JPH0661113A - フィルムに無金属縞を製造する装置 - Google Patents
フィルムに無金属縞を製造する装置Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属化した合成樹脂あるいは紙から成るコン
デンサにおいて、短絡が減少され、コンデンサフィルム
の所定の部分にしか作用しないようにする。 【構成】 特にコンデンサ用のフィルム（５０）を収容
し連続運動するための装置（２９）が設けられている圧
力密に閉鎖できるハウジング（６０）と、そばを通過す
るフィルム（５０）への凝縮を阻止するための蒸着すべ
き媒体を流出する少なくとも１つのノズル（３６）を持
ったハウジング内に設けられた蒸発源（１９）とを有し
ているような真空で被覆されるフィルム（５０）に無金
属縞を製造する装置において、ノズル（３６）がフィル
ム（５０）のほぼ全幅にわたって延びる少なくとも１つ
の開口（５８，５９）によって形成されている。
デンサにおいて、短絡が減少され、コンデンサフィルム
の所定の部分にしか作用しないようにする。 【構成】 特にコンデンサ用のフィルム（５０）を収容
し連続運動するための装置（２９）が設けられている圧
力密に閉鎖できるハウジング（６０）と、そばを通過す
るフィルム（５０）への凝縮を阻止するための蒸着すべ
き媒体を流出する少なくとも１つのノズル（３６）を持
ったハウジング内に設けられた蒸発源（１９）とを有し
ているような真空で被覆されるフィルム（５０）に無金
属縞を製造する装置において、ノズル（３６）がフィル
ム（５０）のほぼ全幅にわたって延びる少なくとも１つ
の開口（５８，５９）によって形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特にコンデンサ用のフ
ィルムを収容し連続運動するための装置が設けられてい
る圧力密に閉鎖できるハウジングと、そばを通過するフ
ィルムへの凝縮を阻止するための蒸着すべき媒体を流出
する少なくとも１つのノズルを持ったハウジング内に設
けられた蒸発源とを有しているような真空で被覆される
フィルムに無金属縞を製造する装置に関する。
ィルムを収容し連続運動するための装置が設けられてい
る圧力密に閉鎖できるハウジングと、そばを通過するフ
ィルムへの凝縮を阻止するための蒸着すべき媒体を流出
する少なくとも１つのノズルを持ったハウジング内に設
けられた蒸発源とを有しているような真空で被覆される
フィルムに無金属縞を製造する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】低い蒸気圧の液状あるいは脂肪状物質特
に油性物質から成る複数の平行な縞（線条）を、次の工
程の金属蒸着に対するカバーとして所定のテープ（フィ
ルム）上に同時に蒸着する装置は公知である（ドイツ連
邦共和国特許第１２６２７３２号公報参照）。この装置
は加熱コイルが巻かれている蒸発容器から成り、この蒸
発容器は貯蔵容器から供給される複数の蒸発ノズルを有
している。管状の蒸発容器は製造すべきカバー縞の間隔
および幅に相応して配置された多数のノズルを有してお
り、これらのノズルを介して媒体がフィルムの表面上に
送られる。
に油性物質から成る複数の平行な縞（線条）を、次の工
程の金属蒸着に対するカバーとして所定のテープ（フィ
ルム）上に同時に蒸着する装置は公知である（ドイツ連
邦共和国特許第１２６２７３２号公報参照）。この装置
は加熱コイルが巻かれている蒸発容器から成り、この蒸
発容器は貯蔵容器から供給される複数の蒸発ノズルを有
している。管状の蒸発容器は製造すべきカバー縞の間隔
および幅に相応して配置された多数のノズルを有してお
り、これらのノズルを介して媒体がフィルムの表面上に
送られる。
【０００３】更に、角形コンデンサがほとんど専ら金属
化した合成樹脂フィルムあるいは金属化した紙で作られ
ていることは一般に知られている。これはアルミニウム
箔で作られたコンデンサに比べて、僅かな損傷の際に自
動的に直るという利点を有している。金属薄板間の短絡
は最初の短絡の際に絶縁金属範囲が形成されるので消滅
する。コンデンサの容量が増大するにつれて、短絡に至
る放電エネルギは大きくなるので、隣接するコイル層が
損傷する。かかる損傷は連鎖反応のように内側層あるい
は外側層にまで伝播する。極端な場合、コンデンサはか
かる損傷に基づいて爆発し燃焼してしまう。
化した合成樹脂フィルムあるいは金属化した紙で作られ
ていることは一般に知られている。これはアルミニウム
箔で作られたコンデンサに比べて、僅かな損傷の際に自
動的に直るという利点を有している。金属薄板間の短絡
は最初の短絡の際に絶縁金属範囲が形成されるので消滅
する。コンデンサの容量が増大するにつれて、短絡に至
る放電エネルギは大きくなるので、隣接するコイル層が
損傷する。かかる損傷は連鎖反応のように内側層あるい
は外側層にまで伝播する。極端な場合、コンデンサはか
かる損傷に基づいて爆発し燃焼してしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、コン
デンサにおいて短絡が減少され、コンデンサフィルムの
所定の部分にしか作用しないような手段を講ずることに
ある。
デンサにおいて短絡が減少され、コンデンサフィルムの
所定の部分にしか作用しないような手段を講ずることに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によればこの目的
は、冒頭に述べた形式の装置において、ノズルがフィル
ムのほぼ全幅にわたって延びる少なくとも１つの開口に
よって形成されていることによって達成される。
は、冒頭に述べた形式の装置において、ノズルがフィル
ムのほぼ全幅にわたって延びる少なくとも１つの開口に
よって形成されていることによって達成される。
【０００６】本発明によれば、フィルムがノズルの下側
を移動されるとき、フィルムがノズルのそばをどの位の
速度で通過するかに応じて、フィルムの表面に横縞およ
び縦縞が簡単に設けられる。
を移動されるとき、フィルムがノズルのそばをどの位の
速度で通過するかに応じて、フィルムの表面に横縞およ
び縦縞が簡単に設けられる。
【０００７】そのために、ノズルの出口の前を溝付きの
少なくとも１つのローラが移動でき、この溝を介して媒
体あるいは油が受けられ、ノズルを介して真空に従って
フィルムに蒸着されることが有利である。そのために、
溝がローラのほぼ全幅にわたって延び、溝がローラの横
平面に関して０°〜９０°の範囲の角度でローラの表面
に配置されていると有利である。これによってフィルム
は最低の費用で、横縞によって境界づけられる各セグメ
ントに分割される。個々の横縞および縦縞によって無金
属化表面を得ることができ、これによって横縞模様が或
るセグメントを隣のセグメントに対して絶縁するので、
短絡を減少することができる。セグメントに分けること
によって、金属化表面が無金属縞によって中断されるの
で、簡単に短絡回路の固有インダクタンスおよび内部抵
抗が高められる。
少なくとも１つのローラが移動でき、この溝を介して媒
体あるいは油が受けられ、ノズルを介して真空に従って
フィルムに蒸着されることが有利である。そのために、
溝がローラのほぼ全幅にわたって延び、溝がローラの横
平面に関して０°〜９０°の範囲の角度でローラの表面
に配置されていると有利である。これによってフィルム
は最低の費用で、横縞によって境界づけられる各セグメ
ントに分割される。個々の横縞および縦縞によって無金
属化表面を得ることができ、これによって横縞模様が或
るセグメントを隣のセグメントに対して絶縁するので、
短絡を減少することができる。セグメントに分けること
によって、金属化表面が無金属縞によって中断されるの
で、簡単に短絡回路の固有インダクタンスおよび内部抵
抗が高められる。
【０００８】このために、各縞が設置可能な油膜によっ
て発生され、これによりフィルムのこの表面に金属蒸気
が付着できないことが有利である。
て発生され、これによりフィルムのこの表面に金属蒸気
が付着できないことが有利である。
【０００９】本発明の別の実施態様において、ノズルが
並んで配置された多数の出口開口を有し、ローラの長手
軸心に対して平行に延び、ノズルがシャッターあるいは
滑りシールに配置されていることが有利である。これに
よって各開口の縁がはじかれたり半径方向に突出しない
とき、フィルムは簡単にその開口のそばを通過できるの
で、流出開口の範囲あるいはシール個所における摩耗は
小さくなる。
並んで配置された多数の出口開口を有し、ローラの長手
軸心に対して平行に延び、ノズルがシャッターあるいは
滑りシールに配置されていることが有利である。これに
よって各開口の縁がはじかれたり半径方向に突出しない
とき、フィルムは簡単にその開口のそばを通過できるの
で、流出開口の範囲あるいはシール個所における摩耗は
小さくなる。
【００１０】更に、ノズルがフィルムのほぼ全幅にわた
って延びるスリット開口によって形成されていることが
有利である。いまやスリット開口を持ったノズルの下側
をそれに対して垂直方向に平面あるいは傾斜溝付きのロ
ーラが移動されるとき、スリット内に見える部分が片側
から反対側に移動するので、ローラの速度に応じて、横
に延びるか、傾斜して延びるか、縦に延びる無金属の縞
が形成される。
って延びるスリット開口によって形成されていることが
有利である。いまやスリット開口を持ったノズルの下側
をそれに対して垂直方向に平面あるいは傾斜溝付きのロ
ーラが移動されるとき、スリット内に見える部分が片側
から反対側に移動するので、ローラの速度に応じて、横
に延びるか、傾斜して延びるか、縦に延びる無金属の縞
が形成される。
【００１１】本発明に基づく装置において、ノズルが滑
りシールの一部であり、これが回転ローラに接触し、そ
のそばをフィルムが気密に動かされ、回転ローラおよび
ノズルによってフィルムの表面に、フィルムの横、斜め
および又は縦方向に金属化しない縞が蒸着できることが
重要である。
りシールの一部であり、これが回転ローラに接触し、そ
のそばをフィルムが気密に動かされ、回転ローラおよび
ノズルによってフィルムの表面に、フィルムの横、斜め
および又は縦方向に金属化しない縞が蒸着できることが
重要である。
【００１２】本発明の別の実施態様において、縦方向に
延びる縞に互いに間隔を隔てて延びる開口が設けられ、
横に延びる２つの縞の間ごとに少なくとも１つの開口が
設けられていることが有利である。フィルムの縁部範囲
において中断された無金属化縦縞を利用するか蒸着する
ことによって、狭い縞しか残らないようにできる。この
残存する縞を通って、詳しくは縦縞に設けられた中断部
を通って電流が流れる。この中断部はヒューズ機能を有
し、即ちこの中断部を流れる電流は、隣のフィルムの損
傷を生ずる前に、狭い縞だけで切られる。
延びる縞に互いに間隔を隔てて延びる開口が設けられ、
横に延びる２つの縞の間ごとに少なくとも１つの開口が
設けられていることが有利である。フィルムの縁部範囲
において中断された無金属化縦縞を利用するか蒸着する
ことによって、狭い縞しか残らないようにできる。この
残存する縞を通って、詳しくは縦縞に設けられた中断部
を通って電流が流れる。この中断部はヒューズ機能を有
し、即ちこの中断部を流れる電流は、隣のフィルムの損
傷を生ずる前に、狭い縞だけで切られる。
【００１３】更に、ローラに１つあるいは複数の中断部
を有する半径方向に延びる１つあるいは複数の溝が設け
られ、ローラがフィルムの長手方向にその速度に同期し
て動かせることが有利である。
を有する半径方向に延びる１つあるいは複数の溝が設け
られ、ローラがフィルムの長手方向にその速度に同期し
て動かせることが有利である。
【００１４】本発明の別の特徴は図の実施例の説明に記
載されている。なおすべての特徴事項およびその組合せ
は本発明の枠内にある。
載されている。なおすべての特徴事項およびその組合せ
は本発明の枠内にある。
【００１５】
【実施例】以下図に示した実施例を参照して本発明を詳
細に説明するが、本発明はこの実施例に限定されない。
細に説明するが、本発明はこの実施例に限定されない。
【００１６】図において１はテープ被覆装置であり、こ
れは主に両側壁２，４間に支持された案内、圧延および
張りローラ７〜１３あるいは冷却された被覆ローラ１８
から成っている。更にテープ被覆装置１は巻き戻しロー
ラ３７、巻き取りローラ３５、被覆室２８およびアルミ
ニウム線コイル２０と蒸発槽２１とを持った蒸発源１９
を有している。巻き取り装置２９は上側室半部に設けら
れている。
れは主に両側壁２，４間に支持された案内、圧延および
張りローラ７〜１３あるいは冷却された被覆ローラ１８
から成っている。更にテープ被覆装置１は巻き戻しロー
ラ３７、巻き取りローラ３５、被覆室２８およびアルミ
ニウム線コイル２０と蒸発槽２１とを持った蒸発源１９
を有している。巻き取り装置２９は上側室半部に設けら
れている。
【００１７】図６および図７に示されている油蒸発器３
４は管状あるいは断面矩形のハウジング６０を有してお
り、この中に１つあるいは複数の棒状加熱要素４３が配
置されている。この加熱要素４３は凝縮を避けるための
媒体あるいは油６７によって完全に洗流され、図示して
いない蒸気流出管の範囲に存在している。有利には油蒸
発器３４は、媒体浴温度を正確に監視および維持するこ
とを可能にする温度センサ４７を備えている。加熱回路
の調節の監視にとって必要な電気切換回路は図示されて
いない。
４は管状あるいは断面矩形のハウジング６０を有してお
り、この中に１つあるいは複数の棒状加熱要素４３が配
置されている。この加熱要素４３は凝縮を避けるための
媒体あるいは油６７によって完全に洗流され、図示して
いない蒸気流出管の範囲に存在している。有利には油蒸
発器３４は、媒体浴温度を正確に監視および維持するこ
とを可能にする温度センサ４７を備えている。加熱回路
の調節の監視にとって必要な電気切換回路は図示されて
いない。
【００１８】油蒸発器３４は図示していない角形部材に
よって両側壁２，４間に保持され、詳しくは油蒸発器３
４のノズル３６の噴射方向がテープあるいはフィルム５
０の被覆すべき面に向けられるように保持されている。
油蒸発器３４の類似した配置は図７に示されている。
よって両側壁２，４間に保持され、詳しくは油蒸発器３
４のノズル３６の噴射方向がテープあるいはフィルム５
０の被覆すべき面に向けられるように保持されている。
油蒸発器３４の類似した配置は図７に示されている。
【００１９】図１に示されているように、ノズル３６は
案内ローラ９と被覆ローラ１８との間の部分に配置され
ているので、連続フィルム５０を媒体６７で湿らした直
後に本来の被覆工程が行われる。これによって、媒体６
７例えばシリコン油で湿らされたフィルム５０の部分に
は蒸発槽２１で蒸発された金属が付着できないという効
果が得られる。
案内ローラ９と被覆ローラ１８との間の部分に配置され
ているので、連続フィルム５０を媒体６７で湿らした直
後に本来の被覆工程が行われる。これによって、媒体６
７例えばシリコン油で湿らされたフィルム５０の部分に
は蒸発槽２１で蒸発された金属が付着できないという効
果が得られる。
【００２０】フィルム５０の面のどの位の部分が蒸着さ
れないか被覆されないかは、ノズル３６の形式に左右さ
れる。
れないか被覆されないかは、ノズル３６の形式に左右さ
れる。
【００２１】図１に示されている装置の場合、フィルム
５０を搬送および案内するためのローラ７〜１３は、被
覆ローラ１８の直前に存在するフィルム５０の部分が急
角度で即ちほぼ垂直にローラ９から下向きに走行するよ
うに配置されている。フィルム５０のこの部分は別の形
で案内することもでき、例えば図６に示したように油蒸
発器３４の構造を変更する必要なしに、ほぼ水平平面内
で被覆ローラ１８上を走行することもできる。
５０を搬送および案内するためのローラ７〜１３は、被
覆ローラ１８の直前に存在するフィルム５０の部分が急
角度で即ちほぼ垂直にローラ９から下向きに走行するよ
うに配置されている。フィルム５０のこの部分は別の形
で案内することもでき、例えば図６に示したように油蒸
発器３４の構造を変更する必要なしに、ほぼ水平平面内
で被覆ローラ１８上を走行することもできる。
【００２２】図６および図７から分かるように、油蒸発
器３４のハウジング内には円筒ローラ５５が回転可能に
支持されており、この円筒ローラ５５の表面には溝５６
が設けられている。この溝５６はローラ５５の横平面に
関して０°〜９０°の角度で延びている。溝５６は油膜
を受けるために使用するので、油蒸気はノズル３６を介
してフィルム５０の上側面に真空で引き出される。フィ
ルム５０は被覆ローラ１８によってこのローラ５５のそ
ばを通される。
器３４のハウジング内には円筒ローラ５５が回転可能に
支持されており、この円筒ローラ５５の表面には溝５６
が設けられている。この溝５６はローラ５５の横平面に
関して０°〜９０°の角度で延びている。溝５６は油膜
を受けるために使用するので、油蒸気はノズル３６を介
してフィルム５０の上側面に真空で引き出される。フィ
ルム５０は被覆ローラ１８によってこのローラ５５のそ
ばを通される。
【００２３】溝５６は小さな開口を介してローラ５５の
内部室に接続されている。このローラ５５の内部室は、
十分な量の蒸気がそばを通過するフィルムに伝達できる
ようにするために、油蒸気で充填されている。
内部室に接続されている。このローラ５５の内部室は、
十分な量の蒸気がそばを通過するフィルムに伝達できる
ようにするために、油蒸気で充填されている。
【００２４】図１および図２に概略的に示されているノ
ズル３６は図２、図５および図６において滑りシール５
７に存在しており、横に延びるスリット５８あるいは図
５における並置された多数の孔５９によって形成されて
いる。
ズル３６は図２、図５および図６において滑りシール５
７に存在しており、横に延びるスリット５８あるいは図
５における並置された多数の孔５９によって形成されて
いる。
【００２５】図８においてハッチングを付けた面はフィ
ルム５０であり、この上を垂直に延びる縞６１，６１′
および水平に延びる縞６２が蒸着される。これらの縞模
様６１，６２はノズル３６および油蒸発器３４によって
フィルム５０の表面上に設けられるか蒸着される。この
ためにハウジング６０の中に油浴６７が存在しており、
この油浴６７は図示していない加熱装置によって加熱さ
れる。油は所望の温度に加熱され、従って運転圧力が達
成されノズル開口が開かれたとき、油は蒸発する。その
場合油６７は常にローラ５５における溝５６から逃げ出
る。何故ならば一部分しか開かれていないからである。
フィルム５０の表面に蒸着された油膜は既に述べたよう
に、ローラ５５の周速およびフィルム５０の動きに関係
する。
ルム５０であり、この上を垂直に延びる縞６１，６１′
および水平に延びる縞６２が蒸着される。これらの縞模
様６１，６２はノズル３６および油蒸発器３４によって
フィルム５０の表面上に設けられるか蒸着される。この
ためにハウジング６０の中に油浴６７が存在しており、
この油浴６７は図示していない加熱装置によって加熱さ
れる。油は所望の温度に加熱され、従って運転圧力が達
成されノズル開口が開かれたとき、油は蒸発する。その
場合油６７は常にローラ５５における溝５６から逃げ出
る。何故ならば一部分しか開かれていないからである。
フィルム５０の表面に蒸着された油膜は既に述べたよう
に、ローラ５５の周速およびフィルム５０の動きに関係
する。
【００２６】縞６１，６２は必ずしも垂直にも水平にも
延びている必要はない。横に延びる縞６２の間隔はフィ
ルム５０の構図あるいは形状に応じて例えば６０〜８０
ｍｍである。
延びている必要はない。横に延びる縞６２の間隔はフィ
ルム５０の構図あるいは形状に応じて例えば６０〜８０
ｍｍである。
【００２７】横縞の形に溶媒６７を蒸着することによっ
て、この個所に金属が付着することが避けられる。
て、この個所に金属が付着することが避けられる。
【００２８】図２又は図５に基づいて固定スリット５８
を使用した状態で、あるいは密に並べて配置された孔５
９を使用した状態で、これに対してほぼ垂直方向にロー
ラ５５が動かされるとき（図２は図６および図７におけ
るローラ５５の展開図）、ローラ５５の上において溝５
６は０°〜９０°の範囲で移動し、スリット５８内に見
える部分が片側から反対側に移動する。
を使用した状態で、あるいは密に並べて配置された孔５
９を使用した状態で、これに対してほぼ垂直方向にロー
ラ５５が動かされるとき（図２は図６および図７におけ
るローラ５５の展開図）、ローラ５５の上において溝５
６は０°〜９０°の範囲で移動し、スリット５８内に見
える部分が片側から反対側に移動する。
【００２９】油蒸発器３４はそのハウジング６０内に溝
５６付きの回転ローラ５５を有している。溝５６はフィ
ルム５０の全幅にわたって半径方向に傾斜して延びてい
るか、半径方向に中断部を備えている。
５６付きの回転ローラ５５を有している。溝５６はフィ
ルム５０の全幅にわたって半径方向に傾斜して延びてい
るか、半径方向に中断部を備えている。
【００３０】滑りシールあるいは滑り面を有する固定シ
ール５７は、そのスリット５８あるいは開口５９で溝５
６の一部を開放する。ローラ５５が回転する際、既に述
べたように軸方向に延びる溝５６の一部が片側から反対
側に移動する。回転過程の際に油蒸気噴射流がノズル３
６ないしスリット５８あるいは開口５９を通して逃げる
とき、そばを通過するフィルム５０の表面に横縞あるい
は別の縞が凝縮する。中断部付きの半径方向溝によっ
て、縦縞６１′がその中断部ないし開口６３をもって凝
縮する。
ール５７は、そのスリット５８あるいは開口５９で溝５
６の一部を開放する。ローラ５５が回転する際、既に述
べたように軸方向に延びる溝５６の一部が片側から反対
側に移動する。回転過程の際に油蒸気噴射流がノズル３
６ないしスリット５８あるいは開口５９を通して逃げる
とき、そばを通過するフィルム５０の表面に横縞あるい
は別の縞が凝縮する。中断部付きの半径方向溝によっ
て、縦縞６１′がその中断部ないし開口６３をもって凝
縮する。
【００３１】例えばローラ５５がフィルム５０に同期し
て回転すると、フィルム上に図２における溝５６の展開
図が正確に描かれる。
て回転すると、フィルム上に図２における溝５６の展開
図が正確に描かれる。
【００３２】ローラ５５の直径が８０ｍｍであり蒸着幅
が６５０ｍｍである場合、横縞模様が２１°の傾斜角度
で形成される。その場合縞の間隔は約２５０ｍｍである
（これはローラ円周に相応している）。４個の溝５６の
場合、間隔は約６３ｍｍである。
が６５０ｍｍである場合、横縞模様が２１°の傾斜角度
で形成される。その場合縞の間隔は約２５０ｍｍである
（これはローラ円周に相応している）。４個の溝５６の
場合、間隔は約６３ｍｍである。
【００３３】図４の実施例においてシール舌片６４がロ
ーラ５５の表面に接している。このように形成されたシ
ール舌片６４は溝５６がはじかれる場合に大きな摩耗に
曝される。従って図５のように多数の開口５９を密に並
べて配置することが有利である。好適には各開口５９は
２列以上の列で並べて配置され、その場合、各開口５９
は互いにずらして配置され、これによって通し縞がフィ
ルム５０の表面に形成される。このようにして、溝５６
の縁が引っ掛かることが避けられる。
ーラ５５の表面に接している。このように形成されたシ
ール舌片６４は溝５６がはじかれる場合に大きな摩耗に
曝される。従って図５のように多数の開口５９を密に並
べて配置することが有利である。好適には各開口５９は
２列以上の列で並べて配置され、その場合、各開口５９
は互いにずらして配置され、これによって通し縞がフィ
ルム５０の表面に形成される。このようにして、溝５６
の縁が引っ掛かることが避けられる。
【００３４】滑りシール５７はカプトン膜あるいは金属
膜の形の湾曲した軌道においてローラ５５に接触される
（図７参照）。フィルム５０はノズル３６のそばを滑っ
て導かれるか、僅かな間隔を隔てて導かれる。滑りシー
ル５７は例えば引張り装置６５によって張られる。フィ
ルム５０は矢印６８のように滑りシール５７のそばを通
過する。図３および図７における湾曲した滑りシールに
よって、シール面が増大され、更に図４におけるシール
舌片６４がシールするのではなく、ローラ５５に対する
シール面全体がシールする。
膜の形の湾曲した軌道においてローラ５５に接触される
（図７参照）。フィルム５０はノズル３６のそばを滑っ
て導かれるか、僅かな間隔を隔てて導かれる。滑りシー
ル５７は例えば引張り装置６５によって張られる。フィ
ルム５０は矢印６８のように滑りシール５７のそばを通
過する。図３および図７における湾曲した滑りシールに
よって、シール面が増大され、更に図４におけるシール
舌片６４がシールするのではなく、ローラ５５に対する
シール面全体がシールする。
【図１】巻き取り装置およびフィルム用の多数の案内ロ
ーラを持ったテープ被覆装置の側面図。
ーラを持ったテープ被覆装置の側面図。
【図２】横スリットを有する滑りシールを持った溝付き
ローラの展開図。
ローラの展開図。
【図３】滑りシールの断面図。
【図４】滑りシールの断面図。
【図５】多数の開口を持った滑りシールの平面図。
【図６】滑りシールを持った蒸発室の断面図。
【図７】蒸発器の流出開口の前にコンデンサフィルムが
設けられている図１における案内ローラの断面図。
設けられている図１における案内ローラの断面図。
【図８】フィルムの面の平面図。
１ テープ被覆装置 ２ 側壁 ４ 側壁 ７〜１３ 案内、圧延および張りローラ １８ 被覆ローラ １９ 蒸発源 ２０ アルミニウム線コイル ２１ 蒸発槽 ２８ 被覆室 ２９ 巻き取り装置 ３４ 油蒸発器 ３５ 巻き取りローラ ３６ ノズル ３７ 巻き戻しローラ ４３ 加熱要素 ４７ 温度センサ ５０ フィルム ５５ 円筒ローラ ５６ 溝 ５７ 滑りシール ５８ スリット開口 ５９ 孔＝開口 ６０ ハウジング ６１，６１′ 縞（線条） ６２ 縞（線条） ６３ 中断部あるいは開口 ６４ シール舌片 ６５ 引張り装置 ６７ 油浴＝油 ６８ 矢印
Claims (13)
- 【請求項１】コンデンサ用のフィルム（５０）を収容し
連続運動するための装置（２９）が設けられている圧力
密に閉鎖できるハウジング（６０）と、そばを通過する
フィルム（５０）への凝縮を阻止するための蒸着すべき
媒体を流出する少なくとも１つのノズル（３６）を持っ
たハウジング内に設けられた蒸発源（１９）とを有して
いるような真空で被覆されるフィルム（５０）に無金属
縞を製造する装置において、 前記ノズル（３６）がフィルム（５０）のほぼ全幅にわ
たって延びる少なくとも１つの開口（５８，５９）によ
って形成されていることを特徴とするフィルムに無金属
縞を製造する装置。 - 【請求項２】ノズル（３６）の出口の前を溝（５６）付
きの少なくとも１つのローラ（５５）が移動できること
を特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項３】溝（５６）がローラ（５５）のほぼ全幅に
わたって延び、溝（５６）が中断されていることを特徴
とする請求項２記載の装置。 - 【請求項４】溝（５６）がローラ（５５）の横平面に関
して０°〜９０°の範囲の角度でローラ（５５）の表面
に配置されていることを特徴とする請求項１又は３記載
の装置。 - 【請求項５】ノズル（３６）が並んで配置された多数の
出口開口（５９）を有し、ローラ（５５）の長手軸心に
対して平行に延び、ノズル（３６）がシャッターあるい
は滑りシール（５７）に配置されていることを特徴とす
る請求項１ないし４のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項６】ノズル（３６）が、フィルム（５０）のほ
ぼ全幅にわたって延びるスリット開口（５８）によって
形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のい
ずれか１つに記載の装置。 - 【請求項７】ノズル（３６）が、滑りシール（５７）の
一部であり、これは回転ローラ（５５）に密に接触し、
そのそばをフィルム（５０）が気密に動かされることを
特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の装
置。 - 【請求項８】回転ローラ（５５）およびノズル（３６）
によってフィルム（５０）の表面に、フィルム（５０）
の横、斜めおよび又は縦方向に金属化しない縞（６１，
６２）が蒸着できることを特徴とする請求項１ないし７
のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項９】縦方向に延びる縞（６１）に互いに間隔を
隔てて延びる開口（６３）が設けられ、横に延びる２つ
の縞（６２）の間ごとに少なくとも１つの開口（６３）
が設けられていることを特徴とする請求項１ないし８の
いずれか１つに記載の装置。 - 【請求項１０】ローラ（５５）に、１つあるいは複数の
中断部を有する半径方向に延びる１つあるいは複数の溝
（５６）が設けられていることを特徴とする請求項１な
いし９のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項１１】ローラ（５５）がフィルム（５０）の長
手方向にその速度に同期して動かせることを特徴とする
請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項１２】滑りシール（５７）が湾曲した軌道にお
いてローラ（５５）に接触でき、引張り装置（６５）に
よって張られていることを特徴とする請求項１ないし１
１のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項１３】フィルム（５０）がノズル（３６）に滑
って接触するか、あるいはこれに対して間隔を隔てて配
置されていることを特徴とする請求項１ないし１２のい
ずれか１つに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4100643A DE4100643C1 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | |
| DE4100643.7 | 1991-01-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0661113A true JPH0661113A (ja) | 1994-03-04 |
| JP2644399B2 JP2644399B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=6422849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3287144A Expired - Fee Related JP2644399B2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-10-07 | フィルムテープ上に金属で覆われない縞状部分を形成する装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5223038A (ja) |
| EP (1) | EP0494340B1 (ja) |
| JP (1) | JP2644399B2 (ja) |
| DE (2) | DE4100643C1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4310085A1 (de) * | 1993-03-27 | 1994-09-29 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Mustern auf Substraten |
| DE19527604A1 (de) * | 1995-07-28 | 1997-01-30 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von metallfreien Streifen bei der Metallbedampfung |
| DE69841940D1 (de) * | 1997-03-19 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | Vorrichtung zur herstellung dünner filme |
| US6576523B1 (en) * | 1997-11-18 | 2003-06-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Layered product, capacitor and a method for producing the layered product |
| DE19819672A1 (de) * | 1998-05-02 | 1999-11-04 | Leybold Ag | Musterträger für Pattern-Verdampfer |
| US6686027B1 (en) | 2000-09-25 | 2004-02-03 | Agra Vadeko Inc. | Security substrate for documents of value |
| DE10330401B3 (de) * | 2003-07-04 | 2005-02-24 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum bereichsweisen Auftragen von Trennmitteln |
| CN101824776B (zh) | 2003-07-14 | 2012-07-04 | Jds尤尼费斯公司 | 防伪装置 |
| EP1788112B1 (de) * | 2005-10-26 | 2011-08-17 | Applied Materials GmbH & Co. KG | Vorrichtung zum Bedampfen von Substraten |
| ATE509131T1 (de) * | 2005-10-26 | 2011-05-15 | Applied Materials Gmbh & Co Kg | Verdampfervorrichtung mit einem behälter für die aufnahme von zu verdampfendem material |
| EP1693481A1 (en) | 2005-11-23 | 2006-08-23 | Galileo Vacuum Systems S.R.L. | Vacuum metallization device with means to create metal-free areas |
| EP1975272A1 (en) | 2007-03-27 | 2008-10-01 | Galileo Vacuum Systems S.p.A. | Device for vacuum deposition of a coating on a continuous material, with liquid applicator |
| EP1978126B1 (de) * | 2007-04-03 | 2010-05-19 | Applied Materials, Inc. | Vorrichtung zum kontinuierlichen Beschichten eines bandförmigen Substrates |
| KR20130079489A (ko) * | 2010-07-28 | 2013-07-10 | 시너스 테크놀리지, 인코포레이티드 | 기판상에 막을 증착하기 위한 회전 반응기 조립체 |
| DE202014104199U1 (de) | 2014-09-05 | 2014-10-22 | Applied Materials, Inc. | Substrat mit Beschichtung mit variablem Reflexionsverhalten |
| DE102016108583B4 (de) * | 2016-05-10 | 2022-06-23 | Siempelkamp Maschinen- Und Anlagenbau Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Besprühen einer Materialbahn |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57152122A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing metallized film capacitor |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE452116A (ja) * | 1939-02-10 | |||
| NL287577A (ja) * | 1962-01-16 | |||
| DE1262732B (de) * | 1962-07-04 | 1968-03-07 | Siemens Ag | Vorrichtung zum gleichzeitigen Aufdampfen von mehreren parallelen Streifen aus fluessigen oder fettartigen Stoffen mit niedrigem Dampfdruck auf insbesondere fuer die Herstellung elektrischer Kondensatoren bestimmten Baendern als Abdeckmittel fuer eine nachfolgende Metallbedampfung |
| US3764382A (en) * | 1970-01-14 | 1973-10-09 | N Danilov | Method of producing anisotropic magnetic films |
| JPS59179777A (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | Ulvac Corp | 連続薄膜形成装置に於けるパタ−ン形成装置 |
| US4832983A (en) * | 1987-03-05 | 1989-05-23 | Shizuki Electric Co., Inc. | Process for producing metallized plastic film |
| DE3817513C2 (de) * | 1988-05-24 | 1996-01-25 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Verdampfen von Metallen |
| DE68927959T2 (de) * | 1988-12-07 | 1997-11-27 | Oji Paper Co | Verfahren zur herstellung einer metallisierten folie für chipschichtkondensatoren |
| DE3922187A1 (de) * | 1989-07-06 | 1991-01-17 | Leybold Ag | Vorrichtung zum herstellen von metallfreien streifen bei im vakuum beschichteten folienbahnen, insbesondere fuer kondensatoren |
-
1991
- 1991-01-11 DE DE4100643A patent/DE4100643C1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-08 US US07/673,696 patent/US5223038A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-02 DE DE59104963T patent/DE59104963D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-09-02 EP EP91114756A patent/EP0494340B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-10-07 JP JP3287144A patent/JP2644399B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57152122A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing metallized film capacitor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0494340B1 (de) | 1995-03-15 |
| DE59104963D1 (de) | 1995-04-20 |
| EP0494340A1 (de) | 1992-07-15 |
| DE4100643C1 (ja) | 1991-10-31 |
| US5223038A (en) | 1993-06-29 |
| JP2644399B2 (ja) | 1997-08-25 |
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