CN205152317U - 一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机 - Google Patents

Abstract

一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，包括加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)，其特征在于，所述离子镀膜机还包括用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作、并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴的卷绕室(1)，所述卷绕室(1)、加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)由下向上依次安装在一起。本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机集镀膜工序和贴保护胶纸工序于一身，无需将收卷好的已镀钢带重新开卷粘贴保护胶纸再收卷，工序得到简化，也无需另外配置专用贴胶纸机和操作工，不但提高了效率，而且节省了人力和财力；本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机采用立式结构，几个主要工序的设备相叠设置，大大减少了设备的占地面积。

Description

一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种卷绕式真空离子镀膜机。

背景技术

卷绕式真空镀膜机是用于整卷塑料薄膜或金属带箔进行真空镀膜的高效设备，最初用于整卷塑料薄膜连续真空蒸发镀铝膜生产。在大型电子枪与离子镀技术发展成熟后，开发出卷绕式的大型电子枪蒸发连续沉积设备和磁控溅射连续沉积设备，用于整卷塑料薄膜上连续沉积铝、铜、SiO₂、ITO、遮阳膜等，和用于整卷金属带箔的连续镀铜膜或镀镍膜生产，还有用于连续反应镀TiN膜等。

但上述现有卷绕式真空镀膜机多为卧式机，整卷镀料开卷------预处理-----镀膜-----冷却-----收卷等工序设备一字排开，占地面积大。有的镀膜后的金属带箔还需贴保护胶纸，又得在专用贴胶纸机上重新开卷-----粘贴保护胶纸-----收卷，另需专用设备和操作工，既占地又耗时，同时还增加了成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种集镀膜工序和贴保护胶纸工序于一身的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机。

本实用新型所要解决的技术问题通过如下技术方案解决：一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，包括加热室、镀膜室、冷却室，其特征在于，所述离子镀膜机还包括用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作、并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴的卷绕室，所述卷绕室、加热室、镀膜室、冷却室由下向上依次安装在一起，开卷后的金属带箔向上经加热室、镀膜室后，进入冷却室冷却，并转向向下运行，折回到卷绕室，完成收卷和保护胶纸粘贴工作。

所述卷绕室包括卷绕室箱体，所述卷绕室箱体内设有放卷辊、胶纸收卷辊、撕纸辊、贴胶纸辊、保护胶纸放卷辊、收卷辊和若干个导辊，各辊平行设置，转动安装在卷绕室箱体内壁上，所述卷绕室箱体顶面设有钢带出入口；

贴有胶纸的金属带箔卷套装在所述放卷辊上，金属帯萡的自由端拉出伸向所述胶纸收卷辊和所述撕纸辊之间，以便分离贴有脧纸的带箔形成钢带和胶纸，所述胶纸收卷辊位于所述带箔贴有胶纸的一侧，分离出的胶纸缠绕在所述胶纸收卷辊上，分离出的钢带绕过所述撕纸辊后竖直向上或绕过所述导辊后竖直向上穿出所述钢带出入口；

完成镀膜后的已镀钢带由所述钢带出入口竖直向下进入所述卷绕室箱体，保护胶纸卷套装在所述保护胶纸放卷辊上，所述贴胶纸辊和所述保护胶纸放卷辊都位于所述已镀钢带有镀面的一侧，镀面粘贴上保护胶纸的已镀钢带绕过所述贴胶纸辊，贴胶纸辊将保护胶纸压合在所述已镀钢带的镀面上，贴有保护胶纸的已镀钢带缠绕在所述收卷辊上，收卷辊将贴有保护胶纸的已镀钢带收卷其上；

所述导辊沿着钢带传输方向设置，钢带从所述导辊上绕过，以便调节钢带的横向跨度或纵向张力或纠正走带的左右偏差。

所述加热室的结构为：所述加热室包括加热室箱体，所述加热室箱体中间由竖向设置的隔板隔成两个独立的腔体，分别为加热室上行腔和加热室下行腔，所述加热室上行腔内沿着所述钢带传输方向设有加热器，所述加热器由相对设置的两加热器组件构成，两加热器组件之间具有一定间隙，构成钢带的上行通道，待镀膜的钢带从所述上行通道中穿行；

所述镀膜室的结构为：所述镀膜室包括镀膜室箱体，所述镀膜室箱体中间由竖向设置的隔板隔成两个独立的腔体，分别为镀膜室上行腔和镀膜室下行腔，所述镀膜室上行腔内钢带的待镀面与所述镀膜室上行腔外壁相对，该外壁上安装有若干个阴极磁控溅射靶和若干条布气管。

所述冷却室的结构为：所述冷却室包括冷却室箱体，所述冷却室箱体内垂直于钢带传输方向转动安装有一冷却辊，已镀钢带镀面向上的绕过所述冷却辊转向向下运行，所述冷却辊内部中空形成冷却液腔，冷却室外壁上固定有用于与深冷机系统相连的冷却液出口和冷却液入口，所述冷却液出口和冷却液入口与延伸到冷却室外的冷却辊转动轴的两端分别转动连接，冷却辊转动轴两端都具有与所述冷却液腔连通的内腔，所述冷却液出口和冷却液入口都通过所述冷却辊转动轴的内腔与所述冷却液腔连通，形成冷却液循环回路。

所述加热器组件的结构为：所述加热器组件由加热器面板、加热管、加热器底板和一片以上隔热板组成，各板平行相间设置，其中，所述加热管盘绕在所述加热器底板靠近钢带的一面，所述加热器面板贴装在所述加热管上，所述隔热板位于所述加热器底板的另一面，该结构的加热器使钢带两面同时受热。

作为所述镀膜室的改进，上下相邻的两阴极磁控溅射靶之间设有防尘罩，用于防止产生的镀层碎屑和靶材尘灰落到下面的溅射靶而导致溅射靶被污染。

相邻两箱体之间设有腔室隔板，所述腔室隔板上开有两个独立的开口，分别为钢带上穿行口和钢带下穿行口，所述钢带上穿行口和钢带下穿行口都为与所述钢带适配的狭长形开口，以便尽量隔离各腔室，所述钢带上穿行口与所述加热室和所述镀膜室的上行腔相通，所述钢带下穿行口与所述加热室和所述镀膜室的下行腔相通，所述卷绕室、加热室、镀膜室箱体的外壁上分别设有真空机组外接口。

所述加热室箱体和所述镀膜室箱体都由两段舱室对接而成，两段舱室之间也由所述腔室隔板隔开，各段所述舱室的外壁上分别设有真空机组外接口。

相对于现有技术，本实用新型具有如下有益效果：

1)本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机集镀膜工序和贴保护胶纸工序于一身，无需将收卷好的已镀钢带重新开卷粘贴保护胶纸再收卷，工序得到简化，也无需另外配置专用贴胶纸机和操作工，不但提高了效率，而且节省了人力和财力；

2)本实用新型的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机采用立式结构，几个主要工序的设备相叠设置，大大减少了设备的占地面积。

附图说明

图1是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的结构示意图；

图2是利用装卸小车为本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机装金属带箔卷的过程示意图；

图3是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的加热室的结构示意图；

图4是图3中a部位的放大图；

图5是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的镀膜室的结构示意图；

图6是本实用新型较佳实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机的冷却室的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和本实用新型具体实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀TiN膜镀膜机，对本实用新型的技术方案作进一步详细说明。

如图1～6所示，本实施例的立式卷绕式金属带箔真空离子镀TiN膜镀膜机主要分为四大部分，包括卷绕室1、加热室21、镀膜室30和冷却室34，卷绕室1、加热室21、镀膜室30、冷却室34由下向上依次安装在一起。

卷绕室1，用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作，并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴。

卷绕室1包括卷绕室箱体，卷绕室箱体内设有放卷辊4、胶纸收卷辊11、撕纸辊13、贴胶纸辊14、保护胶纸放卷辊16、收卷辊5和导辊9、10、17、18，各辊平行设置，皆转动安装在卷绕室箱体内壁上，卷绕室箱体顶面设有钢带出入口。

如图1、2所示，待镀的金属带箔卷6由装卸车7承载，沿着轨道运动，从炉门处推进卷绕室1，将金属带箔卷6套装在放卷辊4上并卡好实现固定，装卸车7退出卷绕室1。将金属带箔卷6的自由端拉出由上绕过导辊9、10伸向胶纸收卷辊11和撕纸辊13之间，导辊9、10用以纠正带箔8-1走带的左右偏差和调整走带的纵向张力，胶纸收卷辊11和撕纸辊13将贴有胶纸的带箔8-1分离形成钢带8-2和胶纸12，胶纸收卷辊11位于带箔8-1贴有胶纸12的一侧，分离出的胶纸12缠绕在胶纸收卷辊11上，驱动胶纸收卷辊11逆时针转动实现胶纸12的收卷。分离出的钢带8-2由下绕过撕纸辊13后竖直向上从位于卷绕室1左侧顶面的钢带出入口穿出进入加热室21。

经过加热室21、镀膜室30和冷却室34后的已镀钢带8-3，从镀膜室30的镀膜室下行腔39、加热室34的加热室下行腔40由卷绕室1左侧顶面上的钢带出入口竖直向下返回卷绕室1，保护胶纸卷套装在保护胶纸放卷辊16上，贴胶纸辊14和保护胶纸放卷辊16都位于已镀钢带8-3有镀面的一侧(当然，贴胶纸辊14和保护胶纸放卷辊16也可同位于已镀钢带8-3无镀面的一侧)，把从保护胶纸放卷辊16送出来的保护胶纸15贴在已镀钢带8-3的镀面上，镀面粘贴上保护胶纸的已镀钢带8-4由下绕过贴胶纸辊14，贴胶纸辊14将保护胶纸15压合在已镀钢带8-3的镀面上。镀面粘贴上保护胶纸的已镀钢带8-4由上绕过导辊17、18缠绕在收卷辊5上，收卷辊5位于贴有保护胶纸的已镀钢带8-4无镀面的一侧(以便使钢带有镀面的一面向上)，顺时针转动，将贴有保护胶纸的已镀钢带8-4镀面向上的收卷其上。导辊17、18用以纠正带箔8-4走带的左右偏差和调整走带的纵向张力，让成贴有保护胶纸15的已镀钢带8-4平整、无侧偏地被收卷辊5收卷，形成钢带卷19。

卷绕室1内各辊的转动由设于卷绕室1外侧的收放卷机组驱动，如图2所示，收放卷机组中的收放卷机2的转轴3通过真空动封密伸入卷绕室1内，收卷辊5套装在收放卷机2的转轴3上。卷绕室1外壁上设有真空机组外接口，真空机组20通过卷绕室1外壁上的真空机组外接口与卷绕室1内部相通。

该实施例中钢带8-2绕过撕纸辊13后直接竖直向上进入加热室21，由加热室21返回的钢带8-3直接竖直向下绕过贴胶纸辊14，在其它实施例中，也可通过导辊调节钢带的横向跨度，使进入或穿出加热室21的钢带保持竖直方向。

如图1所示，卷绕室1顶面左侧安装加热室21。加热室21包括加热室箱体，加热室箱体由两段相同结构的舱室对接而成，各舱室两侧(图中未画出)外壁上分别设有真空机组外接口，分别外接真空机组22抽气。加热室21的舱室截面呈长方形，沿窄边中线竖向设置隔板23，隔板23将加热室21的每个舱室隔离成两个独立的腔体，如图3所示，分别为加热室上行腔和加热室下行腔40，加热室上行腔内沿着钢带8-2传输方向设有加热器，加热器由相对设置的两加热器组件构成，两加热器组件之间具有一定间隙，构成钢带8-2的上行通道，待镀膜的钢带8-2从上行通道中穿行。

如图4所示，加热器组件由加热器面板24、加热管25、加热器底板26和三片隔热板27、28、29组成，各板平行相间设置，其中，铠装加热管25盘绕在加热器底板26靠近钢带8-2的一面，加热器面板24贴装在铠装加热管25上，隔热板27、28、29位于加热器底板26的另一面，该结构的加热器使钢带8-2可两面同时受热。

如图1所示，加热室21的上方连接镀膜室30，镀膜室30包括镀膜室箱体，镀膜室箱体也由两个相同结构的舱室对接而成，各舱室两侧外壁上也分别设有真空机组外接口，分别外接真空机组31抽气。镀膜室30的舱室截面也呈长方形，沿窄边中线也竖向设置隔板23，如图5所示，隔板23将镀膜室30的各舱室隔离成两个独立的腔体，分别为镀膜室上行腔和镀膜室下行腔，镀膜室上行腔内钢带的待镀面与镀膜室上行腔外壁相对，该外壁上沿轴向安装有四只矩形或圆柱形的阴极磁控溅射钛靶32，上下相邻的两阴极磁控溅射钛靶32之间的炉壁上安装了防尘罩33，用于防止产生的镀层碎屑和靶材尘灰落到下面的溅射靶而导致溅射靶被污染，在各阴极磁控溅射钛靶32的两侧或在相邻两阴极磁控溅射钛靶32之间横向安装有布气管，供入工作气体氬和反应气体氮。供入气体氩和氮后，启动阴极磁控溅射钛靶32产生辉光放电，溅射出金属钛等离子体，与氮气反应，在钢带上沉积成TiN膜。

镀膜室30内的钢带向上输送边走边溅射镀膜，在镀膜室30上端完成TiN沉积。镀膜室30上方是冷却室34。冷却室34内垂直于钢带8-3传输方向转动安装有一冷却辊35，如图6所示，冷却辊35内部中空形成冷却液腔36，冷却室34外壁上固定有用于与深冷机系统相连的冷却液出口38和冷却液入口37，冷却液出口38和冷却液入口37与延伸到冷却室34外的冷却辊转动轴的两端分别转动连接，冷却辊转动轴两端都具有与冷却液腔36连通的内腔，冷却液出口38和冷却液入口37都通过冷却辊转动轴的内腔与冷却液腔36连通，形成冷却液循环回路。已镀钢带8-3镀面向上的绕过冷却辊35转向向下运行，已镀钢带8-3与冷却辊35辊面接触，急速冷却，经镀膜室30的镀膜室下行腔39，再经加热室21的加热室下行腔40，向下传输的过程中继续冷却，进入卷绕室1。

本实用新型立式卷绕式金属带箔连续离子镀TiN膜镀膜机的运行过程如下：

进行不锈钢带箔镀TiN作业前，卷绕室内要求已准备好引导钢带，即前一炉的钢带尾留在放卷辊4前，该引导钢带绕过导辊9、10、撕纸辊13，穿过加热室21、镀膜室30、冷却室34，再换向从镀膜室30、加热室34的下行腔返回卷绕室1，经卷绕室1的贴胶纸辊14、导辊17、18，收卷在收卷辊5上。

检查和调试收放卷机组运行是否正常：包括放卷辊4、收卷辊5、撕纸辊13、贴胶纸辊14、保护胶纸放卷辊16、冷却辊35等各辊单独运行和各辊联合运行的协调性，合格后装料。

用装卸小车7承载待镀金属帯萡卷沿轨道推入卷绕室1，把待镀金属帯萡卷卡在放卷辊4上，把贴有保护胶纸的金属带箔卷自由端拉出，分离出钢带8-2和胶纸12，将钢带8-2与引导钢带的钢带连接牢固，将胶纸12与引导钢带的胶纸连接牢固，再检查胶纸收卷辊11和撕纸辊13是否运行正常，启动收放卷机组，让收卷辊5和放卷辊4等卷绕窒1内各辊以及冷却辊35联动，检查带负载时是否运行正常，检查和调整导辊9、10、17、18，纠正走带的左右偏差和纵向张力。确认正常后，把放卷辊4和收卷辊5上的钢带恢复原位(防止有未镀膜的空白区域)，检查加热器、阴极磁控溅射钛靶32、磁控溅射靶电源、冷却辊35和深冷机系统、整机冷却水系统、所有真空机组运转正常后，进入试镀膜作业程序。

关闭炉门，各箱体按工艺规程规定顺次投入真空机组抽气，真空度达标后，按工艺规程规定开启加热器，让加热室21升温，达到温度要求后，启动深冷机系统，流入冷却辊内腔的低温冷却液冷却辊面。按工艺规程规定向镀膜室30通入氩气和反应气体氮，并调控流量，同时调整抽气系统的节流阀(未画出)，使镀膜室30的真空度保持在规定值，启动镀膜室30内所有的阴极磁控溅射钛靶32，按恒定功率模式自动控制阴极磁控溅射钛靶32的溅射功率产生辉光放电，发射钛等离子体，钛等离子体与氮在钢带表面上合成TiN膜。各室运转正常后，进行正式的镀膜作业。即启动收放卷机组，驱动相应的辊转动，促使钢带传输起来，放卷辊4转动，送出待镀带箔8-1，带箔8-1绕过导辊9、10，，带箔8-1往前经撕纸辊12将钢带与贴在其上胶纸撕开分离，撕下的胶纸12由收纸辊11收卷；待镀的钢带8-2从卷绕室1竖直向上进入加热室21，在加热室21的加热室上行腔中上行，从左右对称的两加热器组件中间的通道穿过。加热器组件使钢带8-2均匀受热，加热器组件外侧三层结构的隔热板27、28、29，可减少热量的散失，使热量集中辐射在两加热器组件中间的通道上，从而使钢带8-2加热效率更高。钢带8-2一边上行，一边两面受热，行速应该让钢带8-2上行达到加热室21上端时，钢带8-2温度能达到镀膜室30所要求的温度，然后进入镀膜室30。接通电源的阴极磁控溅射钛靶32在氩气中产生辉光放电，发射钛等离子体，钛等离子体与通入的氮气在受热的钢带8-2表面反应合成TiN膜，钢带8-2在溅射辉光区一边上行，一边沉积加厚TiN膜，当钢带8-2行至镀膜室30上端时，即达到所要求的膜厚，进入冷却室34。镀好TiN膜的钢带8-3温度较高，它绕在冷却辊35上，与冷却辊35的辊面接触，被强制冷却降温，热量由冷却辊35内腔中的冷却液带走。冷却的钢带8-3转向向下运行，经镀膜室30的镀膜室下行腔39和加热室21的加热室下行腔40继续冷却，行至加热室21下端时，温度应降至100度以下，然后进入卷绕室1，保护胶纸放卷辊16送出保护胶纸15，保护胶纸15贴在绕过贴胶纸辊14的钢带上，由贴胶纸辊14压合在钢带的镀面上形成贴有保护胶纸的已镀钢带8-4，贴有保护胶纸的已镀钢带8-4经两组导辊17、18纠正走带左右偏差和纵向张力后，由收卷辊5收卷。

放卷辊4上的金属带箔卷被自动连续地放卷送出，直至完成镀膜和贴保护胶纸作业。作业完毕后，关停阴极磁控溅射钛靶32，同时关停所有转动的辊，停止供气，关闭加热器，待收卷辊5上的钢带卷19冷却到规定温度后，关闭相关的真空阀门，停止对各箱体抽气，然后向炉体内充气，打开卷绕室1上的炉门，松开收卷辊5上的钢带卷19，在收卷辊5前剪断钢带，留在炉内的余带作为下一炉的引导钢带的头端，放卷辊4前的钢带作为下一炉的引导钢带的尾端。把松开的钢带卷19绑扎牢后，由装卸小车7承载，沿道轨拉出卷绕室1。然后即可开始第二个镀膜作业周期。

Claims (9)

1.一种立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，包括加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)，其特征在于，所述离子镀膜机还包括用于完成卷绕式金属带箔开卷和收卷操作、并在收卷过程中完成保护胶纸粘贴的卷绕室(1)，所述卷绕室(1)、加热室(21)、镀膜室(30)、冷却室(34)由下向上依次安装在一起。

2.根据权利要求1所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述卷绕室包括卷绕室箱体，所述卷绕室箱体内设有放卷辊(4)、胶纸收卷辊(11)、撕纸辊(13)、贴胶纸辊(14)、保护胶纸放卷辊(16)、收卷辊(5)和若干个导辊(9、10、17、18)，各辊平行设置，转动安装在卷绕室箱体内壁上，所述卷绕室箱体顶面设有钢带出入口；

贴有胶纸的金属带箔卷套装在所述放卷辊(4)上，自由端拉出伸向所述胶纸收卷辊(11)和所述撕纸辊(13)之间，以便分离贴有胶纸的带箔(8-1)形成钢带(8-2)和胶纸(12)，所述胶纸收卷辊(11)位于所述带箔(8-1)贴有胶纸(12)的一侧，分离出的胶纸(12)缠绕在所述胶纸收卷辊(11)上，分离出的钢带(8-2)绕过所述撕纸辊(13)后竖直向上或绕过所述导辊后竖直向上穿出所述钢带出入口；

完成镀膜后的已镀钢带(8-3)由所述钢带出入口竖直向下进入所述卷绕室箱体，保护胶纸卷套装在所述保护胶纸放卷辊(16)上，所述贴胶纸辊(14)和所述保护胶纸放卷辊(16)都位于所述已镀钢带(8-3)有镀面的一侧，镀面粘贴上保护胶纸(15)的已镀钢带(8-4)绕过所述贴胶纸辊(14)，贴胶纸辊(14)将保护胶纸(15)压合在所述已镀钢带(8-3)的镀面上，贴有保护胶纸(15)的已镀钢带(8-4)缠绕在所述收卷辊(5)上，收卷辊(5)将贴有保护胶纸(15)的已镀钢带(8-4)收卷其上；

所述导辊(9、10、17、18)沿着钢带传输方向设置，钢带从所述导辊(9、10、17、18)上绕过。

3.根据权利要求2所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述加热室(21)的结构为：所述加热室(21)包括加热室箱体，所述加热室箱体中间由竖向设置的隔板(23)隔成两个独立的腔体，分别为加热室上行腔和加热室下行腔(40)，所述加热室上行腔内沿着所述钢带(8-2)传输方向设有加热器，所述加热器由相对设置的两加热器组件构成，两加热器组件之间具有一定间隙，构成钢带(8-2)的上行通道，待镀膜的钢带(8-2)从所述上行通道中穿行。

4.根据权利要求3所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述加热器组件的结构为：所述加热器组件由加热器面板(24)、加热管(25)、加热器底板(26)和一片以上隔热板(27、28、29)组成，各板平行相间设置，其中，所述加热管(25)盘绕在所述加热器底板(26)靠近钢带(8-2)的一面，所述加热器面板(24)贴装在所述加热管(25)上，所述隔热板(27、28、29)位于所述加热器底板(26)的另一面。

5.根据权利要求1所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述镀膜室(30)的结构为：所述镀膜室(30)包括镀膜室箱体，所述镀膜室箱体中间由竖向设置的隔板(23)隔成两个独立的腔体，分别为镀膜室上行腔和镀膜室下行腔(39)，所述镀膜室上行腔内钢带的待镀面与所述镀膜室上行腔外壁相对，该外壁上安装有若干个阴极磁控溅射靶(32)和若干条布气管。

6.根据权利要求5所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，上下相邻的两阴极磁控溅射靶(32)之间设有防尘罩(33)。

7.根据权利要求1～6任一项权利要求所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述冷却室(34)的结构为：所述冷却室(34)包括冷却室箱体，所述冷却室箱体内垂直于钢带(8-3)传输方向转动安装有一冷却辊(35)，已镀钢带(8-3)镀面向上的绕过所述冷却辊(35)转向向下运行，所述冷却辊(35)内部中空形成冷却液腔(36)，冷却室(34)外壁上固定有用于与深冷机系统相连的冷却液出口(38)和冷却液入口(37)，所述冷却液出口(38)和冷却液入口(37)与延伸到冷却室(34)外的冷却辊转动轴的两端分别转动连接，冷却辊转动轴两端都具有与所述冷却液腔(36)连通的内腔，所述冷却液出口(38)和冷却液入口(37)都通过所述冷却辊转动轴的内腔与所述冷却液腔(36)连通，形成冷却液循环回路。

8.根据权利要求7所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，相邻两箱体之间设有腔室隔板(50)，所述腔室隔板(50)上开有两个独立的开口，分别为钢带上穿行口(51)和钢带下穿行口(52)，所述钢带上穿行口(51)和钢带下穿行口(52)都为与所述钢带适配的狭长形开口，以便尽量隔离各腔室，所述钢带上穿行口(51)与所述加热室和所述镀膜室的上行腔相通，所述钢带下穿行口与所述加热室和所述镀膜室的下行腔相通，所述卷绕室(1)、加热室(21)、镀膜室(30)箱体的外壁上分别设有真空机组外接口。

9.根据权利要求8所述的立式卷绕式金属带箔真空离子镀膜机，其特征在于，所述加热室箱体和所述镀膜室箱体都由两段舱室对接而成，两段舱室之间也由所述腔室隔板隔开，各段所述舱室的外壁上分别设有真空机组外接口。