JP2007119917A - 基材への蒸着のための装置 - Google Patents

Abstract

【課題】放出される油気の量を設定可能な、基材にオイルを蒸着するための装置を提供する。
【解決手段】この構成は、オイルパンと、線状に配置された孔を有するカバーとを有する。このカバーの上に密封装置が載っており、この密封装置も開口部を有する。この密封装置によって、カバーの孔を開閉可能であり、全ての孔を同時に処理することができる。密封装置によって、極めて短時間に、異なる気化速度を設定することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、請求項１の導入部による、基材への蒸着のための装置（ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）に関する。

合成フィルムは、気体に対する不透過性または導電性を付与するため、多くの場合、真空下で金属層が設けられる。導電性を全ての領域ではなく、特定の軌道のみに付与する場合、金属層を設けない領域に、油膜の細長い片（ストリップ）が設けられる。この膜により、金属が積層体に付着しなくなる。これらの油膜のストリップは、油用気化装置によって付着される。

真空中で被覆されるフィルム軌道の場合、金属フリー（金属以外の）ストリップを作製するための装置が、特にコンデンサのために知られている。この場合、オイルを満たした容器が設けられ、この容器は少なくとも１つの蒸気出口管を有する（特許文献１）。この蒸気出口管の吹出ノズルの終端は、被覆する基材のすぐ近くにある被覆チャンバ内のオイルの液面の下にある。

更に、絶縁材料のバンドへの金属蒸着において、金属以外のストリップを製造するための方法および装置が知られている（特許文献２）。この文献では、金属以外のストリップを形成する領域に被覆バンドが付され、この上に、油用気化装置によって一方の面にオイルが被覆される。油用気化装置の構造の詳細については提供されていない。

オイルマスキングの製造のための別の公知の装置に、円筒状のマスキングローラーを提供して、このローラーにマスキングオイルを入れる例がある（特許文献３）。マスキングローラーの周縁に、マスキングオイルの出口となる開口部がある。ローラーの上に貫通孔を有する薄い積層体が配置され、この貫通孔が開口部と重なっている。

線状に配置された数個のノズルを通過するように基材が案内される更に別の装置が、特許文献４号公報に開示されている。この文献に記載されている装置は、オイルを満たした箱形形状の装置を有し、この装置の下に加熱システムが配置されている。
独国特許出願公開第３９２２１８７号明細書 欧州特許出願公開第０７５６０２０号明細書 特開２００１−２７９４２５号公報 特開２００４−２１４１８５号公報

上記の装置は、放出される油気の量を調節する（ｄｏｓｉｎｇ）機能を有していない。

このため、本発明は、放出される油気の量を設定可能な、基材にオイルを蒸着するための装置を提供するという課題を解決する。

この課題は、請求項１に記載の特徴によって解決される。

したがって、本発明は、基材への蒸着のための装置に関する。この装置は、気化用容器と、線状に配置された孔を有するカバーとを有する。このカバーの上に密封装置が載っており、この密封装置も開口部を有する。該密封装置によってカバーの孔を開閉可能であり、全ての孔を同時に処理することができる。密封装置によって、極めて短時間に、異なる気化速度を設定することができる。

本発明に記載の装置は、フィルムの全有効幅において、蒸気圧を極めて良好に均一に維持でき、かつオイルのストリップの精度を極めて良好に均一に維持できるという利点を有する。

この装置は、一列に配置された数個の孔を有し、この孔は密封装置によって開閉可能である。この密封装置も開口部を有しており、密封装置を作動させることによって、孔を開閉させることが可能である。

この密封装置は、全ての孔の開きを一定にできるように、全ての孔を同時に処理する。

これにより、熱的に不活性な気化の処理の場合に、極めて短時間に気化速度を設定することが可能になる。

本発明の１つの利点に、放出される蒸気の量が常に一定に維持されるように、密封装置を配置できることが挙げられる。このように蒸気量が一定に保たれることにより、基材の被覆も均一化される。そのため、この装置は、金属化合成フィルムに金属以外の領域のほか、パターン、ストリップを形成するのに特に適する。

本発明の更に別の利点は、蒸着工程の準備中および終了中に、密封装置によって蒸着空間を閉じることができるということにある。これにより、オイルの漏洩が発生しにくくなり、オイルによる環境汚染が最小限に低減される。このため、オイルが失われるのを大幅に低減することができる。密封装置は、開位置と閉位置をとる機能を有する。

放出される油気の量を調整する機能によって、端部の精度に関して金属以外の領域の品質を向上させ、残油量を増やすことが可能となるように、オイルの量を最適化することができる。例えば、正確な設定が行われ、放出されたオイルの量が測定器によって決定される。放出された油気の量が公称値と一致しない場合、装置に信号が送られ、これにより、油気の量が公称値に再度設定されるように、密封装置が作動される。

上昇する蒸気が、上の方向のみ、すなわち一方向に向かって装置から出るように、この装置が更に概念化されるが、これは、この装置が、他の側に蒸気を全く通さないためである。これにより、流れの交差が発生することはなくなり、装置の全ての領域において蒸気圧がほぼ等しくなる。このため、ノズルの下の空間に流れ抵抗が存在しなくなる。るつぼおよびスライドの形状の密封装置が浅い構造であるため、この装置は、既に公知の気化装置ユニットよりも大幅に小さな寸法とすることができる。

本発明の主題が、図面に示されると共に、下記に更に詳述される。

図１は、真空下で材料（例えば有機物質）を基材に蒸着させるための装置１の斜視図を示す。装置１上に、薄層状の基材３８がＢ−Ｂに沿って案内される。基材が合成フィルムの場合、特開２００１−２７９４２５号公報に記載されているように、装置１上を移動することができる。ストリップを鮮明に形成するために、基材３８と装置１の間の距離は、多くの場合非常に短くされる。

装置１は、オイルパン２を有しており、ここに気化させるオイルが配される。このオイルパン２の上に絶縁層３が載り、この上に加熱プレート４が配置される。加熱プレート４の上にノズルバー５が配置され、ノズルバー５はその上端に間隙６を有する。間隙６の代わりに、個々のノズルを設けてもよい。線Ａ−Ａに沿って孔を有するスライド７が設けられ、このうち、図１には孔１０のみを見ることができる。間隙６は、２つの領域２４、２５によって区切られている。

更に、装置１は、連結要素２８から３２を有しており、これらは、オイルパン２、絶縁層３、加熱プレート４のほか、その上に載っているノズルバー５を相互に連結している。

オイルパン２は少なくとも１つの加熱システムを有しており、これは図１では棒状の加熱器９として示されている。この加熱器９は、例えば抵抗加熱器であり、好ましくは交流電圧源を介して作動される。この棒（ロッド）状の加熱器９によって、オイルパン２内のオイルが気化される。

装置１の中心部での蒸気の凝結を防止するために、加熱プレート４は、少なくとも１つの別の棒（ロッド）状の加熱器８を有する。

図２は、基材３８およびノズルバー５がない場合の、図１に示す装置１の斜視図を示す。この図においても、スライド７を見てとることができ、スライド７は加熱プレート４に配置されている。ここに示すように、このスライド７は長尺状のプレートの形状であってよい。加熱プレート４は、オイルパン２に載っている絶縁板３に接しており、絶縁板３、加熱プレート４およびオイルパン２は、連結要素２８から３７によって相互に接続されている。更に、棒状の加熱器９、８、２７が見てとれる。

絶縁板３は、オイルパン２とプレート４の間で熱を絶縁する役目を果たす。別個の加熱器、すなわち棒状の加熱器８および加熱器９によって、プレート４とオイルパン２において温度設定を変えることができる。絶縁板３は、実質的に可撓性を有する合成材料からなり、これは同時にシーリング材としても機能する。

加熱プレート４は、その中央に線Ａ−Ａに沿った凹部を有し、この凹部にスライド７が嵌め込まれる。このスライド７は、一列に配置された数個の開口部１０から１４を有し、これらは実質的に等間隙に離間されている。スライド７は、Ａ−Ａに沿って（矢印を参照）移動可能である。スライド７は、加熱プレート４（図２に図示せず）にある孔と少なくとも同数の開口部１０から１４を有していなければならず、１０から１４の２つの開口部の中心間の距離は、加熱プレート４の２つの孔の中心間の距離に一致している。加熱プレート４の孔の直径は、スライド７の開口部１０から１４の直径に実質的に一致している。このため、スライド７の長さは、加熱プレート４の長さに、２つの開口部１０〜１４の中心間の距離を加えた値と一致する。これにより、開口部１０から１４の中心が、ある時には、孔の中心の上に正確にくるようになり、またある時には、孔の中心同士の間に位置するようになる。開口部１０から１４の中心が、孔の中心の上に正確にくる場合、蒸気が、オイルパン２の内部から脱出することができるが、孔の中心同士の間にくる場合、蒸気の脱出が防止されるようになる。この２つの端の位置の間に、脱出できる蒸気の量が少ない位置があることが理解される。設ける開口部１０から１４の数は、図２に示すものよりも数が多くても、またサイズが小さくてもよいことが理解される。

Ａ−Ａに沿って延在する加熱プレート４の両面に、蒸気がオイルパン２から逃げないように防ぐシーリング材１５、１６が設けられる。このシーリング材１５、１６は、好ましくはゴムタイプの弾性材料を含む。

図３は、図１の装置の、Ａ−Ａに沿った縦断面の一部分を表す。オイルパン２の内部空間１８内に加熱ロッド９を見てとることができ、この加熱ロッドはオイルに完全に取り囲まれている。オイルパン２の上に絶縁板３が載り、その上に加熱プレート４が配置されている。この加熱プレート４は数個の孔１９から２２を有しており、ここから蒸気が、スライド７の開口部１０から１４を通って、内部空間２６まで昇っていくことができる。

図３からわかるように、開口部１０を含むスライド７の一部が、オイルパン２の外側にある。スライド７がこのように加熱プレート４に配置されているため、スライドの開口部１２から１４の一部の位置が、加熱プレート４の孔１９から２１の位置と一致している。その結果、上昇した蒸気が、装置１から出て、孔１９から２１と開口部１２から１４を通って、ノズルバー５の内部空間２６に進入して、そこから間隙６に進入することができる。上述のとおり、蒸気が、装置１上を移動している基材３８に到達する。

スライド７を装置１内に更に摺動させると、開口部１０から１２が、孔１９から２２上の一部にしかない状態を得ることができる。この場合、オイルパン２を出て進入する蒸気の量が少なくなるため、スライド７は、スロットルバルブのような機能を果たす。スライド７を装置１内に更に摺動させると、孔１９から２２の上に開口部がなくなり、蒸気がオイルパン２から脱出できなくなるため、被覆工程が完全に中断される。

図４は、時計回り方向に約９０°回転させた後の、図３に示す装置１のＢ−Ｂにおける断面を示す。基材３８は、装置１上を通過するように移動される。オイルパン２の内部１８に加熱ロッド９が延在しており、加熱ロッド９はオイル１７に完全に取り囲まれている。

オイルパン２の上には、絶縁板３のほかに加熱プレート４およびノズルバー５が載っている。これらの要素２から５は全て連結片２９、３４によって相互に連結されており、これらが互いに隣接している。蒸気が装置１の側面から脱出することができない。加熱プレート４を通って、２本の加熱ロッド８、２７が延在している。ゴムタイプの弾性材料１５、１６のほかに、孔１９と平行して延在するシーリング材２３が見てとれる。そのため、この孔１９は、ほかの孔２０、２１、２２と同様に、シーリング材に完全に囲繞されている。

加熱プレート４の上に、開口部１２を有するスライド７が載り、開口部１２は孔１９の真上に位置している。これにより、上昇した蒸気が、内部空間２６に到達することができる。特にノズルの数が少ないノズルバーの場合に、均一なオイルのストリップを形成するために、顕著な流れ抵抗を生じさせずに、蒸気圧を均一にすることが可能でなければならない。このため、ノズルの下の内部空間２６は、可能な限り広くする必要がある。ノズルバー５は、２つの領域２４、２５によって画定される間隙６を有する。蒸気は、間隙６を通って装置１を抜け出し、装置１を通過して移動している基材３８に到達し、そこで最終的に凝縮する。

スライド７を摺動させることで、開口部１２が孔１９の上にないか、あるいは一部しかない状態とされる。

開口部１２が孔１９の上に一部しかない場合は、スロットル効果が得られるのに対し、開口部１２が孔１９の上にない場合は、蒸気が脱出できなくなる。このため、スライド７は、密封バルブとして機能する。

ひとたび被覆工程が完了し、装置１が冷却すると、連結片２９、３４を取り外して、装置を容易に分解し、クリーニングすることができる。

基材を配置を通過して案内させた状態で、基材にオイルを蒸着するための装置の斜視図である。 基材およびノズルバーがない状態の、図１の装置の斜視図である。 スライドが開位置のときの、図１の装置のＡ−Ａにおける部分縦断面である。 スライドが開位置のときの、時計回りの方向に９０°回転させた後の、図１の装置のＢ−Ｂにおける断面図である。

Claims (14)

1. パン（２）と、前記パン（２）の上に設けられ、線状に配置された孔（１９から２２）を有するカバー（４）とを有する基材への蒸着のための装置であって、前記カバー（４）の上に、線状に配置された開口部（１０から１４）を有する密封装置（７）が設けられる装置。
2. 前記密封装置（７）は、前記カバー（４）にある前記孔（１９から２２）の数と少なくとも同数の前記開口部（１０から１４）を有する請求項１に記載の装置。
3. 前記密封装置（７）は一座標に沿って移動可能である請求項１に記載の装置。
4. 前記密封装置（７）の長さは、前記カバー（４）の長さに実質的に一致する請求項１に記載の装置。
5. 前記密封装置（７）の長さは、少なくとも前記カバー（４）の長さに、２つの前記孔（１９から２２）の中心間の距離に一致する長さを加えた値である請求項１に記載の装置。
6. 前記密封装置（７）の隣接する２つの前記開口部（１０から１４）の中心間の距離は、前記カバー（４）の隣接する２つの前記孔（１９から２２）の中心間の距離にほぼ一致する請求項１に記載の装置。
7. 前記密封装置（７）は、前記開口部（１０から１４）の中心が前記カバー（４）の前記孔（１９から２２）の中心の上に正確に位置する請求項１に記載の装置。
8. 前記密封装置（７）は、前記開口部（１０から１４）の中心が前記カバー（４）の隣接する前記孔（１９から２２）の間の中心に正確に位置する請求項１に記載の装置。
9. 前記パン（２）は、少なくとも１つの加熱器（９）を有する請求項１に記載の装置。
10. 前記カバー（４）は、少なくとも１つの加熱器（８、２７）を有する請求項１に記載の装置。
11. 前記パン（２）と前記カバー（４）との間に絶縁板（３）が設けられる請求項１に記載の装置。
12. 前記密封装置（７）の上のノズルバー（５）内に蒸気用の内部空間（２６）が配される請求項１に記載の装置。
13. 前記蒸気内部空間（２６）の上の、前記ノズルバー（５）内に間隙（６）が配される請求項１２に記載の装置。
14. 前記加熱器（９、８、２７）は棒状の加熱器である請求項９または１０に記載の装置。

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