JP2001093778A - 金属蒸着フィルムおよびそれを用いたコンデンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】耐電圧テスト等における不良率を少なくすると
ともに、さらに小型の安全規格に適合したコンデンサに
好適に用いられる金属蒸着フィルム、およびその金属蒸
着フィルムを用いてなるコンデンサを提供する。 【解決手段】高分子フィルムの少なくとも片面に、電極
となる金属蒸着膜部とフリーマージン部にかけ金属蒸着
膜厚さが連続的に低減する境界膜部を設け、かつ保安機
構マージン部を有することを特徴とする金属蒸着フィル
ムで、金属蒸着膜部の表面抵抗は１Ω／□〜１５Ω／□
であり、フリーマージン部の表面抵抗は１ｘ１０¹⁰Ω／
□以上である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気・電子回路に
用いられるコンデンサ用金属蒸着フィルムコンデンサ、
特にアクロスライン等に用いられるコンデンサ、中でも
落雷時等に突入するサージ電流によってコンデンサが破
壊、発火などをおこすことのないよう規定された各種の
安全規格に適合した安全規格コンデンサに好適に用いら
れる金属蒸着フィルムおよびそれを用いたコンデンサに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種家庭用電気機器あるいは電子機器に
は、ラインから入るノズルを除去あるいは機器で発生す
るノイズが電源ラインに入るのを防ぐために、フィルタ
ーコンデンサが使用されている。これらのフィルターコ
ンデンサへは、落雷時等に生じる大きな突入電流が入る
ことがあり、これらの突入電流によってフィルターコン
デンサが破壊や発火することのないように、厳しい試験
を課す規格が各国で規定されている。例えば、ＵＬ １
４１４、ＣＡＳ Ｃ２２．２ ＮＯ１、ＶＤＥ０５６５
−１、ＩＥＣ ３８４−１４、ＳＥＶ １０５５、ＪＩ
Ｓ Ｃ５１５１などであり、さらにＮＥＭＫＯ、ＳＥＭ
ＫＯ、ＤＥＭＫＯ、ＥＩ、ＢＳなどの規格がある。

【０００３】これらは大きな突入電流を想定し、定格電
圧に比べ極めて高い電圧を一定時間かけ、異常あるいは
破壊しないことを規定している。

【０００４】従来、これらの規格に適合するため、１１
〜１２μｍのような厚いポリエステルフィルムを用い、
かつ広巾のマージンを有するアルミ蒸着フィルムが用い
られていたが、この対策においても規格に適合するにぎ
りぎりの品質のため、製造工程での不良率が大きいこ
と、具体的には検査工程の耐電圧テストにおいて不良が
発生する率が大きいことが問題であった。一方で、コン
デンサの小型化に対する強い要望があるが、小型化のた
めにフィルム厚みを薄くすると当然不良率が増大し、小
型化に対する技術にいき詰まっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、耐電
圧テスト等における不良率を少なくするとともに、さら
に小型の安全規格に適合したコンデンサに好適に用いら
れる金属蒸着フィルム、およびその金属蒸着フィルムを
用いてなるコンデンサを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
せんとするものであり、本発明の金属蒸着フィルムは、
高分子フィルムの少なくとも片面に表面抵抗１Ω／□〜
１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部と表面抵抗１ｘ１
０¹⁰Ω／□以上のフリーマージン部、および該金属蒸着
膜部と該フリーマージン部の間に該金属蒸着膜部より該
フリーマージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減す
る幅０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有し、かつ該金属蒸
着膜部を分画し、分画された金属蒸着膜部同士、または
該分画された金属蒸着膜部と外部との電気的結合をとる
ための金属蒸着膜部とを電気的に結合するための隘路
部、若しくは分画された金属蒸着膜部同士を結合するた
めの隘路部を有する保安機構マージン部を備えたことを
特徴とするものである。

【０００７】本発明の金属蒸着フィルムは、境界膜部の
幅が０．１〜０．５ｍｍ、より好ましくは０．２〜０．
３ｍｍであること、フリーマージン部および保安機構マ
ージン部が、オイルで覆われていること、そのオイルが
フッ素オイルまたはシリコーンオイルであること、シリ
コーンオイルがジメチルポリシロキサンオイルまたはメ
チルフェニルシリコーンオイルであること、フッ素オイ
ルの重量平均分子量が８００〜５，０００、より好まし
くは１，５００〜４，２００の範囲にあること、さら
に、分画された一つの金属蒸着膜部と該金属蒸着膜部と
隣接した他の一つの分画された金属蒸着膜部とを電気的
に連絡するための隘路部、または分画された一つの金属
蒸着膜部と外部との電気的結合をとるための隘路部が二
つ以上あること、および分画された金属蒸着膜部の形状
が網状であること、を好ましい態様として含んでいる。

【０００８】そして、本発明のコンデンサは、上記のい
ずれかに記載の金属蒸着フィルムを用いてなることを特
徴とするもので、特に落雷時等に突入するサージ電流に
よってコンデンサが破壊や発火などを起こすことのない
よう規定された各種の安全規格に適合した安全規格コン
デンサである。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の金属蒸着フィルムは、高
分子フィルムの少なくとも片面に電極となる金属蒸着膜
部とフリーマージン部、および該金属蒸着膜部と該フリ
ーマージン部の間に該金属蒸着膜部より該フリーマージ
ン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する境界膜部を
設けてなる基本構造を有している。

【００１０】まず、本発明の金属蒸着フィルムを図面に
基づいて説明するが、本発明は本実施態様例に限定され
るものではない。

【００１１】図１は、本発明の一実施態様例である金属
蒸着フィルムの概略断面図であり、図２は、図１の概略
平面図を示す。また、図３は、分画された金属蒸着膜部
の形状が網状の未蒸着部で囲まれた形状（以下特殊分画
パターンと称す）であるパターンの概略平面図を示す。

【００１２】図１において、金属蒸着フィルム１は、高
分子フィルム２と、その上に形成されたコンデンサの対
電極との電気的絶縁性を保つためのフリーマージン（以
後、マージンと略称することがある）部３と金属蒸着膜
部４、およびフリーマージン部３と金属蒸着膜部４の間
に位置する境界膜部５で構成されている。金属蒸着膜部
４は、コンデンサの端子と電気的結合をとるための部分
と分画された蒸着部分からなっている。境界膜部５の幅
はＬで表され、またフリーマージン部３には存在するオ
イル６が図示されている。

【００１３】また、図２において、コンデンサの電極と
なる金属蒸着膜部４は、隘路部８を有する保安機構マー
ジン部７によって分画されている。隘路部８は、コンデ
ンサの端子と電気的結合をとるための金属蒸着膜部９と
分画された金属蒸着膜部１０の金属蒸着膜同士を電気的
に連絡している。

【００１４】図２において、コンデンサの外部との電気
的結合をとるための金属蒸着部の幅ａ、保安機構マージ
ン部の幅ｂ、保安機構マージン部の幅ｃ、隘路部の幅ｄ
は、コンデンサの容量、定格、分画された部分の面積、
蒸着膜抵抗等を考慮して、適切に保安機能が働くように
設計する。フリーマージン部の幅ｅは、十分な絶縁が取
れる長さであれば良く、定格電圧により決定する。

【００１５】また、図３は分画された金属蒸着膜部が網
状になったパターンを例示しており、ここでは、保安機
構マージン部７、コンデンサの外部との電気的結合をと
るための金属蒸着部への隘路部８、および分画された金
属蒸着膜部間の網状パターンの隘路部１１が示されてい
る。このパターンは図３の場合では４角形に設けられて
いる。

【００１６】本発明で用いられる高分子フィルム２は、
天然樹脂、半合成樹脂あるいは合成高分子樹脂をフィル
ム状に成形したもので、中でも合成高分子樹脂からなる
高分子フィルムが、耐熱性、機械特性、電気特性および
物理化学的特性の点からより好ましく用いられる。

【００１７】好ましい合成高分子樹脂としては、ポリオ
レフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポ
リイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイ
ト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポ
リアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂およ
びポリアリレン樹脂などを挙げることができる。特にポ
リプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
カーボネイトおよびポリスチレンが、機械特性および電
気特性の点からより好ましい。中でも、ポリプロピレン
およびポリエチレンテレフタレートが、交流耐電圧（Ａ
Ｃ耐電圧）が高いことから特に好ましい。 フィルムの
厚さ、形状等は、フィルムの素材、コンデンサの仕様、
定格等によって異なるため、特に限定されないが、種々
の安全規格テストに耐え得る範囲内であれば、薄い方が
コンデンサの小型化が出来るため好ましい。

【００１８】本発明において、金属蒸着膜部４は、金属
を高分子フィルム２上に蒸着することによって形成され
る。

【００１９】金属蒸着膜部４を構成する金属としては、
Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｎｉあるいはこ
れらの合金など、導電性を有するものであれば特に限定
されるもないが、Ａｌ、Ｚｎ、ＣｕおよびＳｎなどが、
耐コロナ劣化性が少なく好ましく用いられる。金属蒸着
膜部４の膜抵抗は、１〜１５Ω／□が好ましく、特に２
〜１２Ω／□が良い。膜抵抗が１Ω／□未満の場合は、
弱点部でヒーリングが発生した場合、蒸着膜が厚いが故
に、そのクリアリングに大きなエネルギーを要し、蒸着
金属の飛散が不十分となり、絶縁破壊が発生した弱点部
において十分な絶縁距離が確保できないため、クリアリ
ング不良から絶縁破壊を生じ易い。また、膜抵抗が１５
Ω／□を超える場合は、逆に金属が薄いが故に生ずる膜
抵抗変化や、耐電流特性の点から好ましくない。

【００２０】本発明の金属蒸着フィルム１においては、
金属蒸着膜部４とフリーマージン部３の間に境界膜部５
を有することが重要である。境界膜部５とは、図１に示
す如く、金属蒸着膜部４からフリーマージン部３にかけ
て、金属蒸着膜部４の蒸着膜の厚みがフリーマージン部
３へ連続的に低減していく状態の部位を指し、光学顕微
鏡で観察した場合、図１のように金属蒸着膜部４の暗い
部分からマージン部３の明るい部分にかけ、幅（Ｌ）が
０．０２〜１ｍｍ、より好ましくはＬ：０．１〜０．５
ｍｍ、特に好ましくはＬ：０．２〜０．３ｍｍをもっ
て、徐々に暗い部分から明るい部分へ明るさが変化する
領域がある状態の部位を指す。

【００２１】従来のコンデンサ用金属蒸着フィルムの場
合、ＪＩＳ Ｃ２３１９−１９７７（コンデンサ用メタ
ライズポリエステルフィルム）の４・３耳幅に規定され
ているように、蒸着金属膜の端に連続して不鮮明な箇所
があってはならないとされている。このため、マージン
を形成する従来法としては、蒸着される高分子フィルム
上にマスクとなるマージンと同じ幅のテープをはわせ未
蒸着部（マージン）を形成するテープマージン法が知ら
れており、この方法は、蒸着膜とマージンの境がはっき
りしたマージンが形成されることおよびプレス性が良い
ことから好ましく利用されてきた。また、他の方法とし
ては、蒸着膜に高分子フィルム上にマージンの幅にオイ
ルを蒸着し、オイル部に蒸着膜が付着しないことを利用
したオイルマージン法があるが、この方法の場合は、テ
ープマージン法と同様に、マージンとの境をはっきりさ
せるため（境界膜部５生じさせないため）、特公平３−
５９９８１号公報のごとく、蒸着金属がより付着しにく
いフッ素系オイルが使用されている（特公平３−５９９
８１号公報）。

【００２２】本発明は、これら従来の技術とは全く逆に
境界膜部５を設けることによって、逆に安全規格コンデ
ンサのテストにある高い電圧の印加に対しても、破壊、
特にフリーマージン部と金属蒸着膜部の境界における高
分子フィルムの絶縁破壊を防ぎ得ることを見出し、なさ
れたものである。

【００２３】境界膜部５は、フリーマージン部となる部
分にオイル塗布量を変えて塗布し、（即ち、金属蒸着膜
部に近い方はオイル塗布量を少なくなるよう）保安機構
マージン部や網状パターンは、その形状に彫刻したロー
ルにオイルをと塗布し、それをフィルムに転写させた
後、Ａｌ、Ｚｎ或いはその合金等の金属を蒸着し形成す
る。

【００２４】本発明の金属蒸着フィルム１においては、
さらに図４に示すごとく、フリーマージン部３がオイル
６で覆われていることが好ましい。オイル６の量はわず
かなため定量化できないが、図４のごとく、金属蒸着フ
ィルム１を巻回または積層してコンデンサとした際の上
下の２枚の金属蒸着フィルム１、１の間のフリーマージ
ン部分が、オイル６で満たされること、より好ましくは
空気の層がないようになることである。この場合、オイ
ル６がコンデンサの含浸オイルと相溶することによって
オイルと含浸オイルによってフリーマージン部３が満た
され、空気の層がなくなることでも良い。つまり、フリ
ーマージン部３にオイルが存在し、コンデンサにしたと
き、金属蒸着フィルム１の間のフリーマージン部分が空
気層のないようにオイルで充満されることが好ましい。

【００２５】本発明の金属蒸着フィルムの特徴である境
界膜部を生じさせ、金属蒸着フィルムの間のマージン部
分をオイルで充満させるため、および電気特性の点か
ら、オイルとしては、フッ素オイルまたはシリコーンオ
イルが好ましく用いられる。

【００２６】フッ素オイルとしては、側鎖または直鎖タ
イプのパーフルオロアルキルポリエーテルが好ましく、
中でも分子量分布のシャープな側鎖タイプのフッ素オイ
ルが定量塗布でき、より好ましく用いられる。また、シ
リコーンオイルとしては、ジメチルポリシロキサンやメ
チルフェニルシリコーンオイルが好ましく、中でもフェ
ニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンが分子量分布
のシャープなことと、適度な蒸気圧を有することから安
定した塗布ができ、より好ましく用いられる。

【００２７】シリコーンオイルとフッ素オイルの選択
は、蒸着金属の種類によって決定することができる。即
ち、蒸着金属がＡｌの場合は、蒸着金属の付着防止効果
の高いフッ素オイルを選択し、また蒸着金属がＺｎを主
体とする蒸着金属の場合は、金属の付着防止効果の比較
的低いシリコーンオイルを用いる等のように選択すれば
良い。

【００２８】フッ素オイルを用いる場合は、その重量平
均分子量Ｍｗは８００〜５，０００の範囲のものが好ま
しく、さらにＭｗ：１，５００〜４，２００のものがよ
り好ましい。Ｍｗが８００未満のオイルは、金属蒸着後
に蒸着膜部へのオイルの滲みだしが発生し、プレス性を
阻害する要因となる。また、Ｍｗが５，０００を超える
ものは、オイルが高い粘性、低蒸気圧となるため、オイ
ル塗布の際マージンオイルノズルの加熱温度が高くな
り、均一に塗布し難い欠点が生じる場合がある。

【００２９】また、本発明でいう保安機構マージン部と
は、誘電体フィルムが絶縁破壊した際、隘路部の蒸着金
属が破断し、絶縁破壊部のみをコンデンサより分離して
他部署への波及をなくするために設けたものである。こ
れを設けることにより、より薄い誘電体フィルムを用い
たコンデンサ設計ができ、コンデンサの小型化を可能と
ならしむるものである。保安機構マージン部の形状およ
び寸法は特に限定されるものではなく、コンデンサの設
計仕様により、適正な形状及び寸法を選択すれば良い。
本発明の保安機構マージン部の形成方法は、特に限定
されないが、特開昭６３−１１４９５６号公報、特開平
６−１３６５１３号公報あるいは特開平４−２２５５０
８号公報の方法のように、蒸着前に保安機構マージン部
の形状を彫刻したロールにオイルを塗布後それをフィル
ムに転写し、蒸着金属の付着を防ぎ、保安機構マージン
部を形成する方法が、多数の隘路部８の形状をより同一
にすることができる上で好ましい。

【００３０】一般的なコンデンサ仕様で安全規格の厳し
い交流課電テストを行なった場合、絶縁体フィルムの破
壊はコロナの発生し易いマージン際で頻発するが、本発
明のように境界膜部を設けることでマージン際の破壊は
激減する。この場合、絶縁体フィルムの破壊は、コロナ
の発生し易い部分や、フィルムの絶縁耐力の弱い部分で
発生するが、金属蒸着膜部を分画し、保安機構マージン
部を設けることにより、絶縁破壊を起こした一部分のみ
がコンデンサの機能を失うのみで、他の部分はコンデン
サとして生き残ることができる。

【００３１】このように金属蒸着膜部からフリーマージ
ン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する幅０．０２
〜１ｍｍの境界膜部を有し、かつ金属蒸着膜部を分画
し、保安機構マージンを具備した金属蒸着フィルムを用
いたコンデンサは、高い耐電圧を有し、かつ破壊が起こ
りにくいため、高い電圧が印加される安全規格コンデン
サに特に適している。

【００３２】［物性値の測定および評価方法］ （１）境界膜部の幅 蒸着膜とマージン部の界面をＮｉｋｏｎ社製ＰＲＯＦＩ
ＬＥ ＰＲＯＪＥＣＴＯＲ Ｖ−１２を用い、５０倍の
倍率で観察し、Ｎｉｋｏｎ社製 ＤＩＧＩＴＡＬ ＣＯ
ＵＮＴＥＲ ＣＭ−６Ｓで読みとった。

【００３３】（２）マージン部のオイルの重量平均分子
量（Ｍｗ） ゲル浸透クロマトグラフＧＰＣ−２２４（ＷＡＴＥＲ
Ｓ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥ
ＲＳ）を用いて測定し、分子量校正はポリスチレンで行
なった。

【００３４】（３）マージン部のオイルの有無 ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）でマージン部を観測することによっ
て、オイルの存在を確認できる。

【００３５】装置：ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００−２０６ 励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｚｅｄ Ａｌ Ｋ
α１．２線（１４８６．６ｅｖ） 光電子脱出角度（θ）：３５° エネルギー補正：Ｃ1ｓメインピークの結合エネルギー
値を２８４．６ｅｖに合わせた。

【００３６】なお、ＸＰＳは感度が良いため汚染による
オイルを検出することがあるが、マージン部がオイルで
覆われている場合は検出されたオイルからの信号が著し
く高く、汚染のオイルとは区別できる。

【００３７】（４）耐電圧 完成素子を用い、ＡＣ１５００Ｖ，１分間の電圧を印加
して素子の破壊および容量の変化等を調べた。

【００３８】

【実施例】（実施例１、２、比較例１、２）実施例１で
は厚さ６μｍ、実施例２では厚さ７μｍのポリプロピレ
ンフィルムを用い、図２のパターンをもつ、Ａｌ蒸着膜
からなる幅６３０ｍｍの金属蒸着フィルムを作った。フ
リーマージン部３の幅ｅ＝２．０ｍｍ、分画された金属
蒸着膜部１０の面積は９４５ｍｍ²、保安機構マージン
部の幅ｂ＝０．４５ｍｍ、ｃ＝０．３０ｍｍ、隘路部８
は一つの分画された金属蒸着膜部１０に２個形成し、か
つ隘路部８の幅ａ＝０．３５ｍｍで、隘路部を形作る保
安機構マージン部７の端部は直径０．４５ｍｍの半円状
とした。コンデンサの端子と電気的結合をとるための金
属蒸着膜部９の幅ａ＝１．５ｍｍとし、金属蒸着膜部は
総ての部分を６Ω／□とした。またマージン部の形成
は、重量平均分子量Ｍｗ＝３２００のパーフルオロポリ
エーテル（アウジモント（株）製フォンブリンＹＬＶＡ
Ｃ）を用いた。 比較例１では、保安機構マージン部で
分画した部分のない蒸着で、その他は実施例１と同様の
条件で蒸着した。

【００３９】比較例２では、厚さ８μｍのポリプロピレ
ンフィルムを用い、境界膜部を作らず、かつ分画部分も
ない通常の蒸着で、その仕様は比較例１に準じた。

【００４０】これらの蒸着品をスリット後、素子巻きを
行ない、約２μＦの素子を作成した。この素子を用い、
１０５℃、６０ｋｇ／ｃｍ²、６分の条件でプレス後、
メタリコン及びリード端子付けを行なった。この素子を
エポキシ樹脂で外装し、コンデンサを作成した。

【００４１】各条件共この素子１０個を用い、室温下で
ＡＣ１５００Ｖ，１分間の印加テストを行ない、耐電圧
特性を評価した。これらの評価結果を表１に示す。

【００４２】本発明から外れるため、ここでは記載して
いないが、適度な幅の境界膜部のみ、および保安機構マ
ージン部を有するのみの、何れかの特徴を有する金属蒸
着フィルムを用いたコンデンサは、厚さ８μｍのフィル
ムでは破壊しないが、厚みを７μｍ以下に薄くすると総
て破壊する。

【００４３】それに対し、フリーマージン部に適度な幅
の境界膜部を有し、かつ保安機構マージン部を有する金
属蒸着フィルムは、厚さを６μｍにしても、過酷な耐電
圧試験において破壊しない優れた特性を有していること
が判る。

【００４４】

【表１】 （実施例３、比較例３）実施例３では厚さ８μｍのポリ
エチレンテレフタレートフィルムを用い、蒸着条件およ
び寸法等の仕様は実施例１に準じた。比較例３は１１μ
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、蒸着
条件等は比較例２に準じた。

【００４５】これらの蒸着品をスリット後、素子巻きを
行ない、約１μＦの素子を作成した。この素子を用い、
１２０℃、６０ｋｇ／ｃｍ²、６分の条件でプレス後、
メタリコンおよびリード端子付けを行なった。この素子
をエポキシ樹脂で外装し、コンデンサを作成した。

【００４６】実施例３、比較例３共にこの素子１０個を
用い、室温下でＡＣ１５００Ｖ，１分間の印加テストを
行ない、耐電圧特性を評価した。これらの評価結果を表
２に示す。

【００４７】

【表２】 表２から明らかなように、本発明の金属蒸着フィルムを
用いたコンデンサは、大幅に厚みを薄くしても、過酷な
耐電圧試験において破壊することなく、高い耐電圧を有
する優れた特性を持つことが判る。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、金属蒸着膜部からフリ
ーマージン部にかけ、連続的に低減する幅０．０２〜１
ｍｍの境界膜部を設け、かつ保安機構マージン部で金属
蒸着部を分画する金属蒸着フィルムとしたことにより、
これをコンデンサに用いた場合、極めて高い耐電圧を有
する信頼性の高いコンデンサを提供することができ、ひ
いては、コンデンサの小型化に寄与できる。

【００４９】また、安全規格コンデンサに課せられる高
電圧印加に対しても、マージン際での破壊が起こらず、
コンデンサの小型化ができ、かつ極めて高い安全性を有
したコンデンサを作ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施態様例である金属蒸着フィル
ムの概略断面図。

【図２】 図１の概略平面図。

【図３】 分画された金属蒸着膜部の形状が網状の未蒸
着部で囲まれた形状であるパターンの概略平面図。

【図４】 本発明の金属蒸着フィルムを巻回または積層
してコンデンサとした際のモデル概略断面図。

【符号の説明】

１：金属蒸着フィルム ２：高分子フィルム ３：フリーマージン部 ４：金属蒸着膜部 ５：境界膜部 ６：オイル ７：保安機構マージン部 ８：隘路部 ９：コンデンサの外部との電気的結合をとるための金属
蒸着膜部 １０：分画された金属蒸着膜部 １１：網状パターンの隘路部 ａ：コンデンサの外部との電気的結合をとるための金属
蒸着部の幅 ｂ：保安機構マージン部の幅 ｃ：保安機構マージン部の幅 ｄ：隘路部の幅 ｅ：フリーマージン部の幅 Ｌ：境界膜部の幅

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高分子フィルムの少なくとも片面に、表
   面抵抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部
   と表面抵抗１ｘ１０¹⁰Ω／□以上のフリーマージン部、
   および該金属蒸着膜部と該フリーマージン部の間に該金
   属蒸着膜部より該マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続
   的に低減する幅０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有し、か
   つ該金属蒸着膜部を分画し、分画された金属蒸着膜部同
   士、または該分画された金属蒸着膜部と外部との電気的
   結合をとるための金属蒸着膜部とを電気的に結合するた
   めの隘路部、若しくは分画された金属蒸着膜部同士を結
   合するための隘路部を有する保安機構マージン部を備え
   たことを特徴とする金属蒸着フィルム。
2. 【請求項２】 境界膜部の幅が０．１〜０．５ｍｍであ
   ることを特徴とする請求項１記載の金属蒸着フィルム。
3. 【請求項３】 フリーマージン部および保安機構マージ
   ン部が、オイルで覆われていることを特徴とする請求項
   １または２記載の金属蒸着フィルム。
4. 【請求項４】 オイルがフッ素オイルまたはシリコーン
   オイルであることを特徴とする請求項３記載の金属蒸着
   フィルム。
5. 【請求項５】 シリコーンオイルがジメチルポリシロキ
   サンオイルまたはメチルフェニルシリコーンオイルであ
   ることを特徴とする請求項４記載の金属蒸着フィルム。
6. 【請求項６】 フッ素オイルの重量平均分子量が８００
   〜５，０００の範囲にあることを特徴とする請求項４ま
   たは５記載の金属蒸着フィルム。
7. 【請求項７】 分画された一つの金属蒸着膜部と該金属
   蒸着膜部と隣接した他の一つの分画された金属蒸着膜部
   とを電気的に連絡するための隘路部、または分画された
   一つの金属蒸着膜部と外部との電気的結合をとるための
   隘路部が二つ以上あることを特徴とする請求項１〜６の
   いずれかに記載の金属蒸着フィルム。
8. 【請求項８】 分画された金属蒸着膜部の形状が網状で
   あることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の
   金属蒸着フィルム。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれかに記載の金属蒸
   着フィルムを用いてなるコンデンサ。