JP5450348B2

JP5450348B2 - 金属化フィルムの製造装置

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Publication number: JP5450348B2
Application number: JP2010240597A
Authority: JP
Inventors: 洋一郎小島; 正則小川; 浩之池田; 睦蒔田
Original assignee: Kojima Industries Corp
Current assignee: Kojima Industries Corp
Priority date: 2010-10-27
Filing date: 2010-10-27
Publication date: 2014-03-26
Anticipated expiration: 2030-10-27
Also published as: JP2012092392A

Description

本発明は、金属化フィルムの製造装置に係り、特に、フィルムコンデンサを作製する際に有利に用いられる金属化フィルムの製造装置に関する。

従来から、電子機器に使用されるフィルムコンデンサとして、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが知られている。これら積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサは、何れも、樹脂フィルム等からなる誘電体フィルムに、金属蒸着膜からなる、所謂金属蒸着電極が積層形成されてなる金属化フィルムを用いて、作製されている。

すなわち、積層タイプのフィルムコンデンサは、誘電体フィルムの片面又は両面に金属蒸着電極を積層形成してなる構造の金属化フィルム（基本素子）の複数を更に積層して、積層形コンデンサ素子を構成し、そして、この積層形コンデンサ素子に対して、一対のメタリコン電極を形成すると共に、それら各メタリコン電極に外部接続用端子を接続して、構成されている。また、巻回タイプのフィルムコンデンサは、誘電体フィルムの片面に金属蒸着電極を積層形成してなる構造の金属化フィルムの複数を互いに重ね合わせた状態で巻回して、或いは誘電体フィルムの両面に金属蒸着電極を積層形成してなる構造の金属化フィルムと誘電体フィルムとを互いに重ね合わせた状態で巻回して、巻回型コンデンサ素子を構成し、そして、積層タイプのフィルムコンデンサと同様に、かかる巻回型コンデンサ素子に対して、外部接続用端子が接続された一対のメタリコン電極を形成することによって構成されている。

ところで、このような積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサの作製に際しては、金属化フィルムとして、金属蒸着電極が形成されていないマージン（金属非蒸着部）にて囲まれた複数の分割電極部と、それらの複数の分割電極部の隣り合うもの同士を相互に接続するヒューズ部（狭幅の金属蒸着電極部分）とからなる分割パターンを有する金属蒸着電極が、誘電体フィルムに形成されてなるものが、好適に用いられる。何故なら、そのような金属化フィルムを用いて作製されたフィルムコンデンサでは、過度の条件での使用等により、金属蒸着膜特有の自己回復でクリアリングできない微小破壊が発生したときに、過大な短絡電流が流れてヒューズ部が切断され、それによって、微小破壊の発生した分割電極部を他の分割電極部から切り離す自己保安機能が発揮されるからである。

このような自己保安機能を備えたフィルムコンデンサの作製に使用される金属化フィルムは、従来、例えば、特開２００９−２２１５０６号公報（特許文献１）に示される如き製造装置を用いて製造される。

図５に示されるように、上記公報に開示の金属化フィルムの製造装置１００は、真空ポンプ１０１により内部が真空状態とされる真空槽１０２を有している。この真空槽１０２内には、誘電体フィルム１０４のロール１０６が取り付けられて、このロール１０６から誘電体フィルム１０４を巻き出す巻出し機１０８と、ロール１０６から巻き出された誘電体フィルム１０４を巻き取る巻取り機１１０とが設置されている。また、真空槽１０２内には、外周面を冷却する冷却機構１３４を内蔵した冷却用キャンローラ１１２が設置され、巻出し機１０８から巻取り機１１０に向かって走向する誘電体フィルム１０４が、巻取り機１１０に巻き取られる前に、冷却用キャンローラ１１２に巻き掛けられるようになっている。

また、真空槽１０２内には、ロール１０６から巻き出されて、巻出し機１０８から冷却用キャンローラ１１２に向かって走向する誘電体フィルム１０４の片面に、狭幅の分割マスク部と端部マスク部とをそれぞれ形成する分割マスク部形成ユニット１１４と端部マスク部形成ユニット１１６とが、設置されている。分割マスク部は、金属蒸着電極が、複数の分割電極部と、互いに隣り合う分割電極部同士を接続する狭幅のヒューズ部とからなる分割パターンを有するように、誘電体フィルム１０４上に、金属蒸着電極を複数に分割する、金属非蒸着部である分割マージンを与えるものである。端部マスク部は、最終的に得られるフィルムコンデンサのメタリコン電極と金属蒸着電極とを非接続とする、金属非蒸着部である端部マージンを与えるものである。ここでは、それら分割マスク部と端部マスク部とが、何れも、オイル膜にて構成される。

分割マスク部形成ユニット１１４は、オイル供給ロール１１８と転写ロール１２０と印刷ロール１２２とバックアップロール１２４とを有している。印刷ロール１２２の外周面には、分割電極部とヒューズ部とからなる金属蒸着電極の分割パターンに対応した凸版が形成されている（図示せず）。そして、オイル供給ロール１１８から供給された、金属付着防止剤としてのオイルが、転写ロール１２０にて、印刷ロール１２２の外周面に形成された凸版に転写され、また、この凸版に転写されたオイルが、かかる印刷ロール１２２とバックアップロール１２４とにて挟持されて走向する誘電体フィルム１０４の片面（冷却用キャンローラ１１２への巻き掛け時に外側面となる面）に更に転写されるようになっている。かくして、かかる分割マスク部形成ユニット１１４にあっては、誘電体フィルムの片面に対して、オイルマスク（オイル印刷膜）からなる分割マスク部を、転写されたオイルにて、所定の分割パターンで形成し得るように構成されているのである。

一方、端部マスク部形成ユニット１１６は、オイルを蒸発させ、その蒸気をノズル１２５から噴出させるオイル蒸発源１２６と、誘電体フィルム１０４の分割マスク部形成面とは反対側面に接触して、誘電体フィルム１０４を送り出すように配置されたバックアップロール１２８とを有している。また、バックアップロール１２８には、冷却機構１３２が内蔵されている。そして、誘電体フィルム１０４が、バックアップロール１２８にて送り出されつつ、かかる誘電体フィルム１０４の分割マスク部形成面の幅方向端部に、オイル蒸発源１２６のノズル１２５から吹き出されたオイルの蒸気が膜状に付着させられるようになっている。かくして、端部マスク部形成ユニット１１６にあっては、オイルマスク（オイル蒸着膜）からなる端部マスク部を、誘電体フィルム１０４の分割マスク部形成面の幅方向端部に対して、その長さ方向に連続して延びるように形成可能とされているのである。

そして、真空槽１０２内における冷却用キャンローラ１１２の周囲には、所定の金属を蒸発させて、その蒸気を、冷却用キャンローラ１１２に巻き掛けられた誘電体フィルム１０４の外側面（冷却用キャンローラ１１２との接触側とは反対側の面）に付着させて、金属蒸着膜を成膜するための金属蒸発源１３０が設置されている。

かくして、従来の金属化フィルム製造装置１００にあっては、真空状態とされた真空槽１０２内で、巻出し機１０８にてロール１０６から巻き出された誘電体フィルム１０４が巻取り機１１０にて巻き取られるまでの間に、誘電体フィルム１０４の片面に、端部マージンを与える端部マスク部と分割マージンを与える分割マスク部とがそれぞれ形成されると共に、それら端部マスク部と分割マスク部の形成部位を除く部位に、金属蒸着膜が成膜されるようになっている。そして、そのような金属蒸着膜により、複数の分割電極部とヒューズ部とからなる分割パターンを有する金属蒸着電極が形成されると共に、幅方向一端にメタリコン電極との非接続部分が設けられた、目的とする金属化フィルムが、ロール形態で製造されるようになっているのである。

ところが、そのような従来の金属化フィルム製造装置１００には、以下の如き幾つかの問題が内在していた。即ち、かかる金属化フィルム製造装置１００においては、冷却用キャンローラ１１２とは別個のバックアップロール１２４，１２８にそれぞれ巻き掛けられた誘電体フィルム１０４に対して、分割マスク部と端部マスク部とが、分割マスク部形成ユニット１１４と端部マスク部形成ユニット１１６とにて、それぞれ形成される一方、冷却用キャンローラ１１２に巻き掛けられた誘電体フィルム１０４に対して、金属蒸着電極が、金属蒸発源１３０にて形成されるようになっている。そのため、真空槽１０２内には、誘電体フィルム１０４に分割マスク部を形成するための、分割マスク部形成ユニット１１４が設置されたエリアと、誘電体フィルム１０４に端部マスク部を形成するための、端部マスク部形成ユニット１１６が設置されたエリアと、誘電体フィルム１０４に金属蒸着電極を形成するための、金属蒸発源１３０が設置されたエリアとを、それぞれ設けるスペースが必要とされており、それ故に、真空槽１０２、ひいては金属化フィルム製造装置１００の全体が、大型化することが避けられなかった。

しかも、従来の金属化フィルム製造装置１００では、一般に、二つのバックアップロール１２４，１２８や冷却用キャンローラ１１２、或いは、それら以外の多くのロールと誘電体フィルム１０４との接触時に、誘電体フィルム１０４に横ズレによる皺が生ずる恐れがあったため、誘電体フィルム１０４を幾つかのエキスパンダロール１３１に巻き掛ける必要があった。それ故、ロール１０６から巻き出された誘電体フィルム１０４が巻取り機１１０にて巻き取られるまでの間に、誘電体フィルム１０４に対して、多くのロールからテンションが加えられ、それによって、誘電体フィルム１０４に伸びが生ずる可能性があった。このような誘電体フィルム１０４の伸びは、最終的に得られるフィルムコンデンサの電気的特性に悪影響を及ぼす恐れがある。

加えて、従来の金属化フィルム製造装置１００では、オイル蒸着膜からなる端部マスク部の形成工程や金属蒸着電極の形成工程で誘電体フィルム１０４が熱ダメージを受けないように、端部マスク部形成ユニット１１４を構成するバックアップロール１２８と冷却用キャンローラ１１２とに冷却機構１３２，１３４が、それぞれ内蔵されていた。また、分割マスク部形成ユニット１１６として、オイル供給ロール１１８から転写ロール１２０にオイルを供給する構造のものに代えて、オイル蒸発源から吹き出されたオイルの蒸気を転写ロール１２０に付着させる構造のものを採用する場合には、分割マスク部形成ユニット１１４の転写ロール１２０と印刷ロール１２２とバックアップロール１２４のうちの何れかに対しても、冷却機構１３２を設ける必要が生ずる。それ故、そのような複数の冷却機構１３２，１３４を必要とする従来の金属化フィルム製造装置１００には、複数の冷却機構１３２，１３４の設置によって、金属化フィルム製造装置１００自体の構造が複雑化するばかりでなく、目的とする金属化フィルムの製造コストが高騰するといった問題が存していたのである。

特開２００９−２２１５０６号公報

ここにおいて、本発明は、上述せる如き事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、より安定した品質のフィルムコンデンサを作製可能な金属化フィルムを低コストに製造し得る、小型且つ簡略な構造の金属化フィルムの製造装置を提供することにある。

本発明は、上記した課題、又は本明細書全体の記載や図面から把握される課題を解決するために、以下に列挙する各種の態様において、好適に実施され得るものである。また、以下に記載の各態様は、任意の組み合わせにおいても、採用可能である。なお、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに何等限定されることなく、明細書全体の記載並びに図面に開示の発明思想に基づいて、認識され得るものであることが、理解されるべきである。

＜１＞誘電体フィルムに金属蒸着電極を形成してなる金属化フィルムを製造するための装置であって、（ａ）前記誘電体フィルムのロールから誘電体フィルムを巻き出す巻出し機と、該ロールから巻き出された誘電体フィルムを巻き取る巻取り機とが内部に設置された真空槽と、（ｂ）該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、（ｃ）前記真空槽内に設置されており、前記巻出し機にて前記ロールから巻き出された前記誘電体フィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に巻き掛けられる第一の回転ドラムと、（ｄ）前記第一の回転ドラムに内蔵されて、該第一の回転ドラムの外周面を冷却する第一の冷却手段と、（ｅ）前記真空槽内における前記第一の回転ドラムの周囲に設置されており、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた前記誘電体フィルムの外側面に前記金属蒸着電極を形成する第一の金属蒸着電極形成手段と、（ｆ）前記真空槽内における前記第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた前記誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に設置されており、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面への前記金属蒸着電極の形成を阻止するマスク部を、該誘電体フィルムの外側面の幅方向一端部に、その長手方向に連続して延びるように形成する第一の端部マスク部形成手段と、（ｇ）前記真空槽内における前記第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた前記誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に設置されており、前記金属蒸着電極が、前記マスク部にて囲まれて、複数に分割された分割電極部と、それらの複数の分割電極部の隣り合うもの同士を相互に接続するヒューズ部とからなる分割パターンを有するように、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、該金属蒸着電極を複数に分割するマスク部を形成する第一の分割マスク部形成手段とを含んで構成されていることを特徴とする金属化フィルムの製造装置。

＜２＞前記第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの幅方向他端部に位置する前記金属蒸着電極部分に、該誘電体フィルムの長手方向に連続して延びる亜鉛蒸着膜を形成する亜鉛蒸着膜形成手段が、前記真空槽内における該第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの走向方向の下流側の箇所に設置されている上記態様＜１＞に記載の金属化フィルムの製造装置。

＜３＞前記第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、被覆樹脂層を形成する被覆樹脂層形成手段が、前記真空槽内における該第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の端部マスク部形成手段と前記第一の分割マスク部形成手段のそれぞれの設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に設置されている上記態様＜１＞又は＜２＞に記載の金属化フィルムの製造装置。

＜４＞前記第一の回転ドラムから送り出された前記誘電体フィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に、前記金属蒸着電極の形成面を内側にして巻き掛けられる第二の回転ドラムが、その外周面を冷却する第二の冷却手段を内蔵して、前記真空槽内に設置されると共に、該第二の回転ドラムに巻き掛けられた該誘電体フィルムの外側面に前記金属蒸着電極を更に形成する第二の金属蒸着電極形成手段が、該真空槽内の該第二の回転ドラムの周囲に設置され、更に、該第二回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、該誘電体フィルムの幅方向一端部において長手方向に連続して延びる前記マスク部を形成する第二の端部マスク部形成手段と、該第二回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、該金属蒸着電極を複数に分割する前記マスク部を形成する第二の分割マスク部形成手段とが、該真空槽内における該第二の回転ドラムの周囲において、該第二の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第二の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に、それぞれ設置されている上記態様＜１＞乃至＜３＞のうちの何れか一つに記載の金属化フィルムの製造装置。

すなわち、本発明に従う金属化フィルムの製造装置にあっては、第一の端部マスク部形成手段と第一の分割マスク部形成手段と第一の金属蒸着電極形成手段とが、真空槽内の第一の回転ドラムの周囲において、第一の回転ドラムの周方向に並んで設置されている。換言すれば、端部マージンを与える端部マスク部を形成するための、端部マスク部形成手段が設置されたエリアと、分割マージンを与える分割マスク部を形成するための、分割マスク部形成手段が設置されたエリアと、金属蒸着電極を形成するための、金属蒸着電極形成手段が設置されたエリアとが、真空槽内における第一の回転ドラムの周囲に集約して、形成されている。それ故、かかる本発明装置にあっては、バックアップロールに巻き掛けられた誘電体フィルムに端部マスク部を形成するエリアと、別のバックアップロールに巻き掛けられた誘電体フィルムに分割マスク部を形成するエリアと、冷却用キャンローラに巻き掛けられた誘電体フィルムに金属蒸着電極を形成するエリアとが、真空槽内に分散して設けられた従来装置に比して、真空槽、ひいては製造装置全体のサイズが効果的に小さくされ得る。

また、本発明に係る金属化フィルムの製造装置では、誘電体フィルムが、唯一つの第一の回転ドラムに巻き掛けられた状態で、その外側に対して、端部マスク部と分割マスク部と金属蒸着電極とが、順次形成されるようになっている。このため、少なくとも２個のバックアップロールと１個の冷却用キャンローラにそれぞれ巻き掛けられた状態で、端部マスク部と分割マスク部と金属蒸着電極とが順次形成される従来装置とは異なって、誘電体フィルムに対して、多くのローラからテンションが加えられることが可及的に抑制される。そして、それにより、端部マスク部と分割マスク部と金属蒸着電極の形成途中で、誘電体フィルムに皺が発生したり、伸びが生じたりすることが、有利に防止され得る。

さらに、本発明装置においては、誘電体フィルムに対する端部マスク部と分割マスク部と金属蒸着電極の形成時に、誘電体フィルムを冷却するための冷却手段が、誘電体フィルムが巻き掛けられる第一の回転ドラムだけに設けられている。それ故、冷却手段が、誘電体フィルムに金属蒸着電極を形成するのに誘電体フィルムが巻き掛けられる冷却用キャンローラだけでなく、誘電体フィルムに端部マスク部を形成するためのユニットを構成する幾つかのロールのうちの少なくとも何れか１個に対して、また、場合によって、誘電体フィルムに端部マスク部を形成するのに誘電体フィルムが巻き掛けられるバックアップロールにも設けられる従来装置に比して、冷却手段の設置個数が有利に少なくされ、それによって、装置全体の構造の簡略化と設備コストの低下とが、有利に図られ得る。

従って、かくの如き本発明に従う金属化フィルムの製造装置にあっては、小型且つ簡略な構造が有利に実現され得ると共に、皺や伸びのない金属化フィルムを、より低コストに製造することが可能となる。そして、それが、金属化フィルムを用いて製造されるフィルムコンデンサの品質の向上と製造コストの低下に大きく寄与し得ることとなるのである。

本発明に従う構造を有する金属化フィルム製造装置を用いて製造された金属化フィルムの一例を示す縦断面説明図であって、図２のI−I断面に相当する図である。図１のII矢視説明図である。本発明に従う構造を有する金属化フィルム製造装置の一例をモデル的に示した説明図である。本発明に従う構造を有する金属化フィルム製造装置の別の例をモデル的に示した説明図である。従来の金属化フィルム製造装置をモデル的に示した説明図である。

以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。

先ず、図１には、本発明に従う構造を有する製造装置を用いて得られた金属化フィルムの一例が、その縦断面形態において示されている。図１から明らかなように、金属化フィルム１０は、誘電体フィルムとしての樹脂フィルム１２の一方の面に、被覆樹脂層１３と金属蒸着電極１４と亜鉛蒸着膜１５とが、その順番で積層形成されてなる積層構造を有している。

樹脂フィルム１２は、金属化フィルム１０のベースとなるもので、ここでは、ポリプロピレン製の延伸フィルムからなり、１〜１０μｍ程度の薄い厚さを有している。なお、樹脂フィルム１２の形成材料は、ポリプロピレンに何等限定されるものではなく、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート等、従来のフィルムコンデンサの樹脂フィルムの形成材料として使用される絶縁性の樹脂材料が、ポリプロピレンに代えて、適宜に用いられ得る。

樹脂フィルム１２の一方の面に積層される被覆樹脂層１３は、樹脂フィルム１２の一方の面の全面を被覆する薄膜からなり、樹脂フィルム１２よりも薄い５０〜１５０ｎｍ程度の厚さを有している。この被覆樹脂層１３は、延伸フィルム等からなる樹脂フィルム１２の一方の面を平滑化し、フィルム欠陥部等を補修することにより、金属化フィルム１０（フィルムコンデンサ）の耐電圧の向上や不良率低下を図ること等を目的として、樹脂フィルム１２の金属蒸着電極１４が形成されるべき面に積層形成されるものである。このような被覆樹脂層１３の形成材料には、例えば、ＤＣＰＡ（ジヒドロシクロペンタジエチルアクリレート）等のモノマーの重合体等、樹脂フィルム１２の表面平滑性向上のために、樹脂フィルム１２の表面を被覆する被覆層の形成材料として、従来より用いられるものが、何れも使用可能である。

かかる被覆樹脂層１３の樹脂フィルム１２側とは反対側の面に積層される金属蒸着電極１４は、ここでは、アルミニウムからなり、金属化フィルム１０を用いて作製されるフィルムコンデンサの内部電極として、公知の手法に従って、樹脂フィルム１２の一方の面上に積層形成されるものである。つまり、金属蒸着電極１４は、従来品と同様に、フィルムコンデンサの内部電極を形成する公知の金属材料（例えば、アルミニウムや亜鉛等）を蒸着材として用いて、ＰＶＤやＣＶＤの範疇に属する、従来から公知の真空蒸着法を実施することにより、樹脂フィルム１４の一方の面上に成膜される金属蒸着膜からなる。このような金属蒸着電極１４の膜抵抗値は１〜５０Ω／ｃｍ² 程度とされ、また、その膜厚は、膜抵抗値等によって適宜に決定される。

一方、図１及び図２に示されるように、亜鉛蒸着膜１５は、金属蒸着電極１４の被覆樹脂層１３（樹脂フィルム１２）側とは反対側の面において、樹脂フィルム１２の幅方向一端部に、その長さ方向に連続して延びる狭幅の帯状形態を有している。この亜鉛蒸着膜１５は、金属化フィルム１０を用いて作製されるフィルムコンデンサの両端面へのメタリコン電極の付着性向上のために、樹脂フィルム１２の幅方向の一端部に位置する金属蒸着電極１４部分上に形成されるものである。このような亜鉛蒸着膜１５の形成に際しては、亜鉛を蒸着材として用いた、ＰＶＤやＣＶＤの範疇に属する、従来から公知の真空蒸着法が、何れも採用可能である。

そして、図２に示されるように、金属化フィルム１０には、一つの端部マージン１６と多数の分割マージン１８ａ，１８ｂとが形成されている。それらの端部マージン１６と分割マージン１８ａ，１８ｂは、何れも、金属蒸着電極１４が形成されていない金属非蒸着部分からなっている。

端部マージン１６は、樹脂フィルム１２の幅方向における亜鉛蒸着膜１５の形成側とは反対側の端部において、その全長に亘って、長さ方向に連続して延びる狭幅の帯状形態を有している。このような端部マージン１６は、金属化フィルム１０を用いて作製されたフィルムコンデンサの金属蒸着電極１４とメタリコン電極との非接続部として構成されるものである。

一方、多数の分割マージン１８ａ，１８ｂには、樹脂フィルム１２の幅方向に真っ直ぐに延びる横分割マージン１８ａと、長さ方向に真っ直ぐに延びる縦分割マージン１８ｂの２種類のものがある。それら横分割マージン１８ａと縦分割マージン１８ｂは、何れも、所定長さを有する狭幅のスリット形態を呈している。そして、そのような横分割マージン１８ａの複数と縦分割マージン１８ｂの複数とが、樹脂フィルム１２における端部マージン１６の形成部位と亜鉛蒸着膜１５の形成部位とを除く部分に、碁盤の目形態を呈するように、縦横に配列された状態で形成されている。また、樹脂フィルム１２の幅方向に一直線に並ぶ横マージン１８ａの互いに隣り合うもの同士と、樹脂フィルム１２の長さ方向に一直線に並ぶ縦マージン１８ｂの互いに隣り合うもの同士は、それぞれ、一定の間隔を隔てて配置されている。即ち、樹脂フィルム１２の幅方向に隣り合う横マージン１８ａ同士の間と、長さ方向に隣り合う縦マージン１８ｂ同士の間には、狭幅の金属蒸着電極１４部分が存在しているのである。

かくして、金属蒸着電極１４が、複数の横分割マージン１８ａと複数の縦分割マージン１８ｂとにて縦横に分割されている。そして、それにより、金属蒸着電極１４が、横分割マージン１８ａと縦分割マージン１８ｂとにて囲まれてなる略矩形の分割電極部２０を複数有し、且つそれら複数の分割電極部２０が縦横に配置されてなる構造とされている。また、それら複数の分割電極部２０のうち、樹脂フィルム１２の幅方向に隣り合うもの同士の間や、長さ方向に隣り合うもの同士の間には、ヒューズ部２２が、それぞれ形成されている。それらのヒューズ部２２は、樹脂フィルム１２の幅方向に互いに隣り合う横分割マージン１８ａ同士の間に存在する狭幅の金属蒸着電極１４部分や、樹脂フィルム１２の長さ方向に互いに隣り合う縦分割マージン１８ｂ同士の間に存在する狭幅の金属蒸着電極１４部分にて、構成されている。

要するに、ここでは、金属電極部１４が、横分割マージン１８ａと縦分割マージン１８ｂとにて囲まれて、複数に分割された分割電極部２０と、それらの複数の分割電極部２０の隣り合うもの同士を相互に接続するヒューズ部２２とからなる分割パターンを有して、構成されているのである。

ところで、かくの如き構造とされた金属化フィルム１０は、例えば、図３に示されるような構造を有する金属化フィルム製造装置２４を用いて、製造される。

図３から明らかなように、金属化フィルム製造装置２４は、所定大きさの真空槽２６を有している。この真空槽２６内には、その内側空間を二つに仕切る仕切壁２８が設けられている。そして、かかる真空槽２６内に仕切壁２８にて画成された二つの空間のうちの一方が、第一真空室３０とされている一方、それらのうちの他方が、第一真空室３０よりも容積の小さな第二真空室３２とされている。

また、第一真空室３０と第二真空室３２とには、それら各真空室３０，３２の内側空間を外部に連通させる排気パイプ３４，３４が、それぞれ接続されている。そして、それら各排気パイプ３４，３４上には、排気手段としての真空ポンプ３６，３６が、各々設けられている。かくして、第一真空室３０内の空気と第二真空室３２内の空気とが、二つの真空ポンプ３６，３６の作動により、排気パイプ３４，３４を通じて外部に排出されて、それら第一及び第二の真空室３０，３２内が、それぞれ真空状態とされるようになっている。また、ここでは、それら二つの真空ポンプ３６，３６の作動が、互いに独立して制御されるようになっており、それによって、第一真空室３０と第二真空室３２とを、互いに異なる真空度にて真空状態とすることが可能となっている。これらのことから明らかなように、本実施形態では、排気パイプ３４と真空ポンプ３６とにて、排気手段が構成されている。

さらに、かかる真空槽２６の第一真空室３０内の中心部よりも外周側に偏倚した部分には、巻出し機としての巻出しローラ３８と、巻取り機としての巻取りローラ４０とが、互いに平行な回転軸回りに回転可能に設置されている。そして、巻出しローラ３８は、樹脂フィルム１２が巻回されてなるフィルムロール４２が取り付けられるようになっており、巻取りローラ４０は、巻出しローラ３８に取り付けられたフィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２の先端部分が取り外し可能に取り付けられるようになっている。また、巻取りローラ４０は、例えば、図示しない電動モータ等によって回転駆動するようになっている。これにより、フィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２が、巻取りローラ４０の回転駆動に伴って、巻取りローラ４０にて巻き取られるようになっている。

第一真空室３０内の略中心部分には、第一の回転ドラムとしてのキャンローラ４４が、巻出しローラ３８と巻取りローラ４０の回転軸と平行な回転軸回りに回転可能に設置されている。このキャンローラ４４は、鉄等の金属製の円筒体からなり、図示しない電動モータ等によって回転駆動するようになっている。また、キャンローラ４４は、その外周部の一部分が、第一真空室３０と第二真空室３２とを仕切る仕切壁２８に設けられた窓部４５を通じて、第二真空室３２内に突入している。それにより、キャンローラ４４の外周面の一部が、第二真空室３２内に露呈して、配置されるようになっている。

かかるキャンローラ４４の内部には、冷却手段としての冷却機構４６が設けられている。この冷却機構４６は、例えば、冷却媒体の循環等によって、キャンローラ４４の筒部の外周面を冷却する公知の構造を有している。そして、このようなキャンローラ４４に対して、巻出しローラ３８に取り付けられたフィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２が、巻取りローラ４０に巻き取られる前に巻き掛けられている。即ち、かかる樹脂フィルム１２が、キャンローラ４４に巻き掛けられた後、巻取りローラ４０に取り付けられているのである。なお、図３中、４８ａ，４８ｂは、エキスパンダロールであって、キャンローラ４４と巻出しローラ３８との間、及びキャンローラ４４と巻取りローラ４０との間において、キャンローラ４４の回転軸と平行に延び、且つ互いに近接位置する回転軸回りに回転可能に設置されている。

かくして、巻出しローラ３８に取り付けられたフィルムロール４２から巻き出されて、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２が、冷却機構４６にて冷却されたキャンローラ４４の外周面と接触することで、冷却されるようになっている。そして、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２は、キャンローラ４４の回転駆動に伴って、キャンローラ４４の周方向の一方向（図３の矢印方向）に走向し、巻取りローラ４０に向かって送り出されて、巻取りローラ４０にて巻き取られるようになっている。なお、ここでは、キャンローラ４４が一定の角速度（周速度）で回転して、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２が、キャンローラ４４から一定の速度で送り出されるようになっている。一方、巻取りローラ４０は、キャンローラ４４から送り出される樹脂フィルム１２の速度に応じて、角速度（周速度）が適宜に調節されて、キャンローラ４４から送り出される樹脂フィルム１２が、巻取りローラ４０にて、弛みなく巻き取られ得るようになっている。

そして、真空槽２６内におけるキャンローラ４４の周囲には、被覆樹脂層形成手段としての被覆樹脂層形成装置５０と、第一の分割マスク部形成手段としての分割マスク部形成装置５２と、第一の端部マスク部形成手段としての端部マスク部形成装置５４と、第一の金属蒸着電極形成手段としての金属蒸着電極形成装置５６と、亜鉛蒸着膜形成手段としての亜鉛蒸着膜形成装置５８とが、キャンローラ４４に巻き掛けられる樹脂フィルム１２の走向方向の上流側から下流側に向かって、上記の順番で、キャンローラ４４の周方向に、所定の間隔を隔てて並んで設置されている。また、樹脂被覆層形成装置５０と分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４は、第一真空室３０内に配置されており、金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８は、第二真空室３２内に配置されている。

被覆樹脂層形成装置５０は、モノマー蒸発源６０と電子ビーム照射器６２とを有している。モノマー蒸発源６０は、ヒータ等の加熱装置とモノマーポット（何れも、図示せず）とを更に含み、モノマーポット内に収容された被覆樹脂層の原料モノマーを加熱装置にて加熱し、蒸発させて、かかる原料モノマーの蒸気を、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面に向かって吹き出させる公知の構造を有している。電子ビーム照射器６２は、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面の全面に、電子ビームを照射可能な公知の構造を有している。

かくして、被覆樹脂形成装置５０は、モノマー蒸発源６０で蒸発させた原料モノマーの蒸気を、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面の全面に堆積させて付着させると共に、電子ビーム照射器６２から照射される電子ビームにて、樹脂フィルム１２の外側面に付着した原料モノマーを加熱して、重合させ、それによって、樹脂フィルム１２の外側面に、その全面を覆う被覆樹脂層１３を、十分に薄い厚さで形成するように構成されている。

分割マスク部形成装置５２は、第一真空室３０のキャンローラ４４の周囲において、被覆樹脂形成装置５０の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の下流側の箇所に設置されている。かかる分割マスク部形成装置５２は、オイル供給ロール６４と転写ロール６６と印刷ロール６８とを有している。

オイル供給ロール６４は、金属付着防止剤としてのオイルを転写ロール６６に供給可能な公知の構造を有している。印刷ロール６８は、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２を、キャンローラ４４との間で挟持可能に配置されており、その外周面には、複数の分割電極部２０と複数のヒューズ部２２とからなる金属蒸着電極１４の分割パターンに対応した凸版が形成されている（図示せず）。そして、オイル供給ロール６４から供給されたオイルが、転写ロール６６にて、印刷ロール６８の外周面に形成された凸版に転写され、また、この凸版に転写されたオイルが、印刷ロール６８とキャンローラ４４とにて挟持されて走向する樹脂フィルム１２の被覆樹脂層１３上に更に転写されるようになっている。

かくして、分割マスク部形成装置５２は、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面に形成される被覆樹脂層１３に対して、オイルマスク（オイル印刷膜）からなる横分割マスク部と縦分割マスク部とを形成し得るように構成されている。また、それら横分割マスク部と縦分割マスク部の被覆樹脂層１３（樹脂フィルム１２）への形成位置が、前記した金属蒸着電極１４の分割パターンを与える複数の横分割マージン１８ａと複数の縦分割マージン１８ｂの樹脂フィルム１２への形成位置と対応した位置と為し得るようになっている。

端部マスク部形成装置５４は、第一真空室３０のキャンローラ４４の周囲において、分割マスク部形成装置５２の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の下流側の箇所に設置されている。かかる端部マスク部形成装置５４は、オイル蒸発源７０とノズル７２とを有している。オイル蒸発源７０は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にてオイルを加熱して、蒸発させるようになっている。ノズル７２は、オイル蒸発源７０にて蒸発させられたオイルの蒸気を、キャンローラ４４に巻き掛けられて、キャンローラ４４の周方向一方側に向かって走向する樹脂フィルム１２の外側面に積層形成された被覆樹脂層１３の幅方向一端部に吹き出して、付着させるようになっている。

かくして、端部マスク部形成装置５４は、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面に形成される被覆樹脂層１３の幅方向一端部に対して、オイルマスク（オイル蒸着膜）からなる端部マスク部を、樹脂フィルム１２の長さ方向に連続形成し得るように構成されている。また、端部マスク部の被覆樹脂層１３（樹脂フィルム１２）への形成位置が、前記した端部マージン１６の樹脂フィルム１２への形成位置と対応した位置と為し得るようになっている。

金属蒸着電極形成装置５６は、第二真空室３０のキャンローラ４４の周囲において、端部マスク部形成装置５４の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の下流側の箇所に設置されている。この金属蒸着電極形成装置５６は、アルミニウムを蒸発させる金属蒸発源７４を有している。かかる金属蒸発源７４は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にてアルミニウムを加熱し、蒸発させて、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面に積層形成される被覆樹脂層１３の全面に、かかるアルミニウムの蒸気を付着させ得る構造を有している。

かくして、金属蒸着電極形成装置５６にあっては、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面の被覆樹脂層１３における横分割マスク部と縦分割マスク部と端部マスク部の形成部位を除く部分に、金属蒸着電極１４を形成し得るようになっているのである。

亜鉛蒸着膜形成装置５８は、第二真空室３０のキャンローラ４４の周囲において、金属蒸着電極形成装置５６の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の下流側の箇所に設置されている。この亜鉛蒸着膜形成装置５８は、亜鉛蒸発源７６とノズル７８とを有している。亜鉛蒸発源７６は、ヒータ等の加熱装置を内蔵し、かかる加熱装置にて亜鉛を加熱して、蒸発させるようになっている。ノズル７８は、亜鉛蒸発源７６にて蒸発させられた亜鉛の蒸気を、キャンローラ４４に巻き掛けられて、キャンローラ４４の周方向一方側に向かって走向する樹脂フィルム１２上の金属蒸着電極１４の端部マージン１６側とは反対側の端部に吹き出して、付着させるようになっている。

かくして、亜鉛蒸着膜形成装置５８にあっては、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２上の金属蒸着電極１４の端部マージン１６側とは反対側の端部に、亜鉛蒸着膜１５を、樹脂フィルム１２の長さ方向に連続して延びる形態で形成し得るようになっているのである。

そして、かくの如き構造とされた金属化フィルム製造装置２４を用いて、金属化フィルム１０を製造する際には、例えば、先ず、樹脂フィルム１２が巻回されてなるフィルムロール４２を巻出しローラ３８に取り付けて、フィルムロール４２から樹脂フィルム１２の一部を巻き出す。次に、フィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２部分を、エキスパンダロール４８ａに巻き掛けた後、キャンローラ４４に巻き掛ける。更に、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２部分をエキスパンダロール４８ｂに巻き掛けた後、かかる樹脂フィルム１２の端部を巻取りローラ４０に取り付ける。これにより、キャンローラ４４の外周面の全周に近い領域に亘って、樹脂フィルム１２を巻き掛ける。そして、かかる状態で、或いはキャンローラ４４に樹脂フィルム１２部分を巻き掛ける前に、キャンローラ４４に内蔵の冷却機構４４を作動させて、キャンローラ４４の外周面を冷却する。ここでの冷却機構４４による冷却温度は、特に限定されるものではないものの、一般に、−１５〜−５℃程度とされる。

次いで、真空槽２６の第一真空室３０と第二真空室３２とにそれぞれ接続された排気パイプ３４，３４上の真空ポンプ３６，３６を各々作動させる。これにより、第一真空室３０内と第二真空室３２内の空気を排出して、それら第一及び第二真空室３０，３２内を真空状態とする。このとき、好適には、第一真空室２８の内圧が、１０^-1Ｐａ程度とされ、また、第二真空室３０の内圧が、第一真空室３０の内圧よりも低い１０^-2Ｐａ程度とされる。

その後、巻取りローラ４０とキャンローラ４４とをそれぞれ回転駆動させて、フィルムロール４２から樹脂フィルム１２を次々と巻出しながら、かかる樹脂フィルム１２をキャンローラ４４の周方向一方側（図３の矢印方向）に向かって走向させる。また、その一方で、被覆樹脂層形成装置５０と分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８とを作動させる。これにより、フィルムロール４２から巻き出されて、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の外側面に対して、先ず、その全面に、被覆樹脂層形成装置５０にて、被覆樹脂層１３を積層形成する。次に、樹脂フィルム１２の外側面の全面に形成された被覆樹脂層１３に対して、横分割マスク部と縦分割マスク部とを、分割マスク部形成装置５２により前記の如きパターンで形成する。その後、かかる被覆樹脂層１３の幅方向一端部に、その長さ方向に連続して延びる端部マスク部を、端部マスク部形成装置５４にて形成する。この被覆樹脂層１３の形成から端部マスク部の形成までの工程は、第一真空室３０内で実施される。

次いで、被覆樹脂層１３の横分割マスク部と縦分割マスク部と端部マスク部の形成部位を除く部分に、金属蒸着電極１４を金属蒸着電極形成装置５６により積層形成する。かくして、被覆樹脂層１３上に、横分割マスク部が形成されて、金属蒸着電極１４が形成されていない部分からなる横分割マージン１８ａを形成すると共に、縦分割マスク部が形成されて、金属蒸着電極１４が形成されていない部分からなる縦分割マージン１８ｂを形成する。これにより、金属蒸着電極１４を、複数の分割電極部２０と複数のヒューズ部２２とからなる分割パターンをもって形成された構造とする。また、被覆樹脂層１３の幅方向一方側の端部に、端部マスク部が形成されて、金属蒸着電極１４が形成されていない部分からなる端部マージン１６を、樹脂フィルム１２の長さ方向に連続して延びるように形成する。

その後、金属蒸着電極１４の幅方方向における端部マージン１６側とは反対側に、樹脂フィルム１２の長さ方向に連続して延びる亜鉛蒸着膜１５を、亜鉛蒸着膜形成装置５６にて形成する。かくして、樹脂フィルム１２のうちの巻出し側の端部を除いた、亜鉛蒸着膜１５と金属蒸着電極１４とが形成された部分を、図１及び図２に示される如き構造を有する金属化フィルム１０部分とする。なお、樹脂フィルム１２（被覆樹脂層１３）に対する金属蒸着膜１４と亜鉛蒸着膜１５の形成工程は、上記のように、第一真空質３０よりも内圧の低い（真空度の高い）第二真空室３２内で実施される。これにより、金属蒸着電極形成装置５６で蒸発させられたアルミニウムの蒸気や、亜鉛蒸着膜形成装置５８で蒸発させられた亜鉛の蒸気が、第二真空室３２から第一真空質３０内にて侵入することが防止される。

そして、上記のようにして得られた金属化フィルム１０部分を、巻取りローラ４０にて巻き取る。これにより、フィルムロール４２から巻き出される樹脂フィルム１２の巻き始めの端部を除く大部分を金属化フィルム１０として形成し、また、かくして形成された金属化フィルム１０を巻回してなるフィルムロール８０を得るのである。

このように、本実施形態の金属化フィルム製造装置２４では、被覆樹脂層形成装置５０と分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８とが、真空槽２６内のキャンローラ４４の周囲において、かかるキャンローラ４４の周方向に並んで位置するように設置されている。そして、それら各装置５０，５２，５４，５６，５８の作動状態下で、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２をキャンローラ４４の周方向に走向させることにより、かかる樹脂フィルム１２の外側面に対して、複数の分割電極部２０及び複数のヒューズ部２２からなる金属蒸着電極１４が、被覆樹脂層１３を介して積層形成されると共に、かかる金属蒸着電極１４に対して亜鉛蒸着膜１５が更に積層形成され、以て、目的とする金属化フィルム１０が得られるようになっている。

それ故、真空槽内におけるキャンローラの設置位置とは異なる位置に、樹脂フィルムに対して横及び縦分割マスク部や端部マスク部を形成するための装置が分散して設置され、そして、それら各装置により、キャンローラとは別個のバックアップロールに巻き掛けられた樹脂フィルムに対して、横及び縦分割マスク部や端部マスク部が形成されるように構成された従来装置とは異なって、本実施形態の金属化フィルム製造装置２４は、バックアップロールが省略されている分と、各装置がキャンローラ４４の周囲に集約して設置されている分だけ、真空槽２６、ひいては金属化フィルム製造装置２４全体のサイズが、有利に小型化され得る。

また、本実施形態の金属化フィルム製造装置２４では、巻出しローラ３８にてフィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２が、巻取りローラ４０にて巻き取られるまでの間に、二つのエキスパンダロール４８ａ，４８ｂとキャンローラ４４とに巻き掛けられるだけであるため、樹脂フィルム１２が、それらのエキスパンダロール４８ａ，４８ｂやキャンローラ４４以外のバックアップロール等の数多くのローラに巻き掛けられる従来装置とは異なって、樹脂フィルム１２に加えられる各ローラからのテンションによって、樹脂フィルム１２に皺や伸び等が生ずることが、可及的に抑制乃至は解消され得る。

その上、金属やオイルの蒸着工程で樹脂フィルムが熱ダメージを受けるのを回避するために、複数のローラの内部に冷却機構を設けてなる従来装置とは異なって、本実施形態の金属化フィルム製造装置２４では、キャンローラ４４だけに冷却機構４６が設けられている。これによって、金属化フィルム製造装置２４を設置するための設備コスト、更にはかかる金属化フィルム製造装置２４を用いて得られる金属化フィルム１０の製造コストの削減が、極めて有利に図られ得る。

従って、かくの如き構造を有する金属化フィルム製造装置２４にあっては、皺や伸びのない高品質の金属化フィルム１０を、小型且つ簡略な構造をもって、より低コストに製造することができる。そして、それによって、金属化フィルム１０を用いて製造されるフィルムコンデンサの品質の向上と製造コストの削減とを効果的に実現することができる。

次に、図４には、前記第一の実施形態とは構造の異なる別の実施形態が、示されている。本実施形態に係る金属化フィルム製造装置８２に関しては、前記第一の実施形態に係る金属化フィルム製造装置２４と同一の構造とされた部位や部材について、図３と同一の符号を付すことにより、その詳細な説明を省略する。

図４から明らかなように、本実施形態の金属化フィルム製造装置８２は、内部に第一真空室３０と第二真空室３２とが画成された真空槽２６を有している。そして、真空槽２６の第一真空室３０内には、巻出しローラ３８と巻取りローラ４０とが設置されている。また、かかる第一真空槽３０内には、同一の構造を有する第一キャンローラ４４ａと第二キャンローラ４４ｂが、互いに平行な回転軸回りに回転可能に設置されている。更に、真空槽２６内の第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂの周囲には、被覆樹脂層形成装置５０と分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８とが、それぞれ、一つずつ、第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂの周方向に並んで設置されている。そして、それら被覆樹脂層形成装置５０と分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８は、何れも、前記第一の実施形態に係る金属化フィルム製造装置２４の真空槽２６内に設置されるものと同一の構造を有している。

すなわち、本実施形態では、第一キャンローラ４４ａにて、第一の回転ドラムが、また、第二キャンローラ４４ｂにて、第二の回転ドラムが、それぞれ構成されている。そして、第一キャンローラ４４ａの周囲に設置された分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６にて、第一の分割マスク部形成手段と第一の端部マスク部形成手段と第一の金属蒸着電極形成手段とが、それぞれ構成され、また、第二キャンローラ４４ｂの周囲に設置された分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６にて、第二の分割マスク部形成手段と第二の端部マスク部形成手段と第二の金属蒸着電極形成手段とが、それぞれ構成されている。

このような構造の金属化フィルム製造装置８２を用いて、目的とする金属化フィルム１０を得る際には、例えば、先ず、巻出しローラ３８にてフィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２を、エキスパンダロール４８ａと第一キャンローラ４４ａとエキスパンダロール４８ｂに、その順番で巻き掛けた後、第一キャンローラ４４ａへの巻掛け状態で外側面とされた樹脂フィルム１２の面を内側にして、第二キャンローラ４４ｂに巻き掛ける。また、この第二キャンローラ４４ｂに巻き掛けられた樹脂フィルム１２をエキスパンダロール４８ｃに巻き掛けた後、巻取りローラ４０に取り付ける。

その後、二つの真空ポンプ３６，３６を作動させて、真空槽２６の第一真空室３０内と第二真空室３２内とを、後者が前者よりも低い内圧となるように減圧して、真空状態とする。また、それと共に、第一キャンローラ４４ａと第二キャンローラ４４ｂとに内蔵された冷却機構４６，４６とをそれぞれ作動させて、第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂの外周面を冷却する。

次いで、巻取りローラ４０と第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂとを回転駆動させて、フィルムロール４２から巻き出された樹脂フィルム１２を、第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂの周方向の一方向（図４の矢印方向）に走向させる。また、その一方で、それら第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂの周囲に設置された分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８とを作動させる。

かくして、第一キャンローラ４４ａに巻き掛けられた樹脂フィルム１２が第一キャンローラ４４ａから送り出されるまでの間に、かかる樹脂フィルム１２の一方の面（第一キャンローラ４４ａへの巻掛け状態で外側となる面）に対して、被覆樹脂層１３と、横及び縦分割マージン１８ａ，１８ｂ、端部マージン１６を与える横及び縦分割マスク部、端部マスク部と、複数の分割電極部２０と複数のヒューズ部２２とからなる金属蒸着電極１４と、亜鉛蒸着膜１５とを積層形成する。また、エキスパンダロール４８ｃを経て、第二キャンローラ４４ｂに巻き掛けられた樹脂フィルム１２が第二キャンローラ４４ｂから送り出されるまでの間に、かかる樹脂フィルム１２の他方の面（第二キャンローラ４４ｂへの巻掛け状態で外側となる面）に対して、被覆樹脂層１３と、横及び縦分割マージン１８ａ，１８ｂ、端部マージン１６を与える横及び縦分割マスク部、端部マスク部と、複数の分割電極部２０と複数のヒューズ部２２とからなる金属蒸着電極１４と、亜鉛蒸着膜１５とを積層形成する。これにより、樹脂フィルム１２の両面に、複数の分割電極部２０と複数のヒューズ部２２とからなる金属蒸着電極１４が、被覆樹脂層１３を介して積層され、更に、かかる金属蒸着電極１４上に亜鉛蒸着膜１５とが積層形成されてなる金属化フィルム１０を得る。そして、かくして得られた金属化フィルム１０を巻取りローラ４０にて巻き取って、金属化フィルム１０を巻回してなるフィルムロール８４を得るのである。

このように、本実施形態の金属化フィルム製造装置８２によれば、樹脂フィルム１０の両面に金属蒸着電極１４がそれぞれ積層形成されてなる金属化フィルム１０を、第一及び第二の二つのキャンローラ４４ａ，４４ｂの周方向に連続して走向させつつ実施する一連の工程によって一挙に作製することができる。そして、かかる金属化フィルム製造装置８２では、第一及び第二キャンローラ４４ａ，４４ｂの周囲に、被覆樹脂層形成装置５０と分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４と金属蒸着電極形成装置５６と亜鉛蒸着膜形成装置５８とが、周方向に並んで設置されている。

従って、かくの如き本実施形態に係る金属化フィルム製造装置８２にあっても、前記第一の実施形態に係る金属化フィルム製造装置２４と同様に、従来装置に比して、十分に小型で且つ簡略な構造が有利に実現されている。そして、特に、樹脂フィルム１０の両面に金属蒸着電極１４がそれぞれ積層形成されてなる金属化フィルム１０が、皺や伸びのない高い品質をもって、より低コストに製造することができるのである。

以上、本発明の具体的な構成について詳述してきたが、これはあくまでも例示に過ぎないのであって、本発明は、上記の記載によって、何等の制約をも受けるものではない。

例えば、金属蒸着電極１４の形成材料には、例示されたアルミニウム以外に亜鉛等も使用可能である。その他、フィルムコンデンサの内部電極を構成する金属蒸着膜の形成材料として、従来から用いられるものが、何れも使用可能である。

横分割マスク部や縦分割マスク部は、オイル蒸着膜にて形成することもできる。即ち、第一の分割マスク部形成手段や第二の分割マスク部形成手段は、印刷方式で横及び縦分割マスク部を形成する例示の構造のものに代えて、蒸着方式で横及び縦分割マスク部を形成する構造のものを採用しても良い。

また、端部マスク部は、オイル印刷膜にて形成しても良い。即ち、第一の端部マスク部形成手段や第二の端部マスク部形成手段は、蒸着印刷方式で端部マスク部を形成する例示の構造のものに代えて、印刷方式で端部マスク部を形成する構造のものを採用することも可能である。

分割電極部２０やヒューズ部２２の形状や大きさは、例示のものに、何等限定されるものではない。つまり、分割マージン１８ａ，１８ｂの形状や大きさは、適宜に変更可能であり、それに応じて、分割マスク部形成装置５２にて形成される分割マスク部の形状や大きさも、種々変更されることとなる。

前記第一及び第二の実施形態では、分割マスク部形成装置５２が、キャンローラ４４の周囲において、端部マスク部形成装置５４の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の上流側の箇所に設置されていたが、その反対に、端部マスク部形成装置５４を、キャンローラ４４の周囲において、分割マスク部形成装置５２の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の上流側の箇所に設置しても良い。何れにしろ、それら分割マスク部形成装置５２と端部マスク部形成装置５４は、キャンローラ４４の周囲において、金属蒸着電極形成装置５６の設置個所よりも、キャンローラ４４に巻き掛けられた樹脂フィルム１２の走向方向の上流側の箇所に設置されておれば良いのである。

その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもないところである。

１０金属化フィルム１２樹脂フィルム
１３被覆樹脂層１４金属蒸着電極
１５亜鉛蒸着膜１６端部マージン
１８ａ横分割マージン１８ｂ縦分割マージン
２０分割電極部２２ヒューズ部
２４，８２金属化フィルム製造装置２６真空槽
３４排気パイプ３６真空ポンプ
３８巻出しローラ４０巻取りローラ
４４キャンローラ４６冷却機構
５０被覆樹脂層形成装置５２分割マスク部形成装置
５４端部マスク部形成装置５６金属蒸着電極形成装置
５８亜鉛蒸着膜形成装置

Claims

誘電体フィルムに金属蒸着電極を形成してなる金属化フィルムを製造するための装置であって、
前記誘電体フィルムのロールから誘電体フィルムを巻き出す巻出し機と、該ロールから巻き出された誘電体フィルムを巻き取る巻取り機とが内部に設置された真空槽と、
該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、
前記真空槽内に設置されており、前記巻出し機にて前記ロールから巻き出された前記誘電体フィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に巻き掛けられる第一の回転ドラムと、
前記第一の回転ドラムに内蔵されて、該第一の回転ドラムの外周面を冷却する第一の冷却手段と、
前記真空槽内における前記第一の回転ドラムの周囲に設置されており、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた前記誘電体フィルムの外側面に前記金属蒸着電極を形成する第一の金属蒸着電極形成手段と、
前記真空槽内における前記第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた前記誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に設置されており、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面への前記金属蒸着電極の形成を阻止するマスク部を、該誘電体フィルムの外側面の幅方向一端部に、その長手方向に連続して延びるように形成する第一の端部マスク部形成手段と、
前記真空槽内における前記第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた前記誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に設置されており、前記金属蒸着電極が、前記マスク部にて囲まれて、複数に分割された分割電極部と、それらの複数の分割電極部の隣り合うもの同士を相互に接続するヒューズ部とからなる分割パターンを有するように、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、該金属蒸着電極を複数に分割するマスク部を形成する第一の分割マスク部形成手段と、
を含んで構成されていることを特徴とする金属化フィルムの製造装置。
前記第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの幅方向他端部に位置する前記金属蒸着電極部分に、該誘電体フィルムの長手方向に連続して延びる亜鉛蒸着膜を形成する亜鉛蒸着膜形成手段が、前記真空槽内における該第一の回転ドラムの周囲において、前記第一の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第一の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの走向方向の下流側の箇所に設置されている請求項１に記載の金属化フィルムの製造装置。
前記第一の回転ドラムから送り出された前記誘電体フィルムが、前記巻取り機に巻き取られる前に、前記金属蒸着電極の形成面を内側にして巻き掛けられる第二の回転ドラムが、その外周面を冷却する第二の冷却手段を内蔵して、前記真空槽内に設置されると共に、該第二の回転ドラムに巻き掛けられた該誘電体フィルムの外側面に前記金属蒸着電極を更に形成する第二の金属蒸着電極形成手段が、該真空槽内の該第二の回転ドラムの周囲に設置され、更に、該第二回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、該誘電体フィルムの幅方向一端部において長手方向に連続して延びる前記マスク部を形成する第二の端部マスク部形成手段と、該第二回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの外側面に、該金属蒸着電極を複数に分割する前記マスク部を形成する第二の分割マスク部形成手段とが、該真空槽内における該第二の回転ドラムの周囲において、該第二の金属蒸着電極形成手段の設置個所よりも、該第二の回転ドラムに巻き掛けられた誘電体フィルムの走向方向の上流側の箇所に、それぞれ設置されている請求項１又は請求項２に記載の金属化フィルムの製造装置。