JP3539017B2 - 金属蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ - Google Patents
金属蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はコンデンサ用金属蒸
着高分子フィルムとそれを用いたコンデンサに関するも
のである。
着高分子フィルムとそれを用いたコンデンサに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、コンデンサの安全性を高める
ため、保安機構を形成する種々のパターンマージン（未
蒸着部）を有する金属蒸着フィルムが数多く提案されて
いる。例えば特公昭１４−３４１９号、特公昭６３−９
６４８号、特公昭６３−９６５３号、特公昭６３−９６
５４号、特公昭６３−３６１２７号、特公平１−３０２
８４号、特公平１−３０２８５号各公報、英国特許第８
７６２７４号明細書、ヨーロッパ特許公開第００１７５
５６号公報などを挙げることができる。
ため、保安機構を形成する種々のパターンマージン（未
蒸着部）を有する金属蒸着フィルムが数多く提案されて
いる。例えば特公昭１４−３４１９号、特公昭６３−９
６４８号、特公昭６３−９６５３号、特公昭６３−９６
５４号、特公昭６３−３６１２７号、特公平１−３０２
８４号、特公平１−３０２８５号各公報、英国特許第８
７６２７４号明細書、ヨーロッパ特許公開第００１７５
５６号公報などを挙げることができる。
【０００３】また、米国特許第５０５７９６７号明細書
には、蒸着膜を分割し、小容量のコンデンサの集合体と
なるパターンマージンを設けることが提案されている。
には、蒸着膜を分割し、小容量のコンデンサの集合体と
なるパターンマージンを設けることが提案されている。
【０００４】さらに、特開平４−２２５５０８号公報あ
るいは特開平６−３１０３６８号公報には、パターンマ
ージンによって分割された小容量のコンデンサ間を、ヒ
ューズ機能を有する狭小の蒸着膜でつなぐ構造が提案さ
れている。
るいは特開平６−３１０３６８号公報には、パターンマ
ージンによって分割された小容量のコンデンサ間を、ヒ
ューズ機能を有する狭小の蒸着膜でつなぐ構造が提案さ
れている。
【０００５】これらはいずれもパターンマージンによっ
て蒸着膜にヒューズ機能をもたせ、蒸着膜が自己回復
（セルフヒーリング）に失敗したときに該ヒューズ機能
を働かせ、コンデンサの破壊を防ぐことを目的としたも
の、あるいは蒸着膜を分割することによって形成された
少容量のコンデンサにかかる電圧を小さくしたものであ
る。
て蒸着膜にヒューズ機能をもたせ、蒸着膜が自己回復
（セルフヒーリング）に失敗したときに該ヒューズ機能
を働かせ、コンデンサの破壊を防ぐことを目的としたも
の、あるいは蒸着膜を分割することによって形成された
少容量のコンデンサにかかる電圧を小さくしたものであ
る。
【０００６】しかし、これらのパターンマージンを持っ
た金属蒸着フィルムを用いたコンデンサは静電容量の低
下が大きいことが問題となっている。
た金属蒸着フィルムを用いたコンデンサは静電容量の低
下が大きいことが問題となっている。
【０００７】本発明者らの解析から、静電容量の低下の
主たる原因は自己回復の失敗によりヒューズ機能が働い
たことによるものではなく、パターンマージン近傍で破
壊、あるいは、コロナ放電がおき、ヒューズ機能が働い
たこと、および蒸着膜が酸化し、絶縁化したことによる
ものであることがわかった。
主たる原因は自己回復の失敗によりヒューズ機能が働い
たことによるものではなく、パターンマージン近傍で破
壊、あるいは、コロナ放電がおき、ヒューズ機能が働い
たこと、および蒸着膜が酸化し、絶縁化したことによる
ものであることがわかった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明はパターンマー
ジンを形成することによって生じる該パターンマージン
近傍での破壊、あるいはコロナ放電の発生を抑制し、パ
ターンマージンのもつ本来の安全性向上性能を生かした
コンデンサ用金属蒸着フィルム、およびそれを用いたコ
ンデンサを提供するものである。
ジンを形成することによって生じる該パターンマージン
近傍での破壊、あるいはコロナ放電の発生を抑制し、パ
ターンマージンのもつ本来の安全性向上性能を生かした
コンデンサ用金属蒸着フィルム、およびそれを用いたコ
ンデンサを提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的に沿う本発明の
金属蒸着フィルムは、高分子フィルムの少なくとも片面
に、金属蒸着層、フィルム長手方向に連続して形成され
た金属の未蒸着部からなるフリーマージン、及び保安機
構を形成あるいは金属蒸着層を分画するパターンマージ
ンを有する金属蒸着フィルムにおいて、該パターンマー
ジンがフッ素系またはシリコーン系オイルを蒸着もしく
は印刷し次いで金属を蒸着することにより形成されてお
り、その表面抵抗が１×１０2 〜１×１０12Ω／□であ
ることを特徴とする金属蒸着フィルムである。
金属蒸着フィルムは、高分子フィルムの少なくとも片面
に、金属蒸着層、フィルム長手方向に連続して形成され
た金属の未蒸着部からなるフリーマージン、及び保安機
構を形成あるいは金属蒸着層を分画するパターンマージ
ンを有する金属蒸着フィルムにおいて、該パターンマー
ジンがフッ素系またはシリコーン系オイルを蒸着もしく
は印刷し次いで金属を蒸着することにより形成されてお
り、その表面抵抗が１×１０2 〜１×１０12Ω／□であ
ることを特徴とする金属蒸着フィルムである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施態様例である金属
蒸着フィルムの概略図面を図１に示す。なお、本発明は
本実施態様例に限定されるものではない。
蒸着フィルムの概略図面を図１に示す。なお、本発明は
本実施態様例に限定されるものではない。
【００１１】図１において、１は本発明の金属蒸着フィ
ルムであり、２は高分子フィルム、３は金属蒸着層、４
はフリーマージン、５はパターンマージンである。
ルムであり、２は高分子フィルム、３は金属蒸着層、４
はフリーマージン、５はパターンマージンである。
【００１２】本発明でいう高分子フィルム２とは天然、
半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもの
で、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルム耐熱
性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からより
好ましい。
半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもの
で、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルム耐熱
性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からより
好ましい。
【００１３】好ましい合成高分子樹脂としてポリオレフ
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポアリ
レート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアリ
レン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタ
レート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネリ
ト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより好
ましい。中でもポリプロピレン、およびポリエチレンテ
レフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いことか
ら特に好ましい。
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポアリ
レート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアリ
レン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタ
レート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネリ
ト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより好
ましい。中でもポリプロピレン、およびポリエチレンテ
レフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いことか
ら特に好ましい。
【００１４】金属蒸着層３の金属はＡｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、
Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉあるいはこ
れらの合金など導電性を有するものであれば特に限定さ
れるもないが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ
劣化性が少なく好ましい。中でもＡｌ−Ｚｎの合金が耐
湿性、耐コロナ劣化性及び自己回復特性の点でより好ま
しく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ含有
量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が金属蒸
着層表面Ｃ1 、金属蒸着層中央Ｃ2 、高分子フィルム界
面でＣ3 とするとＣ2 ＜Ｃ1 、かつＣ2 ＜Ｃ3 と連続的
に変化し、かつ金属蒸着層全体のＡｌの含有量比が０．
５〜１５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％となる
Ａｌ−Ｚｎの合金からなる金属蒸着層が特に好ましい。
中でもＡｌの含有量比Ｃ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 となる分布をす
るＡｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好
ましい。
Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉあるいはこ
れらの合金など導電性を有するものであれば特に限定さ
れるもないが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ
劣化性が少なく好ましい。中でもＡｌ−Ｚｎの合金が耐
湿性、耐コロナ劣化性及び自己回復特性の点でより好ま
しく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ含有
量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が金属蒸
着層表面Ｃ1 、金属蒸着層中央Ｃ2 、高分子フィルム界
面でＣ3 とするとＣ2 ＜Ｃ1 、かつＣ2 ＜Ｃ3 と連続的
に変化し、かつ金属蒸着層全体のＡｌの含有量比が０．
５〜１５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％となる
Ａｌ−Ｚｎの合金からなる金属蒸着層が特に好ましい。
中でもＡｌの含有量比Ｃ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 となる分布をす
るＡｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好
ましい。
【００１５】金属蒸着層の膜抵抗は１〜４０Ω／□が好
ましく、特に３〜１５Ω／□が良い。またメタリコンと
の密着性を向上させるため、メタリコン密着部２〜５ｍ
ｍ程度の金属蒸着層を厚く、いわゆるヘビーエッジにし
た場合は、電極部（アクティブ部）の抵抗を６〜１２Ω
／□にする事によって特に耐圧を向上させる。
ましく、特に３〜１５Ω／□が良い。またメタリコンと
の密着性を向上させるため、メタリコン密着部２〜５ｍ
ｍ程度の金属蒸着層を厚く、いわゆるヘビーエッジにし
た場合は、電極部（アクティブ部）の抵抗を６〜１２Ω
／□にする事によって特に耐圧を向上させる。
【００１６】フリーマージン４とはコンデンサの一方の
電極と他方の電極との間の絶縁をとるために設けるもの
で金属蒸着フィルムの一方の端に長手方向に連続して設
けられた金属蒸着層のない部分をさす。
電極と他方の電極との間の絶縁をとるために設けるもの
で金属蒸着フィルムの一方の端に長手方向に連続して設
けられた金属蒸着層のない部分をさす。
【００１７】金属蒸着層とフリーマージンの界面では蒸
着ボケを生じさせるように金属蒸着層を形成させ、かつ
フリーマージン部はオイルで覆われていることがフリー
マージン際での破壊を抑止でき、静電容量の低下を押さ
えれられることからとくに好ましい。蒸着ボケとはマー
ジン部において蒸着膜の厚みがマージン内側へ徐々に薄
くなっていく状態をさし、光学顕微鏡で観察した場合、
金属蒸着膜の暗い部分からマージン部の明るい部分にか
け、好ましくは０．０５〜１ｍｍ、より好ましくは０．
１〜０．５ｍｍ、特に好ましくは０．２〜０．３ｍｍ明
るさが変化する領域がある状態をさす。
着ボケを生じさせるように金属蒸着層を形成させ、かつ
フリーマージン部はオイルで覆われていることがフリー
マージン際での破壊を抑止でき、静電容量の低下を押さ
えれられることからとくに好ましい。蒸着ボケとはマー
ジン部において蒸着膜の厚みがマージン内側へ徐々に薄
くなっていく状態をさし、光学顕微鏡で観察した場合、
金属蒸着膜の暗い部分からマージン部の明るい部分にか
け、好ましくは０．０５〜１ｍｍ、より好ましくは０．
１〜０．５ｍｍ、特に好ましくは０．２〜０．３ｍｍ明
るさが変化する領域がある状態をさす。
【００１８】フリーマジンを形成する方法としてはテー
プマージン法やオイルマージン法などがあるが、上記の
性能を条件により付与できることからオイルマージン法
がより好ましい。
プマージン法やオイルマージン法などがあるが、上記の
性能を条件により付与できることからオイルマージン法
がより好ましい。
【００１９】パターンマージン５とは図１のごとくマー
ジンによって金属蒸着層を分画したり、あるいは分画し
た金属蒸着層の間に狭小の金属蒸着層で連結するように
マージンを設け、該狭小の金属蒸着層がヒューズとして
の役割を果たすよう保安機構性を付与するなどのために
設けられたマージンをさす。従来は例えば特開平７−１
７６４４７号公報のごとくパターンマージンは分画され
た金属蒸着層間の絶縁を保つため、十分なマージン幅と
絶縁抵抗を有することが求められていたが、本発明では
本パターンマージンの表面抵抗を１×１０2 〜１×１０
12Ω／□、より好ましくは１×１０4 〜１×１０10Ω／
□の半導電性にすることによってパターマージン際での
破壊、コロナ放電を抑制できることを見出し静電容量の
低下を押さえることを可能にしたものである。１×１０
2 Ω／□未満では分画した金属蒸着層間の絶縁が不十分
でコンデンサが破壊に至る確率が高く、１×１０12Ω／
□を超えた場合は静電容量低下をおさえる効果が少な
い。
ジンによって金属蒸着層を分画したり、あるいは分画し
た金属蒸着層の間に狭小の金属蒸着層で連結するように
マージンを設け、該狭小の金属蒸着層がヒューズとして
の役割を果たすよう保安機構性を付与するなどのために
設けられたマージンをさす。従来は例えば特開平７−１
７６４４７号公報のごとくパターンマージンは分画され
た金属蒸着層間の絶縁を保つため、十分なマージン幅と
絶縁抵抗を有することが求められていたが、本発明では
本パターンマージンの表面抵抗を１×１０2 〜１×１０
12Ω／□、より好ましくは１×１０4 〜１×１０10Ω／
□の半導電性にすることによってパターマージン際での
破壊、コロナ放電を抑制できることを見出し静電容量の
低下を押さえることを可能にしたものである。１×１０
2 Ω／□未満では分画した金属蒸着層間の絶縁が不十分
でコンデンサが破壊に至る確率が高く、１×１０12Ω／
□を超えた場合は静電容量低下をおさえる効果が少な
い。
【００２０】パターンマージンに半導電性を持たせる方
法は特に限定されないが、真空蒸着によって金属蒸着層
を形成する前に高分子フィルム表面にパターンマージン
のパターン状にオイルを蒸着、または印刷し、次いで金
属を蒸着することによってパターン状に金属が蒸着され
ない未蒸着部からなるパターンマージンが形成される
が、高分子フィルム表面に蒸着、または印刷するオイル
量を制御することによって薄い金属蒸着層が形成され、
半導電性のパターンマージン５を形成することができ
る。パターンマージン５を形成するオイルはフッ素系や
シリコーン系オイルが用いられるが、半導電性のパター
ンマージンを形成するうえで、特にシリコーンオイルが
好ましい。中でもジメチルポリシロキサン、およびフェ
ニルメチルポリシロキサンが好ましく、特に重量平均分
子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００で、かつ数平均分子量
ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１のフェニルメ
チルポリシロキサンが好ましい。
法は特に限定されないが、真空蒸着によって金属蒸着層
を形成する前に高分子フィルム表面にパターンマージン
のパターン状にオイルを蒸着、または印刷し、次いで金
属を蒸着することによってパターン状に金属が蒸着され
ない未蒸着部からなるパターンマージンが形成される
が、高分子フィルム表面に蒸着、または印刷するオイル
量を制御することによって薄い金属蒸着層が形成され、
半導電性のパターンマージン５を形成することができ
る。パターンマージン５を形成するオイルはフッ素系や
シリコーン系オイルが用いられるが、半導電性のパター
ンマージンを形成するうえで、特にシリコーンオイルが
好ましい。中でもジメチルポリシロキサン、およびフェ
ニルメチルポリシロキサンが好ましく、特に重量平均分
子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００で、かつ数平均分子量
ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１のフェニルメ
チルポリシロキサンが好ましい。
【００２１】パターンマージン５、金属蒸着層３、フリ
ーマージン４の各々の表面をオイルで覆うことがより好
ましく、オイル６で覆うことによりパターンマージン５
の表面抵抗を安定化させることができる。さらに金属蒸
着層３、及びフリーマージン４の表面をオイルで覆うこ
とによりコンデンサの含浸剤がより均一に入り、コロナ
放電の発生をおさえる。このためオイルとしては含浸剤
と相溶するオイルを用いることが好ましく、一般的にパ
ターンマージン５の表面抵抗を安定させる上でシリコー
ンオイルが優れている。なお金属蒸着層表面のオイルは
一部金属蒸着層に吸収されるようである。
ーマージン４の各々の表面をオイルで覆うことがより好
ましく、オイル６で覆うことによりパターンマージン５
の表面抵抗を安定化させることができる。さらに金属蒸
着層３、及びフリーマージン４の表面をオイルで覆うこ
とによりコンデンサの含浸剤がより均一に入り、コロナ
放電の発生をおさえる。このためオイルとしては含浸剤
と相溶するオイルを用いることが好ましく、一般的にパ
ターンマージン５の表面抵抗を安定させる上でシリコー
ンオイルが優れている。なお金属蒸着層表面のオイルは
一部金属蒸着層に吸収されるようである。
【００２２】これらのオイルは真空蒸着機内で高分子フ
ィルム表面にフリーマージン、パターンマージン、金属
蒸着層を形成後、これらの表面にオイルを真空蒸着する
ことによって形成できる。
ィルム表面にフリーマージン、パターンマージン、金属
蒸着層を形成後、これらの表面にオイルを真空蒸着する
ことによって形成できる。
【００２３】本発明の金属蒸着フィルムを通常の方法で
巻回、又は、積層し、次いでプレス、メタリコン、熱処
理、電極取り付け、含浸、外挿など通常の方法でコンデ
ンサを作成することによって、静電容量低下の少ない、
保安性に優れたコンデンサを作成することができる。
巻回、又は、積層し、次いでプレス、メタリコン、熱処
理、電極取り付け、含浸、外挿など通常の方法でコンデ
ンサを作成することによって、静電容量低下の少ない、
保安性に優れたコンデンサを作成することができる。
【００２４】なお、金属蒸着フィルム表面にオイルが付
着している場合は、プレス成型する際は通常のプレス条
件より、より高い温度で、かつ強い圧力で長い時間プレ
スする方が成型安定性が良いが、プレス条件を選定する
ことは当該業者においては当然のことである。
着している場合は、プレス成型する際は通常のプレス条
件より、より高い温度で、かつ強い圧力で長い時間プレ
スする方が成型安定性が良いが、プレス条件を選定する
ことは当該業者においては当然のことである。
【００２５】
（１）Ａｌ及びＺｎの定量
金属状着層部９ｃｍ2 を希硝酸で溶解した後２０ｍｌに
定溶し、この定溶液をＩＣＰ発行分光分析法にてＡｌお
よびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分析装置はセイコー電
子工業（株）製、ＳＰＳ１２００ＶＲ型を用いた。
定溶し、この定溶液をＩＣＰ発行分光分析法にてＡｌお
よびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分析装置はセイコー電
子工業（株）製、ＳＰＳ１２００ＶＲ型を用いた。
【００２６】（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布
ＪＥＯＬ製、ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分
析装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングし
ながらＡｌ及びＺｎの定量分析を行った。
析装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングし
ながらＡｌ及びＺｎの定量分析を行った。
【００２７】
Ａｒイオンエッチング条件
加速電圧 ：３ｋＶ
試料電流 ：１×１０−6 Ａ
エッチング速度：ＳｉＯ2 換算で１９０オングストロー
ム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧 ：３ｋＶ スリットＮｏ ：５ 試料電流 ：８×１０−6 Ａ 試料傾斜角度 ：７２度 ビーム径 ：１０μｍ
ム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧 ：３ｋＶ スリットＮｏ ：５ 試料電流 ：８×１０−6 Ａ 試料傾斜角度 ：７２度 ビーム径 ：１０μｍ
【００２８】なお高分子フィルム界面とはＡｌ含有量が
蒸着層表面より蒸着層中央にかけ徐々に低下し、つい
で、増大し、最大点に達し、次いで、また低下してい
く、最大点の位置とし、この点のＡｌ含有量比をＣ3 と
する。
蒸着層表面より蒸着層中央にかけ徐々に低下し、つい
で、増大し、最大点に達し、次いで、また低下してい
く、最大点の位置とし、この点のＡｌ含有量比をＣ3 と
する。
【００２９】（３）蒸着ボケ
蒸着膜とマージンの界面を光学顕微鏡下にて５０〜１０
０倍の倍率にて測定する。
０倍の倍率にて測定する。
【００３０】（４）パターンマージンの表面抵抗
パターンマージンに垂直にかつ幅１０ｍｍで金属蒸着フ
ィルムを切断し、パターンマージンの両側の金属蒸着層
を電極とし、抵抗Ｒｓ（Ω）を測定、次の式でパターン
マージンの表面抵抗ρｓ（Ω／□）を算出した。
ィルムを切断し、パターンマージンの両側の金属蒸着層
を電極とし、抵抗Ｒｓ（Ω）を測定、次の式でパターン
マージンの表面抵抗ρｓ（Ω／□）を算出した。
【００３１】ρｓ（Ω／□）＝［１０（ｍｍ）／パター
ンマージン幅（ｍｍ）］×Ｒｓ（Ω）
ンマージン幅（ｍｍ）］×Ｒｓ（Ω）
【００３２】（５）静電容量（Ｃ）
シェーリングブリッジにて６０Ｈｚ、４００Ｖで測定し
た。装置は総研電機（株）製、ＡＵＴＯＭＡＴＩＣ Ｓ
ＣＨＥＲＩＮＧ ＢＲＩＧＥ ＤＡＣ−ＰＳＣ−２０Ｗ
型を用いた。
た。装置は総研電機（株）製、ＡＵＴＯＭＡＴＩＣ Ｓ
ＣＨＥＲＩＮＧ ＢＲＩＧＥ ＤＡＣ−ＰＳＣ−２０Ｗ
型を用いた。
【００３３】（６）連続耐用試験
６０℃９０％ＲＨの雰囲気下にてＡＣ３００Ｖを課電
し、２０００時間後の容量変化 ΔＣ＝［（テスト後の容量−テスト前の容量）／（テス
ト前の容量）］×１００ を測定した。又コンデンサを分解し、容量減少のモード
を調べた。
し、２０００時間後の容量変化 ΔＣ＝［（テスト後の容量−テスト前の容量）／（テス
ト前の容量）］×１００ を測定した。又コンデンサを分解し、容量減少のモード
を調べた。
【００３４】
【実施例】以下、実施例にて本発明をより詳細に説明す
るが、本発明は該実施例に限定されるものではない。
るが、本発明は該実施例に限定されるものではない。
【００３５】実施例１〜５、比較例１〜３
厚さ４．５μｍのポリエステルフィルムにＺｎ−Ａｌ分
量（実施例１〜５、及び比較例１、２）、あるいはＡｌ
（比較例３）を図１（Ａ）のように蒸着した。実施例１
〜５と比較例１〜２では、真空蒸着機内で差出ロールよ
り差出した高分子フィルムに、まずパターンマージンの
パターンを彫刻したロールを用いパターンマージン状に
ＭＷ＝５２０、Ｍ／ＭＮ＝１．０のメチルフェニルポリ
シロキサンオイルを印刷し、次いで、マージンノズルを
用いフリーマージンの２倍の幅に同シリコーンオイルを
蒸着した。引き続きＡｌ蒸着後連続してＺｎを蒸着した
後、該金属蒸着フィルム全面に同じシリコーンオイルを
蒸着後金属蒸着フィルムを巻き取った。
量（実施例１〜５、及び比較例１、２）、あるいはＡｌ
（比較例３）を図１（Ａ）のように蒸着した。実施例１
〜５と比較例１〜２では、真空蒸着機内で差出ロールよ
り差出した高分子フィルムに、まずパターンマージンの
パターンを彫刻したロールを用いパターンマージン状に
ＭＷ＝５２０、Ｍ／ＭＮ＝１．０のメチルフェニルポリ
シロキサンオイルを印刷し、次いで、マージンノズルを
用いフリーマージンの２倍の幅に同シリコーンオイルを
蒸着した。引き続きＡｌ蒸着後連続してＺｎを蒸着した
後、該金属蒸着フィルム全面に同じシリコーンオイルを
蒸着後金属蒸着フィルムを巻き取った。
【００３６】彫刻ロール上のシリコーンオイルの量を調
節し、パターンマージンの表面抵抗を制御した。又金属
蒸着層中の平均Ａｌ含有量が９．５ｗｔ％、Ｃ1 ＝１
６．１ｗｔ％、Ｃ2 ＝４．６ｗｔ％、Ｃ3 ＝４８．２ｗ
ｔ％になるようＡｌ蒸発源とＺｎ蒸発源の温度を制御し
た。又金属蒸着層の膜抵抗はメタリコン密着部を４Ω／
□、アクティブ部８Ω／□とした。
節し、パターンマージンの表面抵抗を制御した。又金属
蒸着層中の平均Ａｌ含有量が９．５ｗｔ％、Ｃ1 ＝１
６．１ｗｔ％、Ｃ2 ＝４．６ｗｔ％、Ｃ3 ＝４８．２ｗ
ｔ％になるようＡｌ蒸発源とＺｎ蒸発源の温度を制御し
た。又金属蒸着層の膜抵抗はメタリコン密着部を４Ω／
□、アクティブ部８Ω／□とした。
【００３７】比較例３は通常の保安機構付き金属蒸着フ
ィルムで通常の方法によりまず彫刻ロールにてパーフル
オロポリエーテルオイルを印刷後、マージンノズルを用
いて同フッ素オイルを蒸着し、フリーマージン形成し、
次いでＡｌを蒸着し、作成した。Ａｌ蒸発源の温度を制
御し金属蒸着層の膜抵抗は４Ω／□にした（ヘビーエッ
ジではない）。
ィルムで通常の方法によりまず彫刻ロールにてパーフル
オロポリエーテルオイルを印刷後、マージンノズルを用
いて同フッ素オイルを蒸着し、フリーマージン形成し、
次いでＡｌを蒸着し、作成した。Ａｌ蒸発源の温度を制
御し金属蒸着層の膜抵抗は４Ω／□にした（ヘビーエッ
ジではない）。
【００３８】これらの金属蒸着フィルムをスリットし、
金属蒸着リールを作成した。各々の金属蒸着リールの幅
ａは５０ｍｍ、フリーマージン４の幅ｂは２ｍｍ、パタ
ーンマージン５の幅ｃは０．３５ｍｍ、ヒューズ部の幅
ｄは０．３５ｍｍ、金属蒸着層を分画したピッチの幅ｅ
は５０ｍｍにした。
金属蒸着リールを作成した。各々の金属蒸着リールの幅
ａは５０ｍｍ、フリーマージン４の幅ｂは２ｍｍ、パタ
ーンマージン５の幅ｃは０．３５ｍｍ、ヒューズ部の幅
ｄは０．３５ｍｍ、金属蒸着層を分画したピッチの幅ｅ
は５０ｍｍにした。
【００３９】各々の金属蒸着フィルム（金属蒸着リー
ル）を用い通常の方法で２０μＦの偏平型のコンデンサ
を作成し、各々のコンデンサの連続耐用試験を行った。
これらの結果を表１に示す。表１のごとく、実施例、特
に実施例２〜４に優れた特性を示した。
ル）を用い通常の方法で２０μＦの偏平型のコンデンサ
を作成し、各々のコンデンサの連続耐用試験を行った。
これらの結果を表１に示す。表１のごとく、実施例、特
に実施例２〜４に優れた特性を示した。
【００４０】
【表１】
【００４１】
【発明の効果】パターンマージンを半導電性にすること
によって、パターンマージン際で発生する破壊、コロナ
放電が抑制され、静電容量の低下抑制と保安機能性維持
の両特性を有するコンデンサ用金属蒸着フィルムを提供
できるようになった。
によって、パターンマージン際で発生する破壊、コロナ
放電が抑制され、静電容量の低下抑制と保安機能性維持
の両特性を有するコンデンサ用金属蒸着フィルムを提供
できるようになった。
【図１】本発明の一実施例に係る金属蒸着フィルムの概
略蒸着パターン図と断面図である。尚（Ｂ）は（Ａ）の
Ｘ−Ｘ´部の断面図である。
略蒸着パターン図と断面図である。尚（Ｂ）は（Ａ）の
Ｘ−Ｘ´部の断面図である。
【図２】本発明の一実施例に係る金属蒸着フィルムの金
属蒸着層のＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略
図である。
属蒸着層のＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略
図である。
【符号の説明】
１：金属蒸着フィルム
２：高分子フィルム
３：金属蒸着層
４：フリーマージン
５：パターンマージン
６：オイル
ａ：金属蒸着フィルムの幅
ｂ：フリーマージンの幅
ｃ：パターンマージンの幅
ｄ：パターンマージンによって形成されたヒューズ部の
幅 ｅ：パターンマージンで金属蒸着層を分画した、パター
ンマージンの間隔
幅 ｅ：パターンマージンで金属蒸着層を分画した、パター
ンマージンの間隔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−278787（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−278788（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−118974（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−293427（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−273969（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−273968（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−111439（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 14/20
Claims (7)
- 【請求項１】 高分子フィルムの少なくとも片面に、金
属蒸着層、フィルムの長手方向に連続して形成された金
属の未蒸着部からなるフリーマージン、および保安機構
を形成あるいは金属蒸着層を分画するパターンマージン
を有する金属蒸着フィルムにおいて、該パターンマージ
ンがフッ素系またはシリコーン系オイルを蒸着もしくは
印刷し次いで金属を蒸着することにより形成されてお
り、その表面抵抗が１×１０2 〜１×１０12Ω／□であ
ることを特徴とする金属蒸着フィルム。 - 【請求項２】 パターンマージンの表面抵抗が１×１０
4 〜１×１０10Ω／□であることを特徴とする請求項１
に記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項３】 金属蒸着層及び／またはパターンマージ
ンの表面がシリコーンオイルで覆われていることを特徴
とする請求項１または請求項２に記載の金属蒸着フィル
ム。 - 【請求項４】 フリーマージンが蒸着ボケを有し、かつ
表面がオイルで覆われていることを特徴とする請求項１
〜請求項３のいずれかに記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項５】 金属蒸着層の金属がＡｌ−Ｚｎ合金から
なり、金属蒸着層全体のＡｌの含有量比｛Ａｌ含有量×
１００／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が１〜１５ｗｔ
％で、かつ金属蒸着層表面のＡｌの含有量比をＣ1 、金
属蒸着層の中間のＡｌの含有量比をＣ2 、金属蒸着層と
高分子フィルム界面のＡｌの含有量比をＣ3 とするとＣ
2 ＜Ｃ1 、かつＣ2 ＜Ｃ3 であることを特徴とする請求
項１〜請求項４のいずれかに記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項６】 Ａｌの含有量比がＣ2 ＜Ｃ1 ＜Ｃ3 であ
ることを特徴とする請求項５に記載の金属蒸着フィル
ム。 - 【請求項７】 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の
金属蒸着フィルムを用いたことを特徴とするコンデン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31638895A JP3539017B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 金属蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31638895A JP3539017B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 金属蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09157834A JPH09157834A (ja) | 1997-06-17 |
| JP3539017B2 true JP3539017B2 (ja) | 2004-06-14 |
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ID=18076532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31638895A Expired - Fee Related JP3539017B2 (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 金属蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3539017B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3129711B2 (ja) | 1998-07-29 | 2001-01-31 | 新日本製鐵株式会社 | 石炭のコークス化と、塩素含有樹脂または塩素含有有機化合物、あるいはそれらを含む廃プラスチックの処理を並行して行う方法 |
| JP3095739B2 (ja) | 1998-08-28 | 2000-10-10 | 新日本製鐵株式会社 | 樹脂または有機化合物、あるいはそれらを含む廃プラスチックの処理方法 |
| JP4915947B2 (ja) * | 2007-08-17 | 2012-04-11 | ニチコン株式会社 | 金属化フィルムコンデンサ |
| JP5345104B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2013-11-20 | ニチコン株式会社 | 金属化フィルムおよびその製造方法、ならびに該金属化フィルムを用いた金属化フィルムコンデンサ |
| JP2012222127A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 金属化フィルムコンデンサ |
| CN108140483B (zh) * | 2015-10-21 | 2020-08-04 | 松下知识产权经营株式会社 | 金属化膜的制造方法 |
| WO2023054294A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | ルビコン株式会社 | コンデンサの製造方法および製造システム |
-
1995
- 1995-12-05 JP JP31638895A patent/JP3539017B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09157834A (ja) | 1997-06-17 |
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