는 이동 가이드(211)의 회전체(211b)의 상측에 위치되고 회전체(211b)와 맞물릴 수 있다. 여기서, 이동 몸체(221)와 회전체(211b)는 래크 기어와 피니언 기어의 결합 방식으로 맞물릴 수 있다. 구동체(211a)가 회전체(211b)를 회전시킬 때, 회전체(211b)는 이동 몸체(221)를 이동시켜 입력 가이드 몸체(202)를 이동시킬 수 있다.

상기와 같은 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)는 관리자 단말기(10)에 적용되어 다음과 같이 작동될 수 있다.

우선, 관리자 단말기(10)는 입력 가이드 베이스(201)의 수용 공간(210)에 삽입되어 수용될 수 있다(도 6(a) 참조). 여기서, 관리자 단말기(10)는 장착 공간(201b)에 삽입되어 고정될 수 있고, 관리자 단말기(10)의 표시부(11) 및 감지부(12)는 표시 개구(201a)에 대응되도록 위치될 수 있다.

이어서, 입력 가이드 몸체(202)가 수용 공간(210)에 삽입되어 수용될 수 있다. 여기서, 입력 가이드 몸체(202)는 관리자 단말기(10)의 상측에 위치될 수 있고, 이동 몸체(221)는 이동 가이드(211)의 회전체(211b)와 맞물릴 수 있다.

입력 가이드 몸체(202)가 표시 개구(201a)에 대응하도록 위치될 때, 식별자(220)는 감지부(12)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 감지부(12)는 식별자(220)를 감지하고, 표시부(11)는 식별자(220)에 대응되는 제어 정보의 입력을 위한 복수 개의 제어 항목(a)들 및 제어 항목(a)들의 각각에 대응되는 입력 영역(b)을 출력할 수 있다. 또한, 입력 가이드 몸체(202)의 확인 개구(202a) 및 입력 개구(202b)는 각각 표시부(11)의 제 1 종단 부분(도 6의 상측 부분)에 출력된 하나의 제어 항목(a) 및 하나의 제어 항목(a)에 대응되는 입력 영역(b)에 대응하도록 위치될 수 있다(도 6(b) 참조). 여기서, 관리자 단말기(10)는 확인 개구(202a)에 대응되는 제어 항목(a)을 음성으로 출력할 수 있다. 즉, 관리자는 확인 개구(202a) 및 입력 개구(202b)를 통해 입력해야 할 제어 항목(a) 및 입력 영역(b)을 용이하게 인지할 수 있다.

또한, 관리자는 입력 개구(202b)를 통해 표시부(11)에 출력된 입력 영역(b)에 접촉될 수 있다. 여기서, 표시부(11)는 접촉된 입력 영역(b)에 대응하도록 선택 표시(c)를 출력할 수 있고, 선택 표시(c)가 출력된 입력 영역(b)에 대응하는 입력값이 제어 항목(a)에 대하여 관리자 단말기(10)에 입력될 수 있다. 관리자 단말기(10)는 작동 신호를 생성하여 입력 가이드 베이스(201)에 전송할 수 있다. 또한, 입력 가이드 베이스(201)에서 이동 가이드(211)의 작동이 이루어질 수 있다. 이동 가이드(211)의 구동체(211a)는 회전체(211b)를 회전시켜, 회전체(211b)는 이동 몸체(221)를 표시부(11)의 제 1 종단 부분의 반대편인 제 2 종단 부분(도 6의 하측 부분)을 향하도록 이동시킬 수 있다. 즉, 식별자(220)는 감지부(12)로부터 멀어지도록 이동될 수 있다. 이로 인해, 입력 가이드 몸체(202)의 확인 개구(202a) 및 입력 개구(202b)는 표시부(11)에 출력된 다른 제어 항목(a) 및 다른 제어 항목(a)에 대응되는 입력 영역(b)에 대응하도록 위치될 수 있고, 입력 가이드 몸체(202)의 일부는 수용 공간(210)으로부터 돌출되도록 위치될 수 있다(도 6(c) 참조).

상기와 같이 관리자는 입력 개구(202b)를 통해 표시부(11)에 출력된 제어 항목(a)들에 대한 입력 영역(b)을 선택적으로 하나씩 접촉시켜 제어 정보를 입력할 수 있다.

도 6(c)에 도시된 바와 같이, 입력 가이드 몸체(202)가 이동 가이드(211)에 의해 계속해서 이동되어, 관리자는 표시부(11)에 출력된 제어 항목(a)들 중 마지막에 해당되는 제어 항목(a)에 대한 입력 영역(b)을 선택하고 접촉시켜야 할 수 있다. 관리자가 마지막의 제어 항목(a)에 대한 입력 영역(b)을 선택하도록 표시부(11)를 접촉할 때, 관리자 단말기(10)는 제어 항목(a)들 및 제어 항목(a)들에 대응되고 선택된 입력 영역(b)에 대응하는 입력값을 포함하는 제어 정보를 생성할 수 있다. 또한, 표시부(11)는 제어 정보의 입력을 위한 다른 내용의 복수 개의 제어 항목(a)들 및 제어 항목(a)들의 각각에 대응되는 입력 영역(b)을 출력할 수 있다.

상기와 같은 상태에서 관리자 단말기(10)는 복원 신호를 생성하여 입력 가이드 베이스(201)에 전송할 수 있다. 또한, 입력 가이드 베이스(201)에서 이동 가이드(211)의 작동이 이루어질 수 있다. 이동 가이드(211)의 구동체(211a)는 회전체(211b)를 회전시켜, 회전체(211b)는 이동 몸체(221)를 표시부(11)의 제 1 종단 부분(도 6의 상측 부분)을 향하도록 이동시킬 수 있다. 여기서, 식별자(220)는 감지부(12)에 근접하도록 이동될 수 있다. 식별자(220)가 감지부(12)에 대응하도록 위치되고, 감지부(12)가 식별자(220)를 감지할 때, 관리자 단말기(10)는 마감 신호를 생성하여 입력 가이드 베이스(201)에 전송하고, 이동 가이드(211)는 정지될 수 있다. 여기서, 입력 가이드 몸체(202)의 확인 개구(202a) 및 입력 개구(202b)는 다시금 표시부(11)의 제 1 종단 부분에 출력된 하나의 제어 항목(a) 및 하나의 제어 항목(a)에 대응되는 입력 영역(b)에 대응하도록 위치될 수 있다(도 6(b) 참조). 즉, 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)는 다른 내용의 복수 개의 제어 항목(a)들 및 제어 항목(a)들의 각각에 대응되는 입력 영역(b)을 확인하면서 제어 정보를 입력하는 데에 이용될 수 있다.

본 실시예의 온도 제어용 밸브 시스템(100)에 연결되는 관리자 단말기(10)에는 입력 가이드 베이스(201) 및 입력 가이드 몸체(202)가 적용되어, 관리자 단말기(10)는 제어 정보를 입력받을 수 있다. 관리자 단말기(10)의 표시부(11)에 출력되는 제어 정보의 입력을 위한 제어 항목(a)들 및 제어 항목(a)들에 대응되는 입력 영역(b)은 하나의 제어 항목(a)에 대하여 입력 가이드 몸체(202)에 의해 물리적으로 식별될 수 있다. 이로 인해, 관리자 단말기(10)의 표시부(11)에 출력되는 제어 항목(a)에 대하여 입력 영역(b)에 대응되는 입력값이 보다 정확하게 입력될 수 있어, 관리자는 보다 용이하면서도 정확하게 관리자 단말기(10)에 제어 정보를 입력할 수 있다.

이상, 본 발명의 기술적 사상을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 상기 실시예들에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형 및 변경이 가능하다.

100: 온도 제어용 밸브 시스템
101: 몸체
102: 고온 유도부
103: 저온 유도부
104: 제어부

Claims (10)

1. 유체가 제 1 면을 통해 공급되고 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 배출되는 몸체;
   몸체의 제 1 면에 위치되고, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체가 공급되고 배출되는 고온 유도부;
   몸체의 제 1 면에서 고온 유도부로부터 이격되어 위치되고, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체가 공급되고 배출되는 저온 유도부; 및
   몸체의 상면에 위치되고, 몸체에 공급된 유체의 온도에 따라 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 제어하는 제어부를 포함하되,
   제어부는 몸체에 공급된 유체를 고온 유체 및 저온 유체와 혼합시켜 설정 온도로 몸체로부터 배출시키며,
   몸체의 내부에서 폐쇄된 형태의 유입 공간이 형성되고, 상호 간에 이격되어 그 사이에 유입 공간이 위치되도록 각각 폐쇄된 형태의 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간이 형성되며,
   몸체는,
   몸체의 제 1 면과 직교하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되고, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체의 내부에 위치되는 파이프 형태의 유입관;
   몸체의 제 1 면의 반대편인 제 2 면과 직교하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되고, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체의 내부에 위치되는 파이프 형태의 공급관;
   몸체의 내부에 위치되어 유입관과 유입 공간을 연결하는 파이프 형태의 연결 유입관;
   각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 내부에서 유입 공간과 제 1 보조 공간 사이 또는 유입 공간과 제 2 보조 공간 사이에 위치되는 한 쌍의 유입 유도관;
   각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 내부에서 유입관과 제 1 보조 공간을 연결하거나 유입관과 제 2 보조 공간을 연결하고, 측면에 유입 유도관이 연결되는 한 쌍의 연결 유도관;
   각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 내부에서 제 1 보조 공간 또는 제 2 보조 공간에 연결되는 한 쌍의 배출 유도관; 및
   몸체의 내부에서 유입 공간과 공급관 사이에 위치되고, 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간을 공급관에 연결하는 공급 유도관을 포함하되,
   고온 유체가 고온 유도부를 통해 제 1 보조 공간에 연결되는 유입 유도관에 유입되고, 저온 유체가 저온 유도부를 통해 제 2 보조 공간에 연결되는 유입 유도관에 유입되며,
   유체가 유입관에 유입되고 유입 유도관 및 유입 공간을 통과한 후에 공급 유도관에 유입될 때, 제어부는 공급 유도관의 유체 온도에 따라 제 1 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 고온 유체의 양 또는 제 2 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 저온 유체의 양을 제어하여 유체를 설정 온도로 공급관을 통해 배출시키는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 고온 유도부는,
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 제 1 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 고온 유입관; 및
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 고온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 배출 유도관에 연결되는 고온 배출관을 포함하되,
   제어부는 고온 유입관, 유입 유도관 및 연결 유도관을 통해 제 1 보조 공간에 유도된 이후에, 공급 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양 또는 고온 배출관에 연결된 배출 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양을 제어하는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
4. 제3항에 있어서, 저온 유도부는,
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 제 2 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 저온 유입관; 및
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체의 제 1 면에서 저온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 배출 유도관에 연결되는 저온 배출관을 포함하되,
   제어부는 저온 유입관, 유입 유도관 및 연결 유도관을 통해 제 2 보조 공간에 유도된 이후에, 공급 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양 또는 저온 배출관에 연결된 배출 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양을 제어하는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
5. 제4항에 있어서, 제어부는,
   몸체의 상면에 설치되어 공급 유도관에 대응하도록 위치되고, 공급 유도관에서 고온 유체 및 저온 유체와 혼합된 유체의 온도를 측정하는 온도 센서;
   제 1 보조 공간에 대응하도록 몸체에 위치되고, 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관, 고온 배출관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하는 고온 제어 밸브; 및
   제 2 보조 공간에 대응하도록 몸체에 위치되고, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관, 저온 배출관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하는 저온 제어 밸브를 포함하되,
   고온 제어 밸브는 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 고온 배출관을 개방하고 제 1 보조 공간 배출관을 폐쇄하며, 저온 제어 밸브는 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 저온 배출관을 개방하고 제 2 보조 공간 배출관을 폐쇄하며,
   온도 센서가 설정 온도보다 낮은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 고온 제어 밸브는 고온 배출관을 점점 폐쇄하면서 제 1 보조 공간 배출관을 점점 개방하고,
   온도 센서가 설정 온도보다 높은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 저온 제어 밸브는 저온 배출관을 점점 폐쇄하면서 제 2 보조 공간 배출관을 점점 개방하는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
6. 제5항에 있어서,
   고온 제어 밸브는,
   일부가 제 1 보조 공간에 삽입되어 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 개방하고 고온 배출관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하며, 나머지 일부가 모터 형태로 이루어져 일부에 연결되는 고온 밸브 몸체; 및
   고온 밸브 몸체에 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 고온 밸브 몸체를 작동시키는 고온 구동 몸체를 포함하고,
   저온 제어 밸브는,
   일부가 제 2 보조 공간에 삽입되어 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 개방하고 저온 배출관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하며, 나머지 일부가 모터 형태로 이루어져 일부에 연결되는 저온 밸브 몸체; 및
   저온 밸브 몸체에 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 저온 밸브 몸체를 작동시키는 저온 구동 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
7. 제5항에 있어서, 제어부는,
   공급 유도관에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 공급 유도관에서 유체의 유량을 측정하고 출력하는 유량 센서를 더 포함하되,
   공급관은 에칭 장비에 연결되고, 유량 센서에 측정된 유체의 유량에 따라 에칭 장비에 연결된 펌프는 제어되는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
8. 제5항에 있어서, 제어부는,
   유입 공간에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 유입 공간에서 유체의 압력을 측정하고, 유체의 압력값을 출력하는 압력 센서를 더 포함하되,
   압력 센서는 유입 공간에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때 알람음 또는 알람 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 온도 제어용 밸브 시스템.
   
9. 삭제
10. 삭제

Images