WO2017068758A1 - 金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
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Definitions
- a method for producing a metallized film including a plurality of metal vapor deposition electrodes having different resistance values for example, an evaporation source for evaporating a metal for forming a high resistance portion, and a low resistance
- the metal adheres to the surface 22 of the portion of the dielectric film 11 where the oil 20 is not deposited and the low resistance portion 13 and the high resistance portion 12 are formed, and the low resistance portion 13 and the connection portion 15 are formed. I'm starting.
- belt-like vapor deposition metal which does not exist like the insulation margin 14 in the longitudinal direction of the dielectric film 11 is performed by a tape margin method, and the formation of the plurality of metal vapor deposition electrodes 16 having different resistance values is performed as described above.
- the method may be performed by attaching oil to the surface of the dielectric film 11 as described above. Even in this case, it is possible to obtain the metallized film 10 in which a plurality of metal vapor deposition electrodes 16 having different resistance values are formed at a single vapor deposition opportunity.
- the manufacturing method of the metallized film 10 in which the metal vapor deposition electrode 16 is formed only on one side of the dielectric film 11 has been described.
- a metallized film 40 having metal vapor deposition electrodes 46 such as a high resistance portion 42, a low resistance portion 43, a connection portion 45, and the like, and an insulation margin 44 on both surfaces of the dielectric film 41 is produced. May be. If this metallized film 40 is used as a capacitor element 32 having a metallicon electrode 47 formed as shown in FIG. 6B, a highly reliable metallized film capacitor can be obtained.
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Abstract
誘電体フィルムと、この誘電体フィルムの表面に、蒸着金属よりなる抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極と、前記蒸着金属の存在しない絶縁マージンとを備えた金属化フィルムの製造方法であって、真空中で、前記誘電体フィルムの表面の、前記抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極を形成する部分にオイルを付着させた後に、前記オイルを付着させた誘電体フィルムの表面に金属蒸気を接触させる過程を含み、前記誘電体フィルムの表面の、前記抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極において、相対的に抵抗値の低い前記金属蒸着電極を形成する部分に付着させる前記オイルの、誘電体フィルム表面の単位面積当たりの量は、相対的に抵抗値の高い前記金属蒸着電極を形成する部分に付着させるオイルの量よりも少ないか、またはオイルを付着させないようにすることを特徴とする、金属化フィルムの製造方法。
Description
本発明は金属化フィルムコンデンサに使用される金属化フィルムに関するものである。
金属化フィルムコンデンサは、一般に金属箔を電極に用いるものと、誘電体フィルム上に設けた蒸着金属を電極に用いるものとに大別される。中でも蒸着金属を電極（以下金属蒸着電極）とする金属化フィルムコンデンサは、金属箔を用いるものに比べて電極の占める体積が小さく小形軽量化が図れることと、金属蒸着電極特有の自己回復性能（絶縁欠陥部で短絡が生じた場合に、短絡のエネルギーで欠陥部周辺の金属蒸着電極が蒸発・飛散して絶縁化し、コンデンサの機能が回復する性能）により絶縁破壊に対する信頼性が高いことから、従来から広く用いられている。
ここで、金属化フィルムコンデンサに用いられている金属化フィルムについて、図７を用いて説明する。図７は、金属化フィルムの断面を示す断面図で、ポリエチレンテレフタレートやポリプロピレン等のプラスチックフィルムからなる誘電体フィルム７１の表面に、アルミニウム等の蒸着金属からなる金属蒸着電極７６を備えた構成となっている。
金属蒸着電極７６は、誘電体フィルム７１の幅方向（図７では左右方向）における一方の端部付近に設けられた、蒸着金属の存在しない絶縁マージン７４の部分を除いて形成され、誘電体フィルム７１の幅方向における他方の端部に形成された低抵抗部７３と、一方の端部に形成された接続部７５と、この接続部７５と低抵抗部７３とを除いた部分に形成された高抵抗部７２とを備えている。低抵抗部７３の蒸着金属の膜厚と、接続部７５の蒸着金属の膜厚とは略同じで、これらの膜厚は、高抵抗部７２の蒸着金属の膜厚よりも厚く、低抵抗部７３の蒸着金属の抵抗値と、接続部７５の蒸着金属の抵抗値とは、高抵抗部７２の蒸着金属の抵抗値よりも低くなっている。
そして、このような金属化フィルム７０を用いて形成されたコンデンサ素子において、誘電体フィルム７１の表面に形成された金属蒸着電極７６のなかで、メタリコン電極と接続される、誘電体フィルム７１の他方の端部に形成された低抵抗部７３の膜厚が厚いので、金属蒸着電極７６とメタリコン電極との電気的、機械的な接続強度が高められ、一方、高抵抗部７２の膜厚が低抵抗部７３の膜厚よりも薄いので、金属を蒸着することによる誘電体フィルム７１の耐電圧性の低下が抑えられる。さらに、誘電体フィルム７１の一方の端部に形成された接続部７５の膜厚が、低抵抗部７３と同様に、高抵抗部７２の膜厚よりも厚いので、この部分でもメタリコン電極との機械的な接続強度が高められ、これらの作用によって金属化フィルムコンデンサの信頼性を向上させることができるというものである。
次に、上記の金属化フィルム７０の、従来の製造方法について、図８、図９を用いて説明する。
図８は、金属化フィルム７０を製造するための、従来の真空蒸着装置の内部の主要な構成を示す図である。
図８に示すように、真空蒸着装置は、真空状態が保たれ真空槽内に、表面に金属蒸着電極が形成される前の、ロール状の誘電体フィルム７１が取り付けられた巻き出し部１３１、誘電体フィルム７１を冷却する冷却ロール１３２、冷却ロール１３２の近傍に配置された、金属蒸着電極となる金属を溶融し蒸発させる蒸発源１３５、誘電体フィルム７１への蒸着金属の付着量を制御するマスク１３４、誘電体フィルム７１の表面に金属蒸着電極７６が形成された金属化フィルム７０をロール状に巻き取る巻き取り部１３３が備えられている。
誘電体フィルム７１は、巻き出し部１３１から巻き出され、矢印方向に走行し、誘電体フィルム７１の走行方向と同じ方向に回転する冷却ロール１３２に支持されるとともに冷却される。この状態で、誘電体フィルム７１の表面には、蒸発源１３５から蒸発し、マスク１３４のマスク開口部１４０ｂ、１４１を通過した金属蒸気１４４が接触して付着堆積することによって金属蒸着電極７６が形成される。誘電体フィルム７１の表面に金属蒸着電極７６が形成された金属化フィルム７０は、巻き取り部１３３で巻き取られる。
次に、誘電体フィルム７１の表面に形成される、低抵抗部７３、接続部７５、高抵抗部７２、絶縁マージン７４の形成方法について説明する。
図９は、蒸発源１３５と誘電体フィルム７１との間に配置されるマスク１３４を上面から見た図で、図９における左右方向は、冷却ロール１３２に支持されながら走行する誘電体フィルム７１の走行方向（誘電体フィルム７１の長手方向）に対応する。
図９に示すように、マスク１３４には、蒸発源１３５から蒸発した金属蒸気１４４を、誘電体フィルム７１の表面に向かって通過させるマスク開口部１４０ｂ、１４１と、金属蒸気１４４を通過させないマスク遮蔽部１４０ａとが設けられている。
マスク開口部１４０ｂ、１４１を通過した金属蒸気１４４は、誘電体フィルム７１の表面に付着して堆積し、金属蒸着電極７６が形成される。マスク開口部１４１の誘電体フィルム７１の走行方向における開口寸法は、マスク開口部１４０ｂの開口寸法よりも長くなっており、開口寸法の長いマスク開口部１４１に対向する誘電体フィルム７１の表面には接続部７５と低抵抗部７３とが形成され、開口寸法の短いマスク開口部１４０ｂに対向する誘電体フィルム７１の表面には高抵抗部７２が形成され、接続部７５と低抵抗部７３との膜厚は、高抵抗部７２の膜厚よりも厚くなる。
マスク遮蔽部１４０ａは、蒸発源１３５からの金属蒸気１４４を誘電体フィルム７１の表面に向かって通過させないので、このマスク遮蔽部１４０ａに対向する誘電体フィルム７１の表面には蒸着金属の存在しない絶縁マージン７４が形成される。
上記のような製造方法で金属化フィルム７０を作製することができるが、このような製造方法で得られる金属化フィルム７０には、品質面で改善しなければならない課題を有していた。
この課題は、誘電体フィルム７１の表面に、低抵抗部７３、接続部７５、高抵抗部７２、絶縁マージン７４を形成するために、蒸発源１３５と誘電体フィルム７１との間に配置されたマスク１３４に起因し、発生する。すなわち、上記のような製造方法においては、このマスク１３４を介して蒸発源１３５から長尺の誘電体フィルム７１に連続的に金属蒸気１４４を付着させる間に、マスク１３４の蒸発源１３５側の壁面や、マスク開口部１４０ｂ、１４１の縁に多量の金属が堆積することにより、以下で述べるような課題が発生していたのである。
まず、マスク１３４の蒸発源１３５側の壁面に多量の金属が堆積すると、堆積した金属が壁面から自然に剥がれ、壁面に付着した金属が剥がれて蒸発源１３５の溶融金属１４３中に落下し易くなる。この結果、溶融金属１４３が飛散して誘電体フィルム７１の表面に付着したり、溶融金属１４３の温度が低下して金属蒸気１４４の蒸発量が一時的に減少し、形成される低抵抗部７３や高抵抗部７２を含む金属蒸着電極７６の膜厚が変動してしまう虞があった。
あるいは、マスク開口部１４０ｂ、１４１の縁に多量の金属が堆積すると、マスク開口部が狭くなり、低抵抗部７３や高抵抗部７２および絶縁マージン７４の寸法が変化したり、蒸発金属の通過量が減少して低抵抗部７３や高抵抗部７２を含む金属蒸着電極７６の膜厚が変動してしまう虞があった。
そして、これらの金属蒸着電極７６の膜厚の変動や絶縁マージン７４等の寸法の変動は、金属化フィルムコンデンサの特性に悪影響を及ぼすものであった。
また、抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極を備えた金属化フィルムの製造方法として、上記の製造方法以外にも、例えば、高抵抗部を形成するための金属を蒸発させる蒸発源と、低抵抗部を形成するための金属を蒸発させる蒸発源と、の複数の蒸発源を配置して、それぞれの蒸発源から蒸発する金属の量を制御して金属蒸着電極を形成する方法が提案されているが、複数の蒸発源から蒸発する金属の蒸気の量をバランスよく制御することが難しく安定した品質の金属化フィルムを提供することが難しいものであった。
本発明は、上記のような課題に対してなされたものであり、絶縁マージンの寸法や、金属蒸着電極の膜厚の安定した高品質な金属化フィルムを提供するものである。
本発明の金属化フィルムの製造方法は、誘電体フィルムと、この誘電体フィルムの表面に、蒸着金属よりなる抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極と、蒸着金属の存在しない絶縁マージンとを備えた金属化フィルムの製造方法であって、真空中で、誘電体フィルムの表面の、絶縁マージンを形成する部分と、抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極を形成する部分とにオイルを付着させた後に、このオイルを付着させた誘電体フィルムの表面に金属蒸気を接触させる過程を含み、誘電体フィルムの表面の、抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極において、相対的に抵抗値の低い金属蒸着電極を形成する部分に付着させるオイルの、誘電体フィルム表面の単位面積当たりの量を、相対的に抵抗値の高い金属蒸着電極を形成する部分に付着させるオイルの量よりも少なくするか、またはオイルを付着させないようにするものである。
このような構成の製造方法により、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサが得られる金属化フィルムを提供することができる。
以下、図を用いて本発明の実施の形態について説明するが、本発明は実施の形態に限定されるものではない。
（実施の形態）
図１（ａ）は、本実施の形態に記載の製造方法によって作製された金属化フィルムの構造を示す断面図、図１（ｂ）は同金属化フィルムを用いたコンデンサ素子の構造を示す断面図である。図２は本実施の形態における、金属化フィルムを製造するための真空蒸着装置の構成を示す図である。
本実施の形態では、図１（ａ）に示すような、高抵抗部１２、低抵抗部１３、接続部１５を有する金属蒸着電極１６と、絶縁マージン１４とを誘電体フィルム１１の片方の表面に備えた金属化フィルム１０の製造方法について説明する。
図１（ａ）は、本実施の形態に記載の製造方法によって作製された金属化フィルムの構造を示す断面図、図１（ｂ）は同金属化フィルムを用いたコンデンサ素子の構造を示す断面図である。図２は本実施の形態における、金属化フィルムを製造するための真空蒸着装置の構成を示す図である。
本実施の形態では、図１（ａ）に示すような、高抵抗部１２、低抵抗部１３、接続部１５を有する金属蒸着電極１６と、絶縁マージン１４とを誘電体フィルム１１の片方の表面に備えた金属化フィルム１０の製造方法について説明する。
図２に示すように、真空蒸着装置は、真空状態が保たれた真空槽内に、表面に金属蒸着電極が形成される前の、ロール状に巻き取られた誘電体フィルム１１を取り付けて、誘電体フィルム１１を連続的に巻き出す巻き出し部１０１、誘電体フィルム１１を支持しながら冷却する冷却ロール１０２、巻き出し部１０１と冷却ロール１０２との間に配置され、誘電体フィルム１１の表面にオイル２０を付着させるオイルノズル１０４、冷却ロール１０２の近傍に配置され、金属蒸着電極となる金属を溶融し蒸発させて、オイル２０が付着した誘電体フィルム１１の表面に金属蒸気を供給する蒸発源１０５、誘電体フィルム１１の表面に金属蒸着電極１６が形成された金属化フィルム１０をロール状に巻き取る巻き取り部１０３を備える。
そして、フィルムの表面に形成される金属蒸着電極１６の抵抗値は、誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量で制御する。
誘電体フィルム１１の表面に形成する金属蒸着電極１６の抵抗値の制御方法について図を用いて説明する。
図５（ａ）～（ｄ）は、本実施の形態における金属化フィルム１０の製造過程の図で、（ａ）から（ｄ）へ順に進むことを示している。
図５（ａ）は、誘電体フィルム１１の表面にオイル２０を付着させた状態を示しており、誘電体フィルム１１の表面に付着させたオイル２０のうち、金属蒸着電極１６の高抵抗部１２を形成する部分に付着させたオイル２０ｂの、誘電体フィルム１１表面の単位面積あたりの量は、絶縁マージン１４を形成する部分に付着させたオイル２０ａの量よりも少なくなっている。すなわち、図５（ａ）にて示すように、誘電体フィルム１１の表面の単位面積あたりのオイル２０の付着量をオイル２０の膜厚にて模式的に示すと、金属蒸着電極１６の高抵抗部を形成する部分に付着させたオイル２０ｂの膜厚は、絶縁マージン１４を形成する部分に付着させたオイル２０ａの膜厚よりも薄くなっている。また、低抵抗部１３と接続部１５とを形成する部分の誘電体フィルム１１の表面２２には、オイル２０は付着させていない。なお、誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量の制御方法については後述する。
図５（ｂ）は、オイル２０ａ、２０ｂを付着させた後の誘電体フィルム１１の表面に、蒸発源１０５からの金属蒸気１１４が接触している状態を示しており、誘電体フィルム１１の表面の、絶縁マージン１４を形成する部分に付着させたオイル２０ａと高抵抗部１２を形成する部分に付着させたオイル２０ｂの表面には金属蒸着電極は形成されておらず、蒸発源の溶融金属１１３からの輻射熱や金属蒸気の持つ潜熱によってオイル２０の一部が蒸発し付着量が減少している。一方、誘電体フィルム１１の、オイル２０を付着させていない低抵抗部１３と高抵抗部１２とを形成する部分の表面２２には金属が付着し、低抵抗部１３と接続部１５が形成され始めている。
図５（ｃ）は、図５（ｂ）に示す状態から蒸着が進行している状態を示しており、誘電体フィルム１１の表面の、絶縁マージン１４を形成する部分に付着させたオイル２０ａは、その付着量は減少はしているものの、存在はしているので、この部分には金属蒸着電極１６は形成されていない。誘電体フィルム１１の表面の高抵抗部１２を形成する部分に付着させたオイル２０ｂはほとんど無くなり、この部分には金属が付着し、高抵抗部１２が形成され始めている。低抵抗部１３と接続部１５の蒸着金属の膜厚はさらに増加している。
図５（ｄ）は、金属蒸着電極１６と絶縁マージン１４の形成が完了した状態で、誘電体フィルム１１の表面には、所望の膜厚の高抵抗部１２、低抵抗部１３、接続部１５が形成されている。低抵抗部１３と接続部１５の膜厚はほぼ同じで、高抵抗部１２の膜厚は、低抵抗部１３や接続部１５の膜厚よりも薄くなっており、相対的に膜厚の薄い部分の金属蒸着電極１６の抵抗値は、膜厚の厚い部分の金属蒸着電極１６の抵抗値よりも高くなるので、高抵抗部１２の抵抗値は、低抵抗部１３や接続部１５の抵抗値よりも高くなっている。そして、誘電体フィルム１１の表面の、オイル２０ａが付着していた部分には、電極として機能する程の蒸着金属が存在しない絶縁マージン１４が形成されている。
次に、誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量を制御する方法について図を用いて詳しく説明する。
誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量は、オイルノズルを用いることよって制御することができる。
図３は、本実施の形態におけるオイルノズル１０４の概要を示す斜視図、図４は本実施の形態におけるオイルノズル１０４の上面を示す上面図である。
オイルノズル１０４は、その内部に収容したオイル２０を約１００～１５０℃に加熱して気化させる機能を有し、気化したオイル２０の蒸気をオイルノズル１０４の外部に放出するノズル開口部１２０と、外部への放出を遮蔽するノズル遮蔽部１２１とを、同一面に備えている。
オイルノズル１０４は、図３に示すように、ノズル開口部１２０とノズル遮蔽部１２１とを備えた面が、走行する誘電体フィルム１１の一方の面に（図３における下面）に対向するように、誘電体フィルム１１に対して至近距離に配置されている。
オイルノズル１０４のノズル開口部１２０部分と対向する誘電体フィルム１１の表面には、ノズル開口部１２０から噴出したオイル２０の蒸気が接触し、そして冷却されて凝縮し、誘電体フィルム１１の表面にオイル２０が付着する。一方、オイルノズル１０４のノズル遮蔽部１２１からはオイル２０は噴出しないので、ノズル遮蔽部１２１部分と対向する誘電体フィルム１１の表面にはオイルは付着しない。
誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量は、オイルノズル１０４に備えられたノズル開口部１２０の、このノズル開口部１２０が対向する誘電体フィルム１１の走行方向（長手方向）の寸法を増減することによって制御する。
詳しく説明すると、図４に示すように、オイルノズル１０４に備えられたノズル開口部１２０は、このノズル開口部１２０が対向する誘電体フィルム１１の走行方向（図４における左右方向）の寸法が長いノズル開口部（以降、寸法が長いノズル開口部という）１２０ａと、誘電体フィルム１１の走行方向の寸法が短いノズル開口部（以降、寸法が短いノズル開口部という）１２０ｂとを有しており、誘電体フィルム１１の表面の特定の点において、寸法が長いノズル開口部１２０ａに対向する点は、寸法が短いノズル開口部１２０ｂに対向する点よりも、寸法が長いノズル開口部１２０ａから噴出するオイル２０の蒸気に長い時間接触することになる。その結果、誘電体フィルム１１の表面の、オイルノズル１０４の寸法が長いノズル開口部１０２ａに対向する部分では、寸法が短いノズル開口部１２０ｂに対向する部分よりも、誘電体フィルム１１の表面に付着するオイル２０の誘電体フィルム１１表面の単位面積当たりの量を多くすることができる。
なお、図４における符号Ｂ１および符号Ｂ２の領域は、それぞれ一つの金属化フィルムコンデンサに用いる一つの金属化フィルム１０の幅に相当し、実際の金属化フィルム１０の製造においては、図４に示すように、広幅の誘電体フィルム１１を用いて、この広幅の誘電体フィルム１１の幅方向に、複数の金属化フィルム１０が取れるように金属蒸着電極１６と絶縁マージン１４とを形成した後、誘電体フィルム１１の幅方向に分割するようにスリットすることによって、金属化フィルムコンデンサ一つ分の金属化フィルム１０が得られる。
なお、オイル２０には、フッ素系オイル、パラフィン系オイル等を使用してもよいが、パラフィン系オイル等に比較して耐熱性が高いフッ素系オイルは、蒸着時の熱によって分解し難く、誘電体フィルム１１上に残留する分解物が少なくなるので、本発明において金属化フィルム１０の品質確保の面で特に有利である。
また、誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量は、使用するオイル２０の種類、金属蒸着電極１６に用いる金属および金属蒸着電極１６の膜厚、蒸着機の構成および、蒸着時の条件等によって適宜決定すればよい。
このように、誘電体フィルム１１の表面に付着させるオイル２０の量を制御し、相対的に抵抗値の低い金属蒸着電極１６を形成する部分に付着させるオイル２０の誘電体フィルム１１表面の単位面積当たりの量を、相対的に抵抗値の高い金属蒸着電極１６を形成する部分に付着させるオイル２０の量よりも少なくするか、またはオイル２０を付着させないようにすることによって、一度の蒸着機会で、蒸発源の数を増やすことなく、抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極１６が形成された金属化フィルム１０を得ることができる。
上記のように、本発明は、従来のような、蒸発源１０５と冷却ロール１０２に支持された誘電体フィルム１１との間に、蒸発源１０５から誘電体フィルム１１の表面に到達する金属蒸気１１４の量を制御するマスクを配置する必要がないので、マスク開口部における金属の堆積による弊害も解消し、誘電体フィルム１１の表面に形成される金属蒸着電極１６の膜厚精度や、絶縁マージン等の寸法精度が高い、高品質な金属化フィルム１０を得ることができる。そして、図１（ｂ）に示すように、本発明の製造方法によって作製された金属化フィルム１０を巻回、或いは積層した、巻回体、或いは積層体にメタリコン電極１７を形成してコンデンサ素子２とすれば、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサが得られる。
ここで本発明を考察すると、従来は、金属化フィルムの製造において、蒸着金属の存在しない絶縁マージンを形成するために、誘電体フィルムの表面の絶縁マージンを形成する部分に予めオイルを付着させ、その後に金属を蒸着して蒸着金属の存在しない絶縁マージンと金属蒸着電極とを形成するオイルマージン法が利用されていたが、オイルを用いて絶縁マージンを形成すると、蒸着時のオイルの挙動や、蒸着後の金属化フィルムに残るオイルによって、金属蒸着電極の膜質の悪化や、誘電体フィルムへの金属蒸着電極の付着力の低下を引き起こすため、誘電体フィルムの金属蒸着電極を形成する部分に予めオイルを付着させることは、より金属化フィルムの品質を低下させるものと考えられていた。
ところが、本発明を実施したところ、誘電体フィルムの表面の、オイルを付着させた部分に形成した金属蒸着電極（実施の形態における高抵抗部）においても、膜質の悪化や、誘電体フィルムへの金属蒸着電極の付着力の低下等の、金属化フィルムの品質の低下は見られなかった。
これは、誘電体フィルムに付着させるオイルの量を適切にし、且つ精度よく制御することによって、誘電体フィルムに付着させたオイルが、蒸発源からの輻射熱や金属蒸気の持つ潜熱によって蒸発し、除去された後に金属蒸着電極が形成されることによるものと考えられる。
なお、絶縁マージン１４のような、誘電体フィルム１１の長手方向に連続した帯状の蒸着金属の存在しない部分の形成をテープマージン法で行い、抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極１６の形成を上記のような誘電体フィルム１１の表面にオイルを付着させる方法で行ってもよい。この場合であっても、一度の蒸着機会で抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極１６が形成された金属化フィルム１０を得ることができる。
なお、上記実施の形態では、誘電体フィルム１１の片面にのみ金属蒸着電極１６を形成した金属化フィルム１０の製造方法について説明したが、本発明の金属化フィルムの製造方法を用いて、図６（ａ）に示すような、高抵抗部４２、低抵抗部４３、接続部４５等の金属蒸着電極４６と、絶縁マージン４４とを誘電体フィルム４１の両面に備えた金属化フィルム４０を作製してもよい。この金属化フィルム４０を用いて図６（ｂ）に示すような、メタリコン電極４７が形成されたコンデンサ素子３２とすれば、信頼性の高い金属化フィルムコンデンサが得られる。
本発明は各種電子機器、電気機器、産業機器、自動車の電装等に使用される金属化フィルムコンデンサに有用である。
２、３２ コンデンサ素子
１０、４０ 金属化フィルム
１１、４１ 誘電体フィルム
１２、４２ 高抵抗部
１３、４３ 低抵抗部
１４、４４ 絶縁マージン
１５、４５ 接続部
１６、４６ 金属蒸着電極
１７、４７ メタリコン電極
２０、２０ａ、２０ｂ オイル
１０２ 冷却ロール
１０４ オイルノズル
１０５ 蒸発源
１１３ 溶融金属
１１４ 金属蒸気
１２０、１２０ａ、１２０ｂ ノズル開口部
１２１ ノズル遮蔽部
１０、４０ 金属化フィルム
１１、４１ 誘電体フィルム
１２、４２ 高抵抗部
１３、４３ 低抵抗部
１４、４４ 絶縁マージン
１５、４５ 接続部
１６、４６ 金属蒸着電極
１７、４７ メタリコン電極
２０、２０ａ、２０ｂ オイル
１０２ 冷却ロール
１０４ オイルノズル
１０５ 蒸発源
１１３ 溶融金属
１１４ 金属蒸気
１２０、１２０ａ、１２０ｂ ノズル開口部
１２１ ノズル遮蔽部
Claims (3)
- 誘電体フィルムと、この誘電体フィルムの表面に、蒸着金属よりなる抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極と、前記蒸着金属の存在しない絶縁マージンとを備えた金属化フィルムの製造方法であって、
真空中で、前記誘電体フィルムの表面の、前記抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極を形成する部分にオイルを付着させた後に、前記オイルを付着させた誘電体フィルムの表面に金属蒸気を接触させる過程を含み、
前記誘電体フィルムの表面の、前記抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極において、相対的に抵抗値の低い前記金属蒸着電極を形成する部分に付着させる前記オイルの、誘電体フィルム表面の単位面積当たりの量は、相対的に抵抗値の高い前記金属蒸着電極を形成する部分に付着させるオイルの量よりも少ないか、またはオイルを付着させないようにすることを特徴とする、金属化フィルムの製造方法。 - 前記誘電体フィルムの、前記抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極を形成する部分に加えて、前記誘電体フィルムの、前記絶縁マージンを形成する部分にも前記オイルを付着させ、前記絶縁マージンを形成する部分に付着させる前記オイルの単位面積当たりの量は、前記誘電体フィルムの表面の、前記抵抗値の異なる複数の金属蒸着電極において、相対的に抵抗値の高い前記金属蒸着電極を形成する部分に付着させるオイルの量よりも多いことを特徴とする、請求項１に記載の金属化フィルムの製造方法。
- 前記オイルがフッ素系オイルであることを特徴とする、請求項１に記載の金属化フィルムの製造方法。
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