WO2016190443A1 - 切削工具 - Google Patents

切削工具 Download PDF

Info

Publication number
WO2016190443A1
WO2016190443A1 PCT/JP2016/065847 JP2016065847W WO2016190443A1 WO 2016190443 A1 WO2016190443 A1 WO 2016190443A1 JP 2016065847 W JP2016065847 W JP 2016065847W WO 2016190443 A1 WO2016190443 A1 WO 2016190443A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
region
dlc layer
thickness
cutting tool
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2016/065847
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
聡史 森
ヨウセン シュ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to DE112016002393.6T priority Critical patent/DE112016002393B4/de
Priority to JP2017520826A priority patent/JP6612864B2/ja
Priority to CN201680031110.1A priority patent/CN107614168B/zh
Priority to US15/576,889 priority patent/US10688565B2/en
Publication of WO2016190443A1 publication Critical patent/WO2016190443A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0605—Carbon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148—Composition of the cutting inserts
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/503—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using DC or AC discharges
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/046—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with at least one amorphous inorganic material layer, e.g. DLC, a-C:H, a-C:Me, the layer being doped or not
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2226/00—Materials of tools or workpieces not comprising a metal
    • B23B2226/27—Composites
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/04—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by chemical vapour deposition [CVD]

Definitions

  • This aspect relates to a cutting tool including a DLC layer containing diamond-like carbon (DLC) on a substrate.
  • DLC diamond-like carbon
  • Diamond-like carbon layer is used as a coating material for cutting tools, molds and machine parts because of its excellent wear resistance and lubricity.
  • DLC layer Diamond-like carbon layer
  • Patent Document 1 discloses that a DLC layer having a hydrogen content of 5 atomic% or less is formed by arc ion plating using argon gas as a carrier gas.
  • Patent Document 2 discloses a DLC film containing argon formed by a direct-current plasma CVD method. The DLC layer is required to improve wear resistance and adhesion to the work material.
  • the cutting tool of this aspect is a cutting tool comprising a substrate and a DLC layer located on the surface of the substrate and containing diamond-like carbon, wherein the DLC layer is 0.1% by mass to 1% by mass.
  • FIG. 1 It is a perspective view about the cutting insert which is an example of the cutting tool of this embodiment. It is sectional drawing to which the principal part in the cutting insert of FIG. 1 was expanded. It is sectional drawing which shows the other example in the part corresponded in FIG. It is sectional drawing which shows the other example in the part corresponded in FIG.
  • a cutting insert (hereinafter simply referred to as an insert) 1 showing an embodiment of a cutting tool includes a first surface 2, a second surface 3 adjacent to the first surface 2, and a first surface, as shown in FIG.
  • the ridgeline part 4 is provided in the part which 2 and the 2nd surface 3 cross
  • at least a part of the first surface 2 forms a rake surface
  • at least a part of the second surface 3 forms a flank surface.
  • at least a part of the ridge line portion 4 forms a cutting blade.
  • the insert 1 has a through hole 10 that opens to the first surface 2 and penetrates to the surface opposite to the first surface 2.
  • the insert 1 includes a base 5 and a DLC layer 6 positioned on the base 5.
  • the phrase “located on the substrate 5” means that the DLC layer 6 is positioned on the surface of the substrate 5 before coating.
  • the DLC layer 6 may be positioned on at least a part of the substrate 5, but in the present embodiment, the DLC layer 6 is positioned so as to cover almost the entire substrate 5. In other words, the substrate 5 is covered with the DLC layer 6.
  • the DLC layer 6 contains diamond-like carbon as a main component.
  • “as a main component” means that the DLC layer 6 contains diamond-like carbon having a larger mass than other components.
  • the DLC layer 6 in this embodiment has a first region 7 containing argon at a ratio of 0.1% by mass to 1% by mass.
  • FIG. 2 shows an example in which the DLC layer 6 includes the first region 7. Since the first region 7 contains argon at a ratio of 0.1% by mass to 1% by mass, it has excellent wear resistance and can suppress welding of the work material. The DLC 6 having the first region 7 is also excellent in wear resistance and can suppress welding of the work material. Therefore, in the insert 1 of this embodiment, the covering effect by the DLC layer 6 is maintained over a long period of time.
  • a desirable range of the argon content in the first region 7 is 0.2 mass% to 0.5 mass%.
  • the case where the argon content in the first region 7 is 0.1% by mass or more is that argon is irradiated toward the substrate 5 during film formation.
  • the oxide layer present on the surface of the substrate 5 is removed, and the surface of the substrate 5 is cleaned.
  • region 7 increases, and it is excellent in abrasion resistance. Therefore, if the argon content in the first region 7 is 0.1% by mass or more, the adhesion of the first region 7 to the base 5 is high and the wear resistance is excellent.
  • the argon content in the first region 7 is 1% by mass or less, welding of the work material to the insert 1 that occurs when the work material is cut can be reduced.
  • the argon content in the film is less than 0.1% by mass.
  • membrane will exceed 1 mass%.
  • the argon content in the first region 7 can be measured by a WDS (wavelength dispersion type EPMA) analysis method.
  • the measurement is performed under the conditions of an acceleration voltage of 15 kV and a probe current of 1 ⁇ 10 ⁇ 7 A.
  • the analysis region is desirably measured in a range of 100 ⁇ m or more if possible, but may be measured in a range of less than 100 ⁇ m if the range of 100 ⁇ m or more cannot be obtained.
  • a method of measuring the surface of the DLC layer 6 on the polished surface while polishing the surface of the DLC layer 6 by a predetermined thickness There is a method in which the thickness is changed so that the thickness changes, and the measurement is performed at the position of each thickness on the polished surface.
  • the first region 7 exists when the argon content measured at one point in the DLC layer 6 is 0.1% by mass to 1% by mass.
  • the contents of argon at positions with different thicknesses are respectively measured, and the range in which the argon content is 0.1 mass% to 1 mass% is determined as the first region 7.
  • the DLC layer 6 may be constituted by one region only of the first region 7, but may be constituted by a plurality of regions as shown in FIG.
  • the DLC layer 6 includes a first region 7 that is in contact with the base 5 and a second region 8 that is located on the first region 7 and has a lower argon content ratio than the first region 7. ing.
  • the boundary between the first region 7 and the second region 8 is clear when the DLC layer 6 is viewed in cross section, the first region 7 is referred to as the first layer, and the second region 8 is referred to as the second layer. Also good. Note that the boundary between the first region 7 and the second region 8 is not necessarily clear. When this boundary is not clear, the argon content at a plurality of positions in the DLC layer 6 is measured, and the boundary between the first region 7 and the second region 8 may be evaluated based on these measurement results. .
  • the second region 8 has a smaller argon content ratio than the first region 7 and is located on the first region 7.
  • the first region 7 has a higher argon content ratio than the second region 8. Therefore, the DLC layer 6 of the insert 1 in the example shown in FIG.
  • the welding resistance can be made extremely high.
  • the thickness t1 of the first region 7 is 0.1 ⁇ m to 1 ⁇ m and the thickness t2 of the second region 8 is 0.1 ⁇ m to 0.6 ⁇ m, the welding resistance of the DLC layer 6 and Adhesion with the substrate 5 can be improved.
  • the ratio (t2 / t1) between the thickness t1 of the first region 7 and the thickness t2 of the second region 8 is 0.2 to 3.0.
  • the argon content is measured at a position where the thickness in the DLC layer 6 is different, and the argon content ranges from 0.1 ⁇ m to 1 ⁇ m.
  • the upper layer of the first region 7 is defined as the second region.
  • the thicknesses of the first region 7 and the second region 8 are the lengths in a direction orthogonal to the interface between the base 5 and the DLC layer 6 (hereinafter sometimes referred to as the surface of the base 5). Means. Note that the thickness direction of the first region 7 and the second region 8 changes depending on the position of the surface of the substrate 5.
  • the DLC layer 6 has a configuration in which the thickness of the portion located on the first surface 2 is thicker than the thickness of the portion located on the second surface 3.
  • the first surface 2 is a rake face, it is possible to improve the wear resistance against chips flowing on the rake face.
  • the DLC layer 6 has a configuration in which the thickness of the portion located in the ridge line portion is thicker than the thickness of the portions located in the first surface 2 and the second surface 3.
  • the thickness of the DLC layer 6 located on the cutting edge is large, so that the wear resistance during cutting is increased. be able to.
  • the thickness of the DLC layer 6 in the part located in the ridgeline part 4 is 2 etc. of these two surfaces in the cross section orthogonal to the two surfaces (the 1st surface 2 and the 2nd surface 3) which comprise the ridgeline part 4. What is necessary is just to evaluate by the thickness of the DLC layer 6 in the direction along the dividing line.
  • the base 5 is made of a hard alloy containing a hard phase and a binder phase.
  • the hard alloy include cemented carbides in which the binder phase is made of an iron group metal and the hard phase is made of tungsten carbide, and cermets in which the hard phase is made of titanium carbonitride.
  • the iron group metal that is the binder phase is easily oxidized, but according to the present embodiment, the adhesion to the DLC layer 6 is high.
  • the content of the binder phase is 5 to 15% by mass, in particular 6 to 10% by mass.
  • ceramics may be used as the substrate.
  • the coated tool is not limited to the cutting insert 1 of the present embodiment, and can be applied to all cutting tools.
  • a drill or end mill having a rod-shaped tool body, a bottom blade at the tip, an outer blade at the tip of the outer periphery, and a chip discharge groove from the tip to the rear adjacent to the bottom blade and the outer blade.
  • Reamer router
  • it can be applied to sliding members and wear-resistant materials.
  • the insert 1 in the example shown in FIG. 4 includes the base 5 and the DLC layer 6 as in the insert 1 shown in FIGS. 1 to 3, but the configuration of the DLC layer 6 is different.
  • the example insert 1 shown in FIG. 4 has a plurality of first regions 7 and a plurality of second regions 8.
  • the plurality of first regions 7 and second regions 8 are alternately overlapped.
  • the DLC layer 6 can be regarded as a laminated body in which the first layer and the second layer are alternately laminated.
  • the first region 7 is referred to as a first layer 7, and the second region 8 is referred to as a second layer 8.
  • the durability of the DLC layer 6 can be improved. This is because the residual stress applied to the DLC layer 6 can be dispersed by increasing the boundary between the first layer 7 and the second layer 8.
  • the DLC layer 6 since the DLC layer 6 includes the plurality of first layers 7 and second layers 8, there is an advantage that the thickness of the DLC layer 6 can be increased.
  • the thicknesses of the plurality of first layers 7 may be the same, but when the thickness of the innermost layer 7a closest to the substrate 5 among the plurality of first layers 7 is the thickest, the substrate 5 and the DLC Adhesion (bondability) with the layer 6 can be improved.
  • FIG. 4 shows an example in which the innermost layer 7 a is thicker than the intermediate layer 7 b sandwiched between the second layers 8.
  • the thicknesses of the plurality of second layers 8 may be the same, but the thickness of the intermediate layer 8b sandwiched between the first regions 7 of the second regions 8 is the farthest away from the substrate 5. When the thickness is greater than the thickness of the outer layer 8 c, the residual stress generated between the first region 7 and the second region 8 can be well relaxed in the second region 8.
  • the base 5 is prepared.
  • the coated tool is the insert 1
  • a sintered body is produced by firing, and then subjected to a polishing process if desired, thereby producing a substrate 1 having a shape corresponding to the insert 1.
  • the coated tool is a drill
  • the surface of the cylindrical hard alloy is subjected to centerless processing and then subjected to blade processing to produce a drill-shaped base. If desired, polishing is performed on the cutting edge side of the substrate.
  • a DLC layer 6 is formed.
  • a specific method for forming the DLC layer 6 will be described. First, a target made of graphite is placed in a chamber of a cathodic arc ion plating apparatus, and a sample is set in the apparatus. Next, the inside of the chamber is heated to 100 ° C. to 200 ° C., and argon gas is introduced to perform ion bombardment. Then, once the argon gas is removed, a bias voltage of 30 V to 100 V is applied while flowing the argon gas again at 0.2 Pa to 0.5 Pa, and the plasma is turned on using an argon ion gun.
  • argon is irradiated toward the sample, argon ions are implanted, and at the same time, a carbon source is evaporated from the target to form a first region 7 having DLC as a main component on the surface of the substrate 5.
  • the film may be formed without using an ion gun. That is, the first region 7 is formed by evaporating the carbon source from the target while applying a bias voltage of 30 V to 100 V while flowing argon gas at 0.2 Pa to 0.5 Pa and in a state where plasma is generated. A second region 8 is formed on the surface of the substrate 5 that has been formed.
  • a base body having a drill shape (drill diameter ⁇ 0.105 ⁇ 1.8 mm) was produced through a centerless process and a blade attaching process.
  • a graphite target and a base were set in an arc ion plating apparatus, and argon bombarding was performed at 100 ° C. using argon to clean the surface of the target and the base.
  • argon bombarding was performed at 100 ° C. using argon to clean the surface of the target and the base.
  • Table 1 For some of the samples shown in Table 1, a diamond-like carbon layer was formed on the surface of the substrate under the film forming conditions shown in Table 1 while injecting argon into the sample using an argon ion gun.
  • the argon content of the formed DLC layer was measured by WDS (wavelength dispersion type EPMA) analysis.
  • WDS wavelength dispersion type EPMA
  • the DLC layer formed on the surface of the drill was observed with an SEM, and the thickness of the DLC layer was measured.
  • Cutting method Shoulder processed material by machining center: A5052 Cutting speed (feed): 800 m / min Feeding: 0.1 mm / blade cutting: vertical cutting 3 mm, horizontal cutting 5 mm Cutting state: Air blow evaluation method: Check the cutting length and the state of the drill when it becomes impossible to process (described as cutting edge state in the table).
  • sample No. 1 having the first region 7 having an argon content of 0.1% by mass to 1% by mass In Nos. 1 to 8, welding to the work material was not large, wear resistance was high, and cutting length was long. In particular, sample No. 1 having a first region 7 having an argon content of 0.1% by mass to 1% by mass and a second region 8 having an argon content ratio of less than 0.1% by mass. In Nos. 1 to 3 and 5, the welding resistance was high and the cutting length was long.
  • the thickness of the first region having an argon content of 0.1% by mass to 1% by mass is 0.1 ⁇ m to 1.0 ⁇ m, and the thickness of the second region having an argon content ratio of 0.1% by mass or less. Sample No. 0.1-0.6 ⁇ m. In 1 to 3, 5 and 5, the cutting length was further increased.
  • Cutting insert (insert) 2 First side (rake face) 3 Second side (flank) 4 Ridge line (cutting edge) 5 Base 6 DLC Layer 7 First Region (First Layer) 8 Second region (second layer) 10 Through hole

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

基体（５）と、ダイヤモンドライクカーボンを含有しており、基体（５）の表面に位置するＤＬＣ層（６）とを具備し、ＤＬＣ層（６）は、０．１質量％～１質量％の比率でアルゴンを含有する第１領域（７）を有する切削インサート（１）等の切削工具であり、基体（５）とＤＬＣ層（６）との接合性が良好であり、被削材に対する耐溶着性が高いものである。

Description

切削工具
　本態様は、基体上にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を含むＤＬＣ層を備える切削工具に関する。
　ダイヤモンドライクカーボン層（ＤＬＣ層）は、耐摩耗性、潤滑性に優れていることから、切削工具、金型、機械部品へのコーティング材料として用いられている。例えば、特開２００３－０６２７０６号公報（特許文献１）では、アルゴンガスをキャリアガスとし、アークイオンプレーティング法により、水素含有量が５原子％以下のＤＬＣ層を形成することが開示されている。また、特開２０１２－１２５９２３号公報（特許文献２）では、直流プラズマＣＶＤ法によって成膜されたアルゴンを含有するＤＬＣ被膜が開示されている。ＤＬＣ層には、耐摩耗性の改善および被削材との溶着の改善が求められている。
　本態様の切削工具は、基体と、該基体の表面に位置し、ダイヤモンドライクカーボンを含有するＤＬＣ層とを具備する切削工具であって、前記ＤＬＣ層は、０．１質量％～１質量％の比率でアルゴンを含有する第１領域を有するものである。
本実施形態の切削工具の一例である切削インサートについての斜視図である。 図１の切削インサートにおける要部を拡大した断面図である。 図２に相当する部分における他の例を示す断面図である。 図２に相当する部分におけるさらに他の例を示す断面図である。
　切削工具の一実施態様を示す切削インサート（以下、単にインサートと略す）１は、図１に示すように、第１面２と、第１面２に隣り合う第２面３と、第１面２及び第２面３が交差する部分に稜線部４とを有している。本実施形態においては、第１面２の少なくとも一部がすくい面をなしており、第２面３の少なくとも一部が逃げ面をなしている。また、稜線部４の少なくとも一部は切刃をなしている。また、インサート１は、第１面２に開口し、第１面２の反対側の面まで貫く貫通孔１０を有している。
　また、図２の断面図に示すように、インサート１は、基体５と、この基体５上に位置するＤＬＣ層６を備えている。なお、基体５上に位置するとは、ＤＬＣ層６が被覆前の基体５における表面に位置しているということである。ＤＬＣ層６は、基体５上の少なくとも一部に位置していればよいが、本実施形態においては、基体５のほぼ全体を覆うように位置している。言い換えれば、基体５はＤＬＣ層６によって被覆されている。
　ＤＬＣ層６は、主成分としてダイヤモンドライクカーボンを含有している。ここで「主成分として」とは、ＤＬＣ層６が、他の成分よりも多くの質量のダイヤモンドライクカーボンを含有していることを意味している。
　本実施形態におけるＤＬＣ層６は、０．１質量％～１質量％の比率でアルゴンを含有する第１領域７を有している。図２においては、ＤＬＣ層６が第１領域７からなる例を示している。第１領域７は、０．１質量％～１質量％の比率でアルゴンを含有していることにより、耐摩耗性に優れるとともに、被削材の溶着を抑制できる。そして、第１領域７を有するＤＬＣ６も、耐摩耗性に優れるとともに、被削材の溶着を抑制できる。そのため、本実施形態のインサート１は、ＤＬＣ層６による被覆効果が長期間にわたって維持される。第１領域７中のアルゴンの含有量の望ましい範囲は０．２質量％～０．５質量％である。
　第１領域７におけるアルゴンの含有量が０．１質量％以上である場合とは、成膜にあたって、基体５に向かってアルゴンが照射されていることによる。基体５に向かってアルゴンが照射されることにより、基体５の表面に存在する酸化層が除去され、基体５の表面が清浄化される。そして、基体５の表面が清浄化された状態で成膜されるために、基体５と第１領域７との間の密着性が高まり、耐摩耗性に優れる。したがって、第１領域７におけるアルゴンの含有量が０．１質量％以上であれば、第１領域７の基体５に対する密着性が高く、耐摩耗性に優れるということになる。
　第１領域７におけるアルゴンの含有量が１質量％以下である場合には、被削材を切削加工する際に生じる被削材のインサート１への溶着を減少させることができる。なお、アルゴンを照射することなく、アルゴンガスをキャリアガスとし、アークイオンプレーティング法により成膜した場合には、膜におけるアルゴンの含有量は０．１質量％未満となる。また、直流プラズマＣＶＤ法によって成膜した場合には、膜におけるアルゴンの含有量は１質量％を超えるものとなる。
　本実施形態において、第１領域７におけるアルゴンの含有量は、ＷＤＳ（波長分散型ＥＰＭＡ）分析法で測定できる。本実施形態では、加速電圧１５ｋＶ、プローブ電流１×１０－７Ａの条件で測定する。分析領域は、可能であれば直径１００μｍ以上の範囲で測定することが望ましいが、直径１００μｍ以上の範囲が取れないときは、直径１００μｍ未満の範囲で測定してもよい。
　ＤＬＣ層６の中の厚みの違う位置におけるアルゴンの含有量をそれぞれ測定するためには、ＤＬＣ層６の表面を所定の厚さだけ研磨しながら研磨面にて測定する方法と、ＤＬＣ層６の厚みが変わるように斜めに研磨して、研磨面における各厚みの位置で測定する方法とが挙げられる。
　本実施形態では、ＤＬＣ層６の中の１点で測定したアルゴンの含有量が０．１質量％～１質量％の場合に、第１領域７が存在すると判定する。または、厚みの違う位置におけるアルゴンの含有量をそれぞれ測定して、アルゴンの含有量が０．１質量％～１質量％の範囲を第１領域７と判定する。
　また、ＤＬＣ層６は第１領域７のみの１つの領域によって構成されていてもよいが、図３のように、複数の領域によって構成されていてもよい。図３に示す例においてＤＬＣ層６は、基体５と接する第１領域７と、第１領域７よりもアルゴンの含有比率が少なく、第１領域７上に位置する第２領域８とを有している。
　ＤＬＣ層６を断面視した際に、第１領域７及び第２領域８の境界が明確である場合には、第１領域７を第１層、また第２領域８を第２層と言い換えてもよい。なお、第１領域７及び第２領域８の境界は必ずしも明確である必要はない。この境界が明確でない場合には、ＤＬＣ層６における複数の位置でのアルゴンの含有量をそれぞれ測定し、これらの測定結果に基づいて第１領域７及び第２領域８の境界を評価すればよい。
　本実施形態においては、第２領域８は第１領域７に比べてアルゴンの含有比率が小さく、第１領域７上に位置している。このような構成を満たしていることにより、ＤＬＣ層６への被削材の溶着を減らすことができる。また、第１領域７は第２領域８に比べてアルゴンの含有比が高い。そのため、図３に示す例におけるインサート１のＤＬＣ層６は基体５との密着性も高い。
　また、第２領域８におけるアルゴンの含有比率が０．１質量％未満であるときには、耐溶着性を非常に高いものにできる。
　本実施形態において、第１領域７の厚みｔ１が０．１μｍ～１μｍであり、第２領域８の厚みｔ２が０．１μｍ～０．６μｍであれば、ＤＬＣ層６の耐溶着性、及び、基体５との密着性を高めることができる。第１領域７の厚みｔ１と、第２領域８の厚みｔ２との比（ｔ２／ｔ１）は０．２～３．０である。
　第１領域７の厚みｔ１と第２領域８の厚みｔ２は、ＤＬＣ層６中の厚みが異なる位置でアルゴン含有量を測定し、アルゴン含有量が０．１μｍ～１μｍの範囲を第１領域７とし、それ以外の部分、すなわち、本実施形態では第１領域７の上層を第２領域として定義する。
　ここで第１領域７及び第２領域８の厚みとは、基体５とＤＬＣ層６との界面（以下、基体５の表面と記載する場合がある。）に対して直交する方向での長さを意味している。なお、基体５の表面の位置によっては第１領域７及び第２領域８の厚みの方向が変わる。
　本実施形態において、ＤＬＣ層６は、第１面２に位置する部分の厚みが、第２面３に位置する部分の厚みよりも厚い構成となっている。このような構成を満たしているときには、第１面２の少なくとも一部がすくい面となっていることから、すくい面を流れる切屑に対する耐摩耗性を高めることができる。
　また、ＤＬＣ層６は、稜線部に位置する部分の厚みが、第１面２及び第２面３に位置する部分の厚みよりも厚い構成となっている。このような構成を満たしているときには、稜線部４の少なくとも一部が切刃をなしていることから、切刃に位置するＤＬＣ層６の厚みが大きいため、切削加工時における耐摩耗性を高めることができる。
　なお、稜線部４に位置する部分におけるＤＬＣ層６の厚みは、稜線部４を構成する２つの面（第１面２及び第２面３）に直交する断面において、これら２つの面の２等分線に沿った方向でのＤＬＣ層６の厚みによって評価すればよい。
　また、本実施形態においては、基体５は、硬質相と結合相とを含有する硬質合金からなる。硬質合金としては、結合相が鉄族金属からなるとともに、硬質相が炭化タングステンからなる超硬合金や、硬質相が炭窒化チタンからなるサーメットが挙げられる。結合相である鉄族金属は酸化されやすいが、本実施態様によれば、ＤＬＣ層６との密着性が高い。結合相の含有量は５～１５質量％、特に６～１０質量％である。基体としては、他にセラミックスであってもよい。
　さらに、被覆工具は、本実施態様の切削インサート１に限定されるものではなく、切削工具全般に対して適用可能である。中でも、工具本体が棒状で、先端に底刃を有し、外周の先端側に外周刃を有するとともに、底刃と外周刃に隣接して先端から後方に向けて切屑排出溝を有するドリル、エンドミル、リーマ、ルータであってもよい。それ以外にも、摺動部材や耐摩耗材に適応可能である。
　次に、一実施形態のインサート１の他の例について図４を用いて説明する。なお、以下の説明においては、図１～図３に示すインサート１との相違点について主に説明し、図１～図３に示すインサート１と同様の構成である点については説明を省略する。
　図４に示す例のインサート１は、図１～図３に示すインサート１と同様に基体５及びＤＬＣ層６を備えているが、ＤＬＣ層６の構成が相違している。具体的には、図４に示す例のインサート１は、複数の第１領域７及び複数の第２領域８を有している。これら複数の第１領域７及び第２領域８は、交互に重なり合った構成となっている。第１領域７を第１層、第２領域８を第２層とみなした場合には、ＤＬＣ層６は第１層及び第２層が交互に積層された積層体とみなすことができる。以下、図４の説明にあたっては、第１領域７を第１層７、第２領域８を第２層８と記載する。
　このようにＤＬＣ層６が、互いに重なり合った複数の第１層７及び第２層８を有する構成である場合には、ＤＬＣ層６の耐久性を高めることができる。これは、第１層７及び第２層８の境界部分が増えることによって、ＤＬＣ層６に加わる残留応力を分散させることができるからである。また、ＤＬＣ層６が複数の第１層７及び第２層８を有することによってＤＬＣ層６の厚みを大きくできるという利点も得られる。
　複数の第１層７の厚みは、それぞれ同じであってもよいが、複数の第１層７のうち、基体５に最も近い最内層７ａの厚みが最も厚くなっているときには、基体５とＤＬＣ層６との密着性（接合性）を高めることができる。図４においては、第２層８に挟まれた中間層７ｂより最内層７ａが厚い例を示している。
　また、複数の第２層８の厚みは、それぞれ同じであってもよいが、第２領域８のうち、第１領域７に挟まれた中間層８ｂの厚みが、基体５から最も離れた最外層８ｃの厚みよりも厚くなっているときには、第１領域７と第２領域８との間に生じる残留応力を第２領域８において良好に緩和することができる。
　（製造方法）
　次に、上述したＤＬＣ層６を有する被覆工具の製造方法について説明する。
　まず、基体５を準備する。例えば、被覆工具がインサート１の場合、焼成によって焼結体を作製した後、所望によって研磨加工を施して、インサート１に対応する形状の基体１を作製する。被覆工具がドリルの場合、円柱状の硬質合金の表面にセンタレス加工を施した後、刃付け加工をして、ドリルの形状の基体を作製する。所望によって、基体の切刃側に研磨加工を施す。
　その後、ＤＬＣ層６を成膜する。ＤＬＣ層６の具体的な成膜方法について説明する。まず、グラファイトからなるターゲットを、陰極アークイオンプレーティング装置のチャンバ内に配置するとともに、試料を装置内にセットする。次に、チャンバ内を１００℃～２００℃に加熱し、アルゴンガスを導入してイオンボンバード処理を行う。その後、一旦アルゴンガスを除去した後、再びアルゴンガスを０．２Ｐａ～０．５Ｐａとなるように流しながら、バイアス電圧を３０Ｖ～１００Ｖ印加し、プラズマを立てた状態で、アルゴンのイオンガンを用いて、アルゴンを試料に向かって照射して、アルゴンイオンを注入し、同時にターゲットから炭素源を蒸発させて、基体５の表面にＤＬＣを主成分とする第１領域７を成膜する。
　また、第２領域８を成膜するためには、イオンガンを用いずに成膜すればよい。すなわち、アルゴンガスを０．２Ｐａ～０．５Ｐａとなるように流しながら、バイアス電圧を３０Ｖ～１００Ｖ印加し、プラズマを立てた状態で、ターゲットから炭素源を蒸発させて、第１領域７が成膜された基体５の表面に第２領域８を成膜する。
　金属コバルト（Ｃｏ）粉末を７．０質量％、炭化クロム（Ｃｒ３Ｃ２）粉末を０．８質量％、残部が平均粒径０．５μｍの炭化タングステン（ＷＣ）粉末の割合で添加、混合し、円柱形状に成型して焼成した。そして、センタレス加工および刃付け加工工程を経てドリル形状（ドリル径φ０．１０５×１．８ｍｍ）の基体を作製した。
　アークイオンプレーティング装置に、グラファイトターゲットと基体をセットして、アルゴンを用いて、１００℃でアルゴンボンバード処理を行って、ターゲットおよび基体に表面を清浄化した。そして、表１に示す一部の試料についてはアルゴンのイオンガンを用いてアルゴンを試料に注入しながら、表１に示す成膜条件によって、基体の表面にダイヤモンドライクカーボン層を成膜した。
　成膜されたＤＬＣ層について、ＷＤＳ（波長分散型ＥＰＭＡ）分析法によって、アルゴン含有量を測定した。また、ドリルの表面に成膜されたＤＬＣ層をＳＥＭ観察して、ＤＬＣ層の厚みを測定した。
　さらに、得られたドリルを用いて以下の切削条件にて切削試験を行い、切削性能を評価した。結果は表１に記載した。
切削方法：マシニングセンタによる肩加工
被削材　： Ａ５０５２
切削速度（送り）：８００ｍ／ｍｉｎ
送り　　：０．１ｍｍ／刃
切り込み：縦切り込み３ｍｍ、横切り込み５ｍｍ
切削状態：エアーブロー
評価方法：切削長、および加工不能になった時点でのドリルの状態（表中、切刃状態と記載）を確認。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１より、ＤＬＣ層を成膜する際に、イオンガンを用いて成膜しなかった試料Ｎｏ．１０では、アルゴン含有量が０．１質量％未満であり、耐摩耗性が低下し、かつ、ＤＬＣ層の密着性が悪くて、ＤＬＣ層の剥離が見られた。また、ＤＬＣ層を成膜する際のバイアス電圧が１００Ｖを越える試料Ｎｏ．９では、アルゴン含有量が１質量％を超え、被削材の溶着が激しく、かつ被覆層の密着性が悪くなって剥離が見られた。
　これに対して、アルゴン含有量が０．１質量％～１質量％である第１領域７を有する試料Ｎｏ．１～８では、被削材に対する溶着も大きくなく、耐摩耗性も高く、切削長も長くなった。特に、アルゴン含有量が０．１質量％～１質量％の第１領域７と、アルゴンの含有比率が０．１質量％未満の第２領域８とを有する試料Ｎｏ．１～３、５では、耐溶着性が高く、切削長が長かった。また、アルゴン含有量が０．１質量％～１質量％の第１領域の厚みが０．１μｍ～１．０μｍであり、アルゴンの含有比率が０．１質量％以下の第２領域の厚みが０．１μｍ～０．６μｍである試料Ｎｏ．１～３、５は、切削長がさらに長くなった。
１　　切削インサート（インサート）
２　　第１面（すくい面）
３　　第２面（逃げ面）
４　　稜線部（切刃）
５　　基体
６　　ＤＬＣ層
７　　第１領域（第１層）
８　　第２領域（第２層）
１０　貫通孔

Claims (9)

  1. 　基体と、
    　該基体の表面に位置し、ダイヤモンドライクカーボンを含有するＤＬＣ層とを具備する切削工具であって、
    　前記ＤＬＣ層は、０．１質量％～１質量％の比率でアルゴンを含有する第１領域を有している切削工具。
  2. 　前記ＤＬＣ層は、前記第１領域よりもアルゴンの含有比率が小さく、前記第１領域上に位置する第２領域をさらに有している、請求項１に記載の切削工具。
  3. 　前記第２領域は、アルゴンの含有比率が０．１質量％未満である、請求項２に記載の切削工具。
  4. 　前記第１領域及び前記第２領域が層状であり、前記ＤＬＣ層の厚み方向に交互に位置している、請求項２または３に記載の切削工具。
  5. 　層状の複数の前記第１領域のうち、前記基体に最も近い最内層の厚みが最も厚い、請求項４に記載の切削工具。
  6. 　層状の複数の前記第２領域のうち、前記第１領域に挟まれた中間層の厚みが、前記基体から最も離れた最外層の厚みよりも厚い、請求項４または５に記載の切削工具。
  7. 　第１面と、
    　該第１面に隣り合う第２面と、
    　前記第１面及び前記第２面が交差する部分に稜線部とを有し、
    　前記ＤＬＣ層は、前記第１面に位置する部分の厚みが、前記第２面に位置する部分の厚みよりも厚い、請求項１～６のいずれか１つに記載の切削工具。
  8. 　前記ＤＬＣ層は、前記稜線部に位置する部分の厚みが、前記第１面及び前記第２面に位置する部分の厚みよりも厚い、請求項７に記載の切削工具。
  9. 　前記第１領域の厚みが０．１μｍ～１μｍであり、前記第２領域の厚みが０．１μｍ～０．６μｍである、請求項２～５のいずれか１つに記載の切削工具。
PCT/JP2016/065847 2015-05-28 2016-05-30 切削工具 Ceased WO2016190443A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112016002393.6T DE112016002393B4 (de) 2015-05-28 2016-05-30 Schneidwerkzeug
JP2017520826A JP6612864B2 (ja) 2015-05-28 2016-05-30 切削工具
CN201680031110.1A CN107614168B (zh) 2015-05-28 2016-05-30 切削工具
US15/576,889 US10688565B2 (en) 2015-05-28 2016-05-30 Cutting tool

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015108747 2015-05-28
JP2015-108747 2015-05-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016190443A1 true WO2016190443A1 (ja) 2016-12-01

Family

ID=57394064

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/065847 Ceased WO2016190443A1 (ja) 2015-05-28 2016-05-30 切削工具

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10688565B2 (ja)
JP (1) JP6612864B2 (ja)
CN (1) CN107614168B (ja)
DE (1) DE112016002393B4 (ja)
WO (1) WO2016190443A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021214983A1 (ja) 2020-04-24 2021-10-28 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
WO2021214985A1 (ja) 2020-04-24 2021-10-28 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
WO2021214984A1 (ja) 2020-04-24 2021-10-28 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
WO2022254611A1 (ja) 2021-06-02 2022-12-08 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019181792A1 (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 京セラ株式会社 インサート及びこれを備えた切削工具

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003314560A (ja) * 2002-04-17 2003-11-06 Nsk Ltd 転動装置
JP2004122263A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 高精度加工用被覆切削工具
JP2004122264A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆切削工具
JP2005022073A (ja) * 2003-06-11 2005-01-27 Sumitomo Electric Hardmetal Corp Ｄｌｃ被覆工具
JP2008229755A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Ookouchi Kinzoku Kk Ｄｌｃ被覆を有する切削工具とその製造方法
WO2013042765A1 (ja) * 2011-09-22 2013-03-28 Ntn株式会社 硬質膜、硬質膜形成体、および転がり軸受

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4490229A (en) * 1984-07-09 1984-12-25 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Deposition of diamondlike carbon films
JPH08757B2 (ja) * 1988-12-26 1996-01-10 住友電気工業株式会社 ダイヤモンドおよびその気相合成法
JP2592761B2 (ja) * 1993-04-28 1997-03-19 大阪ダイヤモンド工業株式会社 回転切削工具及びその製造方法
US5731045A (en) * 1996-01-26 1998-03-24 Southwest Research Institute Application of diamond-like carbon coatings to cobalt-cemented tungsten carbide components
JP3070957B2 (ja) * 1995-11-08 2000-07-31 シチズン時計株式会社 表面硬化チタン材料およびチタン材料の表面硬化方法
DE10018143C5 (de) * 2000-04-12 2012-09-06 Oerlikon Trading Ag, Trübbach DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems
JP3718664B2 (ja) 2001-06-13 2005-11-24 住友電気工業株式会社 非晶質カーボン被覆工具およびその製造方法
DE10141696A1 (de) * 2001-08-25 2003-03-13 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Erzeugung einer nanostruktuierten Funktionsbeschichtung und damit herstellbare Beschichtung
JP2004348627A (ja) * 2003-05-26 2004-12-09 Toshiba Lsi System Support Kk マイクロコンピュータシステム
EP1522857A1 (en) * 2003-10-09 2005-04-13 Universiteit Maastricht Method for identifying a subject at risk of developing heart failure by determining the level of galectin-3 or thrombospondin-2
CN100516286C (zh) * 2004-12-24 2009-07-22 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 类金刚石薄膜镀膜方法
JP2007196360A (ja) 2005-12-26 2007-08-09 Kyocera Corp 寿命センサ回路付き切削工具
EP1884978B1 (en) * 2006-08-03 2011-10-19 Creepservice S.à.r.l. Process for the coating of substrates with diamond-like carbon layers
CN101212389B (zh) * 2006-12-30 2010-06-23 华为技术有限公司 一种突发汇聚控制方法及相应的装置、通信设备
US20110104687A1 (en) * 2008-02-27 2011-05-05 Bruce Grahn Methods and Kits for Detecting Congenital Stationary Night Blindness and Selecting Different Coat Patterns
JP5176621B2 (ja) * 2008-03-18 2013-04-03 株式会社タンガロイ 非晶質炭素被覆工具
US8112859B2 (en) * 2009-03-24 2012-02-14 Bradford Company Method of manufacturing custom sized plastic tote having intermediate sleeve
JP2010253594A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Kyocera Corp 表面被覆工具
CN102061466B (zh) * 2009-11-12 2014-07-30 三菱综合材料株式会社 表面包覆切削工具
JP5499650B2 (ja) * 2009-11-16 2014-05-21 三菱マテリアル株式会社 耐剥離性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
JP2011104722A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Mitsubishi Materials Corp 耐欠損性、耐溶着性にすぐれたダイヤモンド被覆工具
DE102011076584A1 (de) * 2011-05-27 2012-11-29 Karnasch Professional Tools GmbH Schneidwerkzeug mit lasergeschärfter Diamantbeschichtung
JP2012125923A (ja) 2012-03-19 2012-07-05 Okouchi Kinzoku Co Ltd Ｄｌｃ被覆を有する切削工具の製造方法
CN102650053B (zh) * 2012-04-25 2014-06-18 上海交通大学 复杂形状cvd金刚石/类金刚石复合涂层刀具制备方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003314560A (ja) * 2002-04-17 2003-11-06 Nsk Ltd 転動装置
JP2004122263A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 高精度加工用被覆切削工具
JP2004122264A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆切削工具
JP2005022073A (ja) * 2003-06-11 2005-01-27 Sumitomo Electric Hardmetal Corp Ｄｌｃ被覆工具
JP2008229755A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Ookouchi Kinzoku Kk Ｄｌｃ被覆を有する切削工具とその製造方法
WO2013042765A1 (ja) * 2011-09-22 2013-03-28 Ntn株式会社 硬質膜、硬質膜形成体、および転がり軸受

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021214983A1 (ja) 2020-04-24 2021-10-28 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
WO2021214985A1 (ja) 2020-04-24 2021-10-28 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
WO2021214984A1 (ja) 2020-04-24 2021-10-28 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
US11992882B2 (en) 2020-04-24 2024-05-28 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Cutting tool
US12049693B2 (en) 2020-04-24 2024-07-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Cutting tool
WO2022254611A1 (ja) 2021-06-02 2022-12-08 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
US20180147635A1 (en) 2018-05-31
JPWO2016190443A1 (ja) 2018-03-29
CN107614168A (zh) 2018-01-19
CN107614168B (zh) 2019-10-25
DE112016002393B4 (de) 2023-11-02
JP6612864B2 (ja) 2019-11-27
US10688565B2 (en) 2020-06-23
DE112016002393T5 (de) 2018-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6612864B2 (ja) 切削工具
JP7061603B2 (ja) 多層硬質皮膜被覆切削工具
US10384269B2 (en) Surface-coated cutting tool
JP6015922B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2009028800A (ja) 表面被覆切削工具
JP2009125832A (ja) 表面被覆切削工具
JP2011240438A (ja) 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具
JP5234499B2 (ja) 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP2016175161A (ja) 表面被覆切削工具
JP5975339B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP5975214B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP6206289B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP5783462B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP5975338B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP6471546B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP4702535B2 (ja) 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製切削工具
JP6206288B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2012143851A (ja) 表面被覆切削工具
JP2011240436A (ja) 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具
JP2008188737A (ja) 難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP2009119550A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5287383B2 (ja) 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP5796354B2 (ja) 耐熱性および耐溶着性に優れた表面被覆切削工具
JP2011173176A (ja) 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具
JP2011173174A (ja) 耐熱性及び耐溶着性に優れた表面被覆切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16800147

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017520826

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15576889

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112016002393

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16800147

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1