JPH11335819A

JPH11335819A - 真空蒸着装置

Info

Publication number: JPH11335819A
Application number: JP14085198A
Authority: JP
Inventors: Tatsuhiko Kenmoku; 達彦見目
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1998-05-22
Filing date: 1998-05-22
Publication date: 1999-12-07

Abstract

(57)【要約】【課題】被蒸着物質の幅方向において反応物質吹出し量
をより高度に均一にする。【解決手段】真空蒸着装置３は、第１ないし第４酸素吹
出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄに合成樹脂フィルム２の幅
方向に分割して設け、これらの第１ないし第４酸素吹出
し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄを通して酸素をアルミの蒸気
中に吹き出すようにしている。これにより、各酸素吹出
し管の各酸素吹出し孔からの酸素吹出し量が均一とな
り、合成樹脂フィルム２の幅方向におけるアルミと酸素
との反応のばらつきが解消される。また、第１および第
４マノメータ１９,２０,２１,２２でそれぞれ第１およ
び第４酸素給送管１０,１１,１２,１３の流量を測定
し、その測定結果に基づいて、第１ないし第４酸素吹出
し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄからの吹出し量が均一となる
ように、第１ないし第４流量調整バルブ１５,１６,１
７,１８を制御している。これにより、酸素吹出し量を
更に高度に均一にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、合成樹脂フィルム
等の被蒸着物に、アルミ（Ａｌ）、酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏ）等の蒸着材料を蒸着させるための真空蒸着装置の技
術分野に属するものである。

【０００２】

【従来の技術】食品等の物を包装あるいは収納するため
に、従来から合成樹脂フィルムが多く使用されている
が、この合成樹脂フィルムは、物を包装あるいは収納す
るために必要とする十分な可撓性を有するばかりでな
く、きわめて薄く形成でき、しかも所定の強度を備えて
おり、物の包装あるいは収納に適している。

【０００３】ところで、合成樹脂フィルムは、香り、水
および酸素を透過させる性質を有しているため、それ自
体単独で使用されると、包装あるいは収納されたものが
外部から影響されてしまう。そこで、これらの香り、水
および酸素を透過させないようにするために、従来アル
ミニウムを合成樹脂フィルムに蒸着させた積層合成樹脂
フィルムが使用されている。この積層合成樹脂フィルム
によれば、アルミニウムが香り、水および酸素を透過さ
せないので、包装あるいは収納されたものが外部から影
響されなくなる。

【０００４】しかし、このアルミニウムを蒸着させた積
層合成樹脂フィルムでは、アルミニウムが光を透過させ
ないので、透明でなく、中身を見ることができないばか
りでなく、アルミニウムがマイクロ波を透過させないの
で、電子レンジ等で使用することができないという問題
がある。

【０００５】このようなことから、合成樹脂フィルムに
金属酸化物をコーティングした積層合成樹脂フィルムが
開発されており、この積層合成樹脂フィルムによれば、
前述のアルミニウムの利点である、香り、水および酸素
を透過させないバリヤ特性を維持しながら、アルミニウ
ムの欠点である、マイクロ波を透過させないという問題
を解消されるようになる。しかも、この合成樹脂フィル
ムにコーティングする金属酸化物としては、酸化アルミ
（ＡｌＯ_x）がこのような積層合成樹脂フィルムに最も
適しており、多く使用されている。しかも、この酸化ア
ルミがコーティングされた積層合成樹脂フィルムは廃棄
処理時に分別する必要がないので、廃棄処理作業が簡単
になり、環境上もきわめて有効なものとなっている。こ
のような酸化アルミを合成樹脂フィルムにコーティング
する方法として、従来、一般に真空での物理蒸着による
真空蒸着法が採用されている。

【０００６】図２は、従来の、このような酸化アルミを
真空蒸着により合成樹脂フィルムに蒸着させることによ
り積層樹脂フィルムを製造するための製造装置の一例を
模式的に示す図であり、図３は、図２に示す積層樹脂フ
ィルムの製造装置における真空蒸着装置の一例を示す図
である。図中、１は積層樹脂フィルムの製造装置、２は
巻取りローラに巻かれた原材料の合成樹脂フィルム、３
は真空蒸着装置、４は酸化アルミの蒸着時に合成樹脂フ
ィルムをガイドする真空蒸着装置３のコーティングロー
ラ、５はアルミ（Ａｌ）を収容する坩堝、６は酸素吹出
し管、７は巻取りローラに巻かれ、酸化アルミが蒸着さ
れて製品となった積層樹脂フィルムである。なお、酸素
吹出し管６はコーティングローラ４と坩堝５との間に配
置されており、酸素を吹き出す複数の吹出し孔を備えて
いる。

【０００７】この積層樹脂フィルムの製造装置１におい
ては、原材料の合成樹脂フィルム２に酸化アルミを真空
蒸着するにあたって、まず原材料の合成樹脂フィルム２
をコーティングローラ４の方へ送るとともに、坩堝５を
加熱して坩堝５内のアルミを蒸発させる。蒸発したアル
ミは合成樹脂フィルムに蒸着するようになる。その場
合、同時に外部から酸素を酸素吹出し管６に給送して酸
素吹出し管６の吹出し孔からアルミの蒸気中に吹き込ん
で、アルミに酸化反応を起こさせる。なお、図３に示す
例では、酸素を酸素吹出し管６の一端から給送するよう
になっているが、酸素を酸素吹出し管６の両端から給送
することも、従来行われている。

【０００８】そして、この酸化反応を起こしたアルミの
蒸気がコーティングローラ４にガイドされている合成樹
脂フィルム２に蒸着される。このとき、アルミは酸化反
応を起こしているので、効果的に合成樹脂フィルム２に
蒸着されるようになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の真空
蒸着装置３においては、１本の酸素吹出し管６により、
酸素をアルミの蒸気中に吹き込むようにしているため、
酸素吹出し管６は合成樹脂フィルム２の幅よりも長く設
定されている。合成樹脂フィルム２の幅は、通常、約２
ｍ程度に設定されており、したがって、酸素吹出し管６
はそれ以上の長さにされている。

【００１０】しかしながら、１本の長い酸素吹出し管６
で酸素を吹き出す場合、各吹出し孔からの酸素吹出し量
は均一ではなく、吹出し孔の位置によって異なってしま
う。このように各吹出し孔の酸素吹出し量に均一でない
と、アルミと酸素との反応がばらついてしまい、酸素吹
出し量が多いところでは酸素反応過多になり、また酸素
吹出し量が多いところでは酸素反応不足となる。そし
て、酸化アルミが合成樹脂フイルムに蒸着された際、合
成樹脂フィルム２の幅方向において酸素反応の異なった
酸化アルミが蒸着されるようになる。このため、酸素反
応過多の酸化アルミが蒸着されたところでは、酸素反応
過多により積層合成樹脂フイルムにおけるバリア値が低
下してしまい、また、酸素反応不足の酸化アルミが蒸着
されたところでは、酸素反応不足により積層合成樹脂フ
イルムに着色ムラが生じてしまう。

【００１１】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、その目的は、被蒸着材料の幅方向にお
いて反応物質吹出し量をより高度に均一にすることので
きる真空蒸着装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、蒸着材料を収容した蒸着材料
容器と、この蒸着材料容器の真上に配設され、前記蒸着
材料容器から蒸発した蒸着材料が蒸着される被蒸着フィ
ルムをガイドするガイド手段と、前記蒸着材料容器と前
記ガイド手段との間で前記被蒸着フィルムの幅方向に延
設して配設され、前記蒸着材料を被蒸着フィルムに効果
的に蒸着させるために、蒸発した蒸着材料に反応する反
応物質を吹き出す反応物質吹出し管とを少なくとも備え
た真空蒸着装置において、前記反応物質吹出し管が、前
記被蒸着フィルムの幅方向に分割された配設されている
とともに、分割された各反応物質吹出し管はそれぞれ所
定数の反応物質吹出し孔が設けられており、更に分割さ
れた反応物質吹出し管にはそれぞれ反応物質給送管が個
別に接続されていることを特徴としている。

【００１３】また、請求項２の発明は、前記各反応物質
給送管が、それぞれ反応物質吹出し管の長手方向中央に
接続されていることを特徴としている。更に、請求項３
の発明は、各反応物質給送管が１つのマニホールド管に
接続されており、更にこのマニホールド管が反応物質供
給源に接続されていることを特徴としている。

【００１４】更に、請求項４の発明は、前記各反応物質
給送管に、それらの反応物質給送管を流れる反応物質の
流量を調整する流量調整弁がそれぞれ個別に設けられて
いることを特徴としている。

【００１５】更に、請求項５の発明は、更に、前記各反
応物質給送管に、それらの反応物質給送管を流れる反応
物質の流量を測定する流量計がそれぞれ個別に設けられ
ているとともに、これらの流量計の測定結果に基づい
て、前記各反応物質吹出し管の反応物質吹出し孔からの
反応物質吹出し量が均一となるように前記流量調整弁を
制御することを特徴としている。

【００１６】更に、請求項６の発明は、前記被蒸着フィ
ルムが合成樹脂フィルムであり、また前記蒸着材料はア
ルミニウムであり、更に前記反応物質が酸素であること
を特徴としている。

【００１７】

【作用】このように構成された本発明の真空蒸着装置に
おいては、反応物質吹出し管が被蒸着フィルムの幅方向
に所定数に分割して設けられ、これらの反応物質吹出し
管を通して反応物質が蒸着材料の蒸気中に吹き出される
ようになる。したがって、反応物質吹出し管が長くなる
ことがなく、各反応物質吹出し孔からの反応物質吹出し
量は、反応物質吹出し管の長さに基づく不均一さがほと
んどなくなり、被蒸着フィルムの幅方向にわたって均一
となる。これにより、蒸着材料と反応物質との反応のば
らつきが解消されるようになる。

【００１８】特に、各流量計でそれぞれ各反応物質給送
管の反応物質の流量を測定し、その測定結果に基づい
て、反応物質吹出し管からの反応物質吹出し量が均一と
なるように、各流量調整バルブが制御されることによ
り、各反応物質吹出し孔からの反応物質吹出し量がより
一層高度に均一となる。

【００１９】このように、各反応物質吹出し孔からの反
応物質吹出し量が均一になることにより、蒸着材料と反
応物質との反応のばらつきが解消されるので、被蒸着フ
ィルムへの蒸着材料の蒸着は、反応物質による反応の過
不足が生じることなく行われる。したがって、蒸着材料
が被蒸着フイルムに蒸着された際、被蒸着フィルムの幅
方向において反応物質による反応の均一な蒸着材料が蒸
着されるようになる。これにより、蒸着材料が蒸着され
た積層被蒸着フイルムにおいては、バリア値が均一かつ
高性能に保持されるようになるとともに、着色ムラが解
消されるようになる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明にかかる真
空蒸着装置の実施の形態の一例を模式的に示し、（ａ）
は図３と同様の図、（ｂ）は（ａ）におけるIB−IB線に
沿う断面図である。なお、前述の従来の真空蒸着装置と
同じ構成要素には同じ符号を付すことにより、その詳細
な説明は省略する。

【００２１】図１（ａ）に示すように、この例の真空蒸
着装置１は、酸素吹出し管６が合成樹脂フィルムの幅方
向に４個の第１ないし第４酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６
ｃ,６ｄに分割されて、互いに独立して設けられてい
る。これらの第１ないし第４酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６
ｃ,６ｄは、ともに形状および寸法が同じに設定されて
いるとともに、各酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄ毎
に、６個の酸素吹出し孔がそれぞれ等ピッチで設けられ
ている。同図（ｂ）に示すように、これらの酸素吹出し
孔８は下方に開口するように設けられており、この酸素
吹出し孔８に対向してＶ字状のガイド部材９が各酸素吹
出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄにそれぞれ取り付けられて
いる。したがって、各酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６
ｄに給送されてきた酸素は酸素吹出し孔８から下方に吹
き出され、吹き出された酸素はガイド部材９に衝突し、
このガイド部材９によって上方へガイドされかつ拡散し
てアルミの蒸気中に吹き出され、このアルミと効果的に
反応するようになっている。また、各酸素吹出し管６
ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄは、互いに隣接する酸素吹出し管に
おける隣接する酸素吹出し孔８間の距離が酸素吹出し孔
８のピッチに等しくなるように配設されている。したが
って、第１ないし第４酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６
ｄの全部の酸素吹出し孔８が等ピッチで配置されるてい
る。

【００２２】各酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄに
は、それぞれその長手方向中央に第１ないし第４酸素給
送管１０,１１,１２,１３が接続されており、これらの
第１ないし第４酸素給送管１０,１１,１２,１３は、積
層合成樹脂フィルムの製造装置１のハウジング１４を気
密に貫通して外部に延設されている。更に、これらの第
１ないし第４酸素給送管１０,１１,１２,１３は１つの
マニホールド管１４に接続されているとともに、このマ
ニホールド管１４は図示しない酸素供給源に接続されて
いる。

【００２３】更に、第１ないし第４酸素給送管１０,１
１,１２,１３の外部の部分には、第１ないし第４流量調
整バルブ１５,１６,１７,１８がそれぞれ設けられてい
るとともに、これらの第１ないし第４流量調整バルブ１
５,１６,１７,１８の真空蒸着装置３側に隣接して第１
ないし第４マノメータ１９,２０,２１,２２がそれぞれ
設けられている。その場合、第１ないし第４流量調整バ
ルブ１５,１６,１７,１８は、それぞれ第１ないし第４
酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄまでの距離ができる
だけ等しくなるように設定することが、第１ないし第４
酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄからの吹出し量を均
一にするうえで望ましい。

【００２４】そして、第１ないし第４酸素給送管１０,
１１,１２,１３の流量を第１ないし第４マノメータ１
９,２０,２１,２２によって測定し、第１ないし第４酸
素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄからの吹出し量が均一
となるように、第１ないし第４流量調整バルブ１５,１
６,１７,１８を制御するようになっている。その場合、
第１ないし第４マノメータ１９,２０,２１,２２の測定
結果に基づいて、図示しない電子制御装置が第１ないし
第４流量調整バルブ１５,１６,１７,１８を自動的に制
御するようにすることもできる。

【００２５】このように、この例の真空蒸着装置３にお
いては、従来の酸素吹出し管６を第１ないし第４酸素吹
出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄに合成樹脂フィルム２の幅
方向に分割して設け、これらの第１ないし第４酸素吹出
し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄを通して酸素をアルミの蒸気
中に吹き出すようにしているので、酸素吹出し管が長く
なることがなく、各酸素吹出し孔からの酸素吹出し量
に、酸素吹出し管の長さに基づく不均一さがほとんどな
くなる。したがって、酸素吹出し孔からの酸素吹出し量
が均一となり、合成樹脂フィルム２の幅方向におけるア
ルミと酸素との反応のばらつきが解消されるようにな
る。

【００２６】特に、この例では、第１ないし第４酸素吹
出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄがともに形状および寸法が
同じに形成されているとともに、すべての酸素吹出し孔
８が等ピッチで配置されているので、アルミと酸素との
反応のばらつきがより一層解消される。

【００２７】また、第１および第４マノメータ１９,２
０,２１,２２でそれぞれ第１および第４酸素給送管１
０,１１,１２,１３の流量を測定し、その測定結果に基
づいて、第１ないし第４酸素吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,
６ｄからの吹出し量が均一となるように、第１ないし第
４流量調整バルブ１５,１６,１７,１８を制御している
ので、各酸素吹出し孔からの酸素吹出し量をより一層高
度に均一にすることができるようになる。

【００２８】このように、各酸素吹出し孔からの酸素吹
出し量が均一になることにより、アルミと酸素との反応
のばらつきが解消されるので、酸素反応の過不足が生じ
ることなく行われる。したがって、酸化アルミが合成樹
脂フイルム２に蒸着された際、合成樹脂フィルム２の幅
方向において酸素反応の均一な酸化アルミが蒸着される
ようになる。これにより、酸化アルミが蒸着された積層
合成樹脂フイルムにおいては、バリア値を均一かつ高性
能に保持できるとともに、着色ムラを解消することがで
きるようになる。この例の真空蒸着装置３の他の構成お
よび他の作用効果は、前述の従来例と同じである。

【００２９】なお、前述の例では、第１ないし第４酸素
吹出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄを４個設けるものとして
いるが、これに限定されることはなく、酸素吹出し管６
ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄは、合成樹脂フィルム２の幅方向に
任意の数だけ設けることができる。また、１個の酸素吹
出し管６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄに設けられる酸素吹出し孔
８も６個に限定されることはなく、任意の数だけ設ける
ことができる。更に、第１ないし第４酸素吹出し管６
ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄの内径および長さがすべて等しいと
限定されるものではなく、任意に設定できる。

【００３０】更に、蒸着材料もアルミに限定されること
はなく、ＳｉＯを始め、合成樹脂フィルムに蒸着できる
ものであればどのようなものでもよく、また吹出し管か
ら吹き出されるものも酸素に限定されることはなく、蒸
着材料と反応して、この蒸着材料を効果的に合成樹脂フ
ィルム２に蒸着させるものであればどのようなものでも
よい。

【００３１】

【実施例】実際に、第１ないし第４酸素吹出し管６ａ,
６ｂ,６ｃ,６ｄを作成し、試験をした結果、バリア値に
ついて表１に示す結果が得られ、また着色状況について
表２に示す結果が得られた。試験に用いた各部品の仕
様、試験条件および測定機器は次の通りである。

【００３２】酸素吹出し管の内径１２φ、長さ１５０ｍ
ｍ；４本の酸素吹出し管の配列状態での全長６００ｍｍ；酸素吹出し孔の径０.８φ、ピッチ２５ｍｍ；酸素給送管の内径１０φ；合成樹脂フィルムの有効幅５００ｍｍ；合成樹脂フィルムに蒸着される酸化アルミ膜の厚み２０
０〜２３０オンク゛ストローム；酸化アルミ膜の形成速度（合成樹脂フィルムの送り速
度）６００ｍ／ｍｉｎ；必要酸素量７０００ｃｃ／ｍｉｎ；全酸素吹出し孔の全吹出し面積１２.０６ｍｍ²；酸素吹出し孔の単位面積５８０.４ｃｃ／ｍｍ²／ｍｉ
ｎ；酸素吹出し孔の１個当たりの流量２９１ｃｃ／ｍｉｎＭＯＣＯＮ社製酸素透過度測定器ＯＸＴＲＡＮミノルタ製色差計反射Ｌａｂ表色系

【００３３】

【表１】

【００３４】

【表２】

【００３５】なお、表１および表２において、比較例は
図２および図３に示す従来例、すなわち１本の酸素吹出
し管を用いた場合であり、また５つのデータは、合成樹
脂フィルムの幅方向の５カ所のデータである。

【００３６】表１から、酸化アルミ膜が形成された積層
樹脂フィルムの幅方向において、バリア値がほぼ等しく
なることがわかるとともに、表２から、積層樹脂フィル
ムの幅方向において、着色状況もほぼ等しくなることが
わかる。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の真空蒸着装置によれば、反応物質吹出し管を被蒸着フ
ィルムの幅方向に所定数に分割して設け、これらの反応
物質吹出し管を通して反応物質を蒸着材料の蒸気中に吹
き出すようにしているので、反応物質吹出し管が長くな
ることがなく、各反応物質吹出し孔からの反応物質吹出
し量の不均一さがほとんどなくなり、反応物質吹出し量
を被蒸着フィルムの幅方向にわたって均一にすることが
できる。これにより、蒸着材料と反応物質との反応のば
らつきを解消することができる。

【００３８】特に、各流量計でそれぞれ各反応物質給送
管の反応物質の流量を測定し、その測定結果に基づい
て、反応物質吹出し管からの反応物質吹出し量が均一と
なるように、各流量調整バルブを制御することにより、
各反応物質吹出し孔からの反応物質吹出し量をより一層
高度に均一にすることができる。

【００３９】そして、各反応物質吹出し孔からの反応物
質吹出し量を均一にすることにより、蒸着材料と反応物
質との反応のばらつきを解消できるので、被蒸着フィル
ムへの蒸着材料の蒸着を、反応物質による反応の過不足
が生じることなく行うことができる。したがって、蒸着
材料を被蒸着フイルムに蒸着した際、被蒸着フィルムの
幅方向において反応物質による反応の均一な蒸着材料を
蒸着することができるようになる。これにより、蒸着材
料が蒸着された積層被蒸着フイルムにおいては、バリア
値を均一かつ高性能に保持できるとともに、着色ムラを
解消することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる真空蒸着装置の実施の形態の
一例を模式的に示し、（ａ）は真空蒸着装置の図、
（ｂ）は（ａ）におけるIB−IB線に沿う断面図である。

【図２】従来の、真空蒸着を用いて積層樹脂フィルム
を製造するための製造装置を模式的に示す図である。

【図３】図２に示す積層樹脂フィルムの製造装置にお
ける真空蒸着装置部分を示す図である。

【符号の説明】

１…積層樹脂フィルムの製造装置、２…合成樹脂フィル
ム、３…真空蒸着装置、４…コーティングローラ、５…
坩堝、６ａ,６ｂ,６ｃ,６ｄ…酸素吹出し管、７…積層
樹脂、８…酸素吹出し孔、９…ガイド部材、１０…第１
酸素給送管、１１…第２酸素給送管、１２…第３酸素給
送管、１３…第４酸素給送管、１４…マニホールド管、
１５…第１流量調整バルブ、１６…第２流量調整バル
ブ、１７…第３流量調整バルブ、１８…第４流量調整バ
ルブ、１９…第１マノメータ、２０…第２マノメータ、
２１…第３マノメータ、２２…第４マノメータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】蒸着材料を収容した蒸着材料容器と、こ
の蒸着材料容器の真上に配設され、前記蒸着材料容器か
ら蒸発した蒸着材料が蒸着される被蒸着フィルムをガイ
ドするガイド手段と、前記蒸着材料容器と前記ガイド手
段との間で前記被蒸着フィルムの幅方向に延設して配設
され、前記蒸着材料を被蒸着フィルムに効果的に蒸着さ
せるために、蒸発した蒸着材料に反応する反応物質を吹
き出す反応物質吹出し管とを少なくとも備えた真空蒸着
装置において、前記反応物質吹出し管は、前記被蒸着フィルムの幅方向
に分割された配設されているとともに、分割された各反
応物質吹出し管はそれぞれ所定数の反応物質吹出し孔が
設けられており、更に分割された反応物質吹出し管には
それぞれ反応物質給送管が個別に接続されていることを
特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】前記各反応物質給送管は、それぞれ反応
物質吹出し管の長手方向中央に接続されていることを特
徴とする請求項１記載の真空蒸着装置。
【請求項３】各反応物質給送管は１つのマニホールド
管に接続されており、更にこのマニホールド管は反応物
質供給源に接続されていることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の真空蒸着装置。
【請求項４】前記各反応物質給送管に、それらの反応
物質給送管を流れる反応物質の流量を調整する流量調整
弁がそれぞれ個別に設けられていることを特徴とする請
求項１ないし３のいずれか１記載の真空蒸着装置。
【請求項５】更に、前記各反応物質給送管に、それら
の反応物質給送管を流れる反応物質の流量を測定する流
量計それぞれ個別に設けられているとともにこれらの流
量計の測定結果に基づいて、前記各反応物質吹出し管の
反応物質吹出し孔からの反応物質吹出し量が均一となる
ように前記流量調整弁を制御することを特徴とする請求
項４記載の真空蒸着装置。
【請求項６】前記被蒸着フィルムは合成樹脂フィルム
であり、また前記蒸着材料はアルミニウムであり、更に
前記反応物質は酸素であることを特徴とする請求項１な
いし５のいずれか１記載の真空蒸着装置。