JP2683215B2 - サブストレート上にパターンを形成する方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、次のコーティングを阻
止する媒体によりサブストレートを部分的コーティング
し、次いで少なくとも１つの機能層を特許（特許出願Ｐ
４３１０ ０８５６）に従って、設けることにより、サ
ブストレートにパターンを形成する方法と装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】前記出願の発明は、フォイル・ウエブ
に、コーティングを阻止する媒体から成る特定のパター
ンを設ける問題を解決するものである。その目的のため
に、パターン保持体には、形成されるパターンに応じて
凹版のパターンが備えられ、この凹版パターンにおいて
凹所の空間的分配が、コーティングされてはならないフ
ォイル・ウエブ表面区域に合致しており、更に、その目
的のために凹所にはコーティングを阻止する媒体の蒸気
が充填され、かつまたサブストレートが事実上パターン
保持体と同時的に移動せしめられ、しかも凹所の開放側
がサブストレート表面に向けられており、それによっ
て、凹所内に充填されている蒸気がサブストレート上で
凝縮するようにされ、最後に、この蒸気の少なくとも一
部が凝縮したのち、サブストレートは少なくとも１つの
機能層を有することになる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の根底をなす課
題は、コーティングを阻止する媒体をフォイル・ウエブ
に蒸着する場合、蒸着の度合を調節することにより、サ
ブストレートの特定部分が蒸着されるが、きわめて僅か
の量の潤滑剤でのみ蒸着されることにより、前記特定部
分には、きわめて薄手の層とはいえ、更に金属層が蒸着
され得るようにすることにある。加えて、パターンは、
中断なしに反復される一様なパターンがストリップに形
成されるように構成され、かつまた最初のパターンでの
ストリップの潤滑化過程が進行する間に、次のパターン
へ移行できるように構成されるようにする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば次のような方法により解決された。すなわち、パタ
ーン保持体が周期的に断続的に運動する一方、サブスト
レートは連続的にパターン保持体のところを通過し、し
かも、凹所の開放側がサブストレート表面に向くように
され、それによって、凹所内に含まれていた蒸気がサブ
ストレート上で凝縮し、更に、この蒸気の少なくとも一
部が凝縮後、サブストレートに少なくとも１つの機能層
が設けられるようにする方法である。

【０００５】本発明によれば次のような装置が提供され
る。すなわち、サブストレートが、連続的にパターン保
持体のところを通過可能であり、かつまた掻取り条片又
は遮蔽部材と協働して、蒸発した分離媒体を凹版パター
ン内に閉じ込めるか、ないしは余分の分離媒体蒸気を調
量して、蒸気器が配置されているチャンバ内に抑留する
ような装置である。

【０００６】このほかの特徴及び詳細は請求項２以下の
各項に記載の通りである。

【０００７】

【実施例】本発明は、きわめて種々の実施例が可能であ
る。そのうちの１実施例が添付図面に略示されている。

【０００８】図示のウエブ・コーティング装置は、実質
的に、２つのプレート３，４間に支承された変向ロー
ラ、テンション測定ローラ、伸しローラ、張りローラ５
〜１０ないし１１〜１７、冷却されたコーティングロー
ラ１８、繰出しローラ３７、巻上げローラ３５′、パタ
ーン保持体５８、中空シリンダ３２により形成されたコ
ーティング・チャンバ２８内に配置された蒸発容器２
１、コーティング過程観察用テレビカメラ２２から成っ
ている。支持架台５２に固定された２個のプレート３，
４は、キャスタ２６，２７を介して走行レール２４，２
５上を、ローラ５〜１０，１１〜１７及びコーティング
ローラ１８と一緒に走行し、矢印方向Ｒでコーティング
・チャンバ２８に出入する。これらのローラは巻取り装
置２９を形成している。巻取り装置２９が走入する場
合、支持架台５２に固定配置されたディスク状のふた３
０が、その縁区域を中空シリンダ３２のフランジ状端面
３１に対し当付けられ、詳細には図示されていないクラ
ンプ部材により中空シリンダ３２に固定されるか、ない
しは作業段階でチャンバ４５内を支配する負圧のため、
大気圧により端面３１の方向へ引付けられる。

【０００９】蒸発器３４は中空成形体により形成され、
その両端は端部材によって閉じられている。蒸発器３４
の内部には、ロッド状の加熱部材が配置され、この加熱
部材の周囲が分離媒体により完全に取囲まれている。蒸
発した分離媒体はノズル３６を介してパターン保持体５
８の方向へ放出される。掻取り条片又は遮蔽部材４３，
４４により、分離媒体が、印刷パターンを形成する凹所
４２，４２′…内に残される。凹所４２，４２′…はパ
ターン保持体５８の円筒形外とう面に設けられている。

【００１０】更に、蒸発器３４はチャンバ３９内に配置
されている。チャンバ３９は、この区域内での分離媒体
の凝縮を防止する圧力を有している。チャンバ３９は、
一方ではチャンバ壁により、他方ではパターン保持体５
８により制限されている。

【００１１】蒸発器３４には、更に、温度センサを備え
ておくのが有利である。この温度センサによって分離媒
体温度の精密な監視と維持が可能になる（加熱回路の監
視と調整に必要な接続回路は図示されていない）。

【００１２】蒸発器３４はアングル部材５３，５３′を
介して双方のプレート３，４の間に保持されている。こ
の保持形式は、ノズル３６の噴出方向が、湿潤化される
パターン保持体面に向くようにされる。

【００１３】図１に示されているように、ノズル３６
は、フォイル・ウエブ５０の近く、それもコーティング
ローラ１８の直ぐ近くに配置されているので、通過する
フォイル・ウエブ５０を分離媒体による湿潤化の直後
に、本来のコーティング過程を実施できる。分離媒体
（たとえばシリコンオイル）で湿潤化されるフォイル・
ウエブ部分には、蒸発容器２１内で蒸発した金属は、全
く蒸着しないか、もしくは、極めて薄い湿潤化膜の場合
には、蒸着が著しく制限される。この結果、フォイル・
ウエブ５０のどの部分が金属蒸着ないし金属コーティン
グされないままか、もしくは薄膜コーティングされるか
は、パターン保持体５８の凹所４２，４２′…の数と寸
法、更には形状に従って決まる。

【００１４】図１及び図２に示された装置の場合、ロー
ラ５〜１０は、フォイル・ウエブ５０の搬送と案内のた
め、次のように配置されている。すなわち、コーティン
グ・ローラ１８の直ぐ前方に位置するフォイル・ウエブ
部分が、急角度で、すなわちほとんど垂直にパターン保
持体５８から下方へ走行するように配置される。

【００１５】フォイル・ウエブのこの部分は別様に案内
することも可能であるのは、言うまでもない。その場合
には、たとえばほぼ水平平面内でコーティングローラ１
８上を走行し、しかも、図３に示した分離媒体を蒸着す
るパターン保持体５８の位置や寸法を変更する必要がな
いようにする。

【００１６】図３に示したように、パターン保持体は中
空ローラとして構成され、個々の凹所４２，４２′，４
２″…により凹版のパターンが生ぜしめられる。ノズル
３６から出る分離媒体蒸気は、チャンバ３９に充満する
ので、チャンバ３９に向って開いている凹所４２，４
２′…にも充満する。パターン保持体５８は矢印方向に
ステップ式に継続回転できるので、遮蔽部材４３，４４
により過剰な蒸気が阻止される。言いかえると、凹所内
に集められない蒸気は、フォイル・ウエブの方向へ放出
される。

【００１７】フォイル・ウエブ５０は、パターン保持体
５８に対し間隔ｂを隔てて走行する一方、パターン保持
体５８は一定位置に静止しているので、調節可能の遮蔽
部材４３，４４と、遮蔽部材開口ａの区域に向けられる
凹所４２との間で、幅ないし湿潤度に多少の差はあれ湿
潤媒体の蒸着されたストリップがウエブ５０上に残され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウエブ・コーティング装置の一部分の平面図
で、巻取り装置が装着過程時に中空シリンダとして構成
されたコーティング・チャンバから送出された状態を示
した図。この場合、図２に示されている変向ローラ及び
張りローラのうちの向個かが、見易くするために省略さ
れている。

【図２】図１のＡ−Ｂ線に沿って切断して示した側断面
図。

【図３】分離媒体によりフォイル・ウエブを湿潤化する
ためのパターン保持体を切断して示した斜視図。

【図４】図１の分離媒体蒸発器及びパターン保持体の拡
大側面図。

【符号の説明】

３，４ プレート ５，７，８，１０，１４，１７ 変向ローラ ６ 張りローラ ９，１５ 伸しローラ １１，１６ テンション測定ローラ １２ テンションローラ １３ 測定ローラ １８ コーティングローラ １９ 蒸発源 ２０ アルミニウム・ワイヤリール ２１ 蒸発容器 ２２ テレビカメラ ２３ ワイヤ案内 ２４，２５ 走行レール ２６，２７ キャスタ ２８ コーティング・チャンバ ２９ 巻取り装置 ３０ ふた ３１ 端面 ３２ 中空シリンダ ３４ 蒸発器 ３５ 巻き体 ３５′ 巻上げローラ ３６ ノズル ３７′ 繰出しローラ ４０，４１，４１′ ケーシング壁 ４２，４２′，４２″ 凹所 ４３，４４ 遮蔽部材 ４５ チャンバ ５０ フォイル・ウエブ ５２ 支持架台 ５８ パターン保持体

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 次に行われるコーティングを阻止する媒
   体を用いてサブストレート（５０）を部分的にコーティ
   ングし、次いで少なくとも１つの機能層をコーディング
   して、サブストレート（５０）上にパターンを形成する
   方法であって、形成されるべきパターンに従ってパター
   ン保持体（５８）に凹所であるパターンを設け、このパ
   ターン保持体（５８）における前記凹所（４２，４
   ２′，４２″）の空間的分配を、サブストレート（５
   ０）におけるコーティングを阻止する表面区域に合致さ
   せ、前記凹所（４２，４２′，４２″…）にコーティン
   グを阻止する媒体の蒸気を充填しておく形式のものにお
   いて、回転可能な前記パターン保持体（５８）を、周期
   的な中断を伴って運動させる一方、サブストレートを連
   続的に前記パターン保持体（５８）のところを通過さ
   せ、そのさい皿状の前記凹所の開放側がサブストレート
   表面に向くようにし、それによって前記凹所内に含まれ
   ている蒸気がサブストレート（５０）上に凝縮するよう
   にし、この蒸気の少なくとも一部が凝縮したあとで、サ
   ブストレート（５０）に少なくとも１つの機能層を形成
   することを特徴とする、サブストレート上にパターンを
   形成する方法。
2. 【請求項２】 真空内でコーティングされるフォイル・
   ウエブ（５０）において、金属を有さないストライプを
   形成する装置であって、ケーシング（３２）と、このケ
   ーシング（３２）を圧力密に閉じるふた（３０）と、回
   転可能に支承された変向及び張りローラ（５〜１０ない
   し１１〜１７，３３）、少なくとも１つのコーティング
   ローラ（１８）、巻上げローラ（３５′）及び、繰出し
   ローラ（３７′）を備えた巻取り装置（２９）と、ケー
   シング（３２）内に保持されたコーティング源（１９）
   と、分離媒体を受容しかつ蒸発させる蒸発器（３４）
   と、蒸発器（３４）から蒸発した分離媒体を放出させる
   少なくとも１つの放出ノズル（３６）とを有し、コーテ
   ィングローラ（１８）には凹所パターン（５３）を有す
   るパターン保持体（５８）が前置されており、前記放出
   ノズル（３６）が前記パターン保持体（５８）に向けら
   れている形式のものにおいて、前記パターン保持体（５
   ８）が周期的な中断を伴って運動可能であるのに対し、
   サブストレート（５０）が連続的に前記パターン保持体
   （５８）のところを通過可能であり、 蒸発した前記分離
   媒体を前記凹所パターン（５３）内に閉じ込め、余分な
   分離媒体蒸気を前記蒸発器（３４）が配置されている別
   個のチャンバ内（３９）に保つかもしくは調量して前記
   サブストレート（５０）の上へ流す掻取り条片又は遮断
   部材（４３，４４）が備えられていることを特徴とす
   る、金属を有さないストライプを形成する装置。
3. 【請求項３】 前記放出ノズル（３６）がスリット又は
   穴列として構成されており、この放出ノズル（３６）か
   ら放出される分離媒体蒸気が一方では前記遮蔽部材（４
   ３，４４）により制限されかつ他方では前記チャンバ
   （３９）のチャンバ壁により制限されたチャンバ（３
   ９）内に流入するようになっており、前記パターン保持
   体（５８）が前記チャンバ（３９）の開口（ａ）との間
   に狭い間隙を形成し、該チャンバ（３９）には隣接する
   空間よりも高い圧力が与えられている、請求項２記載の
   装置。
4. 【請求項４】 前記遮蔽部材（４３，４４）が、弾性的
   な部材、例えばばね（４６，５４）又は磁石で前記チャ
   ンバ（３９）のチャンバ壁（４０）に押し付けられてい
   るが、前記チャンバ（３９）の開口（ａ）に向っては可
   動に保持されている、請求項２又は３記載の装置。
5. 【請求項５】 フォイル・ウエブ（５０）が前記遮蔽部
   材（４３，４４）により制限された間隙（ａ）を前記パ
   ターン保持体（５８）に対して小さな間隔（ｂ）をおい
   て通過する、請求項２から４までのいずれか１項記載の
   装置。