JP2007080907A - 金属化フィルムコンデンサとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高抵抗値が要求される金属化フィルムは、金属膜を薄膜化するため原反の状態で湿気にさらされると金属の酸化が容易に進行して、酸化金属膜が形成され、膜の抵抗値が異常に高くなるという問題点があった。
【解決手段】フィルムに蒸着金属膜を形成し、この蒸着金属膜上にオイル被膜を形成する。このオイル被膜形成するオイル材料に特有の官能基を有する主鎖がポリシロキサン、あるいは特有の官能基を有する主鎖がフルオロポリエーテルを用いることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】フィルムに蒸着金属膜を形成し、この蒸着金属膜上にオイル被膜を形成する。このオイル被膜形成するオイル材料に特有の官能基を有する主鎖がポリシロキサン、あるいは特有の官能基を有する主鎖がフルオロポリエーテルを用いることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、各種電気機器、電子機器、産業機器に使用される金属化フィルムコンデンサおよびその金属化フィルムの製造方法に関するものである。
金属を蒸着したプラスチックフィルムからなるコンデンサ(以下、金属化フィルムコンデンサと称す)は、従来から広く用いられており、その一例について説明する。
図7は従来の金属化フィルムコンデンサの一部を示す断面図である。図7に示すように従来の金属化フィルム74において、72はフィルム、61は蒸着電極、61aは容量形成部、61bはコンタクト部、41はオイル被膜を示す。41のオイル被膜は無官能なシリコーンオイルである。なお、蒸着電極61は容量形成部61a、コンタクト部61bの両方を総称したものである。
また、72aはフィルム72上に設けられたマージン部であり、マージン部72aには蒸着電極61が形成されていない。
図7において、フィルム72の片面に蒸着電極61を設けた片面の金属化フィルム74をマージン部72aが交互の位置になるように一対で巻回または積層し、両端面から金属を溶射(図示せず、以下メタリコンと称す)してコンデンサが形成される。
蒸着電極61は、アルミニウムや亜鉛、またはその混合物が用いられている。また、容量形成部61aは薄く蒸着して自己回復性を高め、コンタクト部61bを厚く蒸着して、メタリコンとのコンタクト強度を高めるヘビーエッジ構造が広く採用されている。また、フィルム72は、ポリプロピレンフィルムやポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルムなどが用いられている。
更に自己回復効果を高めるために、電極膜の高抵抗化を目的とし、容量形成部61aは、より薄い膜が蒸着形成されるようにしている。金属膜の薄膜化により、従来のものと比較して、蒸着電極61の耐湿性が問題となる。
従来、金属を蒸着した電極膜の耐湿性を高める手段として、真空蒸着機で金属化フィルムを製造する工程において、金属を蒸着した後に蒸着金属面にオイル被膜を形成することが提唱されていた。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1および特許文献2が知られている。
特公昭63−15737号公報
特開平10−287966号公報
しかしながら、前記特許文献1および特許文献2に示された手法では、高抵抗化により、蒸着電極である金属膜がより薄くなった場合、耐湿性が低下し、高温高湿で保存すると、膜の抵抗値が上昇するという問題点があった。
これは湿気により金属膜が容易に酸化物や水酸化物に変化しやすく、従来材料によるオイル被膜では不十分であるという問題であった。
このように金属膜の酸化や水酸化反応が進行した金属化フィルムを用いてコンデンサを作製した場合には、電極抵抗値が増大してtanδが悪化する問題点もあった。
このため、より金属膜を薄膜化した金属化フィルムコンデンサの耐湿性の向上には、従来のオイル被膜よりも更に緻密に被覆したオイル被膜の形成が必要であった。
本発明においては、上記課題に関して、鋭意検討を進めた結果、フィルムの片面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着ステップと、前記金属蒸着ステップによって蒸着金属膜が形成された蒸着金属膜上にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステップとを有する金属化フィルムの製造方法を用いた場合に、特定の官能基を有するシリコーンオイル、または特定の官能基を有するフッ素オイルを用いることで湿気による蒸着金属膜である金属電極膜の酸化を防止し、良好な金属化フィルムを製造できることを見出した。
特に、本発明に用いる官能基を有するシリコーンオイル、あるいは、官能基を有するフッ素オイルとしては、特にフルオロポリエーテルオイルを用いることができるが、なかでも、官能基としてエポキシ基、アミノ基、アミド基、エステル基、カルボキシル基、メルカプト基、水酸基、フェノール基、メタクリル基、ピペロニル基から選ばれる少なくとも一つを用いるものがより望ましい。オイル被膜のより強度な被覆により金属膜の湿気との接触が妨げられて、金属電極膜の抵抗値の上昇が抑えられるからである。
また、本発明に用いる蒸着金属としては、アルミニウム、亜鉛やその混合物等を用いることができるが、特に亜鉛を含む蒸着金属を用いた場合に顕著な効果を得ることができる。
また、本発明に用いるフィルムとしては、前述のポリプロピレンフィルムやポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルムなどがあるが、中でも、ポリプロピレンフィルムを用いた場合に顕著な効果を得ることができる。
さらに、本発明に用いるオイル被膜形成ステップとしては、オイル蒸気を吹付けるものや、ロールコータにより塗布するものなどを用いることができる。オイル被膜形成ステップにおいては、少なくとも蒸着膜の全面にオイル被膜を形成して良いが、より望ましくは、オイル蒸気の噴出し口形状やロールコータの形状により、フィルムの幅方向に対して所定の部分にのみオイル被膜を形成する方がよい。これは、金属化フィルムコンデンサを作製する際に、メタリコンとコンタクトする部分にオイル被膜があると、メタリコンの熱により大部分が蒸発飛散するが、オイルが残存した場合には、コンタクトが劣る場合があるためである。なお、メタリコンとコンタクトする部分の裏側は絶縁マージンが配置されるため、ブロッキングは発生しない。
また、オイル被膜形成ステップとしては、オイル蒸気を吹付けるものが最も望ましい。他の方法、例えばロールコータでも本発明により金属膜の酸化は防止できるが、蒸着面にロールが接触するため、蒸着膜に傷ができてしまう場合があり、非接触でオイル蒸気を吹付けることが望ましい。さらに、オイルタンク内に圧力センサを設け、オイル蒸気圧をモニタリングして蒸着膜にオイル蒸気を噴霧することにより、長尺のフィルムに一定の割合でオイル被膜を形成することができる。
以上の説明から明らかなように、本発明の請求項1から6に記載の金属化フィルムコンデンサによれば、フィルムの片面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着ステップと、前記金属蒸着ステップによって形成した蒸着膜面にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステップとを有することから、湿気による電極金属膜の酸化劣化の無い良好な金属化フィルムを提供することができる。
また請求項1、2記載の金属化フィルムコンデンサは、フィルムの片面に蒸着金属膜を形成し、形成した蒸着膜面にオイル被膜を形成しているので、湿気による電極金属膜の酸化の無い良好な金属化フィルムとなり、tanδが良好なコンデンサを実現できる。
また本発明の請求項3記載の金属化フィルムコンデンサによれば、蒸着金属が亜鉛であるのでメタリコンとのコンタクト強度を高くすることができる。
また本発明の請求項4記載の金属化フィルムコンデンサによれば、蒸着金属がより薄い高抵抗膜の場合、より顕著な効果を得ることができる。
また請求項5記載の金属化フィルムコンデンサによれば、フィルムがポリプロピレンフィルムであることから、より顕著な効果を得ることができる。
また本発明の請求項6記載の金属化フィルムコンデンサの製造方法によれば、前記オイル被膜形成ステップが、フィルムの幅方向において所定の部分にのみオイル被膜を形成するものであることから、メタリコンコンタクトを悪化させることなくオイル被膜を形成することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1について詳細に説明する。
以下、本発明の実施の形態1について詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態における金属化フィルムの製造装置の断面図であり、1は真空チャンバー、2はフィルム巻き出し部、3はフィルム、4は冷却キャン、5はアルミニウム蒸着源、6は亜鉛蒸着源、7はオイル被膜形成部、8はフィルム巻き取り部、9は排気を示す。
真空チャンバー1内に未蒸着のフィルム3が巻かれたフィルム巻き出し部2が配置されている。そして同じく真空チャンバー1内に、フィルム3に金属を蒸着させる冷却キャン4、アルミニウム蒸着源5、亜鉛蒸着源6とが配置されている。さらに、フィルム3にオイル被膜を形成するオイル被膜形成部7、およびフィルム3を巻き取るフィルム巻き取り部8が配置されている。そしてこれらの部分を経由するフィルムを滑らかに送給する中間ロール(図示せず)が案内用として真空チャンバー1内に、数箇所配置されている。
このような構成を備える金属化蒸着フィルムの製造装置において、まずフィルム巻き出し部2から巻き出された未蒸着のフィルム3が、冷却キャン4を通過する際に、アルミニウム蒸着源5、および亜鉛蒸着源6よりフィルム3の片面に蒸着を行う。次にオイル被膜形成部7でオイル被膜を形成した後に、フィルム巻き取り部8で巻き取って、金属化フィルムの原反を作製する。これを繰り返すことによってフィルム3の両面に蒸着することも可能である。
なおこの際、図示しない真空ポンプにより、排気9に示すように真空チャンバー1内から排気する。またアルミニウム蒸着源5、および亜鉛蒸着源6は、目的により、アルミニウムだけを蒸着したり亜鉛だけを蒸着したり、またアルミニウムと亜鉛の混合物を蒸着したりすることができる。
さらに、フィルム3にオイル被膜を蒸着する工程について、図2および図3を用いて詳細に説明する。図2は、図1のオイル被膜形成部7近傍を拡大した断面図であり、3aはフィルムが走行する方向、20はオイルタンク、21は蒸着膜、22はオイル、23は加熱ヒータ、24はオイル蒸気、26は温度センサ、27は圧力センサ、28はノズル、29はオイル被膜を示し、図1で説明した同一の構成物については同一の符号を付してその説明を省略する。さらに図3は、図2中のノズル28の形状を矢印Aで示した方向から見た図であり、30はノズル28に設けられたスリットを示す。
そして図2に示すように、オイル被膜形成部7は、円筒状のオイルタンク20の内部にオイル22、加熱ヒータ23、温度センサ26および圧力センサ27が収納されている。
このような構成を備えるオイル被膜形成部7の作用において、加熱ヒータ23により加熱されたオイル22はオイル蒸気24となりノズル28から噴出し、矢印3aの方向へ走行するフィルム3に設けられた蒸着膜21のノズル側にオイル被膜29を形成する。なお、温度センサ26と圧力センサ27は、オイルタンク20内部の温度と圧力をモニタリングするものである。特に圧力センサ27により、長尺のフィルムを金属化する場合であっても、蒸着中のオイル噴出量を一定に保ち、均一なオイル被膜29を形成することができる。
さらに図3に示すように、ノズル28にはスリット30をフィルム3の幅方向に断続的に設けている。そしてこのスリット30よりオイル蒸気24が噴出し、フィルム3上にオイル被膜29が形成される。このように、スリット30を断続的に設けることで、金属化フィルムの容量形成部(図6の61a)にのみオイル被膜29を形成することができる。なお、金属化フィルム製造工程は、複数分のコンデンサに相当するフィルム3を一度に作製し、後工程でカットするので、スリット30も断続的なものとなる。すなわち1つのスリット30は後工程でできる1つの金属化フィルムにおける容量形成部に相当する。
次に、以上で説明した本発明の実施の形態の製造装置で特定の官能基を有するシリコーンオイルまたは特定の官能基を有するフッ素系オイルを設けた金属化フィルムコンデンサの耐湿性評価結果について図4を用いて説明する。図4は、本発明の実施の形態の製造装置で金属化フィルムを作製する際の条件とその結果を示したものである。
本発明の実施の形態1の図1で示す製造装置により、6μm厚みで520mm幅のポリプロピレンフィルムを、図4における本実施の形態の実施例1から実施例14、従来例1から4および比較例1で示すように、蒸着金属、オイル被膜の条件を変えて作製し、その違いを確認した。作製した蒸着フィルムの長さは、いずれも3000mで、蒸着膜の膜抵抗値は、従来の抵抗値のアルミニウム+亜鉛の場合は12Ω/□、高抵抗値のアルミニウム+亜鉛の場合は20Ω/□となるよう蒸着した。
そして、このようにして各条件で作製した金属化フィルムを、原反の状態のまま、温度60℃相対湿度80%の雰囲気で20日間放置した後、スリッタ機で裁断して、蒸着膜の抵抗値を測定し、図5にその結果を示した。
図4から明らかなように、従来例1から4および比較例1に示す、オイル被膜をしない及び従来のオイル条件で作製した金属化フィルムでは、蒸着膜抵抗値が上昇した。これに対し、本実施の形態の実施例1から実施例6では、抵抗値上昇の無い良好な結果を得た。また、高抵抗値を有する、金属膜の薄い金属電極の場合には、特に顕著に官能基を有するシリコーンオイルまたは官能基を有するフッ素系オイルは良好な結果を得た。
次に、図4に示す本実施の形態の実施例1の金属化フィルムを用いて金属化フィルムコンデンサを作製した。図6は、作製した金属化フィルムコンデンサの断面図であり、31はオイル被膜、61は蒸着電極、72はフィルム、74は金属化フィルムを示す。
図6において、金属化フィルム74は、本実施の形態における製造装置により図4で示す本実施の形態の実施例1の条件にて作製されたものであり、フィルム72に蒸着電極61を具備し、さらにオイル被膜31で被われている。
また、72aはフィルム72上に設けられたマージン部であり、マージン部72aには蒸着電極61が形成されていない。
図6において、フィルム72の片面に蒸着電極61を設けた金属化フィルム74をマージン部72aが交互の位置になるように一対で巻回または積層し、両端面から亜鉛などを溶射してコンデンサが形成される。
さらに、このようにして作製した金属化フィルムコンデンサの、1kHzにおけるtanδを試験した結果を図5に示す。図5は、図4における本実施の形態の実施例1から14と従来例1から4と比較例1での条件で製造した金属化フィルムを使用して作製したコンデンサの試験結果を示すものである。
その結果、図5で示すように、従来例1のコンデンサは金属電極膜の酸化によりtanδが高かったが、本実施の形態その1のコンデンサは良好なtanδを示した。
以上のことから、本実施の形態による製造装置で作製したコンデンサにはオイル被膜31として官能基を有する特定のシリコーンオイルまたは官能基を有する特定のフッ素系オイルを設けた金属化フィルムコンデンサは、より効果が得られたことが確認できた。
なお、本実施の形態では図1から図3の製造装置を例として示したが、本発明の製造装置はこれに限定されるものではなく、フィルムの片面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜上にオイル被膜を形成するオイル被膜形成部とを有する金属化フィルムの製造装置であれば、同様の効果を得ることができる。
また図3ではオイル被膜形成部としてオイル蒸気をスリットから噴出したが、スリットの代わりに等間隔で穴を設けて噴出せしめてもかまわない。
さらに、実施の形態からなる金属化フィルムコンデンサの一例を図6に示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、蒸着電極61はヘビーエッジでなく均一な厚みであっても同様の効果を得ることができる。
また、本実施の形態は、巻き取られた未蒸着フィルムを引き出し時順次送付させていく装置内で、フィルムの片面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着ステップと、金属蒸着面上にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステップとを用い、フィルムを巻き取って金属化フィルムを製造する金属化フィルム製造方法を示すものである。
以上のように、本発明にかかる金属化フィルムコンデンサによれば、フィルムコンデンサの耐湿性を向上できるので、ハイブリッド自動車のモータ駆動用のインバータシステムなどに有用である。
1 真空チャンバー
2 フィルム巻き出し部
3 フィルム
4 冷却キャン
5 アルミニウム蒸着源
6 亜鉛蒸着源
7 オイル被膜形成部
8 フィルム巻き取り部
9 排気
20 オイルタンク
21 蒸着膜
22 オイル
23 加熱ヒータ
24 オイル蒸気
26 温度センサ
27 圧力センサ
28 ノズル
29、31、41 オイル被膜
61 蒸着電極
72 フィルム
74 金属化フィルム
2 フィルム巻き出し部
3 フィルム
4 冷却キャン
5 アルミニウム蒸着源
6 亜鉛蒸着源
7 オイル被膜形成部
8 フィルム巻き取り部
9 排気
20 オイルタンク
21 蒸着膜
22 オイル
23 加熱ヒータ
24 オイル蒸気
26 温度センサ
27 圧力センサ
28 ノズル
29、31、41 オイル被膜
61 蒸着電極
72 フィルム
74 金属化フィルム
Claims (6)
- 誘電体フィルムの片面に蒸着金属膜を具備し、さらに前記蒸着金属膜上にオイル被膜を具備した金属化フィルムを用いたコンデンサであって、前記オイル被膜を形成する化合物は特有の官能基を有する主鎖がポリシロキサン、あるいは特有の官能基を有する主鎖がフルオロポリエーテルであることを特徴とする金属化フィルムコンデンサ。
- 前記オイル被膜を形成する化合物の主鎖が有する特有の官能基が、エポキシ基、アミノ基、アミド基、エステル基、カルボキシル基、メルカプト基、水酸基、フェノール基、メタクリル基、ピペロニル基から選ばれる少なくとも一つの官能基であることを特徴とする請求項1記載の金属化フィルムコンデンサ。
- 前記蒸着金属膜において、蒸着する金属が亜鉛を含むことを特徴とする請求項1に記載の金属化フィルムコンデンサ。
- 前記蒸着金属膜の抵抗値が10Ω/□以上であることを特徴とする請求項1、2および3記載の金属化フィルムコンデンサ。
- 誘電体フィルムがポリプロピレンフィルムを用いることを特徴とする請求項1、2及び4記載の金属化フィルムコンデンサ。
- フィルムの片面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着ステップと、前記金属蒸着ステップの後、蒸着金属膜上にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステップとを連続製膜する金属化フィルムコンデンサの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005263385A JP2007080907A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 金属化フィルムコンデンサとその製造方法 |
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2009206224A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Panasonic Corp | 金属化フィルムコンデンサ |
JP2009206296A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Panasonic Corp | 金属化フィルムコンデンサ |
CN109545547A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-03-29 | 铜陵市超越电子有限公司 | 电驱动电容器专用金属化薄膜的制作方法 |
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2005
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