FI90567B - Laite kemiallisen koostumuksen höyrystämiseksi - Google Patents
Laite kemiallisen koostumuksen höyrystämiseksi Download PDFInfo
- Publication number
- FI90567B FI90567B FI900450A FI900450A FI90567B FI 90567 B FI90567 B FI 90567B FI 900450 A FI900450 A FI 900450A FI 900450 A FI900450 A FI 900450A FI 90567 B FI90567 B FI 90567B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- columns
- evaporator
- shell
- chemical composition
- gas
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4481—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation using carrier gas in contact with the source material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D1/00—Evaporating
- B01D1/06—Evaporators with vertical tubes
- B01D1/065—Evaporators with vertical tubes by film evaporating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
Description
90567
LAITE KEMIALLISEN KOOSTUMUKSEN HÖYRYSTÄMISEKSI
Esillä olevan keksinnön kohteena ovat yleensä höyrystimet ja yksityiskohtaisemmin tarkastellen höyrystin, joka antaa tulokseksi höyrystetyn kemiallisen seoksen, erityisesti kaasuvirtauksen mukana kulkeutuvan päällysteseoksen, ohuen epäorgaanisen kalvon muodostamiseksi kerrostamalla pyrolyyt-tisesti höyrystetty kemikaali (CVD) alustakerroksen päälle.
Yhtenäisen päällysteen muodostamisen edullisuus alustakerrok-sien, kuten tasolasin, lasipullojen ja vastaavien, päälle lasin mekaanisen, termisen, optisen tai kemiallisen kestävyyden ja/tai sähköisten ominaisuuksien muuttamiseksi on ollut kauan tunnettua. Tällaiset päällysteet muodostetaan yleensä päällysteseoksesta, esimerkiksi metalliseoksesta, kuten organotiinisesta seoksesta tai vastaavasta. Nämä päällysteet voidaan kerrostaa käyttämällä pyrolyyttista CVD-menetelmää. Siten, kysymyksen ollessa esimerkiksi tasaiselle lasikerrok-selle asetettavasta päällysteestä kuuman vastamuodostetun lasinauhan siirtyessä tasolasin muodostusvyöhykkeeltä hehku-tusvyöhykkeelle, sen yhdelle pinnalle kerrostetaan metalli-tai metallioksidipäällyste ainakin yhden suuttimen avulla, joka suuntaa tällaisen päällysteseoksen sisältävän kaasusuihkun lasinauhan paljaalle pinnalle. Reaktiokomponentit ja käyttämätön päällysteseos poistetaan poistojohdon avulla. Lasipulloja päällystettäessä nämä pullot kulkevat päällyste-kuvun kautta, jossa ne päällystetään kaasuvirtaukseen höyrystetyn päällysteseoksen avulla.
Tavanomaisia järjestelmiä tasaisten lasialustojen päällystämiseksi on selostettu US patenttijulkaisuissa N:ot 4,359,493; 4,387,134; 4,524,718; 4,584,206 ja 4,600,654. Toisaalta tavanomaisia järjestelmiä päällysteseoksen asettamiseksi lasipulloihin on selostettu US patenttijulkaisuissa N:ot 3,516,811; 3,684,469; 3,819,404; 3,876,410; 3,933,457 ja 4,389,234.
Tällaisissa järjestelmissä on välttämätöntä höyrystää ensin 2 90567 päällysteseos ja asettaa se kaasuvirtaukseen, joka kuljettaa tämän höyrystetyn päällysteseoksen päällystettävälle lasipinnalle. Tässä suhteessa viitataan edellämainittuihin US patentti julkaisuihin N:ot 3,876,410; 4,387,134 ja 4,600,654, joissa kaikissa selostetaan yleiseen tapaan höyrystimiä tai haihdutti-mia.
Eräs höyrystintyyppi tunnetaan US patenttijulkaisuista N:ot 3,850,679; 3,888,649; 3,942,469; 3,970,037 ja 4,359,493, jotka kaikki on myönnetty PPG Industries Inc'lie. Kuten näissä patenttijulkaisuissa on selostettu, sanottu höyrystin sisältää vaakasuorassa asennossa olevan suuren sylinterimäisen kammion. Kuumennuslaite on asetettu tämän höyrystinkammion sisään jakamaan kammio kahteen osaan, ylempään, johon kaikki käsiteltävä materiaali tulee, ja alempaan, josta höyryt poistuvat ulos. Kuumennuslaite on konstruoitu siten, että höyryt kulkevat sen kautta tulo-osasta poisto-osaan, tämän kuumennuslaitteen suositeltavana sovellutusmuotona ollessa rivoilla varustettu putki-lämmönvaihdin, jonka putket on täytetty termisesti valvotulla lämmönvaihtonesteellä. Kantokaasu ja höyrystettävä päällysteseos syötetään suihkuttamalla kammion yläosaan. Jouduttuaan kosketukseen lämmönvaihtimen kanssa päällysteseos höyrystyy ja kulkeutuu kaasun mukana poistuen kammion alaosasta.
On suotavaa käyttää kemiallista höyrykerrostustekniikkaa (CVD) lasipintojen päällystämiseen, koska tällainen tekniikka tarjoaa etuja päällysteen yhtenäisyyden ja kerrostusnopeuden suhteen lasin vähäisemmän jäähdytystarpeen ansiosta. Tämän tekniikan avulla organotiinisia seoksia, kuten monobutyylitinatriklori-dia, voidaan käyttää ohuiden Sn02-kalvojen kerrostamiseen. Näillä kemikaaleilla on yleensä suhteellisen alhaiset hajaantumis-lämpötilat. Organotiiniset seokset, jotka ovat huomattavasti helpommin haihtuvia kuin monobutyylitinatrikloridi, ovat yleensä myrkyllisempiä ja aiheuttavat siten ympäristöongelmia työpaikalla. Tämän lisäsyyn johdosta monobutyylitinatrikloridia on suotavaa käyttää päällysteseoksena. Sähköä johtavaa Sn02-kalvoa vaadittaessa organotiiniin voidaan lisätä seostusainetta, kuten orgaanista fluoridiseosta.
3 90567
Laboratoriokokeet ovat osoittaneet, että on yleensä edullista käyttää suurta organotiiniseospitoisuutta höyryvirtauksessa, kun päällystys suoritetaan esimerkiksi suuruusluokkaa 2-15 moo-liprosenttia olevassa väkevyydessä. Pienimuotoisten päällystys-toimenpiteiden yhteydessä saavutetaan korkeat höyrypitoisuudet syöttämällä samanaikaisesti esikuumennettua kaasua ja nestemäistä päällysteseosta pääasiassa putkimaiseen höyrystimeen, jolloin ilma ja nestemäinen päällysteseos virtaavat rinnakkain, nesteen kastellessa höyrystimen kaikki seinät tai vain osan niistä. Lämpö syötetään johtumisen avulla höyrystimen seinien kautta ulkopuolisesta lähteestä, kuten sähkövastuskuumentimesta tai kiertävästä lämmönsiirtonesteestä, kuten edellä mainituissa PPG-patenttijulkaisuissa on selostettu.
Tällaisen höyrystinrakenteen suurempi mittakaavaisessa toiminnassa voi kuitenkin esiintyä vaikeuksia. Niiden syynä voidaan pitää seuraavaa. Lämmön- ja massansiirtoalue lisääntyy tiettyä höyrystinpituutta kohden höyrystimen läpimitan suhteen suoraan verrannollisella tavalla. Hydraulinen kapasiteetti, so. kapasiteetti, jolla päällysteseos voidaan syöttää, on kuitenkin verrannollinen höyrystimen poikkipinta-alaan eli läpimitan neliöön. Siten riittävän lämmön- ja massansiirtoalueen säilyttämiseksi käytön aikana vaaditaan höyrystimen pituuden lisäämistä suunnilleen verrannollisena kapasiteetin lisäykseen, mikä lisää höyrystimen rakennus- ja käyttökustannuksia.
Siten jopa laboratoriomittakaavassa on välttämätöntä käyttää tyypiltään tällaisia höyrystimiä seinälämpötiloissa, jotka ylittävät hajoamislämpötilan, so. lämpötilan, jossa päällyste-seoksen hajoaminen on huomattavissa, höyrystimen estämiseksi tulemasta liian pitkäksi, lisäämällä samalla päällysteseosta korkeana pitoisuutena kaasuvirtaukseen. Tämän johdosta tunnetut höyrystimet ovat tehottomia, kun halutaan höyrystää hajoamis-lämpötiloiltaan alhaisia organotiiniseoksia.
Lisäksi höyrystymislämpötilan on oltava alhaisempi kuin hajo-amislämpötila, so. lämpötila, jossa höyrystetty päällysteseos murtuu alustakerroksella ja muodostaa kiinteitä 4 90567 aineosia; sillä muutoin höyrystyspinta pilaantuu ja höyrystin tukkeutuu. Ongelmana on kuitenkin se, että höyrystymislämpötila lähenee hajoamislämpötilaa korkeissa höyrypitoisuuksissa.
On siten suotavaa saavuttaa korkeat höyrypitoisuudet sekä myös höyrystimen suuri tehokkuus. On tärkeää ottaa huomioon, että suuret pitoisuudet voidaan saavuttaa alhaisessa pintalämpötilassa, jolloin siirtyminen tasapainotilaan voi olla lähellä. Keksinnölle on tunnusomaista se, mitä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosassa.
Esillä olevan keksinnön tarkoituksena on siten saada aikaan moninkertainen rakenteeltaan rinnakkainen pylväshöyrystin kemiallisen seoksen, erityisesti hajoamislämpötiloiltaan suhteellisen alhaisten organotiiniseosten, höyrystäni!stä varten.
Esillä olevan keksinnön eräänä toisena tarkoituksena on tarjota käyttöön moninkertainen rakenteeltaan rinnakkainen pylväshöyrystin, jolla on suurimittaisia sovellutuksia varten sopiva suuri kapasiteetti.
Esillä olevan keksinnön eräänä toisena lisätarkoituksena on tarjota käyttöön moninkertainen rakenteeltaan rinnakkainen pylväshöyrystin, joka saa aikaan riittävän suuren lämmön- ja massansiirron korkeiden päällysteseospitoisuuksien saavuttamiseksi höyryvirtauksessa ilman että tultaisiin hajoamislämpötilaan.
Esillä olevan keksinnön vielä eräänä lisätarkoituksena on tarjota käyttöön moninkertainen rakenteeltaan rinnakkainen pylväshöyrystin, jolla on suuri pinta-ala lämmön- ja massansiirtoa varten sekä suuri lämmönsiirtonopeus ja suhteellisen alhaiset pintalämpötilat ja vähäinen hajoamispyrkimys.
Esillä olevan keksinnön erään ominaispiirteen mukaisesti tarjotaan käyttöön laite hajoamislämpötilaltaan suhteellisen alhaisen kemiallisen koostumuksen höyrystämiseksi sellaisen seoksen muodostamiseksi, jossa on korkea pitoisuus höyrystynyttä kemiallista koostumusta kaasussa, laitteen käsittäessä ulkokuoren, ulkokuoren sisään pääasiassa pystysuorasti asetetun 5 90567 joukon höyrystinpylväitä, höyrystinpylväiden käsittäessä sisäseinät ja avoimen ylä- ja alapään, kuumennuslaitteen höyrystinpylväiden kuumentamiseksi niiden sisältämän kemiallisen koostumuksen höyrystämistä varten, ja kaasunsyöttölaitteen kaasun syöttämiseksi höyrystinpylväiden alapäihin seoksen tuottamiseksi, jolle on tunnusomaista, että se lisäksi käsittää lukuisia V-muotoisilla loviosilla varustettuja jakeluputkia kemiallisen koostumuksen syöttämiseksi pääasiassa tasaisesti höyrystinpylväiden avoimiin yläpäihin ja lukuisia kohdakkain asetettuja yhdensuuntaisia välilevyjä.
Esillä olevan keksinnön edellä mainitut ja muut tarkoitukset, ominaispiirteet ja edut käyvät havainnollisemmin ilmi sen seu-raavasta selostuksesta oheisiin piirustuksiin viitaten, joissa:
Kuvio 1 esittää pystykuvantoa esillä olevan keksinnön eräästä sovellutusmuodosta;
Kuvio 2 esittää poikkileikkauskuvantoa kuvion mukaisen höyrystimen nesteensyöttöosasta;
Kuvio 3 esittää poikkileikkauskuvantoa kuvion 2 mukaisesta nesteensyöttöosasta linjaa 3-3 pitkin otettuna;
Kuvio 4 esittää pituussuuntaista poikkileikkauskuvantoa kuvion 1 mukaisen höyrystimen tiivistystukiosasta;
Kuvio 5 esittää poikkileikkauskuvantoa kuvion 1 mukaisesta höyrystimestä linjaa 5-5 pitkin otettuna;
Kuvio 6 esittää pituussuuntaista poikkileikkausta esillä olevan keksinnön erään toisen sovellutusmuodon mukaisesta höyrystimestä; - . . Kuvio 7 esittää päälliskuvantoa kuvion 6 mukaisen höyrystimen syöttöjakelulaitteesta;
Kuvio 8 esittää poikkileikkauskuvantoa, näyttäen kuvion 7 mukaisen syöttöjakelulaitteen kiinnitys- ja vaaituslaitteen kuvion 6 mukaiseen höyrystimeen;
Kuvio 9 esittää poikkileikkauskuvantoa esittäen kuvion 7 mukaiseen syöttöjakelulaitteeseen kiinnitetyn kuvion 6 mukaisen höyrystimen ylisyöksyputken kiinnityksen;
Kuvio 10 esittää poikkileikkauskuvantoa kuvion 6 mukaisesta höyrystimestä linjaa 10-10 pitkin otettuna; 6 90567
Kuvio 11 esittää päälliskuvantoa kuvion 6 mukaisen höyrystimen tukilevystä; ja
Kuvio 12 esittää poikkileikkauskuvantoa kuvion 11 mukaisesta tukilevystä linjaa 12-12 pitkin otettuna, näyttäen siihen kiinnitetyt vanunkiverkkokartiot.
Piirustuksiin, ja aluksi kuvioihin 1-5, yksityiskohtaisemmin viitaten esillä olevan keksinnön ensimmäisen sovellutusmuodon mukainen rinnakkaiset tiiviisti asetetut pylväät käsittävä höyrystin 10 sisältää pitkänomaisen onton sylinterimäisen ulkokuoren 12, joka on avoin yläpäästään 14 ja alapäästään 16 kuvioiden 2 ja 4 esittämällä tavalla. Ylempi kuorilaippa 18 on kiinnitetty avoimeen yläpäähän 14 ympäröiden sitä, ja samalla tavoin alempi kuorilaippa on liitetty ulkokuoren 12 avoimen alapään 16 ympärille. Ylempi kuorilaippa 18 on varustettu useilla kehällään etäisyyden päässä toisistaan olevilla aukoilla 22, ja samalla tavoin alempi kuorilaippa 20 on varustettu useilla kehällään etäisyyden päässä toisistaan olevilla aukoilla 24, joiden tarkoitus selostetaan yksityiskohtaisemmin seuraavassa. Pysty- ja vaakasuorat tukilevyt 26, 28 on kiinnitetty lisäksi ulkokuoren 12 ulkopintaan ylemmän ja alemman kuorilaipan 18 ja 20 väliin höyrystimen 10 kiinnittämiseksi tukirakenteeseen (ei näy). Kuten myös myöhemmin yksityiskohtaisesti selostetaan, höyrystin 10 toimii lämmönvaihtimena, jolloin lämpöä siirretään kuumasta nesteestä, kuten kuumasta öljystä, joka kulkee höyrystimen 10 ulkokuoren 12 läpi, höyrystimeen syötetyn päällysteseoksen höyrystämiseksi. Tätä tarkoitusta varten ulkokuori 12 on varustettu alapäässään olevalla kuuman öljyn syöttösuuttimella 30 kuuman öljyn syöttämiseksi ulkokuoren 12 sisälle, ja ulkokuoren 12 yläpäässä olevalla kuuman öljyn poistosuuttimella 32 kuuman öljyn poistamista varten höyrystimestä.
Useita putkimaisia höyrystinpylväitä 34 on asetettu pystysuorasti ja rinnakkain etäisyyden päähän toisistaan ulkokuoren 12 sisään. Nämä höyrystinpylväät 34 on tiivistetty tiivis-tysmateriaalin, esimerkiksi 1/4 tuuman nikkelitiivisteiden avulla massansiirtoalueen muodostamiseksi hÖyrystystä varten. Tämä tiivistysmateriaali johtaa myös lämpöä pylväiden sisälle 7 90567 pylvään sisäseinästä. Mitä tahansa muuta kemiallisesti neutraalia tiivistysmateriaalia voidaan myös käyttää. Lämmön-johtavuudeltaan suhteellisen korkeat tiivistysmateriaalit ovat sopivimpia tähän tarkoitukseen.
Keksinnön ensimmäisessä sovellutusmuodossa käytetään kymmentä höyrystinpylvästä 34, vaikka pylväiden lukumäärä voikin vaihdella esillä olevan keksinnön suojapiirin puitteissa. Höyrystinpylväät 34 pidetään edellämainitussa etäisyyden päässä toisistaan olevassa pystysuorassa ja rinnakkaisessa asennossa useiden välilevyjen 36 avulla, joista yksi on esitetty kuviossa 5. Kuten kuviosta näkyy, nämä välilevyt 36 on asetettu välystilan 38 päähän ulkokuoren 12 sisäseinästä, kunkin välilevyn 36 ollessa myös leikattuna, esimerkiksi kohdassa 40, suuremman välystilan 42 muodostamiseksi. Välykset 38 ja 42 sallivat kuuman öljyn syöttösuuttimesta 30 tulevan kuuman öljyn kulkemisen ylöspäin ulkokuoren 12 kautta kuuman öljyn poistosuuttimeen 32, vaihtaen myös lämpöä höyrystinpylväiden 34 kautta kulkevan päällysteseoksen kanssa. Välyksen 42 sijainti vuorottelee peräkkäisissä välilevyissä 36 höyrystinpylväiden 34 yhtenäisen kuumennuksen varmistamiseksi. Lisäksi useat välilevytukitangot 44 ulottuvat välilevyissä 36 olevien aukkojen 46 läpi välilevyjen 36 tukemiseksi ja kaikkien välilevyjen 36 pitämiseksi samasa linjassa toistensa suhteen. Höyrystinpylväiden 34 yläpäät on myös hitsattu ylemmässä putkilevyssä 50 oleviin aukkoihin 48, jotka on asetettu välittömästi ylemmän kuorilaipan 18 yläpuolelle. Ylempi putkilevy 50 toimii tiivisteenä estäen kuuman öljyn virtaamisen pois ulkokuoresta 12. Tiivisterengas 53 on asetettu laipan 18 ja ylemmän putkilevyn 50 väliin, joka estää myös kuuman öljyn poisvirtauksen ulkokuoren 12 yläpäästä. Siten kuuma öljy pakotetaan kulkemaan kuuman öljyn poistosuuttimen 32 kautta.
Samalla tavoin, kuten kuviosta 4 näkyy, höyrystinpylväiden 34 alapäät on kiinnitetty tiiviisti välittömästi alemman kuorilaipan 20 alapuolelle asetetussa alemmassa putkilevyssä 60 oleviin aukkoihin samassa linjassa laipan 20 kanssa.
Alempi putkilevy 60 sisältää useita etäisyyden päässä toisistaan olevia aukkoja 64, jotka ovat samassa linjassa 8 90567 alemmassa kuorilaipassa 20 olevien aukkojen 24 kanssa.
Tiivisterengas 63 on asetettu laipan 20 ja alemman putkilevyn 60 väliin öljyn estämiseksi virtaamasta pois ulkokuoren 12 alaosasta.
Kuvioissa 1 ja 2 näkyvä yläkupu 68 sisältää kupuseinän 70, jonka alapäähän on kiinnitetty sitä ympäröivä ylempi kupu-laippa 72 välittömästi ylemmän putkilevyn 50 yläpuolelle, tiivisterenkaan 73 ollessa asetettuna putkilevyn 50 ja laipan 72 väliin. Laippa 72 sisältää myös joukon kehällään etäisyyden päässä toisistaan olevia aukkoja 74, jotka on kohdistettu aukkojen 22 ja 54 kanssa, useiden mutteri- ja pulttiyhdistelmien 76 kiinnittäessä yhteen yläkuorilaipan 18, yläputkilevyn 50 ja yläkupulaipan 72 kuvion 2 esittämällä tavalla.
Joukko päällysteseoksen syöttöputkia 78 kulkee kupuseinän 70 läpi niiden ollessa asetettuina ylös ja ulottuessa höyrys-tinpylväiden 34 yläpäiden sisään päällysteseoksen syöttämiseksi näihin yläpäihin. Kuten kuvioista 2 ja 3 parhaiten näkyy, sopivimmin vanunkiverkon muodossa oleva tiivistepi-din 80 on asetettu höyrystinpylväiden 34 päälle, tiivisteen pitolevyn 82 ollessa asetettuna tiivistepitimen 80 yläpuolelle ja kiinnitettynä yläputkilevyyn 50 pulttien 84 välityksellä. Tiivisteen pitolevy 82 sisältää useita aukkoja 89, jotka on asetettu höyrystinpylväiden 34 avoimien yläpäiden kohdalle. Siten syöttöputket 78 ulottuvat aukkojen 86 ja tiivistepitimen 80 läpi höyrystinpylväiden 34 yläpäiden sisään.
Höyrylämpötilan koetin 88 ulottuu ylöspäin syöttöputkista 78 kupuseinän 70 läpi höyrystetyn päällysteseoksen lämpötilan ilmaisemiseksi sen poistuessa höyrystimestä 10.
Huurteenpoistinta 90 voidaan myös käyttää, sen ollessa kooltaan 5 1/4x4 neliötuumaa oleva verkkohuurteenpoistaja. Huurteenpoistin asetetaan lämpötilakoettimen 88 yläpuolelle kokoamaan poisvirtaavan päällysteseoksen ja kaasun sisältämä huurre, eli estämään päällysteseoksen ja kaasun muodostaman yhdistelmän mukana kulkeutuvien nestepisaroiden poistuminen 9 90567 höyrystimestä. Huurteenpoistinta 90 tukee huurteenpoistimen tukilevy 92, jossa on useita avoimia alueita 94, joiden kautta höyrystetty päällysteseos pääsee virtaamaan huurteen-poistimeen 90. Huurteenpoistimen tukilevy 92 on kiinnitetty kupuseinään 70 kolmen pultin 96 välityksellä. Lisäksi huurteenpoistimen pitolevy 98 on kiinnitetty kupuseinään 70 välittömästi huurteenpoistimen 90 yläpuolelle huurteenpoistimen 90 asettamiseksi levyjen 92 ja 98 väliin.
Yläkupu 68 sisältää lisäksi vaippaseinän 100, joka on asetettu ympäröimään kupuseinää 70, rengasmaisen välystilan 102 muodostuessa niiden väliin. Vaippaseinän 100 alapää on kiinnitetty kupuseinään 70 levyn 104 välityksellä välyksen 102 alapään tiivistämiseksi. Kuuman öljyn syöttöjohto 106 on kiinnitetty vaippaseinän 100 alapäähän syöttämään kuumaa öljyä välykseen 102 höyrystetyn päällysteseoksen lämpötilan pitämiseksi halutussa arvossa tämän seoksen kulkiessa huurteenpoistimen 90 ja höyrystimen 10 yläpään kautta, estäen siten kondensaation.
Yläkupuvaippakansi 108 on kiinnitetty yläkupuvaippaseinän 100 väliin, yläkupukannen 109 ollessa samalla tavoin kiinnitettynä yläkupuseinään 70. Kuuman öljyn poistojohto 110 on kiinnitetty yläkupuvaippakannen 108 yläpäähän poistamaan kuuma öljy välystilasta 102. Lisäksi höyryn poistosuutin 112 ulottuu yläkupuvaippakannen 108 ja sen suhteen tiivistetyn yläkupukannen 109 kautta kaasun mukana kulkeutuvan höyrystetyn päällysteseoksen poistamiseksi höyrystimestä 10. Höyryn poistosuutin 112 muodostaa siten höyrystimen 10 prosessipoistoväylän.
Seuraavassa selostetaan höyrystimen 10 syöttöosaa kuvioihin 1 ja 4 viitaten.
Samoin kuin poisto-osan yhteydessä tiivistystukilevy 114 on kiinnitetty alaputkilevyyn 60 välittömästi höyrystinpylväiden 34 alapäiden alapuolelle pulttien 116 välityksellä, niin että tiivistystukilevyn 114 aukot 118 ovat samassa linjassa höyrystinpylväiden 34 avoimien alapäiden kanssa.
10 90567
Sopivimmin vanunkiverkkokartioiden muodosssa olevat tiivis-tystuet 120 on kiinnitetty tiivistystukilevyn 114 yläpintaan ympäröimään aukkoja 118 ja ulottumaan höyrystinpylväiden 34 alapäiden sisään. Tiivistystuet 120 sallivat kantokaasun sisäänvirtauksen höyrystinpylväiden 34 avoimien alapäiden kautta.
Alakupu 122 sisältää alakupuseinän 124, jonka yläpään ympärille on kiinnitetty alakupulaippa 126 välittömästi alaput-kilevyn 60 alapuolelle. Laippa 126 sisältää useita kehällään etäisyyden päässä toisistaan olevia aukkoja 128, jotka on kohdistettu aukkojen 24 ja 64 kanssa. Mutteri- ja pulttiyh-distelmät 130 kulkevat siten aukkojen 24, 64 ja 128 kautta kiinnittäen alakuorilaipan 20, alaputkilevyn 60 ja alakupu-laipan 126 yhteen. Tiivisterengas 127 on asetettu alaputkilevyn 80 ja alakupulaipan 126 väliin tiivistyksen muodostamiseksi höyrystinpylväiden 34 alapäähän. Kaasunsyöttöputki 132 kulkee alakupuseinän 124 läpi syöttäen siihen kaasua. Kantokaasu virtaa ylöspäin aukkojen 118 ja tiivistystukien 120 kautta höyrystinpylväisiin 34, jolloin päällysteseos höyrystyy ja kulkeutuu kaasun mukana ylöspäin pois höyrystimestä 10.
Selmoin kuin yläkupu 68 myös alakupu 122 sisältää vaippaseinän 134, joka ympäröi kupuseinää 124 ollen asetettuna etäisyyden päähän siitä rengasmaisen välystilan 136 muodostamiseksi näiden seinien väliin. Alakupuvaippakansi 138 on kiinnitetty alakupuseinän 134 alapäähän ja alakupukansi 139 kupuseinän 124 alapäähän välystilan 136 ylläpitämiseksi. Alakupavaippa-kannen 138 alapäähän on kiinnitetty kuuman öljyn syöttöjohto 140 syöttämään kuumaa öljyä välystilaan 132, jolloin tämä öljy poistetaan alakupuvaipan 122 yläpäässä olevan kuuman öljyn poistojohdon 142 kautta. Tämän seurauksena kaasulämpö-tila säilytetään samana ennen kaasun syöttöä höyrystinpylväisiin 34, eli siis estetään liialliset lämpöhäviöt kaasun-syötön yhteydessä. Lisäksi laskuaukko 144 on muodostettu alakupukannen 139 alapäähän mahdollisen höyrystymättömän päällysteseoksen tyhjentämiseksi sen pudotessa höyrystinpylväiden 34 avoimien alapäiden läpi.
11 90567 Käytön yhteydessä nestemäistä päällysteseosta, jota voidaan esikuuroentaa, syötetään kunkin höyrystinpylvään 34 yläpäähän, sen valuessa alaspäin ja kastellessa tiivistyspinnan. Sopi-viimnin esikuumennettua kaasua syötetään kaasunsyöttöputken 132 kautta, kaasun kulkiessa ylöspäin kunkin höyrystinpylvään 34 pohjan kautta jatkuvana faasina. Lämmönvaihtosuhteen ansiosta kuuman öljyn kanssa päällysteseos höyrystyy ja tulee siirretyksi ylöspäin kantokaasun mukana. Tämän johdosta höyrystinpylväiden 34 on oltava riittävän korkeita salliakseen pääasiassa täydellisen höyrystymisen. Käyttämällä useita läpimitaltaan pienempiä höyrystinpylväitä 34 tiivisteen lämpötilagradientti radiaalisessa suunnassa pidetään pienenä tehokkaan höyrystymisen mahdollistamiseksi tiivisteen koko märältä pinnalta. Massan- ja lämmönsiirtoa varten tarkoitetun suuren pinta-alan ansiosta höyrystymistä varten vaadittu pintalämpötila vähenee, kuten myös organotiinisen päällysteseoksen lämpöhajaantuminen.
Kunkin pylvään 34 kapasiteetti perustuu höyrystettävän seoksen höyrynpaineeseen ja lämpövakavuuteen sekä pylvään kuormitusominaisuuksiin ja kykyyn siirtää lämpöä pylvään seinästä sen sisälle. Käytön tapahtuessa rajoitetun pylväs-kuormituksen alaisena pylvään kapasiteetti on suunnilleen verrannollinen höyrystinpylväiden 34 läpimitan neliöön, massansiirtopinta-alan ollessa myös verrannollinen tämän läpimitan neliöön. Kuitenkin pylvään läpimitan kasvaessa tiivisteen radiaalinen lämpötilagradientti lisääntyy vähentäen tiivisteen tehokkuutta pylvään radiaalista keskustaa kohti mentäessä.
Siten käyttämällä useita rinnakkaisia pylväitä höyrystimen kapasiteetti lisääntyy yhden ainoan pylvään suurimman käytännössä esiintyvän läpimitan kapasiteettia suuremmaksi. Vaikka on käytettävä laitteita sen kaasun että nesteen syöttövirtauksien jakelemiseksi rinnakkaisten pylväiden välillä, on tämä helposti toteutettavissa esillä olevan keksinnön yhteydessä seuraavassa selostettavalla tavalla.
Kuviot 6-12 esittävät esillä olevan keksinnön erästä toista sovellutusmuotoa. Yksityiskohtaisemmin tarkastellen kuvioiden 12 90567 1-5 mukaisessa ulkoisen syötön käsittävässä sovellutuksessa useita syöttöputkia 78 on asetettu käyttöön päällysteseoksen syöttämiseksi yksittäisesti kuhunkin höyrystinpylvääseen 34. Kuvioiden 6-12 mukaisessa sovellutusmuodossa, jota kutsutaan sisäisen syöttöjakelun käsittäväksi sovellutukseksi, käytetään ainoastaan yhtä syöttöputkea.
Siten kuvioihin 6-12 viitaten on kuvioiden 1-5 mukaisessa sovellutuksessa olevia samoja osia merkitty samoilla viitenumeroilla, eikä kuvioiden 6-12 mukaista sovellutusta selosteta tässä yhteydessä yksityiskohtaisemmin.
Kuten kuviosta 6 näkyy, useiden syöttöputkien 78 sijasta käytetään yhtä ainoaa syöttöputkea 150, joka kulkee yläkuvun 68 yläkupuseinän 70 kautta. Lisäksi yläputkilevy 50 on kiinnitetty suoraan ulkokuoren 12 yläpäähän, niin että vain yläputkilevy 50 ja laippa 72 ovat liitettyinä yhteen.
Syöttöjakelujärjestelmä käsittää joukon jakeluputkia 152, jotka ulottuvat yläputkilevyn 50 sisään suoraan höyrystin-pylväiden 34 avoimen yläpäiden yläpuolella olevissa kohdissa. Kunkin jakeluputken 152 yläpää, kuten kuvioista 6 ja 9 näkyy, on varustettu V-muotoisella loviosalla 154. Syöttö-jakelulevy 156 on kiinnitetty yläputkilevyn 50 suuntaisesti sen yläpuolelle, jakeluputkien 152 V-loviosien 154 ulottuessa aukkojen 158 kautta ollen hitsattuina niihin kiinni. Yksityiskohtaisemmin tarkasteltuna syöttöjakelulevy 156 on asetettu pääasiassa V-loviosien 154 V-muotoisen alimman osan tasolle. Lisäksi jakelulevy 156 on varustettu pystysuorilla seinillä 160 nestettä sisältävän alueen muodostamiseksi levyn sisään. Syöttöjakelulevy 156 voidaan kiinnittää yläputkilevyyn 50 etäisyysasetuksella mutteri- ja pulttiyh-distelmien 162 välityksellä kuvion 8 mukaisella tavalla.
Nämä mutteri- ja pulttiyhdistelmät myös vaaitsevat syöttöja-kelulevyn 56 varmistaen siten päällysteseoksen pääasiassa yhtenäisen jakautumisen kuhunkin höyrystinpylvääseen 34.
Siten kuvioiden 6-12 mukaisen sisäisellä syötöllä varustetun sovellutusmuodon yhteydessä nestemäinen päällysteseos syötetään syöttöputken 150 kautta, niin että tämä neste kerrostuu syöttöjakelulevylle 156. Nesteen pintatason noustessa neste 13 90567 vuotaa V-loviosien 154 kautta höyrystinpylväiden 34 sisään saaden aikaan yhtenäisen jakelun. Kaikissa muissa suhteissa kuvioiden 6-12 mukainen sisäisellä syötöllä varustettu sovellutus-muoto on pääasiassa sama kuin kuvioiden 1-4 mukainen ulkoisella syötöllä varustettu sovellutusmuoto.
On kuitenkin selvää, että höyrystinpylväiden 34 määrä kuvioiden 6-12 mukaista sisäisellä syötöllä varustettua sovellutusmuotoa varten on suuruudeltaan kaksikymmentäneljä. Sisäistä jakelua käytetään, koska yksittäisten syöttöputkien asettaminen näin suureen määrään pylväitä 34 olisi epäkäytännöllistä.
ESIMERKKI 1
Monobutyylitinatrikloridia (MBTC) syötettiin valvotulla nopeudella öljyvaippaiseen tiivistettyyn pylväshöyrystimeen käyttäen iskunpituudeltaan säädettävää mittauspumppua. Pylväs käsitti yhden ainoan 2,5 cm (yhden tuuman) ulkoläpimittaisen paksuudeltaan 1,24 mm (0,049 tuumaa) olevan seinän sisältävän 1,52 m (60 tuuman) pituisen nikkeli 200 -höyrystinpylvään, joka kulki samakeskisesti 2,5 cm (1 1/2 tuuman) paksuisen Sch 40 hiiliteräksestä tehdyn ulkokuoren läpi. Ulkokuori oli varustettu 2,5 cm (yhden tuuman) paksuisella laipoitetulla kuuman öljyn syöttöputkella ja poistosuuttimilla, joita erotti toisistaan 1,22 m:n (48 tuuman) pystysuora etäisyys ja jotka oli asetettu 180° kulmaan toistensa suhteen höyrystimen pääakselin ympärille. Öljyä kierrätettiin höyrystinpylvään ja ulkokuoren välissä olevan rengasmaisen tilan kautta virtausnopeudella, joka oli riittävä aiheuttamaan alle 0,55 °C (1 °F) oleva lämpötilaero öljyn syöttöjohdon ja poistojohdon välille. Rengasmaisen öljytilan kokonaiskorkeus oli 1,36 m (53,5 tuumaa). Höyrystinpylväs ulottui hieman ulkokuoresta ulospäin, johon se oli tiivistetty, estäen siten öljyn poisvirtaamisen rengasmaisesta tilasta. 316 SS 0,3 mm:estä (8 meshin) ruostumattomasta teräksestä valmistetusta vanunkiverkosta tehty tiivistystuki asetettiin höyrystinpylvään pohjalle tukemaan 1,42 m:n (54 tuuman) syvyistä 6,4 mm:n (1/4 tuuman) paksuisten Ni 200 -tiivisteiden muodostamaa kerrosta. Tämän tiivistyskerroksen 1,30 m:n (50 3/4 tuuman) yläosaa kuumennettiin rengasmaisen öljytilan välityksellä. Ala-kupu asetettiin nesteyhteyteen höyrystinpylvään pohjan kanssa 14 90 567 kaasun syöttöaukon muodostamiseksi, jonka kautta esikuumennet-tua ilmaa syötettiin kupuun valvotulla virtausnopeudella, kuvun käsittäessä näkölasilla varustetun laskuaukon. Yläkupu asetettiin nesteyhteyteen höyrystinpylvään yläosan kanssa, sen käsittäessä höyrylämpöparin, höyryn poistoaukon ja 6,4 mm:n (1/4 tuumaisen) nesteensyöttöputken, joka syöttää MBTC:tä tiivistys-kerroksen yläosaan höyrystimen pääakselilla.
Edellä selostettu laite sisältää keksinnön mukaisen moninkertaisen rinnakkain tiivistetyt pylväät käsittävän höyrystimen yhden ainoan pylvään. Tällainen höyrystin voidaan valmistaa asettamalla useita tällaisia pylväitä yhden ainoan ulkokuoren sisälle.
Höyrystintä käytettäessä kiinteällä ilmansyöttönopeudella MBTC-syöttönopeutta lisättiin useissa eri vaiheissa, kunnes joko havaittiin nesteen kerääntyminen alakuvun näkölasiin tai tapahtui tulvimisilmiö. Syöttöilma esikuumennettiin lämpötilaan 200 - 205 °C 390-400°F. Enintään 7,1 1/min/pylväs (0,25 SCFM/pylväs) olevilla syöttönopeuksilla maksimaalinen MBTC-syöttönopeus oli verrannollinen ilmavirtaukseen. Tulokseksi saatu höyry käsitti 33 mooliprosenttia MBTC:tä, joka käynnisti höyrystimen 189 °C:n (373°F) lämpötilassa.
ESIMERKKI 2
Esimerkki 1 toistettiin lukuunottamatta sitä, että MBTC esikuumennettiin käyttäen kierrätettyä kuumaöljyvirtausta. Tällöin tulokset paranivat.
Tässä yhteydessä käytettyjen päällystekemikaalien sijasta voidaan käyttää myös mitä tahansa alalla tunnettuja höyrystyviä kemikaaleja.
Keksinnön edellä olevien suositeltavien sovellutusmuotojen selostuksen ja oheenliitettyjen piirustuksien perusteella on selvää, että keksintö ei ole rajoittunut juuri näihin sovellutus-muotoihin, ja että useita erilaisia muutoksia ja muunnelmia voivat alaan perehtyneet henkilöt tehdä keksinnön oheisissa patenttivaatimuksissa määritellystä hengestä tai suojapiiristä poikkeamatta.
Claims (9)
1. Laite hajoamislämpötilaltaan suhteellisen alhaisen kemiallisen koostumuksen höyrystämiseksi sellaisen seoksen muodostamiseksi, jossa on korkea pitoisuus höyrystynyttä kemiallista koostumusta kaasussa, laitteen käsittäessä: -ulkokuoren (12); -ulkokuoren (12) sisään pääasiassa pystysuorasti asetetun joukon höyrystinpylväitä (34), höyrystinpylväiden (34) käsittäessä sisäseinät ja avoimen ylä- ja alapään (14,16); -kuumennuslaitteen höyrystinpylväiden (34) kuumentamiseksi niiden sisältämän kemiallisen koostumuksen höyrystämistä varten; ja -kaasunsyöttölaitteen kaasun syöttämiseksi höyrystinpylväiden (34) alapäihin (16) seoksen tuottamiseksi, tunnettu siitä, että se lisäksi käsittää; -lukuisia V-muotoisilla loviosilla (154) varustettuja jakelu-putkia (152) kemiallisen koostumuksen syöttämiseksi pääasiassa tasaisesti höyrystinpylväiden (34) avoimiin yläpäihin (14); ja -lukuisia kohdakkain asetettuja yhdensuuntaisia välilevyjä (36).
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, tunnettu siitä, että kuori (12) ympäröi tiivistetyllä tavalla höyrystinpylväitä (34), kuummennuslaitteen sisältäessä nesteensyöttöjohdon kuumennetun nesteen syöttämiseksi kuoreen (12), ja nesteen-poistojohdon nesteen poistamiseksi kuoresta (12), jolloin kuum-mennettu neste höyrystää kemiallisen koostumuksen höyrystinpyl-väissä (34) lämmönvaihdon tapahtuessa nesteen ja seoksen välillä.
3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, tunnettu siitä, että kuori (12) ympäröi höyrystinpylväitä (34) tiivistetyllä tavalla, kaasunsyöttölaitteen sisältäessä kuoren (12) alapäähän kiinnitetyn alakuvun (122) kaasun syöttämiseksi höyrystinpylväiden (34) alapäihin (16).
4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen laite, tunnettu siitä, että se sisältää lisäksi kuoren (12) yläpäähän kiinni- ie 90567 tetyn yläkuvun (68) höyrystyneen kemiallisen koostumuksen poistamiseksi laitteesta.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että yläkupu (68) sisältää lämmönvaihtimen höyrystyneen kemiallisen koostumuksen kondensaation estämiseksi sen lähtiessä laitteesta.
6. Patenttivaatimuksen 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että se sisältää lisäksi lämpötilakoettimen (88) asetettuna yläkupuun (68) seoksen lämpötilan ilmaisemiseksi kuumen-nuslaitteen säätöä varten.
7. Patenttivaatimuksen 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että se sisältää lisäksi huurteenpoistimen (90) asetettuna yläkupuun (68) estämään kaasun mukana kulkeutuneiden nes-tepisaroiden pääsy pois laitteesta.
8. Patenttivaatimuksen 3 mukainen laite, tunnettu siitä, että alakupu (122) sisältää lämmönvaihtimen laitteeseen syötetyn kaasun liiallisen lämpöhäviön estämiseksi.
9. Minkä tahansa patenttivaatimuksen 1-9 mukaisen laitteen käyttö päällystysyhdisteen valmistamiseksi kemiallisena koostumuksena.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US8201187 | 1987-08-05 | ||
| US07/082,011 US4924936A (en) | 1987-08-05 | 1987-08-05 | Multiple, parallel packed column vaporizer |
| US8802654 | 1988-08-04 | ||
| PCT/US1988/002654 WO1989001055A1 (en) | 1987-08-05 | 1988-08-04 | Multiple, parallel packed column vaporizer |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI900450A0 FI900450A0 (fi) | 1990-01-29 |
| FI90567B true FI90567B (fi) | 1993-11-15 |
| FI90567C FI90567C (fi) | 1994-02-25 |
Family
ID=22168168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI900450A FI90567C (fi) | 1987-08-05 | 1990-01-29 | Laite kemiallisen koostumuksen höyrystämiseksi |
Country Status (18)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4924936A (fi) |
| EP (2) | EP0391907A1 (fi) |
| JP (1) | JPH03500667A (fi) |
| KR (1) | KR910006786B1 (fi) |
| CN (1) | CN1018717B (fi) |
| AT (1) | ATE97010T1 (fi) |
| BR (1) | BR8807642A (fi) |
| CA (1) | CA1296996C (fi) |
| DE (1) | DE3885536T2 (fi) |
| DK (1) | DK165126C (fi) |
| ES (1) | ES2046257T3 (fi) |
| FI (1) | FI90567C (fi) |
| IE (1) | IE63516B1 (fi) |
| IL (1) | IL87303A (fi) |
| IN (1) | IN169676B (fi) |
| MX (1) | MX166195B (fi) |
| WO (1) | WO1989001055A1 (fi) |
| ZA (1) | ZA885641B (fi) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8900980A (nl) * | 1989-04-19 | 1990-11-16 | Asm Europ | Werkwijze voor het voorzien in een gedoseerde dampstroom alsmede inrichting voor het uitvoeren daarvan. |
| US5090985A (en) * | 1989-10-17 | 1992-02-25 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for preparing vaporized reactants for chemical vapor deposition |
| HU210994B (en) * | 1990-02-27 | 1995-09-28 | Energiagazdalkodasi Intezet | Heat-exchanging device particularly for hybrid heat pump operated by working medium of non-azeotropic mixtures |
| US5203925A (en) * | 1991-06-20 | 1993-04-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for producing a thin film of tantalum oxide |
| US5286519A (en) * | 1991-06-25 | 1994-02-15 | Lsi Logic Corporation | Fluid dispersion head |
| US5470441A (en) * | 1994-03-07 | 1995-11-28 | Phillips Petroleum Company | Packed column vaporizer and vaporizing process |
| US5558687A (en) * | 1994-12-30 | 1996-09-24 | Corning Incorporated | Vertical, packed-bed, film evaporator for halide-free, silicon-containing compounds |
| US6195504B1 (en) | 1996-11-20 | 2001-02-27 | Ebara Corporation | Liquid feed vaporization system and gas injection device |
| US6142215A (en) * | 1998-08-14 | 2000-11-07 | Edg, Incorporated | Passive, thermocycling column heat-exchanger system |
| FR2800754B1 (fr) * | 1999-11-08 | 2003-05-09 | Joint Industrial Processors For Electronics | Dispositif evaporateur d'une installation de depot chimique en phase vapeur |
| DE19960333C2 (de) * | 1999-12-15 | 2002-12-19 | Tetra Laval Holdings & Finance | Vorrichtung zum Herstellen eines Gasgemisches und deren Verwendung |
| CN100595910C (zh) * | 2001-01-18 | 2010-03-24 | 株式会社渡边商行 | 汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法 |
| CA2430041A1 (en) | 2003-05-26 | 2004-11-26 | Eugene I. Moody | Atomized liquid boiler |
| US20050205215A1 (en) * | 2004-03-17 | 2005-09-22 | General Electric Company | Apparatus for the evaporation of aqueous organic liquids and the production of powder pre-forms in flame hydrolysis processes |
| WO2006009872A1 (en) * | 2004-06-22 | 2006-01-26 | Arkema Inc. | Direct injection chemical vapor deposition method |
| JP4553245B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2010-09-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 気化器、成膜装置及び成膜方法 |
| FR2894165B1 (fr) * | 2005-12-01 | 2008-06-06 | Sidel Sas | Installation d'alimentation en gaz pour machines de depot d'une couche barriere sur recipients |
| JP5141141B2 (ja) * | 2007-08-23 | 2013-02-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 気化器、気化器を用いた原料ガス供給システム及びこれを用いた成膜装置 |
| US9095784B2 (en) | 2010-08-24 | 2015-08-04 | 1Nsite Technologies Ltd. | Vapour recovery unit for steam assisted gravity drainage (SAGD) system |
| US10435307B2 (en) | 2010-08-24 | 2019-10-08 | Private Equity Oak Lp | Evaporator for SAGD process |
| RU2550196C2 (ru) | 2010-08-24 | 2015-05-10 | Кемекс Лтд. | Система контроля загрязнений в системе очистки парообразующей воды |
| WO2012024763A1 (en) | 2010-08-24 | 2012-03-01 | Kemex Ltd. | An improved water recovery system sagd system utilizing a flash drum |
| PL406241A1 (pl) * | 2011-01-27 | 2014-05-12 | 1Nsite Technologies Ltd. | Kompaktowy odparowalnik do przenośnego modułowego procesu SAGD |
| US20140158514A1 (en) * | 2012-12-07 | 2014-06-12 | Advanced Water Recovery, Llc | Methods of separating salts and solvents from water |
| DE102013101703A1 (de) * | 2013-02-21 | 2014-08-21 | Borgwarner Beru Systems Gmbh | Verdampfer |
| WO2015109402A1 (en) | 2014-01-21 | 2015-07-30 | 1Nsite Technologies Ltd. | Evaporator sump and process for separating contaminants resulting in high quality steam |
| US10680123B2 (en) | 2015-03-12 | 2020-06-09 | Vitro Flat Glass Llc | Article with transparent conductive oxide coating |
| WO2016144869A1 (en) | 2015-03-12 | 2016-09-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Optoelectronic device and method of making the same |
| WO2017100607A1 (en) | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Vitro, S.A.B. De C.V. | Coating system and articles made thereby |
| US10112209B2 (en) | 2015-12-11 | 2018-10-30 | VITRO S.A.B. de C.V. | Glass drawdown coating system |
| EP3381874A1 (en) * | 2017-03-31 | 2018-10-03 | Arkema B.V. | Feeding device for coating apparatus, coating apparatus comprising it and process using it |
| US11421320B2 (en) | 2017-12-07 | 2022-08-23 | Entegris, Inc. | Chemical delivery system and method of operating the chemical delivery system |
| CN112469498B (zh) * | 2018-08-24 | 2023-04-25 | 株式会社堀场Stec | 气化器、液体材料气化装置和气化方法 |
Family Cites Families (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1763508A (en) * | 1929-04-12 | 1930-06-10 | Nettie M Hawkins | Vaporizing device |
| US2316564A (en) * | 1940-03-20 | 1943-04-13 | E I Du Pont De Neumours & Comp | Humidification |
| CH225352A (de) * | 1941-05-18 | 1943-01-31 | Rosenblads Patenter Ab | Röhrenverdampfer für Berieselungsbetrieb mit Einrichtung zur Verteilung der Flüssigkeit. |
| US2562495A (en) * | 1948-08-10 | 1951-07-31 | Diamond Alkali Co | Dehydration of caustic alkali |
| US2758061A (en) * | 1949-10-31 | 1956-08-07 | Ruetgerswerke Ag | Vaporization and cracking of liquids or mixtures of liquids, more particularly of hydrocarbons |
| DE1060353B (de) * | 1953-06-24 | 1959-07-02 | Sterling Drug Inc | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Konzentrieren von Loesungen |
| NL83107C (fi) * | 1954-06-10 | |||
| US3087533A (en) * | 1960-01-06 | 1963-04-30 | Whitlock Mfg Company | Drying apparatus and method |
| US3499734A (en) * | 1967-01-05 | 1970-03-10 | Chemical Construction Corp | Apparatus for nitrogen oxides absorption to produce concentrated nitric acid |
| DE1619697A1 (de) * | 1967-05-31 | 1971-07-08 | Bayer Ag | Fallfilmverdampfer |
| US3568462A (en) * | 1967-11-22 | 1971-03-09 | Mc Donnell Douglas Corp | Fractionating device |
| US3876410A (en) * | 1969-12-24 | 1975-04-08 | Ball Brothers Co Inc | Method of applying durable lubricous coatings on glass containers |
| US3640762A (en) * | 1970-05-26 | 1972-02-08 | Republic Steel Corp | Method for vaporizing molten metal |
| CA935336A (en) * | 1970-05-29 | 1973-10-16 | V. Melnikov Valery | Method of depositing inorganic coatings from vapour phase |
| US3888649A (en) * | 1972-12-15 | 1975-06-10 | Ppg Industries Inc | Nozzle for chemical vapor deposition of coatings |
| US3850679A (en) * | 1972-12-15 | 1974-11-26 | Ppg Industries Inc | Chemical vapor deposition of coatings |
| US4023949A (en) * | 1975-08-04 | 1977-05-17 | Schlom Leslie A | Evaporative refrigeration system |
| US4359493A (en) * | 1977-09-23 | 1982-11-16 | Ppg Industries, Inc. | Method of vapor deposition |
| US4212663A (en) * | 1978-01-26 | 1980-07-15 | Corning Glass Works | Reactants delivery system for optical waveguide manufacturing |
| SE416042B (sv) * | 1978-06-21 | 1980-11-24 | Bofors Ab | Anordning for uppkoncentrering och eventuellt rening av mineralsyror, foretredesvis svavelsyra |
| US4325987A (en) * | 1979-07-31 | 1982-04-20 | Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. | Process for the production of an electrically conducting article |
| US4389234A (en) * | 1982-03-18 | 1983-06-21 | M&T Chemicals Inc. | Glass coating hood and method of spray coating glassware |
| US4524718A (en) * | 1982-11-22 | 1985-06-25 | Gordon Roy G | Reactor for continuous coating of glass |
| DE3327233A1 (de) * | 1983-07-28 | 1985-02-07 | Schmidding-Werke Wilhelm Schmidding GmbH & Co, 5000 Köln | Verfahren und anlage zum desodorieren und/oder entsaeuern von hochsiedenden organischen verbindungen, insbesondere speiseoelen |
| DE3441860A1 (de) * | 1983-11-14 | 1985-05-30 | Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., Tokio/Tokyo | Als rieselfilmbefeuchter ausgebildete befeuchtungsanlage |
| US4584206A (en) * | 1984-07-30 | 1986-04-22 | Ppg Industries, Inc. | Chemical vapor deposition of a reflective film on the bottom surface of a float glass ribbon |
| US4600654A (en) * | 1985-05-14 | 1986-07-15 | M&T Chemicals Inc. | Method of producing transparent, haze-free tin oxide coatings |
| US4683025A (en) * | 1986-02-10 | 1987-07-28 | The Graver Company | Method and apparatus to convert a long tube vertical evaporator to a falling film evaporator |
-
1987
- 1987-08-05 US US07/082,011 patent/US4924936A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-08-01 IN IN636/CAL/88A patent/IN169676B/en unknown
- 1988-08-01 ZA ZA885641A patent/ZA885641B/xx unknown
- 1988-08-02 IL IL87303A patent/IL87303A/xx not_active IP Right Cessation
- 1988-08-04 EP EP88907524A patent/EP0391907A1/en active Pending
- 1988-08-04 MX MX012549A patent/MX166195B/es unknown
- 1988-08-04 JP JP63506491A patent/JPH03500667A/ja active Granted
- 1988-08-04 IE IE238988A patent/IE63516B1/en not_active IP Right Cessation
- 1988-08-04 KR KR1019890700583A patent/KR910006786B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1988-08-04 EP EP88112734A patent/EP0303911B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-08-04 ES ES198888112734T patent/ES2046257T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1988-08-04 DE DE88112734T patent/DE3885536T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-08-04 BR BR888807642A patent/BR8807642A/pt not_active IP Right Cessation
- 1988-08-04 AT AT88112734T patent/ATE97010T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-08-04 WO PCT/US1988/002654 patent/WO1989001055A1/en active IP Right Grant
- 1988-08-05 CN CN88104922A patent/CN1018717B/zh not_active Expired
- 1988-08-05 CA CA000574064A patent/CA1296996C/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-29 FI FI900450A patent/FI90567C/fi not_active IP Right Cessation
- 1990-02-05 DK DK029690A patent/DK165126C/da not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA1296996C (en) | 1992-03-10 |
| BR8807642A (pt) | 1990-06-12 |
| ATE97010T1 (de) | 1993-11-15 |
| CN1032111A (zh) | 1989-04-05 |
| FI90567C (fi) | 1994-02-25 |
| MX166195B (es) | 1992-12-23 |
| IL87303A0 (en) | 1989-01-31 |
| DK165126C (da) | 1993-02-22 |
| IN169676B (fi) | 1991-11-30 |
| CN1018717B (zh) | 1992-10-21 |
| JPH0553869B2 (fi) | 1993-08-11 |
| DK29690D0 (da) | 1990-02-05 |
| DK29690A (da) | 1990-04-04 |
| DE3885536T2 (de) | 1994-03-10 |
| EP0303911A1 (en) | 1989-02-22 |
| DE3885536D1 (de) | 1993-12-16 |
| US4924936A (en) | 1990-05-15 |
| DK165126B (da) | 1992-10-12 |
| ZA885641B (en) | 1989-04-26 |
| IE882389L (en) | 1989-02-05 |
| ES2046257T3 (es) | 1994-02-01 |
| JPH03500667A (ja) | 1991-02-14 |
| WO1989001055A1 (en) | 1989-02-09 |
| FI900450A0 (fi) | 1990-01-29 |
| KR890701795A (ko) | 1989-12-21 |
| IL87303A (en) | 1992-11-15 |
| KR910006786B1 (ko) | 1991-09-02 |
| EP0303911B1 (en) | 1993-11-10 |
| IE63516B1 (en) | 1995-05-03 |
| EP0391907A1 (en) | 1990-10-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI90567B (fi) | Laite kemiallisen koostumuksen höyrystämiseksi | |
| KR100366249B1 (ko) | 액체반응원공급장치및이장치를구비하는화학증착장치 | |
| CN100438960C (zh) | 蒸发器输送安瓿 | |
| US6982005B2 (en) | Multiple-nozzle thermal evaporation source | |
| TWI227748B (en) | Condensation coating process | |
| JP5766720B2 (ja) | 気相蒸着供給源のための加熱システム | |
| RU2010154436A (ru) | Способ и устройство осаждения тонких слоев полипараксилилена или замещенного полипараксилилена | |
| TW201109453A (en) | Vacuum vapor deposition apparatus | |
| JPWO2007034790A1 (ja) | 成膜装置、蒸発治具、及び、測定方法 | |
| US8691017B2 (en) | Heat equalizer and organic film forming apparatus | |
| JP2008001986A (ja) | 気化チューブを備えた物質の気化装置 | |
| US5014773A (en) | Liquefied gas boilers | |
| CN111670333B (zh) | 潜热交换器室装置 | |
| US4422899A (en) | Apparatus and method for the vaporization of liquid | |
| JP2007534842A (ja) | 連続熱真空蒸着装置および方法 | |
| JPH11269653A (ja) | 液体材料気化装置 | |
| AU619212B2 (en) | Multiple, parallel packed column vaporizer | |
| KR101772621B1 (ko) | 하향식 증발기 및 하향식 증발 증착 장치 | |
| JPH05156448A (ja) | Ｃｖｄ用原料蒸発器 | |
| KR100322411B1 (ko) | 액체원료 기화장치 | |
| US20200270744A1 (en) | Systems and methods for vaporization and vapor distribution | |
| KR100631719B1 (ko) | 플라즈마 중합장치의 가스 공급 구조 | |
| CN1038129A (zh) | 薄膜真空喷镀装置 | |
| JP2017537226A (ja) | 基板上に層を堆積するための装置 | |
| HU198230B (en) | Vakuum-vaporator apparatus for producing thin layer coatings |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB | Publication of examined application | ||
| FG | Patent granted |
Owner name: M & T CHEMICALS, INC. |
|
| MA | Patent expired |