JP2006348369A - 蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 蒸着源202から蒸発した蒸着材料が蒸着源202からチャンバー201内へ放出する第1流路と、蒸着源202から蒸発した蒸着材料が蒸着源202から移送路204を介して回収容器203へ流れる第2流路と、を切り替える流路切り替え手段を有する。
【選択図】 図2
Description
本実施の形態に係る蒸着装置は、蒸着源から蒸発した蒸着材料が蒸着源からチャンバー内へ放出する第1流路と、蒸着源から蒸発した蒸着材料が蒸着源から移送路を介して回収容器へ流れる第2流路と、を切り替える流路切り替え手段を有し、流路切り替え手段が第2流路を選択した場合には、第1流路は流路切り替え手段によって密閉されている。
本実施の形態に係る蒸着装置は、流路切り替え手段が三方弁である。
本実施の形態に係る蒸着装置は、放出口205と回収容器開口208とを繋ぐ移送路204が可動になっている。
本実施例は、実施の形態1に係る蒸着装置、及び蒸着方法に基づいて処理を行う場合について説明するものである。
本実施例は、実施の形態2に係る蒸着装置、及び蒸着方法に基づいて処理を行う場合について説明するものである。
本実施例は、実施の形態3に係る蒸着装置、及び蒸着方法に基づいて処理を行う場合について説明するものである。
202 蒸着源
203 回収容器
204 移送路
205 放出口
206 開口
207 蒸着材料進入口
208 回収容器開口
209 蒸着源上部
210 蓋
211 軸
212 基板
213 マスク
214 基板ホルダー
215 マスクホルダー
216 シャッター
217 水晶振動子膜厚センサー
218 配管
219 冷却手段
220 ヒーター
221 移送路加熱手段
601 三方弁
602 配管
603 回収容器加熱手段
604 配管加熱手段
Claims (17)
- チャンバーと、
蒸着源と、
回収容器と、
前記蒸着源と前記回収容器とを繋ぐ移送路と、
を有する蒸着装置において、前記蒸着源から蒸発した蒸着材料が前記蒸着源から前記チャンバー内へ放出する第1流路と、前記蒸着源から蒸発した蒸着材料が前記蒸着源から前記移送路を介して前記回収容器へ流れる第2流路と、を切り替える流路切り替え手段を有し、前記流路切り替え手段が前記第2流路を選択した場合には、前記蒸着源は前記流路切り替え手段によって前記チャンバーに対して密閉されていることを特徴とする蒸着装置。 - 前記移送路を加熱する加熱手段を有することを特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。
- 前記蒸着源から蒸発した前記蒸着材料が前記チャンバー内に放出されるまでのコンダクタンスと、前記蒸着源から蒸発した前記蒸着材料が前記回収容器に収まるまでのコンダクタンスとが等しいことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記蒸着源が前記チャンバーの外に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記回収容器を冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記移送路は、前記移送路の一端である蒸着材料進入口が前記蒸着源の側壁に配置されていることによって前記蒸着源と導通していて、前記流路切り替え手段は、軸を中心に回動する蓋であり、前記蒸着材料進入口と、前記蒸着源の開口のいずれか一方を塞ぐことで前記第1流路、あるいは前記第2流路のいずれか一方を遮断することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記流路切り替え手段が、前記第1流路と、前記第2流路と、前記回収容器から蒸発した蒸着材料が前記蒸着源から前記チャンバー内へ放出する第3流路と、を切り替える流路切り替え手段であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記回収容器を加熱する加熱手段を有することを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 前記蒸着源と、前記回収容器と、前記移送路と、からなる一組を複数有することを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 基材面の面内方向に対して平行な方向に複数の放出口を有していて、前記蒸着源から蒸発した前記蒸着材料を受け入れ、前記放出口からチャンバー内に放出させる放出手段を少なくとも1つ有し、かつ前記基材と前記放出口との相対的な位置を変化させる位置可変手段を有していることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の蒸着装置。
- 蒸着源内に載置されている蒸着材料を蒸発させてチャンバー内の被処理物に蒸着する蒸着方法において、前記蒸着源から蒸発した前記蒸着材料が前記蒸着源から前記チャンバー内へ放出する蒸着材料放出工程と、前記蒸着源から蒸発した前記蒸着材料が前記蒸着源から移送路を介して回収容器へ流れる蒸着材料回収工程と、を有し、前記蒸着材料回収工程の間は、前記蒸着源が前記チャンバーに対して密閉されていることを特徴とする蒸着方法。
- 前記蒸着材料放出工程は、前記蒸着源内に配置されている軸を中心に回転する蓋が、前記蒸着源側壁に設けられている前記移送路の一端である蒸着材料進入口を塞ぎ、且つ前記蒸着源の開口を開くことによって行われ、前記蒸着材料回収工程は、前記蓋が、前記蒸着材料進入口を開き、且つ前記蒸着源の前記開口を塞ぐことによって行われることを特徴とする請求項11に記載の蒸着方法。
- 蒸着を終えた前記被処理物と別の前記被処理物とを交換する被処理物交換工程を有し、前記蒸着材料回収工程の間あるいは同時に、被処理物交換工程が行われることを特徴とする請求項11乃至請求項12のいずれか1項に記載の蒸着方法。
- 基材上に設けられている基材側電極上に、請求項11乃至請求項13のいずれか1項に記載の前記蒸着方法により有機膜を形成する有機膜形成工程と、前記有機膜上に、別の電極を形成する別電極形成工程とを有することを特徴とする有機電子デバイスの製造方法。
- 前記有機電子デバイスは有機EL素子であることを特徴とする請求項14に記載の有機電子デバイスの製造方法。
- 前記基材側電極は、基材上に複数設けられており、前記基材側電極上に請求項11乃至請求項13のいずれか1項に記載の前記蒸着方法により有機膜を形成する有機膜形成工程と、前記有機膜上に、別の電極を形成する別電極形成工程とを有することで、前記基材側電極と前記別の電極と前記有機膜とから少なくとも構成される有機EL素子を複数有する有機EL素子アレイを製造することを特徴とする有機EL素子アレイの製造方法。
- 前記有機EL素子アレイは、ディスプレイの表示部であることを特徴とする請求項16に記載の有機EL素子アレイの製造方法。
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