JP5239483B2 - 金属酸化物薄膜付きシートの製造方法および製造装置 - Google Patents
金属酸化物薄膜付きシートの製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5239483B2 JP5239483B2 JP2008116727A JP2008116727A JP5239483B2 JP 5239483 B2 JP5239483 B2 JP 5239483B2 JP 2008116727 A JP2008116727 A JP 2008116727A JP 2008116727 A JP2008116727 A JP 2008116727A JP 5239483 B2 JP5239483 B2 JP 5239483B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- metal
- thin film
- oxygen
- width direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(1)減圧雰囲気下において、シート案内面に接触しながら搬送されているシート上に、金属材料を溶融させた蒸発源から前記シートに向けて金属蒸気を飛来させると同時に、前記金属蒸気内に酸素を導入し、前記シート上に連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付きシートの製造方法であって、前記酸素を、シート幅方向において異なる高さの複数箇所から前記金属蒸気に導入し、前記蒸発源と前記シート案内面との間に仮想的にシートを配置したときに、仮想的に配置したシートに金属蒸気が飛来する単位時間あたりの量を金属蒸気の仮想成膜レートとしたとき、前記酸素を導入する高さを、前記金属蒸気の仮想成膜レートに応じて調整し、かつ、前記酸素を導入する位置での前記金属蒸気の仮想成膜レートが1500[nm/秒]以下であることを特徴とする金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
(2)前記酸素を導入する高さを、前記蒸発源に収容された金属材料に投入する前記シート幅方向の電力分布に応じて独立して調整する、前記(1)に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
(3)前記シート幅方向の中央部における前記金属材料への投入電力に対し、端部における前記金属材料への投入電力が1.5倍以上である、前記(1)または(2)に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
(4)前記シート幅方向に関して前記金属酸化物薄膜の成膜幅が500[mm]以上である、前記(1)〜(3)のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
(5)前記金属がアルミニウムであり、前記シート上に酸化アルミニウム膜を成膜する前記(1)〜(4)のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
(6)シートと接触しながら前記シートを搬送するシート案内面を有し、前記シート案内面の運動に伴って前記シートを搬送する搬送手段と、前記シート案内面上の前記シートに向かって金属蒸気を飛散させる蒸発源と、前記金属蒸気と混和するように酸素を導入する酸素導入手段とを備え、搬送される前記シートに減圧雰囲気下で連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付きシートの製造装置であって、前記酸素導入手段は、複数個の酸素導入口をシート幅方向に配列して構成し、かつ前記シート幅方向の端部の前記酸素導入口の前記蒸発源からの高さが、前記シート幅方向の中央部の前記酸素導入口の前記蒸発源からの高さよりも高く、かつ、前記蒸発源と前記シート案内面との間に仮想的にシートを配置したときに、仮想的に配置したシートに金属蒸気が飛来する単位時間あたりの量を金属蒸気の仮想成膜レートとしたとき、前記金属蒸気の仮想成膜レートが1500[nm/秒]以下となる位置に前記酸素導入手段を備えることを特徴とする金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
(7)前記複数個の酸素導入口の前記蒸発源からの高さを、前記シート幅方向において、独立して変更可能な機構を有する前記(6)に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
(8)前記蒸発源に収容されている金属を蒸発させるために投入する電力を、前記蒸発源のシート幅方向に分割して投入でき、分割で投入する各電力を独立して調整可能な機構を有する前記(6)または(7)に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
(9)前記蒸発源が、シート幅方向に対して、前記金属酸化物薄膜の成膜幅の1.0〜1.3倍の幅を有する前記(6)〜(8)のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
(10)前記蒸発源からの前記酸素導入口の高さが、前記シート幅方向の中央部に対して端部では1.1〜1.7倍の高さである前記(6)〜(9)のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
(11)前記蒸発源に収容されている金属を加熱する電子銃を備えている(6)〜(10)のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
なお、「シート成膜領域」とは、シート案内面上を搬送されるシートのうち、蒸発源から飛来し該シート上に金属蒸気が堆積する領域を言う。一般的な巻取式蒸着機では、シート案内面と蒸発源の間は、シート表面に金属蒸気が飛来する領域を制限し、余分な場所に金属蒸気が付着しないように、マスクと呼ばれる開口部が設けられ、その開口部に金属蒸気が飛来することでシート上に成膜される。この開口部のシート搬送方向の長さがシート成膜領域の長さである。
したがって、まずシート幅方向の中央部における酸素導入口の高さYを式(2)の関係を満たすようにし、さらにシート幅方向の端部における酸素導入口の高さをそれよりも高くして、それら高さの異なる複数個の酸素導入口から酸素を導入してもよい。
そして、シート幅方向に関して成膜幅の中心における酸素導入口の蒸発源からの高さYは、上述したように式(2)の関係を満たすようにし設定することが好ましいが、シート幅方向に関して成膜幅の中心からの距離がC[mm]の位置における酸素導入口の蒸発源からの高さYT[mm]は、かかる成膜幅の中心における酸素導入口の蒸発源からの高さY[mm]を基準として、式(5)により決めることが好ましい。
そして、上記条件の場合、YT[mm]はY[mm]に対し1.1〜1.7倍の範囲内となる。
下記条件にて断面観察を行い、得られた合計9点の厚み[nm]の平均値を算出し、酸化アルミニウム膜の厚み[nm]とした。
測定装置:透過型電子顕微鏡(TEM)H−7100FA型 日立製
測定条件:加速電圧 100kV
測定倍率:20万倍
試料調整:超薄膜切片法
観察面 :TD−ZD断面
測定回数:1視野につき3点、3視野を測定した。
測定位置:シート幅方向の9点等分割
(金属酸化物薄膜付シートの全光線透過率)
スガ試験機株式会社製の”ヘーズコンピュータHZ−1”装置にて、サンプルをセットして、全光線透過率を測定した。5回の測定を行い、その平均値を本実施形態における全光線透過率とした。
金属材料にアルミニウムを、シートに厚さ4.3[μm]に製膜したポリエステルフィルム(東レ株式会社製「ルミラー」)を用い、図6の装置を利用して、酸化アルミニウム膜付きシートを製造した。
・蒸発源に対する投入電力の分割:シート幅方向10分割による10点制御
・金属酸化物薄膜の膜厚:100[nm]
・金属材料:アルミニウム
・蒸発源:アルミナ坩堝
・蒸発源とシート案内面との最短距離:600[mm]
・蒸発源加熱方式:電子銃
・坩堝の容積部分の大きさ:
(シート搬送方向)150[mm]
(シート幅方向) 1500[mm]
(深さ) 50[mm]
・電子銃の出力電力:60[kW]
・シート搬送方向のマスクの開口長さ:350[mm]
・シート幅方向のマスクの開口部の長さ:1000[mm]
・シート案内面を構成する円筒形冷却キャン
(直径)1000[mm]
(内部)シート案内面の表面の温度を調整するための媒体を循環し、装置外部の冷媒循環装置から一定温度の媒体を導入。
<シート条件>
・成膜幅:1000[mm]
・未蒸着シートの幅方向の長さ:1050[mm]
・シートの搬送速度:120[m/分]
<酸素導入口条件>
・シート幅方向の中央部の酸素導入口12−i、jの蒸発源からの高さ:160[mm]
・シート幅方向の端部の酸素導入口12−h、kの蒸発源からの高さ:270[mm]
・シート幅方向の端部の酸素導入口12−g、lの蒸発源からの高さ:320[mm]
・各酸素導入口の内径および形状:直径4[mm]の円(内側断面積:約12.6[mm2])
・ シート幅方向の中央部の酸素導入口12−i、jを備える導入管13の長さ:130[mm]
・ シート幅方向の端部の酸素導入口12−h、kを備える導入管13の長さ:250[mm]
・ シート幅方向の端部の酸素導入口12−g、lを備える導入管13の長さ:300[mm]
・酸素導入口を備える導入管13の材質:ステンレス
・酸素導入口の向き:冷却キャンの最下点に向く
・両端の酸素導入口12−g、lの距離:945[mm]
・酸素導入口を有する導入管13を設けた位置:蒸発源のシート搬送方向に対して巻出側および巻取側
<金属酸化物薄膜の形成>
未蒸着のシートロールを図6のように原反ロール体2にセットし、巻出側中間ローラ4、シート案内面3、巻取側中間ローラ5にフィルム1を沿わせて巻取ロール体6にフィルム端部を固定しセットした。装置には蒸発源7が蒸発源の長手方向がフィルム幅方向と同じになるように配置され、これに金属材料8である金属アルミニウム20[kg]を入れた。その後、真空チャンバ41内の成膜室41b及び巻取室41aを減圧し、成膜室41b内の真空圧力を5×10−3[Pa]まで排気した。その後、シャッタ装置51を閉じた状態でアルミニウム8を電子銃加熱方式によって完全に溶融させた。投入した電力は75[kW]であった。アルミ材料が全て溶融したことを確認した後、電子銃の電力量を微調整し約60[kW]にした。その後シート案内面3と中間ローラ4、5の速度設定によりフィルムの搬送速度を120[m/分]にしシャッタ装置51を開き蒸着を開始した。
図8、図9に示す装置を利用し酸素導入口条件を以下に示すように変更した以外は実施例1と同様に成膜を行った。なお、本実施例では、一本の管状部材に複数の酸素導入口12−m〜oを設け、それらが適した高さで開口するようにした。
・シート幅方向の中央部の酸素導入口12−mの蒸発源からの高さ:160[mm]
・シート幅方向の端部の酸素導入口12−nの蒸発源からの高さ:270[mm]
・シート幅方向の端部の酸素導入口12−oの蒸発源からの高さ:320[mm]
・各酸素導入口の内径および形状:直径2[mm]の円(内側断面積:約3.14[mm2])
・酸素導入口を備える管状部材20の材質:ステンレス
・隣接する酸素導入口間の距離:105[mm]
・酸素導入口を有する管状部材20を設けた位置:蒸発源のシート搬送方向に対して巻出側および巻取側
蒸着終了後、取り出したシートを透過率計で計測した結果、透過率は、シートの幅方向での平均値が約53[%]となっており、最大が59[%]、最小が49[%]と、ばらつきが10[%]の範囲内で、ほぼ均一であった。その後透過型電子顕微鏡で観察した結果、酸化アルミニウム薄膜の膜厚は、シート幅方向の9点等分割されたいずれの区画においても100±10[nm]の範囲内であった。かかる9点等分割された各区画における酸化アルミニウム薄膜の膜厚を図11に示す。
酸素導入口の蒸発源からの高さをシート幅方向で同じ高さにした以外は実施例1と同じ条件、同じ方法で成膜を行った。なおシート幅方向の酸素導入口の蒸発源からの高さは160[mm]で統一した。
図4、図5に示す装置を利用し、酸素導入口条件を以下に示すように変更した以外は実施例1と同様に成膜を行った。なお、本実施例では、一本の管状部材20に複数の酸素導入口21を設け、それらが同じ高さで開口するようにした。
・シート幅方向の酸素導入口21の蒸発源からの高さ:160[mm]
・酸素導入口21の内径および形状:直径2[mm]の円(内側断面積:約3.14[mm2])
・酸素導入口21を備える管状部材20の材質:ステンレス
・隣接する酸素導入口間の距離:15[mm]
・酸素導入口21を有する管状部材20を設けた位置:蒸発源のシート搬送方向に対して巻出側および巻取側
蒸着終了後、取り出したシートを透過率計で計測した結果、透過率は、シートの幅方向での平均値が約63[%]となっており、最大が78[%]、最小が54[%]と、ばらつきが10[%]の範囲内に収まらず、特に端部の透過率が高かった。その後透過型電子顕微鏡で観察した結果、シート幅方向の9点等分割された区画における酸化アルミニウム薄膜の膜厚のばらつきは92±12[nm]の範囲内であった。かかる9点等分割された各区画における酸化アルミニウム薄膜の膜厚を図13に示す。
2 原反ロール体
3 シート案内面
4 中間ローラ(巻出側)
5 中間ローラ(巻取側)
6 巻取ロール体
7 蒸発源
8 金属材料(蒸着材料)
9 金属蒸気(蒸気)
10 マスク部材
11 金属酸化物薄膜(薄膜)
12a〜o 酸素導入口
13 酸素導入口を設けた導入管
14 酸素導入方向
15 酸素導入口を設けた導入管
16 酸素分岐部
17 成膜幅
18 金属溶融幅
20 ピンホール型酸素導入口を設けた管状部材
21 ピンホール型酸素導入口
30 成膜開始点
31 成膜終了点
32 剥離点
33 巻付点
34 シート搬送方向
41 真空チャンバ
41a 巻取室
41b 成膜室
42 真空ポンプ
42a 巻取室用真空ポンプ
42b 成膜室用真空ポンプ
43 バルブ
44 ガスボンベ
45 減圧弁
46 ガス流量調整器
51 シャッタ装置
52 光学モニタ
61 アルミニウム蒸気の蒸気量の増加開始位置
62 アルミニウム蒸気の蒸発量の増加範囲
Claims (11)
- 減圧雰囲気下において、シート案内面に接触しながら搬送されているシート上に、金属材料を溶融させた蒸発源から前記シートに向けて金属蒸気を飛来させると同時に、前記金属蒸気内に酸素を導入し、前記シート上に連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付きシートの製造方法であって、前記酸素を、シート幅方向において異なる高さの複数箇所から前記金属蒸気に導入し、前記蒸発源と前記シート案内面との間に仮想的にシートを配置したときに、仮想的に配置したシートに金属蒸気が飛来する単位時間あたりの量を金属蒸気の仮想成膜レートとしたとき、前記酸素を導入する高さを、前記金属蒸気の仮想成膜レートに応じて調整し、かつ、前記酸素を導入する位置での前記金属蒸気の仮想成膜レートが1500[nm/秒]以下であることを特徴とする金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
- 前記酸素を導入する高さを、前記蒸発源に収容された金属材料に投入する前記シート幅方向の電力分布に応じて独立して調整することを特徴とする請求項1に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
- 前記シート幅方向の中央部における前記金属材料への投入電力に対し、端部における前記金属材料への投入電力が1.5倍以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
- 前記シート幅方向に関して前記金属酸化物薄膜の成膜幅が500[mm]以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
- 前記金属がアルミニウムであり、前記シート上に酸化アルミニウム膜を成膜することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造方法。
- シートと接触しながら前記シートを搬送するシート案内面を有し、前記シート案内面の運動に伴って前記シートを搬送する搬送手段と、前記シート案内面上の前記シートに向かって金属蒸気を飛散させる蒸発源と、前記金属蒸気と混和するように酸素を導入する酸素導入手段とを備え、搬送される前記シートに減圧雰囲気下で連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付きシートの製造装置であって、前記酸素導入手段は、複数個の酸素導入口をシート幅方向に配列して構成し、かつ前記シート幅方向の端部の前記酸素導入口の前記蒸発源からの高さが、前記シート幅方向の中央部の前記酸素導入口の前記蒸発源からの高さよりも高く、かつ、前記蒸発源と前記シート案内面との間に仮想的にシートを配置したときに、仮想的に配置したシートに金属蒸気が飛来する単位時間あたりの量を金属蒸気の仮想成膜レートとしたとき、前記金属蒸気の仮想成膜レートが1500[nm/秒]以下となる位置に前記酸素導入手段を備えることを特徴とする金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
- 前記複数個の酸素導入口の前記蒸発源からの高さを、前記シート幅方向において、独立して変更可能な機構を有すること特徴とする請求項6に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
- 前記蒸発源に収容されている金属を蒸発させるために投入する電力を、前記蒸発源のシート幅方向に分割して投入でき、分割で投入する各電力を独立して調整可能な機構を有することを特徴とする請求項6または7に記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
- 前記蒸発源が、シート幅方向に対して、前記金属酸化物薄膜の成膜幅の1.0〜1.3倍の幅を有することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
- 前記蒸発源からの前記酸素導入口の高さが、前記シート幅方向の中央部に対して端部では1.1〜1.7倍の高さであることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
- 前記蒸発源に収容されている金属を加熱する電子銃を備えていることを特徴とする請求項6〜10のいずれかに記載の金属酸化物薄膜付きシートの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008116727A JP5239483B2 (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 金属酸化物薄膜付きシートの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008116727A JP5239483B2 (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 金属酸化物薄膜付きシートの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009263740A JP2009263740A (ja) | 2009-11-12 |
JP5239483B2 true JP5239483B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
ID=41389957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008116727A Active JP5239483B2 (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 金属酸化物薄膜付きシートの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5239483B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103502502B (zh) * | 2011-04-29 | 2017-09-01 | 应用材料公司 | 反应沉积工艺的气体系统 |
JP6022265B2 (ja) * | 2012-09-03 | 2016-11-09 | 三菱伸銅株式会社 | 真空蒸着装置内への適正な量の酸素ガス導入方法 |
GB2559685B (en) * | 2015-03-10 | 2019-06-12 | Bobst Manchester Ltd | Vacuum Coater For Coating A Web |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62240764A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JPH0578822A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜の製造方法 |
JPH06240440A (ja) * | 1993-02-12 | 1994-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 化合物薄膜形成装置、酸化物薄膜形成装置、および光学多層膜の成膜方法 |
JPH1053868A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Kao Corp | 薄膜形成装置 |
JPH11335819A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 真空蒸着装置 |
JP2000195035A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
JP4103368B2 (ja) * | 2001-10-23 | 2008-06-18 | 東レ株式会社 | 金属酸化物膜つきフィルムの製造方法および製造装置 |
-
2008
- 2008-04-28 JP JP2008116727A patent/JP5239483B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009263740A (ja) | 2009-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107406969B (zh) | 卷取式成膜装置、蒸发源单元和卷取式成膜方法 | |
JP4562811B2 (ja) | 薄膜の形成方法 | |
US20090324972A1 (en) | Method for depositing of barrier layers on a plastic substrate as well as coating device therefor and a layer system | |
JPWO2011158453A1 (ja) | 薄膜の製造方法 | |
JP5239483B2 (ja) | 金属酸化物薄膜付きシートの製造方法および製造装置 | |
WO2010122742A1 (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
JP2010280943A (ja) | 蒸着装置及び蒸着方法 | |
GB2283760A (en) | Vacuum web coating using a plurality of vapour outlet nozzles | |
JP5481239B2 (ja) | 薄膜付シートの製造装置及び薄膜付シートの製造方法、並びにこれらに用いられる円筒状ロール | |
JP2010242200A (ja) | 薄膜部材の製造装置およびその製造方法 | |
JP4103368B2 (ja) | 金属酸化物膜つきフィルムの製造方法および製造装置 | |
JP5194939B2 (ja) | 金属酸化物薄膜形成装置ならびに金属酸化物薄膜付きシートの製造方法 | |
JP3331622B2 (ja) | 透明ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP6233167B2 (ja) | 成膜方法、成膜装置およびそれを用いた金属薄膜付樹脂フィルムの製造方法 | |
JP2005054212A (ja) | 薄膜付き基材の製造方法および製造装置 | |
CN117295843A (zh) | 用于传输柔性基板的辊、真空处理设备及其方法 | |
JP5343622B2 (ja) | 金属化合物薄膜付シートの製造装置および製造方法 | |
JP2009280868A (ja) | 膜形成装置および膜形成方法 | |
US20070048170A1 (en) | Method for forming a film of lithium metal or lithium alloys and an apparatus for the same | |
RU2404285C1 (ru) | Установка для нанесения покрытий в вакууме | |
JP4962848B2 (ja) | ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法 | |
JP4206527B2 (ja) | ドライプレーティング装置 | |
JP2019178370A (ja) | 蒸着装置 | |
WO2022118711A1 (ja) | 透明ガスバリアフィルムの製造方法及び製造装置 | |
JP6721079B2 (ja) | キャンロールと真空成膜装置および長尺体の成膜方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110414 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130318 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5239483 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412 Year of fee payment: 3 |