JP2000282221A - 真空蒸着方法 - Google Patents
真空蒸着方法Info
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- JP2000282221A JP2000282221A JP11085836A JP8583699A JP2000282221A JP 2000282221 A JP2000282221 A JP 2000282221A JP 11085836 A JP11085836 A JP 11085836A JP 8583699 A JP8583699 A JP 8583699A JP 2000282221 A JP2000282221 A JP 2000282221A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスキングテープによって所定部を遮蔽する
ことにより非蒸着部を付与しつつ、蒸着基材に金属膜を
蒸着形成するテープマスク方式による真空蒸着方法にお
いて、テープへの金属堆積に伴う問題が発生した。 【解決手段】 オイル蒸発器に予備タンクからフレッシ
ュオイルを必要量供給し、オイル蒸発器と排出タンクの
間にオイル排出機構を加え、必要供給量と同量もしくは
供給量より多いオイルを排出することにより、オイル蒸
発器内のオイルの分子量分布を長さ方向に維持し、蒸着
物を堆積させない効果が３００００ｍ全長にわたり持続
することができる。尚、オイルの好適な範囲の分子量部
分を利用し蒸着基材の所定部を遮蔽しつつ真空蒸着を行
うオイルマスキング方式でも、オイルの平均分子量を長
さ方向に維持すると、フィルム上に突発的に発生する過
剰な残留オイル箇所を撲滅できる。
ことにより非蒸着部を付与しつつ、蒸着基材に金属膜を
蒸着形成するテープマスク方式による真空蒸着方法にお
いて、テープへの金属堆積に伴う問題が発生した。 【解決手段】 オイル蒸発器に予備タンクからフレッシ
ュオイルを必要量供給し、オイル蒸発器と排出タンクの
間にオイル排出機構を加え、必要供給量と同量もしくは
供給量より多いオイルを排出することにより、オイル蒸
発器内のオイルの分子量分布を長さ方向に維持し、蒸着
物を堆積させない効果が３００００ｍ全長にわたり持続
することができる。尚、オイルの好適な範囲の分子量部
分を利用し蒸着基材の所定部を遮蔽しつつ真空蒸着を行
うオイルマスキング方式でも、オイルの平均分子量を長
さ方向に維持すると、フィルム上に突発的に発生する過
剰な残留オイル箇所を撲滅できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスキングテープ
あるいはオイル塗布膜によって所定部を遮蔽することに
より非蒸着部を付与しつつ、蒸着基材に金属または金属
酸化物等の膜を蒸着形成する真空蒸着方法に関する。
あるいはオイル塗布膜によって所定部を遮蔽することに
より非蒸着部を付与しつつ、蒸着基材に金属または金属
酸化物等の膜を蒸着形成する真空蒸着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラスチックフィルム、ガラスシート等
の蒸着基材上に非蒸着部を残して、即ちパターン状に金
属、または金属酸化物等を形成する真空蒸着法が広く行
われている。これにより、装飾用あるいは電気用等の各
種蒸着製品が製造されている。
の蒸着基材上に非蒸着部を残して、即ちパターン状に金
属、または金属酸化物等を形成する真空蒸着法が広く行
われている。これにより、装飾用あるいは電気用等の各
種蒸着製品が製造されている。
【０００３】蒸着製品の代表例として、コンデンサ用フ
ィルムが挙げられる。パターン状の蒸着膜を蒸着基材上
に形成し、且つ同時にマージン部（非蒸着部分）を形成
する。マージン部の形成方法としては、テープまたはオ
イル塗布膜をマスキング材に利用する方法が広く知られ
ている。
ィルムが挙げられる。パターン状の蒸着膜を蒸着基材上
に形成し、且つ同時にマージン部（非蒸着部分）を形成
する。マージン部の形成方法としては、テープまたはオ
イル塗布膜をマスキング材に利用する方法が広く知られ
ている。
【０００４】エンドレステープをマスキング材として利
用するテープマスキング方式の場合、蒸着物質蒸気に繰
り返し曝されるために、マスキングテープに蒸着物質が
堆積し、それがある厚みになると剥離離脱する。離脱し
た蒸着物質は場合によっては蒸発源の上に落下して再蒸
発し、完全に蒸発気化できなかった蒸着物質が蒸着基材
に達し、ピンホール状に蒸着基材を貫通する。またはマ
スキングテープと蒸着物質との付着が強力であり、テー
プの繰り返し利用が困難で、一作業毎にテープの交換が
必要である等の不具合を解決するために、マスキングテ
ープに蒸着物質を堆積させない方法としてマスキングテ
ープに蒸着防止用オイルを噴霧、または直接転写により
塗布する方法が採用されている。
用するテープマスキング方式の場合、蒸着物質蒸気に繰
り返し曝されるために、マスキングテープに蒸着物質が
堆積し、それがある厚みになると剥離離脱する。離脱し
た蒸着物質は場合によっては蒸発源の上に落下して再蒸
発し、完全に蒸発気化できなかった蒸着物質が蒸着基材
に達し、ピンホール状に蒸着基材を貫通する。またはマ
スキングテープと蒸着物質との付着が強力であり、テー
プの繰り返し利用が困難で、一作業毎にテープの交換が
必要である等の不具合を解決するために、マスキングテ
ープに蒸着物質を堆積させない方法としてマスキングテ
ープに蒸着防止用オイルを噴霧、または直接転写により
塗布する方法が採用されている。
【０００５】また、オイル塗布膜をマスキング材として
利用するオイルマスキング方式の場合、フィルム上にオ
イルが残留する可能性はあるが、コンデンサの電気特性
において影響の出ない残留オイル量に制限し、且つマー
ジンの形成を安定させる非常に煩雑な製造条件によって
採用されている。
利用するオイルマスキング方式の場合、フィルム上にオ
イルが残留する可能性はあるが、コンデンサの電気特性
において影響の出ない残留オイル量に制限し、且つマー
ジンの形成を安定させる非常に煩雑な製造条件によって
採用されている。
【０００６】しかしながら、以下に示すいくつかの欠点
を有している。
を有している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】マスキングテープの面
に蒸着防止用オイルを噴霧、または直接転写により塗布
ることにより、マスキングテープに蒸着物を堆積させな
い方法の場合、蒸着防止用オイルには塗布に好適な分子
量の範囲があるために、ある好適な範囲の分子量部分の
オイルをマスキングテープへ塗布しなければならない。
に蒸着防止用オイルを噴霧、または直接転写により塗布
ることにより、マスキングテープに蒸着物を堆積させな
い方法の場合、蒸着防止用オイルには塗布に好適な分子
量の範囲があるために、ある好適な範囲の分子量部分の
オイルをマスキングテープへ塗布しなければならない。
【０００８】しかし、オイルを蒸発器で蒸発させる場合
は塗布に好適な範囲の分子量部分のオイルから先に蒸発
し、塗布に好適でない範囲の分子量部分のオイルはオイ
ル蒸発器内に残留するために、オイル蒸発器内に塗布に
好適な範囲の分子量部分のオイルを維持することが困難
であり、従来の方法では蒸着物を堆積させない効果は９
０００ｍまでであり、それ以上の長さでは効果が無いた
めにマスキングテープに蒸着物が堆積する課題があっ
た。
は塗布に好適な範囲の分子量部分のオイルから先に蒸発
し、塗布に好適でない範囲の分子量部分のオイルはオイ
ル蒸発器内に残留するために、オイル蒸発器内に塗布に
好適な範囲の分子量部分のオイルを維持することが困難
であり、従来の方法では蒸着物を堆積させない効果は９
０００ｍまでであり、それ以上の長さでは効果が無いた
めにマスキングテープに蒸着物が堆積する課題があっ
た。
【０００９】また、オイル塗布膜をマスキング材として
利用するオイルマスキング方式の場合も同様で、フィル
ムへ塗布するオイルには塗布に好適な分子量の範囲があ
り、塗布に好適でない分子量の範囲のオイルはオイル蒸
発器内に残留するため、オイル蒸発器内に好適な範囲の
分子量分布を維持することが困難であり、従来の方法で
はマージン部分に突発的に過剰な残留箇所が発生し、コ
ンデンサの電気特性に影響を与えていた。
利用するオイルマスキング方式の場合も同様で、フィル
ムへ塗布するオイルには塗布に好適な分子量の範囲があ
り、塗布に好適でない分子量の範囲のオイルはオイル蒸
発器内に残留するため、オイル蒸発器内に好適な範囲の
分子量分布を維持することが困難であり、従来の方法で
はマージン部分に突発的に過剰な残留箇所が発生し、コ
ンデンサの電気特性に影響を与えていた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、非蒸着部分を
パターン状に形成させるオイルマスキング方法、または
マスキングテープに蒸着防止用オイルを噴霧、または直
接転写により塗布する方法において、オイル蒸発器内の
オイルの好適な範囲の分子量部分を長さ方向に維持し、
上記課題を解決した真空蒸着方法で、従来のマスキング
テープに蒸着物を堆積させない効果を３００００ｍ全長
にわたって持続可能とするものである。
パターン状に形成させるオイルマスキング方法、または
マスキングテープに蒸着防止用オイルを噴霧、または直
接転写により塗布する方法において、オイル蒸発器内の
オイルの好適な範囲の分子量部分を長さ方向に維持し、
上記課題を解決した真空蒸着方法で、従来のマスキング
テープに蒸着物を堆積させない効果を３００００ｍ全長
にわたって持続可能とするものである。
【００１１】なお、オイルマスキング方法の場合も、オ
イル蒸発器内のオイルの好適な範囲の分子量部分を長さ
方向に維持することで、マージン部分に突発的に発生す
る過剰な残留オイル箇所を撲滅するものである。
イル蒸発器内のオイルの好適な範囲の分子量部分を長さ
方向に維持することで、マージン部分に突発的に発生す
る過剰な残留オイル箇所を撲滅するものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の真空蒸着方法は、走行す
る蒸着基材の所定部をマスキングにより遮蔽することに
より非蒸着部を付与しつつ、蒸着基材に金属または金属
酸化物等の膜を蒸着形成するオイルマスキング方式、あ
るいはマスキングテープの面に蒸着防止用オイルを噴霧
または直接転写により塗布する方法において、オイル蒸
発器内のオイルの好適な範囲の分子量部分を長さ方向に
維持し、オイルの分子量が高分子側にシフトしない範囲
にあることを特徴とするものである。
る蒸着基材の所定部をマスキングにより遮蔽することに
より非蒸着部を付与しつつ、蒸着基材に金属または金属
酸化物等の膜を蒸着形成するオイルマスキング方式、あ
るいはマスキングテープの面に蒸着防止用オイルを噴霧
または直接転写により塗布する方法において、オイル蒸
発器内のオイルの好適な範囲の分子量部分を長さ方向に
維持し、オイルの分子量が高分子側にシフトしない範囲
にあることを特徴とするものである。
【００１３】また、オイル蒸発器内の好適な範囲の分子
量部分のオイルを長さ方向に維持し、オイルの分子量が
高分子側にシフトしない範囲にするために、予備タンク
からフレッシュオイルを必要量供給し、オイル蒸発器と
排出タンクの間にオイル排出機構を加え、供給量と同量
もしくは供給量よりも多くのオイルを排出することを特
徴とするものである。
量部分のオイルを長さ方向に維持し、オイルの分子量が
高分子側にシフトしない範囲にするために、予備タンク
からフレッシュオイルを必要量供給し、オイル蒸発器と
排出タンクの間にオイル排出機構を加え、供給量と同量
もしくは供給量よりも多くのオイルを排出することを特
徴とするものである。
【００１４】蒸着防止用オイルとしては流動パラフィン
の分子量１９４から５６２の範囲のオイルがあり、この
オイルを蒸発器で蒸発させる場合、低分子部分から先に
蒸発しマスキングテープに付着する傾向があり、塗布に
好適な範囲の分子量部分（１９４から３９２）のオイル
がマスキングテープに付着することで蒸着物質を遮蔽す
る効果が得られる。しかし、塗布に好適でない高分子部
分（３９２より高分子側）のオイルは、マスキングテー
プに付着する蒸着物質を遮蔽する効果が得られない。更
に、塗布に好適でない高分子部分のオイルは、オイル蒸
発器内に残留し突発的な蒸発を起こす傾向にあることを
確認している。従って、フレッシュオイルを必要量供給
し、オイル蒸発器と排出タンクの間にオイル排出機構を
加え供給量と同量を排出することにより、蒸着物質を遮
蔽する効果のある好適な範囲の分子量部分（１９4から
３９２）のオイルを長さ方向に維持することが容易に実
現できる。
の分子量１９４から５６２の範囲のオイルがあり、この
オイルを蒸発器で蒸発させる場合、低分子部分から先に
蒸発しマスキングテープに付着する傾向があり、塗布に
好適な範囲の分子量部分（１９４から３９２）のオイル
がマスキングテープに付着することで蒸着物質を遮蔽す
る効果が得られる。しかし、塗布に好適でない高分子部
分（３９２より高分子側）のオイルは、マスキングテー
プに付着する蒸着物質を遮蔽する効果が得られない。更
に、塗布に好適でない高分子部分のオイルは、オイル蒸
発器内に残留し突発的な蒸発を起こす傾向にあることを
確認している。従って、フレッシュオイルを必要量供給
し、オイル蒸発器と排出タンクの間にオイル排出機構を
加え供給量と同量を排出することにより、蒸着物質を遮
蔽する効果のある好適な範囲の分子量部分（１９4から
３９２）のオイルを長さ方向に維持することが容易に実
現できる。
【００１５】
【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。
【００１６】（実施例１）図１に示したような半連続式
真空蒸着装置を用い、ポリプロピレン（ＰＰ）フィルム
（厚み５μm、幅６７０mm、長さ３００００m）の片面に
Ａｌの蒸着を行った。マスキングテープ７（エンドレス
テープ）には、フッ素樹脂加工の施していない安価なポ
リイミドテープ（厚み１２５μm）を使用し、幅５mmを
２７mm間隔で２４本使用した。オイル蒸発器８は、パイ
プの中に棒状ヒーターを配置しておりこの中に流動パラ
フィンを充填する。（開口部８aは縦６mm、横３mmで２
７mm間隔で２４本）その際、オイル蒸発器全体の容量は
５００ccであるが２５０ccのオイルを充填した。また、
オイル蒸発器の油面と同レベルの位置まで流動パラフィ
ンを充填した補助タンク１２は、オイル蒸発器の側部に
設置しオイル蒸発器とはシリコンホースで配管されてい
る。更に、オイル蒸発器の底部にはシリコンホースを介
し電気開閉式の弁１３を設置し、流動パラフィンを充填
した予備タンク１０と、補助タンクの間にある電気式開
閉弁１１とを同時に開閉する。オイル温度を１６０℃に
加熱し、オイルをマスキングテープに噴霧開始から３秒
後に蒸発源５より蒸着を開始した。蒸着開始から１０分
後に、電気開閉式の弁１１及び１３を同時に開き５ccを
１秒間隔に１０回、トータル５０ccを補給、排出する。
更に、１０分間隔で４回同様の補給、排出を繰り返し、
トータル２５０ccを補給、排出を行った。
真空蒸着装置を用い、ポリプロピレン（ＰＰ）フィルム
（厚み５μm、幅６７０mm、長さ３００００m）の片面に
Ａｌの蒸着を行った。マスキングテープ７（エンドレス
テープ）には、フッ素樹脂加工の施していない安価なポ
リイミドテープ（厚み１２５μm）を使用し、幅５mmを
２７mm間隔で２４本使用した。オイル蒸発器８は、パイ
プの中に棒状ヒーターを配置しておりこの中に流動パラ
フィンを充填する。（開口部８aは縦６mm、横３mmで２
７mm間隔で２４本）その際、オイル蒸発器全体の容量は
５００ccであるが２５０ccのオイルを充填した。また、
オイル蒸発器の油面と同レベルの位置まで流動パラフィ
ンを充填した補助タンク１２は、オイル蒸発器の側部に
設置しオイル蒸発器とはシリコンホースで配管されてい
る。更に、オイル蒸発器の底部にはシリコンホースを介
し電気開閉式の弁１３を設置し、流動パラフィンを充填
した予備タンク１０と、補助タンクの間にある電気式開
閉弁１１とを同時に開閉する。オイル温度を１６０℃に
加熱し、オイルをマスキングテープに噴霧開始から３秒
後に蒸発源５より蒸着を開始した。蒸着開始から１０分
後に、電気開閉式の弁１１及び１３を同時に開き５ccを
１秒間隔に１０回、トータル５０ccを補給、排出する。
更に、１０分間隔で４回同様の補給、排出を繰り返し、
トータル２５０ccを補給、排出を行った。
【００１７】蒸着膜抵抗値は、２±０．５Ω／□（Ω／
ｃｍ2）とした。ＰＰの巻き取り速度は、４８０m／ｍｉ
ｎとした。図４に示すように、従来のフレッシュオイル
の供給、蒸発器内オイルの排出を行わない場合には、９
０００ｍからＡｌが堆積し始め、３００００ｍ蒸着後の
マスキングテープのＡｌ堆積量は２００μｍであった。
また、マスキングテープにオイルを塗布しない場合に
は、蒸着開始後直ぐにＡｌが堆積し、３００００ｍ蒸着
後は３００μｍであった。
ｃｍ2）とした。ＰＰの巻き取り速度は、４８０m／ｍｉ
ｎとした。図４に示すように、従来のフレッシュオイル
の供給、蒸発器内オイルの排出を行わない場合には、９
０００ｍからＡｌが堆積し始め、３００００ｍ蒸着後の
マスキングテープのＡｌ堆積量は２００μｍであった。
また、マスキングテープにオイルを塗布しない場合に
は、蒸着開始後直ぐにＡｌが堆積し、３００００ｍ蒸着
後は３００μｍであった。
【００１８】図５には蒸着長さ方向でのオイルの分子量
分布を示しており、フレッシュオイルの供給、蒸発器内
オイルの排出を行わない場合には、９０００ｍ以降で１
９4から３９２の範囲の分子量部分が減少し、逆に３９
２より高分子側の範囲の分子量部分が増加している。し
かし、フレッシュオイルの供給、蒸発器内オイルの排出
を行った場合は３００００ｍ全長にわたって１９4から
３９２の範囲の分子量部分は減少していない。
分布を示しており、フレッシュオイルの供給、蒸発器内
オイルの排出を行わない場合には、９０００ｍ以降で１
９4から３９２の範囲の分子量部分が減少し、逆に３９
２より高分子側の範囲の分子量部分が増加している。し
かし、フレッシュオイルの供給、蒸発器内オイルの排出
を行った場合は３００００ｍ全長にわたって１９4から
３９２の範囲の分子量部分は減少していない。
【００１９】従って、１９4から３９２の範囲の分子量
部分のオイルがＡｌの堆積を抑制しており、フレッシュ
オイルの供給、蒸発器内オイルの排出を行わない場合に
は、オイル塗布によりＡｌを堆積させない効果は９００
０ｍまでであり、それ以降はＡｌが堆積し始めることを
確認した。
部分のオイルがＡｌの堆積を抑制しており、フレッシュ
オイルの供給、蒸発器内オイルの排出を行わない場合に
は、オイル塗布によりＡｌを堆積させない効果は９００
０ｍまでであり、それ以降はＡｌが堆積し始めることを
確認した。
【００２０】これに対し、本実施例の如くオイル蒸発器
へ予備タンクからフレッシュオイルを必要量供給し、オ
イル蒸発器から供給量と同量のオイルを排出させた場合
は、１９4から３９２の範囲の分子量部分のオイルを３
００００ｍ全長にわたって維持することができ、Ａｌを
堆積させない効果を持続することが可能となった。
へ予備タンクからフレッシュオイルを必要量供給し、オ
イル蒸発器から供給量と同量のオイルを排出させた場合
は、１９4から３９２の範囲の分子量部分のオイルを３
００００ｍ全長にわたって維持することができ、Ａｌを
堆積させない効果を持続することが可能となった。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、テープマスキング方式に
よって非蒸着部を付与しつつ真空蒸着を行うに際して、
マスキングテープの蒸着物質に曝される面に蒸着防止用
オイルを噴霧あるいは塗布する方法において、オイル蒸
発器へ予備タンクからフレッシュオイルを必要量供給
し、オイル蒸発器から供給量と同量のオイルを排出する
ことにより、オイル蒸発器内の塗布に好適な範囲の分子
量部分を長さ方向に維持することで３００００ｍ全長に
わたってＡｌを堆積させない効果を持続することが可能
となり、蒸着の長尺化が図れ生産性が顕著に向上する。
よって非蒸着部を付与しつつ真空蒸着を行うに際して、
マスキングテープの蒸着物質に曝される面に蒸着防止用
オイルを噴霧あるいは塗布する方法において、オイル蒸
発器へ予備タンクからフレッシュオイルを必要量供給
し、オイル蒸発器から供給量と同量のオイルを排出する
ことにより、オイル蒸発器内の塗布に好適な範囲の分子
量部分を長さ方向に維持することで３００００ｍ全長に
わたってＡｌを堆積させない効果を持続することが可能
となり、蒸着の長尺化が図れ生産性が顕著に向上する。
【００２２】なお、本発明の効果はマスキングテープ方
式に限られたものではなく、蒸着防止用としてオイルの
好適な範囲の分子量部分を利用し、蒸着基材の所定部を
遮蔽しつつ真空蒸着を行うオイルマスキング方式の際に
も同様の効果があり、突発的に発生する過剰な残留オイ
ル箇所を撲滅できた。
式に限られたものではなく、蒸着防止用としてオイルの
好適な範囲の分子量部分を利用し、蒸着基材の所定部を
遮蔽しつつ真空蒸着を行うオイルマスキング方式の際に
も同様の効果があり、突発的に発生する過剰な残留オイ
ル箇所を撲滅できた。
【００２３】なお、本発明の方法は蒸着物質に導体を用
いる場合には、コンデンサ用金属化フィルム、透明電極
板等の電機部品の製造に顕著な効果が得られるほか、装
飾材料、包装材料、フィルター等のパターン化蒸着膜を
必要とする製品の製造にも好適である。
いる場合には、コンデンサ用金属化フィルム、透明電極
板等の電機部品の製造に顕著な効果が得られるほか、装
飾材料、包装材料、フィルター等のパターン化蒸着膜を
必要とする製品の製造にも好適である。
【図１】テープマスキング方式真空蒸着のコンデンサ用
金属化フィルムの半連続式製造装置内部正面図
金属化フィルムの半連続式製造装置内部正面図
【図２】図１の装置によって得られるコンデンサ用金属
化フィルムの部分平面図
化フィルムの部分平面図
【図３】好ましいオイル塗布装置の一例として噴霧塗布
ノズル及びオイル供給排出装置の斜視図
ノズル及びオイル供給排出装置の斜視図
【図４】蒸着長さ方向でのＡｌ付着量を示すグラフ
【図５】蒸着長さ方向でのオイルの分子量分布を示すグ
ラフ
ラフ
１ 反フィルムロール ２ 引き出されたフィルム ３ 冷却キャン ４ 巻き取りロール ５ 蒸発源 ６ テープのガイドロール ７ マスキングロール ８ オイル蒸発器 ８a スリット開口部 ９ 蒸着されたフィルム １０ 予備タンク １１ 電気開閉式弁 １２ 補助タンク １３ 電気開閉式弁 １４ 排出タンク １５ 蒸着部 １６ 非蒸着部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 錦織 由朋 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 森脇 通泰 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 石田 賢治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 AA25 BB03 HA03 5E082 BC40 EE07 EE17 EE24 EE37 FG35 MM11 PP03
Claims (4)
- 【請求項１】 走行する蒸着基材の所定部をマスキング
テープあるいはオイル塗布膜により遮蔽しつつ真空蒸着
を行うに際して、マスキングテープを蒸着基材と接触さ
せつつ蒸着基材とともに走行させ、真空蒸着室内の蒸着
開始位置より上流の位置で蒸着物質蒸気に曝されるマス
キングテープの面に蒸着防止用オイルを噴霧または直接
転写により塗布、あるいはオイル塗布膜により非蒸着部
分を付与することからなり、且つ蒸着防止用オイルの分
子量分布を長さ方向に維持することを特徴とする真空蒸
着方法。 - 【請求項２】 蒸着防止用オイルとして使用する流動パ
ラフィンの１９４から３９２の範囲の分子量部分がオイ
ル全体の１０％以上有る請求項１に記載の真空蒸着方
法。 - 【請求項３】 蒸着膜が導体である請求項１または２に
記載の真空蒸着方法。 - 【請求項４】 マスキングテープの面に蒸着防止用オイ
ルを噴霧または直接転写する、あるいはオイル塗布膜に
より非蒸着部分を付与する場合、予備タンクからフレッ
シュオイルを必要量供給し、オイル蒸発器と排出タンク
の間にオイル排出機構を加えることを特徴とする請求項
１または２に記載の真空蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11085836A JP2000282221A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11085836A JP2000282221A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 真空蒸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000282221A true JP2000282221A (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=13869955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11085836A Pending JP2000282221A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000282221A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012011478A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 微小構造体及び微細パターンの形成方法 |
| WO2012077453A1 (ja) | 2010-12-06 | 2012-06-14 | 興亜硝子株式会社 | 装飾ガラス容器および装飾ガラス容器の製造方法 |
| CN103708738A (zh) * | 2013-12-30 | 2014-04-09 | 陈湛玲 | 一种在家用玻璃器皿上进行彩色镀膜的方法 |
| RU180391U1 (ru) * | 2017-12-18 | 2018-06-09 | Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО "ГИПО") | Испаритель для нанесения покрытий в вакууме |
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1999
- 1999-03-29 JP JP11085836A patent/JP2000282221A/ja active Pending
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