JP2007119916A - 気化させる材料を受け入れるレセプタクルを有する気化装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】気化させる材料を保持するためのレセプタクルを有する気化装置を提供する。
【解決手段】この気化装置は、被覆するシートの特定の部分に油膜を付着させる。シートは、後の工程でアルミニウムまたは亜鉛で被覆される。油膜が存在する場所では、アルミニウムまたは亜鉛が付着しない。ロッドバルブに補助されることで、シートにオイルを正確に付着させることができる。このロッドバルブはステッピングモータによって駆動され、わずかな油気を放出する。
【選択図】図1
【解決手段】この気化装置は、被覆するシートの特定の部分に油膜を付着させる。シートは、後の工程でアルミニウムまたは亜鉛で被覆される。油膜が存在する場所では、アルミニウムまたは亜鉛が付着しない。ロッドバルブに補助されることで、シートにオイルを正確に付着させることができる。このロッドバルブはステッピングモータによって駆動され、わずかな油気を放出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、請求項1の導入部に記載の気化装置に関する。
油用気化装置は、例えば、コンデンサの作製に必要とされる。その際、合成シートなどの誘電体に金属層が設けられる。電気スパークが発生した後にコンデンサに悪影響が及ばないように、金属フリー(金属以外)の細長い片(ストリップ)が合成シートに設けられる。このような金属以外のストリップが形成されて、合成シートの特定の部分に油膜が付着される。その後、金属の蒸気、好ましくはアルミニウムが合成シートに適用されるが、油膜が配置されている部分には付着することができない。
ノズルを有する気化装置は、特許文献1に開示されている。この文献では、気化させる材料がるつぼ内で気化され、これがノズルを通って脱出して、基材の方向に移動し、最終的にこの基材で凝結する。脱出する蒸気の量は、バルブによって制御することができる。しかし、この装置は、金属の気化にしか使用されていない。
更に、特にコンデンサ用に、真空下で被覆された金属以外のストリップをシート網に形成するための別の装置が知られており、この装置は、オイルなどの分離剤を受け入れるための筒状のレセプタクルを有する(特許文献2)。円形のディスク形状の端部部材によって蓋をされる筒状のレセプタクル内に加熱ロッドが設置され、その全周をオイルが流れる。更に、レセプタクル内には蒸気出口管も設置されており、その一端が油面より上に突き出ており、他端に吹出ノズルが設けられている。この場合、吹出ノズルは油溜めの下に位置している。
更に、オイルを気化させるための装置が知られており、オイルが管状の容器内に配されている。(特許文献3)。この容器は、一列に並べられた数個の開口部を有しており、この開口部から蒸気が脱出することができる。
別の装置では、オイルが長尺状のタンクに存在する(特許文献4)。このタンクは、一列に並べられた数個の開口部を有しており、ノズルバーの形状をとっている。このノズルバーによって、非常に広い面積に被覆を施すことが可能となる。
容器のほかに、密封装置および噴射体を有する気化装置が知られている(特許文献5)。この装置では、容器が密封装置に連結されており、密封装置が供給ラインを介して噴射体に連結されている。
蒸発器によって、移動する基材に分離手段を局所的に適用する方法も知られている(特許文献6)。この蒸発器は2つのチャンバを有し、一方が他方よりも上に配置され、両者が導管を介して接続されている。気化させる材料は、下部チャンバに配されており、導管を通って上部チャンバに到達することができる。電圧制御比例バルブによって、単位時間あたりに上部チャンバに到達する蒸気の量を制御することができる。
特許第10008241号公報
独国特許出願公開第3922187号明細書
特開2001−279425号公報
特開2004−214185号公報
独国特許出願公開第19848177号明細書
欧州特許第1493836号明細書
本発明はオイルの気化のための気化装置を提供するという課題を解決するものであり、この装置はノズル上に密封装置を有する。
この課題は、請求項1に記載の特徴によって解決される。
このため、本発明は、気化させる材料を保持するためのレセプタクルを有する気化装置に関する。この気化装置により、被覆するシートの特定の部分に油膜を付着させることができ、このシートは、後の工程でアルミニウムまたは亜鉛で被覆される。油膜が存在する場所では、アルミニウムまたは亜鉛が付着することはない。ロッドバルブに補助されることで、シートにオイルを正確に適用することができる。このロッドバルブはステッピングモータによって駆動され、これにより、ほんの数パーセント(percentage fractions)の油気を放出することができる。
この気化装置により、基材、好ましくは金属化合成フィルムを、飽和炭化水素または不飽和炭化水素の固体または液体の混合物で被覆することができる。しかし、すべて合成オイルを使用することも可能である。その際、合成シートは、特許文献4に示すように、ここで記載する気化装置上に、ローラーによって案内されてよい。
この気化装置では、油気の量を計測することが可能であるため、金属層または合成シート上の層が均一に被覆される。その後、この気化装置を利用して、オイル層に別の材料を被覆しても、特に問題が生じることはない。
吹出ノズルの下に密封装置を設けることにより、脱出する油気の量を調整することができる。特に密封装置を完全に閉じることができるため、油気が装置から連続的に脱出しないことが保証される。これにより、油気が脱出できなくなる。これは特に、短時間の間、気化装置上に基材を移動させていない場合に、加熱工程が中断される必要がないという利点を有する。
また、脱出する油気による汚染が最低限に抑えられるという別の利点も有する。これにより、連続的な気化によりオイルが失われることをかなりの程度低減できる。
本発明の実施形態の例を、図面に示すと共に、以下に更に詳細に記載する。
図1は、本発明に係る気化装置1の分解図を示す。この気化装置1は、オイルレセプタクル2を含み、そこに加熱ロッド3が配置されている。オイルレセプタクル2の上部に、3つの長手孔5、6、7を有するバルブプレート4が設けられている。長手孔5、7内には加熱ロッド8、9が配置されており、長手孔6内にはロッドバルブ10が配置されている。加熱ロッド8、9またはロッドバルブ10は、図1中でバルブプレート4の外に出た状態で図示されている。バルブプレート4の上にノズルプレート11が配置され、この上に微調整プレート12が載っている。符号14はステッピングモータを示しており、ステッピングモータ14は第1のホイール15を駆動し、第1のホイール15は、チェーンまたはVベルトなどの連結要素16を介して第2のホイール17を駆動する。ここでの好ましい実施形態はチェーンである。この第2のホイール17にロッドバルブ10の一端が連結されており、ロッドバルブ10は、ステッピングモータ14の支援により、その縦軸を中心に回動可能である。
オイルレセプタクル2の上面に数個の開口部が配置されており、ここを通って油気がオイルレセプタクル2から脱出することができる。これらの開口部は図1で見ることができず、開口部を取り囲んでいるシール18から25のみが見てとれる。ロッドバルブ10には、数個の貫通孔26〜34が設けられており、その数はシール18〜25の数に一致している。ロッドバルブ10は、中空管の場合、図示されない反対側に貫通孔を有する。中空でない場合、貫通孔26から34はロッドバルブ10内にわたって延在している。
同じ数の孔35から47が、バルブプレート4の長手孔6の上にあることがわかる。対応する数の孔が、長手孔6の下にも設けられている。しかし、この孔は図1では見ることができない。
オイルレセプタクル2内のオイルが加熱ロッド3によって加熱されると、このオイルは、オイルレセプタクルの開口部を通って、バルブプレート4下面の、長手孔6に配置されるロッドバルブ10の開口部(図1に図示せず)を通って到達する。ロッドバルブ10の貫通孔26〜34が垂直に向いている場合、気化した材料は、ロッドバルブ10および対応する孔35〜47を通り、微調整プレート12とノズルプレート11によって形成される間隙を通って脱出し、この間隙の上に置かれた基材に付着する。
符号48から54は連結ボルトを示しており、これらによって、気化装置1の個々の部品が連結される。
図2は、気化装置1の断面を示す。オイルレセプタクル2の内部空間55に加熱ロッド3が配置され、加熱ロッド3は、芯56と外被57を含む。この芯56は、電圧源によって加熱されうる。加熱ロッド3は、オイル58に完全に取り囲まれている。オイルレセプタクル2はその上面に数個の開口部を有しており、そのうちの1つの開口部59が見てとれる。この開口部59の上部に、環状のシール18から25のうちの1つ、例えばシール22が配置されている。開口部59にバルブプレート4の孔60が隣接しており、これがロッドバルブ10の孔30に続いている。このロッドバルブの上に内部空間61が位置しており、内部空間61は上部に間隙開口部62を有する。この間隙開口部62は、ノズルプレート11と微調整プレート12によって形成される。ノズルプレート11とバルブプレート4との間には、シール63が設けられており、このシールは、図1から明らかなように、内部空間61を囲んで配置される。ここでも、加熱ロッド8、9を長手孔5、7内に確認することができる。これらの加熱ロッド8、9は、バルブプレート4を、バルブプレート4内でオイルの凝結が起こらない温度に加熱する。
図2の図において、ロッドバルブ10は、開いている。すなわち、気化した材料が間隙開口部62を通過して、この間隙開口部62の上に置かれた基材(図示せず)に到達できるようになっている。
ロッドバルブ10を時計回り方向または反時計回り方向に回転させることによって、オイルレセプタクル2から出る材料の蒸気の量を加減することができる。特定の角度(ただし最も遅くとも90°の回転だけ回転させた後)から始めて、材料の蒸気がロッドバルブ10によって完全に密封される。
図3は、図1に示す気化装置1の一部分、詳細にはロッドバルブ10が閉じた状態を示す。ここでも、加熱ロッド3を有するオイルレセプタクル2が明確にわかる。ロッドバルブ10の貫通孔32から34、82から84は、図面の平面に延在しており、これにより、バルブプレート4の下面にある開口部60、68から71が閉じる。その結果、油気が、オイルレセプタクル2から、孔59、78から81、85または60、68から71を通って、内部空間61内に到着し、そこから基材に到達することができなくなる。開口部60、68から71の周りには、リングシール22、72から75が設けられている。更に、止めねじ76を見てとることができる。この止めねじ76は、例えば無頭ねじであってもよく、これを介して、ホイール17が、ロッドバルブ10の軸に固定されている。更に、オイルレセプタクル2がプレート77によって閉じられていることがわかる。更に、図3からはホイール17も見ることができ、ここに、連結要素16の好ましい実施形態であるチェーンを配置することができる。
図4は、図1の気化装置1の、部分的に分解した上面図を示す。ここでも、加熱ロッド8、9、およびロッドバルブ10のほか、微調整プレート12を有するノズルプレート11を見てとることができる。ホイール15、17、Vベルト16およびステッピングモータ14が見てとれる。
微調整プレート12は数個の細長い孔90から95を有しており、これらを通って小ねじ96から101が案内される。これにより、微調整プレート12とノズルプレート11の間に形成された間隙を広げたり縮めるように、微調整プレート12を移動させることが可能となる。この間隙102を通って、蒸気が、その後空間61から出て行くことができる。この空間61の下に、ロッドバルブ10の開口部27から34を見てとることができる。
ステッピングモータ14が、ボルト103によって、U字状の金属の板プレート104に連結されており、この板プレート104は、小ねじ105、106によって図4には図示しないバルブプレート4に連結されている。
Claims (12)
- 気化させる材料を保持するためのレセプタクル(2)と、前記レセプタクル(2)の上に設けられ、気化させる材料の出口のための開口部(62)を有するプレート(11、12)と、を有する気化装置であって、前記レセプタクル(2)は、その上面に、当該上面に対して垂直に向いている少なくとも1つの開いた孔(60)を有し、前記プレート(11、12)と前記レセプタクル(2)との間に貫通孔(30)を有する円筒体(10)が配置されており、前記円筒体は軸を中心に回動可能である気化装置。
- 前記レセプタクル(2)の前記上面に複数の孔が設けられており、前記円筒体(10)は、前記レセプタクル(2)と同数の貫通孔を有するロッドバルブである請求項1に記載の気化装置。
- 回転可能な前記円筒体(10)は、バルブプレート(4)内に配置されている請求項1に記載の気化装置。
- 前記バルブプレート(4)内に加熱ロッド(8、9)が設けられている請求項3に記載の気化装置。
- 前記レセプタクル(2)の前記上面に前記バルブプレート(4)が載っており、その下面に前記レセプタクル(2)の前記開口部(59)の周りに延在するシール(22)が設けられている請求項3に記載の気化装置。
- 回転可能な前記円筒体(10)は、モータ(14)によって回転可能である請求項1に記載の気化装置。
- 前記モータ(14)は、第1のホイール(15)に連結されており、前記第1のホイールは連結要素(16)によって第2のホイール(17)に連結されている請求項6に記載の気化装置。
- 前記連結要素(16)は、チェーンである請求項7に記載の気化装置。
- 前記レセプタクル(2)内に少なくとも1つの加熱管(3)が配置されている請求項1に記載の気化装置。
- 前記開口部(62)は、第1のプレート(11)および第2のプレート(12)によって形成されており、前記プレート(11、12)は互いに対して移動可能である請求項1に記載の気化装置。
- 前記加熱管(3)は、芯(56)および外被(57)を有する請求項9に記載の気化装置。
- 前記加熱ロッド(8、9)は、前記バルブプレートを前記オイル(58)の沸点を超える温度に維持する請求項4に記載の気化装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019523349A (ja) * | 2016-08-01 | 2019-08-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 堆積装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010080109A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-07-15 | Veeco Instruments Inc. | Vacuum deposition sources having heated effusion orifices |
DE102009029236B4 (de) * | 2009-09-07 | 2023-02-16 | Robert Bosch Gmbh | Verdampfer, Anordnung von Verdampfern sowie Beschichtungsanlage |
WO2012015744A1 (en) * | 2010-07-28 | 2012-02-02 | Synos Technology, Inc. | Rotating reactor assembly for depositing film on substrate |
CN112239850A (zh) * | 2020-09-23 | 2021-01-19 | 铜陵市超越电子有限公司 | 金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2440135A (en) * | 1944-08-04 | 1948-04-20 | Alexander Paul | Method of and apparatus for depositing substances by thermal evaporation in vacuum chambers |
FR2341199A1 (fr) | 1976-02-11 | 1977-09-09 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de formation et de depot sur un substrat de couches monomoleculaires de molecules amphiphiles |
US4871115A (en) * | 1987-08-24 | 1989-10-03 | Hessey B Russell | Smoke generating apparatus |
DE3922187A1 (de) * | 1989-07-06 | 1991-01-17 | Leybold Ag | Vorrichtung zum herstellen von metallfreien streifen bei im vakuum beschichteten folienbahnen, insbesondere fuer kondensatoren |
US4956995A (en) * | 1990-01-16 | 1990-09-18 | Navistar International Transportation Corp. | Compact radial force measuring apparatus for determining variations in radial force around a tire and rim assembly |
DE4100643C1 (ja) * | 1991-01-11 | 1991-10-31 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | |
RU2051200C1 (ru) | 1991-10-01 | 1995-12-27 | Владимир Григорьевич Белов | Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме |
US5539857A (en) * | 1994-01-24 | 1996-07-23 | Caco Pacific Corporation | Heater block for injection molding with removable heat conductive member in groove in heater block |
DE19527604A1 (de) | 1995-07-28 | 1997-01-30 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von metallfreien Streifen bei der Metallbedampfung |
JPH108241A (ja) | 1996-06-25 | 1998-01-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
DE19843818A1 (de) | 1998-09-24 | 2000-03-30 | Leybold Systems Gmbh | Bedampfungsvorrichtung für Vakuum-Bedampfungsanlagen |
DE19848177A1 (de) * | 1998-10-20 | 2000-04-27 | Leybold Systems Gmbh | Bedampfungsvorrichtung |
JP2001279425A (ja) | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | オイルマスキング装置およびこれを備えた真空蒸着器 |
JP4380319B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2009-12-09 | ソニー株式会社 | 蒸着装置および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
DE10330401B3 (de) | 2003-07-04 | 2005-02-24 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum bereichsweisen Auftragen von Trennmitteln |
JP2006225757A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
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Cited By (2)
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JP2019523349A (ja) * | 2016-08-01 | 2019-08-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 堆積装置 |
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