CN107254671A - 一种双面真空镀膜卷绕机 - Google Patents

一种双面真空镀膜卷绕机 Download PDF

Info

Publication number
CN107254671A
CN107254671A CN201710666730.9A CN201710666730A CN107254671A CN 107254671 A CN107254671 A CN 107254671A CN 201710666730 A CN201710666730 A CN 201710666730A CN 107254671 A CN107254671 A CN 107254671A
Authority
CN
China
Prior art keywords
plating film
grains
roll
double
film grains
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710666730.9A
Other languages
English (en)
Inventor
赵斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HUIZHOU XIGU NEW ENERGY INDUSTRY TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE Co.,Ltd.
Original Assignee
Shenzhen Valley Energy Holdings Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Valley Energy Holdings Co Ltd filed Critical Shenzhen Valley Energy Holdings Co Ltd
Priority to CN201710666730.9A priority Critical patent/CN107254671A/zh
Publication of CN107254671A publication Critical patent/CN107254671A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种双面真空镀膜卷绕机,包括有机体,所述机体内设有第一镀膜榖、第二镀膜榖、放卷辊及收卷辊,所述第一镀膜榖与第二镀膜榖之间设有多个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊;所述机体内设有分别对所述第一镀膜榖、第二镀膜榖上的待镀膜的卷料进行镀膜的磁控溅射靶。它具有结构简单的特点,可单次操作即可实现柔性薄膜材料的单、双面镀膜,相对传统镀单膜设备而言,大大提高了生产效率。

Description

一种双面真空镀膜卷绕机
技术领域
本发明涉及真空镀膜、电池电容器薄膜制造及光电显示薄膜制造行业,具体涉及一种双面真空镀膜卷绕机,利用卷绕式真空镀膜技术在柔性薄膜基材的双表面镀膜。
背景技术
真空镀膜是等离子技术应用的一种,即在真空环境下,使装有待镀材料的磁控溅射阴极启辉(电阻蒸发方式是通电加热膜料坩埚),磁控阴极产生等离子体,高能离子轰击靶面(膜料)溅射出要镀膜料粒子,溅射出来的粒子沉积在被镀工件上形成单质膜、化合物膜等。
卷绕式真空镀膜技术广泛应用于电容器、触摸显示器、装饰包装材料等柔性材料的功能及装饰性薄膜制造领域。
这些结构每次镀膜时,只能实现柔性材料的单面镀膜,必须双面镀膜时,就只能先镀其中一面,然后停机下料,在倒膜机上对已镀过一面的整卷膜进行换面倒膜后,再重新装料进行二次镀膜。如此生产,耗时、费工、效率低下,并且重复装卸膜料及翻面倒膜会造成已镀膜面划伤及材料损耗,因此一般卷绕镀膜厂做双面产品镀膜时存在成品率低,制造成本高等问题。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种双面真空镀膜卷绕机,它针对柔性薄膜材料实现单/双面镀膜。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:
一种双面真空镀膜卷绕机,包括有机体,所述机体内设有第一镀膜榖、第二镀膜榖、放卷辊及收卷辊,所述第一镀膜榖与第二镀膜榖之间设有多个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊。
优选地,所述机体内设有分别对所述第一镀膜榖、第二镀膜榖上的待镀膜的卷料进行镀膜的磁控溅射靶。
优选地,所述过渡辊的外径远小于所述第一镀膜榖及第二镀膜榖的外径。
优选地,所述的收卷辊设置在所述第一镀膜榖与第二镀膜榖之间,所述放卷辊设置在与收卷辊相对的、第一镀膜榖的另一侧。
优选地,所述的第一镀膜榖与第二镀膜榖的外径相同。
优选地,所述的过渡辊为可拆卸设计,任意一个过渡辊的位置可调整,以改变待镀膜的卷料对过渡辊的包角大小及改变待镀膜的卷料的张紧力度。
优选的,所述放卷辊和/或收卷辊与所述PLC控制系统控制连接。
本发明有益效果为:在同一设备中,可单次操作即可实现柔性薄膜材料的单、双面镀膜,结构简单,对于传统镀单膜设备可大大提高生产的效率。
附图说明
图1为本发明实施例1的系统组成示意图;
具体实施方式
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。
一种双面真空镀膜卷绕机,包括有机体(未图示),机体内设有第一镀膜榖1、第二镀膜榖2、放卷辊4及收卷辊3,第一镀膜榖1与第二镀膜榖2之间设有多个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊5。
机体内设有分别对第一镀膜榖1、第二镀膜榖2上的待镀膜的卷料进行镀膜的磁控溅射靶6。
过渡辊5的外径远小于第一镀膜榖1及第二镀膜榖2的外径。
收卷辊3设置在第一镀膜榖1与第二镀膜榖2之间,放卷辊4设置在与收卷辊3相对的、第一镀膜榖1的另一侧。
一镀膜榖1与第二镀膜榖2的外径相同。
过渡辊5为可拆卸设计,任意一个过渡辊5的位置可调整,以改变待镀膜的卷料对过渡辊的包角大小及改变待镀膜的卷料的张紧力度。
还包括有PLC控制系统(未图示),PLC控制系统可控制放卷辊4和/ 或收卷辊3的转速,也可控制磁控溅射靶6的溅射功率。
参考图1所示,本发明中,双面镀膜操作方法是:
a.将待镀膜柔性材料(铜箔、铝箔、PET、PP等)整卷装入放卷辊4上;
b.将待镀膜柔性材料展开,按上图1所示,穿过第二镀膜榖2,依次绕过过渡辊5;
c.在第一镀膜榖1上反向缠绕待镀膜柔性材料;
d.待镀膜柔性材料穿过第一镀膜榖1后绕上收卷辊3,利用高温胶带固定已镀膜的柔性材料;
e.通过过渡辊5调整好卷绕张力,开启第一镀膜榖1和第二镀膜榖2 的磁控溅射靶6进行A/B两面镀膜。
尽管已经示出和描述了本发明的实施方案,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施方案进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上内容是结合具体的实施方式对本发明所作的进一步详细说明,不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换。

Claims (7)

1.一种双面真空镀膜卷绕机,包括有机体,其特征在于所述机体内设有第一镀膜榖(1)、第二镀膜榖(2)、放卷辊(4)及收卷辊(3),所述第一镀膜榖(1)与第二镀膜榖(2)之间设有多个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊(5)。
2.根据权利要求1所述的一种双面真空镀膜卷绕机,其特征在于所述机体内设有分别对所述第一镀膜榖(1)、第二镀膜榖(2)上的待镀膜的卷料进行镀膜的磁控溅射靶(6)。
3.根据权利要求1所述的一种双面真空镀膜卷绕机,其特征在于所述过渡辊(5)的外径远小于所述第一镀膜榖(1)及第二镀膜榖(2)的外径。
4.根据权利要求1所述的一种双面真空镀膜卷绕机,其特征在于所述的收卷辊(3)设置在所述第一镀膜榖(1)与第二镀膜榖(2)之间,所述放卷辊(4)设置在与收卷辊(3)相对的、第一镀膜榖(1)的另一侧。
5.根据权利要求4所述的一种双面真空镀膜卷绕机,其特征在于所述的第一镀膜榖(1)与第二镀膜榖(2)的外径相同。
6.根据权利要求2-4任一项所述的一种双面真空镀膜卷绕机,其特征在于所述的过渡辊(5)为可拆卸设计,任意一个过渡辊(5)的位置可调整,以改变待镀膜的卷料对过渡辊的包角大小及改变待镀膜的卷料的张紧力度。
7.根据权利要求6所述的一种双面真空镀膜卷绕机,其特征在于还包括有PLC控制系统,所述PLC控制系统可控制所述放卷辊(4)和/或收卷辊(3)的转速,也可控制所述磁控溅射靶(6)的溅射功率。
CN201710666730.9A 2017-08-07 2017-08-07 一种双面真空镀膜卷绕机 Pending CN107254671A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710666730.9A CN107254671A (zh) 2017-08-07 2017-08-07 一种双面真空镀膜卷绕机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710666730.9A CN107254671A (zh) 2017-08-07 2017-08-07 一种双面真空镀膜卷绕机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107254671A true CN107254671A (zh) 2017-10-17

Family

ID=60026370

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710666730.9A Pending CN107254671A (zh) 2017-08-07 2017-08-07 一种双面真空镀膜卷绕机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107254671A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109930119A (zh) * 2018-01-22 2019-06-25 无锡光润真空科技有限公司 真空镀膜装置
CN111785916A (zh) * 2020-07-29 2020-10-16 吉林大学 一种pet膜双面快速镀膜、涂覆设备

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2635678Y (zh) * 2003-06-24 2004-08-25 深圳市坦达尼真空表面技术有限公司 多功能卷绕镀膜机
CN101348896A (zh) * 2008-08-27 2009-01-21 浙江大学 卷绕式双面镀膜设备
CN104593743A (zh) * 2015-01-26 2015-05-06 四川亚力超膜科技有限公司 柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机
CN104674176A (zh) * 2015-02-09 2015-06-03 常州工学院 一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
CN205115591U (zh) * 2015-11-09 2016-03-30 湖南菲尔姆真空设备有限公司 双水冷辊卷绕镀膜机
CN105986239A (zh) * 2016-06-27 2016-10-05 广东腾胜真空技术工程有限公司 多辊单室双面卷绕镀膜设备及方法
CN205803586U (zh) * 2016-07-26 2016-12-14 华南师范大学 一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备
CN207468716U (zh) * 2017-08-07 2018-06-08 惠州市烯谷新能源产业技术研究院有限公司 一种双面真空镀膜卷绕机

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2635678Y (zh) * 2003-06-24 2004-08-25 深圳市坦达尼真空表面技术有限公司 多功能卷绕镀膜机
CN101348896A (zh) * 2008-08-27 2009-01-21 浙江大学 卷绕式双面镀膜设备
CN104593743A (zh) * 2015-01-26 2015-05-06 四川亚力超膜科技有限公司 柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机
CN104674176A (zh) * 2015-02-09 2015-06-03 常州工学院 一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
CN205115591U (zh) * 2015-11-09 2016-03-30 湖南菲尔姆真空设备有限公司 双水冷辊卷绕镀膜机
CN105986239A (zh) * 2016-06-27 2016-10-05 广东腾胜真空技术工程有限公司 多辊单室双面卷绕镀膜设备及方法
CN205803586U (zh) * 2016-07-26 2016-12-14 华南师范大学 一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备
CN207468716U (zh) * 2017-08-07 2018-06-08 惠州市烯谷新能源产业技术研究院有限公司 一种双面真空镀膜卷绕机

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109930119A (zh) * 2018-01-22 2019-06-25 无锡光润真空科技有限公司 真空镀膜装置
CN111785916A (zh) * 2020-07-29 2020-10-16 吉林大学 一种pet膜双面快速镀膜、涂覆设备
CN111785916B (zh) * 2020-07-29 2024-05-24 吉林大学 一种pet膜双面快速镀膜、涂覆设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4324239B2 (ja) 蒸着装置および蒸着装置を用いた膜の製造方法
CN104651791B (zh) 节能型柔性透明导电薄膜及其制备方法
CN107502870B (zh) 一种提高锂电池正极铝箔集电极电性能的方法
CN103290385B (zh) 卷对卷立式磁控镀膜装置
CN107254671A (zh) 一种双面真空镀膜卷绕机
CN111378951A (zh) 基于磁控溅射和电子枪蒸发的卷绕式光学镀膜装置及方法
CN204490985U (zh) 柔性透明导电薄膜及其制备装置
CN207468716U (zh) 一种双面真空镀膜卷绕机
TWI565820B (zh) 卷對卷模組化電漿複合製程設備
CN212610876U (zh) 一种基于磁控溅射和电子枪蒸发的卷绕式光学镀膜装置
TW201502307A (zh) 成膜裝置及成膜方法
CN110004427A (zh) 柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法
KR101318585B1 (ko) 코팅장치 및 이를 이용한 코팅방법
JP2000128698A (ja) Ito材、ito膜及びその形成方法、並びにel素子
CN216891172U (zh) 一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备
CN104775102B (zh) 卷对卷磁控溅射阴极与柱状多弧源相结合的真空镀膜系统
WO2020108503A1 (zh) 一种制备高循环效率电极的系统、高循环效率电极的制备方法及其应用
CN206127418U (zh) 一种用于柔性电子元件的卷对卷高真空溅镀系统
CN203487223U (zh) 一种低温沉积柔性基材ito膜镀膜装置
US20020071913A1 (en) Manufacturing device of battery components and process for manufacturing the same
TW201843325A (zh) 基於鋰鈷氧化物之薄膜陰極材料
CN202152366U (zh) 柔性ito磁控镀膜装置
CN116904956A (zh) 卷对卷磁控溅射镀膜装置
CN209443080U (zh) 磁控溅射镀膜系统
CN107513693A (zh) 一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20180105

Address after: 516000 Building No. 108, building No. 108, Dongxin Avenue, Dongxing section, Dongjiang high tech Zone, Huizhou City, Guangdong

Applicant after: HUIZHOU XIGU NEW ENERGY INDUSTRY TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE Co.,Ltd.

Address before: 518000 D, E, unit, building 1, Merchants Plaza, No. 1166, hope road, Shekou, Shenzhen, Guangdong, China

Applicant before: SHENZHEN XIGU ENERGY HOLDING CO.,LTD.

RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20171017