WO2013183248A1 - クリーニング装置 - Google Patents

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松本　英樹
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Bando Chemical Industries Ltd
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    • Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
    • Y10S134/902—Semiconductor wafer

Definitions

  • the present invention relates to a cleaning device for removing dust present in the cleaning surface using electrostatic force, and more particularly, the cleaning member, for example a glass substrate, a printed circuit board (PCB, etc. PCBA), the film,
  • the present invention relates to a cleaning device suitable for a sheet, a plastic plate or the like having a relatively high surface smoothness.
  • FIG. 8 is a side view schematically showing the layout of the main parts constituting the conventional cleaning device 100.
  • the cleaning device 100 includes a cleaning roller 111, a transfer roller 112, a charging control roller 113, a brush roller 114, a metal roller 115, and a cleaning blade 116.
  • the cleaning roller 111 can charge the surface for adsorbing dust adhering to the surface S1 of the object to be cleaned S using electrostatic force.
  • a transfer roller 112 that rotates while contacting the surface of the cleaning roller 111 and a charge control roller 113 that rotates while contacting the surface of the transfer roller 112 are provided on the opposite side of the cleaning roller 111 from the object to be cleaned S. It has been.
  • the transfer roller 112 is formed using a material capable of charging the surface with a charge for adsorbing dust adhering to the surface of the cleaning roller 111 using electrostatic force.
  • the transfer roller 112 rotates while contacting the surface of the cleaning roller 111, thereby generating a potential difference between the cleaning roller 111 and the transfer roller 112 according to the difference in surface characteristics between the cleaning roller 111 and the transfer roller 112.
  • An external power supply 120 is connected to the core metal 113a of the charge control roller 113, and the charge for adsorbing dust adhering to the surface S1 of the object to be cleaned S by electrostatic force is used as the cleaning roller 111 and the transfer roller. 112 can be given.
  • the brush roller 114 rotates in a direction opposite to the rotation direction of the transfer roller 112 to scrape dust adhering to the surface of the transfer roller 112, and can rotate in contact with the transfer roller 112. Is provided.
  • the metal roller 115 is installed in contact with the brush roller 114 and rotates in the direction of rotation of the brush roller 114.
  • An external power supply 121 is connected to the metal roller 115 so that a voltage is applied so as to generate a potential difference with the transfer roller 112.
  • a cleaning blade 116 for scraping dust is provided in the vicinity of the metal roller 115.
  • the dust adhering to the surface of the cleaning roller 111 is transferred to the transfer roller 112, so that the transfer efficiency of the dust from the cleaning roller 111 to the transfer roller 112 is not lowered.
  • Appropriate materials and surface characteristics must be selected and set. If these conditions are not appropriate, the transfer efficiency of dust from the cleaning roller 111 to the transfer roller 112 may be reduced, and the cleanliness of the cleaning roller 111 may be reduced.
  • the cleaning device 100 is costly due to the provision of the transfer roller 112, and also requires an arrangement space. Therefore, it is desired to further improve the cost of the device and make the structure compact. It was.
  • the cleaning device 100 is configured assuming that the cleaning target S is transported in one direction.
  • the cleaning apparatus 100 may be transported not only in one direction but also in both directions. It has been desired to realize a cleaning device that can be used appropriately.
  • JP 2010-99565 A Japanese Patent No. 4886097
  • the present invention has been made in view of the above problems, and can improve the removal efficiency of dust adhering to the surface of the cleaning roller, increase the cleanliness of the cleaning roller, reduce the cost of the apparatus, and make the structure compact.
  • a cleaning device (1) is a cleaning device that removes dust existing on the surface of the object to be cleaned using electrostatic force, and is a cleaning device that contacts the surface of the object to be cleaned.
  • a roller and a brush body that contacts the cleaning roller and removes dust on the surface of the cleaning roller are provided.
  • the cleaning device (1) since the brush body is brought into contact with the cleaning roller, dust existing on the surface of the cleaning roller can be removed by the brush body, and a conventional transfer roller is provided.
  • the dust removal efficiency can be increased as compared with the apparatus provided, and the cleanliness of the surface of the cleaning roller can be increased.
  • the surface to be cleaned means a surface that forms a boundary between the object to be cleaned and the external space, and includes not only one (upper) surface but also the other (lower) surface. .
  • the cleaning device (2) further comprises a metal roller that contacts the brush body and receives dust from the brush body, and dust attached to the metal roller in the cleaning device (1). And a charge applying mechanism for applying charge to the cleaning roller, the brush body, and the metal roller.
  • the cleaning device (2) dust adhering to the surface of the cleaning roller by electrostatic force is scraped off by the brush body, and dust scraped off by the brush body is adsorbed on the metal roller by electrostatic force.
  • the dust adsorbed on the metal roller is scraped off from the metal roller by the blade body. Therefore, the dust suction and removal operation by the cleaning roller can be stably maintained, and the cost of the apparatus can be reduced and the structure can be made compact by adopting a structure in which the conventionally used transfer roller is omitted. Can do.
  • the cleaning device (3) according to the present invention is characterized in that a plurality of the brush bodies are provided in the cleaning device (1) or (2).
  • the brush bodies can be brought into sliding contact with the cleaning roller at a plurality of locations and adhered to the surface of the cleaning roller.
  • the dust removal efficiency can be increased, and the cleanliness of the cleaning roller can be increased.
  • the form in which a plurality of brush bodies are provided is not only a form in which a plurality of brush bodies having substantially the same length as the cleaning roller are provided, but is shorter than the cleaning roller (for example, A configuration in which a plurality of the brush bodies having a length (about half) are disposed at positions shifted in the axial direction of the cleaning roller is also included.
  • the cleaning device (4) according to the present invention is characterized in that, in the cleaning device (3), the plurality of brush bodies rotate in opposite directions.
  • the cleaning device (4) since the plurality of brush bodies are configured to rotate in opposite directions, for example, when two brush bodies are used, the rotational speed of each brush body is adjusted. By providing the difference, the cleaning roller can be rotated in the rotation direction of the brush body having the higher rotation speed. Therefore, the cleaning roller can be rotated not only in one direction but also in the reverse direction by setting the rotation speed of each brush body, and the transport direction of the cleaning target is not selected, that is, in any transport direction. It is possible to provide a highly convenient device that can be used.
  • the cleaning device (5) according to the present invention is characterized in that, in the cleaning device (3), the plurality of brush bodies are configured to rotate in the same direction.
  • the cleaning device (5) when the conveying direction of the object to be cleaned is only one direction, the cleaning roller only needs to be rotated in one direction, so that the plurality of brush bodies are rotated in the same direction.
  • the cleaning device (6) according to the present invention is characterized in that in any one of the cleaning devices (1) to (5), the rotational speed of the brush body can be arbitrarily set.
  • the rotational speed of the brush body can be arbitrarily set, the rotational speed of the cleaning roller, depending on the setting of the rotational speed of the brush body and the rotational direction thereof, and It is possible to adjust the rotation direction.
  • the cleaning roller can be easily rotated in the rotation direction of each brush body.
  • each brush body is configured to rotate in opposite directions, for example, if the rotation speeds of the two brush bodies are set to the same speed, it is possible to control the rotation of the cleaning roller.
  • By setting the rotation speed of each brush body to a different speed it is possible to control the cleaning roller to rotate in a desired direction.
  • the rotational speed of each brush body can be set to several stages (for example, low speed, medium speed, and high speed), and when the rotational speed of each brush body is set to medium speed, the rotation of the cleaning roller is stopped.
  • the rotation speed of one brush body is set to a low speed and the rotation speed of the other brush body is set to a high speed
  • the cleaning roller is rotated in the rotational direction of the other brush body. Be controlled.
  • the rotation speed of one brush body is set to a high speed and the rotation speed of the other brush body is set to a low speed
  • the cleaning roller is controlled to rotate in the direction of rotation of the one brush body. In this way, the transport direction of the object to be cleaned can be switched as appropriate, and it can be adapted to a transport system that requires bidirectional transport, and a highly convenient apparatus can be obtained.
  • the cleaning device (7) according to the present invention is characterized in that the cleaning device (1) or (2) is equipped with a single brush body.
  • the brush body rotates in the direction opposite to the cleaning roller, and the brush body efficiently scrapes dust from the surface of the cleaning roller.
  • the cost can be reduced by simplifying the configuration of the apparatus.
  • the cleaning device (8) according to the present invention is characterized in that, in the cleaning device (7), the rotational speed of the brush body can be arbitrarily set.
  • the rotation speed can be set to an optimum value in accordance with the state of dust existing on the surface of the object to be cleaned.
  • the cleaning device (9) uses any two of the cleaning devices (1) to (8), and a cleaning roller that contacts the surface of the object to be cleaned and removes dust is provided on the cleaning device (9). It is characterized in that it is disposed on both the upper and lower surfaces of the upper surface side to be cleaned and the lower surface side of the object to be cleaned.
  • the cleaning device (9) dust existing on both the upper and lower surfaces of the object to be cleaned can be simultaneously removed by a single operation, and a cleaning device with extremely high work efficiency can be provided.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the cleaning apparatus which concerns on another embodiment. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the cleaning apparatus which concerns on another embodiment. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the cleaning apparatus which concerns on another embodiment. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the cleaning apparatus which concerns on another embodiment. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the cleaning apparatus which concerns on another embodiment. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the conventional cleaning apparatus.
  • FIG. 1 is a side view schematically showing a layout of a main part constituting the cleaning device according to the embodiment.
  • the cleaning device 1 is moved relative to the cleaning object S while rotating the surface of the cleaning object 2 in contact with the surface (in this case, the lower surface) S1 of the cleaning object S, so that the surface S1 of the cleaning object S is moved.
  • the dust adhering to the top (for example, minute dust such as a conductor or a dielectric) is removed using the electrostatic force applied to the cleaning roller 2.
  • the cleaning device 1 includes a cleaning roller 2 that contacts the surface S1 of the object to be cleaned S, two brush rollers 3A and 3B that contact the cleaning roller 2 and remove dust on the surface of the cleaning roller 2, and these brush rollers.
  • a metal roller 4 that receives the dust from each brush roller 3A, 3B in contact with 3A, 3B and a blade 5 that removes the dust attached to the metal roller 4 are configured.
  • the cleaning roller 2, the brush rollers 3A, 3B, and the metal roller 4 are rotatably supported by an insulating member (not shown), and the cleaning device 1 includes the cleaning roller 2, the brush rollers 3A, 3B.
  • a charge applying mechanism which will be described later, is provided for applying a charge to the metal roller 4.
  • the cleaning roller 2 can charge the surface by using electrostatic force to adsorb dust adhering to the surface S1 of the object to be cleaned S by using electrostatic force. Dust is adsorbed by electrostatic force.
  • a pair of left and right brush rollers 3A and 3B that rotate in opposite directions while contacting the surface of the cleaning roller 2 and remove dust on the surface of the cleaning roller 2 are provided obliquely below the cleaning roller 2.
  • the brush rollers 3A and 3B are configured so that the rotation speed can be individually set.
  • the brush rollers 3A and 3B are configured so that a potential difference is generated between the brush rollers 3A and 3B and the cleaning roller 2 during cleaning. A potential having the same sign as the charge to be charged on the surface is applied.
  • the brush rollers 3A and 3B have a brush portion (hair portion) 3b made of synthetic resin on the core metal 3a.
  • the shape outside the cross section of the brush portion 3b is not particularly limited, and examples thereof include a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, a wave curve shape, or a shape formed by combining a curve and a straight line. Can be employed.
  • the rotation directions of the brush rollers 3A and 3B are fixed in directions that rotate in opposite directions.
  • the rotation direction is switched, the contact direction of the brush portion 3b that is in sliding contact with the cleaning roller 2 or the like is changed, and dust is scattered due to bounce of the hair tip at that time, and the sliding contact state with the cleaning roller 2 This is because the dust removal efficiency may be reduced due to the change of.
  • a metal roller 4 that rotates while contacting the brush roller 3A in a rotating direction while rotating while contacting the brush roller 3B in a direction opposite to the rotating direction.
  • the metal roller 4 is also configured to be applied with a potential having the same sign as the charge to be charged on the surface of the cleaning roller 2 at the time of cleaning so that a predetermined potential difference is generated between the metal roller 4 and the cleaning roller 2.
  • the metal roller 4 removes dust from the brush rollers 3A and 3B.
  • a blade 5 that scrapes off dust adhering to the surface of the metal roller 4 at the tip scraping portion is disposed.
  • the blade 5 scrapes off dust adhering to the surface of the metal roller 4. And is collected by a dust collecting unit (not shown).
  • the blade 5 is formed of, for example, an elastic body made of synthetic resin (for example, thermosetting urethane resin) or the like, and is held by a holder (not shown).
  • the rotational speed of each of the brush rollers 3A and 3B can be set (shifted) to an arbitrary rotational speed. Therefore, depending on the setting state of the rotational speed of the brush rollers 3A and 3B, The cleaning roller 2 can be rotated not only in one direction but also in the opposite direction.
  • the cleaning roller 2 can be rotated in the rotation direction (arrow ⁇ ′ direction) of the brush roller 3A having the higher rotation speed.
  • cleaning can be performed while the object to be cleaned S is conveyed in the direction of the arrow ⁇ .
  • the cleaning roller 2 can be rotated in the rotational direction (arrow ⁇ ′ direction) of the brush roller 3B having the higher rotation speed.
  • cleaning can be performed while the object to be cleaned S is conveyed in the direction of arrow ⁇ .
  • the brush rollers 3A and 3B can be set (shifted) in three stages (low speed, medium speed, and high speed) and rotated.
  • Combination of speeds that is, a combination in which the brush roller 3A is high speed and the brush roller 3B is low speed, a combination in which the brush roller 3A is low speed and the brush roller 3B is high speed, or a combination in which both the brush rollers 3A and 3B are medium speed.
  • the cleaning roller 2 to dust attached to the cleaning member S which is a cleaning object is in contact, dust is removed from the surface S1 of the object to be cleaned body S, the surface of the cleaning roller 2 Adsorbed.
  • FIG. 2 is a perspective view of the cleaning device 1 according to the embodiment as viewed from the lower front side
  • FIG. 3 is a perspective view of the cleaning device 1 as viewed from the lower rear side
  • 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.
  • the cleaning device 1 is unitized as a unitary structure by a frame unit 10.
  • the frame unit 10 connects the left and right side plate portions 11 and 12 having a rectangular shape that rotatably supports the cleaning roller 2, the brush rollers 3 ⁇ / b> A and 3 ⁇ / b> B, and the metal roller 4, and the four corners of these side plate portions 11 and 12.
  • the upper angle members 13 and 14 and the lower angle members 15 and 16 are included.
  • the side plate portions 11 and 12 are made of an insulating material (for example, a resin such as polyacetal), and the side plate portions 11 and 12 are each rotated by the cleaning roller 2, the brush rollers 3 ⁇ / b> A and 3 ⁇ / b> B, and the metal roller 4. Attachment holes for attaching the shaft are respectively formed at predetermined positions.
  • an insulating material for example, a resin such as polyacetal
  • Bearings 17a into which the rotation shafts of the cleaning roller 2, the brush rollers 3A and 3B, and the metal roller 4 are inserted are respectively incorporated in these mounting holes, and an electrode portion 17b is electrically connected to the outer ring portion of each of the bearings 17a. Built in contact with. Further, an insulating ring-shaped lid member 17c for fixing the bearing 17a so as not to be detached from the mounting hole is attached to the outer surface of each of the mounting holes.
  • a charge applying mechanism is configured including the bearing 17a and the electrode portion 17b incorporated in each of the through holes.
  • Pulleys 18 and 19 made of an insulator are attached to end portions of the rotation shafts of the brush rollers 3A and 3B inserted into the side plate portion 11, respectively.
  • a pulley 20 made of an insulator is attached to the end of the rotating shaft of the metal roller 4 inserted into the side plate 12.
  • one end side bottom surface of the lower angle members 15 and 16 one side of the mounting plate 21 having a substantially L-shape is fixed to the other side of the mounting plate 21, through the auxiliary plate 22, the brush driving motor 23A, 23B is attached.
  • insertion holes 21 a through which the rotation shafts of the brush drive motors 23 ⁇ / b> A and 23 ⁇ / b> B are inserted are formed in the shape of a long hole in two places on the left and right sides.
  • the attachment hole 21b is formed in the shape of a long hole on both sides of the insertion hole 21a.
  • Pulleys 24 and 25 made of an insulator are mounted on the tip ends of the rotation shafts of the brush drive motors 23A and 23B inserted through the insertion holes 21a of the mounting plate 21, respectively.
  • the pulley 18 of the brush roller 3A and the pulley 24 of the brush drive motor 23A are wound around the transmission belt 26.
  • the pulley 19 of the brush roller 3B and the pulley 25 of the brush drive motor 23B are wound around the transmission belt 27. Yes.
  • one side of the mounting plate 28 having a substantially L shape is fixed to the bottom surfaces of the other angle members 15 and 16, and a metal roller driving motor 30 is mounted on the other side of the mounting plate 28.
  • the auxiliary plate 29 is attached with a fixing member (bolt) 42.
  • a fixing member (bolt) 42 On the other side of the mounting plate 28, several mounting holes 28 a for fixing the auxiliary plate 29 with fixing members (bolts) 42 are formed on the left and right, and the fixing member 42 is inserted above the auxiliary plate 29. Insertion holes 29a for attachment are formed in a long hole shape at two places on the left and right.
  • An insertion hole 29b through which the rotation shaft 30a of the metal roller drive motor 30 passes is formed near the substantially central portion of the auxiliary plate 29, and is insulated from the tip of the rotation shaft 30a of the metal roller drive motor 30 inserted through the insertion hole 29b.
  • a pulley 31 formed of a body is attached.
  • the pulley 20 of the metal roller 4 and the pulley 31 of the metal roller drive motor 30 are wound around the transmission belt 32, and the rotation speed of the metal roller 4 is set to a predetermined speed by controlling the drive of the metal roller drive motor 30. It is possible to set.
  • the blade 5 is fixed to the blade mounting portion 33.
  • a dust collecting unit (not shown) for collecting the dust separated by the blade 5 is attached to the lower side of the blade 5.
  • the rotational speeds of the brush rollers 3A and 3B can be set and switched in three stages (predetermined values of low speed, medium speed, and high speed).
  • the method of setting (shifting) the rotation speed of the brush rollers 3A and 3B is not limited to this form.
  • the brush drive motor 23A is set so that the rotation speed of the brush roller 3A is high and the rotation speed of the brush roller 3B is low.
  • 23B drive switching control is preferably configured to be interlocked with an operation (conveying direction switching operation) of a conveying conveyor (not shown) that conveys the object S to be cleaned.
  • the cleaning roller 2 rotates in the follower direction (arrow ⁇ ′ direction) of the brush roller 3A. It becomes possible to perform cleaning while conveying the cleaning body S in the direction of the arrow ⁇ .
  • the brush roller 3A is simultaneously rotated so that the rotation speed of the brush roller 3A becomes a medium speed.
  • the drive switching control of the brush drive motors 23A and 23B is performed so that the rotation speed of 3B is also medium.
  • the rotation speed of the brush roller 3A and the rotation speed of the brush roller 3B become the same speed, so that the rotation of the cleaning roller 2 can be stopped and the conveyance of the cleaning target S is temporarily interrupted. It becomes possible.
  • the rotation speed of the brush roller 3B is high, while the rotation speed of the brush roller 3B is high.
  • the drive switching control is also preferably configured so as to be interlocked with an operation (conveying direction switching operation) of a conveying conveyor (not shown) that conveys the object S to be cleaned.
  • the rotation speed of the brush roller 3B becomes higher than the rotation speed of the brush roller 3A, so that the cleaning roller 2 rotates in the follower direction (arrow ⁇ ′ direction) of the brush roller 3B. It becomes possible to perform cleaning while transporting the cleaning body S in the direction of the arrow ⁇ .
  • the cleaning device 1 since the brush rollers 3A and 3B are in contact with the cleaning roller 2, dust existing on the surface of the cleaning roller 2 is removed by the plurality of brush rollers 3A and 3B. As a result, the dust removal efficiency can be increased and the cleanliness of the surface of the cleaning roller 2 can be increased as compared with the conventional apparatus (see FIG. 8) provided with the transfer roller.
  • the cleaning device 1 dust adsorbed by the electrostatic force on the surface of the cleaning roller 2 is scraped off by the brush rollers 3A and 3B, and the dust scraped off by the brush rollers 3A and 3B is removed by the electrostatic force. Since the dust adsorbed by the metal roller 4 and scraped by the metal roller 4 is scraped off from the metal roller 4 by the blade 5, the dust adsorbing operation by the cleaning roller 2 is stably maintained for a long time, and the transfer used in the past is used. By adopting a structure in which the roller is omitted, the cost of the apparatus can be reduced and the structure can be made compact.
  • the plurality of brush rollers 3A, 3B are configured to rotate in opposite directions, and the rotation speed of the brush rollers 3A, 3B can be arbitrarily set.
  • the cleaning roller 2 can be rotated not only in one direction but also in the reverse direction, and the object S to be cleaned is not only in one direction but also in the reverse direction. Can also be transported.
  • the rotation speeds of the brush rollers 3A and 3B the same, the rotation of the cleaning roller 2 can be stopped, and a highly convenient apparatus that can cope with any conveyance direction can be obtained.
  • the case where the two brush rollers 3A and 3B are used as the brush body that removes dust on the surface of the cleaning roller 2 has been described.
  • a configuration in which three or more brush rollers are used may be employed.
  • a multiple of two rollers (four, six, etc.) are arranged symmetrically with respect to the cleaning roller 2, and these brushes are divided into a plurality of brush roller groups on the right side and a plurality of brush roller groups on the left side.
  • the roller groups By configuring the roller groups to rotate in opposite directions, the same control as described above can be performed.
  • the two brush rollers 3A and 3B are disposed and are configured to rotate in opposite directions to each other, but the rotation direction of the cleaning roller 2 may be only one direction (that is, In the case where the conveyance direction of the cleaning target S is only one direction), the brush rollers 3A and 3B may be configured to rotate in the same direction.
  • the brush roller may be constituted by one.
  • the cleaning device 1A as shown in FIG. 5 The roller 3 rotates in the opposite direction to the cleaning roller 2 so that the brush roller 3 can efficiently scrape dust from the surface of the cleaning roller 2.
  • the configuration of the cleaning device 1A as shown in FIG. 5 the cost of the device can be further reduced by simplifying the configuration of the device.
  • a configuration in which three or more brush rollers are used may be employed.
  • the case where the brush rollers 3A and 3B having substantially the same length as the cleaning roller 2 are used has been described.
  • a plurality of brush rollers having a shorter length (for example, about half) than the cleaning roller 2 may be employed and disposed at positions shifted in the axial direction of the cleaning roller 2. According to this form, the cost of parts can be reduced by using a short brush roller, and the structure can be made compact.
  • the cleaning device 1 is disposed below the cleaning target S, and the lower surface of the cleaning target S is cleaned.
  • the cleaning device 1 is disposed below the cleaning target S, and the lower surface of the cleaning target S is cleaned.
  • the cleaning device 1A is disposed on the lower side of the object to be cleaned S
  • the cleaning device 1B is disposed on the upper side
  • the upper and lower surfaces of the object to be cleaned S are simultaneously cleaned. May be configured.
  • the cleaning rollers 2 are disposed on the upper and lower surfaces of the upper surface of the object to be cleaned S and the lower surface of the object to be cleaned S, so that dust present on both the upper and lower surfaces of the object to be cleaned S can be simultaneously removed with a single operation. Therefore, it is possible to provide the cleaning device 1C with extremely high work efficiency.
  • the cleaning roller 2 When the cleaning device is disposed on the upper side of the object to be cleaned S like the cleaning device 1B, the cleaning roller 2 is provided so that the upper surface can be appropriately pressed according to the shape of the surface of the object to be cleaned S. It is preferable to have a configuration that can swing up and down.
  • the frame unit 10 as a whole can swing up and down, or a rotation support mechanism (not shown) that allows the cleaning roller 2 to swing along an arc is separately provided in the frame unit 10.
  • a configuration in which the cleaning roller 2 is rotated (swinged) in the vertical direction around the rotation shaft of the support mechanism may be employed.
  • the mounting position of the blade 5 is not limited to the position shown in FIG. 4, and is arranged at a position suitable for scraping dust from the metal roller 4 in consideration of the structure of the frame unit 10 and the like. It is desirable to do.
  • a cleaning device that removes dust from a substrate that is often used for mounting a semiconductor device such as a glass substrate, a printed circuit board, a film, a sheet, or a plastic plate, and can be widely used in the field of semiconductor devices.

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Description

クリーニング装置
　本発明は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置に関し、より詳細には、被クリーニング体が、例えばガラス基板、プリント基板（ＰＣＢ、ＰＣＢＡなど）、フィルム、シート、プラスチック板などの比較的表面平滑性の高いものである場合に好適なクリーニング装置に関する。
　被クリーニング体の表面にクリーニングローラを接触させつつ回転させながら、被クリーニング体の表面に付着する塵埃などの異物を静電気力を利用して除去するクリーニングシステムが知られている（特許文献１参照）。
　そのようなクリーニングシステムでは、クリーニングローラの表面に塵埃が順次蓄積されていくので、その表面より塵埃を取り除くためのメンテナンス作業を定期的に行う必要があった。そこで、本件出願人は、メンテナンス作業を定期的に行うことなく、クリーニングローラによる塵埃の吸着除去動作を、長期に亘って安定して継続できるように、クリーニングローラに接触する転写ローラや帯電制御ローラなどを別途設けたクリーニング装置を先に出願した（特許文献２参照）。
　図８は、従来のクリーニング装置１００を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。クリーニング装置１００は、クリーニングローラ１１１、転写ローラ１１２、帯電制御ローラ１１３、ブラシローラ１１４、金属ローラ１１５、及びクリーニングブレード１１６を含んで構成されている。
　クリーニングローラ１１１は、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させるための電荷を表面に帯電し得るものである。クリーニングローラ１１１の被クリーニング体Ｓとの反対側には、クリーニングローラ１１１の表面に接触しながら回転する転写ローラ１１２と、この転写ローラ１１２の表面に接触しながら回転する帯電制御ローラ１１３とが設けられている。
　転写ローラ１１２は、クリーニングローラ１１１の表面に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させるための電荷を表面に帯電し得る材料を用いて形成されている。転写ローラ１１２は、クリーニングローラ１１１の表面に接触しながら回転することで、クリーニングローラ１１１と転写ローラ１１２との表面特性の違いに応じた電位差をクリーニングローラ１１１との間に生じる。
　帯電制御ローラ１１３の芯金１１３ａには外部電源１２０が接続されており、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力により吸着するための電荷を、クリーニングローラ１１１および転写ローラ１１２に対して付与できるようになっている。
　また、ブラシローラ１１４は、転写ローラ１１２の連れ回り方向と逆方向に回転して転写ローラ１１２の表面に付着している塵埃を掻き取るためのものであり、転写ローラ１１２に接触して回転可能に設けられている。
　金属ローラ１１５はブラシローラ１１４に接触して設置され、ブラシローラ１１４の連れ回り方向に回転するようになっている。金属ローラ１１５には外部電源１２１が接続され、転写ローラ１１２との間に電位差を生じるように、電圧が印加されるようになっている。また、金属ローラ１１５の近傍には、塵埃を掻き取るためのクリーニングブレード１１６が設けられている。
　上記したクリーニング装置１００では、クリーニングローラ１１１表面に付着している塵埃が静電気力により転写ローラ１１２に転写（移動）され、転写ローラ１１２に転写された塵埃がブラシローラ１１４によって掻き取られる。このブラシローラ１１４により掻き取られた塵埃が静電気力により金属ローラ１１５に吸着され、金属ローラ１１５に吸着した塵埃がクリーニングブレード１１６によって金属ローラ１１５から掻き取られるようになっている。
　しかしながら、クリーニング装置１００では、クリーニングローラ１１１表面に付着している塵埃を転写ローラ１１２に転写させているため、クリーニングローラ１１１から転写ローラ１１２への塵埃の転写効率が低下しないように、転写ローラ１１２の材質や表面特性等を適切に選択、設定しなければならない。これら条件が適切でない場合には、クリーニングローラ１１１から転写ローラ１１２への塵埃の転写効率が低下し、クリーニングローラ１１１の清浄度が低下してしまう虞があった。
　また、クリーニング装置１００では、転写ローラ１１２を設けている分、部品コストがかかると共に、配置スペースも要していたところ、より一層の装置のコスト削減と構造のコンパクト化のための改良が望まれていた。
　また、上記クリーニング装置１００は、被クリーニング体Ｓが一方向へ搬送される場合を想定して構成されているが、被クリーニング体Ｓが一方向だけでなく、双方向へ搬送される場合においても適切に使用できるクリーニング装置の実現が望まれていた。
特開２０１０－９９５６５号公報 特許第４８８６０９７号公報
課題を解決するための手段及びその効果
　本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、クリーニングローラ表面に付着している塵埃の除去効率を高め、クリーニングローラの清浄度を高めることができ、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができ、しかも、被クリーニング体が一方向だけでなく、双方向へ搬送される場合においても好適に使用することができる利便性の高いクリーニング装置を提供することを目的としている。
　上記目的を達成するために本発明に係るクリーニング装置（１）は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、前記被クリーニング体表面に接触させるクリーニングローラと、該クリーニングローラに接触して該クリーニングローラ表面の塵埃を除去するブラシ体とを備えていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（１）によれば、前記クリーニングローラに前記ブラシ体を接触させているので、前記クリーニングローラ表面に存在する塵埃を前記ブラシ体で除去することが可能となり、従来の転写ローラが設けられた装置よりも前記塵埃の除去効率を高めることができ、前記クリーニングローラ表面の清浄度を高めることができる。ここで、被クリーニング体表面とは、被クリーニング体と外部空間との境界をなす面を意味し、一方（上側）の面の場合だけでなく、他方（下側）の面の場合も含まれる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（２）は、上記クリーニング装置（１）において、さらに、前記ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（２）によれば、前記クリーニングローラ表面に静電気力で付着している塵埃が前記ブラシ体によって掻き取られ、該ブラシ体により掻き取られた塵埃が静電気力により前記金属ローラに吸着され、該金属ローラに吸着された塵埃が前記ブレード体によって前記金属ローラから掻き取られるようになっている。従って、前記クリーニングローラによる塵埃の吸着除去動作が安定的に維持されるとともに、従来使用されていた転写ローラが省略された構造とすることで、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（３）は、上記クリーニング装置（１）又は（２）において、前記ブラシ体が複数個装備されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（３）によれば、前記ブラシ体が複数個装備されているので、前記クリーニングローラに対してブラシ体を複数箇所で摺接させることができ、前記クリーニングローラ表面に付着している塵埃の除去効率を高めることができ、前記クリーニングローラの清浄度を高めることができる。
　ここで、前記ブラシ体が複数個装備されている形態とは、前記クリーニングローラと略同じ長さの前記ブラシ体が複数個装備されている形態だけでなく、前記クリーニングローラよりも短い（例えば、半分程度の）長さの複数の前記ブラシ体が、前記クリーニングローラの軸方向にずらされた位置に配設された形態なども含まれる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（４）は、上記クリーニング装置（３）において、複数個の前記ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（４）によれば、複数個の前記ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成されているので、例えば、２本のブラシ体を用いた場合、各ブラシ体の回転速度に差を設けることにより、前記クリーニングローラを、回転速度が大きい方のブラシ体の連れ回り方向に回転させることができる。従って、各ブラシ体の回転速度の設定によって、前記クリーニングローラを一方向だけでなく、逆方向にも回転させることが可能となり、被クリーニング体の搬送方向を選ばない、すなわち、何れの搬送方向でも対応可能な利便性の高い装置とすることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（５）は、上記クリーニング装置（３）において、複数個の前記ブラシ体が同じ方向に回転するように構成されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（５）によれば、被クリーニング体の搬送方向が一方向でよい場合には、クリーニングローラは一方向にだけ回転させればよいので、複数個の前記ブラシ体を同方向に回転させる構成とすることにより、装置の構成をより簡単なものとしてコストの削減を図ることができる
　また、本発明に係るクリーニング装置（６）は、上記クリーニング装置（１）～（５）のいずれかにおいて、前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（６）によれば、前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっているので、前記ブラシ体の回転速度の設定、及びその回転方向によって、前記クリーニングローラの回転速度、及び回転方向を調整することが可能となる。
　例えば、複数のブラシ体が互いに同一方向に回転するように構成した場合、各ブラシ体の連れ回り方向に前記クリーニングローラを容易に回転させることが可能となる。一方、各ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成した場合、例えば、２本のブラシ体、各々の回転速度を同じ速度に設定すれば、前記クリーニングローラの回転を停止させる制御が可能となり、各ブラシ体の回転速度を異なる速度に設定することで、前記クリーニングローラを所望の方向へ回転させる制御も可能となる。
　例えば、各ブラシ体の回転速度を数段階（例えば、低速、中速、高速）に設定できるようにし、各ブラシ体の回転速度が中速に設定されると、前記クリーニングローラの回転が停止されるように制御され、また、一方のブラシ体の回転速度が低速、他方のブラシ体の回転速度が高速に設定されると、前記クリーニングローラが他方のブラシ体の連れ回り方向に回転するように制御される。
　逆に、一方のブラシ体の回転速度が高速、他方のブラシ体の回転速度が低速に設定されると、前記クリーニングローラが一方のブラシ体の連れ回り方向に回転するように制御される。このように、被クリーニング体の搬送方向を、適宜切り換えることが可能となり、双方向の搬送が必要な搬送システムに対応させることができ、利便性の高い装置とすることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（７）は、上記クリーニング装置（１）又は（２）において、前記ブラシ体が単数個装備されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（７）によれば、前記ブラシ体が前記クリーニングローラと逆方向に回転するようにし、前記ブラシ体による前記クリーニングローラ表面からの塵埃の掻き取りが効率的に行える構成とすることにより、装置の構成をより簡単なものとしてコストの削減を図ることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（８）は、上記クリーニング装置（７）において、前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（８）によれば、前記被クリーニング体表面に存在する塵埃の状況に応じて前記回転速度を最適なものに設定することができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（９）は、上記クリーニング装置（１）～（８）のいずれか２つの装置を用い、前記被クリーニング体表面に接触して塵埃を除去するクリーニングローラが、前記被クリーニング体上面側及び前記被クリーニング体下面側の上下両面側に配置されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（９）によれば、前記被クリーニング体の上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、極めて作業効率の高いクリーニング装置を提供することができる。
本発明の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示す側面図である。 実施の形態に係る潔浄装置を正面下方から見た斜視図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を背面下方から見た斜視図である。 図３におけるIV－IV線要部断面図である。 別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 さらに別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 さらに別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 従来のクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
　以下、本発明に係るクリーニング装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
　クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの表面（この場合、下面）Ｓ１にクリーニングローラ２の表面を接触させつつ回転させながら、被クリーニング体Ｓに対して相対移動させ、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃（例えば、導体あるいは誘電体などの微小な塵埃）を、クリーニングローラ２に付与された静電気力を利用して取り除くものである。
　クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ２と、このクリーニングローラ２に接触してクリーニングローラ２表面の塵埃を除去する２本のブラシローラ３Ａ、３Ｂと、これらブラシローラ３Ａ、３Ｂに接触して各ブラシローラ３Ａ、３Ｂから塵埃を受取る金属ローラ４と、この金属ローラ４に付着した塵埃を除去するブレード５とを含んで構成されている。
　これらクリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、金属ローラ４は、絶縁性を有する部材（図示せず）に回転可能に支持され、また、クリーニング装置１には、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、金属ローラ４に電荷を付与するための、後述する電荷付与機構が設けられている。
　クリーニングローラ２は、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させる電荷を表面に帯電し得るものであり、クリーニングローラ２表面の帯電性を利用して塵埃を静電気力により吸着するものである。
　クリーニングローラ２の斜め下方には、クリーニングローラ２の表面に接触しながら相互に逆方向に回転し、クリーニングローラ２の表面の塵埃を除去する左右一対のブラシローラ３Ａ、３Ｂが設けられている。ブラシローラ３Ａ、３Ｂは、個別に回転速度を設定することが可能な構成となっており、ブラシローラ３Ａ、３Ｂは、クリーニングローラ２との間で電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。
　ブラシローラ３Ａ、３Ｂは、芯金３ａに、合成樹脂製のブラシ部（毛部）３ｂを有するものである。ブラシ部３ｂの断面外形状は、特に限定されるものではなく、例えば、円形状、楕円形状、多角形形状、波曲線形状、又は曲線と直線とが組み合わされて構成された形状のものなどが採用され得る。
　ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転方向は、互いに逆方向に回転する方向に固定されている。回転方向が切り換わる構成にすると、クリーニングローラ２などと摺接するブラシ部３ｂの接触方向が変わることとなり、その際の毛先の跳ね返り等により塵埃が飛び散り、また、クリーニングローラ２との摺接状態の変化により塵埃除去効率が低下する虞があるからである。
　ブラシローラ３Ａ、３Ｂの下方には、ブラシローラ３Ａに対し連れ回り方向に接触しながら回転する一方、ブラシローラ３Ｂに対し連れ回り方向と逆方向に接触しながら回転する金属ローラ４が配設されている。この金属ローラ４も、クリーニングローラ２との間で所定の電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。この金属ローラ４は、ブラシローラ３Ａ、３Ｂから塵埃を取り除くものである。
　金属ローラ４の近傍には、金属ローラ４の表面上に付着する塵埃を先端掻き取り部にて掻き取るブレード５が配設され、ブレード５によって金属ローラ４の表面上に付着する塵埃が掻き取られ、図示しない塵埃回収部に回収されるようになっている。ブレード５は、例えば、合成樹脂製（例えば、熱硬化性ウレタン樹脂）の弾性体などで形成され、保持具（図示せず）により保持されている。
　上記したクリーニング装置１では、ブラシローラ３Ａ、３Ｂそれぞれの回転速度を任意の回転速度に設定（変速）することが可能に構成されているため、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度の設定状態によって、クリーニングローラ２を一方向だけでなく、逆方向にも回転させることが可能となっている。
　例えば、ブラシローラ３Ａの回転速度をブラシローラ３Ｂの回転速度よりも高めた場合、クリーニングローラ２を、回転速度が大きい方のブラシローラ３Ａの連れ回り方向（矢印α´方向）に回転させることができ、被クリーニング体Ｓを矢印α方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となっている。
　一方、ブラシローラ３Ｂの回転速度をブラシローラ３Ａの回転速度よりも高めた場合、クリーニングローラ２を、回転速度が大きい方のブラシローラ３Ｂの連れ回り方向（矢印β´方向）に回転させることができ、被クリーニング体Ｓを矢印β方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となっている。
また、ブラシローラ３Ａとブラシローラ３Ｂとの回転速度を同じ速度に設定して、クリーニングローラ２の回転を停止させる制御も可能となっている。
　ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度の設定方法は、種々の方法が採用され得るが、例えば、それぞれ３段階（低速、中速、高速）に設定（変速）切換ができるように構成し、これら回転速度の組み合わせ、すなわち、ブラシローラ３Ａを高速、ブラシローラ３Ｂを低速とする組み合わせ、ブラシローラ３Ａを低速、ブラシローラ３Ｂを高速とする組み合わせ、又はブラシローラ３Ａ、３Ｂをともに中速とする組み合わせ等により、上記したクリーニングローラ２の回転方向の切換制御を容易に行える構成となっている。
　上記クリーニング装置１によれば、クリーニングの対象である被クリーニング体Ｓに付着している塵埃にクリーニングローラ２が接触すると、塵埃が被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１から除去され、クリーニングローラ２の表面に吸着される。
　このクリーニングローラ２が回転して、クリーニングローラ２の表面に吸着されている塵埃がブラシローラ３Ａ、３Ｂと接触すると、塵埃はブラシローラ３Ａ、３Ｂによってクリーニングローラ２の表面から掻き取られ、その後、金属ローラ４の表面に吸着される。この金属ローラ４の回転に伴い、金属ローラ４の表面に付着している塵埃はやがてブレード５によって掻き取られる。
　上記構成により、塵埃はクリーニングローラ２の表面上から効率良くブラシローラ３Ａ、３Ｂによって掻き取られ、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に戻されることがない。従って、長期間に亘って塵埃の吸着動作を継続して行うことが可能になっている。
　図２は、実施の形態に係るクリーニング装置１を正面下方から見た斜視図であり、図３は、背面下方から見た斜視図である。また、図４は、図３におけるIV－IV線要部断面図である。
　クリーニング装置１は、フレームユニット１０により一体構造としてユニット化されている。フレームユニット１０は、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４を回転可能に支持する矩形形状をした左右の側板部１１、１２と、これら側板部１１、１２の四隅を互いに連結する上側アングル部材１３、１４と下側アングル部材１５、１６とを含んで構成されている。
　側板部１１、１２は、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂）の材質で構成され、側板部１１、１２には、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４の各回転軸を取り付けるための取付孔が所定の位置にそれぞれ形成されている。
　これら各取付孔には、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４の回転軸が挿着される軸受１７ａがそれぞれ組み込まれ、これら各軸受１７ａの外輪部に電極部１７ｂが電気的に接触するように組み込まれている。また、これら各取付孔の外側面には、軸受１７ａが取付孔から外れないように固定するための絶縁性の輪状の蓋部材１７ｃが取り付けられている。
　電極部１７ｂから軸受１７ａを介して、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４に対し、それぞれ所定の電荷を与えることが可能になっている。これら各貫通孔に組み込まれた軸受１７ａ及び電極部１７ｂを含んで電荷付与機構が構成されている。
　側板部１１に挿着されたブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転軸の端部には、それぞれ絶縁体で形成されたプーリー１８、１９が装着されている。また、側板部１２に挿着された金属ローラ４の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたプーリー２０が装着されている。
　下側アングル部材１５、１６の一端側底面には、略Ｌ字形状をした取付板２１の一辺側が固定され、取付板２１の他辺側に、補助板２２を介して、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂが取り付けられている。取付板２１の他辺側には、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの回転軸を挿通させる挿通孔２１ａが、左右２箇所に長孔形状で形成され、また、補助板２２を固定する固定部材（ボルト）４１を取り付けるため取付孔２１ｂが、挿通孔２１ａの両側にそれぞれ長孔形状で形成されている。取付板２１の挿通孔２１ａに挿通されたブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの回転軸の先端部にそれぞれ絶縁体で形成されたプーリー２４、２５が装着されている。
　ブラシローラ３Ａのプーリー１８とブラシ駆動モータ２３Ａのプーリー２４とが伝動ベルト２６で巻回され、同様にブラシローラ３Ｂのプーリー１９とブラシ駆動モータ２３Ｂのプーリー２５とが伝動ベルト２７で巻回されている。ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの個々を駆動制御することによりブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度をそれぞれ所定の速度に設定（変速）することが可能となっている。
　また、下側アングル部材１５、１６の他端側底面には、略Ｌ字形状をした取付板２８の一辺側が固定され、取付板２８の他辺側に、金属ローラ駆動モータ３０が取り付けられた補助板２９が固定部材（ボルト）４２で取り付けられている。取付板２８の他辺側には、補助板２９を固定部材（ボルト）４２で固定するための取付孔２８ａが左右に数か所形成され、補助板２９の上部には、固定部材４２を挿着するための挿着孔２９ａが、左右２箇所に長孔形状で形成されている。
　補助板２９の略中央部付近には、金属ローラ駆動モータ３０の回転軸３０ａを通す挿通孔２９ｂが形成され、挿通孔２９ｂに挿通された金属ローラ駆動モータ３０の回転軸３０ａの先端部に絶縁体で形成されたプーリー３１が装着されている。そして、金属ローラ４のプーリー２０と金属ローラ駆動モータ３０のプーリー３１とが、伝動ベルト３２で巻回され、金属ローラ駆動モータ３０を駆動制御することにより金属ローラ４の回転速度を所定の速度に設定することが可能となっている。
　図４に示すように、ブレード５は、ブレード取付部３３に固定されている。このブレード５により剥離された塵埃を収集する塵埃回収部（図示せず）が、ブレード５の下側に取り付けられている。
　次に、図４に基づいて実施の形態に係るクリーニング装置１のクリーニング動作を説明する。本実施の形態では、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度が、それぞれ３段階（低速、中速、高速の所定値）に設定切換ができるように構成されているものとして説明する。ただし、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度の設定（変速）方法は、この形態に限定されるものではない。
　まず、被クリーニング体Ｓを矢印α方向に搬送しながらクリーニングする場合、ブラシローラ３Ａの回転速度が高速となるように、他方、ブラシローラ３Ｂの回転速度が低速となるように、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの駆動切換制御を行う。当該駆動切換制御は、例えば、被クリーニング体Ｓを搬送する搬送用コンベア（図示せず）の動作（搬送方向の切換動作）と連動するように構成することが望ましい。
　上記駆動切換制御により、ブラシローラ３Ａの回転速度がブラシローラ３Ｂの回転速度よりも大きくなるので、クリーニングローラ２が、ブラシローラ３Ａの連れ回り方向（矢印α´方向）に回転することとなり、被クリーニング体Ｓを矢印α方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となる。
　また、被クリーニング体Ｓの搬送を一時中断する場合等、搬送用コンベア（図示せず）の流れを一時停止させる場合においては、ブラシローラ３Ａの回転速度が中速となるように、同時にブラシローラ３Ｂの回転速度も中速となるように、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの駆動切換制御を行う。
　上記駆動切換制御により、ブラシローラ３Ａの回転速度とブラシローラ３Ｂの回転速度とが同じ速度になるので、クリーニングローラ２の回転を停止させることができ、被クリーニング体Ｓの搬送を、一時中断させることが可能となる。
　また、被クリーニング体Ｓを矢印α方向とは逆方向の矢印β方向に搬送しながらクリーニングする場合、ブラシローラ３Ａの回転速度が低速となるように、他方、ブラシローラ３Ｂの回転速度が高速となるように、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの駆動切換制御を行う。当該駆動切換制御も、例えば、被クリーニング体Ｓを搬送する搬送用コンベア（図示せず）の動作（搬送方向の切換動作）と連動するように構成することが望ましい。
　上記駆動切換制御により、ブラシローラ３Ｂの回転速度がブラシローラ３Ａの回転速度よりも大きくなるので、クリーニングローラ２が、ブラシローラ３Ｂの連れ回り方向（矢印β´方向）に回転することとなり、被クリーニング体Ｓを矢印β方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となる。
　上記実施の形態に係るクリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２にブラシローラ３Ａ、３Ｂを接触させているので、クリーニングローラ２表面に存在する塵埃を複数個のブラシローラ３Ａ、３Ｂで除去することが可能となり、従来の転写ローラが設けられた装置（図８参照）よりも塵埃の除去効率を高めることができ、クリーニングローラ２表面の清浄度を高めることができる。
　また、上記クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２表面に静電気力で吸着された塵埃がブラシローラ３Ａ、３Ｂによって掻き取られ、ブラシローラ３Ａ、３Ｂにより掻き取られた塵埃が静電気力により金属ローラ４に吸着され、金属ローラ４に吸着された塵埃がブレード５によって金属ローラ４から掻き取られるので、クリーニングローラ２による塵埃の吸着動作が安定的に永く維持されるとともに、従来使用されていた転写ローラが省略された構造とすることで、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができる。
　また、上記クリーニング装置１によれば、複数個のブラシローラ３Ａ、３Ｂが互いに逆方向に回転するように構成され、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度が任意に設定可能となっているので、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度に差を設けることにより、クリーニングローラ２を一方向だけでなく、逆方向にも回転させることが可能であり、被クリーニング体Ｓを一方向だけでなく、逆方向にも搬送することができる。ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度を同じにすることで、クリーニングローラ２の回転を停止させることもでき、何れの搬送方向でも対応可能な利便性の高い装置とすることができる。
　上記実施の形態では、クリーニングローラ２表面の塵埃を除去するブラシ体として、２本のブラシローラ３Ａ、３Ｂを用いた場合について説明したが、ブラシローラを３本以上用いた構成とすることもできる。
　例えば、２の倍数のローラ（４本、６本など）をクリーニングローラ２に対して左右対称に配設し、右側の複数のブラシローラ群と、左側の複数のブラシローラ群とで、これらブラシローラ群を互いに逆方向に回転するように構成することで、上記と同様な制御を行うことができる。この場合は、左右のブラシローラ群に対応する金属ローラを適宜配設（増設）することが好ましい。
　また、上記実施の形態では、２本のブラシローラ３Ａ、３Ｂが配設され、互いに逆方向に回転するように構成されているが、クリーニングローラ２の回転方向が一方向のみでよい（すなわち、被クリーニング体Ｓの搬送方向が一方向のみでよい）場合には、ブラシローラ３Ａ、３Ｂを同一方向に回転させる構成とすればよい。
　また、クリーニングローラ２の回転方向が一方向のみでよい場合には、ブラシローラを１本で構成してもよく、この場合には、図５に示したようなクリーニング装置１Aの構成とし、ブラシローラ３がクリーニングローラ２と逆方向に回転するようにし、ブラシローラ３によるクリーニングローラ２表面からの塵埃の掻き取りが効率的に行える構成とする。図５に示したようなクリーニング装置１Aの構成とすれば、装置の構成を簡単なものとしてさらなるコストの削減を図ることができる。
　また、逆にブラシローラを３本以上使用した構成とすることもできる。
　また、上記実施の形態では、クリーニングローラ２と略同じ長さのブラシローラ３Ａ、３Ｂを使用した場合について説明したが、クリーニングローラ２とは異なる長さのブラシローラを複数本組み合わせて使用する構成としてもよい。例えば、クリーニングローラ２よりも短い（例えば、半分程度の）長さの複数のブラシローラを採用して、クリーニングローラ２の軸方向にずらした位置に配設する形態としてもよい。かかる形態によれば、短いブラシローラを使用することで部品コストを削減することができ、また、構造のコンパクト化を図ることができる。
　また、上記実施の形態では、クリーニング装置１を被クリーニング体Ｓの下側に配設し、被クリーニング体Ｓの下面をクリーニングする場合について説明したが、図６に示したように、クリーニング装置１Bを被クリーニング体Ｓの上側に配設し、被クリーニング体Ｓの上面をクリーニングする構成とすることもできる。
　また、図７に示したように、クリーニング装置１Aを被クリーニング体Ｓの下側に配設し、クリーニング装置１Bを上側に配設し、被クリーニング体Ｓの上下面を同時にクリーニングするクリーニング装置１Cを構成してもよい。クリーニングローラ２が、被クリーニング体S上面側及び前記被クリーニング体S下面側の上下両面側に配置されることにより、被クリーニング体Sの上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、極めて作業効率の高いクリーニング装置１Cを提供することができる。
　クリーニング装置をクリーニング装置１Bのように被クリーニング体Ｓの上側に配設する場合には、被クリーニング体Ｓの表面の凹凸等の形状に応じて上面を適切に押圧できるように、クリーニングローラ２を上下に揺動可能な構成としておくことが好ましい。例えば、フレームユニット１０全体を上下に揺動可能とする構成、又はクリーニングローラ２を円弧に沿って揺動可能とする回動支持機構（図示せず）をフレームユニット１０に別途設け、該回動支持機構の回転軸を中心にクリーニングローラ２を上下方向に回動（揺動）させる構成などが採用され得る。
　また、ブレード５の取付位置は、図４に示した位置に限定されるものではなく、フレームユニット１０の構造などを考慮して、金属ローラ４から塵埃を掻き取るのに適した位置に配設することが望ましい。
　ガラス基板、プリント基板、フィルム、シート、プラスチック板など半導体装置搭載用として多く使用される基板の塵埃を除去するクリーニング装置であって、半導体装置分野に広く利用可能である。
　１　　　　　　　クリーニング装置
　１A,1B,1C　　　クリーニング装置
　２　　　　　　　クリーニングローラ
　３Ａ、３Ｂ　　　ブラシローラ
　３　　　　　　　ブラシローラ
　４　　　　　　　金属ローラ
　５　　　　　　　ブレード
　１０　　　　　　フレームユニット
　１１、１２　　　側板部
　１３、１４　　　上側アングル部材
　１５、１６　　　下側アングル部材
　２３Ａ、２３Ｂ　ブラシ駆動モータ
　３０　　　　　　金属ローラ駆動モータ
　S　　　　　　　被クリーニング体
　S1　　　　　　表面

Claims (9)

  1. 被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、
    　前記被クリーニング体表面に接触させるクリーニングローラと、
    該クリーニングローラに接触して該クリーニングローラ表面の塵埃を除去するブラシ体とを備えていることを特徴とするクリーニング装置。
  2. さらに、前記ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、
    該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、
    前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴とする請求項１記載のクリーニング装置。
  3. 前記ブラシ体が複数個装備されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーニング装置。
  4. 複数個の前記ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成されていることを特徴とする請求項３記載のクリーニング装置。
  5. 複数個の前記ブラシ体が同方向に回転するように構成されていることを特徴とする請求項３記載のクリーニング装置。
  6. 前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴とする請求項１又は２記載のクリーニング装置。
  7. 前記ブラシ体が単数個装備されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーニング装置。
  8. 前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴とする請求項７記載のクリーニング装置。
  9. 上記クリーニング装置（１）～（８）のいずれか２つの装置を用い、前記被クリーニング体表面に接触して塵埃を除去するクリーニングローラが、前記被クリーニング体上面側及び前記被クリーニング体下面側の上下両面側に配置されていることを特徴とするクリーニング装置。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015108003A1 (ja) * 2014-01-20 2015-07-23 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2015178091A (ja) * 2014-02-25 2015-10-08 バンドー化学株式会社 クリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラ
CN106166553A (zh) * 2015-05-22 2016-11-30 阪东化学株式会社 清洁装置
JP2017104868A (ja) * 2017-03-14 2017-06-15 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2019051517A (ja) * 2018-12-04 2019-04-04 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
KR102016268B1 (ko) * 2018-12-06 2019-08-28 정진욱 미세먼지 포집 장치
JP2020037110A (ja) * 2018-12-04 2020-03-12 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
KR102118144B1 (ko) * 2020-01-06 2020-06-02 함창석 이물질 제거 능력이 개선된 식품 포장비닐용 제대기
CN112431001A (zh) * 2020-11-04 2021-03-02 南通金鹏玻纤制品有限公司 一种玻纤布表面毛丝清除装置及其工作方法
CN112893322A (zh) * 2021-01-19 2021-06-04 江苏亚宝绝缘材料股份有限公司 一种聚酰亚胺薄膜的生产设备
CN114101131A (zh) * 2021-11-22 2022-03-01 南通宝鹏健身器材科技有限公司 一种pu杠铃片内层板材清洁处理装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102454775B1 (ko) 2015-02-18 2022-10-17 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 세정 장치, 기판 세정 방법 및 기판 처리 장치
CN104967045B (zh) * 2015-06-02 2018-07-31 国家电网公司 带电拆除异物专用操作头
CN109201547A (zh) * 2017-06-30 2019-01-15 中电海康集团有限公司 晶圆清洗装置
CN107537800B (zh) * 2017-09-04 2020-06-16 东莞市沃顿印刷有限公司 一种新型原材料除尘机
CN107838072A (zh) * 2017-10-30 2018-03-27 国网福建省电力有限公司 瓷瓶表面自动清洗机
CN107962011A (zh) * 2017-12-20 2018-04-27 东莞市锐祥智能卡科技有限公司 一种sim卡双芯片槽清洁装置
CN108015035A (zh) * 2018-01-04 2018-05-11 苏州统硕科技有限公司 自动化板清机
CN108529291A (zh) * 2018-04-20 2018-09-14 张吉超 一种纺织用布匹除杂装置
CN108606731B (zh) * 2018-06-08 2021-04-09 安徽风向标清洁设备有限公司 用于扫地机的刷毛机构
CN108940939A (zh) * 2018-06-14 2018-12-07 东莞市光纳光电科技有限公司 一种具备自清洁能力的指纹识别屏
CN108745980B (zh) * 2018-07-03 2021-04-06 佛山市佳世达薄膜科技有限公司 一种薄膜分卷装置
JP7161418B2 (ja) 2019-01-30 2022-10-26 株式会社荏原製作所 基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材のセルフクリーニング方法
CN115318757B (zh) * 2022-07-11 2023-08-18 星源电子科技(深圳)有限公司 一种清洁效果好的气动滚轮粘尘治具
CN115446028B (zh) * 2022-08-26 2023-04-14 南通鑫科智能科技有限公司 一种锂电池半成品检验设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55119197U (ja) * 1979-02-17 1980-08-23
JPS5646015U (ja) * 1979-09-13 1981-04-24
JP2002244522A (ja) * 2001-02-21 2002-08-30 Ricoh Co Ltd 放電生成物除去方法及び画像形成装置
WO2010109755A1 (ja) * 2009-03-23 2010-09-30 バンドー化学株式会社 クリーニングシステム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5248320B2 (ja) 1972-02-16 1977-12-08
JPS6468206A (en) * 1987-09-10 1989-03-14 Shishido Seidenki Kk Duster
JPH08203851A (ja) * 1995-01-27 1996-08-09 Sony Corp 清浄化装置
JPH09267945A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Tec Corp 画像形成装置
JP2003005599A (ja) * 2001-06-18 2003-01-08 Ricoh Co Ltd クリーニング装置、プロセスカートリッジ、および画像形成装置
JP2003225625A (ja) * 2002-02-05 2003-08-12 Reyoon Kogyo:Kk 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置
JP2005218923A (ja) * 2004-02-04 2005-08-18 Nagaoka Seisakusho:Kk 基板塵埃除去装置
JP2006251492A (ja) * 2005-03-11 2006-09-21 Murata Mach Ltd クリーニング装置
CN201098690Y (zh) * 2007-10-31 2008-08-13 南通中利机电制造厂 金属膜清除导电轮装置
JP5491017B2 (ja) 2008-10-22 2014-05-14 バンドー化学株式会社 クリーニングシステム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55119197U (ja) * 1979-02-17 1980-08-23
JPS5646015U (ja) * 1979-09-13 1981-04-24
JP2002244522A (ja) * 2001-02-21 2002-08-30 Ricoh Co Ltd 放電生成物除去方法及び画像形成装置
WO2010109755A1 (ja) * 2009-03-23 2010-09-30 バンドー化学株式会社 クリーニングシステム

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015135456A (ja) * 2014-01-20 2015-07-27 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
WO2015108003A1 (ja) * 2014-01-20 2015-07-23 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2018187634A (ja) * 2014-02-25 2018-11-29 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2015178091A (ja) * 2014-02-25 2015-10-08 バンドー化学株式会社 クリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラ
CN106166553A (zh) * 2015-05-22 2016-11-30 阪东化学株式会社 清洁装置
JP2016215155A (ja) * 2015-05-22 2016-12-22 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2017104868A (ja) * 2017-03-14 2017-06-15 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2019051517A (ja) * 2018-12-04 2019-04-04 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
JP2020037110A (ja) * 2018-12-04 2020-03-12 バンドー化学株式会社 クリーニング装置
KR102016268B1 (ko) * 2018-12-06 2019-08-28 정진욱 미세먼지 포집 장치
KR102118144B1 (ko) * 2020-01-06 2020-06-02 함창석 이물질 제거 능력이 개선된 식품 포장비닐용 제대기
CN112431001A (zh) * 2020-11-04 2021-03-02 南通金鹏玻纤制品有限公司 一种玻纤布表面毛丝清除装置及其工作方法
CN112893322A (zh) * 2021-01-19 2021-06-04 江苏亚宝绝缘材料股份有限公司 一种聚酰亚胺薄膜的生产设备
CN114101131A (zh) * 2021-11-22 2022-03-01 南通宝鹏健身器材科技有限公司 一种pu杠铃片内层板材清洁处理装置
CN114101131B (zh) * 2021-11-22 2022-09-02 南通宝鹏健身器材科技有限公司 一种pu杠铃片内层板材清洁处理装置

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