KR102664406B1 - 온도 컨트롤 밸브 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템은, 유체가 제 1 면을 통해 공급되고 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 배출되는 몸체부; 몸체부의 제 1 면에 대응되도록 위치되고, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체가 몸체부의 내부에 공급되어 유체와 혼합될 수 있고, 유체와 혼합되지 않는 고온 유체가 몸체부의 내부로부터 배출되는 고온 유도부; 몸체부의 제 1 면에 대응되면서 고온 유도부로부터 이격되어 위치되고, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체가 몸체부의 내부에 공급되어 유체와 혼합될 수 있고, 유체와 혼합되지 않는 저온 유체가 몸체부의 내부로부터 배출되는 저온 유도부; 및 몸체부의 상면에 위치되며, 몸체부의 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 열전달을 차단하고, 몸체부의 내부에 공급된 유체의 상태를 감지하고 감지된 유체의 상태에 따라 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 조절하는 조절부를 포함하되, 조절부는 몸체부의 내부에 공급된 유체를 고온 유체 및 저온 유체 중 적어도 하나와 혼합시켜 설정 온도로 몸체부의 내부로부터 배출시키는 것을 특징으로 할 수 있다.

Description

온도 컨트롤 밸브 시스템{Temperature control valve system}

본 발명은 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체 공정에 이용되는 유체 상태의 화학물질의 온도를 조절하여 설비에 공급할 수 있도록 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자, 반도체 칩 등은 실리콘 등으로 형성되는 웨이퍼를 반도체 제조설비를 이용하여 처리함으로써 제조된다. 웨이퍼는 포토 리소그래피, 화학 또는 물리적 증착 및 플라즈마 에칭 등과 같은 반도체 공정을 거쳐 처리됨으로써, 반도체 소자, 반도체 칩 등으로 제조된다.

반도체 소자, 반도체 칩 등의 품질은 웨이퍼의 품질 또는 웨이퍼가 처리되는 방식 등과 같은 다양한 변수에 의해 영향을 받는다. 반도체 소자, 반도체 칩 등의 품질에서 중요한 변수들 중 하나는 웨이퍼의 표면 온도이다. 웨이퍼의 표면 온도가 상이할 경우, 웨이퍼 표면의 식각률 등은 상이하게 나타난다. 이로 인해, 웨이퍼의 표면 온도가 균일하게 조절됨으로써, 고품질의 반도체 소자, 반도체 칩 등이 제조되고 있다.

웨이퍼의 표면 온도는 웨이퍼가 장착되는 척의 온도를 조절함으로써 조절된다. 칠러(chiller), 열교환기 등에 의해 일정한 온도를 갖는 유체(예를 들어, '브라인'(brine)이라 하기도 한다)는 웨이퍼의 척에 유입되어 웨이퍼의 척의 온도를 조절하는 데에 이용된다.

반도체 공정 설비에서 냉매 경로와 유체 경로가 부분적으로 중첩되어, 유체는 냉매와 열교환되어 일정한 온도로 조절되어 웨이퍼의 척에 유입될 수 있다. 이러한 열교환 방식은 유체의 온도를 신속하게 조절하는 데에 있어 어려움을 가져, 웨이퍼의 척의 온도를 일정하게 유지하도록 신속하게 조절하기 어려운 실정이다.

본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 칠러로부터 에칭 장비로 공급되는 유체의 온도를 신속하고 정확하게 조절할 수 있도록 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 유체의 열전달을 차단하여 최소화할 수 있도록 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 유체를 신속하게 설정 온도로 조절하여 배출할 수 있도록 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는, 용이하게 유지 보수될 수 있는 온도 컨트롤 밸브 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 사상에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 기술적 사상에 의한 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템은, 유체가 제 1 면을 통해 공급되고 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 배출되는 몸체부; 몸체부의 제 1 면에 대응되도록 위치되고, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체가 몸체부의 내부에 공급되어 유체와 혼합될 수 있고, 유체와 혼합되지 않는 고온 유체가 몸체부의 내부로부터 배출되는 고온 유도부; 몸체부의 제 1 면에 대응되면서 고온 유도부로부터 이격되어 위치되고, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체가 몸체부의 내부에 공급되어 유체와 혼합될 수 있고, 유체와 혼합되지 않는 저온 유체가 몸체부의 내부로부터 배출되는 저온 유도부; 및 몸체부의 상면에 위치되며, 몸체부의 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 열전달을 차단하고, 몸체부의 내부에 공급된 유체의 상태를 감지하고 감지된 유체의 상태에 따라 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 조절하는 조절부를 포함하되, 조절부는 몸체부의 내부에 공급된 유체를 고온 유체 및 저온 유체 중 적어도 하나와 혼합시켜 설정 온도로 몸체부의 내부로부터 배출시키는 것을 특징으로 할 수 있다.

또한, 몸체부의 내부에는 폐쇄된 형태의 유입 공간이 형성되고, 상호 간에 이격되어 그 사이에 유입 공간이 위치되도록 각각 폐쇄된 형태의 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간이 형성되며, 몸체부는, 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면과 직교하도록 위치되며, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되고 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체부의 내부에 위치되는 유입관; 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면의 반대편인 제 2 면과 직교하도록 위치되며, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되고 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체부의 내부에 위치되는 공급관; 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에 위치되어 유입관과 유입 공간을 연결하는 연결 유입관; 각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에서 제 1 보조 공간과 고온 유도부를 연결하고 제 2 보조 공간과 저온 유도부를 연결하는 한 쌍의 유입 유도관; 각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에서 유입관과 제 1 보조 공간을 연결하고 유입관과 제 2 보조 공간을 연결하는 한 쌍의 연결 유도관; 각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에서 유입 유도관과 평행하면서 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관과 고온 유도부를 연결하거나, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관과 저온 유도부를 연결하는 한 쌍의 배출 유도관; 및 몸체부의 내부에서 유입 공간과 공급관 사이에 위치되고, 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간을 공급관에 연결하는 공급 유도관을 포함하되, 고온 유체가 고온 유도부를 통해 제 1 보조 공간에 연결되는 유입 유도관 및 제 1 보조 공간에 유입되고, 저온 유체가 저온 유도부를 통해 제 2 보조 공간에 연결되는 유입 유도관 및 제 2 보조 공간에 유입되며, 유체가 유입관에 유입되고 연결 유도관 및 유입 공간을 통과한 후에 공급 유도관에 유입될 때, 조절부는 공급 유도관의 유체 온도에 따라 제 1 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 고온 유체의 양 및 제 2 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 저온 유체의 양을 조절하여 유체를 설정 온도로 공급관을 통해 배출시킬 수 있다.

또한, 고온 유도부는, 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 제 1 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 고온 유입관; 및 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 고온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관에 배출 유도관을 통해 연결되는 고온 배출관을 포함하되, 고온 유체가 고온 유입관 및 유입 유도관을 통해 제 1 보조 공간에 유도된 상태에서, 조절부는 제 1 보조 공간으로부터 공급 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양 및 제 1 보조 공간으로부터 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양을 조절하며, 제 1 보조 공간에서 고온 유체의 일부가 제 1 보조 공간 배출관으로 유도될 때, 고온 유체의 나머지 일부가 제 1 보조 공간으로부터 연결 유도관으로 유도되고, 유체가 유입관에 유입된 상태에서 유체의 일부는 유입 공간을 향하도록 유도되고, 유체의 나머지 일부는 제 1 보조 공간 배출관으로 유도된 고온 유체의 일부와 동일한 양만큼 제 1 보조 공간을 향하도록 연결 유도관에 유도될 수 있다.

또한, 저온 유도부는, 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 제 2 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 저온 유입관; 및 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 저온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관에 배출 유도관을 통해 연결되는 저온 배출관을 포함하되, 저온 유체가 저온 유입관 및 유입 유도관을 통해 제 2 보조 공간에 유도된 상태에서, 조절부는 제 2 보조 공간으로부터 공급 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양 및 제 2 보조 공간으로부터 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양을 조절하며, 제 2 보조 공간에서 저온 유체의 일부가 제 2 보조 공간 배출관으로 유도될 때, 저온 유체의 나머지 일부가 제 2 보조 공간으로부터 연결 유도관으로 유도되고, 유체가 유입관에 유입된 상태에서 유체의 일부는 유입 공간을 향하도록 유도되고, 유체의 나머지 일부는 제 2 보조 공간 배출관으로 유도된 저온 유체의 일부와 동일한 양만큼 제 2 보조 공간을 향하도록 연결 유도관에 유도될 수 있다.

또한, 조절부는, 몸체부의 상면에 설치되어 공급 유도관에 대응하도록 위치되고, 공급 유도관에서 고온 유체 및 저온 유체와 혼합된 유체의 온도를 측정하는 온도 센서; 제 1 보조 공간에 대응하도록 몸체부에 위치되고, 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관, 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간과 공급 유도관을 연결하는 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하는 고온 조절 밸브; 및 제 2 보조 공간에 대응하도록 몸체부에 위치되고, 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간과 공급 유도관을 연결하는 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하는 저온 조절 밸브를 포함하되, 고온 조절 밸브는 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고 제 1 보조 공간 배출관을 폐쇄하며, 저온 조절 밸브는 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고 제 2 보조 공간 배출관을 폐쇄하며, 온도 센서가 설정 온도보다 낮은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 고온 조절 밸브는 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 점점 폐쇄하면서 제 1 보조 공간 배출관을 점점 개방하고, 온도 센서가 설정 온도보다 높은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 저온 조절 밸브는 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 점점 폐쇄하면서 제 2 보조 공간 배출관을 점점 개방할 수 있다.

또한, 고온 조절 밸브는, 제 1 보조 공간에 삽입되어 위치되고, 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고, 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐할 수 있는 고온 밸브 베이스, 고온 밸브 베이스에 대응하도록 몸체부의 상측에 위치되고 모터 형태로 이루어진 고온 밸브 구동체, 고온 밸브 구동체에 연결되고 몸체부의 상면에 삽입되어 고온 밸브 베이스에 대응하도록 위치되는 고온 밸브 샤프트, 및 절연 재료로 제조되고 고온 밸브 샤프트와 고온 밸브 베이스 사이에 위치되어 고온 밸브 샤프트와 고온 밸브 베이스를 분리가능하도록 연결하는 고온 밸브 연결체를 포함하는 고온 밸브 몸체; 및 고온 밸브 몸체의 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 고온 밸브 몸체를 작동시키는 고온 조절 몸체를 포함하고, 고온 조절 몸체는 고온 밸브 구동체에 연결되고 고온 벨브 구동체를 작동시켜 고온 밸브 샤프트를 회전시키고, 고온 밸브 베이스는 고온 밸브 샤프트의 회전력에 의해 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐할 수 있다.

또한, 저온 조절 밸브는, 제 2 보조 공간에 삽입되어 위치되고, 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐할 수 있는 저온 밸브 베이스, 저온 밸브 베이스에 대응하도록 몸체부의 상측에 위치되고 모터 형태로 이루어진 저온 밸브 구동체, 저온 밸브 구동체에 연결되고 몸체부의 상면에 삽입되어 저온 밸브 베이스에 대응하도록 위치되는 저온 밸브 샤프트, 및 절연 재료로 제조되고 저온 밸브 샤프트와 저온 밸브 베이스 사이에 위치되어 저온 밸브 샤프트와 저온 밸브 베이스를 분리가능하도록 연결하는 저온 밸브 연결체를 포함하는 저온 밸브 몸체; 및 저온 밸브 몸체의 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 저온 밸브 몸체를 작동시키는 저온 조절 몸체를 포함하고, 저온 조절 몸체는 저온 밸브 구동체에 연결되고 저온 벨브 구동체를 작동시켜 저온 밸브 샤프트를 회전시키고, 저온 밸브 베이스는 저온 밸브 샤프트의 회전력에 의해 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐할 수 있다.

또한, 조절부는, 공급 유도관에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 공급 유도관에서 유체의 유량을 측정하고 출력하는 유량 센서; 및 유입 공간에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 유입 공간에서 유체의 압력을 측정하고, 유체의 압력값을 출력하는 압력 조절 센서를 더 포함하되, 공급관은 에칭 장비에 연결되고, 유량 센서에 측정된 유체의 유량에 따라 에칭 장비에 연결된 펌프는 조절되며, 압력 조절 센서는 유입 공간에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때 알람음 또는 알람 신호를 생성할 수 있다.

또한, 공급 유도관은, 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간 근처에서 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간을 따르는 방향으로 위치되고, 양 종단면이 폐쇄되며, 측면이 유입 공간 배출관을 통해 유입 공간에 연결되고 제 1 보조 공간 배출관을 통해 제 1 보조 공간에 연결되며 제 2 보조 공간 배출관을 통해 제 2 보조 공간에 연결되는 제 1 공급 유도관; 제 1 공급 유도관과 평행하도록 위치되고 제 1 종단면이 공급관에 연결되고 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 폐쇄되는 제 2 공급 유도관; 및 제 1 공급 유도관과 제 2 공급 유도관 사이에서 공급관으로부터 이격되도록 위치되고 제 1 공급 유도관과 제 2 공급 유도관을 연결하는 유도 연결관을 포함할 수 있다.

삭제

본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템은 하기와 같은 효과를 가진다.

(1) 칠러로부터 에칭 장비로 공급되는 유체의 온도가 신속하고 정확하게 조절될 수 있다.

(2) 유체의 열전달이 최소화되도록 차단될 수 있다.

(3) 유체가 신속하게 설정 온도로 조절되어 배출될 수 있다.

(4) 유지보수가 용이하게 이루어질 수 있다.

다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템이 달성할 수 있는 효과는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템을 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템에서 몸체부의 내부를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템에서 조절부의 고온 조절 밸브 또는 저온 조절 밸브가 몸체부에 설치된 모습을 도시하는 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 이를 상세한 설명을 통해 상세히 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명은 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제 1, 제 2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.

또한, 본 명세서에서, 일 구성요소가 다른 구성요소와 "연결된다" 거나 "접속된다" 등으로 언급된 때에는, 상기 일 구성요소가 상기 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 직접 접속될 수도 있지만, 특별히 반대되는 기재가 존재하지 않는 이상, 중간에 또 다른 구성요소를 매개하여 연결되거나 또는 접속될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

또한, 본 명세서에서 '~부'로 표현되는 구성요소는 2개 이상의 구성요소가 하나의 구성요소로 합쳐지거나 또는 하나의 구성요소가 보다 세분화된 기능별로 2개 이상으로 분화될 수도 있다. 또한, 이하에서 설명할 구성요소 각각은 자신이 담당하는 주기능 이외에도 다른 구성요소가 담당하는 기능 중 일부 또는 전부의 기능을 추가적으로 수행할 수도 있으며, 구성요소 각각이 담당하는 주기능 중 일부 기능이 다른 구성요소에 의해 전담되어 수행될 수도 있음은 물론이다.

이하, 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들을 차례로 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)을 도시하는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)을 도시하는 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)에서 몸체부(101)의 내부를 도시하는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)에서 조절부(104)의 고온 조절 밸브(144) 또는 저온 조절 밸브(145)가 몸체부(101)에 설치된 모습을 도시하는 도면이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)은 몸체부(101), 고온 유도부(102), 저온 유도부(103) 및 조절부(104)를 포함하고, 반도체 설비의 칠러(chiller)(미도시 됨)로부터 유체를 공급받아 에칭 장비(미도시 됨), 특히 웨이퍼의 척에 공급할 수 있다. 여기서, 유체는 에칭 장비를 냉각시키는 데에 이용될 수 있는 액체로서, 에칭 장비에 공급된 이후에 다시 칠러로 회수될 수 있고, 예를 들어, -50℃ 내지 128℃에서 액체 상태일 수 있는 3M사의 FC-3283 등일 수 있다.

몸체부(101)는 유체를 칠러로부터 에칭 장비에 공급될 수 있도록 하는 유동 경로를 형성할 수 있다. 구체적으로 후술될 고온 유도부(102), 저온 유도부(103) 및 조절부(104)는 몸체부(101)에 설치될 수 있다. 유체는 몸체부(101)의 제 1 면을 통해 몸체부(101)의 내부에 공급될 수 있고, 몸체부(101)의 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 몸체부(101)의 내부로부터 배출될 수 있다.

상기와 같은 몸체부(101)는 직육면체 형상으로 이루어질 수 있고, 본 실시예에서는 길이 및 폭에 비하여 현저하게 작은 높이를 가질 수 있다. 이러한 몸체부(101)의 내부에는 유입 공간(110) 및 한 쌍의 보조 공간들(120, 130)이 형성될 수 있다.

유입 공간(110)은 폐쇄된 형태로 이루어지되, 몸체부(101)의 내부 중앙에 형성될 수 있다.

보조 공간들(120, 130)은 각각 폐쇄된 형태로 이루어지되, 몸체부(101)의 내부에 형성되고, 상호 간에 이격되면서 그 사이에 유입 공간(110)이 위치될 수 있다. 유입 공간(110)과 보조 공간들(120, 130)은 몸체부(101)의 내부에서 동일선 상에 위치될 수 있다. 여기서, 한 쌍의 보조 공간들(120, 130) 중에서 유입 공간(110)의 좌측에 위치된 보조 공간(120)은 제 1 보조 공간(120)이라 하고, 유입 공간(110)의 우측에 위치된 보조 공간(130)은 제 2 보조 공간(130)이라 한다(도 3 참조).

또한, 몸체부(101)는 유입관(111), 공급관(112), 연결 유입관(113), 유입 유도관(114), 연결 유도관(115), 배출 유도관(116) 및 공급 유도관(117)을 포함할 수 있다.

유입관(111)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 제 1 면과 직교하도록 위치될 수 있다. 여기서, 유입관(111)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 외부에 위치될 수 있고, 유입관(111)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체부(101)의 내부에 위치될 수 있다. 또한, 유입관(111)의 제 1 종단면은 반도체 설비의 칠러에 연결되고, 칠러로부터 유체를 공급받을 수 있다.

공급관(112)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 제 1 면의 반대편인 제 2 면과 직교하도록 위치될 수 있다. 여기서, 공급관(112)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 외부에 위치될 수 있고, 공급관(112)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체부(101)의 내부에 위치될 수 있다. 또한, 공급관(112)의 제 1 종단면은 반도체 설비의 에칭 장비에 연결될 수 있고, 유체를 배출하여 에칭 장비로 공급할 수 있다.

연결 유입관(113)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 내부에서 유입 공간(110)과 유입관(111)을 연결하도록 위치될 수 있다. 여기서, 연결 유입관(113)의 제 1 종단면은 유입관(111)의 제 2 종단면에 연결될 수 있고, 연결 유입관(113)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 유입 공간(110)에 연결될 수 있다.

유입 유도관(114)은 한 쌍으로 이루어지되, 각각 파이프의 형태로 이루어지고 제 1 보조 공간(120) 및 제 2 보조 공간(130)에 연결될 수 있다. 여기서, 유입 유도관(114)들은 각각 몸체부(101)의 내부에 위치되되, 유입 유도관(114)들 각각의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 제 1 면에 인접하도록 위치되고, 유입 유도관(114)들 각각의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 제 1 보조 공간(120) 및 제 2 보조 공간(130)에 연결될 수 있다.

연결 유도관(115)은 한 쌍으로 이루어지고, 각각 구부러진 파이프의 형태로 이루어져 제 1 보조 공간(120)과 유입관(111)을 연결하고 제 2 보조 공간(130)과 유입관(111)을 연결할 수 있다. 여기서, 연결 유도관(115)들은 몸체부(101)의 내부에 위치되며, 연결 유도관(115)들 각각의 제 1 종단면은 제 1 보조 공간(120) 및 제 2 보조 공간(130)에 연결되고, 연결 유도관(115)들 각각의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 유입관(111)의 측면에 연결될 수 있다.

배출 유도관(116)은 한 쌍으로 이루어지고, 연결 유입관(113)과 유입 유도관(114) 사이에서 연결 유입관(113) 및 유입 유도관(114)과 평행하고 몸체부(101)의 제 1 면에 인접하도록 위치될 수 있다. 배출 유도관(116)들은 몸체부(101)의 내부에 위치되고, 각각 파이프의 형태로 이루어지며, 상호 간에 이격되어 각각 유입 공간(110)과 제 1 보조 공간(120) 사이 및 유입 공간(110)과 제 2 보조 공간(130) 사이에 위치될 수 있다. 여기서, 배출 유도관(116)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 제 1 면에 인접하도록 위치될 수 있고, 배출 유도관(116)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 연결 유도관(115)의 측면에 연결될 수 있다. 여기서, 배출 유도관(116)의 제 2 종단면은 제 1 보조 공간(120) 또는 제 2 보조 공간(130) 근처에 위치될 수 있다.

공급 유도관(117)은 유입 공간(110)과 공급관(112) 사이의 몸체부(101)의 내부에서 유입관(111)과 교차하는 방향을 따라 위치될 수 있다. 여기서, 공급 유도관(117)은 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130)을 따르는 방향으로 위치될 수 있다. 공급관(112)은 공급 유도관(117)을 통해 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130)에 연결될 수 있고, 유입 공간(110), 제 1 보조 공간(120) 및 제 2 보조 공간(130)은 각각 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통해 공급 유도관(117)에 연결될 수 있고, 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)은 상호 간에 이격되어 평행하도록 위치될 수 있다.

또한, 공급 유도관(117)은 제 1 공급 유도관(117a), 제 2 공급 유도관(117b) 및 유도 연결관(117c)을 포함할 수 있다.

제 1 공급 유도관(117a)은 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130) 근처에서 유입 공간(110) 및 보조 공간들(120, 130)을 따르는 방향으로 위치될 수 있고, 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)에 연결될 수 있다. 제 1 공급 유도관(117a)의 양종단면은 폐쇄되고, 제 1 공급 유도관(117a)의 측면은 유입 공간 배출관(110a), 제 1 보조 공간 배출관(120a) 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)에 연결될 수 있다.

제 2 공급 유도관(117b)은 제 1 공급 유도관(117a)과 평행하도록 위치되고 공급관(112)에 연결될 수 있다. 여기서, 제 2 공급 유도관(117b)의 제 1 종단면은 공급관(112)에 연결될 수 있고, 제 2 공급 유도관(117b)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 폐쇄될 수 있다.

유도 연결관(117c)은 제 1 공급 유도관(117a)과 제 2 공급 유도관(117b) 사이에서 공급관(112)으로부터 이격되도록 위치되고 제 1 공급 유도관(117a)과 제 2 공급 유도관(117b)을 연결할 수 있다. 여기서, 유도 연결관(117c)은 제 2 공급 유도관(117b)의 제 2 종단면 근처에 위치될 수 있다.

한편, 유체는 유입관(111)에 유입되어, 연결 유입관(113)을 통해 유입 공간(110)으로 유도될 수 있다. 경우에 따라, 유체는 유입관(111)에 유입되어, 일부는 유입 공간(110)을 향하도록 연결 유입관(113)으로 유도될 수 있고 나머지 일부는 연결 유도관(115)들 중 하나로 유도될 수 있다.

고온 유도부(102)는 몸체부(101)의 제 1 면에 위치되며, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체를 공급받고, 고온 유체를 몸체부(101)의 내부에 유입된 유체와 혼합시킬 수 있고 유체와 혼합되지 않는 고온 유체를 몸체부(101)의 내부로부터 배출시킬 수 있다. 여기서, 고온 유도부(102)는 제 1 보조 공간(120)에 대응하도록 위치될 수 있다. 구체적으로 후술될 조절부(104)에 의해, 몸체부(101)의 내부에 유입된 유체와 혼합되는 고온 유체의 양 및 유체와 혼합되지 않고 고온 유도부(102)로부터 배출되는 고온 유체의 양이 조절될 수 있다.

또한, 고온 유도부(102)는 고온 유입관(121) 및 고온 배출관(123)을 포함할 수 있다.

고온 유입관(121)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 제 1 면에 제 1 보조 공간(120)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 고온 유입관(121)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 외부에서 위치될 수 있고, 고온 배출관(123)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체부(101)의 내부에 위치되어, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114)에 연결될 수 있다.

고온 배출관(123)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 제 1 면에 위치될 수 있다. 여기서, 고온 배출관(123)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 외부에서 유입관(111)과 고온 유입관(121) 사이에 위치될 수 있고, 고온 배출관(123)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체부(101)의 내부에 위치되고 제 1 보조 공간(120)에 대응되는 배출 유도관(116)에 연결될 수 있다. 또한, 고온 배출관(123)은 고온 유입관(121)과 평행하도록 위치될 수 있다.

고온 유입관(121)의 제 1 종단면 및 고온 배출관(123)의 제 1 종단면은 고온 유체를 위한 저장 장치에 연결될 수 있다. 고온 유체는 고온 유입관(121)에 유입되어 유입 유도관(114)으로 유도되고, 제 1 보조 공간(120)에 공급될 수 있다.

제 1 보조 공간(120)에서 고온 유체의 일부가 제 1 보조 공간 배출관(120a)으로 유도될 때, 고온 유체의 나머지 일부가 연결 유도관(115)으로 유도될 수 있다. 여기서, 유입관(111)에 유입된 유체는 제 1 보조 공간 배출관(120a)으로 유도된 고온 유체와 동일한 양만큼 제 1 보조 공간(120)을 향하도록 연결 유도관(115)에 유도될 수 있다.

한편, 고온 유체의 일부는 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 통해 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유도될 수 있고(도 3의 좌측 점선 화살표 참조), 연결 유도관(115)에 유도되지 않는 유체는 연결 유입관(113), 유입 공간(110) 및 유입 공간 배출관(110a)을 통해 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유도될 수 있다(도 3의 화살표 참조). 이로 인해, 제 1 공급 유도관(117a)에서 유체는 고온 유체와 혼합되어 상승된 온도를 가질 수 있다.

또한, 연결 유도관(115)으로 유도된 고온 유체 및 유체는 고온 배출관(123)으로 유도될 수 있고(도 3의 좌측 실선 화살표 참조), 고온 유체를 위한 저장 장치로 배출될 수 있다. 고온 유체를 위한 저장 장치는 고온 유체를 생성하여 다시 고온 유입관(121)으로 유입될 수 있다.

저온 유도부(103)는 몸체부(101)의 제 1 면에서 고온 유도부(102)로부터 이격되어 위치되며, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체를 공급받고, 저온 유체를 몸체부(101)의 내부에 유입된 유체와 혼합시킬 수 있고 유체와 혼합되지 않는 저온 유체를 몸체부(101)의 내부로부터 배출시킬 수 있다. 여기서, 저온 유도부(103)는 제 2 보조 공간(130)에 대응하도록 위치될 수 있다. 구체적으로 후술될 조절부(104)에 의해 몸체부(101)의 내부에 유입된 유체와 혼합되는 저온 유체의 양 및 유체와 혼합되지 않고 저온 유도부(103)로부터 배출되는 저온 유체의 양이 조절될 수 있다.

또한, 저온 유도부(103)는 저온 유입관(131) 및 저온 배출관(133)을 포함할 수 있다.

저온 유입관(131)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 제 1 면에 제 2 보조 공간(130)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 저온 유입관(131)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 외부에 위치될 수 있고, 저온 유입관(131)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체부(101)의 내부에 위치되고 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114)에 연결될 수 있다.

저온 배출관(133)은 파이프 형태로 이루어지고, 몸체부(101)의 제 1 면에 위치될 수 있다. 여기서, 저온 배출관(133)의 제 1 종단면은 몸체부(101)의 외부에서 유입관(111)과 저온 유입관(131) 사이에 위치될 수 있고, 저온 배출관(133)의 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면은 몸체부(101)의 내부에 위치되고 제 2 보조 공간(130)에 연결된 배출 유도관(116)에 연결될 수 있다. 또한, 저온 배출관(133)은 저온 유입관(131)과 평행하도록 위치될 수 있다.

저온 유입관(131)의 제 1 종단면 및 저온 배출관(133)의 제 1 종단면은 저온 유체를 위한 저장 장치에 연결될 수 있다. 저온 유체는 저온 유입관(131)에 유입되어 유입 유도관(114)으로 유도되고, 제 2 보조 공간(130)에 공급될 수 있다.

제 2 보조 공간(130)에서 저온 유체의 일부가 제 2 보조 공간 배출관(130a)으로 유도될 때, 저온 유체의 나머지 일부가 연결 유도관(115)으로 유도될 수 있다. 여기서, 유입관(111)에 유입된 유체는 제 2 보조 공간 배출관(130a)으로 유도된 저온 유체와 동일한 양만큼 제 2 보조 공간(130)을 향하도록 연결 유도관(115)에 유도될 수 있다.

한편, 저온 유체의 일부는 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통해 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유도될 수 있고(도 3의 우측 점선 화살표 참조), 연결 유도관(115)에 유도되지 않는 유체는 연결 유입관(113), 유입 공간(110) 및 유입 공간 배출관(110a)을 통해 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유도된다(도 3의 화살표 참조). 이로 인해, 제 1 공급 유도관(117a)에서 유체는 저온 유체와 혼합되어 하강된 온도를 가질 수 있다.

또한, 연결 유도관(115)으로 유도된 저온 유체 및 유체는 저온 배출관(133)으로 유도될 수 있고(도 3의 우측 실선 화살표 참조), 저온 유체를 위한 저장 장치로 배출될 수 있다. 저온 유체를 위한 저장 장치는 저온 유체를 생성하여 다시 저온 유입관(131)으로 유입될 수 있다.

상기와 같은 고온 유도부(102) 및 저온 유도부(103)로 인해, 공급 유도관(117)에서 유체, 고온 유체 및 저온 유체가 혼합될 수 있다. 공급 유도관(117)에서 유체는 고온 유체 및 저온 유체와의 혼합으로 인해 조절된 온도를 가질 수 있고, 설정 온도로 에칭 장비에 공급될 수 있다. 이로 인해, 에칭 장비는 안정적으로 작동될 수 있다.

조절부(104)는 몸체부(101), 특히 몸체부(101)의 상면에 위치되어, 몸체부(101)의 내부에 공급되는 유체의 상태를 감지하고, 감지된 유체의 상태에 따라 유체 뿐 아니라, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 조절할 수 있다. 여기서, 유체의 상태는 유체의 온도, 압력, 유량 등을 의미할 수 있다.

특히, 조절부(104)는 칠러로부터 몸체부(101)의 내부에 공급되는 유체의 온도에 따라 유체와 혼합되는 고온 유체 및 저온 유체의 양을 조절하여 에칭 장비에 공급되도록 몸체부(101)로부터 배출되는 유체의 온도를 조절할 수 있다. 여기서, 유체는 유입 공간(110)을 통과한 이후에 공급 유도관(117)에서 설정 온도에 도달할 수 있다.

또한, 조절부(104)는 온도 센서(141), 압력 조절 센서(142), 유량 센서(143), 고온 조절 밸브(144) 및 저온 조절 밸브(145)를 포함할 수 있다.

온도 센서(141)는 몸체부(101)의 상면에 설치되어 공급 유도관(117)에 대응하도록 위치될 수 있고, 공급 유도관(117)에서 고온 유체 및 저온 유체와 혼합에 따른 유체의 온도를 측정할 수 있다. 여기서, 온도 센서(141)는 공급관(112)을 통과할 유체의 온도를 측정할 수 있다.

한편, 구체적으로 후술될 고온 조절 밸브(144) 및 저온 조절 밸브(145)는 온도 센서(141)에 측정된 온도에 따라 조절될 수 있다.

압력 조절 센서(142)는 유입 공간(110)에 대응하는 몸체부(101)의 상면에 위치되되, 유입 공간(110)에서 유체의 압력을 측정하고, 유체의 압력값을 출력할 수 있다. 즉, 압력 조절 센서(142)는 유입 공간(110)으로부터 유입 공간 배출관(110a)을 통해 공급 유도관(117)으로 유도되는 유체의 압력을 측정할 수 있다.

또한, 압력 조절 센서(142)는 유입 공간 배출관(110a)을 개방한 상태로 유지하다가, 온도 센서(141)에 측정된 온도에 따라 조절되는 고온 조절 밸브(144) 및 저온 조절 밸브(145)에 의해 공간 배출관(110a)을 개폐하도록 작동될 수 있다. 여기서, 압력 조절 센서(142)는 유입 공간(110)에서 유체의 압력을 설정 압력으로 측정하도록 작동될 수 있다.

한편, 압력 조절 센서(142)는 유입 공간(110)에서 설정 압력보다 큰 유체의 압력을 측정할 때, 알람음 또는 알람 신호를 생성할 수 있다. 여기서, 유입 공간(110)에서 설정 압력보다 큰 유체의 압력은 유입 공간(110)에서 이물질의 축적으로 인한 유입 공간(110)에 유입된 유체가 비정상적으로 유동될 때의 압력을 의미할 수 있다. 즉, 관리자는 압력 조절 센서(142)를 이용하여 유입 공간(110)에서 유체의 이상 유동을 감지하고 필요한 유지보수 작업을 용이하게 실시할 수 있다.

유량 센서(143)는 공급 유도관(117)에 대응하는 몸체부(101)의 상면에 위치되되, 공급 유도관(117)에서 유체의 유량을 측정할 수 있고 출력할 수 있다. 관리자는 유체의 유량을 확인할 수 있고, 에칭 장비에 대한 유체의 공급 상태를 확인할 수 있다.

또한, 유량 센서(143)는 공급관(112)에서 유체의 유량을 측정할 수 있고 출력할 수 있다. 특히, 유량 센서(143)가 유체의 유량을 설정 유량보다 작은 값으로 측정할 때, 에칭 장비에 연결된 펌프는 유체를 설정 유량으로 에칭 장비에 공급할 수 있도록 조절할 수 있다. 여기서, 설정 유량보다 작은 유량은 에칭 장비의 성능을 저하할 수 있는 공급관(112)에 배출되는 유체의 유량을 의미할 수 있다. 이로 인해, 유체는 일정한 유량인 설정 유량 수준으로 에칭 장비에 공급될 수 있다.

고온 조절 밸브(144)는 제 1 보조 공간(120)에 대응하도록 몸체부(101)에 위치될 수 있고, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114), 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115), 및 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 개폐할 수 있다.

예를 들어, 고온 조절 밸브(144)는 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면 및 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 개방할 수 있고 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 폐쇄할 수 있다. 여기서, 고온 유체는 고온 유입관(121)에 유입되어 유입 유도관(114)을 통해 제 1 보조 공간(120)으로 유도되고 연결 유도관(115) 및 고온 배출관(123)을 따라 유동하여 배출되어 고온 유체를 위한 저장 장치에 대하여 순환할 수 있다.

또한, 온도 센서(141)가 설정 온도보다 낮은 공급 유도관(117)의 유체 온도를 측정할 때, 고온 조절 밸브(144)는 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면을 개방한 상태로 유지하고, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 점점 폐쇄하면서 폐쇄된 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 점점 개방할 수 있다. 여기서, 고온 유체의 일부는 제 1 보조 공간(120)으로부터 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 통해 공급 유도관(117)으로 유도될 수 있고, 고온 유체의 나머지 일부만이 제 1 보조 공간(120)으로부터 연결 유도관(115)로 유도될 수 있다. 또한, 유체가 유입관(111)에 유입된 상태에서, 유체의 일부는 유입 공간(110)을 향하도록 유도될 수 있고, 유체의 나머지 일부는 제 1 보조 공간(120)을 향하도록 연결 유도관(115)에 유도될 수 있다. 여기서, 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 통과하는 고온 유체의 일부와 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 유체의 나머지 일부는 동일한 양일 수 있다.

상기와 같은 고온 조절 밸브(144)로 인하여, 고온 유체의 일부는 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 통과하여 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유입되고, 유입 공간(110)으로부터 유입 공간 배출관(110a)을 통해 제 1 공급 유도관(117a)에 유입된 유체의 일부와 혼합되어, 유체의 온도를 상승시킬 수 있다. 또한, 공급 유도관(117)에서 유체는 설정 온도에 도달할 수 있고, 고온 조절 밸브(144)는 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면 및 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면을 개방하고 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 폐쇄하도록 작동될 수 있다. 여기서, 연결 유도관(115)으로 유도된 고온 유체의 나머지 일부와 유체의 나머지 일부는 고온 배출관(123)을 따라 유동하여 배출되어 고온 유체를 위한 저장 장치에 공급될 수 있다.

또한, 고온 조절 밸브(144)는 고온 밸브 몸체(144a) 및 고온 조절 몸체(144b)를 포함할 수 있다.

고온 밸브 몸체(144a)는 제 1 보조 공간(120)에서, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 및 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 개폐하도록 작동될 수 있다. 또한, 고온 밸브 몸체(144a)는 고온 밸브 베이스(1441), 고온 밸브 구동체(1442), 고온 밸브 샤프트(1443) 및 고온 밸브 연결체(1444)를 포함할 수 있다.

고온 밸브 베이스(1441)는 제 1 보조 공간(120)에 삽입되어 위치되고, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면을 개방하고, 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 및 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 개폐할 수 있다.

고온 밸브 구동체(1442)는 모터 형태로 이루어지되, 고온 밸브 베이스(1441)에 대응하도록 몸체부(101)의 상측에 위치될 수 있다.

고온 밸브 샤프트(1443)는 막대 형태로 이루어지되, 고온 밸브 구동체(1442)에 연결되고 몸체부(101)의 상면에 삽입되어 고온 밸브 베이스(1441)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 고온 밸브 샤프트(1443)는 고온 밸브 구동체(1442)의 중앙을 축으로 하여 회전될 수 있다.

고온 밸브 연결체(1444)는 고온 밸브 샤프트(1443)와 고온 밸브 베이스(1441) 사이에 위치되고 고온 밸브 샤프트(1443)와 고온 밸브 베이스(1441)를 분리가능하도록 연결할 수 있다. 여기서, 고온 밸브 샤프트(1443)가 회전될 때, 고온 밸브 샤프트(1443)의 회전력은 고온 밸브 연결체(1444)를 통해 고온 밸브 베이스(1441)에 전달되어 고온 밸브 베이스(1441)를 회전시킬 수 있다. 또한, 고온 밸브 연결체(1444)는 절연 재료로 제조되어, 고온 밸브 베이스(1441)와 고온 밸브 샤프트(1443) 사이의 열전달을 차단할 수 있다. 이로 인해, 고온 유체는 제 1 보조 공간(120)에서 안정적으로 온도를 유지할 수 있다. 특히, 고온 밸브 연결체(1444)는 테프론(Teflon)으로 제조되어 양호한 절연성 뿐 아니라 내열성, 내약품성을 제공할 수 있다. 여기서, 테프론은 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE; Poly Tetra Fluoro Ethylene)을 의미한다.

상기와 같은 고온 밸브 몸체(144a)는 제 1 보조 공간(120)과 조합하여 삼방 밸브의 형태로 이루어질 수 있다.

고온 조절 몸체(144b)는 고온 밸브 몸체(144a)에 연결되어 몸체부(101)의 상면에 위치되고, 고온 밸브 몸체(144a)를 작동시킬 수 있다. 본 실시예의 고온 조절 몸체(144b)는 온도 센서(141)에 의해 측정된 공급 유도관(117)의 유체 온도에 따라 고온 밸브 몸체(144a)를 작동시킬 수 있다.

상기와 같은 고온 조절 몸체(144b)는 고온 밸브 구동체(1442)에 연결되고 고온 밸브 구동체(1442)를 작동시킬 수 있다. 여기서, 고온 밸브 구동체(1442)는 고온 밸브 샤프트(1443)를 회전시키고, 고온 밸브 샤프트(1443)의 회전력은 고온 밸브 베이스(1441)를 회전시킬 수 있다. 또한, 고온 밸브 베이스(1441)는 제 1 보조 공간(120)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 및 제 1 보조 공간 배출관(120a)을 개폐할 수 있다.

저온 조절 밸브(145)는 제 2 보조 공간(130)에 대응하도록 몸체부(101)에 위치될 수 있고, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114), 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115), 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 개폐할 수 있다.

예를 들어, 저온 조절 밸브(145)는 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면 및 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 개방할 수 있고 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 폐쇄할 수 있다. 여기서, 저온 유체는 저온 유입관(131)에 유입되어 유입 유도관(114)을 통해 제 2 보조 공간(130)으로 유도되고, 연결 유도관(115) 및 저온 배출관(133)을 따라 유동하여 배출되어 저온 유체를 위한 저장 장치에 대하여 순환할 수 있다.

또한, 온도 센서(141)가 설정 온도보다 높은 공급 유도관(117)의 유체 온도를 측정할 때, 저온 조절 밸브(145)는 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면을 개방한 상태로 유지하고, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면을 점점 폐쇄하면서 폐쇄된 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 점점 개방할 수 있다. 여기서, 저온 유체의 일부는 제 2 보조 공간(130)으로부터 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통해 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)으로 유도될 수 있고, 저온 유체의 나머지 일부는 제 2 보조 공간(120)으로부터 연결 유도관(115)로 유도될 수 있다. 또한, 유체가 유입관(111)에 유입된 상태에서, 유체의 일부는 유입 공간(110)을 향하도록 유도될 수 있고, 유체의 나머지 일부는 제 2 보조 공간(130)을 향하도록 연결 유도관(115)에 유도될 수 있다. 여기서, 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 통과하는 저온 유체의 일부와 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 유체의 나머지 일부는 동일한 양일 수 있다.

상기와 같은 저온 조절 밸브(145)로 인하여, 저온 유체의 일부는 제 1 보조 공간 배출관(130a)을 통과하여 공급 유도관(117)의 제 1 공급 유도관(117a)에 유입되고, 유입 공간(110)으로부터 유입 공간 배출관(110a)을 통해 제 1 공급 유도관(117a)에 유입된 유체의 일부와 혼합되어, 유체의 온도를 하강시킬 수 있다. 또한, 공급 유도관(117)에서 유체는 설정 온도에 도달할 수 있고, 저온 조절 밸브(145)는 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면 및 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면을 개방하고 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 폐쇄하도록 작동될 수 있다. 여기서, 연결 유도관(115)으로 유도된 저온 유체의 나머지 일부와 유체의 나머지 일부는 저온 배출관(133)을 따라 유동하여 배출되어 저온 유체를 위한 저장 장치에 공급될 수 있다.

또한, 저온 조절 밸브(145)는 저온 밸브 몸체(145a) 및 저온 조절 몸체(145b)를 포함할 수 있다.

저온 밸브 몸체(145a)는 제 2 보조 공간(130)에서, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 개폐하도록 작동될 수 있다. 또한, 저온 밸브 몸체(145a)는 저온 밸브 베이스(1451), 저온 밸브 구동체(1452), 저온 밸브 샤프트(1453) 및 저온 밸브 연결체(1454)를 포함할 수 있다.

저온 밸브 베이스(1451)는 제 2 보조 공간(130)에 삽입되어 위치되고, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 유입 유도관(114)의 제 2 종단면을 개방하고, 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 개폐할 수 있다.

저온 밸브 구동체(1452)는 모터 형태로 이루어지되, 저온 밸브 베이스(1451)에 대응하도록 몸체부(101)의 상측에 위치될 수 있다.

저온 밸브 샤프트(1453)는 막대 형태로 이루어지되, 저온 밸브 구동체(1452)에 연결되고 몸체부(101)의 상면에 삽입되어 저온 밸브 베이스(1451)에 대응하도록 위치될 수 있다. 여기서, 저온 밸브 샤프트(1453)는 저온 밸브 구동체(1452)의 중앙을 축으로 하여 회전될 수 있다.

저온 밸브 연결체(1454)는 저온 밸브 샤프트(1453)와 저온 밸브 베이스(1451) 사이에 위치되고 저온 밸브 샤프트(1453)와 저온 밸브 베이스(1451)를 분리가능하도록 연결할 수 있다. 여기서, 저온 밸브 샤프트(1453)가 회전될 때, 저온 밸브 샤프트(1445)의 회전력은 저온 밸브 연결체(1454)를 통해 저온 밸브 베이스(1451)에 전달되어 저온 밸브 베이스(1451)를 회전시킬 수 있다. 또한, 저온 밸브 연결체(1454)는 절연 재료로 제조되어, 저온 밸브 베이스(1451)와 저온 밸브 샤프트(1453) 사이의 열전달을 차단할 수 있다. 이로 인해, 저온 유체는 제 2 보조 공간(130)에서 안정적으로 온도를 유지할 수 있다. 특히, 저온 밸브 연결체(1454)는 테프론(Teflon)으로 제조되어 양호한 절연성 뿐 아니라 내열성, 내약품성을 제공할 수 있다.

상기와 같은 저온 밸브 몸체(145a)는 제 2 보조 공간(130)과 조합하여 삼방 밸브의 형태로 이루어질 수 있다.

저온 조절 몸체(145b)는 저온 밸브 몸체(145a)에 연결되어 몸체부(101)의 상면에 위치되고, 저온 밸브 몸체(145a)를 작동시킬 수 있다. 본 실시예의 저온 조절 몸체(145b)는 온도 센서(141)에 의해 측정된 공급 유도관(117)의 유체 온도에 따라 저온 밸브 몸체(145a)를 작동시킬 수 있다.

상기와 같은 저온 조절 몸체(145b)는 저온 밸브 구동체(1452)에 연결되고 저온 밸브 구동체(1452)를 작동시킬 수 있다. 여기서, 저온 밸브 구동체(1452)는 저온 밸브 샤프트(1453)를 회전시키고, 저온 밸브 샤프트(1453)의 회전력은 저온 밸브 베이스(1451)를 회전시킬 수 있다. 또한, 저온 밸브 베이스(1451)는 제 2 보조 공간(130)에 연결된 연결 유도관(115)의 제 1 종단면, 및 제 2 보조 공간 배출관(130a)을 개폐할 수 있다.

상기와 같이 고온 조절 밸브(144) 및 저온 조절 밸브(145)는 유입관(111)을 통해 몸체부(101)의 내부에 유입된 유체와 혼합되는 고온 유체 및 저온 유체의 양을 조절할 수 있다. 여기서, 고온 유체 및 저온 유체는 유체의 온도를 설정 온도에 도달하도록 조절할 수 있다. 유체는 고온 유체 및 저온 유체와의 혼합을 통해 조절된 온도로 에칭 장비에 공급될 수 있다.

한편, 본 실시예의 조절부(104)는 보조 센서(146)를 더 포함할 수 있다.

보조 센서(146)는 복수 개로 이루어지되, 각각 고온 유입관(121), 고온 배출관(123), 저온 유입관(131) 및 저온 배출관(133)에 대응하도록 몸체부(101)의 상면에 위치될 수 있다. 여기서, 보조 센서(146)는 몸체부(101)의 내부에 공급되고 몸체부(101)의 내부로부터 배출되는 고온 유체의 온도 및 저온 유체의 온도를 측정할 수 있다. 측정된 고온 유체의 온도 및 저온 유체의 온도는 몸체부(101)의 내부에 대한 고온 유체 및 저온 유체의 공급 상태를 확인할 수 있고, 저장 장치에서 고온 유체 및 저온 유체의 온도를 조절하는 데에 이용될 수 있다.

본 실시예의 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)에서 몸체부(101)는 유체를 칠러로부터 공급받아 에칭 장비로 공급할 수 있다. 고온 유도부(102) 및 저온 유도부(103)는 몸체부(101)에 설치되어 고온 유체 및 저온 유체를 몸체부(101)의 내부에 대하여 공급하고 배출하여 순환시킴으로써 에칭 장비에 공급되는 유체에 혼합되도록 할 수 있다. 여기서, 조절부(104)는 몸체부(101)의 내부에서 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 조절하여 유체를 고온 유체 및 저온 유체와 혼합하여 유체의 온도를 조절할 수 있다. 이로 인해, 유체는 몸체부(101)의 내부에 고온 유체 및 저온 유체에 의해 조절되어 에칭 장비로 공급될 수 있다. 따라서, 본 실시예의 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)은 상이한 온도를 갖는 유체의 혼합되는 정도를 조절하여 에칭 장비에 공급되는 유체의 온도를 신속하게 조절할 수 있다.

또한, 본 실시예의 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)은 몸체부(101)의 내부에 유로를 형성하여 조절부(104)를 이용하여 유체의 유동을 조절할 수 있는 구조를 갖는다. 이로 인해, 본 실시예의 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)은 상대적으로 간단한 구조로 이루어져 용이하게 유지보수될 수 있다.

한편, 조절부(104), 특히 압력 조절 센서(142)는 네트워크를 통해 관리 서버(미도시됨)와 연결될 수 있고, 관리 서버는 네트워크를 통해 관리자 단말기(10)와 연결될 수 있다. 또한, 조절부(104)는 압력 조절 센서(142)를 통해 유입 공간(110)에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때, 알림 정보를 생성하여 관리 서버에 전송하고, 관리 서버는 전송받은 알림 정보를 관리자 단말기(10)에 전송할 수 있다. 여기서, 알림 정보는 유체의 압력이 설정 압력 이상으로 측정된 압력 조절 센서(142)에 대응되는 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)의 위치, 압력 조절 센서(142)에 의해 측정된 압력값 및 알림 메시지(예를 들어, "밸브 시스템이 막힐 수 있습니다."등의 내용)를 포함할 수 있다. 알림 정보는 관리자 단말기(10)에 출력될 수 있고, 관리자는 알림 정보에 대한 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)을 직접 확인하고 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)의 상태에 따른 조치를 취할 수 있다.

한편, 알림 정보는 온도 컨트롤 밸브 시스템(100)의 현재 상태를 나타내는 정보로써, 조절부(104)는 주기적으로 관리 서버에 전송할 수 있다.

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이상, 본 발명의 기술적 사상을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 상기 실시예들에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형 및 변경이 가능하다.

100: 온도 컨트롤 밸브 시스템
101: 몸체부
102: 고온 유도부
103: 저온 유도부
104: 조절부

Claims (10)

1. 유체가 제 1 면을 통해 공급되고 제 1 면의 반대편인 제 2 면을 통해 배출되는 몸체부;
   몸체부의 제 1 면에 대응되도록 위치되고, 유체보다 높은 온도를 갖는 고온 유체가 몸체부의 내부에 공급되어 유체와 혼합될 수 있고, 유체와 혼합되지 않는 고온 유체가 몸체부의 내부로부터 배출되는 고온 유도부;
   몸체부의 제 1 면에 대응되면서 고온 유도부로부터 이격되어 위치되고, 유체보다 낮은 온도를 갖는 저온 유체가 몸체부의 내부에 공급되어 유체와 혼합될 수 있고, 유체와 혼합되지 않는 저온 유체가 몸체부의 내부로부터 배출되는 저온 유도부; 및
   몸체부의 상면에 위치되며, 몸체부의 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 열전달을 차단하고, 몸체부의 내부에 공급된 유체의 상태를 감지하고 감지된 유체의 상태에 따라 유체, 고온 유체 및 저온 유체의 유동을 조절하는 조절부를 포함하되,
   조절부는 몸체부의 내부에 공급된 유체를 고온 유체 및 저온 유체 중 적어도 하나와 혼합시켜 설정 온도로 몸체부의 내부로부터 배출시키고,
   몸체부의 내부에는 폐쇄된 형태의 유입 공간이 형성되고, 상호 간에 이격되어 그 사이에 유입 공간이 위치되도록 각각 폐쇄된 형태의 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간이 형성되며,
   몸체부는,
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면과 직교하도록 위치되며, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되고 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체부의 내부에 위치되는 유입관;
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면의 반대편인 제 2 면과 직교하도록 위치되며, 제 1 종단면이 몸체의 외부에 위치되고 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 몸체부의 내부에 위치되는 공급관;
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에 위치되어 유입관과 유입 공간을 연결하는 연결 유입관;
   각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에서 제 1 보조 공간과 고온 유도부를 연결하고 제 2 보조 공간과 저온 유도부를 연결하는 한 쌍의 유입 유도관;
   각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에서 유입관과 제 1 보조 공간을 연결하고 유입관과 제 2 보조 공간을 연결하는 한 쌍의 연결 유도관;
   각각 파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 내부에서 유입 유도관과 평행하면서 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관과 고온 유도부를 연결하거나, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관과 저온 유도부를 연결하는 한 쌍의 배출 유도관; 및
   몸체부의 내부에서 유입 공간과 공급관 사이에 위치되고, 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간을 공급관에 연결하는 공급 유도관을 포함하고,
   고온 유체가 고온 유도부를 통해 제 1 보조 공간에 연결되는 유입 유도관 및 제 1 보조 공간에 유입되고, 저온 유체가 저온 유도부를 통해 제 2 보조 공간에 연결되는 유입 유도관 및 제 2 보조 공간에 유입되며,
   유체가 유입관에 유입되고 연결 유도관 및 유입 공간을 통과한 후에 공급 유도관에 유입될 때, 조절부는 공급 유도관의 유체 온도에 따라 제 1 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 고온 유체의 양 및 제 2 보조 공간부터 공급 유도관에 유도되는 저온 유체의 양을 조절하여 유체를 설정 온도로 공급관을 통해 배출시키는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
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3. 제1항에 있어서, 고온 유도부는,
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 제 1 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 고온 유입관; 및
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 고온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관에 배출 유도관을 통해 연결되는 고온 배출관을 포함하되,
   고온 유체가 고온 유입관 및 유입 유도관을 통해 제 1 보조 공간에 유도된 상태에서, 조절부는 제 1 보조 공간으로부터 공급 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양 및 제 1 보조 공간으로부터 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관으로 유도되는 고온 유체의 양을 조절하며,
   제 1 보조 공간에서 고온 유체의 일부가 제 1 보조 공간 배출관으로 유도될 때, 고온 유체의 나머지 일부가 제 1 보조 공간으로부터 연결 유도관으로 유도되고, 유체가 유입관에 유입된 상태에서 유체의 일부는 유입 공간을 향하도록 유도되고, 유체의 나머지 일부는 제 1 보조 공간 배출관으로 유도된 고온 유체의 일부와 동일한 양만큼 제 1 보조 공간을 향하도록 연결 유도관에 유도되는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
4. 제3항에 있어서, 저온 유도부는,
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 제 2 보조 공간에 대응하도록 위치되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관에 연결되는 저온 유입관; 및
   파이프 형태로 이루어지되, 몸체부의 제 1 면에서 저온 유입관으로부터 이격되고, 제 1 종단면이 몸체부의 외부에 위치되며, 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관에 배출 유도관을 통해 연결되는 저온 배출관을 포함하되,
   저온 유체가 저온 유입관 및 유입 유도관을 통해 제 2 보조 공간에 유도된 상태에서, 조절부는 제 2 보조 공간으로부터 공급 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양 및 제 2 보조 공간으로부터 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관으로 유도되는 저온 유체의 양을 조절하며,
   제 2 보조 공간에서 저온 유체의 일부가 제 2 보조 공간 배출관으로 유도될 때, 저온 유체의 나머지 일부가 제 2 보조 공간으로부터 연결 유도관으로 유도되고, 유체가 유입관에 유입된 상태에서 유체의 일부는 유입 공간을 향하도록 유도되고, 유체의 나머지 일부는 제 2 보조 공간 배출관으로 유도된 저온 유체의 일부와 동일한 양만큼 제 2 보조 공간을 향하도록 연결 유도관에 유도되는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
5. 제1항에 있어서, 조절부는,
   몸체부의 상면에 설치되어 공급 유도관에 대응하도록 위치되고, 공급 유도관에서 고온 유체 및 저온 유체와 혼합된 유체의 온도를 측정하는 온도 센서;
   제 1 보조 공간에 대응하도록 몸체부에 위치되고, 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관, 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간과 공급 유도관을 연결하는 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하는 고온 조절 밸브; 및
   제 2 보조 공간에 대응하도록 몸체부에 위치되고, 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간과 공급 유도관을 연결하는 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하는 저온 조절 밸브를 포함하되,
   고온 조절 밸브는 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고 제 1 보조 공간 배출관을 폐쇄하며, 저온 조절 밸브는 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고 제 2 보조 공간 배출관을 폐쇄하며,
   온도 센서가 설정 온도보다 낮은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 고온 조절 밸브는 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 점점 폐쇄하면서 제 1 보조 공간 배출관을 점점 개방하고,
   온도 센서가 설정 온도보다 높은 공급 유도관의 유체 온도를 측정할 때, 저온 조절 밸브는 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관을 점점 폐쇄하면서 제 2 보조 공간 배출관을 점점 개방하는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
6. 제5항에 있어서, 고온 조절 밸브는,
   제 1 보조 공간에 삽입되어 위치되고, 제 1 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고, 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐할 수 있는 고온 밸브 베이스, 고온 밸브 베이스에 대응하도록 몸체부의 상측에 위치되고 모터 형태로 이루어진 고온 밸브 구동체, 고온 밸브 구동체에 연결되고 몸체부의 상면에 삽입되어 고온 밸브 베이스에 대응하도록 위치되는 고온 밸브 샤프트, 및 절연 재료로 제조되고 고온 밸브 샤프트와 고온 밸브 베이스 사이에 위치되어 고온 밸브 샤프트와 고온 밸브 베이스를 분리가능하도록 연결하는 고온 밸브 연결체를 포함하는 고온 밸브 몸체; 및
   고온 밸브 몸체의 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 고온 밸브 몸체를 작동시키는 고온 조절 몸체를 포함하고,
   고온 조절 몸체는 고온 밸브 구동체에 연결되고 고온 벨브 구동체를 작동시켜 고온 밸브 샤프트를 회전시키고, 고온 밸브 베이스는 고온 밸브 샤프트의 회전력에 의해 제 1 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 1 보조 공간 배출관을 개폐하는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
7. 제5항에 있어서, 저온 조절 밸브는,
   제 2 보조 공간에 삽입되어 위치되고, 제 2 보조 공간에 연결된 유입 유도관을 개방하고, 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐할 수 있는 저온 밸브 베이스, 저온 밸브 베이스에 대응하도록 몸체부의 상측에 위치되고 모터 형태로 이루어진 저온 밸브 구동체, 저온 밸브 구동체에 연결되고 몸체부의 상면에 삽입되어 저온 밸브 베이스에 대응하도록 위치되는 저온 밸브 샤프트, 및 절연 재료로 제조되고 저온 밸브 샤프트와 저온 밸브 베이스 사이에 위치되어 저온 밸브 샤프트와 저온 밸브 베이스를 분리가능하도록 연결하는 저온 밸브 연결체를 포함하는 저온 밸브 몸체; 및
   저온 밸브 몸체의 연결되어 온도 센서에 의해 측정된 공급 유도관의 유체 온도에 따라 저온 밸브 몸체를 작동시키는 저온 조절 몸체를 포함하고,
   저온 조절 몸체는 저온 밸브 구동체에 연결되고 저온 벨브 구동체를 작동시켜 저온 밸브 샤프트를 회전시키고, 저온 밸브 베이스는 저온 밸브 샤프트의 회전력에 의해 제 2 보조 공간에 연결된 연결 유도관 및 제 2 보조 공간 배출관을 개폐하는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
8. 제5항에 있어서, 조절부는,
   공급 유도관에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 공급 유도관에서 유체의 유량을 측정하고 출력하는 유량 센서; 및
   유입 공간에 대응하는 몸체의 상면에 위치되되, 유입 공간에서 유체의 압력을 측정하고, 유체의 압력값을 출력하는 압력 조절 센서를 더 포함하되,
   공급관은 에칭 장비에 연결되고, 유량 센서에 측정된 유체의 유량에 따라 에칭 장비에 연결된 펌프는 조절되며,
   압력 조절 센서는 유입 공간에서 유체의 압력을 설정 압력 이상으로 측정할 때 알람음 또는 알람 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
9. 제1항에 있어서, 공급 유도관은,
   유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간 근처에서 유입 공간, 제 1 보조 공간 및 제 2 보조 공간을 따르는 방향으로 위치되고, 양 종단면이 폐쇄되며, 측면이 유입 공간 배출관을 통해 유입 공간에 연결되고 제 1 보조 공간 배출관을 통해 제 1 보조 공간에 연결되며 제 2 보조 공간 배출관을 통해 제 2 보조 공간에 연결되는 제 1 공급 유도관;
   제 1 공급 유도관과 평행하도록 위치되고 제 1 종단면이 공급관에 연결되고 제 1 종단면의 반대편인 제 2 종단면이 폐쇄되는 제 2 공급 유도관; 및
   제 1 공급 유도관과 제 2 공급 유도관 사이에서 공급관으로부터 이격되도록 위치되고 제 1 공급 유도관과 제 2 공급 유도관을 연결하는 유도 연결관을 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 컨트롤 밸브 시스템.
   
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