KR100785313B1 - 냉각장치 - Google Patents

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KR100785313B1
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Abstract

본 발명은 냉각장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고온 냉각제가 수용되는 고온탱크와 저온 냉각제가 수용되는 저온탱크를 구비하여 열교환기에서 냉각수와 저온 냉각제가 열교환 되는 냉각장치에 관한 것이다.
이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 냉각장치는 저온 냉각제와, 대상 장비를 경유한 고온 냉각제를 유입시켜 상기 저온 냉각제와 고온 냉각제를 혼합시키는 고온탱크와, 상기 저온 냉각제를 수용하는 저온탱크와, 냉각수와, 상기 저온탱크로부터 유출된 저온 냉각제를 유입시켜 열교환시키는 열교환기와, 상기 고온탱크에 저장된 냉각제가 상기 대상 장비를 경유하여 상기 고온탱크로 유입되도록 연결된 고온 냉각제순환배관과, 상기 저온탱크에 저장된 저온 냉각제가 상기 열교환기에 공급되어 상기 저온탱크로 유입되도록 연결된 저온 냉각제순환배관과, 상기 저온 냉각제를 상기 고온탱크에 공급시키는 저온 냉각수 유입관과, 상기 고온탱크에서 저온 냉각제와 고온 냉각제가 혼합되어 넘치는 냉각제가 상기 저온탱크로 유입되도록 상기 고온탱크와 상기 저온탱크에 연결된 배수관과, 상기 냉각수가 공급되는 냉각수배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
칠러, ALD, 고온탱크, 저온탱크, 열교환기, 냉각장치

Description

냉각장치{REFRIGERATING DEVICE}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 냉각장치의 개념도,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각장치의 개념도,
도 3은 종래의 냉각장치의 개념도이다.
<주요 도면부호에 대한 간단한 설명>
10 : 고온탱크 20 : 저온탱크
21 : 저온 냉각제순환배관 30 : ALD용 장비
31 : 고온 냉각제 순환배관 40 : 열교환기
50 : 제1순환펌프 60 : 제2순환펌프
본 발명은 냉각장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고온 냉각제가 수용되는 고온탱크와 저온 냉각제가 수용되는 저온탱크를 구비하여 열교환기에서 냉각수와 저온 냉각제가 열교환 되는 냉각장치에 관한 것이다.
본 발명은 고온을 발생시키는 장비를 냉각시키는 장치이며, 특히 반도체공정 장비 등에 응용될 수 있다.
도 2는 종래의 냉각장치이다. 도 2에 도시된 종래의 냉각장치는 원자층 증착 장치(Atomic Laver Deposition, 이하 "ALD"라 함)를 냉각시키는 장치이다.
종래의 냉각장치는 냉각제탱크(110), 열교환기(130), 순환펌프(140), 냉각제순환배관(121), 냉각수순환배관(131)을 구비한다.
냉각제탱크(110)에는 가열된 ALD장비(120)를 냉각시킬 냉각제가 수용되며, 또한, 내부에는 냉각제가열수단(111)이 구비된다. 냉각제순환배관(121)은 냉각제탱크(110)의 냉각제가 ALD용 장비(120)를 경유하여 열교환기(130)에 유입된 후 냉각제탱크(110)로 유입되도록 냉각제탱크(110), ALD용 장비(120), 열교환기(130)에 연결된다. 순환펌프(140)는 냉각제가 순환되도록 냉각제순환배관(121)에 설치된다.
냉각수배관(131)은 냉각수가 열교환기(130)에 공급되어 나가도록 열교환기(130)에 연결된다. 따라서 열교환기(130)는 ALD용 장비(120)를 경유한 냉각제와 냉각수의 열교환을 시킨다. 또한 식별번호 153은 유량계이며, 151은 온도센서이다.
냉각제탱크(110) 내부의 냉각제는 순환펌프(140)에 의하여 ALD용 장비(120)에 공급된다. ALD용 장비(120)는 작업을 진행하면 고온으로 올라간다. 따라서 냉각제는 고온의 ALD용 장비(120)를 냉각시키고, 가열된 냉각제는 냉각제순환배관(121)을 통하여 열교환기(130)로 공급된다. 열교환기(130)에는 냉각수순환배관(131)을 통하여 저온의 냉각수가 공급되며, 냉각제순환배관(121)을 통하여 고온의 냉각제가 공급된다. 따라서 열교환기(130) 내부에서 냉각제는 냉각수와 열교환하여 냉각되며, 냉각된 냉각제는 저장탱크(110)으로 유입된다. 저장탱크(110) 내부에서 냉각제는 온도가열수단(111)에 의하여 일정한 온도로 가열되어 다시 ALD용 장비로 공급된 다.
ALD용 장비는 작업 중 200℃이상 상승되며, ALD용 장비로 유입되는 냉각제의 온도는 대략 150℃ 정도이다. 따라서 ALD용 장비를 경유한 냉각제는 160 ~ 180℃ 정도까지 가열된다. 또한, 열교환기에 공급되는 냉각수의 온도는 20℃ 가량이고, 열교환기에서는 20℃ 가량의 냉각수와 160 ~ 180℃의 냉각제 간에 열교환이 일어난다. 냉각수가 160 ~ 180℃ 정도의 고온의 냉각제와 열교환을 하므로 냉각수는 끓는 점 이상까지 상승하게 된다. 열교환기 내부에서 냉각수가 끓는점 이상까지 가열되어 공동현상(Cavitation)이 발생하며, 이에 의하여 열교환기에는 침식이 발생하고 균열이 발생하여 열교환기가 손상된다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로 본 발명의 목적은 열교환기 내부에서 냉각수가 끓는 것을 방지하여 열교환기가 손상되는 것을 방지시킨 냉각장치를 제공하기 위함이다.
이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 냉각장치는 저온 냉각제와, 대상 장비를 경유한 고온 냉각제를 유입시켜 상기 저온 냉각제와 고온 냉각제를 혼합시키는 고온탱크와, 상기 저온 냉각제를 수용하는 저온탱크와, 냉각수와, 상기 저온탱크로부터 유출된 저온 냉각제를 유입시켜 열교환시키는 열교환기와, 상기 고온탱크에 저장된 냉각제가 상기 대상 장비를 경유하여 상기 고온탱크로 유입되도록 연결된 고온 냉각제순환배관과, 상기 저온탱크에 저장된 저온 냉각제가 상기 열교환 기에 공급되어 상기 저온탱크로 유입되도록 연결된 저온 냉각제순환배관과, 상기 저온 냉각제를 상기 고온탱크에 공급시키는 저온 냉각수 유입관과, 상기 고온탱크에서 저온 냉각제와 고온 냉각제가 혼합되어 넘치는 냉각제가 상기 저온탱크로 유입되도록 상기 고온탱크와 상기 저온탱크에 연결된 배수관과, 상기 냉각수가 상기 열교환기에 유입되어 저온냉각제와 열교환 되어 유출되도록 연결된 냉각수배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기의 냉각장치는 상기 고온 냉각제가 순환되도록 상기 고온 냉각제순환배관에 설치된 제1순환펌프와, 상기 저온 냉각제가 순환되도록 상기 저온 냉각제순환배관에 설치된 제2순환펌프를 더 포함할 수 있다.
이 경우 상기의 냉각장치의 상기 저온 냉각수 유입관은 상기 저온 냉각수가 상기 열교환기에서 유출되는 상기 저온 냉각제순환배관과 상기 고온탱크에 연결된 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 상기 저온탱크와 상기 고온탱크를 일정 압력으로 유지시키기 위하여 상기 저온탱크와 상기 고온탱크에 연결된 정압유지관을 더 포함한다. 또한, 상기 고온탱크에는 냉각제의 온도를 일정한 온도로 가열시키는 가열수단을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 저온 냉각제순환배관에는 상기 고온탱크로 유입되는 저온 냉각제의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브가 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 다른 실시예의 냉각장치는 저온 냉각제를 수용하는 저온탱크부와, 고온 냉각제를 수용하며 일정 량 이상이 수용되면 상기 저온탱크부로 유입되도록 상기 저온탱크부와 연통된 고온탱크부를 구비한 냉각 제탱크와, 냉각수와 상기 저온 냉각제를 열교환시키는 열교환기와, 상기 고온탱크부에 수용된 상기 고온 냉각제가 대상 장비를 경유하여 상기 고온탱크부로 유입되도록 연결된 고온 냉각제순환배관과, 상기 저온탱크부에 수용된 저온 냉각제가 상기 열교환기에 공급되어 상기 저온탱크부로 유입되도록 연결된 저온 냉각제순환배관과, 상기 열교환기에서 유출된 저온 냉각제를 상기 고온탱크부에 공급시키는 저온 냉각수 유입관과, 상기 냉각수가 상기 열교환기에 유입되어 저온냉각제와 열교환 되어 유출되도록 연결된 냉각수배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 경우 상기 냉각장치는 상기 고온 냉각제가 순환되도록 상기 고온 냉각제순환배관에 설치된 제1순환펌프와, 상기 저온 냉각제가 순환되도록 상기 저온 냉각제순환배관에 설치된 제2순환펌프를 더 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 고온탱크부에는 냉각제의 온도를 일정한 온도로 가열시키는 가열수단을 더 포함하는 것이 더 바람직하다. 또한, 상기 저온 냉각제순환배관에는 상기 고온탱크부로 유입되는 저온 냉각제의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브가 설치되는 것이 더 바람직하다.
이하에서는, 본 발명에 따른 냉각장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 냉각장치의 실시예의 개념도이다.
냉각장치는 고온탱크(10), 저온탱크(20), 열교환기(40), 제1순환펌프(50), 제2순환펌프(60), 고온 냉각제순환배관(31), 저온 냉각제순환배관(21), 저온 냉각제 유입관(11), 냉각수배관(41), 배수관(13) 및 정압유지관(15)을 구비한다.
고온탱크(10)는 고온냉각제를 수용하며, 저온탱크(20)는 저온냉각제를 수용하며, 열교환기(40)는 저온냉각제와 냉각수를 열교환 시킨다.
고온 냉각제순환배관(31)은 고온탱크(10)에 수용된 고온냉각제가 ALD용 장비(30)를 경유하여 고온탱크(10)에 유입되도록 고온탱크(10)와 ALD용 장비(30)에 연결된다. 제1순환펌프(50)는 상기의 고온냉각제가 고온 냉각제순환배관(31)에서 순환되도록 고온 냉각제순환배관(31)에 설치된다. ALD용 장비(30)는 작업시 200℃ 이상 상승된다. 또한, ALD용 장비(30)에 공급되는 고온 냉각제는 150℃ 가량이다. 따라서 고온탱크(10)에 수용된 고온냉각제는 ALD용 장비(30)에 유입되어 가열된 ALD용 장비(30)를 냉각시킨 후 다시 고온탱크(10)로 유입된다. 이때 ALD용 장비(30)를 냉각시킨 후 가열된 고온 냉각제는 160 ~ 180℃ 가량이다.
냉각수배관(41)은 저온의 냉각수가 열교환기(40)에 공급되어 저온냉각제와 열교환 후 나가도록 열교환기(40)에 연결된다. 냉각수배관(41)을 통하여 열교환기(40)에 공급되는 냉각수의 온도는 20℃ 가량이다.
저온 냉각제순환배관(21)은 저온탱크(20)에 수용된 저온냉각제가 열교환기(40)를 경유하여 저온탱크(20)에 유입되도록 저온탱크(20)와 열교환기(40)에 연결된다. 제2순환펌프(60)는 상기의 저온냉각제가 저온 냉각제순환배관(21)에서 순환되도록 저온 냉각제순환배관(21)에 설치된다. 저온탱크(20)에 수용된 저온냉각제의 온도는 40 ~ 50℃ 가량이다. 저온탱크(20)에 수용된 저온냉각제는 저온 냉각제순환배관(21)을 통하여 열교환기(40)에 유입되며, 따라서 열교환기(40)에서 40 ~ 50 ℃ 가량의 저온 냉각제와 20 ℃ 가량의 냉각수 간의 열교환이 일어난다. 열교환 기(40)에 공급되는 저온 냉각제의 온도는 40 ~ 50 ℃ 가량이므로 냉각수는 끓는점까지 가열되지 아니하며, 열교환기(40) 내부에서 액체 상태가 유지된다. 따라서 열교환기(40)에는 공동현상이 발생 되지 아니하며, 침식 등에 의한 열교환기의 손상이 발생 되지 아니한다.
저온 냉각제 유입관(11)은 저온냉각제가 고온탱크(10)로 유입되도록 저온 냉각제순환배관(21)의 저온 냉각제가 열교환기(40)에 유출되는 부위와 고온탱크(10)에 연결된다. 본 실시예에서는 저온 냉각제 유입관(11)은 저온 냉각제순환배관(21)과 고온탱크(10)에 연결되었지만, 저온탱크(20)와 고온탱크(10)에 연결될 수 도 있다. 따라서 열교환기(40)를 통과하여 냉각된 저온 냉각제는 고온탱크(10)에 유입되며, 고온탱크(10) 내부에서 저온냉각제와 ALD용 장비(30)를 통과한 고온냉각제가 혼합되고, 고온탱크(10)에서 냉각제의 온도는 150 ℃ 이하로 떨어진다. 고온탱크(10) 내부의 온도가열수단(17)은 고온탱크(10) 내부에 수용된 냉각제가 150 ℃ 정도의 일정한 온도를 유지하도록 가열시킨다. 따라서 150 ℃ 가량의 일정한 온도의 고온냉각제가 ALD용 장비에 공급된다.
저온냉각제가 저온 냉각제 유입관(11)을 통하여 고온탱크(10)에 공급될 경우 고온탱크(10)에서 냉각제는 넘쳐나게 된다. 배수관(11)은 고온탱크(10)에서 넘치는 냉각제가 저온탱크(20)로 유입되도록 고온탱크(10)와 저온탱크(20)에 연결된다.
따라서 150 ℃ 가량의 고온의 고온냉각제는 ALD용 장비에 공급되어 ALD용 장비를 냉각시킨 후 160 ~ 180 ℃로 가열되어 고온탱크(10)로 유입된다. 또한, 고온탱크(10)에는 20 ℃ 가량의 저온냉각제가 유입되므로, ALD용 장비를 경유한 고온냉 각제와 저온냉각제는 혼합된다. 고온탱크(10)에서 냉각제가 혼합되어 넘치게 되고 넘치는 냉각제는 배수관(13)을 통하여 저온탱크(20)로 유입된다. 저온탱크(20)에는 40 ~ 50 ℃ 가량의 저온냉각수가 수용되며, 수용된 저온냉각수는 저온냉각제순환배관(21)을 통하여 열교환기(40)에 공급된다. 열교환기(40)는 20 ℃ 가량의 냉각수가 유입되므로 저온냉각제는 20 ℃가량으로 냉각되어 일부는 고온탱크(10)로 유입되고, 나머지는 저온탱크(20)로 유입된다. 저온탱크(20)로 유입된 저온냉각제는 고온탱크(10)에서 넘친 고온냉각제와 혼합되어 40 ~ 50 ℃가량의 온도가 된다.
정압유지관(15)은 고온탱크(10)와 저온탱크(20) 내부의 압력을 일정하게 유지시키기 위하여 저온탱크(20)와 고온탱크(10)에 연결된다.
미설명 도면번호 70은 고온탱크(10)로 공급되는 저온 냉각제의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브이며, 31은 ALD용 장비에 공급되는 고온냉각제의 온도를 측정하는 열전쌍이며, 81은 저온탱크(20)에서 유출되는 저온냉각제의 온도를 측정하는 열전쌍이며, 85는 유량계이다.
도 2은 본 발명에 따른 냉각장치의 다른 실시예의 개념도이다. 도 1에 도시된 실시예는 고온탱크와 저온탱크가 별도로 분리되어 있으나, 도 2에 도시된 실시예는 상기의 고온탱크와 저온탱크가 결합되어 하나의 탱크로 되어 있다.
도 2에 도시된 냉각장치는 냉각제탱크(210), 열교환기(240), 제1순환펌프(260), 제2순환펌프(250), 고온 냉각제순환배관(231), 저온 냉각제순환배관(221), 저온 냉각제 유입관(211), 냉각수배관(241), 바이패스관(233)을 구비한다.
냉각제탱크(210)은 고온 냉각제(205)를 수용하는 고온탱크부(201)와 저온 냉각제(207)를 수용하는 저온탱크부(203)를 구비한다. 고온탱크부(205)와 저온탱크부(207)는 상부가 연통되어 있어서, 고온탱크부(205)에 일정 한도 이상의 고온 냉각제(205)가 수용되면 저온탱크부(207)로 고온 냉각제(205)가 넘쳐흐른다. 또한 냉각제탱크(210)는 고온탱크부(201)에 수용된 고온 냉각제(207)의 온도를 일정한 온도로 가열시키기 위한 가열수단(217)을 구비하고 있다.
열교환기(240)은 저온 냉각제와 냉각수를 열교환시킨다.
고온 냉각제순환배관(231)은 고온탱크부(201)에 수용된 고온 냉각제(205)가 ALD용 장비(230)를 경유하여 고온탱크부(201)에 유입되도록 고온탱크부(201)와 ALD용 장비(230)에 연결된다. 또한 제1순환펌프(260)는 상기의 고온 냉각제(2050)가 고온 냉각제순환배관(231)에서 순환되도록 고온 냉각제순환배관(231)에 설치된다.
바이패스관(233)은 ALD용 장비(230)로 유입되는 고온 냉각제순환배관(231)에서 고온탱크부(201)로 유입되는 고온 냉각제순환배관(231)에 연결된 배관이다. ALD용 장비(230)는 정밀한 공정을 위하여 일정한 온도가 유지되어야 한다. 따라서 너무 많은 냉각제가 공급되면 ALD용 장비(230)의 온도가 급격하게 냉각되므로 ALD용 장비(230)에 일정한 유량의 냉각제를 공급하는 것이 중요하다. 바이패스관(233)은 ALD용 장비(230)에 일정한 유량을 공급하기 위한 것으로, 일정 유량 이상의 고온냉각제가 공급되면 ALD용 장비(230)로 유입되지 않고 바로 고온탱크부(201)로 유입되도록 고온 냉각제순환배관(231)의 ALD용 장비(230)로의 유입부에서 고온탱크부(201)로 유입되는 고온 냉각제순환배관(231)에 연결된다.
저온 냉각제순환배관(221)은 저온탱크부(203)에 수용된 저온냉각제(207)가 열교환기(240)를 경유하여 저온탱크부(203)에 유입되도록 저온탱크부(203)와 열교환기(420)에 연결된다. 제2순환펌프(250)는 상기의 저온냉각제(207)가 저온 냉각제순환배관(221)에서 순환되도록 저온 냉각제순환배관(21)에 설치된다.
냉각수배관(241)은 저온의 냉각수가 열교환기(240)에 공급되어 저온냉각제와 열교환 후 나가도록 열교환기(240)에 연결된다.
저온 냉각제 유입관(211)은 저온냉각제가 고온탱크부(201)로 유입되도록 저온 냉각제순환배관(221)의 저온 냉각제가 열교환기(240)에 유출되는 부위와 고온탱크부(201)에 연결되며, 저온 냉각제 유입관(211)에는 저온 냉각제의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브(270)이 설치되어 있다. 따라서 열교환기(240)를 통과하여 냉각된 저온 냉각제는 고온탱크부(201)에 유입되며, 고온탱크부(201) 내부에서 저온냉각제와 ALD용 장비(230)를 통과한 고온냉각제가 혼합되어, 고온냉각제의 온도는 하강한다. 또한, 고온탱크부(201)에 저온냉각제가 공급되어 고온탱크부(201)에 수용된 냉각제가 일정 한도 이상이 되면 저온탱크부(203)으로 유입된다. 기타 본 실시예의 동작방법 등은 도 1에 도시된 실시예와 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.
본 발명에 의하면, 대상 장비를 냉각시킨 고온 냉각제는 고온탱크에 수용하고, 상기 고온탱크에서 고온 냉각제와 저온 냉각제를 혼합하며, 열교환기에서 저온냉각제와 냉각수가 열교환이 되도록 하여, 열교환기에서 냉각수가 끓는점까지 가열 되지 않도록 함으로써 열교환기의 수명을 연장시킨 냉각장치를 제공할 수 있다.
앞서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 저온 냉각제와, 대상 장비를 경유한 고온 냉각제를 유입시켜 상기 저온 냉각제와 고온 냉각제를 혼합시키는 고온탱크와,
    상기 저온 냉각제를 수용하는 저온탱크와,
    냉각수와, 상기 저온탱크로부터 유출된 저온 냉각제를 유입시켜 열교환시키는 열교환기와,
    상기 고온탱크에 저장된 냉각제가 상기 대상 장비를 경유하여 상기 고온탱크로 유입되도록 연결된 고온 냉각제순환배관과,
    상기 저온탱크에 저장된 저온 냉각제가 상기 열교환기에 공급되어 상기 저온탱크로 유입되도록 연결된 저온 냉각제순환배관과,
    상기 저온 냉각제를 상기 고온탱크에 공급시키는 저온 냉각수 유입관과,
    상기 고온탱크에서 저온 냉각제와 고온 냉각제가 혼합되어 넘치는 냉각제가 상기 저온탱크로 유입되도록 상기 고온탱크와 상기 저온탱크에 연결된 배수관과,
    상기 냉각수가 상기 열교환기에 유입되어 저온냉각제와 열교환 되어 유출되도록 연결된 냉각수배관과,
    상기 고온 냉각제가 순환되도록 상기 고온 냉각제순환배관에 설치된 제1순환펌프와,
    상기 저온 냉각제가 순환되도록 상기 저온 냉각제순환배관에 설치된 제2순환펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 저온 냉각수 유입관은 상기 저온 냉각수가 상기 열교환기에서 유출되는 상기 저온 냉각제순환배관과 상기 고온탱크에 연결된 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 저온탱크와 상기 고온탱크를 일정 압력으로 유지시키기 위하여 상기 저온탱크와 상기 고온탱크에 연결된 정압유지관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고온탱크에는 냉각제의 온도를 일정한 온도로 가열시키는 가열수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 저온 냉각제순환배관에는 고온탱크에 유입되는 저온 냉각제의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  7. 삭제
  8. 저온 냉각제를 수용하는 저온탱크부와, 고온 냉각제를 수용하며 일정 량 이상이 수용되면 상기 저온탱크부로 유입되도록 상기 저온탱크부와 연통된 고온탱크부를 구비한 냉각제탱크와,
    냉각수와 상기 저온 냉각제를 열교환시키는 열교환기와,
    상기 고온탱크부에 수용된 상기 고온 냉각제가 대상 장비를 경유하여 상기 고온탱크부로 유입되도록 연결된 고온 냉각제순환배관과,
    상기 저온탱크부에 수용된 저온 냉각제가 상기 열교환기에 공급되어 상기 저온탱크부로 유입되도록 연결된 저온 냉각제순환배관과,
    상기 열교환기에서 유출된 저온 냉각제를 상기 고온탱크부에 공급시키는 저온 냉각수 유입관과,
    상기 냉각수가 상기 열교환기에 유입되어 저온냉각제와 열교환 되어 유출되도록 연결된 냉각수배관과,
    상기 고온 냉각제가 순환되도록 상기 고온 냉각제순환배관에 설치된 제1순환펌프와,
    상기 저온 냉각제가 순환되도록 상기 저온 냉각제순환배관에 설치된 제2순환펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  9. 8항에 있어서,
    상기 고온탱크부에는 냉각제의 온도를 일정한 온도로 가열시키는 가열수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각장치.
  10. 제9항에 있어서
    상기 저온 냉각제순환배관에는 고온탱크부에 유입되는 저온 냉각제의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 냉각장치.
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