CN216688295U - 一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架，竖直安装在真空腔室的内，在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，分别安装在所述蒸镀架的两侧，用于对蒸镀的薄膜进行转向，使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀，本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜，通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量。

Description

一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体涉及一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机。

背景技术

蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有技术中，辊等走膜组件全部安装在真空壁上，如果想要调整走膜过程中薄膜在各个走膜组件之间的张力，或者需要更换配件时，需要工作人员爬上真空腔体壁，既不便于操作，而且有一定危险性。

基于此，本实用新型设计了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，以解决上述问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，以解决现有技术便于调整走膜过程中各个走膜组件之间薄膜的张力，以及易于更换配件的技术问题。

为达上述目的，本实用新型提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，所述双面薄膜蒸镀机设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，

所述蒸镀机构包括：

蒸镀架，沿竖直方向安装在所述真空腔室的内部；以及在所述蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在所述放卷部和所述收卷部之间设置有多个蒸镀源；

所述转向机构包括：多个转向辊，分别位于所述蒸镀架的两侧。

在一些可能的实施方式中，所述多个转向辊包括：

第一转向辊和第二转向辊，位于所述蒸镀架的第一侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；

第三转向辊和第四转向辊，位于所述蒸镀架的第二侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；

所述多个蒸镀源包括：

第一蒸镀源和第二蒸镀源，分别与所述蒸镀架上下移动的连接，且在竖直方向上的高度依次递增。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊和所述第四转向辊的两端设置有旋转接头，通过两端的旋转接头分别与所述真空腔室的侧壁转动连接。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊的顶部切面和所述第三转向辊的底部切面在同一水平面上；

所述第二转向辊的底部切面和所述第四转向辊的顶部切面在同一个水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述真空腔室底部设置有可移动机构，所述可移动机构位于所述蒸镀架两侧的多个转向辊之间，所述蒸镀架通过所述可移动机构与真空腔室底部连接。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊和所述第四转向辊的表面为隔热层，所述第一转向辊、所述第三转向辊、所述第四转向辊和所述第二转向辊在竖直方向的高度依次递增，且所述第三转向辊与所述蒸镀架之间的横向距离不等于所述第四转向辊与所述蒸镀架之间的横向距离。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀架为内部中空的圆柱体或长方体，在所述内部中空的圆柱体或长方体内设置有电源；

所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源包括本体，所述本体内部设置有热源，所述热源与所述电源电连接，通过控制所述电源的通断来启动或者关闭所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀架设置有多个安装座，所述安装座包括轴承座和轴承，所述轴承竖直安装在所述轴承座上，所述放卷部、所述收卷部、通过所述安装座与所述蒸镀架可拆卸地转动连接。

在一些可能的实施方式中，所述放卷部、所述收卷部分别包括卷芯和气涨轴，所述卷芯设置于所述气涨轴的内部，所述气涨轴与所述蒸镀架可拆卸地转动连接。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊与第三转向辊之间的横向距离为50～100cm，所述第二转向辊与所述第四转向辊之间的横向距离为50～100cm。

上述技术方案的有益效果如下：

本实用新型实施例提供的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机构，设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架，竖直安装在真空腔室的内，在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，分别安装在所述蒸镀架的两侧，用于对蒸镀的薄膜进行转向，使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀，本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜，通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量，而且便于更换配件。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种高空间利用率的薄膜蒸镀机的主视图；

图2是本实用新型实施例提供的一种蒸镀架及其安装部件的主视图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种高空间利用率的薄膜蒸镀机的主视图；

图4是本实用新型实施例提供的另一种高空间利用率的薄膜蒸镀机的主视图；

图5是本实用新型实施例提供的一种双面薄膜蒸镀方法流程图。

附图标号说明：

10、蒸镀架；11、放卷部；12、收卷部；13、第一蒸镀源；14、第二蒸镀源；21、第一转向辊；22、第二转向辊；23、第三转向辊；24、第四转向辊。

具体实施方式

下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

实施例一

如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，该双面薄膜蒸镀机设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架10，竖直安装在真空腔室内部，在蒸镀架10延伸的方向上从下至上的依次设置有放卷部11和收卷部12，在放卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，设置于蒸镀架10的两侧，用于对薄膜进行转向，使得薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀；需要说明的是，蒸镀源的数量和转向辊的数量可以根据实际需要任意设置，本申请提供的双面薄膜蒸镀机，可以通过调节蒸镀架10的位置，调整走膜过程中各个转向辊之间的薄膜的张力提高薄膜蒸镀质量。

在一些实施例中，转向机构包括第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24，其中，第一转向辊21和第二转向辊22安装于真空腔室的内壁上，且位于蒸镀架10的第一侧，第三转向辊23和第四转向辊24，安装于真空腔室的内壁上，且位于蒸镀架10的第二侧，即蒸镀架10的左右两侧；多个蒸镀源包括第一蒸镀源13和第二蒸镀源14，第一蒸镀源13和第二蒸镀源14分别位于放卷部和收卷部之间，与蒸镀架10可上下移动的连接，例如，在蒸镀架的竖直方向上设置有多个凹槽，每个凹槽内设置有滑动的轨道，在轨道上设置有与轨道配合可滑动的安装部，每个蒸镀源通过安装部与蒸镀架10连接，且第一蒸镀源13和第二蒸镀源14在竖直上的方向依次递增，通过第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24对蒸镀的薄膜进行转向，使得薄膜依次经过第一蒸镀源13和第二蒸镀源14进行双面蒸镀，通过调整第一蒸镀源13在竖直方向上的高度，来调节第一蒸镀源13和第二蒸镀源14与薄膜之间的距离，本实施例中，可以随时调节蒸镀源和薄膜之间的距离，来控制薄膜上面层积金属的厚度，从而控制成品的质量，并且避免了蒸镀源和薄膜之间的距离太近，造成薄膜被高温粒子烧穿，形成孔洞。

在一些实施例中，第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24的两端设置有旋转接头，通过两端的旋转接头分别与真空腔室的侧壁转动连接，通过旋转接头与真空腔室的侧壁转动连接，便于使用过程中的拆卸和运输。

在一些实施例中，第一转向辊21的顶部切面和第三转向辊23的底部切面在同一水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在第一蒸镀源13和第二蒸镀源14的上方成水平走带，这样能够使待蒸镀的材料均匀蒸镀在第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面上，提高了镀膜的质量。

在一些实施例中，第二转向辊22的底部切面和第四转向辊24的顶部切面在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在第三蒸镀源15和第四蒸镀源16的上方成水平走带，能够使得待蒸镀的材料均匀地蒸镀在第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面上，提高了镀膜的质量。

在一些实施例中，真空腔室底部设置有可移动机构，可移动机构位于蒸镀架10两侧的多个转向辊之间，可移动机构可以在蒸镀架10两侧的多个转向辊之间横向移动，蒸镀架10通过可移动机构与真空腔室底部可拆卸连接。本申请通过移动可移动机构，既可以调整蒸镀架10与蒸镀架10两侧的多个转向辊之间的横向距离，易于调整多个转向辊之间的薄膜段的张力，同时蒸镀架10与可移动机构可拆卸连接，如需更换蒸镀源等配件时，可以将蒸镀架10拆下后更换，不需要工作人员再爬上真空腔体壁进行更换，提高了安全性能且易于操作。

在一些实施例中，第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24的表面设置有隔热层，其可以采用耐高温材料制成，例如为绝缘橡胶层，通过在转向辊的表面设置耐高温的隔热层，可避免电镀过程中温度过高烫伤转向辊。且第一转向辊21、第三转向辊23、第四转向辊24和第二转向辊22在竖直方向的设置高度依次递增，且第三转向辊23与蒸镀架10之间的横向距离，即蒸镀架两侧的横向距离不等于第四转向辊24与蒸镀架10之间的横向距离，作为一个举例说明，如图3所示，第三转向辊23与蒸镀架10之间的横向距离L1大于第四转向辊24与蒸镀架10之间的横向距离L2，或者如图4所示，第三转向辊23与蒸镀架10之间的横向距离L1小于第四转向辊24与蒸镀架10之间的横向距离L2，这样能够使得薄膜在走带的过程中成一定的角度，便于控制薄膜的张力，避免蒸镀过程中薄膜出现褶皱或者变形。

优选的，第一转向辊21与第三转向辊23之间的横向距离为50～100cm，第二转向辊22与第四转向辊24之间的横向距离为50～100cm，在此距离内可以使得薄膜的张力很容易调节到100～120N/m，不容易使薄膜产生褶皱。上述沿第二方向的距离优选为68-70cm，可以使得薄膜褶皱率降低到最低点，同时也能提高空间利用率。

在一些实施例中，蒸镀架10可以为内部中空的圆柱体或长方体，在内部中空的圆柱体或长方体内设置有电源或者供电线路；第一蒸镀源13和第二蒸镀源14的形状不做限制，例如可以为但不限于圆柱形、正方形、梯形或长方形本体，本体内部设置有热源和镀料容纳部，该镀料容纳部用于容纳待蒸镀材料，镀料容纳部具有开口朝向其上方的待蒸镀薄膜；热源与电源或供电线路电连接，通过控制电源的通断来启动或者关闭第一蒸镀源13和第二蒸镀源14，以及控制热源的工作电流以控制调节其加热功率。通过将电源设置于内部中空的圆柱体或长方体内，即易于真空空间内部的电源线走线，且便于给各个蒸镀源提供加热电源，而且能够提高真空空间的利用率。本实施例中，蒸发源可以采用电阻加热、电子束加热、高频感应加热、电弧加热或激光加热。

在一些实施例中，相邻蒸发源之间的距离最好为60-100cm，两者之间间距不能过远，因为过远会占据过多的空间，也就是蒸镀架10的空间，并且距离较远蒸发源的蒸镀材料层积到薄膜上会需要较多时间，从而降低效率；另外，薄膜从蒸发源的上面走带时，薄膜与其下方的蒸发源之间的竖直距离最好为40-50cm，薄膜与蒸发源之间的这个距离有利于使得薄膜不易被蒸镀材料的高温烫坏。

另外，在蒸镀阶段要选择合适的基片温度、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数，沉积气压即镀膜室的真空度高低，决定了蒸镀空间气体分子运动的平均自由程度和一定蒸发距离下的蒸气与残余气体原子及蒸气原子之间的碰撞次数，本申请中，蒸镀的真空度为0.2至0.5PA。

在一些实施例中，蒸镀架10设置有多个安装座，安装座包括轴承座和轴承，轴承竖直安装在轴承座上，第一放卷部11、第二放卷部12、第一收卷部17和第二收卷部18通过多个安装座与蒸镀架10可拆卸地转动连接，便于运输和管理。

在一些实施例中，第一放卷部11、第二放卷部12、第一收卷部17和第二收卷部18分别包括卷芯和气涨轴，卷芯设置于气涨轴的内部，通过气涨轴与蒸镀架10可拆卸地转动连接，不仅方便拆卸，还利于对薄膜的放卷和收卷。

在本实施例中，各个部件的功能如下：放卷部11用于对待蒸镀的薄膜进行放卷，收卷部12用于蒸镀后的薄膜进行收卷；第一蒸镀源13用于对薄膜的第一面进行蒸镀，第二蒸镀源14用于薄膜的第二面进行蒸镀；第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24用于对蒸镀中的薄膜进行导向，第三转向辊23和第四转向辊24不仅用于对薄膜进行导向，还能够用于对薄膜的第一面蒸镀后，将薄膜转换为第二面进行蒸镀。

本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架，竖直安装在真空腔室的内，在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，分别安装在所述蒸镀架的两侧，用于对蒸镀的薄膜进行转向，使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀，本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜，通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量。

另外，蒸镀架10与真空腔室通过可移动机构可拆卸连接，通过移动可移动机构，既可以调整蒸镀架10与蒸镀架10两侧的多个转向辊之间的横向距离，易于调整多个转向辊之间的薄膜段的张力，同时蒸镀架10与可移动机构可拆卸连接，如需更换蒸镀源等配件时，可以将蒸镀架10拆下后更换，不需要工作人员再爬上真空腔体壁进行更换，提高了安全性能且易于操作。

实施例二

如图5所示，本实用新型实施例提供了一种双面薄膜蒸镀方法，该双面薄膜蒸镀方法基于上述任意一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，该双面薄膜蒸镀方法包括如下步骤：

S51，将待蒸镀的第一卷薄膜安装在放卷部11上；

S52，薄膜在第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24的导向下，依次经过第一蒸镀源13和第二蒸镀源14进行双面蒸镀；

S53，通过收卷部12对蒸镀后的薄膜进行收卷。

在一些实施例中，蒸镀方法如下：蒸镀前，首先将原膜采用等离子清洗仪进行处理，采用等离子清洗仪的目的在于提高薄膜表面的表面能，从而在后续的蒸镀过程中使得金属更加容易层积在原膜上。然后对处理后的原膜采用烘箱进行烘干，烘干的目的在于去除原膜里面的水份，水份过多会影响薄膜的层积。然后打开真空腔体，将原膜放卷到放卷部11上，然后将原膜沿着走膜方向将原膜展开，开启新型薄蒸镀机使得原膜经过多个转向辊卷绕到收卷部12上，然后关闭真空腔体，抽真空，抽真空的主要目的在于，去除真空腔体里面的氧气，待真空度达到0.2-0.5PA时后，默认抽完空气，最后加热多个蒸镀源里面的待蒸镀物质，待待蒸镀物质熔融后，开启走膜。具体的，通过第一转向辊21、第二转向辊22、第三转向辊23和第四转向辊24对薄膜进行导向，使得薄膜依次经过第一蒸镀源13和第二蒸镀源14，通过第一蒸镀源13对薄膜的第一面进行蒸镀，通过第二蒸镀源14对薄膜的第二面进行蒸镀，通过收卷部12对蒸镀后的薄膜进行收卷。

本实用新型实施例提供的薄膜蒸镀方法，可以通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量。另外，蒸镀架10与真空腔室通过可移动机构可拆卸连接，通过移动可移动机构，既可以调整蒸镀架10与蒸镀架10两侧的多个转向辊之间的横向距离，易于调整多个转向辊之间的薄膜段的张力，同时蒸镀架10与可移动机构可拆卸连接，如需更换蒸镀源等配件时，可以将蒸镀架10拆下后更换，不需要工作人员再爬上真空腔体壁进行更换，提高了安全性能且易于操作，还能在多个转向辊的导向和转向下能够同时完成薄膜的双面额多次蒸镀，极大的提高了真空空间的利用率的同时也提高了生产效率。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本实用新型实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述双面薄膜蒸镀机设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，

所述蒸镀机构包括：

蒸镀架(10)，沿竖直方向安装在所述真空腔室的内部；以及在所述蒸镀架(10)上设置有放卷部(11)和收卷部(12)，在所述放卷部(11)和所述收卷部(12)之间设置有多个蒸镀源；

所述转向机构包括：多个转向辊，分别位于所述蒸镀架(10)的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，

所述多个转向辊包括：

第一转向辊(21)和第二转向辊(22)，位于所述蒸镀架(10)的第一侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；

第三转向辊(23)和第四转向辊(24)，位于所述蒸镀架(10)的第二侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；

所述多个蒸镀源包括：

第一蒸镀源(13)和第二蒸镀源(14)，分别与所述蒸镀架(10)可上下移动的连接，且在竖直方向上的高度依次递增。

3.根据权利要求2所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述第一转向辊(21)、所述第二转向辊(22)、所述第三转向辊(23)和所述第四转向辊(24)的两端设置有旋转接头，通过两端的旋转接头分别与所述真空腔室的侧壁转动连接。

4.根据权利要求2所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述第一转向辊(21)的顶部切面和所述第三转向辊(23)的底部切面在同一水平面上；

所述第二转向辊(22)的底部切面和所述第四转向辊(24)的顶部切面在同一个水平面上。

5.根据权利要求4所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述真空腔室底部设置有可移动机构，所述可移动机构位于所述蒸镀架(10)两侧的多个转向辊之间，所述蒸镀架(10)通过所述可移动机构与真空腔室底部连接。

6.根据权利要求5所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述第一转向辊(21)、所述第二转向辊(22)、所述第三转向辊(23)和所述第四转向辊(24)的表面为隔热层，所述第一转向辊(21)、所述第三转向辊(23)、所述第四转向辊(24)和所述第二转向辊(22)在竖直方向的高度依次递增，且所述第三转向辊(23)与所述蒸镀架(10)之间的横向距离不等于所述第四转向辊(24)与所述蒸镀架(10)之间的横向距离。

7.根据权利要求6所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀架(10)为内部中空的圆柱体或长方体，在所述内部中空的圆柱体或长方体内设置有电源；

所述第一蒸镀源(13)和所述第二蒸镀源(14)包括本体，所述本体内部设置有热源，所述热源与所述电源电连接，通过控制所述电源的通断来启动或者关闭所述第一蒸镀源(13)和所述第二蒸镀源(14)。

8.根据权利要求7所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀架(10)设置有多个安装座，所述安装座包括轴承座和轴承，所述轴承竖直安装在所述轴承座上，所述放卷部(11)、所述收卷部(12)、通过所述安装座与所述蒸镀架(10)可拆卸地转动连接。

9.根据权利要求8所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，所述放卷部(11)、所述收卷部(12)分别包括卷芯和气涨轴，所述卷芯设置于所述气涨轴的内部，所述气涨轴与所述蒸镀架(10)可拆卸地转动连接。

10.根据权利要求2所述的一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，其特征在于，

所述第一转向辊(21)与第三转向辊(23)之间的横向距离为50～100cm，所述第二转向辊(22)与所述第四转向辊(24)之间的横向距离为50～100cm。

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