JP2011231389A - 金属化フィルムおよびその製造方法、ならびに該金属化フィルムを用いた金属化フィルムコンデンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘電体フィルム19の表面に、金属蒸着層11が形成される蒸着部19Dと、蒸着部に隣接するマージン部19Mとを有し、金属蒸着層は、前記マージン部と隣接する隣接部分にマージン部に近づくにつれて厚みが減少する傾斜部11Sを備えた金属化フィルム10を、オイル18を蒸発させて誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、マージン部上でマージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、オイル蒸着工程およびオイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、蒸着部に金属蒸着層を形成する金属蒸着工程とを含む工程で製造する。
【選択図】図1
Description
図7(a)は、従来の金属化フィルム80の製造方法においてフィルム89にオイル88を蒸着させたときの一例を模式的に示す断面図である。図7(b)は、(a)に示したフィルム89に金属蒸着を行ったときの状態を模式的に示す断面図である。
続いて、オイル88が蒸着されたフィルム89に金属蒸着を行うことにより、図7(b)に示す金属化フィルム80を得ることができる。
金属蒸着においては、オイルが少量でも付着していれば、必ずマスクできるというものではなく、ある一定以上の量(厚さ)のオイルが付着していなければ、繰り返し衝突する金属粒子によりオイルが取り除かれるか、または再蒸発等により拡散してしまい、蒸着金属が付着してしまうので、オイル88の裾部まで金属蒸着層81が形成されることになる。
その方法について、図8を用いて説明する。
図8(a)は、従来の金属化フィルムの製造方法においてフィルムにオイルを蒸着させたときの他の例を模式的に示す断面図である。図8(b)は、(a)に示したフィルムに金属蒸着を行ったときの状態を模式的に示す断面図である。なお、図8では、図7と同一部分に、図7と同じ符号を付している。
続いて、オイル98が蒸着されたフィルム89に金属蒸着を行うことにより、図8(b)に示す金属化フィルム90を得ることができる。
図9(a)〜(c)は、オイル印刷の工程を模式的に示す断面図である。なお、図9では、図7と同一部分に、図7と同じ符号を付している。
次に、図9(b)に示すように、フィルム89の表面89aに印刷治具70Pを近づけて、凸部70Bをフィルム89の表面89aに押し付け、凸部70Bに付着したオイル78を、フィルム89の表面89aに転写する。
フィルム89に印刷されたオイル78は、マージン部89Mを覆い、さらにマージン部89Mの両側に位置する蒸着部89Dの一部を覆う。また、フィルム89に印刷されたオイル78は、図9(b)に示すように凸部70Bがフィルム89の表面89aに押し付けられることにより、フィルム89に印刷されているので、その中央部78Cが凹み、中央部78Cの両側の縁部78Bが盛り上がっている。
そのため、図9(c)に示すフィルム89に金属蒸着を行うと、中央部78Cに対応した部分に蒸着金属が付着してしまうという問題があった。
属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる金属化フィルムの製造方法を提供することである。
一方、オイル印刷では、図9(c)に示すように、オイル78の中央部78Cが凹んでしまうので、本来マージン部89Mとなるべき位置に蒸着金属が付着してしまうというデメリットがあるが、フィルム89の表面89aと接触する部分におけるオイル78の立ち上がり角は大きくなるというメリットがある。
(1) 誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムの製造方法であって、
オイルを蒸発させて前記誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、
前記マージン部上で該マージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、
前記オイル蒸着工程および前記オイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、前記蒸着部に前記金属蒸着層を形成する金属蒸着工程と、
を含むことを特徴とする金属化フィルムの製造方法。
具体的には、オイル印刷によりマージン部との境界部分における金属層の傾斜を急峻にするとともに、オイル蒸着により付着オイル中央部の厚みを確保し、マージン部に金属蒸着層が形成されるのを抑制することができる。
その結果、金属化フィルムにおける酸化劣化による金属蒸着層の消失(膜後退)を抑制することができる。
また、マージン部の縁に印刷されたオイルにより、オイルの立ち上がり角を大きくするので、オイルの噴射量を少なくすることができる。従って、フィルムの巻取り性を低下させることがなく、また金属化フィルムの滑り性が向上する。
そのため、現在、金属化フィルムを製造するときの金属蒸着としては、オイルの蒸着によるマージン部の形成が主流となっている。このような状況において、本発明は、オイル噴き付けによるマージン部の形成でも、マスク蒸着を行った場合と同様の形状の蒸着金属層を得ることを可能とするものである。
本発明の「蒸着部」とは、コンデンサとして構成したときに、電極として静電容量に寄与する部分(または電極引出し部分と電気的に接続されている部分)、「マージン部」とは、電極として静電容量に寄与しない部分(金属が部分的に付着しているとしても、電極と接続されていない部分)をいう。
よって、「突条部」(後述)は、「マージン部」に形成される金属層であるが、本発明の「金属蒸着層」には含まれない。すなわち、本発明の「金属蒸着層」は、「蒸着部」に意図的に蒸着させる金属層を指す。
(2) 前記(1)の金属化フィルムの製造方法であって、
前記オイル印刷工程においてオイルを印刷する位置は、前記オイル蒸着工程においてオイルを付着させる領域の外縁位置と重複していることを特徴とする。
(3)誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムにおいて、
前記金属蒸着層は、前記マージン部と隣接する隣接部分に前記マージン部に近づくにつれて厚みが減少する傾斜部を備え、
前記マージン部には、前記金属蒸着層から離間するとともに前記金属蒸着層の縁に沿った突条部が形成されていることを特徴とすることを特徴とする金属化フィルム。
(4) 前記(4)に記載の金属化フィルムが巻回または積層されてなるコンデンサ素子が用いられていることを特徴とする金属化フィルムコンデンサ。
図1(a)は、オイル蒸着工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。図1(b)は、オイル蒸着工程後にオイル印刷工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。図1(c)は、金属蒸着工程を行ったときの金属化フィルムを模式的に示す部分断面図である。
このように、本発明では、オイル印刷を併用するので、オイルの蒸着量を少なく設定することができる。なお、オイル18Dは、図中における手前側から奥側へ向けて延びる平面視帯状を呈するように蒸着されている。
以上の工程を経た後、オイルは蒸着用の蒸発源からの輻射熱により除去され、図1(c)に示す金属化フィルム10を得ることができる。金属化フィルム10が、本発明の金属化フィルムである。
金属化フィルム10は、誘電体フィルム19と、誘電体フィルム19の表面19aに形成された金属蒸着層11とからなる。金属蒸着層11は、アルミニウムからなる。
金属蒸着層11の縁は、図中における手前側から奥側へ向けて延びる直線状を呈し、突条部12は、金属蒸着層11の縁と平行な平面視帯状を呈する。金属蒸着層11と突条部12との間の間隔は、スリット19Sとなっている。
図2(a)は、オイル印刷工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。図2(b)は、オイル印刷工程後にオイル蒸着工程を行ったときの誘電体フィルムを模式的に示す部分断面図である。
まず、オイル蒸着工程について説明する。
図3(a)は、オイル蒸着工程の状態を模式的に示す斜視図である。図3(b)は、そのA−A線断面図である。図4(a)は、図3(a)に示すオイル蒸着工程を誘電体フィルムの進行方向の下流側から上流側を見たときの様子を模式的に示す図である。図4(b)は、図3(b)に示す断面図におけるノズル近傍を模式的に示す部分拡大図である。
図4(b)は、オイル印刷を行う前にオイル蒸着を行う場合におけるオイル蒸着の状態を示しているが、寸法a〜cについては、オイル印刷を行った後にオイル蒸着を行う場合であっても同じである。
本発明において、オイル印刷工程では、回転ロールによる印刷が行われる。
図5(a)は、オイル印刷工程の状態を模式的に示す図である。図5(b)は、図5(a)に示すオイル印刷工程によりオイルが印刷された誘電体フィルム19の平面図である。図5(a)において、白抜きの矢印は、誘電体フィルム19の搬送方向を示す。
その結果、誘電体フィルム19の表面19aには、凸状部21a、21bのパターンに応じたオイルの凸部18aと凸部18b(スリットパターン)が形成され、図5(b)に示す形状となる。図中、19Mは、マージン予定部であり、19Dは、金属蒸着予定部である。
図6(a)は、図7に示す従来方法を示しており、図7と同一部分には、同様の符号を付している。また、二点破線は金属蒸着前の蒸着オイル形状である。
図6(b)は、図1に示す本発明に係る方法を示しており、図1と同一部分には、同様の符号を付している。また、一点破線は従来の金属蒸着前の蒸着オイル形状であり、二点破線は本発明に係る方法による金属蒸着前の蒸着オイル形状である。
図6(c)は、図8に示す従来方法(オイル増量)を示しており、図6(c)では、図8と同一部分には、同様の符号を付している。また、二点破線は金属蒸着前の蒸着オイル形状である。
なお、図6において、Nは、ノズルを示している。
これに対し、従来の方法(図6(a))では、本発明の方法(図6(b))と比べて、オイルの付着量が多く、マージン部と隣接する隣接部分における金属蒸着層の立ち上がり角は、小さくなっている。また、従来の方法(オイル増量)(図6(c))では、マージン部の幅W2が最大で、オイルの付着量も最も多い。
従って、本発明の金属化フィルムの製造方法によれば、オイルの噴射量を少なくすることができるとともに、金属蒸着層の立ち上がり角を大きくすることができ、さらに、マージン部の幅を必要最小限に確保することができる。
図1(a)では、オイル蒸着工程において、オイル18Dをマージン部19の全域を覆うように蒸着させる場合について説明したが、オイル蒸着工程においてオイルを蒸着する範囲は、少なくともマージン部の略全域を覆う範囲であればよく、オイル蒸着工程のみによって、必ずしも、マージン部の全域にオイルを蒸着する必要はない。オイル蒸着工程およびオイル印刷工程を終えたときにオイルがマージン部の全域を覆っていればよい。
例えば、オイル蒸着工程を行ってからオイル印刷工程を行う場合、オイル蒸着工程では、マージン部の縁部に、オイルが蒸着されていない領域があってもよい。オイル蒸着工程の後のオイル印刷工程において、該領域にオイルを印刷すれば、オイル蒸着工程およびオイル印刷工程を終えたときにオイルがマージン部の全域を覆うことになる。
一方、オイル印刷工程を行ってからオイル蒸着工程を行う場合、オイル蒸着工程を終えた時点で、オイルがマージン部の全域を覆っている必要がある。
11 金属蒸着層
11S 傾斜部
11T 先端部
12 突条部
18 オイル
18a 凸部
18D (蒸着された)オイル
18P (印刷された)印刷オイル
19 誘電体フィルム
19a (誘電体フィルム19の)表面
19D 蒸着部
19M マージン部
19S スリット
20 オイル噴射ロール
21 オイル印刷ロール
21a 凸状部(ロール円筒軸方向)
21a 凸状部(ロール周方向)
Claims (4)
- 誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムの製造方法であって、
オイルを蒸発させて前記誘電体フィルムの表面に付着させ、マージン部を形成するオイル蒸着工程と、
前記マージン部上で該マージン部の縁に沿って、オイルを印刷するオイル印刷工程と、
前記オイル蒸着工程および前記オイル印刷工程の後に金属蒸着を行うことにより、前記蒸着部に前記金属蒸着層を形成する金属蒸着工程と、
を含むことを特徴とする金属化フィルムの製造方法。 - 前記オイル印刷工程においてオイルを印刷する位置は、前記オイル蒸着工程においてオイルを付着させる領域の外縁位置と重複していることを特徴とする請求項1に記載の金属化フィルムの製造方法。
- 誘電体フィルムの表面に、金属蒸着層が形成される蒸着部と、該蒸着部に隣接するマージン部とを有する金属化フィルムにおいて、
前記金属蒸着層は、前記マージン部と隣接する隣接部分に前記マージン部に近づくにつれて厚みが減少する傾斜部を備え、
前記マージン部には、前記金属蒸着層から離間するとともに前記金属蒸着層の縁に沿った突条部が形成されていることを特徴とすることを特徴とする金属化フィルム。 - 請求項3に記載の金属化フィルムが巻回または積層されてなるコンデンサ素子が用いられていることを特徴とする金属化フィルムコンデンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011231389A true JP2011231389A (ja) | 2011-11-17 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010105073A Active JP5345104B2 (ja) | 2010-04-30 | 2010-04-30 | 金属化フィルムおよびその製造方法、ならびに該金属化フィルムを用いた金属化フィルムコンデンサ |
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Country | Link |
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US11495413B2 (en) | 2017-10-04 | 2022-11-08 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Film capacitor |
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