WO2014199908A1 - 給電部材及びそれを備えた高速めっき装置 - Google Patents

給電部材及びそれを備えた高速めっき装置 Download PDF

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WO2014199908A1
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power supply
plating solution
plated
holding
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嘉隆 望月
稔久 宮崎
輝 高松
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カヤバ工業株式会社
株式会社中央製作所
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Definitions

  • the present invention relates to a power feeding member and a high-speed plating apparatus including the power feeding member.
  • Patent Document 1 discloses a conventional high-speed plating apparatus.
  • This high-speed plating apparatus includes a sealed container composed of a metal cylinder serving as an anode and a lid member integrally coupled to both ends of the metal cylinder.
  • the metal tube is made of copper, and a thin film of platinum is electrodeposited on the inner surface and the end surface.
  • the two opposing lid members are provided with insertion holes through which the plug member is slidably inserted.
  • the plug member sandwiches and holds the object to be plated and constitutes a part of the holding device.
  • the plug member is also a power supply member that contacts the object to be plated and applies a negative voltage.
  • This plug member is covered with a corrosion-resistant resin in order to prevent dissolution by the plating solution.
  • this high-speed plating apparatus is provided with a power supply device that energizes the metal cylinder and the plug member so that a positive voltage is applied to the metal cylinder and a negative voltage is applied to the object to be plated.
  • the high-speed plating apparatus includes a circulation device including a pump that circulates the plating solution so that the plating solution flows in the sealed container.
  • This high-speed plating apparatus drives the pump so that the plating solution flows in the sealed container after the object to be plated sandwiched between the plug members is stored in the sealed container. Then, by applying a positive voltage to the metal cylinder and applying a negative voltage to the object to be plated via the plug member, high-speed plating with a short plating time can be performed.
  • the plug member of the high-speed plating apparatus of Patent Document 1 slides through the insertion hole and generates heat and expands when a negative voltage is applied. For this reason, there is a possibility that the corrosion-resistant resin coated so that the plug member is not dissolved by the plating solution is deteriorated and peeled off. If the corrosion-resistant resin that covers the plug member is peeled off, the plug member may be dissolved by the plating solution, or the plating solution may leak from between the outer peripheral surface of the plug member and the inner peripheral surface of the insertion hole. Therefore, it is necessary to replace the plug member.
  • the present invention has been made in view of the above-described conventional situation, and it is an object to be solved to provide a power supply member capable of performing good plating for a long period of time and a high-speed plating apparatus including the same. .
  • the power supply member of the present invention is a power supply member that applies a negative voltage in contact with an object to be plated arranged in a state in which a space in which a plating solution flows between the anode and the anode, It is characterized by comprising a copper center member and a titanium covering member that covers at least a portion in contact with the plating solution around the center member.
  • This power supply member covers a copper central member with a titanium coating member having higher corrosion resistance than copper at a portion in contact with the plating solution. For this reason, this power supply member has improved corrosion resistance to the plating solution. Therefore, the replacement frequency of the power supply member can be reduced.
  • this power supply member includes a copper central member having a higher electrical conductivity than titanium, the amount of heat generated during power supply can be suppressed compared to a power supply member formed of only titanium, and the plating solution The temperature rise can be reduced.
  • the power supply member of the present invention and the high-speed plating apparatus provided with the power supply member can perform good plating for a long period of time.
  • the high-speed plating apparatus of the embodiment is in contact with the anode 10, the first power supply member 20 that applies a positive voltage in contact with the anode 10, and the object to be plated 1, which is a workpiece.
  • a circulation device 60 that circulates the plating solution and a power supply device 70 that energizes the anode 10 and the second power supply member 30 are provided.
  • the anode 10 has a cylindrical shape and is arranged extending in the vertical direction. As shown in FIGS. 3 and 4, the anode 10 has an outer cylinder portion 11 formed from a titanium plate material and an inner cylinder portion 12 formed from a platinum plate material. Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the anode 10 has a titanium ring member 13 that is externally fitted to the upper and lower ends.
  • the anode 10 is manufactured as described below. First, a flat plate material 12A made of platinum is superimposed on a flat plate material 11A made of titanium, and the surfaces are welded together by electric resistance welding to produce a double-structure plate material 10A (see FIG. 3A). Next, the flat plate material 12A made of platinum is rounded so as to be inside, formed into a cylindrical shape, and welded with end faces attached (see FIG. 3B). And the ring member 13 is welded and integrated to each of the outer peripheral surfaces of the upper and lower ends of the anode 10.
  • the anode 10 is formed by welding the inner cylinder portion 12 made of the platinum plate material 12A to the inner surface of the titanium outer cylinder portion 11 having conductivity, the conductive outer cylinder portion 11
  • the inner cylinder part 12 which consists of plate material 12A made from platinum can be firmly stuck. For this reason, it can reduce that the inner cylinder part 12 which consists of plate material 12A made from platinum peels from the inner surface of the outer cylinder part 11 during a plating process.
  • the inner cylinder part 12 is formed from the plate material 12A made of platinum, it is possible to reduce the amount of consumption by performing electroplating as compared with the electrodeposited platinum thin film. As described above, the anode 10 can be replaced less frequently, and the additional processing cost can be reduced.
  • the anode 10 of the embodiment and the high-speed plating apparatus provided with the anode 10 can perform good plating for a long period of time.
  • the anode 10 is formed by rounding so as to form a cylindrical shape and attaching the end surfaces together.
  • the cylindrical anode 10 composed of the outer cylinder portion 11 formed from the flat plate material 11A made of titanium and the outer cylinder portion 11 formed from the flat plate material 12A made of platinum can be easily formed.
  • the first power supply member 20 includes a first member 21 and a second member 22 that are attached between ring members 13 that are externally fitted to the upper and lower ends of the anode 10. And is formed from.
  • the first member 21 is a copper plate
  • the second member 22 is formed of a copper plate that is thinner than the first member 21.
  • the first member 21 is a vertically long rectangular flat plate extending in the vertical direction along the anode 10, and the left and right central portions are in contact with the outer peripheral surface of the anode 10 extending in a straight line in the vertical direction.
  • the second member 22 is a vertically long rectangular flat plate whose both ends are in contact with the first member 21 and extend in the up-down direction.
  • the both ends are bolted to the first member 21 with a plurality of bolts.
  • the second member 22 is bolted to the first member 21, has a central portion that bulges forward in a U shape so as to cover the anode 10, and an inner surface that is a half circumference away from the first member 21 of the anode 10. Touching the surface.
  • the first power supply member 20 can remove and replace the anode 10 by loosening the bolt that fastens the first member 21 and the second member 22.
  • the anode 10 has an upper end supported by an upper receiving member 80 and a lower end supported by a lower receiving member 90.
  • the upper receiving member 80 is fixed on a flat plate-like first fixing member 100 having an opening through which the anode 10 is inserted.
  • the lower receiving member 90 is fixed on a flat plate-like second fixing member 101 having an opening through which a support rod 15 described later is inserted.
  • the second fixing member 101 is connected to the lower portion of the first fixing member 100 by four connecting members 102 that hang downward from the lower surface of the first fixing member 100.
  • the upper receiving member 80 has a rectangular parallelepiped shape, and as shown in FIG. 5, an upper space 81 opened vertically upward, and a lower space 82 opened vertically downward continuously to the lower end of the upper space 81. have.
  • the inner circumferential surface of each of the upper space 81 and the lower space 82 of the upper receiving member 80 has a horizontal cross-sectional shape that is concentric.
  • a lower portion of a base member 85 described later is inserted from above.
  • the second power supply member 30 that is arranged in a straight line and that has a tip facing the upper space 81 below the base member 85 is arranged so as to be able to advance and retreat toward the center of the upper space 81.
  • the upper space 81 has a plating solution outlet 83 that continuously extends in the horizontal direction and opens on the side surface of the upper receiving member 80.
  • An L-shaped outflow pipe 61 is connected to the plating solution outlet 83.
  • the lower receiving member 90 has a rectangular parallelepiped outer shape, and has an upper space 91 opened vertically upward and a lower space 92 continuous to the lower end of the upper space 91 as shown in FIG.
  • Each of the inner peripheral surfaces of the upper space 91 and the lower space 92 of the lower receiving member 90 has a horizontal cross-sectional shape that is concentric.
  • the upper space 91 the lower end portion of the anode 10 with the ring member 13 fitted thereto is inserted.
  • Two O-rings R ⁇ b> 2 having corrosion resistance are interposed between the inner peripheral surface of the upper space 91 and the outer peripheral surface of the ring member 13. As a result, the plating solution is prevented from leaking from the connecting portion between the upper space 91 of the lower receiving member 90 and the anode 10.
  • the lower space 92 of the lower receiving member 90 has a plating solution inlet 93 that continuously extends in the horizontal direction and opens on the side surface of the lower receiving member 90 as shown in FIGS. 1, 2, and 6. ing.
  • An inflow pipe 62 is connected to the plating solution inlet 93.
  • the lower space 92 has an insertion port 94 that continuously extends vertically downward and opens at the lower end surface of the lower receiving member 90.
  • Each of the inner peripheral surfaces of the insertion port 94, the lower space 92 of the lower receiving member 90, and the upper space 91 has a horizontal cross-sectional shape that is concentric.
  • the insertion hole 94 is inserted with a cylindrical support rod 15 so as to be movable up and down.
  • the support rod 15 has a concave portion 16 opened upward at the upper end.
  • the concave portion 16 is inserted with the lower end portion of the cylindrical object 1 to be plated.
  • the lower end of the support bar 15 is connected to a piston rod of an air cylinder (not shown). Therefore, by driving this air cylinder, the support bar 15 can be moved up and down on the central axis of the anode 10.
  • Two corrosion-resistant O-rings R3 and one dust seal S1 are interposed between the inner peripheral surface of the insertion port 94 and the support rod 15. Thus, dust is prevented from entering from the outside while preventing the plating solution from leaking from between the insertion port 94 and the support rod 15.
  • the second power feeding member 30 is inserted into each of the two through holes 84 that penetrate straightly from the two side surfaces opposite to the upper receiving member 80 toward the upper space 81. Yes.
  • the second power supply members 30 are arranged in a straight line, and their tips are opposed to each other in the upper space 81 below the base member 85.
  • each of the second power supply members 30 is connected to the piston rod 111 of the air cylinder 110 via the gripping member 130 at the rear end outside the side surface of the upper receiving member 80.
  • Each air cylinder 110 is fixed to a fixed wall 103 rising from both ends of the first fixing member 100.
  • each second power feeding member 30 can advance and retract toward the center of the upper space 81. That is, each 2nd electric power feeding member 30 can move back and forth between the advancing position and the retreating position toward the workpiece 1 disposed at the center of the upper space 81.
  • Each of the second power supply members 30 has a tip portion that contacts the outer peripheral surface of the columnar workpiece 1 at the forward position, and a tip portion that is separated from the outer peripheral surface of the workpiece 1 at the retracted position.
  • one end of a copper power supply plate 71 bent in a substantially U shape is connected to a holding member 130 that holds the rear end of the second power supply member 30.
  • the other end of each power supply plate 71 is connected by a copper connection plate 72.
  • Each power supply plate 71 can be modified to follow the advancement and retreat of each second power supply member 30.
  • Each power supply plate 71 is connected to a power source 75.
  • Each second power supply member 30 has a cylindrical shape with the advancing / retreating direction as an axial direction. Further, as shown in FIG. 8, two O-rings R ⁇ b> 4 having corrosion resistance are interposed between the outer peripheral surface of each second power supply member 30 and the inner peripheral surface of each through hole 84. Accordingly, the second power supply member 30 can smoothly advance and retreat without leakage of the plating solution from between the second power supply members 30 and the upper space 81 of the upper receiving member 80.
  • each of the second power supply members 30 has a V-shaped tip that is centered rearward from both sides when viewed from above.
  • these second power supply members 30 are composed of a copper center member 31 having a cylindrical shape and a titanium covering member 32 covering the periphery of the center member 31.
  • the diameter of the central member 31 is between 90% and 50% of the outer diameter of the covering member 32. Since the plating solution fills the upper space 81 below the base member 85, the second power supply member 30 covers the portion where the plating solution comes into contact with the coating member 32 made of titanium. For this reason, this 2nd electric power feeding member 30 is improving the corrosion resistance with respect to a plating solution.
  • the replacement frequency of the second power supply member 30 can be reduced.
  • the second power supply member 30 includes a copper central member 31 having a higher electrical conductivity than titanium, the amount of heat generated during power supply can be suppressed compared to a power supply member formed only of titanium. And the temperature rise of the plating solution can be reduced.
  • the second power supply member 30 of the embodiment and the high-speed plating apparatus including the same can perform plating for a long period of time.
  • the second power supply member 30 is manufactured as described below. First, as shown in FIG. 9, the cylindrical member insertion space into which the central member 31 can be inserted is formed in the covering member 32, and a thread is cut on the inner peripheral surface thereof. The central member 31 is processed into a male screw with the same screw diameter. Then, the center member 31 is screwed into the insertion space of the covering member 32 and brazed at the insertion port of the covering member 32 to manufacture the second power supply member 30. The center member 31 of the second power supply member 30 has a rear end portion exposed from the covering member 32. The exposed center member 31 is used as a current-carrying portion from the power source 75 via the grip member 130.
  • the holding device 40 includes a base member 85 having a lower portion inserted into the upper space 81 of the upper receiving member 80 from above.
  • the base member 85 has a cylindrical outer shape at the bottom and a rectangular parallelepiped shape at the top.
  • the upper receiving member 80 also has a rectangular parallelepiped shape, and the upper receiving member 80 and the base member 85 are combined so that the four sides forming the outer peripheral edge are parallel when viewed from above. .
  • An O-ring R5 having corrosion resistance is interposed between the upper surface of the upper receiving member 80 and the surface extending from the upper end of the lower portion of the base member 85 in the horizontal direction. This prevents the plating solution from leaking between the upper receiving member 80 and the base member 85.
  • the base member 85 has a storage portion 86 having a communication port 87 that opens vertically upward and opens downward in the center of the lower portion.
  • the inner peripheral surfaces of the storage portion 86 and the communication port 87 are formed so that the horizontal cross-sectional shape is concentric.
  • the communication port 87 has a diameter smaller than that of the inner peripheral surface of the storage portion 86 and is slightly larger than that of the columnar workpiece 1 so that the workpiece 1 can be inserted therethrough.
  • the storage portion 86 stores a pair of holding members 41.
  • the holding chamber 45 is formed by the storage portion 86 of the base member 85 and the seal cover 88 that closes the upper opening of the base member 85.
  • the seal cover 88 has a disk-shaped upper surface portion 88A and a side surface 88B portion extending downward from the periphery of the upper surface portion 88A.
  • An air insertion port 89 is provided through the upper surface portion 88A.
  • One end of an air tube 52 is connected to the air insertion port 89.
  • the other end of the air tube 52 is connected to the compressor 51.
  • the pressure device 50 includes the compressor 51 and the air tube 52.
  • the seal cover 88 can be moved to a position that closes the upper opening of the base member 85 by a moving device (not shown), and is pressed downward at that position.
  • One O-ring R6 is interposed between the upper surface of the base member 85 and the lower surface of the side surface portion of the seal cover 88. This prevents air from leaking between the base member 85 and the seal cover 88.
  • Each holding member 41 has a holding part main body 42 and a contact part 43.
  • Each holding portion main body 42 has a semi-cylindrical shape, and forms a concave portion 44A in which the center along the shaft portion of the flat portion is recessed in a semi-cylindrical shape.
  • the recess 44A is formed larger than the outer diameter of the columnar object 1 to be plated.
  • Each holding part main body 42 is arranged so that the flat part 44B faces each other.
  • the abutting portion 43 is formed of a sponge sheet 46 having a rectangular shape when viewed from above.
  • the sponge sheet 46 is an elastic body having chemical resistance.
  • a notched portion cut out in a semicircular shape at the center of the long side portion of the sponge sheet 46 is the contact portion 43.
  • the contact portion 43 is formed with a diameter smaller than the outer diameter of the columnar workpiece 1 and contacts the outer peripheral surface of the workpiece 1. That is, the contact portion 43 is formed by cutting the sponge sheet 46 into a similar shape smaller than the side shape of the workpiece 1 to be contacted. For this reason, the contact part 43 can contact
  • each holding portion main body 42 is formed with grooves 47 ⁇ / b> A and 47 ⁇ / b> B extending in the horizontal direction that sandwich the sponge sheet 46 at two positions that are opposed to each other in the height direction. is doing.
  • the upper groove 47A inserts and holds two thin sponge sheets 46
  • the lower groove 47B inserts and holds one thick sponge sheet 46.
  • the base member 85 has air cylinders 120 attached to two side surfaces orthogonal to the side surface of the upper receiving member 80 in which the second power feeding member 30 is inserted.
  • the base member 85 has an insertion hole 85 ⁇ / b> A that penetrates into the storage portion 86 from the two side surfaces and into which the piston rod 121 of each air cylinder 120 is inserted.
  • One O-ring R7 is interposed between the inner peripheral surface of the insertion hole 85A and the outer peripheral surface of the piston rod 121. This prevents air from leaking between the insertion hole and the piston rod.
  • each piston rod 121 of each air cylinder 120 is connected to the holding part main body 42 in the holding chamber 45 of the base member 85.
  • Each holding member 41 has a retracted position where the flat surface portion 44B of the holding portion main body 42 and the end surfaces of the sponge sheet 46 are separated from each other, and a part of the arc-shaped side surface of the holding portion main body 42 contacts the inner peripheral surface of the base member 85, The opposing end surfaces of the sponge sheet 46 are in contact with each other, and the abutting portions 43 of the sponge sheet 46 can freely move back and forth between the both sides of the object to be plated 1 on the same outer peripheral surface with no gap therebetween. .
  • an O-ring R8 having corrosion resistance is interposed between the lower surface of the holding portion main body 42 and the bottom surface of the storage portion 86 of the base member 85. This prevents the plating solution from leaking between the holding portion main body 42 and the base member 85.
  • the circulation device 60 is opened on the side surface of the L-shaped outflow pipe 61 and the lower receiving member 90 connected to the plating solution outlet 83 opened on the side surface of the upper receiving member 80. It has a circulation path 63 having an inflow pipe 62 connected to the plating solution inlet 93, and a plating solution management tank 64 and a pump 65 provided in the middle of the circulation path 63.
  • the circulation device 60 sends the plating solution in the plating solution management tank 64 to the plating solution inlet 93 of the lower receiving member 90, and then the lower receiving member 90, the anode 10, the upper receiving member 80, A circulation path 63 that passes through the plating solution outlet 83 in this order and returns to the plating solution management tank 64 can be circulated.
  • the power supply device 70 applies a positive voltage to the anode 10 through the first power supply member 20, and applies a negative voltage of the workpiece 1 through the second power supply member 30. 75 is connected.
  • each second power feeding member 30 and each holding member 41 are in the retracted position, and the upper end portion of the chuck 5 is in a state where the support bar 15 is raised. It waits for the grasped workpiece 1 to descend. Then, the object to be plated 1 is lowered from the upper opening of the base member 85, and the lower end portion of the object to be plated 1 is inserted into the concave portion 16 opened upward at the upper end of the support bar 15, as shown in FIG.
  • the piston rod of an air cylinder (not shown) connected to the lower end portion of the support rod 15 is lowered, and the workpiece 1 is moved to the plating position. Descend. That is, the object to be plated 1 is arranged in a state where a space in which the plating solution flows is formed between the anode 1 and the object 10.
  • each holding portion main body 42 is in the advanced position where the contact portions 43 of the sponge sheet 46 are in contact with and sandwiched from both sides of the workpiece 1 on the same outer peripheral surface without a gap. Moving. Further, the other end surfaces of the sponge sheets 46 are in contact with each other without any gap, and the opposing flat portions of the holding body 42 are in contact with each other.
  • the seal cover 88 is moved to a position for closing the upper opening of the base member 85 by the moving device, and is pressed downward at that position. Then, the compressor 51 is driven to send air into the air insertion port 89 of the seal cover 88 and pressurize the holding chamber 45. At this time, as described later, the plating solution circulates, and the inside of the holding chamber 45 exceeds the internal pressure of the region in which the plating solution flows between the object 1 and the anode 10 (this region corresponds to the liquid tank). The compressor 51 is driven to feed air into the holding chamber 45 so as to maintain the internal pressure.
  • the object to be plated 1 is arranged on the axis of the anode 10. That is, the inner peripheral surface of the anode 10 and the outer peripheral surface of the workpiece 1 are spaced at equal intervals, and the plating solution flows into the space.
  • the pump 65 of the circulation device 60 is driven to send the plating solution in the plating solution management tank 64 to the plating solution inlet 93 of the lower receiving member 90, and then the lower receiving member 90, the anode 10, and the upper receiving member.
  • a circulation path 63 that passes through the member 80 and the plating solution outlet 83 in this order and returns to the plating solution management tank 64 is circulated. At this time, the plating solution flows between the anode 10 and the workpiece 1.
  • the first power supply member 20 and the second power supply member 30 are energized from the power supply device 70, a positive voltage is applied to the anode 10, and a negative voltage is applied to the workpiece 1 to execute high-speed plating.
  • the contact portion 43 of the holding device 40 abuts on the same outer peripheral surface of the columnar workpiece 1 without any gap.
  • the sponge sheet 46 is an elastic body having chemical resistance.
  • the compressor 51 feeds air to pressurize the inside of the holding chamber 45.
  • seat 46 is pressed by an air pressure, and can be closely_contact
  • FIG. when the inside of the holding chamber 45 is pressurized, the plating solution that is about to leak to the holding chamber 45 side from the boundary portion between the contact portion 43 and the workpiece 1 or the boundary portion between the contact portions 43.
  • the holding device 40 can reliably prevent the plating solution from leaking into the storage portion 86 of the base member 85 from below the base member 85.
  • the holding device 40 is configured such that the contact portion 43 is formed of a sponge sheet 46 that is an elastic body. 43 can be brought into close contact. For this reason, this holding
  • the sponge sheet 46 constituting the contact portion 43 has chemical resistance, the contact portion 43 is prevented from being deteriorated by the plating solution, and the leakage of the plating solution is prevented for a long time. be able to.
  • the holding device 40 of the embodiment and the high-speed plating apparatus including the same can hold a plurality of types of objects to be plated 1 and can reliably prevent the leakage of the plating solution.
  • the high-speed plating apparatus stops energization from the power supply device 70 to the first power supply member 20 and the second power supply member 30. Further, the pump 65 of the circulation device 60 is also stopped, and the plating solution is discharged from the anode 10 and stored in the plating solution management tank 64. Then, the seal cover 88 is moved by the moving device from the position where the upper opening of the base member 85 is closed to the retracted position. Then, each holding member 41 moves to the retracted position, the chuck 5 grips the upper end portion of the workpiece 1, and the second power feeding member 30 moves to the retracted position. Then, while the chuck 5 pulls up the workpiece 1, the support bar 15 pushes up the workpiece 1, pulls out the workpiece 1 from the upper opening of the base member 85, and finishes the plating process.
  • the anode is formed in a cylindrical shape. However, when plating an object to be plated in another shape, it may be formed in a shape that matches the shape.
  • the central member of the second power supply member and the covering member are screwed together, but the inner peripheral surface of the insertion space of the covering member and the outer peripheral surface of the central member are tapered to insert the covering member.
  • a central member may be press-fitted into the space.
  • the covering member of the second power supply member covers the central member in a wider range than the portion where the plating solution contacts, but the covering member covers at least the portion where the plating solution contacts.
  • the central portion of the long side portion of the sponge sheet was cut into a semicircular shape to form a contact portion, but the cut shape may be matched to the shape of the object to be plated. Moreover, there may not be a notch.
  • the object to be plated is clamped from two directions by two holding members. However, the contact part abuts on the same outer peripheral surface of the object to be plated without gaps by three or more holding members. You may do it.
  • two water portions for holding the sponge sheet in the holding portion main body are provided at positions separated in the height direction. However, only one location may be provided, or three or more locations may be provided. . (7) In the embodiment, one or two sponge sheets are overlapped and inserted into the groove portion of the holding portion main body, and may be sandwiched by inserting three or more sheets into the groove portion of the holding portion main body. .

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Abstract

　長期間、良好にめっきを行うことができる給電部材を提供する。　第２給電部材（３０）は、アノード（１０）との間にめっき液が流動する空間を形成した状態に配置された被めっき物（１）に接触して負電圧を印加する。第２給電部材（３０）は、銅製の中心部材（３１）と、この中心部材（３１）の周囲であって、少なくともめっき液が接液する部位を被覆したチタン製の被覆部材（３２）とを備えている。

Description

給電部材及びそれを備えた高速めっき装置
　本発明は給電部材及びそれを備えた高速めっき装置に関する。
　特許文献１は従来の高速めっき装置を開示している。この高速めっき装置は、アノードとなる金属筒と、この金属筒の両端に一体的に結合した蓋部材とから構成された密閉容器を備えている。金属筒は、銅製であり、内面及び端面に白金の薄膜を電着している。対向する２個の蓋部材は栓部材が摺動自在に挿通する挿通孔を設けている。栓部材は、被めっき物を挟持して保持するものであり、保持装置の一部を構成している。また、栓部材は被めっき物に接触して負電圧を印加する給電部材でもある。この栓部材は、めっき液による溶解を防止するため、耐食性の樹脂で被覆されている。
　さらに、この高速めっき装置は、金属筒に正電圧を印加し、被めっき物に負電圧を印加するように、金属筒及び栓部材に通電する電源装置を備えている。また、この高速めっき装置は密閉容器内をめっき液が流動するようにめっき液を循環させるポンプ等からなる循環装置を備えている。
　この高速めっき装置は、栓部材が挟持した被めっき物を密閉容器内に収納した上で、密閉容器内をめっき液が流動するようにポンプを駆動する。そして、金属筒に正電圧を印加し、被めっき物に栓部材を介して負電圧を印加することによって、めっき時間が短くて済む高速めっきを行うことができる。
特開昭５５－１３８０９７号公報
　しかし、特許文献１の高速めっき装置の栓部材は、挿通孔を摺動し、負電圧が印加されると発熱して膨張する。このため、この栓部材はめっき液によって溶解しないように被覆した耐食性の樹脂が劣化して剥がれるおそれがある。栓部材を被覆する耐食性の樹脂が剥がれてしまうと、栓部材がめっき液によって溶解したり、栓部材の外周面と挿通孔の内周面との間からめっき液が漏洩したりするおそれがあるため、栓部材の交換が必要になる。
　本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、長期間、良好にめっきを行うことができる給電部材及びそれを備えた高速めっき装置を提供することを解決すべき課題としている。
　本発明の給電部材は、アノードとの間にめっき液が流動する空間を形成した状態に配置された被めっき物に接触して負電圧を印加する給電部材であって、
　銅製の中心部材と、この中心部材の周囲であって、少なくとも前記めっき液が接液する部位を被覆したチタン製の被覆部材とを備えていることを特徴とする。
　この給電部材は、めっき液に接液する部位において、銅に比べて耐食性の高いチタン製の被覆部材で銅製の中心部材を被覆している。このため、この給電部材はめっき液に対する耐食性が向上している。よって、この給電部材の交換頻度を少なくすることができる。また、この給電部材は、チタンに比べて電気伝導率が高い銅製の中心部材を備えているため、チタンのみで形成した給電部材に比べ、給電時の発熱量を抑制することができ、めっき液の温度上昇を少なくすることができる。
　したがって、本発明の給電部材及びそれを備えた高速めっき装置は、長期間、良好にめっきを行うことができる。
実施例の高速めっき装置の第２給電部材の移動方向に沿った断面を示す断面図である。 実施例の高速めっき装置の保持部材の移動方向に沿った断面を示す断面図である。 実施例のアノードを示し、（Ａ）はチタン製の平板材と白金製の平板材を溶接した状態を示す断面図であり、（Ｂ）円筒状に丸めて端面を付き合わせて溶接した状態を示す断面図である。 実施例のアノードと第１給電部材を示す断面図である。 実施例の高速めっき装置のアノードの上部より上方を拡大した断面図である。 実施例の高速めっき装置のアノード下部を支持する下部受部材周りを拡大した断面図である。 実施例の高速めっき装置を上方から見た平面図である。 実施例の第２給電部材が位置する水平断面図である。 実施例の第２給電部材の一部断面図である。 実施例の保持部材が位置する水平断面図である。 実施例の高速めっき装置の第２給電部材の移動方向に沿った断面であって、被めっき物がアノード内に下降する前を示す断面図である。 実施例の高速めっき装置の保持部材の移動方向に沿った断面であって、被めっき物がアノード内に下降する前を示す断面図である。 実施例の高速めっき装置の第２給電部材の移動方向に沿った断面であって、被めっき物の下端部が支持棒の上端の凹部に挿入された状態を示す断面図である。 実施例の高速めっき装置の第２給電部材の移動方向に沿った断面であって、被めっき物がアノード内に下降した状態を示す断面図である。 実施例の第２給電部材の先端部が被めっき物の外周面に接触した状態を示す断面図である。 実施例の高速めっき装置の保持部材の移動方向に沿った断面であって、保持部が被めっき物を保持した状態を示す断面図である。 保持部が被めっき物を保持した状態を示す水平断面図である。 実施例の高速めっき装置のアノードの上部より上方を拡大しており、保持部が被めっき物を保持した状態を示す断面図である。
　本発明の給電部材を備えた高速めっき装置を具体化した実施例について、図面を参照しつつ説明する。
＜実施例＞
　実施例の高速めっき装置は、図１及び図２に示すように、アノード１０、アノード１０に接触して正電圧を印加する第１給電部材２０、ワークである被めっき物１に接触して負電圧を印加する第２給電部材３０、被めっき物１を保持する保持部材４１を備えた保持装置４０、空気を送り込んで保持部材４１が配置された保持室４５内を加圧する加圧装置５０、めっき液を循環させる循環装置６０、及びアノード１０と第２給電部材３０に通電する電源装置７０を備えている。
　アノード１０は、円筒状であり、鉛直方向に延びて配置されている。アノード１０は、図３及び図４に示すように、チタン製の板材から形成した外筒部１１と、白金製の板材から形成した内筒部１２とを有している。また、アノード１０は、図１及び図２に示すように、上下端部の夫々に外嵌したチタン製のリング部材１３を有している。
　このアノード１０は次に説明するように製造される。まず、チタン製の平板材１１Ａに白金製の平板材１２Ａを重ね合わせ、電気抵抗溶接によって面同士を溶接し、二重構造の板材１０Ａを製作する（図３（Ａ）参照）。次に、白金製の平板材１２Ａが内側になるように丸め、円筒状になるように成形し、端面を付き合わせて溶接する（図３（Ｂ）参照）。そして、アノード１０の上下端部の外周面の夫々にリング部材１３を溶接して一体化する。
　このように、導電性を有するチタン製の外筒部１１の内面に白金製の板材１２Ａからなる内筒部１２を溶接してアノード１０を形成しているため、導電性の外筒部１１に白金製の板材１２Ａからなる内筒部１２を強固に密着させることができる。このため、めっき工程中に白金製の板材１２Ａからなる内筒部１２が外筒部１１の内面からの剥離することを少なくすることができる。また、内筒部１２が白金製の板材１２Ａから形成されているため、電着した白金の薄膜よりも電気めっきを行うことによる消耗量を少なくすることができる。このように、このアノード１０は交換頻度を少なくすることができ、追加加工費を低減することができる。
　したがって、実施例のアノード１０及びそれを備えた高速めっき装置は、長期間、良好にめっきを行うことができる。
　また、チタン製の平板材１１Ａに白金製の平板材１２Ａを重ね合わせて面同士を溶接した後、円筒状になるように丸めて端面を付き合わせて溶接することによって、アノード１０を成形したので、チタン製の平板材１１Ａから形成した外筒部１１と、白金製の平板材１２Ａから形成した外筒部１１とからなる円筒状のアノード１０を容易に成形することができる。
　第１給電部材２０は、図１、図２、及び図４に示すように、アノード１０の上下端部の夫々に外嵌したリング部材１３の間に取り付けた第１部材２１と第２部材２２とから形成されている。第１部材２１は銅板であり、第２部材２２は第１部材２１に比べて薄い銅板から形成されている。第１部材２１は、アノード１０に沿って上下方向に延びた縦長長方形の平板であり、左右中央部が鉛直方向に一直線上に延びるアノード１０の外周面に接触している。第２部材２２は、両端部が第１部材２１に当接して上下方向に延びた縦長長方形の平板であり、この両端部が複数のボルトによって第１部材２１にボルト締めされている。第２部材２２は、第１部材２１にボルト締めされた状態で、アノード１０を覆うように中央部がＵ字状に前方に膨らんでおり、内面がアノード１０の第１部材２１から離れた半周面に接触している。第１給電部材２０は、第１部材２１と第２部材２２とを締結しているボルトを緩めることによって、アノード１０を取り外し、交換することができる。
　アノード１０は、図１及び図２に示すように、上端部を上部受部材８０によって支持され、下端部を下部受部材９０によって支持されている。上部受部材８０は、アノード１０を挿通する開口を有した平板状の第１固定部材１００上に固定されている。下部受部材９０は、後述する支持棒１５が挿通する開口を有した平板状の第２固定部材１０１上に固定されている。第２固定部材１０１は第１固定部材１００の下面から下方に垂下した４つの連結部材１０２によって第１固定部材１００の下方に連結されている。
　上部受部材８０は、外形状が直方体形状であり、図５に示すように、鉛直上方に開口した上部空間８１と、この上部空間８１の下端に連続して鉛直下方に開口した下部空間８２とを有している。上部受部材８０の上部空間８１及び下部空間８２の夫々の内周面は水平断面形状が同心円形状に形成されている。上部空間８１は後述するベース部材８５の下部が上方から挿入されている。また、一直線上に配置され、ベース部材８５より下方の上部空間８１内で先端が対向している第２給電部材３０が上部空間８１の中心に向かって進退自在に配置されている。上部空間８１は、図２及び図５に示すように、連続して水平方向に延びて上部受部材８０の側面に開口しためっき液の流出口８３を有している。めっき液の流出口８３はＬ字状の流出管６１が接続されている。
　上部受部材８０の下部空間８２は、図１、図２、及び図５に示すように、リング部材１３を外嵌したアノード１０の上端部が挿入されている。下部空間８２の内周面とリング部材１３の外周面との間に２個の耐食性を有するＯリングＲ１が介在している。これによって、上部受部材８０の下部空間８２とアノード１０との連結箇所からめっき液が漏洩することを防止している。
　下部受部材９０は、外形状が直方体形状であり、図６に示すように、鉛直上方に開口した上部空間９１と、この上部空間９１の下端に連続した下部空間９２とを有している。下部受部材９０の上部空間９１及び下部空間９２の夫々の内周面は水平断面形状が同心円形状に形成されている。上部空間９１はリング部材１３を外嵌したアノード１０の下端部が挿入されている。上部空間９１の内周面とリング部材１３の外周面との間に２個の耐食性を有するＯリングＲ２が介在している。これによって、下部受部材９０の上部空間９１とアノード１０との連結箇所からめっき液が漏洩することを防止している。
　下部受部材９０の下部空間９２は、図１、図２、及び図６に示すように、連続して水平方向に延びて下部受部材９０の側面に開口しためっき液の流入口９３を有している。めっき液の流入口９３は流入管６２が接続されている。また、下部空間９２は、連続して鉛直下方に延びて下部受部材９０の下端面に開口した挿通口９４を有している。挿通口９４、下部受部材９０の下部空間９２及び上部空間９１の夫々の内周面は水平断面形状が同心円形状に形成されている。この挿通口９４は円柱形状の支持棒１５が昇降自在に挿通している。
　支持棒１５は上端に上方に開口した凹部１６を有している。この凹部１６は円柱形状の被めっき物１の下端部が挿入される。また、支持棒１５は下端部が図示しないエアシリンダのピストンロッドに連結している。このため、このエアシリンダを駆動することによって、アノード１０の中心軸上を支持棒１５が昇降することができる。挿通口９４の内周面と支持棒１５との間に２個の耐食性を有するＯリングＲ３及び１個のダストシールＳ１が介在している。これによって、挿通口９４と支持棒１５との間からめっき液が漏洩することを防止しつつ、外部からほこりが入り込むことを防止している。
　図１及び図８に示すように、上部受部材８０の反対側の２側面から上部空間８１に向けて一直線上に貫通した２個の貫通孔８４の夫々に第２給電部材３０が挿入されている。これら第２給電部材３０は、前述したように、一直線上に配置され、ベース部材８５より下方の上部空間８１内で先端が対向している。また、各第２給電部材３０は、図７に示すように、上部受部材８０の側面より外側で後端が把持部材１３０を介してエアシリンダ１１０のピストンロッド１１１に連結している。各エアシリンダ１１０は第１固定部材１００の両端部から立ち上がった固定壁１０３に固定されている。このため、エアシリンダ１１０を駆動することによって、各第２給電部材３０は上部空間８１の中心に向かって進退自在である。つまり、各第２給電部材３０は、上部空間８１の中心に配置された被めっき物１に向かって、前進位置と後退位置との間を進退自在である。各第２給電部材３０は前進位置で先端部が円柱形状の被めっき物１の外周面に接触し、後退位置で先端部が被めっき物１の外周面から離れる。また、第２給電部材３０の後端部を把持する把持部材１３０に略Ｕ字状に曲がった銅製の給電板７１の一端部が連結している。各給電板７１の他端部は銅製の連結板７２で連結されている。各給電板７１は各第２給電部材３０の進退に追随するように変形することができる。また、各給電板７１は電源７５に接続されている。
　各第２給電部材３０は進退方向を軸方向にした円柱形状である。また、図８に示すように、各第２給電部材３０の外周面と各貫通孔８４の内周面との間に２個の耐食性を有するＯリングＲ４が介在している。これによって、各第２給電部材３０と上部受部材８０の上部空間８１との間からめっき液が漏洩することなく、各第２給電部材３０はスムーズに進退することができる。
　また、各第２給電部材３０は、図７～図９に示すように、上方から見た平面視において、両側より中心が後方に位置したＶ字状に先端が切欠かれている。これら第２給電部材３０は、図９に示すように、円柱形状である銅製の中心部材３１と、中心部材３１の周囲を被覆するチタン製の被覆部材３２で構成されている。中心部材３１の直径は被覆部材３２の外径の９０％～５０％の間である。ベース部材８５より下方の上部空間８１内には、めっき液が充満するため、第２給電部材３０はめっき液が接液する部位をチタン製の被覆部材３２で被覆している。このため、この第２給電部材３０はめっき液に対する耐食性が向上している。よって、この第２給電部材３０の交換頻度を少なくすることができる。また、この第２給電部材３０は、チタンに比べて電気伝導率が高い銅製の中心部材３１を備えているため、チタンのみで形成した給電部材に比べ、給電時の発熱量を抑制することができ、めっき液の温度上昇を少なくすることができる。
　したがって、実施例の第２給電部材３０及びそれを備えた高速めっき装置は、長期間、良好にめっきを行うことができる。
　この第２給電部材３０は、次に説明するように製造される。先ず、図９に示すように、中心部材３１が挿入することができる円柱形状の挿入空間を被覆部材３２に形成しつつ、その内周面にねじ山を切る。同じねじ径で中心部材３１を雄ねじに加工する。そして、中心部材３１を被覆部材３２の挿入空間にねじ込み、被覆部材３２の挿入口でろう付けして第２給電部材３０を製造する。第２給電部材３０の中心部材３１は、後端部が被覆部材３２から露出している。この露出した中心部材３１は把持部材１３０を介して電源７５からの通電部として利用される。
　保持装置４０は、図２、図５、及び図１０に示すように、上部受部材８０の上部空間８１に上方から下部が挿入されたベース部材８５を有している。ベース部材８５は、下部の外形状が円柱形状であり、上部の外形状が直方体形状である。上部受部材８０も外形状が直方体形状であり、上部受部材８０とベース部材８５とは、上方から見た平面視において、外周縁を形成する各４辺が平行になるように組み合わされている。上部受部材８０の上面とベース部材８５の下部の上端から水平方向に拡がった面との間に耐食性を有するＯリングＲ５が介在している。これによって、上部受部材８０とベース部材８５との間からめっき液が漏洩することを防止している。
　ベース部材８５は、鉛直上方に開口し、下部中央に下方に開口した連通口８７を有した収納部８６を有している。収納部８６及び連通口８７の内周面は水平断面形状が同心円形状に形成されている。連通口８７は、収納部８６の内周面よりも径が小さく、円柱形状の被めっき物１よりも径が僅かに大きく形成されており、被めっき物１が挿通することができる。
　収納部８６は一対の保持部材４１を収納している。ベース部材８５の収納部８６と、ベース部材８５の上部開口を塞ぐシールカバー８８とによって保持室４５が形成されている。シールカバー８８は、円盤形状の上面部８８Ａと、上面部８８Ａの周縁から下方に延びた側面８８Ｂ部とを有している。上面部８８Ａはエアー挿入口８９が貫設されている。エアー挿入口８９にはエアーチューブ５２の一端部が接続されている。エアーチューブ５２の他端部はコンプレッサー５１に接続されている。このように、加圧装置５０はコンプレッサー５１とエアーチューブ５２とを有している。シールカバー８８は、図示しない移動装置によって、ベース部材８５の上部開口を塞ぐ位置に移動することができ、その位置で下方に押圧された状態になる。ベース部材８５の上面とシールカバー８８の側面部の下面と間に１個のＯリングＲ６が介在している。これによって、ベース部材８５とシールカバー８８との間から空気が漏れることを防止している。
　各保持部材４１は保持部本体４２と当接部４３とを有している。各保持部本体４２は、半円柱形状であり、平面部の軸部に沿った中央が半円柱形状に凹んだ凹部４４Ａを形成している。この凹部４４Ａは円柱形状の被めっき物１の外径よりも大きく形成されている。各保持部本体４２は平面部４４Ｂが対向するように配置されている。
　当接部４３は、図１０に示すように、上方から見た平面視で長方形状であるスポンジシート４６で形成されている。このスポンジシート４６は耐薬品性を有した弾性体である。スポンジシート４６の長辺部の中央部に半円形状に切欠いた切欠き部が当接部４３である。当接部４３は、円柱形状の被めっき物１の外径よりも小さい径で形成されており、被めっき物１の外周面に当接する。つまり、当接部４３は当接する被めっき物１の側面形状よりも小さい相似形にスポンジシート４６を切欠いて形成されている。このため、当接部４３は被めっき物１の外周面に隙間なく当接することができる。
　各保持部本体４２は、図５に示すように、対向する面であって、高さ方向に離れた位置の２か所にスポンジシート４６を挟持する水平方向に延びた溝部４７Ａ、４７Ｂを形成している。上側の溝部４７Ａは薄手のスポンジシート４６を２枚重ねて挿入して挟持しており、下側の溝部４７Ｂは厚手のスポンジシート４６を１枚挿入して挟持している。
　ベース部材８５は、図１０に示すように、第２給電部材３０を挿入した上部受部材８０の側面に直交する２側面にエアシリンダ１２０を取り付けている。ベース部材８５は、この２側面から収納部８６内に貫通し、各エアシリンダ１２０のピストンロッド１２１が挿通する挿通孔８５Ａを有している。この挿通孔８５Ａの内周面とピストンロッド１２１の外周面との間に１個のＯリングＲ７が介在している。これによって、挿通孔とピストンロッドとの間から空気が漏れることを防止している。
　各エアシリンダ１２０のピストンロッド１２１は先端部がベース部材８５の保持室４５内で保持部本体４２に連結している。各保持部材４１は、保持部本体４２の平面部４４Ｂ及びスポンジシート４６の端面同士が離れ、保持部本体４２の円弧状の側面の一部分がベース部材８５の内周面に当接する後退位置と、スポンジシート４６の対向する端面同士が接触し、スポンジシート４６の当接部４３が被めっき物１の両側から同一外周面上に隙間なく当接して挟持した前進位置との間を進退自在である。
　図５に示すように、保持部本体４２の下面とベース部材８５の収納部８６の底面との間に耐食性を有するＯリングＲ８が介在している。これによって、保持部本体４２とベース部材８５との間からめっき液が漏洩することを防止している。
　循環装置６０は、図１及び図２に示すように、上部受部材８０の側面に開口しためっき液の流出口８３に接続したＬ字状の流出管６１と下部受部材９０の側面に開口しためっき液の流入口９３に接続した流入管６２とを有する循環路６３と、この循環路６３の途中に設けためっき液管理槽６４及びポンプ６５とを有している。循環装置６０は、ポンプ６５を駆動すると、めっき液管理槽６４内のめっき液を下部受部材９０のめっき液の流入口９３へ送り、その後、下部受部材９０、アノード１０、上部受部材８０、めっき液の流出口８３の順に通過して、めっき液管理槽６４に戻る循環路６３を巡回させることができる。
　電源装置７０は、図１に示すように、第１給電部材２０を介してアノード１０に正電圧を印加し、第２給電部材３０を介して被めっき物１の負電圧を印加するように電源７５が接続されている。
　このような構成を有する高速めっき装置のめっき工程を以下に説明する。
　先ず、高速めっき装置は、図１１及び図１２に示すように、各第２給電部材３０及び各保持部材４１が後退位置に位置し、支持棒１５が上昇した状態で、チャック５に上端部が把持された被めっき物１が下降してくることを待機する。そして、ベース部材８５の上部開口から被めっき物１を下降させ、図１３に示すように、被めっき物１の下端部を支持棒１５の上端で上方に開口した凹部１６に挿入する。
　さらに、被めっき物１の上端部を把持したチャック５を下降させることによって、支持棒１５の下端部に連結している図示しないエアシリンダのピストンロッドが下降し、被めっき物１がめっき位置に下降する。つまり、被めっき物１をアノード１０との間にめっき液が流動する空間を形成した状態に配置する。
　この状態で、第２給電部材３０の後端を把持部材１３０を介して連結しているエアシリンダ１１０のピストンロッド１１１が前進する。つまり、第２給電部材３０が被めっき物１に向かって前進位置に移動し、図１４及び図１５に示すように、第２給電部材３０の先端部が被めっき物１の上部の外周面に接触して、被めっき物１を保持する。この時点では、まだ、各保持部材４１は後退位置に位置している。そして、チャック５が被めっき物１の上端部を放して上昇する。
　次に、各保持部材４１の保持部本体４２に連結しているエアシリンダ１２０のピストンロッド１２１が前進する。つまり、各保持部本体４２は、図１６及び図１７に示すように、スポンジシート４６の当接部４３が被めっき物１の両側から同一外周面上に隙間なく当接して挟持した前進位置に移動する。また、各スポンジシート４６の他の部分も対向している端面同士が隙間なく当接し合い、保持部本体４２の対向する平面部同士が接触した状態になる。
　次に、図１、図２、及び図１８に示すように、シールカバー８８が移動装置によってベース部材８５の上部開口を塞ぐ位置に移動し、その位置で下方に押圧された状態になる。そして、コンプレッサー５１が駆動し、シールカバー８８のエアー挿入口８９に空気を送り込み、保持室４５内を加圧する。この際、後述するようにめっき液が循環し、被めっき物１とアノード１０との間をめっき液が流動している領域（この領域が液槽に相当する）の内圧以上に保持室４５内の内圧を維持するように、コンプレッサー５１を駆動して保持室４５内に空気を送り込む。
　この状態で、アノード１０の軸上に被めっき物１が配置されている。つまり、アノード１０の内周面と被めっき物１の外周面とが等間隔に離れており、その空間にめっき液が流動することになる。
　次に、循環装置６０のポンプ６５を駆動して、めっき液管理槽６４内のめっき液を下部受部材９０のめっき液の流入口９３へ送り、その後、下部受部材９０、アノード１０、上部受部材８０、めっき液の流出口８３の順に通過して、めっき液管理槽６４に戻る循環路６３を巡回させる。この際、アノード１０内で被めっき物１との間にめっき液が流動する。
　そして、電源装置７０から第１給電部材２０及び第２給電部材３０に通電し、アノード１０に正電圧を印加し、被めっき物１に負電圧を印加して、高速めっきを実行する。
　このように、この高速めっき装置は、高速めっきを実行するに際し、円柱形状の被めっき物１の同一外周面上に隙間なく保持装置４０の当接部４３が当接し、この当接部４３は耐薬品性を有する弾性体であるスポンジシート４６で構成されている。さらに、コンプレッサー５１が空気を送り込んで保持室４５内を加圧するようにしている。このため、スポンジシート４６で構成された当接部４３は、空気圧で押圧され、被めっき物１の外周面に密接させることができる。また、保持室４５内が加圧されることによって、当接部４３と被めっき物１との境界部や、当接部４３同士の境界部から保持室４５側に漏洩しようとするめっき液が空気圧で押し返される。このため、この保持装置４０はベース部材８５の下方からベース部材８５の収納部８６内にめっき液が漏洩することを確実に防止することができる。また、この保持装置４０は当接部４３を弾性体であるスポンジシート４６で構成しているため、被めっき物１の外周面形状が変化しても被めっき物１の外周面に当接部４３を密接させることができる。このため、この保持装置４０は複数種類の被めっき物１に対応することができる。また、この保持装置４０は当接部４３を構成するスポンジシート４６が耐薬品性を有しているため、めっき液による当接部４３の劣化を防止し、めっき液の漏洩を長期間防止することができる。
　したがって、実施例の保持装置４０及びそれを備えた高速めっき装置は、複数種類の被めっき物１を保持することができ、めっき液の漏洩を確実に防止することができる。
　高速めっきを終了すると、この高速めっき装置は、電源装置７０から第１給電部材２０及び第２給電部材３０への通電を停止する。また、循環装置６０のポンプ６５も停止して、めっき液をアノード１０内から排出してめっき液管理槽６４内に貯留する。そして、シールカバー８８が移動装置によって、ベース部材８５の上部開口を塞ぐ位置から退避位置に移動する。すると、各保持部材４１が後退位置に移動し、被めっき物１の上端部をチャック５が把持して、第２給電部材３０が後退位置に移動する。そして、チャック５が被めっき物１を引上げつつ、支持棒１５が被めっき物１を押し上げて、被めっき物１をベース部材８５の上部開口から引き出して、めっき工程を終了する。
　本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）実施例では、アノードを円筒形状に形成したが、他の形状の被めっき物をめっきする場合はその形状に合わせた形状に形成するとよい。
（２）実施例では、第２給電部材の中心部材と被覆部材をねじ結合したが、被覆部材の挿入空間の内周面と、中心部材の外周面とをテーパー形状にして、被覆部材の挿入空間に中心部材を圧入してもよい。
（３）実施例では、第２給電部材の被覆部材がめっき液が接液する部位よりも広い範囲で中心部材を被覆していたが、被覆部材は少なくともめっき液が接液する部位を被覆するようにすればよい。
（４）実施例では、スポンジシートの長辺部の中央部を半円形状に切欠いて当接部にしたが、切欠き形状は被めっき物の形状に合わせればよい。また、切欠きが無くてもよい。
（５）実施例では、被めっき物を２つの保持部材によって２方向から挟持するようにしたが、３つ以上の保持部材によって被めっき物の同一外周面上を隙間なく当接部が当接するようにしてもよい。
（６）実施例では、保持部本体にスポンジシートを挟持する水部を高さ方向に離れた位置に２か所設けたが、１か所のみでもよいし、３か所以上設けてもよい。
（７）実施例では、スポンジシートを１枚又は２枚重ねて保持部本体の溝部に挿入して挟持させたが、３枚以上重ねて保持部本体の溝部に挿入して挟持させてもよい。
　１…被めっき物
　１０…アノード
　３０…第２給電部材（給電部材）
　３１…中心部材
　３２…被覆部材
　６０…循環装置
　７０…電源装置

Claims (3)

  1. 　アノードとの間にめっき液が流動する空間を形成した状態に配置された被めっき物に接触して負電圧を印加する給電部材であって、
    　銅製の中心部材と、この中心部材の周囲であって、少なくとも前記めっき液が接液する部位を被覆したチタン製の被覆部材とを備えていることを特徴とする給電部材。
  2. 　アノードとの間にめっき液が流動する空間を形成した状態に配置された被めっき物に向かって進退自在であり、この進退方向を軸方向にした円柱形状であることを特徴とする請求項１記載の給電部材。
  3. 　請求項１又は２記載の給電部材と、
    　アノードと、
    　このアノードと被めっき物との間を流動するようにめっき液を循環させる循環装置と、
    　前記アノード、及び前記給電部材を介して前記被めっき物に通電する電源装置とを備えていることを特徴とする高速めっき装置。
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