CN112239850A - 金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉 - Google Patents
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Abstract
金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,包括炉体,所述炉体的内部开设有横向延伸的装配槽,所述装配槽的中心开设有料块蒸发腔,所述料块蒸发腔、装配槽以及炉体均位于同一横、纵向中线处,所述料块蒸发腔与装配槽之间形成阶梯状的密封槽,所述炉体的顶部嵌入有密封盖板,所述密封盖板一体铣加工制成;所述密封盖板包括上板体、下板体;本发明一体铣加工的密封盖板能够消除焊缝,提高密封盖板的整体强度和密封性;上板体与炉体形成一级密封面、下板体与炉体形成二级密封面,能够实现多级密封,从而避免锌蒸气从盖板间隙溢出,使得锌蒸气只可从锌孔排出,保证了蒸镀效果。
Description
技术领域
本发明属于金属化薄膜加工技术领域,特别涉及金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉。
背景技术
金属化薄膜在加工时,需要经过蒸镀工序,蒸镀工序即为:金属料块在料炉内加热为气体,然后将金属蒸气上浮镀在基膜上;
料炉由炉体和密封盖板组成,密封盖板上开设有出锌孔,炉体内的蒸气穿过出锌孔最终上浮至基膜上;
现有的密封盖板为多个板体焊接而成,此种密封盖板存在以下缺陷,1、焊缝较多,在长期高温环境下,盖板的强度很容易下降,使用寿命短;2、密封盖板与炉体之间的密封面有限,在炉体内高压气体的冲击下,密封盖板容易被向上顶起,导致金属气体溢出,蒸镀效果受到影响;3、由于密封盖板的强度不足,在炉体内高压气体的冲击下,密封盖板容易向上弯曲。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供了金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,具体技术方案如下:
金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,包括炉体,所述炉体的内部开设有横向延伸的装配槽,所述装配槽的中心开设有料块蒸发腔,所述料块蒸发腔、装配槽以及炉体均位于同一横、纵向中线处,所述料块蒸发腔与装配槽之间形成阶梯状的密封槽,所述炉体的顶部嵌入有密封盖板,所述密封盖板一体铣加工制成;
所述密封盖板包括上板体、下板体,所述上板体止挡密封于炉体的表面,所述上板体与炉体的表面形成一级密封面,所述下板体嵌入于密封槽内,所述下板体与密封槽之间形成二级密封面,所述装配槽的横向两端除料块蒸发腔以外的区域为活动区,所述活动区的顶部安装有密封压板,所述密封压板压持于密封盖板的两端顶部,所述密封压板与密封盖板之间留出横向浮动间隙。
进一步的,所述密封盖板包括第一板体、挡板、第二板体、第三板体以及出料孔;所述第一板体为上板体,所述第二板体、第三板体为下板体,所述第一板体、第二板体以及第三板体由上至下依次设置,所述第一板体、第三板体以及第三板体均位于同一横、纵向中线处,所述第一板体、第三板体以及第三板体之间的宽度均相同且长度依次增加,所述第一板体上开设有线性阵列分布的出料孔,所述第三板体的中心处开设有导流腔,所述出料孔贯穿于第二板体且与导流腔连通,所述导流腔相对置于料块蒸发腔的顶部;所述第一板体的纵向侧边处垂直设有挡板,所述挡板止挡密封于炉体的表面;第二板体、第三板体嵌入于密封槽内。
进一步的,所述活动区的外端面为阶梯结构的第一阶梯槽、第二阶梯槽,所述第一阶梯槽、第二阶梯槽由上至下连续设置,所述第一阶梯槽设于第二阶梯槽的外侧,所述第三板体与第二阶梯槽相对间隔设置,所述第三板体与第二阶梯槽之间留出横向浮动间隙,所述第二板体与第一阶梯槽相对设置,所述密封压板嵌入于第一阶梯槽内,所述密封压板置于第二阶梯槽、第三板体的顶面。
进一步的,所述炉体的侧壁开设有多边形的第一限位孔,所述密封压板内开设有第二限位孔,所述第一限位孔与第二限位孔相对分布,所述第一限位孔、第二限位孔的内部贯穿有锁紧销钉,所述第一限位孔位于第一阶梯槽所在高度。
进一步的,所述密封压板与第一板体相对部分为第一阶梯凸块,所述第一阶梯凸块与第一板体留出浮动间隙,所述第一阶梯凸块止挡于第二板体的表面,所述密封压板与第二板体相对部分为第二阶梯凸块,所述第一阶梯凸块与第二阶梯凸块连续设置,所述第一阶梯凸块外伸于第二阶梯凸块;所述第一阶梯凸块与第二板体留出浮动间隙,所述第二阶梯凸块止挡于第三板体的表面。
进一步的,所述第一阶梯凸块处嵌入有第一支撑缓冲机构,所述第二阶梯凸块处嵌入有第二支撑缓冲机构,所述第一支撑缓冲机构与第二支撑缓冲机构之间结构相同。
进一步的,所述第一支撑缓冲机构包括支撑板、弹簧,所述支撑板滑动嵌入于第一阶梯凸块内,所述支撑板的内端连接有弹簧,所述弹簧嵌入于密封压板内,所述支撑板的端面与密封盖板抵触。
本发明的有益效果是:
1、一体铣加工的密封盖板能够消除焊缝,提高密封盖板的整体强度和密封性;
2、上板体与炉体形成一级密封面、下板体与炉体形成二级密封面,能够实现多级密封,从而避免锌蒸气从盖板间隙溢出,使得锌蒸气只可从锌孔排出,保证了蒸镀效果;
3、密封压板能够从两端上部压紧密封盖板,从而避免密封盖板受压向上浮动,同时,密封压板与密封盖板之间留出横向间隙,保证密封盖板能够横向运动,抵消炉体内的气压。
附图说明
图1示出了本发明的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉的结构示意图;
图2示出了本发明的料炉整体俯视截面结构示意图;
图3示出了本发明的密封压板结构示意图;
图4示出了本发明的料炉整体正截面结构示意图;
图5示出了图4的A处放大结构示意图;
图6示出了本发明的密封压板侧截面结构示意图;
图7示出了本发明的密封盖板底面结构示意图;
图8示出了本发明的料炉整体侧截面结构示意图;
图中所示:1、炉体;11、装配槽;111、活动区;1111、第一阶梯槽;1112、第二阶梯槽;112、料块蒸发腔;12、第一限位孔;2、密封盖板;21、第一板体;22、挡板;23、第二板体;24、第三板体;241、导流腔;25、出料孔;3、密封压板;31、密封板体;311、第一阶梯凸块;312、第二阶梯凸块;313、第二限位孔;32、第一支撑缓冲机构;321、支撑板;322、弹簧;33、第二支撑缓冲机构。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
如图1所示,金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,包括炉体1,所述炉体1的内部开设有横向延伸的装配槽11,所述装配槽11的中心开设有料块蒸发腔112,所述料块蒸发腔112、装配槽11以及炉体1均位于同一横、纵向中线处,所述料块蒸发腔112与装配槽11之间形成阶梯状的密封槽,所述炉体1的顶部嵌入有密封盖板2,所述密封盖板2一体铣加工制成;一体铣加工的密封盖板能够提高密封盖板的整体强度和密封性;
所述密封盖板2包括上板体、下板体,所述上板体止挡密封于炉体1的表面,所述上板体与炉体1的表面形成一级密封面,所述下板体嵌入于密封槽内,所述下板体与密封槽之间形成二级密封面;利用一级密封面和二级密封面能够实现多级密封,从而避免锌蒸气从盖板间隙溢出,使得锌蒸气只可从锌孔排出;
所述装配槽11的横向两端除料块蒸发腔112以外的区域为活动区111,所述活动区111的顶部安装有密封压板3,所述密封压板3压持于密封盖板2的两端顶部;密封压板能够从两端上部压紧密封盖板,从而避免密封盖板受压向上浮动;
所述密封压板3与密封盖板2之间留出横向浮动间隙;横向浮动间隙能够保证密封压板在受压时能够横向窜动,从而抵消气压,避免密封压板受力变形;同时,密封盖板横向运动,一级密封面、二级密封面仍保持不变,从而保证密封盖板与炉体之间的密封性。
如图1所示,所述密封盖板2包括第一板体21、挡板22、第二板体23、第三板体24以及出料孔25;所述第一板体21为上板体,所述第二板体23、第三板体24为下板体,所述第一板体21、第二板体23以及第三板体24由上至下依次设置,所述第一板体21、第三板体23以及第三板体24均位于同一横、纵向中线处,所述第一板体21、第三板体23以及第三板体24之间的宽度均相同且长度依次增加,所述第一板体21上开设有线性阵列分布的出料孔25;出料孔为蒸气的排出区域;
所述第三板体24的中心处开设有导流腔241,所述出料孔25贯穿于第二板体23且与导流腔241连通,所述导流腔241相对置于料块蒸发腔112的顶部;料块蒸发腔内的锌蒸气通过导流腔、锌孔排出;
所述第一板体21的纵向侧边处垂直设有挡板22,所述挡板22止挡密封于炉体1的表面;挡板一方面可形成止挡,使得密封盖板能够稳定置于炉体上,另一方面可形成一级密封面;
第二板体23、第三板体24嵌入于密封槽内,第二板体23、第三板体24能够与密封槽配合形成二级密封面。
如图5所示,所述活动区111的外端面为阶梯结构的第一阶梯槽1111、第二阶梯槽1112,所述第一阶梯槽1111、第二阶梯槽1112由上至下连续设置,所述第一阶梯槽1111设于第二阶梯槽1112的外侧,所述第三板体24与第二阶梯槽1112相对间隔设置,所述第三板体24与第二阶梯槽1112之间留出横向浮动间隙;
所述第二板体23与第一阶梯槽1111相对设置,所述密封压板3嵌入于第一阶梯槽1111内,所述密封压板3置于第二阶梯槽1112、第三板体24的顶面;第一阶梯槽用以作为密封压板的安装区域,第一阶梯槽从一端抵触止挡密封盖板。
如图1和图3所示,所述炉体1的侧壁开设有多边形的第一限位孔12,所述密封压板3内开设有第二限位孔313,所述第一限位孔12与第二限位孔313相对分布,所述第一限位孔12、第二限位孔313的内部贯穿有锁紧销钉,所述第一限位孔12位于第一阶梯槽1111所在高度;锁紧销钉能够对密封压板进行约束定位,实现密封压板固定在炉体内,多边形的限位孔,能够避免密封压板受力向上运动。
如图1和图3所示,所述密封压板3与第一板体21相对部分为第一阶梯凸块311,所述第一阶梯凸块311与第一板体21留出浮动间隙;所述第一阶梯凸块311止挡于第二板体23的表面,所述密封压板3与第二板体23相对部分为第二阶梯凸块312,所述第一阶梯凸块311与第二阶梯凸块312连续设置,所述第一阶梯凸块311外伸于第二阶梯凸块312;所述第一阶梯凸块311与第二板体23留出浮动间隙,所述第二阶梯凸块312止挡于第三板体24的表面;第一板体、第二板体侧部所留横向间隙,能够保证密封压板能够稳定横向运动,实现横向窜动,抵消气压;第一阶梯凸块、第二阶梯凸块的设置能够与阶梯状的第一板体、第二板体以及第三板体相适配,实现端部的多级密封,保证密封盖板横向窜动时,密封性不会变化;密封压板与密封盖板之间密封滑动贴合。
密封压板3包括密封板体31,第一阶梯凸块311、第二阶梯凸块312、第二限位孔313均置于密封板体31上。
如图3所示,所述第一阶梯凸块311处嵌入有第一支撑缓冲机构32,所述第二阶梯凸块312处嵌入有第二支撑缓冲机构33,所述第一支撑缓冲机构32与第二支撑缓冲机构33之间结构相同;支撑缓冲机构能够与密封盖板挤压配合,从而反向抵触密封压板,使得密封压板的两端均受力,提高密封压板的稳定性;同时也可使得密封盖板在横向运动时,支撑缓冲机构能够支撑缓冲密封盖板,使得密封盖板柔性运动,密封盖板的横向运动更为平稳、柔和,避免密封盖板横向运动过于剧烈,导致密封压板的压持效果下降,延长密封压板的使用寿命。
所述第一支撑缓冲机构32包括支撑板321、弹簧322,所述支撑板321滑动嵌入于第一阶梯凸块311内,所述支撑板321的内端连接有弹簧322,所述弹簧322嵌入于密封压板3内,所述支撑板321的端面与密封盖板2抵触;密封盖板在横向运动时,会推动支撑板,支撑板向内压缩弹簧,进而实现横向缓冲;支撑板的外端为倒角结构。
本发明在实施时:
在加工时,将一个长方体板体毛坯件一体铣加工出密封盖板2;
在组装时,将密封盖板2嵌入到炉体1内,第三板体24、第二板体23的外伸部分嵌入到活动区111内,第三板体24与装配槽11中的密封槽紧密贴合,导流腔241相对位于料块蒸发腔112的顶部,挡板22贴合止挡于炉体1的表面,挡板22与炉体1之间形成一级密封面,第三板体24与密封槽之间形成二级密封面;
将密封压板3插装至活动区111内,密封压板3的一端止挡嵌入于第一阶梯槽1111内,另一端的第二阶梯凸块312置于第三板体24上、第一阶梯凸块311置于第二板体23上,此时,第二阶梯凸块312与第二板体23之间留出横向间隙,第一阶梯凸块311与第一板体21之间留出横向间隙;同时在插入时,第一支撑缓冲机构32与第一板体21抵触、第二支撑缓冲机构33与第二板体23抵触;最后插入锁紧销钉,使得锁紧销钉穿过第一限位孔12、第二限位孔313;在固定密封压板3的同时,也可对密封盖板2的位置进行调节,使得密封盖板2能够位于炉体1的纵向中线处;
在工作时,炉体加热,使得料块蒸发腔112内的料块被加热为气体,锌蒸气通过导流腔241、出料孔25排出;由于一级密封面、二级密封面的设置能够避免锌蒸气从其他区域溢出;
当炉体内的高温气体达到一定极限时,密封盖板2会左右横向运动来抵消压力,在横向运动时,之前预留的横向间隙,使得密封盖板2能够横向运动,同时密封盖板2会挤压支撑板321进而压缩弹簧322,使得密封盖板2的横向运动更为柔性、平稳,避免运动过于剧烈影响密封压板3的定位强度。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:包括炉体(1),所述炉体(1)的内部开设有横向延伸的装配槽(11),所述装配槽(11)的中心开设有料块蒸发腔(112),所述料块蒸发腔(112)、装配槽(11)以及炉体(1)均位于同一横、纵向中线处,所述料块蒸发腔(112)与装配槽(11)之间形成阶梯状的密封槽,所述炉体(1)的顶部嵌入有密封盖板(2),所述密封盖板(2)一体铣加工制成;
所述密封盖板(2)包括上板体、下板体,所述上板体止挡密封于炉体(1)的表面,所述上板体与炉体(1)的表面形成一级密封面,所述下板体嵌入于密封槽内,所述下板体与密封槽之间形成二级密封面,所述装配槽(11)的横向两端除料块蒸发腔(112)以外的区域为活动区(111),所述活动区(111)的顶部安装有密封压板(3),所述密封压板(3)压持于密封盖板(2)的两端顶部,所述密封压板(3)与密封盖板(2)之间留出横向浮动间隙。
2.根据权利要求1所述的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:所述密封盖板(2)包括第一板体(21)、挡板(22)、第二板体(23)、第三板体(24)以及出料孔(25);所述第一板体(21)为上板体,所述第二板体(23)、第三板体(24)为下板体,所述第一板体(21)、第二板体(23)以及第三板体(24)由上至下依次设置,所述第一板体(21)、第三板体(23)以及第三板体(24)均位于同一横、纵向中线处,所述第一板体(21)、第三板体(23)以及第三板体(24)之间的宽度均相同且长度依次增加,所述第一板体(21)上开设有线性阵列分布的出料孔(25),所述第三板体(24)的中心处开设有导流腔(241),所述出料孔(25)贯穿于第二板体(23)且与导流腔(241)连通,所述导流腔(241)相对置于料块蒸发腔(112)的顶部;所述第一板体(21)的纵向侧边处垂直设有挡板(22),所述挡板(22)止挡密封于炉体(1)的表面;第二板体(23)、第三板体(24)嵌入于密封槽内。
3.根据权利要求2所述的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:所述活动区(111)的外端面为阶梯结构的第一阶梯槽(1111)、第二阶梯槽(1112),所述第一阶梯槽(1111)、第二阶梯槽(1112)由上至下连续设置,所述第一阶梯槽(1111)设于第二阶梯槽(1112)的外侧,所述第三板体(24)与第二阶梯槽(1112)相对间隔设置,所述第三板体(24)与第二阶梯槽(1112)之间留出横向浮动间隙,所述第二板体(23)与第一阶梯槽(1111)相对设置,所述密封压板(3)嵌入于第一阶梯槽(1111)内,所述密封压板(3)置于第二阶梯槽(1112)、第三板体(24)的顶面。
4.根据权利要求3所述的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:所述炉体(1)的侧壁开设有多边形的第一限位孔(12),所述密封压板(3)内开设有第二限位孔(313),所述第一限位孔(12)与第二限位孔(313)相对分布,所述第一限位孔(12)、第二限位孔(313)的内部贯穿有锁紧销钉,所述第一限位孔(12)位于第一阶梯槽(1111)所在高度。
5.根据权利要求4所述的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:所述密封压板(3)与第一板体(21)相对部分为第一阶梯凸块(311),所述第一阶梯凸块(311)与第一板体(21)留出浮动间隙,所述第一阶梯凸块(311)止挡于第二板体(23)的表面,所述密封压板(3)与第二板体(23)相对部分为第二阶梯凸块(312),所述第一阶梯凸块(311)与第二阶梯凸块(312)连续设置,所述第一阶梯凸块(311)外伸于第二阶梯凸块(312);所述第一阶梯凸块(311)与第二板体(23)留出浮动间隙,所述第二阶梯凸块(312)止挡于第三板体(24)的表面。
6.根据权利要求5所述的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:所述第一阶梯凸块(311)处嵌入有第一支撑缓冲机构(32),所述第二阶梯凸块(312)处嵌入有第二支撑缓冲机构(33),所述第一支撑缓冲机构(32)与第二支撑缓冲机构(33)之间结构相同。
7.根据权利要求6所述的金属化薄膜蒸镀用防溢式料炉,其特征在于:所述第一支撑缓冲机构(32)包括支撑板(321)、弹簧(322),所述支撑板(321)滑动嵌入于第一阶梯凸块(311)内,所述支撑板(321)的内端连接有弹簧(322),所述弹簧(322)嵌入于密封压板(3)内,所述支撑板(321)的端面与密封盖板(2)抵触。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070092233A1 (en) * | 2005-10-26 | 2007-04-26 | Karl-Heinrich Wenk | Evaporation device with receptacle for receiving material to be evaporated |
US20140290579A1 (en) * | 2013-04-01 | 2014-10-02 | Everdisplay Optronics (Shanghai) Limited | Single point linear evaporation source system |
CN204918743U (zh) * | 2015-09-02 | 2015-12-30 | 泰州市贝斯特钼制品有限公司 | 一种改进的封闭式钼舟 |
CN205790120U (zh) * | 2016-05-30 | 2016-12-07 | 成都联腾动力控制技术有限公司 | 一种用于新能源电动汽车的高密封等级电池包结构 |
CN206680568U (zh) * | 2017-04-26 | 2017-11-28 | 江门市旭晨科技有限公司 | 一种用于薄膜蒸镀机中蒸发器喷口装置上的密封喷板装置 |
-
2020
- 2020-09-23 CN CN202011006756.9A patent/CN112239850A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070092233A1 (en) * | 2005-10-26 | 2007-04-26 | Karl-Heinrich Wenk | Evaporation device with receptacle for receiving material to be evaporated |
US20140290579A1 (en) * | 2013-04-01 | 2014-10-02 | Everdisplay Optronics (Shanghai) Limited | Single point linear evaporation source system |
CN204918743U (zh) * | 2015-09-02 | 2015-12-30 | 泰州市贝斯特钼制品有限公司 | 一种改进的封闭式钼舟 |
CN205790120U (zh) * | 2016-05-30 | 2016-12-07 | 成都联腾动力控制技术有限公司 | 一种用于新能源电动汽车的高密封等级电池包结构 |
CN206680568U (zh) * | 2017-04-26 | 2017-11-28 | 江门市旭晨科技有限公司 | 一种用于薄膜蒸镀机中蒸发器喷口装置上的密封喷板装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20210119 |
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