JP2000243672A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
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- film
- deposition apparatus
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 できるだけ高い蒸着速度を達成する。
【解決手段】 蒸着装置が、ヒータにより加熱された蒸
発容器と、回転可能に配置された円筒状のパターンキャ
リヤ１とを有しており、パターンキャリヤの周面が、蒸
着を施したいフィルムに向かって付着防止剤蒸気を案内
するための通過部を有しており、パターンキャリヤ１
が、蒸発容器に接続された蒸気室９を形成しており、パ
ターンキャリヤ１の周面に設けられた前記通過部が、フ
ィルム２の巻掛け範囲によってカバーされているととも
に、巻掛け範囲以外の範囲では成形体５によってカバー
されており、該成形体が、狭いギャップ６を形成するた
めに小さな間隔を置いてパターンキャリヤ１の周面に沿
って延びている。
発容器と、回転可能に配置された円筒状のパターンキャ
リヤ１とを有しており、パターンキャリヤの周面が、蒸
着を施したいフィルムに向かって付着防止剤蒸気を案内
するための通過部を有しており、パターンキャリヤ１
が、蒸発容器に接続された蒸気室９を形成しており、パ
ターンキャリヤ１の周面に設けられた前記通過部が、フ
ィルム２の巻掛け範囲によってカバーされているととも
に、巻掛け範囲以外の範囲では成形体５によってカバー
されており、該成形体が、狭いギャップ６を形成するた
めに小さな間隔を置いてパターンキャリヤ１の周面に沿
って延びている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルム被覆設備
でフィルムに分離剤もしくは付着防止剤（Ｔｒｅｎｎｍ
ｉｔｔｅｌ）を蒸着させるための蒸着装置であって、該
蒸着装置が、ヒータにより加熱された、付着防止剤のた
めの気化容器もしくは蒸発容器と、回転可能に配置され
た、所定のパターンを担持した円筒状のパターンキャリ
ヤとを有しており、該パターンキャリヤの周面が、蒸着
を施したいフィルムに向かって付着防止剤蒸気を案内す
るための複数の通過部を有しており、フィルムがパター
ンキャリヤに部分的に巻き掛けられており、パターンキ
ャリヤがフィルムの送り速度と同期的に回転している形
式のものに関する。
でフィルムに分離剤もしくは付着防止剤（Ｔｒｅｎｎｍ
ｉｔｔｅｌ）を蒸着させるための蒸着装置であって、該
蒸着装置が、ヒータにより加熱された、付着防止剤のた
めの気化容器もしくは蒸発容器と、回転可能に配置され
た、所定のパターンを担持した円筒状のパターンキャリ
ヤとを有しており、該パターンキャリヤの周面が、蒸着
を施したいフィルムに向かって付着防止剤蒸気を案内す
るための複数の通過部を有しており、フィルムがパター
ンキャリヤに部分的に巻き掛けられており、パターンキ
ャリヤがフィルムの送り速度と同期的に回転している形
式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】このような形式の蒸着装置は、ドイツ連
邦共和国特許出願公開第１９７３４４７７号明細書の対
象である。同特許出願公開明細書の図６〜図１０に示さ
れている蒸着装置では、パターンキャリヤの内部で、蒸
発容器に接続された付着防止剤ノズルがパターンキャリ
ヤの内周面のすぐ手前に配置されている。供給された付
着防止剤はこの付着防止剤ノズルから、パターンキャリ
ヤの、付着防止剤ノズルをカバーする範囲を通って、蒸
着を施したいフィルムにまで流れる。この場合に不都合
となるのは、フィルムに蒸着を施すために極めて短い時
間しか提供されていないことである。このような短い時
間はノズルの幅と、フィルムの経路速度もしくはパター
ンキャリヤの周速とに起因している。それにもかかわら
ず十分に厚い付着防止剤層をフィルム上に形成するため
には、フィルムの経路速度が比較的低く設定されなけれ
ばならないので、蒸着装置の出力は相応して低下する。
さらに、循環回転するパターンキャリヤに対する定位置
の付着防止剤ノズルのシールも障害となる。このような
シールは摩耗を生ぜしめる。
邦共和国特許出願公開第１９７３４４７７号明細書の対
象である。同特許出願公開明細書の図６〜図１０に示さ
れている蒸着装置では、パターンキャリヤの内部で、蒸
発容器に接続された付着防止剤ノズルがパターンキャリ
ヤの内周面のすぐ手前に配置されている。供給された付
着防止剤はこの付着防止剤ノズルから、パターンキャリ
ヤの、付着防止剤ノズルをカバーする範囲を通って、蒸
着を施したいフィルムにまで流れる。この場合に不都合
となるのは、フィルムに蒸着を施すために極めて短い時
間しか提供されていないことである。このような短い時
間はノズルの幅と、フィルムの経路速度もしくはパター
ンキャリヤの周速とに起因している。それにもかかわら
ず十分に厚い付着防止剤層をフィルム上に形成するため
には、フィルムの経路速度が比較的低く設定されなけれ
ばならないので、蒸着装置の出力は相応して低下する。
さらに、循環回転するパターンキャリヤに対する定位置
の付着防止剤ノズルのシールも障害となる。このような
シールは摩耗を生ぜしめる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の蒸着装置を改良して、できるだけ高い蒸
着速度を達成することのできるような蒸着装置を提供す
ることである。
で述べた形式の蒸着装置を改良して、できるだけ高い蒸
着速度を達成することのできるような蒸着装置を提供す
ることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、パターンキャリヤが、蒸発容器に
接続された蒸気室を形成しており、パターンキャリヤの
周面に設けられた前記通過部が、フィルムの巻掛け範囲
によってカバーされているとともに、巻掛け範囲以外の
範囲では成形体によってカバーされており、該成形体
が、狭いギャップを形成するために小さな間隔を置いて
パターンキャリヤの周面に沿って延びているようにし
た。
に本発明の構成では、パターンキャリヤが、蒸発容器に
接続された蒸気室を形成しており、パターンキャリヤの
周面に設けられた前記通過部が、フィルムの巻掛け範囲
によってカバーされているとともに、巻掛け範囲以外の
範囲では成形体によってカバーされており、該成形体
が、狭いギャップを形成するために小さな間隔を置いて
パターンキャリヤの周面に沿って延びているようにし
た。
【０００５】
【発明の効果】本発明によれば、パターンキャリヤの内
部に配置される付着防止剤ノズルが不要となり、そして
パターンキャリヤが蒸気室を形成しているので、パター
ンキャリヤの周面の大きな範囲が付着防止剤流出のため
に提供されている。それゆえに、ドイツ連邦共和国特許
出願公開第１９７３４４７７号明細書に記載の装置にお
けるように付着防止剤ノズルの狭い範囲においてしかフ
ィルムに付着防止剤を蒸着させることができないのでは
なく、パターンキャリヤの巻掛け範囲全体にわたってフ
ィルムに付着防止剤を蒸着させることができるようにな
る。巻掛け範囲以外の範囲、つまりパターンキャリヤ
の、フィルムによって巻き掛けられていない範囲では、
成形体の働きにより、パターンキャリヤから付着防止剤
蒸気が流出して、当該蒸着装置が配置されている設備を
汚染することが阻止される。本発明は、付着防止剤を正
確な量でかつ良好な寸法安定性でフィルムに被着させ、
これによってこれらの範囲において、あとで行われる金
属被覆を阻止することを可能にする。本発明によれば、
別個の付着防止剤ノズルが必要とならないので、このよ
うな付着防止剤ノズルとパターンキャリヤとの間をシー
ルする必要性も生じない。
部に配置される付着防止剤ノズルが不要となり、そして
パターンキャリヤが蒸気室を形成しているので、パター
ンキャリヤの周面の大きな範囲が付着防止剤流出のため
に提供されている。それゆえに、ドイツ連邦共和国特許
出願公開第１９７３４４７７号明細書に記載の装置にお
けるように付着防止剤ノズルの狭い範囲においてしかフ
ィルムに付着防止剤を蒸着させることができないのでは
なく、パターンキャリヤの巻掛け範囲全体にわたってフ
ィルムに付着防止剤を蒸着させることができるようにな
る。巻掛け範囲以外の範囲、つまりパターンキャリヤ
の、フィルムによって巻き掛けられていない範囲では、
成形体の働きにより、パターンキャリヤから付着防止剤
蒸気が流出して、当該蒸着装置が配置されている設備を
汚染することが阻止される。本発明は、付着防止剤を正
確な量でかつ良好な寸法安定性でフィルムに被着させ、
これによってこれらの範囲において、あとで行われる金
属被覆を阻止することを可能にする。本発明によれば、
別個の付着防止剤ノズルが必要とならないので、このよ
うな付着防止剤ノズルとパターンキャリヤとの間をシー
ルする必要性も生じない。
【０００６】パターンキャリヤは種々様々に形成されて
いてよい。パターンキャリヤは、たとえば金属円筒体で
あってよく、その場合、この金属円筒体には、周面に設
けられた貫通孔の形の付着防止剤蒸気のための複数の通
過部が形成されている。本発明の有利な構成におけるよ
うに、パターンキャリヤが多孔質材料から成っていて、
この多孔質材料が外側に薄い金属層を有しており、パタ
ーンキャリヤに設けられた前記通過部が、前記金属層の
彫刻加工またはエッチングによって形成されていると、
パターンキャリヤを特に廉価に製造することができる。
また、このようなパターンキャリヤにより、僅かな手間
をかけるだけで種々異なるパターンを形成することが可
能となる。このようなパターンキャリヤでは、外側の金
属層がマスクとして働く。
いてよい。パターンキャリヤは、たとえば金属円筒体で
あってよく、その場合、この金属円筒体には、周面に設
けられた貫通孔の形の付着防止剤蒸気のための複数の通
過部が形成されている。本発明の有利な構成におけるよ
うに、パターンキャリヤが多孔質材料から成っていて、
この多孔質材料が外側に薄い金属層を有しており、パタ
ーンキャリヤに設けられた前記通過部が、前記金属層の
彫刻加工またはエッチングによって形成されていると、
パターンキャリヤを特に廉価に製造することができる。
また、このようなパターンキャリヤにより、僅かな手間
をかけるだけで種々異なるパターンを形成することが可
能となる。このようなパターンキャリヤでは、外側の金
属層がマスクとして働く。
【０００７】本発明の別の有利な構成では、成形体が遮
断ガス接続部を有しており、該遮断ガス接続部が、成形
体とパターンキャリヤの周面との間のギャップに接続さ
れていることにより、成形体とパターンキャリヤの周面
との間のギャップを通じて生じる恐れのある付着防止剤
蒸気の流出を阻止することができる。
断ガス接続部を有しており、該遮断ガス接続部が、成形
体とパターンキャリヤの周面との間のギャップに接続さ
れていることにより、成形体とパターンキャリヤの周面
との間のギャップを通じて生じる恐れのある付着防止剤
蒸気の流出を阻止することができる。
【０００８】パターンキャリヤの壁に付着防止剤蒸気が
凝縮することを阻止するためには、パターンキャリヤが
たいての場合、加熱されなければならない。このこと
は、成形体が電気的に加熱されていると、特に廉価に実
現することができる。このような加熱は僅かな手間しか
必要としない。なぜならば、この成形体は、回転するパ
ターンキャリヤとは異なり定置の固定構成部分であり、
しかもこの成形体はパターンキャリヤの外周面のすぐ手
前にまで達しているので、放射線による良好な熱伝達が
可能となるからである。
凝縮することを阻止するためには、パターンキャリヤが
たいての場合、加熱されなければならない。このこと
は、成形体が電気的に加熱されていると、特に廉価に実
現することができる。このような加熱は僅かな手間しか
必要としない。なぜならば、この成形体は、回転するパ
ターンキャリヤとは異なり定置の固定構成部分であり、
しかもこの成形体はパターンキャリヤの外周面のすぐ手
前にまで達しているので、放射線による良好な熱伝達が
可能となるからである。
【０００９】成形体がグラファイトから成っており、該
グラファイトに直接に電流を流すことによって前記成形
体が加熱されていると、パターンキャリヤの加熱を特に
廉価に実現することができる。
グラファイトに直接に電流を流すことによって前記成形
体が加熱されていると、パターンキャリヤの加熱を特に
廉価に実現することができる。
【００１０】パターンキャリヤが炭素繊維強化炭素から
成っていると、パターンキャリヤは十分な多孔度を有し
ており、そしてたとえばその外周面に電気メッキにより
１０〜１００μｍの厚さの、所定のパターンを形成する
複数の通過部を有する銅、ニッケルまたはクロムから成
る金属層を設けることができる。
成っていると、パターンキャリヤは十分な多孔度を有し
ており、そしてたとえばその外周面に電気メッキにより
１０〜１００μｍの厚さの、所定のパターンを形成する
複数の通過部を有する銅、ニッケルまたはクロムから成
る金属層を設けることができる。
【００１１】成形体による加熱では不十分である場合、
このようなパターンキャリヤでは、パターンキャリヤの
一方の端面側から他方の端面側に向かって直接に電流を
流すことによって、パターンキャリヤが電気的に加熱さ
れていることにより、付加的な加熱を行うことができ
る。
このようなパターンキャリヤでは、パターンキャリヤの
一方の端面側から他方の端面側に向かって直接に電流を
流すことによって、パターンキャリヤが電気的に加熱さ
れていることにより、付加的な加熱を行うことができ
る。
【００１２】パターンキャリヤに対して小さな間隔を置
いて高温計もしくはパイロメータが配置されていると、
パターンキャリヤの正確な温度制御が可能となる。
いて高温計もしくはパイロメータが配置されていると、
パターンキャリヤの正確な温度制御が可能となる。
【００１３】本発明のさらに別の有利な構成におけるよ
うに、パターンキャリヤが中空軸を有しており、この中
空軸を介してパターンキャリヤの一方の端部が、シール
された支承ヘッド内に導入されており、該支承ヘッドが
蒸発容器に接続されていると、定置の固定蒸発容器か
ら、回転するパターンキャリヤへの付着防止剤蒸気の導
入を、僅かな手間をかけるだけで実現することができ
る。
うに、パターンキャリヤが中空軸を有しており、この中
空軸を介してパターンキャリヤの一方の端部が、シール
された支承ヘッド内に導入されており、該支承ヘッドが
蒸発容器に接続されていると、定置の固定蒸発容器か
ら、回転するパターンキャリヤへの付着防止剤蒸気の導
入を、僅かな手間をかけるだけで実現することができ
る。
【００１４】気化容器もしくは蒸発容器が、補充導管と
圧力補償導管とを介して、付着防止剤のための貯え容器
に接続されていると、蒸発容器は付着防止剤のための比
較的小さな容積を有することができるようになるので、
蒸発速度を加熱出力によって迅速に変えることができ
る。
圧力補償導管とを介して、付着防止剤のための貯え容器
に接続されていると、蒸発容器は付着防止剤のための比
較的小さな容積を有することができるようになるので、
蒸発速度を加熱出力によって迅速に変えることができ
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面につき詳しく説明する。
面につき詳しく説明する。
【００１６】図１に示した蒸着装置は、多孔質材料から
成る、所定のパターンを担持したパターン担体もしくは
パターンキャリヤ１を有している。蒸着を施したい被蒸
着フィルム２はこのパターンキャリヤ１に被さるように
案内される。それぞれパターンキャリヤ１に並んで配置
された２つの変向ローラ３，４（一部のみ図示する）に
よって、フィルム２は大きな角度、つまりこの実施例で
は約１８０゜の角度にわたってパターンキャリヤ１に巻
き掛けられている。
成る、所定のパターンを担持したパターン担体もしくは
パターンキャリヤ１を有している。蒸着を施したい被蒸
着フィルム２はこのパターンキャリヤ１に被さるように
案内される。それぞれパターンキャリヤ１に並んで配置
された２つの変向ローラ３，４（一部のみ図示する）に
よって、フィルム２は大きな角度、つまりこの実施例で
は約１８０゜の角度にわたってパターンキャリヤ１に巻
き掛けられている。
【００１７】パターンキャリヤ１の下方では、変向ロー
ラ３，４の間にグラファイトから成る成形体５が配置さ
れており、この成形体５はパターンキャリヤ１の周面の
すぐ手前にまで達して、狭いギャップ６を形成するとと
もに、両変向ローラ３，４のすぐ手前にまで達してい
る。成形体５は遮断ガス接続部７を有している。この遮
断ガス接続部７を介して成形体５とパターンキャリヤ１
との間のギャップ６内に遮断ガスを導入することができ
るので、成形体５の範囲では付着防止剤蒸気がパターン
キャリヤ１から流出し得なくなる。パターンキャリヤ１
を支承するためには、中空軸８が働く。付着防止剤蒸気
はこの中空軸８を介してパターンキャリヤ１の内部に流
入することができる。パターンキャリヤ１はこの目的の
ために蒸気室９として形成されている。すなわち、パタ
ーンキャリヤ１の周面は蒸気室９を仕切っている。
ラ３，４の間にグラファイトから成る成形体５が配置さ
れており、この成形体５はパターンキャリヤ１の周面の
すぐ手前にまで達して、狭いギャップ６を形成するとと
もに、両変向ローラ３，４のすぐ手前にまで達してい
る。成形体５は遮断ガス接続部７を有している。この遮
断ガス接続部７を介して成形体５とパターンキャリヤ１
との間のギャップ６内に遮断ガスを導入することができ
るので、成形体５の範囲では付着防止剤蒸気がパターン
キャリヤ１から流出し得なくなる。パターンキャリヤ１
を支承するためには、中空軸８が働く。付着防止剤蒸気
はこの中空軸８を介してパターンキャリヤ１の内部に流
入することができる。パターンキャリヤ１はこの目的の
ために蒸気室９として形成されている。すなわち、パタ
ーンキャリヤ１の周面は蒸気室９を仕切っている。
【００１８】図２に示した拡大断面図から判るように、
パターンキャリヤ１の外周面には薄い金属層１０が被着
されている。この金属層１０はエッチングまたは彫刻加
工により形成された、パターンを形成する複数の通過部
１１を有しており、これらの通過部１１を通って、付着
防止剤蒸気が、蒸着を施したいフィルム２にまで到達す
る。
パターンキャリヤ１の外周面には薄い金属層１０が被着
されている。この金属層１０はエッチングまたは彫刻加
工により形成された、パターンを形成する複数の通過部
１１を有しており、これらの通過部１１を通って、付着
防止剤蒸気が、蒸着を施したいフィルム２にまで到達す
る。
【００１９】図３に示した斜視図から判るように、パタ
ーンキャリヤ１の中空軸８は支承ヘッド１２内に突入し
ている。この支承ヘッド１２は密な室として形成されて
いて、導管１３を介して、電気的に加熱された蒸発容器
１４に接続されている。この導管１３には遮断弁１５が
接続されている。小容積に形成されている蒸発容器１４
は補充導管１６と圧力補償導管１７とを介して、付着防
止剤のための貯え容器１８に接続されている。補充導管
１６は遮断弁１９を有している。この遮断弁１９が開放
位置に位置していると、遮断弁１９を介して付着防止剤
が蒸発容器１４に流入する。
ーンキャリヤ１の中空軸８は支承ヘッド１２内に突入し
ている。この支承ヘッド１２は密な室として形成されて
いて、導管１３を介して、電気的に加熱された蒸発容器
１４に接続されている。この導管１３には遮断弁１５が
接続されている。小容積に形成されている蒸発容器１４
は補充導管１６と圧力補償導管１７とを介して、付着防
止剤のための貯え容器１８に接続されている。補充導管
１６は遮断弁１９を有している。この遮断弁１９が開放
位置に位置していると、遮断弁１９を介して付着防止剤
が蒸発容器１４に流入する。
【００２０】パターンキャリヤ１の上方には、高温計
（パイロメータ）２０が認められる。この高温計２０は
パターンキャリヤ１の表面の温度を監視しているので、
図１に示した成形体５と、場合によってはパターンキャ
リヤ１との加熱によって、良好な温度制御が可能とな
る。
（パイロメータ）２０が認められる。この高温計２０は
パターンキャリヤ１の表面の温度を監視しているので、
図１に示した成形体５と、場合によってはパターンキャ
リヤ１との加熱によって、良好な温度制御が可能とな
る。
【図１】本発明によるパターンキャリヤおよびこれに隣
接した構成部分を示す側面図である。
接した構成部分を示す側面図である。
【図２】パターンキャリヤの周面の範囲を、図１に比べ
て拡大して示す断面図である。
て拡大して示す断面図である。
【図３】本発明により使用される蒸発装置の斜視図であ
る。
る。
１ パターンキャリヤ、 ２ フィルム、 ３，４ 変
向ローラ、 ５ 成形体、 ６ ギャップ、 ７ 遮断
ガス接続部、 ８ 中空軸、 ９ 蒸気室、１０ 金属
層、 １１ 通過部、 １２ 支承ヘッド、 １３ 導
管、 １４蒸発容器、 １５ 遮断弁、 １６ 補充導
管、 １７ 圧力補償導管、 １８貯え容器、 １９
遮断弁、 ２０ 高温計
向ローラ、 ５ 成形体、 ６ ギャップ、 ７ 遮断
ガス接続部、 ８ 中空軸、 ９ 蒸気室、１０ 金属
層、 １１ 通過部、 １２ 支承ヘッド、 １３ 導
管、 １４蒸発容器、 １５ 遮断弁、 １６ 補充導
管、 １７ 圧力補償導管、 １８貯え容器、 １９
遮断弁、 ２０ 高温計
Claims (10)
- 【請求項１】 フィルム被覆設備でフィルムに付着防止
剤を蒸着させるための蒸着装置であって、該蒸着装置
が、ヒータにより加熱された、付着防止剤のための蒸発
容器と、回転可能に配置された円筒状のパターンキャリ
ヤとを有しており、該パターンキャリヤの周面が、蒸着
を施したいフィルムに向かって付着防止剤蒸気を案内す
るための複数の通過部を有しており、フィルムがパター
ンキャリヤに部分的に巻き掛けられており、パターンキ
ャリヤがフィルムの送り速度と同期的に回転している形
式のものにおいて、パターンキャリヤ（１）が、蒸発容
器に接続された蒸気室（９）を形成しており、パターン
キャリヤ（１）の周面に設けられた前記通過部（１１）
が、フィルム（２）の巻掛け範囲によってカバーされて
いるとともに、巻掛け範囲以外の範囲では成形体（５）
によってカバーされており、該成形体（５）が、狭いギ
ャップ（６）を形成するために小さな間隔を置いてパタ
ーンキャリヤ（１）の周面に沿って延びていることを特
徴とする蒸着装置。 - 【請求項２】 パターンキャリヤ（１）が多孔質材料か
ら成っており、該多孔質材料が外側に薄い金属層（１
０）を有しており、パターンキャリヤ（１）に設けられ
た前記通過部（１１）が、前記金属層（１０）の彫刻加
工またはエッチングによって形成されている、請求項１
記載の蒸着装置。 - 【請求項３】 成形体（５）が遮断ガス接続部（７）を
有しており、該遮断ガス接続部（７）が、成形体（５）
とパターンキャリヤ（１）の周面との間のギャップ
（６）に接続されている、請求項１または２記載の蒸着
装置。 - 【請求項４】 成形体（５）が電気的に加熱されてい
る、請求項１から３までのいずれか１項記載の蒸着装
置。 - 【請求項５】 成形体（５）がグラファイトから成って
おり、該グラファイトに直接に電流を流すことによって
前記成形体（５）が加熱されている、請求項４記載の蒸
着装置。 - 【請求項６】 パターンキャリヤ（１）が、炭素繊維強
化炭素から成っている、請求項１から５までのいずれか
１項記載の蒸着装置。 - 【請求項７】 パターンキャリヤ（１）の一方の端面側
から他方の端面側に向かって直接に電流を流すことによ
って、パターンキャリヤ（１）が電気的に加熱されてい
る、請求項１から６までのいずれか１項記載の蒸着装
置。 - 【請求項８】 パターンキャリヤ（１）の温度制御のた
めに、パターンキャリヤ（１）に対して小さな間隔を置
いて高温計（２０）が配置されている、請求項１から７
までのいずれか１項記載の蒸着装置。 - 【請求項９】 パターンキャリヤ（１）の一方の端部
が、中空軸（８）を介して、シールされた支承ヘッド
（１２）内に導入されており、該支承ヘッド（１２）が
蒸発容器（１４）に接続されている、請求項１から８ま
でのいずれか１項記載の蒸着装置。 - 【請求項１０】 蒸発容器（１４）が、補充導管（１
６）と圧力補償導管（１７）とを介して、付着防止剤の
ための貯え容器（１８）に接続されている、請求項１か
ら９までのいずれか１項記載の蒸着装置。
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