WO2016103310A1 - 搬送装置の制御装置 - Google Patents

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敦史 中矢
拓之 岡田
雅也 吉田
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Kawasaki Motors Ltd
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Kawasaki Heavy Industries Ltd
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Definitions

  • the present invention relates to a control device for a transport device.
  • Patent Document 1 detects at least one of a position of a mover of a motor and a current flowing through a drive source, and based on at least one of a change in the detected position with respect to a target position of the mover and a detected current.
  • a drive mechanism deterioration detection device that determines the deterioration state of the drive mechanism is disclosed.
  • Patent Document 2 a deviation is obtained by comparing data corresponding to a target position and data corresponding to an actual position of the movable member detected by the detecting means, and the deviation exceeds a predetermined allowable range.
  • a monitoring device for a substrate transfer system that determines that there is an abnormality in the operation of the transfer system.
  • an object of the present invention is to reduce the downtime of the transport apparatus when a trouble occurs in the transport mechanism.
  • a control device for a transport device is a control device for a transport device configured to drive a transport mechanism by the servo motor while controlling the position of the servo motor, the control device for the motor in the position control.
  • An acquisition unit that acquires a time series of deterioration index parameter values that are at least one of a positional deviation and a current flowing through the motor; a storage unit that stores a time series of the acquired deterioration index parameter values; and a preset threshold value The deterioration index parameter value exceeds the threshold value of the deterioration index parameter value based on the time-series change pattern of the deterioration index parameter value.
  • the positional deviation of the motor includes a difference (deviation) between a target value and an actual value in position control, an offset (residual deviation), a deviation amount from a reference position, or a deviation.
  • the time series data of the value of the degradation index parameter which is at least one of the motor position shift and the current in the position control is acquired and stored. Thereby, the self state of the transfer device can be monitored.
  • the transport mechanism is stopped. Thereby, the safety
  • the transport mechanism is operated at a reduced operating speed. Thereby, even if a mechanical and electrical trouble due to aged deterioration occurs, it can be recovered without human intervention. Further, regarding errors that can be avoided by reducing the speed, the downtime of the apparatus can be shortened by automatically reducing the speed and operating the transport apparatus.
  • the controller issues a warning signal when the value of the deterioration index parameter exceeds the threshold value, and outputs an error signal when it is determined that the excess of the deterioration index parameter value is not due to aging deterioration of the transport mechanism. It may be emitted.
  • the warning signal may cause the transfer device to automatically return, so that the operator does not need to immediately perform a recovery operation.
  • the error signal can stop the entire system including peripheral equipment such as the transfer device and production line, find the fault location early from the observed deviation and current value, etc., and shorten the time required for repair. it can.
  • the time-series change pattern of the deterioration index parameter value indicating the aging deterioration of the transport mechanism may be determined based on a change amount of the deterioration index parameter value in a predetermined time.
  • the controller may decrease the operation speed stepwise when returning the transport device.
  • the operation of the transfer device can be easily restored.
  • the transfer device may be a multi-axis robot used in a vacuum environment.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a transport system according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a block diagram showing a drive system and a control system of the transport mechanism in FIG.
  • FIG. 3 is a graph schematically showing the secular change of the deterioration index parameter stored in the control device of FIG.
  • FIG. 4 is a graph schematically showing a change in the degradation index parameter when a failure occurs in the state of FIG.
  • FIG. 5 is a flowchart for explaining a self-state monitoring operation and an automatic return operation by the control device of FIG.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a transport system according to the present embodiment.
  • the transport system 1 includes a transport device 2, a control device 3 that is communicably connected to the transport device 2, and an alarm device 4 that is connected to the control device 3.
  • the transport device 2 is not particularly limited as long as it transports articles.
  • the transfer device 2 is, for example, a scalar type multi-axis robot that transfers a semiconductor wafer, a glass substrate for a display panel, and the like in a semiconductor processing facility.
  • the transport mechanism 5 of the transport device 2 includes a lift shaft 7 provided on the base 6, a first link 8 provided on the lift shaft 7, and a second link 9 provided at the tip of the first link 8.
  • the third link 10 is provided at the tip of the second link 9, and the end effector 11 is provided at the tip of the third link 10.
  • Each component of the transport mechanism 5 has a built-in servo motor for driving (see FIG. 2).
  • the control device 3 is configured to drive the transport mechanism 5 by the servo motor while controlling the position of a plurality of servo motors built in the transport mechanism 5.
  • the control device 3 includes a computer such as a microcontroller, for example, and performs a monitoring operation and an automatic return operation of the state of the transport mechanism 5 described later.
  • the control device 3 is not limited to a single device, and may be composed of a plurality of devices.
  • the alarm device 4 notifies the surrounding field operators that the transport device 2 is in a warning state or an error state.
  • the alarm device 4 is controlled by a warning signal or an error signal from the control device 3 and notifies an error by an alarm of a Patlite (registered trademark) light and a melody horn, but may be notified by other notification means.
  • FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the drive system of the transport mechanism 5 and its control system.
  • the drive system of the transport mechanism 5 includes an AC / DC conversion circuit 22 connected to an AC power source 21, a smoothing circuit 23, an inverter circuit 24, a servo motor 25, a current detector 26, and the like.
  • the position detector 27 is provided.
  • the drive system of one servo motor 25 built in the transport mechanism 5 is shown, but the drive systems of the other servo motors 25 are the same.
  • AC power supply 21 is, for example, a three-phase AC power supply.
  • the AC / DC conversion circuit 22 is connected to the output terminal of the AC power supply 21, converts the three-phase AC power output from the AC power supply 21 into DC power, and outputs the DC power to the smoothing circuit 23.
  • the AC / DC conversion circuit 22 is, for example, a three-phase full-wave rectifier circuit.
  • the smoothing circuit 23 is connected to the output terminal of the AC / DC conversion circuit 22, smoothes the DC output voltage of the AC / DC conversion circuit 22, and outputs it to the inverter circuit 24.
  • the smoothing circuit 23 is a capacitor, for example.
  • the inverter circuit 24 is connected to the smoothing circuit 23 and the output terminal of the control device 3, converts the DC power output from the smoothing circuit 23 into AC power based on a control command input from the control device 3, and is driven. The current is output to the servo motor 25.
  • the inverter circuit 24 includes a three-phase bridge inverter circuit having, for example, six semiconductor switching elements, and a drive circuit that supplies a drive signal to the control terminal of each switching element in accordance with the control signal.
  • Servo motor 25 drives transport mechanism 5 (see FIG. 1) by the drive current of inverter circuit 24.
  • the servo motor 25 is a DC servo motor, for example.
  • the current detector 26 is connected to the output terminal of the inverter circuit 24, detects the drive current of the servo motor 25, and outputs the detection result to the control device 3.
  • the drive current is the “load current” or “armature current” of the motor.
  • the position detector 27 is attached to the servo motor 25, detects the position of the servo motor 25 (rotation angle position with respect to the reference rotation angle position of the rotor), and outputs the detected position to the control device 3.
  • the position detector 27 is, for example, an encoder or resolver attached to the rotating shaft of the motor.
  • the control device 3 controls the operation of the acquisition device 31 that receives the outputs of the detectors 26 and 27, the storage device 32 for storing information, and the transport device 2, and the state monitoring operation and the automatic return operation of the transport mechanism. And a controller 33 for performing the above and an input / output interface (not shown).
  • the storage device 32 stores the control program in the present embodiment, and the controller 33 performs various calculations according to the control program, thereby performing the monitoring operation of the state of the transport mechanism 5 along with the transport operation of the transport device 2. Automatic return operation is performed.
  • the acquisition unit 31 acquires the value of the deterioration index parameter, which is the positional deviation of the motor 25 and the current (drive current) flowing through the motor 25 in the position control.
  • the positional deviation of the motor includes a difference (deviation) between a target value and an actual value in position control, an offset (residual deviation), a deviation amount from a reference position, or a deviation.
  • the acquisition unit 31 calculates the positional deviation from the position information (position of the motor 25) detected by the position detector 17 and the theoretical value of the position information.
  • the acquisition unit 31 acquires the current value flowing through the servo motor 25 detected by the current detector 16.
  • the storage device 32 stores information such as the time series data and threshold values of the acquired deterioration index parameter values in addition to the control program.
  • the storage device 32 stores the positional shift calculated by the acquisition device 31 and the acquired current as a time series of the deterioration index parameter values (a group of parameter values arranged in the time course) (see FIGS. 3 and 4).
  • the controller 33 stops the transport mechanism 5 when the value of the deterioration index parameter exceeds a preset threshold, and the deterioration index parameter value exceeds the threshold of the transport mechanism 5 based on the change pattern of the time series data. It is determined whether or not the deterioration is caused by aging, and if it is determined that the deterioration index parameter value exceeds the threshold value due to aging of the transport mechanism 5, the transport mechanism 5 is operated at a reduced operating speed.
  • the control device 3 determines a current necessary for driving the motor based on the position deviation of the actual measurement value detected by the position detector 27 with respect to the position command value of the operation path of the transport device 2, and the current flows. In this way, a control command is generated and output to the inverter circuit 14. In this way, the control device 3 controls the position of the plurality of servo motors 25 (FIG. 2) built in the transport mechanism 5 (FIG. 1) by the servo motor 25 while controlling the position so that the position command value is obtained by feedback control. By driving 5, the substrate is transferred to a predetermined position.
  • FIG. 3 is a graph schematically showing the secular change of the deterioration index parameter stored in the storage device 32 of the control device 3.
  • FIG. 3A shows the secular change of the value I of the current flowing through the servo motor 25.
  • the current value the current value when the servo motor 25 rotates at a predetermined rotational speed, for example, is stored in time series.
  • the current limit value I th is set according to the characteristics of the servo motor 25.
  • FIG. 3B shows the secular change of the positional deviation P of the servo motor 25.
  • the positional deviation P is stored in time series as the deviation from the reference position of the 25 positions of the motor detected by the position detector 27 when the command position of the servo motor 25 is a predetermined reference position, for example.
  • the position deviation threshold value P th is set according to the accuracy of position control. For example, time series data for 5 years is stored from the time of shipment of the apparatus.
  • the position deviation P of the servo motor 25 and the current value I which are deterioration index parameters, gradually increase with time. If this trend is maintained, the current value I or positional deviation P is, even when both exceeding the current limit value I th or positional deviation threshold P th, the servo transfer mechanism 5 by aging There is a high possibility that the gear linked to the motor 25 is clogged or grease is exhausted. If the operating speed is reduced, the current value can be reduced and the positional deviation can be prevented from being affected by the correction. Therefore, the speed is reduced by software judgment, and the operation of the transport device 2 is controlled. Can continue.
  • FIG. 4 is a graph schematically showing a change in the degradation index parameter when a failure occurs in the state of FIG. 4 (a) and 4 (b) correspond to FIGS. 3 (a) and 3 (b).
  • the positional deviation P and the current value I which are deterioration index parameters, rapidly increase.
  • there is a high possibility that it is caused by a failure of the drive system such as a collision with an obstacle or a gear breakage.
  • an object such as a motor itself is damaged, it is difficult to continue the operation based on software judgment. For this reason, it is possible to find a failure point at an early stage from the observed deviation, current value, etc., and to shorten the time required for repair.
  • the control device 3 monitors the deterioration index parameter (step S1).
  • the acquisition unit 31 acquires time-series data of the value of the deterioration index parameter, which is the positional deviation of the motor in the position control and the current flowing through the motor.
  • the acquired value of the degradation index parameter is stored in the storage device 32 as time series data. Thereby, the self state of the transfer apparatus 2 can be monitored.
  • the controller 33 determines whether or not the value of the degradation index parameter exceeds a preset threshold value (step S2).
  • the controller 33 continues monitoring until the value of the deterioration index parameter exceeds the threshold value, and stops the transport mechanism when the value of the deterioration index parameter exceeds the threshold value (step S3).
  • the controller 33 issues a warning signal to the alarm device 4 when the value of the deterioration index parameter exceeds the threshold value.
  • the alarm device 4 notifies the surrounding site operators that the transport device 2 is in a warning state.
  • the warning signal may cause the transfer device 2 to automatically return, so that the operator does not need to immediately perform the recovery work.
  • Step S4 the controller 33 determines whether or not the deterioration index parameter value exceeding the threshold value is due to aging deterioration of the transport mechanism 5 based on the change pattern of the time series data.
  • the change pattern of the time series data indicating the aging deterioration of the transport mechanism 5 is determined based on the change amount of the deterioration index parameter value in a predetermined time. Thereby, it can be suitably determined whether or not the change pattern of the time-series data indicates aged deterioration of the transport mechanism 5.
  • step S4 If it is determined in step S4 that the deterioration index parameter value exceeds the threshold value due to deterioration of the transport mechanism 5 over time, the transport mechanism 5 is returned to its operation state by reducing the operating speed to a predetermined speed (step S5). ). Thereby, even if a mechanical and electrical trouble due to aged deterioration occurs, it can be recovered without human intervention. In addition, regarding errors that can be avoided by reducing the speed, the downtime of the apparatus can be shortened by automatically reducing the speed and operating the transport apparatus 2.
  • step S5 If it is determined in step S5 that the deterioration index parameter value excess threshold is not due to the aging deterioration of the transport mechanism 5, an error signal is issued to the alarm device 4 and the entire system is brought down (step S6). Upon receiving the error signal, the alarm device 4 notifies the surroundings that it is in an error state. The operator can stop the entire system including peripheral equipment such as the transfer device 2 and the production line, and can quickly find a faulty part from the observed deviation, current value, etc., and shorten the time required for repair. .
  • the deterioration index parameter is both the motor position shift in the position control and the current flowing through the motor, but may be either one. Further, the degradation index parameter may be a speed deviation of the servo motor.
  • control device 3 reduces the operation speed to a predetermined speed when returning the transport device 2, but it may be reduced stepwise. For example, when the parameter value does not recover, such as 100%, 50%, 25%, 12.5% (stop), the operation speed is gradually reduced. Thereby, it becomes easy to return operation
  • the parameter value does not recover, such as 100%, 50%, 25%, 12.5% (stop)
  • the operation speed is gradually reduced. Thereby, it becomes easy to return operation
  • the present invention is useful for a transfer device such as a semiconductor substrate.

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Abstract

制御装置(3)は、予め設定された閾値を劣化指標パラメータの値が超えると搬送機構(5)を停止させ、且つ、劣化指標パラメータの値の時系列の変化パターンに基づいて、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構(5)の経年劣化によるものであるか否かを判定し、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構(5)の経年劣化によるものであると判定した場合には、搬送機構(5)を、動作速度を低下させて動作させる制御器(33)を備える。

Description

搬送装置の制御装置
　本発明は、搬送装置の制御装置に関する。
　従来、搬送装置の劣化を判断する技術には次のようなものがある。例えば特許文献１には、モータの可動子の位置及び駆動源に流れる電流の少なくとも一方を検出し、可動子の目標位置に対する検出された位置の変化と、検出された電流との少なくとも一方に基づいて駆動機構の劣化状況を判断する駆動機構の劣化検出装置が開示されている。
　また、特許文献２には、目標位置に対応するデータと検出手段により検出された可動部材の実際の位置に対応するデータとを比較し偏差を求め、その偏差が所定の許容範囲を越えている場合、搬送システムの動作に異常があると判断する、基板搬送システムの監視装置が開示されている。
特開２００５－３１１２５９号公報 特開平１０－３１３０３７号公報
　ところで、従来、搬送装置において異常を検出した場合は装置だけでなく、周辺設備を含めたシステム全体を一律に停止し、その後、人手による作業によりエラーの原因を解明し修理を行っていた。このため、経年劣化により搬送機構において機械及び電気的なトラブルが発生した場合であっても人手によらなければ復旧できず、装置のダウンタイムが長くなるという課題があった。
　そこで、本発明では、搬送機構においてトラブルが発生した場合の搬送装置のダウンタイムを短縮することを目的とする。
　本発明の一態様に係る、搬送装置の制御装置は、サーボモータを位置制御しながら当該サーボモータによって搬送機構を駆動するよう構成された搬送装置の制御装置であって、前記位置制御におけるモータの位置ずれ及びモータに流れる電流の少なくとも一方である劣化指標パラメータの値の時系列を取得する取得器と、取得した前記劣化指標パラメータの値の時系列を記憶する記憶器と、予め設定された閾値を前記劣化指標パラメータの値が超えると前記搬送機構を停止させ、且つ、前記劣化指標パラメータの値の時系列の変化パターンに基づいて、前記劣化指標パラメータ値の前記閾値超過が前記搬送機構の経年劣化によるものであるか否かを判定し、前記劣化指標パラメータ値の前記閾値超過が前記搬送機構の経年劣化によるものであると判定した場合には、前記搬送機構を、動作速度を低下させて動作させる制御器と、を備える。ここで、モータの位置ずれとは、位置制御における目標値と実際値との間の差分（偏差）、オフセット（残留偏差）、基準位置からの逸脱量、又は狂いを含む。
　一般に、サーボモータの位置ずれや電流の値が時間経過とともに緩やかに上昇する場合は、経年劣化により搬送機構のサーボモータに連動するギアのつまりやグリスの枯渇が原因となっている可能性が高い。一方、位置ずれや電流値が急激に変化する場合は、障害物との衝突、ギア破損等の駆動系の故障が原因となっている可能性が高い。
　上記構成によれば、位置制御におけるモータの位置ずれ及び電流の少なくとも一方である劣化指標パラメータの値の時系列データを取得して記憶する。これにより、搬送装置の自己の状態を監視することができる。そして、予め設定された閾値を劣化指標パラメータの値が超えると搬送機構を停止させる。これにより、機械及び電気的なトラブルが発生した場合の安全を確保することができる。そして、時系列データの変化パターンに基づいて、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構の経年劣化によるものであるか否かを判定し、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構の経年劣化によるものであると判定した場合には、搬送機構を、動作速度を低下させて動作させる。これにより、経年劣化による機械及び電気的なトラブルが発生した場合であっても人手を介することなく復旧できる。また、速度を落とすことで回避できるエラーに関しては自動で速度を落として搬送装置を動作させることによって、装置のダウンタイムを短くすることが可能になる。
　前記制御器は、前記閾値を前記劣化指標パラメータの値が超えると警告信号を発し、前記劣化指標パラメータ値の前記閾値超過が前記搬送機構の経年劣化によるものでないと判定した場合にはエラー信号を発してもよい。
　上記構成によれば、搬送装置の動作状況が周囲に的確に伝達されるので、作業者は適切な措置をとることができる。具体的には警告信号では、搬送装置は自動復帰する可能性があるので、作業者は直ちに復旧作業を行う必要は無い。例えば半導体設備のように、設備への進入が禁止された環境又は困難な環境下では人を設備内に入れることは望ましくないため、メンテナンスまでの時間を稼ぐことができる。一方、エラー信号では、搬送装置及び生産ライン等の周辺設備を含んだシステム全体を停止させて、観測した偏差や電流値等から故障個所を早期に発見し、修理にかかる時間を短縮することができる。
　前記搬送機構の経年劣化を示す前記劣化指標パラメータの値の時系列の変化パターンは、前記劣化指標パラメータ値の所定時間における変化量に基づいて判別されてもよい。
　上記構成によれば、パラメータ値時系列データの変化パターンが搬送機構の経年劣化を示すものであるか否かを好適に判別することができる。
　前記制御器は、前記搬送装置を復帰させる際には、動作速度を段階的に低下させてもよい。
　上記構成によれば、搬送装置の動作を復帰させやすくなる。
　前記搬送装置は、真空環境下で使用される多軸ロボットでもよい。
　本発明によれば、搬送機構においてトラブルが発生した場合の搬送装置のダウンタイムを短縮することが可能になる。
　本発明の上記目的、他の目的、特徴、及び利点は、添付図面参照の下、以下の好適な実施態様の詳細な説明から明らかにされる。
図１は、本実施形態に係る搬送システムの構成を示す概略図である。 図２は、図１の搬送機構の駆動系及びその制御系を示すブロック図である。 図３は、図２の制御装置に記憶された劣化指標パラメータの経年変化を模式的に示したグラフである。 図４は、図３の状態において故障が発生した場合の劣化指標パラメータの変化を模式的に示したグラフである。 図５は、図２の制御装置による自己状態監視動作及び自動復帰動作を説明するためのフローチャートである。
　以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しつつ説明する。以下では、全ての図面を通じて同一又は相当する要素には同じ符号を付して、重複する説明は省略する。
　［構成］
　図１は、本実施形態に係る搬送システムの構成を示す概略図である。図１に示すように、搬送システム１は、搬送装置２と、搬送装置２に通信可能に接続された制御装置３と、制御装置３に接続された警報装置４を備えている。
　搬送装置２は、特に限定されず、物品を搬送するものであればよい。搬送装置２は、例えば、半導体処理設備において半導体ウェハ、表示パネル用のガラス基板等を搬送するスカラ型の多軸ロボットである。搬送装置２の搬送機構５は、基台６に設けられた昇降軸７と、昇降軸７に設けられた第１リンク８と、第１リンク８の先端部に設けられた第２リンク９と、第２リンク９の先端部に設けられた第３リンク１０と、第３リンク１０の先端に設けられたエンドエフェクタ１１で構成される。搬送機構５の各構成部材にはそれぞれ駆動用のサーボモータ（図２参照）が内蔵される。
　制御装置３は、搬送機構５に内蔵された複数のサーボモータを位置制御しながらサーボモータによって搬送機構５を駆動するよう構成される。制御装置３は、例えばマイクロコントローラ等のコンピュータを備えており、後述する搬送機構５の状態の監視動作及び自動復帰動作を行う。制御装置３は単一の装置とは限らず、複数の装置で構成されてもよい。
　警報装置４は、周囲の現場オペレータに搬送装置２が警告状態又はエラー状態にあることを通知する。警報装置４は、制御装置３からの警告信号又はエラー信号により制御され、パトライト（登録商標）のライト及びメロディーホーンの警報によりエラーを報知するが、その他の報知手段により報知してもよい。
　図２は、搬送機構５の駆動系及びその制御系の構成を示すブロック図である。図２に示すように、搬送機構５の駆動系は、交流電源２１に接続されるＡＣ／ＤＣ変換回路２２と、平滑回路２３と、インバータ回路２４と、サーボモータ２５と、電流検出器２６と、位置検出器２７を有している。ここでは搬送機構５に内蔵された１つのサーボモータ２５の駆動系のみ示しているが、その他のサーボモータ２５の駆動系も同様である。
　交流電源２１は、例えば三相交流電源である。ＡＣ／ＤＣ変換回路２２は、交流電源２１の出力端子に接続され、交流電源２１から出力された三相交流電力を直流電力に変換して平滑回路２３に出力する。ＡＣ／ＤＣ変換回路２２は、例えば三相全波整流回路である。
　平滑回路２３は、ＡＣ／ＤＣ変換回路２２の出力端子に接続され、ＡＣ／ＤＣ変換回路２２の直流出力電圧を平滑化してインバータ回路２４に出力する。平滑回路２３は、例えばコンデンサである。
　インバータ回路２４は、平滑回路２３及び制御装置３の出力端子に接続され、制御装置３から入力される制御指令に基づいて、平滑回路２３から出力される直流電力を交流電力に変換して、駆動電流をサーボモータ２５へ出力する。インバータ回路２４は、例えば６つの半導体スイッチング素子を有する三相ブリッジインバータ回路と、制御信号に従って、各スイッチング素子の制御端子に駆動信号を供給する駆動回路で構成される。
　サーボモータ２５は、インバータ回路２４の駆動電流により、搬送機構５（図１参照）を駆動する。サーボモータ２５は、例えばＤＣサーボモータである。
　電流検出器２６は、インバータ回路２４の出力端子に接続され、サーボモータ２５の駆動電流を検出し、検出結果を制御装置３に出力する。ここで駆動電流は、モータの「負荷電流」又は「電機子電流」である。
　位置検出器２７は、サーボモータ２５に取り付けられ、サーボモータ２５の位置（回転子の基準回転角度位置に対する回転角度位置）を検出して、制御装置３に出力する。位置検出器２７は、例えばモータの回転軸に取り付けられたエンコーダ又はレゾルバである。
　制御装置３は、各検出器２６，２７の出力を受け取る取得器３１と、情報を記憶するための記憶器３２と、搬送装置２の動作を制御するとともに搬送機構の状態監視動作及び自動復帰動作を行う制御器３３と、入出力インターフェース（図示せず）を備える。記憶器３２には、本実施形態における制御プログラムが記憶され、制御器３３は、当該制御プログラムに従って、各種演算を行うことにより、搬送装置２の搬送動作とともに、搬送機構５の状態の監視動作及び自動復帰動作が行われる。
　取得器３１は、位置制御におけるモータ２５の位置ずれ及びモータ２５に流れる電流（駆動電流）である劣化指標パラメータの値を取得する。ここでモータの位置ずれとは、位置制御における目標値と実際値との間の差分（偏差）、オフセット（残留偏差）、基準位置からの逸脱量、又は狂いを含む。取得器３１は、位置検出器１７で検出された位置情報（モータ２５の位置）と、位置情報の理論値から位置ずれを算出する。取得器３１は、電流検出器１６で検出されたサーボモータ２５に流れる電流値を取得する。
　記憶器３２は、制御プログラムの他、取得した劣化指標パラメータの値の時系列データ及び閾値等の情報を記憶する。記憶器３２は、取得器３１で算出した位置ずれ及び取得した電流を、劣化指標パラメータの値の時系列（時間経過順に並ぶ一群のパラメータ値）として記憶する（図３、図４参照）。
　制御器３３は、予め設定された閾値を劣化指標パラメータの値が超えると搬送機構５を停止させ、且つ、時系列データの変化パターンに基づいて、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構５の経年劣化によるものであるか否かを判定し、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構５の経年劣化によるものであると判定した場合には、搬送機構５を、動作速度を低下させて動作させる。
　［動作］
　まず、以上の構成の搬送装置２の基本の搬送動作について説明する。制御装置３は、搬送装置２の動作経路の位置指令値に対する位置検出器２７で検出された実測値の位置偏差に基づいて、モータを駆動するのに必要な電流を決定し、当該電流が流れるように制御命令を生成し、インバータ回路１４に出力する。このように、制御装置３は、搬送機構５（図１）に内蔵された複数のサーボモータ２５（図２）をフィードバック制御によって位置指令値となるように位置制御しながらサーボモータ２５によって搬送機構５を駆動することにより、所定の位置へ基板を搬送する。
　次に、本発明の特徴である自己状態監視動作及び自動復帰動作の原理について図３を用いて説明する。図３は、制御装置３の記憶器３２に記憶された劣化指標パラメータの経年変化を模式的に示したグラフである。図３（ａ）は、サーボモータ２５に流れる電流の値Ｉの経年変化を示している。ここでの電流値は、サーボモータ２５が例えば所定回転数で回転した場合の電流値が時系列に記憶されている。例えばサーボモータ２５の特性に応じて電流制限値Ｉｔｈが設定される。
　図３（ｂ）は、サーボモータ２５の位置ずれＰの経年変化をそれぞれ示している。ここでの位置ずれＰは、サーボモータ２５の指令位置が例えば所定の基準位置である場合における位置検出器２７で検出されるモータの２５位置の基準位置からの逸脱量が時系列に記憶されている。例えば位置制御の精度に応じて位置ずれ閾値Ｐｔｈが設定される。尚、いずれも装置の出荷時から例えば５年間の時系列データが記憶される。
　図３（ａ）及ぶ図３（ｂ）に示すように、劣化指標パラメータであるサーボモータ２５の位置ずれＰや電流の値Ｉは時間経過とともに緩やかに上昇している。このような傾向が維持された場合は、電流値Ｉ又は位置ずれＰが、いずれも電流制限値Ｉｔｈ又は位置ずれ閾値Ｐｔｈを越えた場合であっても、経年劣化により搬送機構５のサーボモータ２５に連動するギアのつまりやグリスの枯渇が原因となっている可能性が高い。動作速度を低下させれば、電流値を低下させることができ、且つ位置ずれは補正により支障を来たさないようにできるので、ソフトウエアの判断で速度を低下させ、搬送装置２の動作を継続することができる。
　これに対し、図４は、図３の状態において故障が発生した場合の劣化指標パラメータの変化を模式的に示したグラフである。図４（ａ）及び図４（ｂ）は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に対応する。図４に示すように、時刻ｔ０において、劣化指標パラメータである位置ずれＰや電流値Ｉが急激に上昇している。この場合は、障害物との衝突、ギア破損等の駆動系の故障が原因となっている可能性が高い。つまり、モータ等の物自体が破損している可能性があるため、ソフトの判断で動作を継続させることは困難である。このため、観測した偏差や電流値等から故障個所を早期に発見し、修理にかかる時間を短縮することができる。
　次に、制御装置３による自己状態監視及び自動復帰動作について図５のフローチャートを用いて説明する。
　まず、図５に示すように、制御装置３は、劣化指標パラメータを監視する（ステップＳ１）。取得器３１は、位置制御におけるモータの位置ずれ及びモータに流れる電流である劣化指標パラメータの値の時系列データを取得する。取得した劣化指標パラメータの値は時系列データとして記憶器３２に記憶される。これにより、搬送装置２の自己の状態を監視することができる。
　次に、制御器３３は、劣化指標パラメータの値が予め設定された閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ２）。制御器３３は劣化指標パラメータの値が閾値を越えるまで監視を継続し、劣化指標パラメータの値が閾値を越えた場合は搬送機構を停止させる（ステップＳ３）。これにより、機械及び電気的なトラブルが発生した場合の安全を確保することができる。ここで制御器３３は、閾値を劣化指標パラメータの値が超えると警報装置４に警告信号を発する。これを受けた警報装置４は、周囲の現場オペレータに搬送装置２が警告状態である旨を報知する。これにより、警告信号では、搬送装置２は自動復帰する可能性があるので、作業者は直ちに復旧作業を行う必要は無い。特に半導体設備内の真空環境下では人を設備内に入れることは望ましくないため例えば定期的なメンテナンスまでの時間を稼ぐことができる。
　次に、制御器３３は、搬送機構５を停止させた後、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構５の経年劣化によるものであるか否かを時系列データの変化パターンに基づいて判定する（ステップＳ４）。本実施形態では、搬送機構５の経年劣化を示す時系列データの変化パターンは、劣化指標パラメータ値の所定時間における変化量に基づいて判別される。これにより、時系列データの変化パターンが搬送機構５の経年劣化示すものであるか否かを好適に判別することができる。
　ステップＳ４で、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構５の経年劣化によるものであると判定した場合には、搬送機構５を、動作速度を所定の速度に低下させて動作復帰させる（ステップＳ５）。これにより、経年劣化による機械及び電気的なトラブルが発生した場合であっても人手を介することなく復旧できる。また、速度を落とすことで回避できるエラーに関しては自動で速度を落として搬送装置２を動作させることによって、装置のダウンタイムを短縮することが可能になる。
　ステップＳ５で、劣化指標パラメータ値の閾値超過が搬送機構５の経年劣化によるものではないと判定した場合には、警報装置４にエラー信号を発するとともにシステム全体をダウンさせる（ステップＳ６）。エラー信号を受けた警報装置４は、周囲にエラー状態である旨を通知する。作業者は、搬送装置２及び生産ライン等の周辺設備を含んだシステム全体を停止させて、観測した偏差や電流値等から故障個所を早期に発見し、修理にかかる時間を短縮することができる。
　従って、本実施形態によれば、機械及び電気的なトラブルが発生した場合でも、搬送装置の自己の状態を監視することにより、動作の鈍化や電流及び電圧の増減を把握することが可能となる。そのため、状態によってはエラーとすることや、エラーになる以前にワーニングを出すことが可能になる。また、速度を落とすことで回避できるエラーに関しては自動で速度を落として搬送装置を動作させることによって、装置のダウンタイムを最小限にすることが可能になる。
　尚、本実施形態では、劣化指標パラメータは、位置制御におけるモータの位置ずれ及びモータに流れる電流の双方としたが、いずれか一方にしてもよい。また、劣化指標パラメータは、サーボモータの速度のずれでもよい。
　尚、本実施形態では、制御装置３は、搬送装置２を復帰させる際には、動作速度を所定の速度に低下させたが、段階的に低下させてもよい。例えば動作速度を１００％、５０％、２５％、１２．５％（停止）のように、パラメータの値が回復しない場合は段階的に落としていく。これにより、搬送装置２の動作を復帰させやすくなる。
　上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び機能の一方又は双方の詳細を実質的に変更できる。
　本発明は、半導体基板等の搬送装置に有用である。
１　　搬送システム
２　　搬送装置
３　　制御装置
４　警報装置
５　搬送機構
６　基台
７　昇降軸
８　　第１リンク
９　　第２リンク
１０　　第３リンク
１１　エンドエフェクタ
２１　交流電源
２２　　ＡＣ／ＤＣ変換回路
２３　　平滑回路
２４　　インバータ回路
２５　　サーボモータ
２６　　電流検出器
２７　　位置検出器
３１　　取得器
３２　　記憶器
３３　　制御器

Claims (5)

  1. 　サーボモータを位置制御しながら当該サーボモータによって搬送機構を駆動するよう構成された搬送装置の制御装置であって、
    　前記位置制御におけるモータの位置ずれ及びモータに流れる電流の少なくとも一方である劣化指標パラメータの値の時系列を取得する取得器と、
    　取得した前記劣化指標パラメータの値の時系列を記憶する記憶器と、
    　予め設定された閾値を前記劣化指標パラメータの値が超えると前記搬送機構を停止させ、且つ、前記劣化指標パラメータの値の時系列の変化パターンに基づいて、前記劣化指標パラメータ値の前記閾値超過が前記搬送機構の経年劣化によるものであるか否かを判定し、前記劣化指標パラメータ値の前記閾値超過が前記搬送機構の経年劣化によるものであると判定した場合には、前記搬送機構を、動作速度を低下させて動作させる制御器と、を備える、搬送装置の制御装置。
  2. 　前記制御器は、前記閾値を前記劣化指標パラメータの値が超えると警告信号を発し、前記劣化指標パラメータ値の前記閾値超過が前記搬送機構の経年劣化によるものでないと判定した場合にはエラー信号を発する、請求項１に記載の搬送装置。
  3. 　前記搬送機構の経年劣化を示す前記劣化指標パラメータの値の時系列の変化パターンは、前記劣化指標パラメータ値の所定時間における変化量に基づいて判別される、請求項1又は請求項２に記載の搬送装置。
  4. 　前記制御器は、前記搬送装置を復帰させる際には、動作速度を段階的に低下させる、請求項1乃至請求項３のいずれか一項に記載の搬送装置。
  5. 　前記搬送装置は、真空環境下で使用される多軸ロボットである、請求項1乃至請求項４のいずれか一項に記載の搬送装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019026896A1 (ja) * 2017-08-04 2019-02-07 川崎重工業株式会社 状態監視システム及び状態監視方法
JP2019025616A (ja) * 2017-08-01 2019-02-21 トヨタ自動車株式会社 ロボットアーム、鉄粉量推定方法及び異常予兆判定システム
JP2021010997A (ja) * 2019-07-09 2021-02-04 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法
US11241793B2 (en) 2017-10-03 2022-02-08 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Method for estimating position where abnormality has occurred, and program for estimating position where abnormality has occurred

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6778199B2 (ja) * 2015-08-25 2020-10-28 川崎重工業株式会社 遠隔操作ロボットシステム
JP7364371B2 (ja) * 2019-06-28 2023-10-18 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット及び基板搬送ロボットの制御方法
CN114334763B (zh) * 2021-12-17 2022-10-21 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 晶圆传送系统
CN117233602B (zh) * 2023-11-07 2024-01-30 迈为技术(珠海)有限公司 刺晶机老化检测方法和刺晶机

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07100724A (ja) * 1993-09-30 1995-04-18 Jatco Corp 被加工物用移動機構の監視装置
JPH07182002A (ja) * 1993-12-22 1995-07-21 Nissan Motor Co Ltd 故障未然防止装置
JPH09262517A (ja) * 1996-03-28 1997-10-07 Trinity Ind Corp 自動塗装装置の劣化度合監視装置
JP2006285688A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Yamaha Corp 製造設備の故障診断方法および装置
JP2011091072A (ja) * 2009-10-20 2011-05-06 Hitachi High-Tech Control Systems Corp 半導体ウェーハ搬送装置の診断方法
JP2013210703A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Mitsubishi Electric Corp プラント機器の経年劣化故障兆候判定システム

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3767947B2 (ja) * 1996-07-02 2006-04-19 株式会社小松製作所 トランスファプレスの制御装置
JPH10313037A (ja) 1997-05-06 1998-11-24 Applied Materials Inc 基板搬送システムの監視装置
DE59809233D1 (de) * 1997-12-06 2003-09-11 Elan Schaltelemente Gmbh & Co Überwachungs- und steuergerät sowie verfahren zur überwachung einer technischen anlage mit erhöhten sicherheitsanforderungen, insbesondere eines handhabungsgerätes
JP2001202134A (ja) * 2000-01-17 2001-07-27 Toshiba Mach Co Ltd 制御装置、制御方法、および、制御装置の警報出力方法
JP2004104011A (ja) * 2002-09-12 2004-04-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP3911258B2 (ja) * 2003-08-18 2007-05-09 川崎重工業株式会社 制御装置による駆動装置の制御方法および制御装置
JP2005137127A (ja) 2003-10-30 2005-05-26 Nissan Motor Co Ltd モータの絶縁材料劣化検出方法およびこの方法を実施可能なモータ駆動制御装置
JP2005311259A (ja) 2004-04-26 2005-11-04 Nikon Corp 駆動機構の劣化検出装置及び方法並びに露光装置
WO2007057390A2 (en) * 2005-11-16 2007-05-24 Abb Ab Method and device for controlling motion of an industrial robot with a position switch
JP2007251088A (ja) 2006-03-20 2007-09-27 Tokyo Electron Ltd 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置における移載機構の制御方法
CN200983104Y (zh) * 2006-09-08 2007-11-28 和舰科技(苏州)有限公司 一种检测传送机异常运行的装置
EP1927440A1 (en) * 2006-11-30 2008-06-04 Abb Research Ltd. Method and device for monitoring the condition of an industrial robot
JP5246550B2 (ja) * 2009-03-03 2013-07-24 川崎重工業株式会社 ロボット及びその制御方法
JP5110405B2 (ja) 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム
JP5664543B2 (ja) 2011-12-26 2015-02-04 東京エレクトロン株式会社 搬送装置及び搬送方法
US9205560B1 (en) * 2013-06-24 2015-12-08 Redwood Robotics, Inc. System and method for failure detection of a robot actuator
US10665487B2 (en) * 2014-04-18 2020-05-26 Ebara Corporation Substrate processing apparatus, substrate processing system, and substrate processing method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07100724A (ja) * 1993-09-30 1995-04-18 Jatco Corp 被加工物用移動機構の監視装置
JPH07182002A (ja) * 1993-12-22 1995-07-21 Nissan Motor Co Ltd 故障未然防止装置
JPH09262517A (ja) * 1996-03-28 1997-10-07 Trinity Ind Corp 自動塗装装置の劣化度合監視装置
JP2006285688A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Yamaha Corp 製造設備の故障診断方法および装置
JP2011091072A (ja) * 2009-10-20 2011-05-06 Hitachi High-Tech Control Systems Corp 半導体ウェーハ搬送装置の診断方法
JP2013210703A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Mitsubishi Electric Corp プラント機器の経年劣化故障兆候判定システム

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019025616A (ja) * 2017-08-01 2019-02-21 トヨタ自動車株式会社 ロボットアーム、鉄粉量推定方法及び異常予兆判定システム
WO2019026896A1 (ja) * 2017-08-04 2019-02-07 川崎重工業株式会社 状態監視システム及び状態監視方法
JP2019030913A (ja) * 2017-08-04 2019-02-28 川崎重工業株式会社 状態監視システム及び状態監視方法
US11241793B2 (en) 2017-10-03 2022-02-08 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Method for estimating position where abnormality has occurred, and program for estimating position where abnormality has occurred
JP2021010997A (ja) * 2019-07-09 2021-02-04 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法
JP7335103B2 (ja) 2019-07-09 2023-08-29 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法

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