CN206570398U - 线材卷绕镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及线材卷绕镀膜机，包括真空腔室，于所述真空腔室的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板及用于喷涂硅油的喷硅油装置，在所述真空腔室的一侧还设置用于保持真空腔室内高真空环境的抽真空系统；本结构体积小巧简洁，利用本实用新型可以实现在线材上镀银、金、镍等金属材料或氧化硅等非金属材料，镀膜后的线材可用于医疗行业的可吸收免拆型手术线材等领域。喷硅油装置可以在线材表面喷射保护性材料，大大提高线材的寿命。镀膜室的设计可以使工作时沉积在室壁上的贵重金属材料回收再利用，大大降低镀膜成本。在本实用新型中将线材进行多倍折返能使沉积时间成倍增加，大大提高了靶的利用率。

Description

线材卷绕镀膜机

技术领域

本实用新型涉及卷绕镀膜设备领域，尤其涉及线材卷绕镀膜机。

背景技术

目前，传统的卷绕镀膜技术无法实现在线材表面镀金属及非金属材料，其无法满足客户需求，迫切需要设计一种能在线材表面镀金属或非金属材料的卷绕镀膜机。

实用新型内容

本申请人针对上述现有问题，进行了研究改进，提供一种线材卷绕镀膜机，其不仅能实现对线材表面镀金属材料及非金属材料，还能实现在线材表面喷射硅油，大大提高了线材的使用寿命。

本实用新型所采用的技术方案如下：

线材卷绕镀膜机，包括真空腔室，于所述真空腔室的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板及用于喷涂硅油的喷硅油装置，在所述真空腔室的一侧还设置用于保持真空腔室内高真空环境的抽真空系统；

所述抽真空系统的具体结构如下：

包括带有主阀阀门的主阀，所述主阀的入口与真空腔室连通，所述主阀的出口通过第一真空管连接粗抽阀门，所述粗抽阀门通过第二真空管道分别连接精抽阀门及前级泵，所述精抽阀门还与扩散泵连接；

所述卷绕系统的具体结构如下：

包括放辊及收辊，所述放辊与收辊之间通过需要镀膜的同一组线材顺序连接第一导向辊、第二导向辊、第三导向辊及第四导向辊；

所述镀膜系统的具体结构如下：

包括设置镀膜室，于所述镀膜室内分别设置上平面靶及下平面靶。

其进一步技术方案在于：

所述线材按序经过第一导向辊、第二导向辊、并沿第三导向辊表面一次卷绕折返至第二导向辊，然后沿第二导向辊表面二次卷绕后按序经过第三导向辊及第四导向辊；

于所述真空腔室的入口段还设置用于控制真空腔室内气压范围的节流阀；

所述放辊与放辊电机的输出端连接，所述收辊与收辊电机的输出端连接；

所述镀膜室设置于第二导向辊、第三导向辊的外围；

于所述上平面靶及下平面靶之间、在所述镀膜室的一侧还设置充气管，所述水冷铜板与下平面靶均固定于镀膜室的底板上；

于收辊及第四导向辊之间、在所述真空腔室内还设置用于使线材卷缠绕均匀的拨线装置。

本实用新型的有益效果如下：

本结构体积小巧简洁，利用本实用新型可以实现在线材上镀银、金、镍等金属材料或氧化硅等非金属材料，镀膜后的线材可用于医疗行业的可吸收免拆型手术线材等领域。喷硅油装置可以在线材表面喷射保护性材料，大大提高线材的寿命。镀膜室的设计可以使工作时沉积在室壁上的贵重金属材料回收再利用，大大降低镀膜成本。在本实用新型中将线材进行多倍折返能使沉积时间成倍增加，大大提高了靶的利用率。本实用新型中放辊、收辊均由伺服电机同步运动，其不采用被动放卷，降低了线材的内应力，大大提高了线材的机械性能。水冷铜板的设计能使镀膜过程中工作温度降低，避免累积升温，也会降低线材的内应力。拨线装置的设计使线材的收卷缠绕过程更为均匀。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型俯视图。

图3为本实用新型中真空腔室内部的结构示意图。

图4为本实用新型中镀膜室内部的结构示意图。

图5为线材在各导向辊上的卷绕示意图。

其中：1、真空腔室；2、主阀；3、主阀阀门；4、第一真空管道；5、粗抽阀门；6、第二真空管道；7、精抽阀门；8、前级泵；9、扩散泵；10、节流阀；11、放辊电机；12、收辊电机；13、放辊；14、第一导向辊；15、第二导向辊；16、镀膜室；17、第三导向辊；18、喷硅油装置；19、第四导向辊；20、拨线装置；21、收辊；22、上平面靶；23、水冷铜板；24、充气管；25、下平面靶。

具体实施方式

下面说明本实用新型的具体实施方式。

如图1、图2所示，线材卷绕镀膜机包括真空腔室1，于真空腔室1的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板23及用于喷涂硅油的喷硅油装置18，在真空腔室1的一侧还设置用于保持真空腔室1内高真空环境的抽真空系统。

如图1、图2所示，抽真空系统的具体结构如下：

包括带有主阀阀门3的主阀2，主阀2的入口与真空腔室1连通，主阀2的出口通过第一真空管4连接粗抽阀门5，粗抽阀门5通过第二真空管道6分别连接精抽阀门7及前级泵8，精抽阀门7还与扩散泵9连接。

如图2、图3所示，卷绕系统的具体结构如下：

包括放辊13及收辊21，放辊13与放辊电机11的输出端连接，收辊21与收辊电机12的输出端连接。放辊13与收辊21之间通过需要镀膜的同一组线材顺序连接第一导向辊14、第二导向辊15、第三导向辊17及第四导向辊19。如图5所示，线材按序经过第一导向辊14、第二导向辊15、并沿第三导向辊17表面一次卷绕折返至第二导向辊15，然后沿第二导向辊15表面二次卷绕后按序经过第三导向辊17及第四导向辊19，在本实施例中线材为三倍折返，根据实际工况也可以进行多倍折返，使沉积时间成倍增加。于上平面靶22及下平面靶25之间、在镀膜室16的一侧还设置用于充入工作气体的充气管24，水冷铜板23与下平面靶25均固定于镀膜室16的底板上。于收辊21及第四导向辊19之间、在真空腔室1内还设置用于使线材卷缠绕均匀的拨线装置20。

如图3、图4所示，镀膜系统的具体结构如下：

包括设置镀膜室16，镀膜室16设置于第二导向辊15、第三导向辊17的外围。于镀膜室16内分别设置上平面靶22及下平面靶25，上述上平面靶22及下平面靶25均为横向放置，横向放置使得在不减小真空腔室面积的情况下将沉积时间利用率达到最高。

于上述真空腔室1的入口段还设置用于控制真空腔室1内气压范围的节流阀10。

本实用新型的具体工作过程如下：

如图1、图2所示，当真空腔室1关闭后，前级泵8、粗抽阀5打开，此时真空腔室1内的气体通过主阀2、第一真空管道4、粗抽阀门5、第二真空管道6及前级泵抽出室外。当真空腔室1内的气压由一个标准大气压降低至5pa以下时，关闭粗抽阀门5，打开主阀阀门3，此时真空腔室1内的气体经由主阀2、扩散泵9(提前预热完成)、精抽阀7、第二真空管道6及前级泵8抽至室外。循环上述工作过程直至工况所需真空度并在工作过程中保持上述抽气方式，待真空抽至3*10^-3Pa以下时，充气管24内充入工作气体，通过调节节流阀10的角度来控制真空腔室1内的气压所需范围。同时上平面靶22与下平面靶24加电压进行辉光放电，待辉光放电过程稳定后开始镀膜。启动放辊电机11及收辊电机12，线材由第一导向辊14传递并进入镀膜室16内部，在经过第二导向辊15、第三导向辊17时由上平面靶22与下平面靶24进行磁控溅射镀膜材料到线材上，在工作过程中由水冷铜板23实现工作温度的降低，防止累积升温，同时在镀膜过程中还可以由喷硅油装置18在线材表面喷硅油后再成卷，镀膜完成后依次关闭放辊电机11及收辊电机12，关闭上平面靶22和下平面靶24的电源，待扩散泵9关闭并冷却后关闭精抽阀7和前级泵8。在本实用新型中上平面靶22和下平面靶24可使用直流、中频或视频电源，上述放辊电机11及收辊电机12均为伺服电机，在工作过程中控制收放辊的转动。

本实用新型可以实现在线材上镀银、镍等金属材料或如氧化硅等非金属材料，喷硅油装置18可以在线材表面喷射保护性材料，提高线材的寿命，在本实用新型中将线材进行多倍折返能使沉积时间成倍增加，大大提高了沉积利用率。本实用新型中放辊、收辊均由伺服电机同步运动，其不采用被动放卷，大大降低了线材的内应力，水冷铜板的设计能使镀膜过程中工作温度降低，避免累积升温，拨线装置的涉及使线材的收卷缠绕过程更为均匀。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。

Claims (7)

1.线材卷绕镀膜机，其特征在于：包括真空腔室(1)，于所述真空腔室(1)的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板(23)及用于喷涂硅油的喷硅油装置(18)，在所述真空腔室(1)的一侧还设置用于保持真空腔室(1)内高真空环境的抽真空系统；

所述抽真空系统的具体结构如下：

包括带有主阀阀门(3)的主阀(2)，所述主阀(2)的入口与真空腔室(1)连通，所述主阀(2)的出口通过第一真空管(4)连接粗抽阀门(5)，所述粗抽阀门(5)通过第二真空管道(6)分别连接精抽阀门(7)及前级泵(8)，所述精抽阀门(7)还与扩散泵(9)连接；

所述卷绕系统的具体结构如下：

包括放辊(13)及收辊(21)，所述放辊(13)与收辊(21)之间通过需要镀膜的同一组线材顺序连接第一导向辊(14)、第二导向辊(15)、第三导向辊(17)及第四导向辊(19)；

所述镀膜系统的具体结构如下：

包括设置镀膜室(16)，于所述镀膜室(16)内分别设置上平面靶(22)及下平面靶(25)。

2.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机，其特征在于：所述线材按序经过第一导向辊(14)、第二导向辊(15)、并沿第三导向辊(17)表面一次卷绕折返至第二导向辊(15)，然后沿第二导向辊(15)表面二次卷绕后按序经过第三导向辊(17)及第四导向辊(19)。

3.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机，其特征在于：于所述真空腔室(1)的入口段还设置用于控制真空腔室(1)内气压范围的节流阀(10)。

4.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机，其特征在于：所述放辊(13)与放辊电机(11)的输出端连接，所述收辊(21)与收辊电机(12)的输出端连接。

5.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机，其特征在于：所述镀膜室(16)设置于第二导向辊(15)、第三导向辊(17)的外围。

6.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机，其特征在于：于所述上平面靶(22)及下平面靶(25)之间、在所述镀膜室(16)的一侧还设置充气管(24)，所述水冷铜板(23)与下平面靶(25)均固定于镀膜室(16)的底板上。

7.如权利要求1所述的线材卷绕镀膜机，其特征在于：于收辊(21)及第四导向辊(19)之间、在所述真空腔室(1)内还设置用于使线材卷缠绕均匀的拨线装置(20)。