CN104878350A - 一种新型高效镀铝设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种新型高效镀铝设备，其目的在于解决现有真空镀铝机生产效率低，成本高，减少废品率的问题，镀铝设备包括依次相连的制冷系统、卷绕系统、真空舱体、真空泵组、配电柜以及和制冷系统连接的制冷机；卷绕系统包括卷绕小车，卷绕小车墙板上由上游至下游依次设置有放卷装置、螺纹微量展平辊、蒸发挡板、主辊、高速在线光密度检测仪、张力辊、压臂和收卷装置，蒸发挡板和主辊以及力臂上分别设有橡胶展平辊；放卷装置和螺纹微量展平辊之间、螺纹微量展平辊与蒸发挡板之间、主辊和高速在线光密度检测仪之间、张力辊和压臂之间以及压臂上橡胶展平辊的两侧分别设有镜面辊，卷绕系统通过西门子伺服电机提供动力；真空舱体内相邻坩埚间距为80mm。

Description

一种新型高效镀铝设备

技术领域

 本发明涉及镀铝设备领域，特别是涉及一种新型高效镀铝设备。

背景技术

镀铝机是在真空条件下，利用电子束加热待蒸材料，使之气化蒸发后凝结在晶片表面上成膜的设备，主要包括真空系统、蒸发系统和高压发生装置，然而目前国内现有镀铝设备普遍存在产能低，能耗高，蒸发舟间距宽，铝蒸发窗口窄的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种提高铝镀层的厚度，降低铝丝的损耗，提高了设备的运转速度的新型高效镀铝设备。

为达上述目的，本发明一种新型高效镀铝设备，其特征在于：所述镀铝设备包括依次相连的制冷系统、卷绕系统、真空舱体、真空泵组、配电柜以及和所述制冷系统连接的制冷机；

所述卷绕系统包括卷绕小车，所述卷绕小车墙板上由上游至下游依次设置有放卷装置、螺纹微量展平辊、蒸发挡板、主辊、高速在线光密度检测仪、张力辊、压臂和收卷装置，所述蒸发挡板和所述主辊以及所述力臂上分别设有橡胶展平辊；所述放卷装置和所述螺纹微量展平辊之间、所述螺纹微量展平辊与所述蒸发挡板之间、所述主辊和所述高速在线光密度检测仪之间、所述张力辊和所述压臂之间以及所述压臂上橡胶展平辊的两侧分别设有镜面辊，所述卷绕系统通过西门子伺服电机提供动力；

所述真空舱体内相邻坩埚间距为80mm。

其中所述制冷机包括一台8平方米强力低温水汽捕捉制冷机、一台4平方米强力低温水汽捕捉制冷机和一台每小时水流量2立方米循环制冷机。

其中所述真空泵组包括三台抽速每小时630立方米旋片泵、两台抽速每小时35立方米真空维持泵、五台抽速每小时20000立方米罗茨泵、两台抽速每小时4320立方米罗茨泵和.三台抽速每小时50000立方米扩散泵。

其中所述蒸发挡板上方两侧围板之间间距为400mm。

本发明与现有技术不同之处在于本发明取得了如下技术效果：

1、本发明的镀铝机将原有的蒸发舟（坩埚）距离由100mm变成80mm，此距离的缩短大大增加了镀膜的均匀度，可让均匀度提高20%；

2、镀膜窗口由原来的300mm变成400mm，增加了铝蒸汽与膜的结合窗口宽度，大大增加了镀膜的效率，减少附着在围板上的凝集铝块，相比以前的镀膜窗口，镀同样长宽的薄膜可节约铝丝20%；

3、通过减少蒸发舟（坩埚）之间的距离，增大镀膜窗口，可让总体的镀膜效率提高35%左右，经实验证实最高镀膜速度由840M/min增快到1100M/min，达到国内最快的镀膜速度，同时3300宽幅也是目前国内最宽的。

下面结合附图对本发明作进一步说明。

附图说明

图1为本发明新型高效镀铝设备的整体结构示意图；

图2为本发明新型高效镀铝设备卷绕架结构示意图；

图3为本发明新型高效镀铝设备真空舱体结构示意图；

图4为本发明新型高效镀铝设备薄膜镀铝示意图；

图5为本发明高效镀铝设备内蒸发箱结构示意图；

图6为本发明高效镀铝设备镀铝结构示意图；

图7为本发明高效镀铝设备镀铝薄膜在卷绕系统上缠卷示意图。

附图标记说明：1-卷绕系统；1-1-卷绕小车；1-2-西门子伺服电机；1-3-放卷装置；1-4-收卷装置；1-5-压臂；1-6-螺纹微量展平辊；1-7-蒸发挡板；1-8-镜面辊；1-9-橡胶展平辊；1-10-高速在线光密度检测仪；1-11-主辊；1-12-张力辊；2-真空舱体；2-1-控制台；2-2-变压器；2-3-正电极；2-4-频闪挡板；2-5-蒸发箱；2-6-送丝架；2-7-正电极挡板；2-8-长正电极；2-9-短正电极；2-10-坩埚（氮化硼）；2-11-长负电极；2-12-短负电极；2-13-负电极固定板；3-真空泵组；4-制冷系统；5-薄膜；6-第一围板；7-第二围板；8-配电柜；9-制冷机。

具体实施方式

以下结合实施例，对本发明上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。

新型高效镀铝机（见图1-6），包含卷绕系统1，真空舱体2，真空泵组3，制冷系统4，配电柜8，制冷机9；

镀膜之前，先把卷径1000的塑料薄膜5安放于放卷装置1-3上，然后将卷绕系统1开进真空舱体2，随后通过真空泵组3将真空舱体2内的空气抽出，当真空舱体2内的真空度达到2.0*10^-4mbar时，真空舱体2内蒸发箱2-5开始加热，加热到1700℃时，卷绕系统1的各辊开始运转（机器开动时，薄膜5由放卷装置1-3经过镜面辊1-8，向上经过螺纹微量展平辊1-6，再由上方镜面辊1-8途经蒸发挡板1-7上方，再通过橡胶展平辊1-9，回卷到主辊1-11，主辊1-11内部通过冷却系统4提供-130℃的低温冷却，将刚镀好的薄膜进行冷却并回卷到镜面辊1-8，续而通过高速光密度在线测厚仪1-10，上传到张力辊1-12，向下通过镜面辊1-8，再通过压臂1-5上的的橡胶展平辊1-9，下传给镜面辊1-8，传到收卷装置1-4，完成穿膜（参见图7）；

放装置卷1-3通过西门子伺服电机1-2将薄膜传送到橡胶展平辊1-9，当蒸发挡板1-7打开时，开始镀膜，镀上铝的薄膜5通过主辊1-11冷却，经过主辊1-11后，薄膜5通过在线测厚仪1-10进行实时检测薄膜5的镀铝厚度，来调节蒸发箱内坩埚（氮化硼）2-10的功率大小来调节薄膜镀铝层的厚度均匀。通过压臂1-5的展平后由收卷架1-4将镀好铝的薄膜收成卷状，当放卷1-3上的薄膜完全镀完后，停止蒸发箱的加热，随后停止真空泵组的运行，打开卷绕小车，取出镀好的薄膜，完成一个周期的生产。

以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

Claims (4)

1.一种新型高效镀铝设备，其特征在于：所述镀铝设备包括依次相连的制冷系统、卷绕系统、真空舱体、真空泵组、配电柜以及和所述制冷系统连接的制冷机；

所述卷绕系统包括卷绕小车，所述卷绕小车墙板上由上游至下游依次设置有放卷装置、螺纹微量展平辊、蒸发挡板、主辊、高速在线光密度检测仪、张力辊、压臂和收卷装置，所述蒸发挡板和所述主辊以及所述力臂上分别设有橡胶展平辊；所述放卷装置和所述螺纹微量展平辊之间、所述螺纹微量展平辊与所述蒸发挡板之间、所述主辊和所述高速在线光密度检测仪之间、所述张力辊和所述压臂之间以及所述压臂上橡胶展平辊的两侧分别设有镜面辊，所述卷绕系统通过西门子伺服电机提供动力；

所述真空舱体内相邻坩埚间距为80mm。

2.根据权利要求1所述的新型高效镀铝设备，其特征在于：所述制冷机包括一台8平方米强力低温水汽捕捉制冷机、一台4平方米强力低温水汽捕捉制冷机和一台每小时水流量2立方米循环制冷机。

3.根据权利要求1所述的新型高效镀铝设备，其特征在于：所述真空泵组包括三台抽速每小时630立方米旋片泵、两台抽速每小时35立方米真空维持泵、五台抽速每小时20000立方米罗茨泵、两台抽速每小时4320立方米罗茨泵和.三台抽速每小时50000立方米扩散泵。

4.根据权利要求1所述的新型高效镀铝设备，其特征在于：所述蒸发挡板上方两侧围板之间间距为400mm。