KR102245550B1 - 액체 온도 제어 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
액체 온도 제어 장치 및 방법. 상기 액체 온도 제어 장치는, 냉각 대상을 위해 열 에너지와 냉각 용량을 제공하는 순환 냉각 유닛, 상기 순환 냉각 유닛에 연결되고 상기 냉각 대상에 냉기를 순환 제공하도록 사용되는 순환 냉각 적용 유닛, 상기 순환 냉각 유닛과 상기 순환 냉각 적용 유닛간의 열 교환을 수행하는 열 교환 유닛, 및 상기 순환 냉각 유닛과 상기 순환 냉각 적용 유닛의 온도를 모니터링하는 온도 검출 및 제어 유닛을 포함한다. 가장 기본적인 순환 냉각 유닛을 사용함으로써, 상기 순환 냉각 유닛을 용접하거나 구성 요소를 추가할 필요가 없게 되고, 상기 순환 냉각 유닛에서 용접 스폿이 감소하며, 냉매 유출 위험이 없어서, 신뢰도가 상대적으로 개선된다.
Description
본 출원은 냉각 분야에 관한 것으로서, 특히 액체 온도 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
기존의 포토리소그래피 도구는 일반적으로 액체 온도 제어를 위해 히터를 사용하고 제어 정확도를 위해 히터의 듀티 비에 의존하기 때문에 에너지 절약 측면에서 성능이 좋지 않다. 냉각 분야에는 열 회수 응축 시스템이 공지되어 있는데, 이는 일반적으로 냉각 유닛의 내부 압축기의 출구와 응축기 사이의 추가적인 전용 응축기에 의해 열을 회수한다. 회수된 열은 일반적으로 ±1°C의 정확도로 열 공급에 직접 사용된다. 고정밀도로 제어를 하기 위해서는, 냉각 유닛에서 냉매 흐름 제어를 위한 보다 복잡한 구성 요소를 추가해야 하고, 이는 더 높은 구조적 복잡성, 더 큰 용량 및 더 낮은 신뢰성으로 이어진다.
본 출원은 종래의 냉각 유닛의 사용으로 인해, 높은 제어 정확도가 요구되는 높은 구조적 복잡성의 문제를 해결하기 위한 액체 온도 제어 장치 및 방법을 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 출원에서 제공하는 액체 온도 제어 장치는, 냉각 대상에 열과 냉기를 제공하도록 구성된 순환 냉각 유닛, 상기 순환 냉각 유닛에 연결되고 상기 대상을 냉각하도록 구성된 순환 냉기 소비 유닛, 상기 순환 냉각 유닛과 상기 순환 냉기 소비 유닛간 열 교환을 위해 구성된 열 교환 유닛 및 상기 순환 냉각 유닛과 상기 순환 냉기 소비 유닛의 온도를 모니터링하도록 구성된 온도 검출 및 제어 유닛을 포함한다.
바람직하게, 상기 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트는 상기 순환 냉기 소비 유닛에 열을 제공하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 열 교환 유닛은 제 1 열 교환 모듈과 제 2 열 교환 모듈을 포함하되, 상기 순환 냉각 유닛과 상기 제 1 열 교환 모듈은 상기 순환 냉기 소비 유닛에 냉기를 제공하도록 구성되고, 상기 순환 냉각 유닛과 상기 제 2 열 교환 모듈은 상기 순환 냉기 소비 유닛에 열을 제공하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트는 3-방향 밸브에 연결되고, 상기 3-방향 밸브는 상기 제 2 열 교환 모듈에 연결된 하나의 배수구와 바이패스 출구 역할을 하는 또 다른 배수구를 구비할 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은 상기 3-방향 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛의 열 공급을 조절하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은 상기 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트 및/또는 냉기 출력 포트에 배치될 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 상기 냉각 대상의 냉각을 검출하고 조절하기 위해, 상기 순환 냉기 소비 유닛에 배치될 수 있다.
바람직하게, 상기 순환 냉각 유닛은, 순차적으로 직렬로 연결된 응축기, 확장 밸브, 제 1 열 교환 모듈 및 압축기를 포함하되, 제 2 열 교환 모듈은 상기 응축기의 출구에 배치되고, 상기 팽창 밸브는 상기 온도 검출 및 제어 유닛에 연결되고, 상기 제 1 열 교환 모듈은 상기 순환 냉기 소비 유닛에 연결될 수 있다.
바람직하게, 상기 응축기의 출구 및 입구 중 하나 또는 각각은 바이패스 포트로 구현될 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 상기 팽창 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛의 냉기 공급을 조절하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 순환 냉기 소비 유닛은 수조 및 상기 수조와 상기 냉각 대상 사이에 배치된 펌프를 포함하되, 상기 펌프는 냉매를 구동하여 상기 냉기 소비 유닛 내에서 순환하도록 할 수 있다.
본 출원은 또한 액체 온도 제어 방법을 제공하는 바, 상기 액체 온도 제어 방법은, 순환 냉각 유닛, 순환 냉기 소비 유닛, 열 교환 유닛, 그리고 온도 검출 및 제어 유닛을 제공하는 단계, 상기 순환 냉각 유닛에 의해 상기 열 교환 유닛을 통해 상기 순환 냉기 소비 유닛에 열과 냉기를 제공하는 단계 및 상기 온도 검출 및 제어 유닛에 의해 온도 데이터를 검출하고 상기 순환 냉기 소비 유닛에 제공되는 열 대 냉기 비율을 제어하는 단계를 포함한다.
바람직하게, 상기 열 교환 유닛은 제 1 열 교환 모듈과 제 2 열 교환 모듈을 포함하되, 상기 순환 냉각 유닛과 상기 제 1 열 교환 모듈은 상기 순환 냉기 소비 유닛에 냉기를 제공하도록 구성되고, 상기 순환 냉각 유닛과 상기 제 2 열 교환 모듈은 상기 순환 냉기 소비 유닛에 열을 제공하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 냉각 대상으로 흐르는 냉매의 온도를 검출 및 제어하기 위한 제 1 온도 검출 및 제어 모듈을 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은 냉각된 상기 순환 냉기 소비 유닛의 상기 냉매의 온도를 검출 및 제어하기 위한 제 2 온도 검출 및 제어 모듈을 더 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 상기 제 1 온도 검출 및 제어 모듈에 의해 상기 냉각 대상의 입구에서의 온도를 검출하고, 상기 냉각 대상의 입구에서 요구 온도에 도달할 때까지 상기 순환 냉각 유닛에 의해 상기 순환 냉기 소비 유닛에 공급되는 열 대 냉기 비율을 조정하는 단계를 포함하는 제어 과정을 수행하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 상기 제 1 온도 검출 및 제어 모듈에 의해 상기 냉각 대상의 입구에서의 온도를 검출하고 상기 순환 냉각 유닛에 의해 상기 순환 냉기 소비 유닛에 공급되는 열을 조정하는 단계 및 상기 제 2 온도 검출 및 제어 모듈에 의해 상기 순환 냉기 소비 유닛이 냉각된 후 냉매의 온도를 검출하고, 상기 냉각 대상의 입구에서 요구 온도에 도달할 때까지 상기 순환 냉각 유닛에 의해 상기 순환 냉기 소비 유닛에 공급되는 냉기를 조정하는 단계를 포함하는 제어 과정을 수행하도록 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트는 3-방향 밸브에 연결되고, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은 상기 순환 냉기 소비 유닛에 의해 상기 3-방향 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛의 열 공급을 조정하도록 구성될 수 있다.
종래 기술에 비해, 본 출원은 다음과 같은 장점을 제공한다.
1. 가장 보편적으로 사용되는 순환 냉각 유닛을 채용 가능하고, 상기 순환 냉각 유닛에서 추가적인 구성 요소를 용접할 필요가 없다. 결과적으로, 용접 조인트의 수가 감소될 수 있어 냉매 누수 위험은 낮추고 신뢰도는 높인다.
2. 상기 순환 냉각 유닛의 열은 재사용되지 않으면 외부 물 냉각 장치로 순환되어 하므로, 상당한 작업 부하가 발생한다. 본 출원에 따르면, 응축기의 열이 회수되기 때문에, 물 냉각 장치의 부하가 어느 정도 감소될 수 있다. 예를 들어 시간당 1-2kW의 작은 시스템을 재활용하면 매년 8,760-17,520kWh를 절약할 수 있다.
3. 본 출원은 상기 액체 온도 제어 장치에서 상기 온도 검출 및 제어 유닛에 의해 유량 분포를 피드백하여, 종래 기술의 온도 제어 정확도(± 1℃ 이상) 보다 높은 온도 제어 정확도(±0.1℃)를 허용한다.
4. 본 출원은 응축 열 회수를 달성하기 위해, 응축기 출구에서의 열과 순환 냉각 장치의 제 1 열 교환 모듈의 출구에서의 냉기간의 교환을 이용하고, 종래의 전기 히터에 의해 공급되는 열을 응축열로 대체함으로써, 에너지를 절약한다.
5. 본 출원은 응축기의 출구에 3-방향 밸브의 추가 및 제 2 열 교환 모듈로 흐르는 열의 제어를 통해 고 정확도 제어를 달성한다.
도 1은 본 출원의 실시예 1에 따른 액체 온도 제어 장치의 구조적 개략도이다.
도 2는 본 출원의 실시예 1에 따른 액체 온도 제어 장치의 제어 메커니즘을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 출원의 실시예 2에 따른 액체 온도 제어 장치의 제어 메커니즘을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 출원의 실시예 1에 따른 액체 온도 제어 장치의 제어 메커니즘을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 출원의 실시예 2에 따른 액체 온도 제어 장치의 제어 메커니즘을 나타내는 도면이다.
본 출원의 상기 목적, 특징 및 장점은 첨부 도면과 함께 몇몇 특정 실시예에 대한 하기 상세한 설명을 읽으면 더욱 명백해질 것이다. 설명의 편의를 위해, 본 명세서에서 사용된 용어 "냉각(refrigeration)"은 냉기를 제공하는 것을 의미하고, "가열(heating)"은 열을 제공하는 것을 의미한다는 점에 유의한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어서 편의성과 명확성을 도모하기 위해, 도면은 반드시 축척대로 도시되지 않고 매우 단순화된 형태로 제공된다.
실시예 1
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 액체 온도 제어 장치는 순환 냉각 유닛, 순환 냉기 소비 유닛, 온도 검출 및 제어 유닛 및 열 교환 유닛을 포함한다. 순환 냉각 유닛은 순환 냉기 소비 유닛에 열과 냉기를 제공하도록 구성되고, 열 교환 유닛은 순환 냉각 유닛과 순환 냉기 소비 유닛 사이의 열 교환을 위해 구성된다. 온도 검출 및 제어 유닛은 냉매의 온도를 검출하고 검출된 온도에 기초하여 열 대 냉기의 공급비를 제어함으로써 냉각 대상의 고정밀 냉각을 위해 구성된다.
또한, 순환 냉각 유닛은 순환 냉기 소비 유닛을 냉각시키고 그로부터 열을 취하도록 구성된다. 온도 검출 및 제어 유닛에 의한 검출 및 제어를 통해, 상기 열은 순환 냉기 소비 유닛에서 냉매에 대한 열 보상을 수행하기 위해 재사용된다. 이러한 방식으로 순환 냉기 소비 유닛의 냉매에 대해 정확한 온도 제어가 이루어질 수 있다.
계속해서도 1을 참조하면, 열 교환 유닛은 제 1 열 교환 모듈(4) 및 제 2 열 교환 모듈(9)을 포함한다. 제 1 열 교환 모듈(4)에서, 순환 냉각 유닛은 냉기를 공급하여 순환 냉기 소비 유닛의 냉매를 냉각하고, 제 2 열 교환 모듈(9)에서, 순환 냉각 유닛은 순환 냉기 소비 유닛의 냉매에 열을 제공하여 열 보상을 수행한다.
또한, 제 1 열 교환 모듈(4)은 증발기일 수 있고, 제 2 열 교환 모듈(9)은 열 교환기일 수 있다.
도 1을 계속 참조하면, 상기 장치는 3-방향 밸브(8)를 포함할 수 있다. 3-방향 밸브(8)는 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트 및 제 2 열 교환 모듈(9) 각각에 연결된다. 3-방향 밸브(8)의 제 3 포트는 과도한 열을 운반하는 냉각수를 배출하기 위한 바이패스 포트로서 기능할 수 있다.
온도 검출 및 제어 유닛은 제 1 온도 센서(12), 제 2 온도 센서(13) 및 제어부(11)를 포함할 수 있다. 제 1 온도 센서(12)는 온도 검출 피드백 제어에서 고려되거나 또는 순환 냉기 소비 유닛의 냉매 온도 검출을 위해서만 사용되는 파라미터로서 작용할 수 있다. 온도 검출 및 제어 유닛은 검출된 온도에 기초하여 열 교환 유닛을 조절하도록 구성되어, 냉각 대상에 대한 정확한 온도 제어를 달성한다. 온도 검출 및 제어 유닛에 의한 열 교환 유닛의 제어는 3-방향 밸브(8) 및 순환 냉각 유닛의 제어를 통해 달성될 수 있다. 순환 냉각 유닛에는 팽창 밸브(3)가 제공되어 있다. 순환 냉각 유닛에서, 제 1 열 교환 모듈(4) 내로 흐르는 냉매의 양은 팽창 밸브(3)의 듀티 비에 의해 결정된다. 온도 검출 및 제어 유닛은 팽창 밸브(3)의 제어를 통해 순환 냉각 유닛을 제어할 수 있다. 특히, 제 1 온도 센서(12)는 제 1 열 교환 모듈(4)의 출구와 순환 냉기 소비 유닛에 배치될 수 있고, 제 1 열 교환 모듈(4)의 출구에서의 온도를 검출하여 온도 데이터를 제어부(11)로 전달하도록 구성된다. 제 2 온도 센서(13)는 냉각 대상(5)의 입구에 배치되어, 실시간으로 냉매의 온도를 검출하고 조정할 뿐만 아니라 냉각 대상(5)의 입구의 온도를 검출하여 냉각 대상(5)으로 흐르는 냉매의 안정적인 온도를 보장한다.
또한, 본 실시예에 따른 액체 온도 제어 장치는 순환 냉각 유닛, 순환 냉기 소비 유닛, 3-방향 밸브(8), 열 교환기 및 온도 검출 및 제어 유닛을 포함할 수 있다. 이 경우, 순환 냉각 유닛은 순환 냉기 소비 유닛에 열과 냉기를 제공하도록 구성된다. 3-방향 밸브(8)는 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트에 배치된다. 순환 냉기 소비 유닛은 냉각 대상으로의 냉기 공급을 순환시키기 위해 순환 냉각 유닛에 연결된다. 열 교환기는 순환 냉각 유닛으로부터 열과 냉기를 혼합한 다음 혼합한 열 또는 냉기를 순환 냉기 소비 유닛에 제공하도록 구성된다. 온도 검출 및 제어 유닛은 순환 냉각 유닛 및 순환 냉기 소비 유닛의 온도를 모니터링하도록 구성된다. 제어부(11)는 순환 냉각 유닛, 3-방향 밸브(8) 및 온도 검출 및 제어 유닛 각각에 연결되어, 냉각 대상(5)을 위한 냉기 공급 온도를 정확하게 제어할 수 있다.
도 1을 계속 참조하면, 순환 냉각 유닛은 압축기(1), 응축기(2), 팽창 밸브(3) 및 제 1 열 교환 모듈(4)을 포함할 수 있다. 응축기(2)의 출력 포트는 3-방향 밸브(8)에 연결되어, 순환 냉기 소비 장치에 열을 공급한다. 제 1 열 교환 모듈(4)은 순환 냉기 소비 유닛에 냉기를 제공하도록 구성될 수 있고, 제 1 열 교환 모듈(4)의 출구 온도는 팽창 밸브(3)의 듀티 비를 제어함으로써 온도 검출 및 제어 유닛에 의해 제어된다.
순환 냉기 소비 유닛은 수조(7) 및 수조(7)와 냉각 대상(5) 사이에 배치된 펌프(6)를 포함할 수 있다. 펌프(6)는 순환 냉기 소비 유닛 내에서 순환하도록 냉매를 구동시킨다. 구체적으로, 냉매는 펌프(6)에 의해 구동되어 수조(7)로부터 냉각 대상(5)으로 흐르게 됨으로써, 대상으로부터 열을 빼앗는다. 이후 냉매는 냉각을 위해 제 1 열 교환 모듈(4)로 유입된 후, 열 교환기(즉, 제 2 열 교환 모듈 (9))로 흐른다. 제 2 열 교환 모듈(9)의 또 다른 입구는 3-방향 밸브(8)에 연결되므로, 제 1 열 교환 모듈(4)에 의해 냉각된 순환 냉매는 응축기(2)의 출력에서 나온 열로 보상된다. 마지막으로, 냉매는 수조(7)에 제공되어 사이클이 완성된다.
응축기(2)의 출구 및 입구에서 일정한 유량을 보장하기 위해, 응축기(2)의 출구 및 입구 모두 바이패스 포트(10)로서 구현될 수 있고, 따라서 방열 성능에 영향을 미치지 않는다.
또한, 도 2 및 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따라, 액체 온도 제어 방법도 제공하되, 상기 방법은,
수조(7)와 펌프(6)를 냉각 대상(5)에 냉기 공급을 순환시키는 순환 냉기 소비 유닛에 제공하는 단계;
응축기(2), 팽창 밸브 (3), 제 1 열 교환 모듈(4) 및 압축기(1)를 순환 냉기 소비 유닛에 열과 냉기를 제공하는 순환 냉각 유닛에 제공하는 단계;
순환 냉각 유닛의 응축기(2)의 출구에 3-방향 밸브(8)를 배치하는 단계;
상기 순환 냉각 유닛으로부터 나오는 열과 냉기를 혼합하고 상기 순환 냉기 소비 유닛에 상기 결과의 열 또는 냉기를 제공하는 열 교환 유닛을 배치하는 단계; 및
상기 순환 냉기 소비 유닛의 온도를 모니터링 및 제어하는 온도 검출 및 제어 유닛을 배치하는 단계를 포함한다. 구체적으로, 온도 검출 및 제어 유닛은 제 1 열 교환 모듈(4)의 출력 포트 및 순환 냉기 소비 유닛에 배치된 제 1 온도 센서(12), 냉각 대상(5)의 입구에 배치된 제 2 온도 센서(13), 및 제어부(11)를 포함할 수 있다.
특히, 도 2에 도시 된 바와 같이, 액체 온도 제어 방법은, 제 2 온도 센서 (13)에 의해, 냉각 대상(5)의 입구에서의 온도를 검출하는 단계 및 제어부(11)에 의해 냉각 대상(5)의 입구에서의 온도가 요건을 만족하는지를 결정하는 단계를 포함한다. 상기 방법은, 만족하지 않으면, 제 1 온도 센서(12)에 의해 순환 냉각 유닛의 냉기 출력 포트에서의 온도, 즉 제 1 열 교환 모듈(4)의 출구에서의 온도를 검출한 다음, 제 1 열 교환 모듈(4)의 출구에서의 온도를 조절하여 순환 냉각 유닛으로부터의 냉기를 조절하기 위해 상기 온도에 따라 팽창 밸브(3)의 듀티 비를 조절하는 단계를 포함한다. 이어서, 순환 냉각 유닛으로부터의 열(즉, 응축기(2)의 출구로부터 제 2 열 교환 모듈(9)로의 열 공급)은 3-방향 밸브(8)를 통해 조절된다. 마지막으로, 상기 방법은 제 2 온도 센서(13)에 의해, 냉각 대상(5)의 입구에서의 온도를 다시 검출하는 단계를 포함한다. 이러한 방식으로, 냉각 대상(5)의 입구에서의 온도가 요건을 충족시킬 수 있다.
실시예 2
이 실시예는 제어부(11)가 상이한 제어 방법을 구현한다는 점에서 실시예 1과 차이가 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 이 실시예에 따르면, 제 1 온도 센서(12)에 의해 검출된 데이터는 피드백 제어를 위해 사용되지 않고 단순히 온도 모니터링을 위해 사용된다. 다시 말해서, 이 실시예에 따르면, 제어부(11)는 단순히 팽창 밸브(3) 및 3-방향 밸브(8)의 개방을 피드백하기 위해 제 2 온도 센서(13)를 사용하고, 제어부(11)을 통해 정확한 온도 제어를 달성한다. 구체적으로, 제어부(11)는 제 2 온도 센서(13)를 통해 냉각 대상(5)의 입구에서의 온도가 요건을 만족하는지를 검출하도록 구성된다. 온도가 만족되지 않으면, 상기 방법은 냉각 대상(5)의 입구의 온도가 요건을 만족 시키도록 3-방향 밸브(8) 및 팽창 밸브(3)를 동시에 조절하는 단계를 포함한다.
당업자는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 본 출원을 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 명백하다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구 범위 및 그 등가물의 범위 내에 있는 경우, 이러한 모든 수정 및 변형을 포함한다.
1: 압축기 2: 응축기
3: 팽창 밸브 4: 제 1 차 열 교환 모듈
5: 냉각 대상 6: 펌프;
7: 물 탱크 8: 3-방향 밸브
9: 제 2 열 교환 모듈 10: 바이 패스 포트
11: 제어부 12: 제 1 온도 센서
13: 제 2 온도 센서
3: 팽창 밸브 4: 제 1 차 열 교환 모듈
5: 냉각 대상 6: 펌프;
7: 물 탱크 8: 3-방향 밸브
9: 제 2 열 교환 모듈 10: 바이 패스 포트
11: 제어부 12: 제 1 온도 센서
13: 제 2 온도 센서
Claims (18)
- 액체 온도 제어 장치에 있어서,
열교환 유닛에 열과 냉기를 제공하도록 구성된 순환 냉각 유닛;
상기 열교환 유닛에 연결되어 냉각 대상을 냉각시키는 순환 냉기 소비 유닛; 및
상기 순환 냉각 유닛과 순환 냉기 소비 유닛의 온도를 모니터링하도록 구성된 온도 검출 및 제어 유닛;을 포함하고,
상기 열 교환 유닛은, 상기 순환 냉각 유닛으로부터의 열과 냉기를 혼합하고 그 결과로 발생하는 냉기를 상기 순환 냉기 소비 유닛에 제공하도록 구성되며,
상기 순환 냉각 유닛은, 팽창 밸브를 포함하고 3-방향 밸브를 통해 상기 열교환 유닛에 연결되며,
상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 상기 3-방향 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛으로부터의 열 공급 및 상기 팽창 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛으로부터의 냉기 공급을 조절하는, 액체 온도 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트는 열 보상을 수행하기 위해 상기 열교환 유닛에 열을 제공하도록 구성되고, 상기 순환 냉각 유닛의 냉기 출력 포트는 상기 열교환 유닛에 냉기를 제공하도록 구성되는, 액체 온도 제어 장치.
- 제 2 항에 있어서,
상기 열교환 유닛은 제 2 열교환 모듈을 포함하는, 액체 온도 제어 장치.
- 제 3 항에 있어서,
상기 순환 냉각 유닛의 상기 열 출력 포트는 상기 3-방향 밸브에 연결되고, 상기 3-방향 밸브는 상기 제 2 열교환 모듈에 연결된 하나의 배수구와 바이패스 출구 역할을 하는 또 다른 배수구를 구비하는, 액체 온도 제어 장치.
- 삭제
- 제 2 항에 있어서,
상기 온도 검출 및 제어 유닛은 제 1 온도 검출 및 제어 모듈, 제 2 온도 검출 및 제어 모듈을 포함하고,
상기 제 1 온도 검출 및 제어 모듈은 상기 순환 냉각 유닛의 냉기 출력 포트에서 온도를 검출하기 위해 상기 순환 냉각 유닛의 냉기 출력 포트에 배치되는, 액체 온도 제어 장치.
- 제 6 항에 있어서,
상기 제 2 온도 검출 및 제어 모듈은 상기 냉각 대상의 온도를 감지하며, 상기 냉각 대상의 냉장을 감지하고 조절하기 위해 상기 냉각 대상의 입구에 배치되고, 상기 제어 유닛은 상기 3-방향 밸브 및 상기 팽창 밸브를 제어하도록 구성되는, 액체 온도 제어 장치.
- 제 3 항에 있어서,
상기 순환 냉각 유닛은 응축기, 상기 팽창 밸브, 제 1 열교환 모듈 및 압축기가 직렬로 순차적으로 연결되고, 상기 제 2 열교환 모듈이 상기 응축기의 출구에 배치되며, 상기 제 1 열교환 모듈은 냉기를 제공하기 위해 상기 제 2 열교환 모듈에 연결되는, 것을 특징으로 하는 액체 온도 제어 장치.
- 제 8 항에 있어서,
상기 응축기의 출구 및 입구 중 하나 또는 각각은 바이패스 포트로 구현되는, 액체 온도 제어 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 순환 냉기 소비 유닛은 수조 및 상기 수조와 상기 냉각 대상 사이에 배치 된 펌프를 포함하되, 상기 펌프는 냉매를 구동하여 상기 순환 냉기 소비유닛 내에서 순환하도록 하는, 액체 온도 제어 장치.
- 액체 온도 제어 방법으로서,
순환 냉각 유닛, 순환 냉기 소비 유닛, 열 교환 유닛, 그리고 온도 검출 및 제어 유닛을 제공하며, 상기 순환 냉각 유닛은 팽창 밸브를 포함하고 3-방향 밸브를 통해 상기 열교환 유닛에 연결되는 단계;
상기 순환 냉각 유닛에 의해 상기 열 교환 유닛을 통해 상기 순환 냉기 소비 유닛에 열과 냉기를 제공하는 단계;
상기 온도 검출 및 제어 유닛을 통해 상기 팽창 밸브와 상기 순환 냉각 유닛의 냉기 공급을 제어하여 온도 데이터를 감지하고 상기 3-방향 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛의 열 공급을 조절하는 단계; 및
상기 순환 냉각 유닛의 열과 냉기를 혼합하고 그 결과로 발생하는 냉기를 상기 열교환 유닛에 의해 순환 냉기 소비 유닛에 제공하는 단계를 포함하는, 액체 온도 제어 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 열교환 유닛은 제 2 열교환 모듈을 포함하고, 상기 순환 냉각 유닛은 응축기, 팽창 밸브, 제 1 열교환 모듈 및 압축기를 포함하되, 직렬로 연결되는 상기 제 2 열교환 모듈은 상기 응축기의 출구에 배치되고, 상기 제 1 열교환 모듈은 상기 제 2 열교환 모듈에 연결되어 냉기를 공급하는, 액체 온도 제어 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 온도 검출 및 제어 유닛은 상기 제 1 열교환 모듈의 출구에서 온도를 검출하기 위해 상기 제 1 열교환 모듈의 출구에 배치 된 상기 제 1 온도 검출 및 제어 모듈을 포함하는, 액체 온도 제어 방법.
- 제 14 항에 있어서,
상기 온도 검출 및 제어 유닛은 냉각 대상의 입구에 배치 된 제 2 온도 검출 및 제어 모듈을 더 포함하여, 상기 냉각 대상의 입구에서 온도를 검출하는, 액체 온도 제어 방법.
- 제 15 항에 있어서,
상기 온도 검출 및 제어 유닛은, 상기 제 2 온도 검출 및 제어 모듈에 의해 냉각 대상의 입구에서의 온도를 검출하고, 상기 냉각 대상의 입구에서 요구 온도에 도달 할 때까지 상기 순환 냉각 유닛에 의해 상기 열교환 유닛에 공급되는 열 대 냉기의 비율을 조정하는 단계를 포함하는 제어 과정을 수행하도록 구성되는, 액체 온도 제어 방법.
- 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
상기 온도 검출 및 제어 유닛은 제 2 온도 검출 및 제어 모듈에 의해 냉각 대상의 입구에서 온도를 감지하고, 상기 제어 유닛에 의해 상기 순환 냉각 유닛에서 상기 열교환 유닛으로 공급되는 열을 조절하며, 상기 제 1 온도 검출 및 제어 모듈에 의해 상기 제 1 열교환 모듈의 출구 온도를 검출하고, 상기 제어 유닛에 의해 상기 순환 냉각 유닛으로부터 상기 열교환 유닛에 공급되는 냉기를 상기 냉각 대상의 입구에 요구 온도에 도달 할 때까지 조절하는 단계를 포함하는 제어 과정을 수행하도록 구성되는, 액체 온도 제어 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 순환 냉각 유닛의 열 출력 포트는 상기 3-방향 밸브에 연결되고, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은 상기 3-방향 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛으로부터 상기 열교환 유닛으로의 열 공급을 조절하도록 구성되고, 상기 온도 검출 및 제어 유닛은 상기 순환 냉각 유닛의 팽창 밸브의 제어를 통해 상기 순환 냉각 유닛으로부터 상기 열교환 유닛으로의 냉기 공급을 조절하도록 구성되는, 액체 온도 제어 방법.
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