JPH01152262A - ウエブに被覆を形成する方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はウェブ上に被覆を形成する方法および装置に関
する。特に、本発明は可撓性の基体上にＦｌ　１１２を
蒸着することに関し、例えばコバルト・ニッケルのよう
な磁性材料の蒸着された薄膜を記録媒体とする記録用テ
ープを作製するために使用するのに適している。

可撓性材料のウェブには、例えばアイ・イー・アール・
イー会議録第５４号１９８３年によるビデオおよびデー
タ記録に関する第４回国際会議の議事録に発表されたワ
イ・マエザワばかによる「蒸着による金属薄膜テープ」
という論文に記載されているようなロールコーティング
装置で金属薄膜が連続的に被覆されうる。この装置では
、プラスチック・ウェブが蒸着源の上方に配置された回
転冷却ドラムにきつく巻きつけられる。蒸着時のプラス
チック・ウェブ材料は、凝縮金属からのおよび蒸着速度
にともなって増大する放射熱からの非常に高い熱負荷を
受取り、高いコーティング速度で動作する場合には、こ
の熱負荷がウェブ材料にドラム上でしわをつけたり折り
目をつけ、永久的な…傷を与えることになりうる０例え
ば記録用テープのための１２μのポリエチレン・テレフ
タレートよりなるウェブにコバルト・ニッケルのｔ　Ｏ
Ｏｎｍ膜を被覆する場合には、そのウェブに対する被Ｍ
（コーティング）の直ｌｖｉ！速度が約１０メ一トル／
分を超えると上述のような永久的なｊｐ傷が生ずること
が一般に認められている。ウェブと冷却ドラムとの間の
熱伝導が被覆時におけるウェブの温度上昇を規制するの
に重要な役割を果し、かつ所定のウェブ・改組合せに対
する被覆速度に対する上限を設定する。

回転ドラムが固定冷却ガイドに置換された他の被Ｍ装置
が米国特許第４４５１５０１号に開示されている。その
装置でも、ウェブとガイドとの間の熱転４がウェブの温
度上昇を規制するのに同様に重要な役割を果す。

本発明の１つの目的はウェブと冷却部材との間に増大さ
れた熱伝導を有する改良された真空蒸着装置を提供する
ことである。

従来の被覆装置は比較的ｆｆｌ＋６の大きい条件下で回
転ドラムまたは固定冷却ガイドと接触したウェブと協働
する。加熱されたウェブがドラムまたは冷却ガイドと摩
擦接触した状態で横方向に膨張することに基因してその
ウェブの付加的な折目が導入されうる。

本発明の他の目的は、ウェブに被ＩＷを形成するための
装置において、被覆を被着すべきウェブを被覆被着ステ
ーションに送る手段と、 前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブを支持す
る手段と、 前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブに被ＩＷ
を添着する手段と、 前記ウェブと前記支持手段との間の？■域内にガスを駆
動する手段を具備する改良された蒸着装置を提供するこ
とである。

このようにして、受容しうる晶質の被覆されたウェブの
作製速度が高められうる。

ガスは１以上の細いジェット（噴流）および／または１
以上の広い流れの形で注入されうる。あるいは、そのガ
スは１つの点または線に集結されるようにして注入され
てもよい、好ましくは、前記ガス駆動手段は、ウェブと
前記支持手段がそれら間に効果的な接触を生ずるために
収斂する領域にガスの１つのジェットまたは複数の離間
されたジェットを注入するための手段を具備する。付加
的にまたは代替的に、上記ガス駆動手段はガスの流れを
出すための少なくとも１つの開孔を有するノズルにガス
を流すための導管を具備する。

好ましくは、注入手段は、前記収斂領域から遠隔の巻取
りゾーンへのガスの漏洩を防止しかつウェブと支持手段
の間のガスの捕捉を向上させるようになされている。こ
のようにして、この注入手段は支持手段とウェブとの間
に親密嵌着し、巻取りゾーン圧力を実質的に上昇させる
ことなしに高い圧力が収容されうるようになされうる。

好ましくは、前記支持手段は多孔質材料よりなる少なく
とも１つの部分を有し、かつ前記注入手段はその多孔質
の部分を通じてガスを駆動するための手段を具備してい
る。

本発明はウェブを金属化するのに特に適している。従っ
て、好ましくは、本発明の装置は被覆被着ステーション
でウェブに金層化蒸気を適用するための手段を具備する
。しかし、本発明はウェブに非金属材料を被覆する適当
な方法にも適用しうる。

前記支持手段は冷却手段を有する回転可能なドラムまた
は静止したガイド・プレートを具備しうる。後者の場合
には、本発明によって得られるウェブと支持手段との間
の軽減された１’？！１’ｆＡ効果のために、機械的振
動装置を設ける必要をなくしうる。

本発明は、ウェブに被覆を形成する方法においＣ１ 被覆を被着すべきウェブを被覆被着ステーションに送り
、 前記被ｒｉｉ被着ステーションにおいて前記ウェブを支
持し、 前記ウェブと前記被覆被着ステージ巧ンにおいて前記ウ
ェブを支持する手段との間の領域内にガスを駆動し、 ｍ１記被覆被着ステーシッンにおいて前記ウェブに被覆
を添着することよりなるウェブに被覆を形成する方法を
も提供する。

好ましくは、この方法は、ウェブと支持手段がそれら間
に有効な接触を生じさせるために収斂する領域にガスの
１つのジェットまたは複数の離間されたジェットを注入
することを含む。

また好ましくは、この方法は、ガスの流れを流出させる
ための少なくとも１つの開孔を有するノズルまで導管に
沿ってガスを流すことを含む。

この方法は支持手段の少なくとも１つの多孔質部分を通
じてガスを駆動することを含んでいてもよい。

本発明では、被覆材料に適した任意のガスが用いられう
る。蒸着によって材料を沈積させるのに適しうる他のガ
スとしては酸素、アルゴンおよび水蒸気がある。

本発明路；金属化されたウェブの作製（例えば磁気記録
テープ、コンデンサおよび他の電子部品、あるいは装飾
用フィルムを製造する場合）および非金属材料を被覆さ
れたウェブの作製（例えば光学的記録テープを製造する
場合）に適用しうる。

以下図面を参照して本発明の実施例につき説明しよう。

第１図の装置のレイアウトは、磁性膜を蒸着した記録テ
ープを作成するための従来の半連続ロールコーティング
装置と一般的に同様である。従って、プラスチックベー
スフィルムのウェブが、供給スプールｌから、内部に冷
却流体を連続的に循環される中空の回転冷却ドラム３を
通って巻取りスプール２に供給される。典型的にはコバ
ルト・ニッケル合金である原料金属４が電子ビーム・ヒ
ータ（図示せず）によってるつぼ５内で加熱され、この
場合、マスク・シールド６は、その原料金属がプラスチ
ック・ウェブ材料にこのウェブ材料が大きい入射角でド
ラムと接触しているあいだに蒸着されるようにする。ゴ
ムニップローラ７がウェブ材料をドラムに軽く押しつけ
る。ドラム幅は典型的には７３０ｆｉのオーダーであっ
て、幅７００鰭のウェブに被着できるようにし、ドラム
直径は典型的には１．５メートルのオーダーである。こ
の構体が２つの隔室を有する蒸着チャンバに１（ｇ付け
られている。右側の隔室８は蒸着ゾーンであり、その中
にるつぼ５、電子ビーム・ヒータおよびシールド６が収
納されている。左側の隔室９は巻取りゾーンであり、こ
の中には供給スプールおよび巻取りスプール１，２と、
ニンブローラが入れられている。Ｓ取りゾーンには公知
の態様で付加的なガイドおよびテンシラン・ローラが設
けられうる。蒸着および巻取りゾーンは壁部分ＩＯおよ
び１１によって分離されており、ドラム面に近接して熱
伝導の小さいシール１２．１３が設けられており、巻取
りゾーンから蒸着ゾーン内への汚染物質の侵入を最少比
に抑える。蒸着ゾーンと巻取りゾーンは出口管１４．１
５によって真空ポンプ（図示せず）に別々に連結するこ
とができ、被ＩＷ作業に先立って、各ゾーンは通常約１
Ｏ−４ミリバールの圧力まで引かれる。上述した構成要
素は、ベースフィルムが被覆時にドラムの周面に親密に
摩擦接触して走行する従来の”Ａ’Ｒに用いられてい本
発明のこの実施例では、ウェブが冷却ドラム上に配置さ
れる位置においてベースフィルムとそのドラムの間にガ
スを注入する手段が設けられる。

噴射ノズル１Ｇがウェブの全幅・を実質的に横切って、
この位置におけるウェブとドラムとの間に配：６されて
いる。第２図に示されたノズル１６は、テーパをつけら
れた土壁および下壁を具備して閉塞された中空構造を存
している。典型的には直径が１．５龍でピッチが１５■
鴫の取出穴１６ａの列が正面壁に設けられ、ノズルの後
壁に連結された取入管１７がチャンバの外側におけるガ
ス供給源Ｇに連通している。ノズル１６の寸法と、それ
のドラム３およびベースフィルムに対する位置決めは、
ノズル出口とドラム／ベースフィルムとの間の１７０隙
（ギャップ）が約１−一となるように選定される。

コバルト・ニッケルを沈積するためのガス供給源は適当
に通常の雰囲気であり、ガスの導入はニードル弁１８に
よって制御されうる。取入管はチャンバの１つの壁を貫
通しており、適当な真空シール１９が設けられている。

蒸着に先立って、ニードル弁１８が閉塞され、蒸着ゾー
ンと巻取りゾーンが両方とも約１０−４ミリバールの圧
力まで脱気される０次に、１−１０ミリバールのオーダ
ーの局部化された圧力でベースフィルムとドラムとの間
の領域式に空気を噴射するためにニードル弁が開かれ、
この空気の噴射が被覆作業全体にわたって維持される。

このような空気の噴射がベースフィルムと冷却ドラムと
の間の境界面における熱の伝４を助長することが認めら
れ、ベースフィルムを破…させることなしに、３０〜９
０メ一トル／分のウェブ速度で１２マイクロメートルの
ポリエチレン・テレフタレートのベースフィルムに１１
００ｎのコバルト・ニッケルを被覆することができた。

このように被覆されたウェブから分離された記録テープ
は満足しうる性能を有していた。それとは対照的に、従
来の条件下で作業°する場合には、被１！作業の全体に
わたヮて弁１８が完全に閉塞され、被覆工程を１０メ一
トル／分より速い速度で実行しようとすると、ベースフ
ィルムが永久的な折れ目やしわをつけられて著しいｔ］
傷を受けた。空気を噴射することにより、ベースフィル
ムの被覆時にそのベースフィルムとドラムの対向面間に
薄いエア・フィルムおよび／またはエア・ポケットが生
じ、このフィルム／ポケットが、そのドラムとベースフ
ィルムの対向面に微細な表面凹凸が存在していても、そ
のベースフィルムとドラムの間に連続した熱転、ｉｓを
設け、それによりこれらの対向面間の熱伝導を増大させ
るものと考えられる。ガスを噴射しない場合とガスを噴
射した場合との比較的な摩擦値を測定するとエア・フィ
ルムが存在することがわかる。ガスを噴射しない場合に
は、摩擦係数の測定値は０．２６であったが、ガスを噴
射した場合には、そのＰＪ擦係数は０．ＯＩ以下に低下
する。第３図は空気噴射の４つの値に対するウェブ速度
の関数としてドラム・ウェブ間のＰＩｆ擦を示すグラフ
であり、ウェブのそれがドラムを離れるときのテンショ
ンは５０ｋｇｆである。また、ドラムとウェブの熱転ｍ
の測定値は、ガス噴射した場合には少なくとも１０倍改
停されることを示している。

少量の空気が伝導シール１２．１３を通じて蒸着ゾーン
内に漏れかつベースフィルムの側部から漏れるが、この
ような漏れはコバルト・ニッケルを被着されたフィルム
の特性には嬰影響を及ぼすことはなかった。蒸着ゾーン
内に他の雰囲気が必要とされる場合には、酸素、アルゴ
ンまたは水蒸気のような他のガスを噴射しうる。

ゴムニップローラフの位置において、ベースフィルムが
ドラムに接触するが、驚くべきことには、この接触はエ
アフィルムが蒸着ゾーンに到達するのを妨げる障壁を与
えないことが理解されるであろう、ニップローラを用い
た場合に得られる満足な結果は、そのよう°な接触が実
際には完全ではなく、熱を伝４するエアフィルムを与え
かつウェブがニップローラを離れた後で非常に小さい摩
擦をもってドラム上を通過するのに十分な空気が、互い
に接触する凹凸間の微小空乏内で圧縮されることによる
ものと考えられる。しかし、ニップローラは本発明にと
って不可欠なものではなく、他の実施例では、そのニッ
プローラの代りに、巻取りゾーンにおけるドラムの下流
に配置されたモータで駆動されるキャプスタン・モータ
が用いられうる。

真空蒸ｆＪ技術の多くの用途では大きい入射角を必要と
しない、そのような用途としては、アルミ化された装飾
用箔およびコンデンサや他の電気部品に使用するための
金属化されたプラスチックフィルムを含む０本発明は第
４図の装置に示されているようにこのような用途に容易
に適用されうるちのであり、第４図の’２１では、巻取
りゾーン９が蒸着ゾーン８の直接上方に存在し、るつぼ
５と蒸着源４は被覆時にベースフィルムを最大限カバー
するためにドラム軸線の直接下方に存在している。第４
図では第１図に対応する参照番号を用いている。

本発明の他の実施例は回転冷却ドラムに関して固定した
冷却ガイドを利用しうる。従来の構成では、米国特許第
４４５１５０１号に開示されているように、ウェブは固
定した冷却ガイドに摺動接触して進行し、かつ摩擦を許
容レベルに軽減するために、その冷却ガ・イドを機械的
に振動させるための手段が設けられていた。

第５図はコバルト・ニッケル記録媒体をウェブにＭ着す
るのに適した本発明の実施例を示している。蒸着チャン
バはＭ着ゾーン２１の上方に配置された巻取りゾーン２
０を具備している。プラスチック・ウェブが供給スプー
ル２２から固定した凸状冷却ガイド２３を通って巻取り
スプール２４に巻取られる。凸状のガイドの下方のモー
タで駆動されるキャプスタン２５がウェブの速度を制御
し、ウェブの上流にガイドローラ２Ｇが設けられている
。凸状のガイド２３は中空状であり、冷却流体は取入口
２３Ａおよび取出口２３Ｂを通じて連続的に循環する。

そのガイドは蒸着るつぼ２７の上方に配置されており、
かつシールド２８を組合せて、大きい入射角度で蒸着す
るのに適した輪郭となされている。固定ガイドの入口面
２９にはテーバがつけられており、第２ｒｇＪのインダ
クタと一般的に同様の構造を有するガス・インゼクタノ
ズル３０が被覆工程時にウェブと入口面２９との間にガ
スを噴射して、固定ガイドとプラスチックウェブの間の
境界面に薄いエアフィルムが形成されるようになされて
いる。

壁３１，３２は、熱伝導の小さいシール３３．３４とと
もに、巻取りゾーンと蒸着ゾーンを分離しており、これ
らのゾーンを別々に脱気するための取出口３５および３
６が設けられている。ウェブと固定ガイドとの間の境界
面における薄いエアフィルムは、本発明の前述した実施
例と同様に、蒸発した金属が凝縮する場合にガイド２３
に改良された熱伝導を与え、それによりベースフィルム
を破損することなしにより高い巻取り速度を可能にする
。さらに、ウェブは実質的に摩擦のない状態でガイドを
通り、ガイドを機械的に振動させる必要はない。

固定した冷却ガイドを用い、大きい入射角を必要としな
い用途に適した本発明の実施例が第６図に示されている
。冷却ガイドは、被覆時にベースフィルムを最大限にカ
バーするために、シールドをともなわないで、実質的に
水平に取付けられている。第６図は第５図と同様の参照
番号を用いており、装飾用のアルミ化された箔の高速被
覆に適している。第５図および第６図のガス噴射ノズル
には第１図および第４図の実施例と同様のＢ様でガス取
入管が設けられており、通常の空気雰囲気または他の適
当なガスと同様に連通しうる。

図示された実施例に対する変形例では、ドラムまたは固
定支持体は、ドラム／支持体とベースフィルムの間にガ
ス層または膜を形成するためにガスが通過される多孔質
材料で形成される。この特徴はガスのノズル噴射に加え
てまたはそれに代えて設けられうる。第７図〜第１Ｏ図
に例示されているような支持体／ドラムの適当な構造を
生ずるために、適当な形式の多孔質焼結金属、多孔質炭
素または多孔質セラミック（例えば炭化ケイ素材料）が
用いられうる。

このようにして、第７図では、支持体４０は、多孔質の
外側Ｍ４１と、圧力ガスがチャンネル４４に供給されそ
の多孔質層４１を通じて流出してベースフィルム４５を
浮揚させている場合に、多孔質支持体から水冷チャンバ
４３に熱を伝導するための金属レバー４２を有している
。

第８図では、支持体５０は多孔質の外側層５１と、ガス
供給チャンバ５３を有し、その外側層にはこれを冷却す
るための水を運ぶ管５２が埋設されている。

第９図では、支持体６０の外表面が例えば多孔質材料の
部分６１および６２で形成され、それらの部分はそれぞ
れそれに関連された別々のガスチャンネル６３および６
４と、水冷却チャンバ６６に熱を伝導するための金属バ
ー６５を有している。

各ガスチャンネルは必要に応じて支持体６０のまわりの
ガス流に振動を与えるために別々に供給されうる。

第１０図では、支持体７０は多孔質の外側層７１と、流
体が冷媒としておよびガス供給源として機能するための
チャンバ７２を有している。このようにして、冷媒およ
び動作温度は例えば１〜１０ミリバールの適当な蒸気圧
が支持体とベースフィルムとの間に発生されるように選
択される。１つの適当な冷媒は水であり、それの蒸気圧
は０℃で約６ミリバール、１０℃で１２ミリバール、２
０℃で２３ミリバールである。

流れが必要とされない領域における多孔質材料の表面は
塗料または樹脂でシールされうる。あるいは、その表面
は気孔を閉塞するように機械加工されうる。

第１１図は本発明による装置の他の変形例を示しており
、これはベースフィルムと支持体との間のガスの駆動を
行うための他の機構を具備している。この実施例の特徴
は、前述した構成（すなわちノズル噴射と多孔質支持体
）のいずれか一方または両方に加えであるいはそれに代
えて用いられうる。ウェブ８０と支持体８１の間の収斂
の領域は、支持体８１とこれに先行するアイドラーロー
ラ８３に緩く嵌着するラード８２内に収納される。

フード８２は、供給管８４を有する供給源（図示せず）
によって適当な圧力のガスを充満した状態に維持される
。低伝導シール８５はチャンバ圧力に悪影響を及ぼすこ
となしにフード８２内で高い圧力を使用できるようにす
る。この装置は、蒸着領域内へのガスの漏洩をほとんど
許容しえないシングルチャンバ型真空メタライザの場合
に特に有益である。フード８２は単体として作成されて
もよくあるいはアクセスを容易にするために２つの部分
（図示のように）に分割されてもよい。

この構成の１つの利点は、別々の巻取りゾーンおよび蒸
着ゾーンに代えて、真空状態の単一のゾーンを設けるこ
とができるという点である。

本発明の他の実施例も当業者には明らかとなるであろう
が、本発明は広範囲の被覆原材料および広範囲の可ｔｐ
性ウェブ材料に使用するのに適している。

【図面の簡単な説明】

第１図は記録用テープを作成するのに適したロールコー
ティング装置の概略側面図、第２図は噴射ノズルとガス
取入管の斜視図、第３図は第１図の装；ｄに関連した摩
擦測定値のグラフ、第４図は装飾用フィルムを作成する
のに適したロールコーティング装置の概略側面図、第５
図は記録用テープを作成するのに適した固定ガイド・コ
ーティング装置の概略側面図、第６図は装飾用フィルム
の作成に適した固定ガイド・コーティング装置の概略側
面図、第７図〜第１０図は本発明による装置の変形例を
示す図、第１１図は本発明による装置の他の変形例を示
す図である。 図面において、■は供給スプール、２は巻取りスプール
、３は回転冷却ドラム、４は原料金属、５はるつぼ、６
はシールド、７はゴムニップローラ、１Ｇはノズル、１
日はニードル弁、１９は真空シール、２０は巻取りゾー
ン、２１は蒸着ゾーン、２２は供給スプール、２３はガ
イド、２４は巻取りスプール、２５はキャプスタン、２
６はガイドローラ、２７は蒸着るつぼ、２８はシールド
、３０はインゼクタノズル、４０は支持体、４１は多孔
質、４２は金属レバー、４３は水冷チャンバ、４４はチ
啼ンネル、４５はベースフィルム、５０は支持体、５１
は多孔’ｆＦＪ、５２は管、５３はガス供給チャンバ、
６０は支持体、６３．６４はガスチャンネル、６５は金
属バー、６Ｇは水冷却チャンバ、７０は支持体、７１は
多孔質層、７２はチャンバ、８０はウェブ、８１は支持
体、８２はフードをそれぞれ示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェブに被覆を形成するための装置において、被覆
   を被着すべきウェブを被覆被着ステーションに送る手段
   と、 前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブを支持す
   る手段と、 前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブに被覆を
   添着する手段と、 前記ウェブと前記支持手段との間の領域内にガスを駆動
   する手段を具備するウェブに被覆を形成する装置。 ２、前記駆動手段は、前記ウェブと前記支持手段がそれ
   ら間に有効な接触を生ずるように収斂する領域に１つの
   ジェットまたは複数の離間したジェットを噴射するため
   の手段を具備している請求項１の装置。 ３、前記駆動手段は、前記ウェブと前記支持手段がそれ
   ら間に有効な接触を生ずるように収斂する領域を収容す
   る手段と、この収容手段内にガスの適当な圧力を維持す
   るための手段を具備する請求項１または２の装置。 ４、前記駆動手段が、ガスの流れを取出すための少なく
   とも１つの開孔を有するノズルにガスを送る導管を具備
   している請求項１〜３のうちの１つに記載された装置。 ５、前記支持手段が多孔質材料の少なくとも１つの部分
   を具備しており、前記駆動手段はその多孔質部分を通じ
   てガスを駆動するための手段を具備している請求項１〜
   ４のうちの１つに記載された装置。 ６、前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブに金
   属化蒸気を適用するための手段を具備した請求項１〜５
   のうちの１つに記載された装置。 ７、前記支持手段が冷却手段を有する回転ドラムを具備
   している請求項１〜６のうちの１つに記載された装置。 ８、前記支持手段が固定したガイドプレートを具備して
   いる請求項１〜６のうちの１つに記載された装置。 ９、ウェブに被覆を形成する方法において、被覆を被着
   すべきウェブを被覆被着ステーションに送り、 前記被覆被着ステーシヨンにおいて前記ウェブを支持し
   、 前記ウェブと前記被覆被着ステーションにおいて前記ウ
   ェブを支持する手段との間の領域内にガスを駆動し、 前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブに被覆を
   添着することよりなるウェブに被覆を形成する方法。 １０、前記ウェブと前記支持手段がそれら間に有効な接
   触を生ずるように収斂する領域に１つのジェットまたは
   複数の離間したジェットを噴射することを含む請求項９
   の方法。 １１、前記ウェブと前記支持手段がそれら間に有効な接
   触を生ずるように収斂する領域閉じ込め、かつその領域
   を適当な圧力のガスで充満した状態に維持することを含
   む請求項９または１０の方法。 １２、ガスの流れを取出すための少なくとも１つの開孔
   を有するノズルにガスを導管に沿って送ることを含む請
   求項９〜１１のうちの１つに記載された方法。 １３、前記支持体の少なくとも１つの多孔質部分を通じ
   てガスを駆動することを含む請求項９〜１２のうちの１
   つに記載された方法。 １４、前記被覆被着ステーションにおいて前記ウェブに
   金属化蒸気を適用することを含む請求項９〜１３のうち
   の１つに記載された方法。 １５、冷却手段を有する回転ドラムである支持手段を設
   けることを含む請求項９〜１４のうちの１つに記載され
   た方法。 １６、固定ガイドプレートである支持手段を設けること
   を含む請求項９〜１４のうちの１つに記載された方法。 １７、請求項１〜８のうちの１つに記載され装置および
   ／または請求項９〜１６のうちの１つに記載された方法
   によって製造された被覆ウェブ。