WO2013061836A1 - NdFeB系焼結磁石の製造方法 - Google Patents

NdFeB系焼結磁石の製造方法 Download PDF

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ndfeb
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based sintered
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一之 紺村
徹彦 溝口
眞人 佐川
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インターメタリックス株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a NdFeB (neodymium / iron / boron) based sintered magnet, and more particularly to a method for manufacturing a NdFeB based sintered magnet using a grain boundary diffusion method.
  • the “NdFeB-based (sintered) magnet” is a (sintered) magnet having Nd 2 Fe 14 B as a main phase, but is not limited to one containing only Nd, Fe and B, and other than Nd It may contain other elements such as rare earth elements and Co, Ni, Cu, Al.
  • NdFeB (neodymium / iron / boron) -based sintered magnets were found by Sagawa (the present inventor) in 1982, but have characteristics far surpassing the conventional permanent magnets. It has the feature that it can be manufactured from relatively abundant and inexpensive raw materials such as Nd (a kind of rare earth), iron and boron. Therefore, NdFeB-based sintered magnets are used for hybrid and electric vehicle drive motors, motor-assisted bicycle motors, industrial motors, voice coil motors such as hard disks, luxury speakers, headphones, permanent magnet magnetic resonance diagnostic devices, etc. Used in various products.
  • the NdFeB based sintered magnet used for these applications is required to have a high coercive force H cJ , a high maximum energy product (BH) max and a high squareness ratio SQ.
  • the squareness ratio SQ is defined by the ratio H k / H cJ of the magnetic field (H k ) and the coercive force (R H ) corresponding to 90% of the residual magnetic flux density B r in the second quadrant of the magnetization curve.
  • Dy and / or Tb which is a heavy rare earth element, is referred to as “R H ”.
  • R H a heavy rare earth element
  • a coated product containing RH is applied to the surface as a substrate, and the substrate is heated together with the coated material, whereby particles in the substrate are coated from the substrate surface.
  • a “grain boundary diffusion method” in which RH is diffused into the substrate through a boundary Patent Document 1.
  • the coercive force of the NdFeB-based sintered magnet can be increased by the above method
  • the presence of RH in the main phase particles in the sintered magnet is known to reduce the maximum energy product.
  • R H is contained in the main phase particles at the stage of the starting alloy, and thus R H is also contained in the main phase particles even in a sintered magnet produced based on the R H.
  • a sintered magnet produced by the one-alloy method has an improved coercive force but a reduced maximum energy product.
  • most of RH can be present at the grain boundaries between the main phase grains. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the maximum energy product compared to the one alloy method.
  • the amount of RH which is a rare metal, can be reduced compared to the one alloy method.
  • the grain boundary diffusion method has a problem that it is difficult to perform the treatment after the coating material is applied to the substrate.
  • the substrate on which the coating material has been applied is placed on a predetermined table such as a tray and then heated in a heating furnace.
  • the coating material is applied to the base material at the contact surface between the tray and the base material, the coating material is welded to the tray during heating.
  • the present invention is for solving the above-mentioned problems, and the main purpose thereof is a coating containing RH or an RH compound applied to the base material of the NdFeB-based sintered magnet when performing the grain boundary diffusion treatment.
  • An object of the present invention is to provide a method for producing an NdFeB-based sintered magnet capable of preventing an object from welding to an instrument such as a tray at a low cost.
  • Another object of the present invention is to provide a method for producing an NdFeB-based sintered magnet suitable for mass production while easily adjusting the amount of the coated material when performing grain boundary diffusion treatment. It is.
  • the manufacturing method of the NdFeB-based sintered magnet according to the present invention made to solve the above problems is as follows. After applying the coating material containing the heavy rare earth element to the base material of the NdFeB-based sintered magnet, the heavy rare earth element in the coating material is heated in the base material by heating the base material coated with the coating material.
  • the method for producing a NdFeB-based sintered magnet including a grain boundary diffusion treatment step for diffusing through the grain boundary, Apply the coating on the sheet, The sheet and the substrate are brought into close contact so that the coating applied to the sheet is in contact with the application target surface of the substrate, The grain boundary diffusion treatment is performed by heating the substrate together with the sheet. It is characterized by that.
  • a metal or alloy powder containing heavy rare earth element RH or a paste or slurry in which the powder is dispersed in water or a viscous material
  • a powder of an alloy with an Fe group transition metal containing RH of 50 wt% or more, a powder of pure metal made only of RH, a powder of these alloys or a pure metal hydride can be used.
  • a mixed powder of RH fluoride or oxide powder and Al powder may be used.
  • the viscous material it is possible to use liquid paraffin, silicone grease, or the like having an appropriate viscosity that volatilizes during the grain boundary diffusion treatment and is not easily absorbed by the base material.
  • viscous material having an appropriate viscosity refers to a material having a viscosity not less than the viscosity of water ( ⁇ 1 mPa ⁇ sec) and not more than the viscosity of the solder paste ( ⁇ 500 Pa ⁇ sec). If the viscosity is within this range, when the powder is mixed with the viscous material, the powder is uniformly dispersed in the viscous material, and the fluidity is such that the viscous material after mixing the powder can be applied to the sheet. Can have.
  • the coated surface (coated surface) of the base material is covered with a sheet. Therefore, it can prevent that the coating material apply
  • a graphite sheet (a flexible graphite sheet produced by molding graphite) as the sheet.
  • heating is performed up to about 900 ° C., but in order to prevent the base material from being oxidized, it is performed in an inert gas atmosphere, a vacuum atmosphere, or an oxygen-free environment. Therefore, even when heated at the above temperature, the graphite sheet does not burn and does not deform. Moreover, the graphite sheet hardly reacts to the base material or the coated material. Heavy rare earth elements in the coating are hardly diffused into the graphite sheet. In addition, from the standpoints of availability, ease of processing, low cost, etc., the graphite sheet is a suitable sheet material and can be easily replaced even if it cannot withstand use.
  • the coating material may be peeled off from the base material during the grain boundary diffusion treatment depending on the viscosity of the coating material. In order to prevent this, it is desirable to apply pressure to the sheet during the grain boundary diffusion treatment to improve the adhesion between the substrate and the coated material.
  • the sheet may cover the same side surfaces of a plurality of base materials arranged in the horizontal direction.
  • a plurality of substrates can be stacked in the vertical direction while covering the upper and lower surfaces of each substrate with a sheet.
  • the coated surface of the base material is covered with a sheet, so that the coated material applied to the base material is prevented from being welded to a tray or the like during the grain boundary diffusion treatment. be able to. Moreover, the amount of the applied product can be easily adjusted by providing a recess on the application surface of the sheet. Furthermore, since a plurality of base materials can be collectively covered with a sheet or stacked in the vertical direction with the sheet interposed therebetween, it is suitable for mass production.
  • the method for producing the base material of the NdFeB-based sintered magnet is not particularly limited.
  • a base material having high magnetic properties can be obtained. Can be manufactured.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for producing the NdFeB-based sintered magnet of this example. As shown in this figure, in the manufacturing method of the NdFeB-based sintered magnet of this example, it is made of a material that does not change chemically or physically in the grain boundary diffusion treatment described later, and is a paste-like coating material R containing R H. Is prepared by uniformly applying on one surface (FIG. 1 (a)).
  • the coated material R is a paste in which a powder of metal or alloy containing RH of 50 wt% or more (hereinafter referred to as “ RH powder”) and a viscous material are mixed. Silicone grease or liquid paraffin is used for the viscous material. For example, when silicone grease is used as the viscous material, it is also effective to mix silicone oil or the like for viscosity adjustment. Further, as R H powder in the present embodiment, Tb: 92wt%, Ni: 4.3wt%, Al: powder was used 3.7 wt% of TbNiAl alloy. Of course, heavy rare earth elements such as Dy may be used instead of Tb.
  • the distribution of the powder particles when the same amount of RH powder is applied to the surface of the substrate S is uniform when the particle size is small, and the magnetic properties are stably improved by the grain boundary diffusion treatment. Become. Therefore, the smaller the particle size of the RH powder, the better. However, as the particle size is reduced, the effort and cost for miniaturization increase.
  • the particle size of the RH powder is desirably 2 ⁇ m or more from the viewpoint of the effort and cost for miniaturization.
  • the upper limit of the particle size of the RH powder in consideration of the magnetic characteristics and the distribution uniformity after the grain boundary diffusion treatment is 100 ⁇ m, preferably 50 ⁇ m, more preferably 20 ⁇ m.
  • the weight mixing ratio of RH powder and silicone grease can be arbitrarily selected to adjust to the desired paste viscosity, but if the ratio of RH powder is low, RH powder penetrates into the base material during grain boundary diffusion treatment. The amount to do will also decrease. Therefore, the ratio of the RH powder is 80 wt% or more, preferably 85 wt% or more, and more preferably 90 wt% or more. If the amount of the silicone grease is less than 5 wt%, mixing with the RH powder is insufficient, making it difficult to form a paste and making it difficult to apply to the sheet. Therefore, the amount of silicone grease is preferably 5 wt% or more.
  • the mixing ratio of silicone oil used for viscosity adjustment can be increased to about 15 wt%, but this reduces the ratio of RH powder, and the RH powder becomes the basis during grain boundary diffusion treatment. Since the amount of penetration into the material also decreases, ideally 5 wt% or less is preferable.
  • the application surface of the sheet 10 is directed toward the application target surface of the base material S (the upper surface and the lower surface of the base material S) (FIG. 1 (b)). Thereafter, the substrate S covered with the sheet 10 is placed on the tray 11 (FIG. 1 (c)), placed in the heating furnace 12, and the sheet S together with the sheet 10 in an inert gas atmosphere or oxygen-free. Heat treatment (grain boundary diffusion treatment) is performed (FIG. 1 (d)).
  • the manufacturing method of the NdFeB sintered magnet of this example is compared with the conventional method.
  • the coating material R on the upper and lower surfaces of the substrate S as shown in FIG. 1
  • the substrate 11 is placed as it is (FIG. 2 (a))
  • the shape of the substrate is placed on the tray 21.
  • a step as a holding portion 211 at the edge of the hole to hold only the end of the lower surface of the base material S (FIG. 2 (b)
  • (c) a pointed support on the tray 31 The method of providing the part 311 and restraining the contact area of the tray 31 and the lower surface of the base material S to the minimum (FIG. 2C) has been used.
  • the manufacturing cost of the tray 21 is increased by providing the holding unit 211, (ii) the trouble of placing the base material S on the holding unit 211 is required, and (iii) the base material There is a problem that it is necessary to change the shape of the holding portion 211 in accordance with the shape, size, etc. of S, and (iv) it is difficult to apply the coating R to the end portion of the lower surface of the substrate S.
  • one sheet 10 (base material) on which the same side surfaces of a plurality of base materials S arranged in the horizontal direction are collected and coated with a coating R is applied.
  • the upper and lower surfaces of S may be combined and covered with two sheets 10).
  • two sheets 10 coated with the application material R shown in FIG. 3 (a) and a plurality of base materials S are stacked in a plurality of stages in the vertical direction. (Fig. 3 (b)).
  • the manufacturing method of the NdFeB-based sintered magnet by the grain boundary diffusion method of the present embodiment is a method suitable for low cost, high speed, and mass production.
  • the sheet 10 may be peeled off from the substrate S during the grain boundary diffusion treatment.
  • the weight 13 is used as a means for improving the adhesion between the sheet 10 and the substrate S.
  • a mechanical pressure such as a press cylinder is used. You may use what adds.
  • the application region of the coated material R it is also possible to limit the application region of the coated material R to the sheet 10 only to a portion where the base material S is disposed (FIG. 3 (d)). In that case, it is necessary to set the application region of the application R applied to the upper and lower sheets 10 sandwiching the base material S so as to be portions facing the upper and lower surfaces of the base material S.
  • the sheet 10 can be a graphite sheet. Moreover, it is desirable to provide the sheet 10 with an uneven shape as shown in FIG. As shown in FIG. 5, such a sheet 10 can be obtained by placing a graphite sheet 10 ⁇ / b> A on a press die 14 and covering the rubber sheet 15 on the graphite sheet 10 ⁇ / b> A and pressing it.
  • the first advantage is that, as shown in FIG. 6 (a), if the coated material R is applied to the coated surface of the sheet 10 in a full manner, the number and volume of the concave portions provided on the coated surface side of the sheet 10 That is, the amount of the application R is easily determined. If a plurality of press dies 14 are prepared in advance, the amount of application to the substrate S can be easily adjusted simply by replacing the press dies 14 and recreating the sheet 10. Further, even if the sheet 10 cannot withstand use, it can be easily replaced at low cost.
  • the second advantage is that the substrate S and the sheet 10 are sufficiently brought into close contact with each other, so that the surface of the substrate S functions as a lid for the concave portion of the sheet 10 and the coating material R stored in the concave portion leaks out. It becomes difficult (FIG. 6 (b)). Thereby, it is possible to prevent the coated material R from being unevenly distributed on the surface of the substrate S to be coated.
  • the above is an advantage in the manufacturing process of the method of this embodiment compared with the conventional method, but the advantage of the method of this embodiment also appears in the magnetic characteristics of the manufactured magnet.
  • the magnetic characteristics of the sintered magnet manufactured by the method of this example are shown in Table 1.
  • Table 1 the magnetic properties of a sintered magnet produced by subjecting a substrate S placed as shown in FIG. 2C to a grain boundary diffusion treatment are shown.
  • Br is the residual magnetic flux density (magnetization J or magnetic flux density B when the magnetic field H of the magnetization curve (JH curve) or demagnetization curve (BH curve) is 0)
  • Js is the saturation magnetization.
  • H cB is the coercivity defined by the demagnetization curve
  • H cJ is the coercivity defined by the magnetization curve
  • (BH) Max is the maximum energy product (magnetic flux density B in the demagnetization curve B r / J s is the degree of orientation
  • H K is the value of the magnetic field H when the magnetization J is 90% of the residual magnetic flux density B r
  • SQ is the squareness (H K / H cJ ). The larger these values, the better the magnet properties are obtained.
  • the base material S1 in Table 1 is an NdFeB-based sintered magnet having a length of 7 mm, a width of 7 mm, and a thickness of 4 mm in which the thickness direction is the magnetization direction, which is used as a base material for the comparative examples and examples of Table 1. It is.
  • Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are magnets manufactured by subjecting a substrate S1 placed as shown in FIG. 2 (c) to grain boundary diffusion treatment, and Comparative Example 1 is an aging treatment after grain boundary diffusion treatment.
  • Comparative Example 2 is a magnet that was subjected to aging treatment after the grain boundary diffusion treatment on the magnet of Comparative Example 1.
  • Examples 1 to 4 are magnets obtained by the production method of this example
  • Examples 1 and 2 are magnets that were not subjected to aging treatment after grain boundary diffusion treatment
  • Examples 3 and 4 were Examples 1 and 4, respectively. It is the magnet which performed the aging process after the grain boundary diffusion process with respect to 2 magnets.
  • the temperature was raised from room temperature to 450 ° C. over 1 hour, heated at 450 ° C. for 1 hour, and then over 2 hours. The temperature was raised to 875 ° C., then heated for 10 hours while maintaining the temperature at 875 ° C., and then cooled to room temperature.
  • the aging treatment of Comparative Example 2 and Examples 3 and 4 was performed by heating at 480 ° C.
  • the coated product R a paste in which 0.07 g of silicone oil was added to 10 g of a mixture of the above TbNiAl alloy powder and silicone grease in a weight ratio of 80:20 was used. Further, in Comparative Examples 1 and 2, 10 mg of each paste was applied to both 7 mm ⁇ 7 mm magnetic pole faces of the substrate S1, for a total of 20 mg. In Examples 1 to 4, after applying 9 mg of paste to each of the two sheets 10 and a total of 18 mg and pasting them on both magnetic pole surfaces of the substrate S1, the pressure ( 2 kgf / cm 2 ( ⁇ 20 MPa) ( Hereinafter, this pressure is referred to as “contact pressure”), whereby the sheet 10 is brought into close contact with the sample S1.
  • contact pressure 2 kgf / cm 2 ( ⁇ 20 MPa
  • the adhesion pressure is preferably in the range of 0.01kgf / cm 2 ( ⁇ 0.1MPa) ⁇ 10kgf / cm 2 ( ⁇ 100MPa).
  • the adhesion pressure is less than 0.01 kgf / cm 2 adhesion becomes insufficient, is greater than 10 kgf / cm 2 is not suitable for mass production.
  • the graphite sheet having the uneven shape shown in FIG. 4 was used. Zirconia plates were used for the tray 11 of the example and the tray 31 of the comparative example.
  • the coercive force H cJ is greatly improved as compared with the base material S1 by the grain boundary diffusion treatment, while the residual magnetic flux density B r.
  • the maximum energy product (BH) Max slightly decreases, the magnets of Comparative Examples 1 and 2 have a greater degree of change in their magnetic properties than the magnets of Examples 1 to 4. It is considered that the difference in magnetic characteristics between the comparative example and the example is caused by the coating amount of the coated material R.
  • the magnets of Examples 1 to 4 had improved squareness SQ compared to the magnets of Comparative Examples 1 and 2.
  • used for applications such as voice coil motors such as hard disks, drive motors for hybrid and electric vehicles, motors for electric assist type bicycles, industrial motors, high-class speakers, headphones, and permanent magnet magnetic resonance diagnostic devices
  • the NdFeB-based sintered magnet is required to have a high coercive force H cJ , a high maximum energy product (BH) max and a high squareness ratio SQ.
  • H cJ coercive force
  • BH maximum energy product
  • Table 1 the production method of the NdFeB-based sintered magnet of this example is a production method suitable for producing a sintered magnet having excellent squareness. Further, it can be seen from Table 1 that the squareness SQ can be further improved by applying the aging treatment.
  • Table 2 shows the experimental results when a paste obtained by adding 0.03 g of silicone oil to 10 g of a mixture of the above TbNiAl alloy powder and silicone grease in a weight ratio of 80:20 is used as the coating R. Shown in The paste used in the experiment of Table 2 has a higher viscosity than the paste used in the experiment of Table 1.
  • the base material S2 in Table 2 is an NdFeB system having a length of 7 mm, a width of 7 mm, and a thickness of 4 mm used as a base material when the magnets of Comparative Examples 3 to 6 and Examples 5 to 8 are produced by grain boundary diffusion treatment. It is a sintered magnet.
  • Comparative Examples 3 to 6 the amount of the coating material used in Comparative Examples 3 to 6 is 20 mg of 10 mg ⁇ 2, and the amount of the coating material used in Examples 5 to 8 is 14 mg of 7 mg ⁇ 2.
  • Comparative Examples 3 and 4 Examples 5 and 6 were magnets that were not subjected to aging treatment after grain boundary diffusion treatment, Comparative Examples 5 and 6, and Examples 7 and 8 were Comparative Examples 3 and 4, and Examples 5 and 6, respectively.
  • the grain boundary diffusion treatment, aging treatment, adhesion pressure, sheet and tray conditions in Table 2 are the same as the experimental conditions in Table 1.
  • the magnets of Examples 5 to 8 have a lower coercive force H cJ than the magnets of Comparative Examples 3 to 6. This is because the sheet 10 peeled from the substrate S during the grain boundary diffusion treatment.
  • the adhesion when the sheet 10 is adhered to the substrate S according to the paste viscosity so that the sheet 10 does not peel from the substrate S during the grain boundary diffusion treatment. It is desirable to optimize the pressure, the presence / absence of the weight 13 and the weight of the weight 13 as shown in FIGS.
  • Table 3 shows a weight of 36 g per one base material (7 mm square area) on the base material S2 with the sheet 10 interposed therebetween under the same experimental conditions as in Examples 5 to 8 in Table 2.
  • the magnetic characteristics of the magnet manufactured by placing the shim 13 are shown.
  • Examples 9 to 11 were magnets that were not subjected to the aging treatment after the grain boundary diffusion treatment, and Examples 12 to 14 were subjected to the aging treatment after the grain boundary diffusion treatment for the magnets of Examples 9 to 11, respectively. Magnet.
  • the sheet 10 is placed on the base material S2 with the sheet 10 interposed therebetween, so that the adhesiveness between the two is maintained without peeling the sheet 10 from the base material S2 during the grain boundary diffusion treatment. I was able to.
  • the coercive force H cJ was greatly improved.
  • the squareness SQ is somewhat low in Examples 10 and 11, but the magnets of Examples 13 and 14 in which the magnets of Examples 10 and 11 are subjected to an aging treatment have an extremely good result of 95% or more. was gotten.
  • the squareness SQ of Example 12 was the highest as compared with the magnets of other Comparative Examples and Examples.
  • a weight 13 of 36 g per base material was used.
  • the pressure applied during the grain boundary diffusion treatment was 0.1 MPa or more (about 5 g or more per base material). If so, equivalent results were obtained.
  • group sintered magnet which concerns on this invention was demonstrated using the Example, the manufacturing method of this invention is not limited only to this.
  • the case where the coated material R is applied to both the upper surface and the lower surface of the base material S via the sheet 10 is shown, but the coated material R is applied only to one surface depending on the use of the manufactured magnet.
  • the coated material R is applied only to one surface depending on the use of the manufactured magnet.

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Abstract

　本発明は、粒界拡散処理を行う際、NdFeB系焼結磁石の基材に塗布された重希土類元素RHを含む塗布物が、トレイ等の器具に溶着することを低コストで防ぐことのできるNdFeB系焼結磁石の製造方法を提供することを課題とする。重希土類元素RHを含む塗布物ＲをNdFeB系焼結磁石の基材Ｓに塗布し、粒界拡散法により該基材の粒界に拡散させるNdFeB系焼結磁石の製造方法において、シート１０に前記塗布物Ｒを塗布し、前記シート１０に塗布された塗布物Ｒが前記基材Ｓの塗布対象面に接するように、該シート１０と該基材Ｓを密着させ、前記シート１０を前記基材Ｓに密着させたまま、該基材Ｓに対して前記粒界拡散処理（加熱処理）を行う。

Description

NdFeB系焼結磁石の製造方法
　本発明は、NdFeB（ネオジム・鉄・硼素）系焼結磁石の製造方法に関し、より詳しくは、粒界拡散法を用いたNdFeB系焼結磁石の製造方法に関する。ここで「NdFeB系（焼結）磁石」は、Nd2Fe14Bを主相とする（焼結）磁石であるが、Nd, Fe及びBのみを含有するものには限られず、Nd以外の希土類元素や、Co, Ni, Cu, Al等の他の元素を含有するものであってもよい。
　NdFeB（ネオジム・鉄・硼素）系の焼結磁石は、1982年に佐川（本発明者）らによって見出されたものであるが、それまでの永久磁石をはるかに凌駕する特性を有し、Nd（希土類の一種）、鉄及び硼素という比較的豊富で廉価な原料から製造することができるという特長を有する。そのため、NdFeB系焼結磁石はハイブリッド自動車や電気自動車の駆動用モータ、電動補助型自転車用モータ、産業用モータ、ハードディスク等のボイスコイルモータ、高級スピーカー、ヘッドホン、永久磁石式磁気共鳴診断装置等、様々な製品に使用されている。これらの用途に使用されるNdFeB系焼結磁石は高い保磁力HcJ、高い最大エネルギー積(BH)max及び高い角型比SQを有することが要求される。ここで角型比SQは、磁化曲線の第２象限において残留磁束密度Brの90%に対応する磁界（Hk）と保磁力（RH）の比Hk/HcJで定義される。
　NdFeB系焼結磁石の保磁力を高めるための方法として、出発合金を作製する段階で、重希土類元素であるDy及び／又はTb （以下、「Dy及び／又はTb」を「RH」とする）を添加する方法（一合金法）がある。また、RHを含まない主相系合金とRHを添加した粒界相系合金の２種類の出発合金の粉末を作製し、これらを互いに混合して焼結させる方法（二合金法）がある。更に、NdFeB系焼結磁石を作製した後、それを基材としてRHを含む塗布物を表面に塗布し、塗布物ごと該基材を加熱することにより、基材表面から基材中の粒界を通じて該基材内部にRHを拡散させる「粒界拡散法」がある（特許文献１）。
　上記の方法によりNdFeB系焼結磁石の保磁力を高めることができるが、その一方で、焼結磁石中の主相粒子内にRHが存在すると、最大エネルギー積が低下することが知られている。一合金法では、出発合金の段階で主相粒子内にRHが含まれるため、それを基に作製した焼結磁石においても主相粒子内にRHを含んでしまう。そのため、一合金法によって作製された焼結磁石は、保磁力は向上するものの最大エネルギー積が低下してしまう。
　これに対し、二合金法では、RHの多くを主相粒子間の粒界に存在させることができる。そのため、一合金法に比べて最大エネルギー積の低下を抑えることが可能となる。また、一合金法に比べてレアメタルであるRHの使用量を減らすことができる。
　さらに、粒界拡散法では、加熱により液化した基材内の粒界を通じて、基材表面に塗布されたRHをその内部に拡散させる。そのため、粒界中のRHの拡散速度は、粒界から主相粒子内部への拡散速度よりもずっと速く、RHは速やかに基材内の深くまで供給される。それに対し、主相粒子は固体のままであるため、粒界から主相粒子内への拡散速度は遅い。この拡散速度の差を利用して、熱処理温度と時間を調整することにより、焼結体中の主相粒子の表面（粒界）にごく近い領域においてのみDyやTbの濃度が高く、主相粒子の内部ではRHの濃度が低いという理想的な状態を実現することができる。これにより、保磁力HcJを高めつつ、二合金法よりも最大エネルギー積(BH)maxの低下を抑えることが可能となる。また、レアメタルであるRHの使用量を二合金法よりも抑えることができる。
国際公開WO2006/043348号公報 国際公開WO2008/139690号公報
　しかしながら、粒界拡散法には、基材に塗布物を塗布した後の処理が難しいという問題がある。塗布物が塗布された基材は、トレイ等の所定の台に載置された後、加熱炉にて加熱される。このトレイと基材の接触面において該基材に塗布物が塗布されていた場合、加熱の際にトレイに塗布物が溶着してしまう。
　塗布物がトレイに溶着すると、トレイを再使用する際、溶着物を除去するためにトレイを研磨するなど余計な手間が必要となる。また、基材とトレイの接触面では粒界拡散に使用されるRHの量がこの溶着の分だけ減少するため、RHの使用量当たりの製造磁石の性能が低下する。また、貴重なRHが無駄になる。
　本発明は上記課題を解決するためのものであり、その主な目的は、粒界拡散処理を行う際、NdFeB系焼結磁石の基材に塗布されたRH又はRHの化合物を含む塗布物が、トレイ等の器具に溶着することを低コストで防ぐことのできるNdFeB系焼結磁石の製造方法を提供することである。
　また、本発明の別の目的は、粒界拡散処理を行う際の前記塗布物の量を容易に調整することができると共に、大量生産に向いたNdFeB系焼結磁石の製造方法を提供することである。
　上記課題を解決するために成された本発明に係るNdFeB系焼結磁石の製造方法は、
　重希土類元素を含む塗布物をNdFeB系焼結磁石の基材に塗布した後に、該塗布物が塗布された基材を加熱することにより、前記塗布物中の重希土類元素を該基材中に粒界を通じて拡散させる粒界拡散処理工程を含むNdFeB系焼結磁石の製造方法において、
　シートに前記塗布物を塗布し、
　前記シートに塗布された塗布物が前記基材の塗布対象面に接するように、該シートと該基材を密着させ、
　前記シートごと前記基材を加熱することにより前記粒界拡散処理を行う、
　ことを特徴とする。
　前記塗布物には、重希土類元素RHを含む金属もしくは合金の粉体、又は該粉体を水もしくは粘性材に分散させたペースト又はスラリーを用いることができる。前記粉体としては、RHを50wt%以上含むFe族遷移金属との合金の粉末やRHのみからなる純金属の粉末、これらの合金又は純金属の水素化物の粉末を用いることができる。また、特許文献２に記載のように、RHのフッ化物や酸化物の粉末とAl粉末の混合粉末を用いることもできる。前記粘性材としては、粒界拡散処理の際に揮発して基材に吸収されづらく、適度な粘性を有する流動パラフィンやシリコーングリース等を用いることができる。なお、ここで言う適度な粘性を有する粘性材とは、水の粘度（～１mPa・sec）以上ソルダーペーストの粘度（～500Pa・sec）以下の粘性を有する材料のことである。この範囲内の粘度であれば、粉体を粘性材に混合した際、粉体が均一に粘性材内に分散すると共に、粉体を混合した後の粘性材がシートに塗布できる程度に流動性を持つことができる。
　本発明に係るNdFeB系焼結磁石の製造方法では、基材の塗布面（塗布対象面）がシートによって覆われる。そのため、基材に塗布された塗布物がトレイ等の器具に接触したり、粒界拡散処理によって塗布物が器具に溶着したりすることを防ぐことができる。
　前記シートの塗布面側には多数の凹部が設けられ、前記シートと前記基材を密着させることにより前記塗布物が該凹部に貯留されるようにすることが望ましい。これにより、塗布物を基材の塗布対象面上に均一に分布させることができる。また、凹部の数や深さによって、容易に塗布物の量を調整することができる。
　なお、前記シートには、該シートに塗布した塗布物中に含まれる前記重希土類元素の前記基材への利用効率を高めるために、該基材よりも該重希土類元素の拡散性が低い素材のものを用いることが望ましい。
　また、前記シートには、前記粒界拡散処理中、製造したNdFeB系焼結磁石の性能に影響を与えない程度に化学的、物理的に変化しない素材のものを用いることが望ましい。
　前記シートはグラファイトシート（黒鉛を成型加工して作製された可撓性の黒鉛シート）を用いることが望ましい。粒界拡散処理では900℃前後まで加熱するが、基材が酸化することを防ぐために、不活性ガス雰囲気下、真空雰囲気下、又は無酸素下で行う。そのため、上記温度で加熱しても、グラファイトシートが燃焼することはなく、変形もしない。また、グラファイトシートは基材や塗布物にも殆ど反応しない。塗布物中の重希土類元素がグラファイトシート内に拡散することも殆どない。その他、入手の容易さ、加工の容易さ、低コスト等の面からも、グラファイトシートは好適なシート素材であり、使用に耐えられなくなっても容易に交換可能である。
　なお、本発明者が様々な実験を行った結果、塗布物の粘性によっては粒界拡散処理の途中で塗布物が基材から剥離してしまうことがあった。これを防ぐために、粒界拡散処理の間はシートに圧力を印加し、基材と塗布物の密着性を高めることが望ましい。
　前記シートは、水平方向に並べた複数個の基材の同じ側の面をまとめて覆うものであっても良い。また、各基材の上面と下面をそれぞれシートで覆いつつ、複数個の基材を鉛直方向に重ねることもできる。上記のように、本発明のNdFeB系焼結磁石の製造方法では、粒界拡散処理の間、シートに圧力を印加することが望ましいが、このように複数個積み重ねると、下段に配置されたシートには、上段に配置された基材の重みによって自然に圧力が印加される。なお、最上段で使用するシートには、別途、重しを載せる等により圧力を印加すれば良い。
　本発明に係るNdFeB系焼結磁石の製造方法では、基材の塗布面がシートで覆われるため、基材に塗布された塗布物が粒界拡散処理の際にトレイ等に溶着することを防ぐことができる。また、シートの塗布面に凹部を設けることにより、塗布物の量を容易に調整することができる。さらに、複数個の基材をまとめてシートで覆ったり、シートを間に挟んで上下方向に重ねたりすることができるため、大量生産に向いている。
本発明に係る粒界拡散法を用いたNdFeB系焼結磁石の製造方法の一実施例を説明するための縦断面図。 従来法による粒界拡散法を用いたNdFeB系焼結磁石の製造方法を説明するための縦断面図。 本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法における基材及びシートの載置例を示す縦断面図。 本実施例によるNdFeB系焼結磁石の製造方法で用いるシートの一例を示す図。 塗布面側に凹部を設けたシートの作製例を示す縦断面図。 塗布面側に凹部を設けたシートの、本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法への適用例を示す縦断面図。
　本発明に係る粒界拡散法を用いたNdFeB系焼結磁石の製造方法の一実施例を、図１～図６を参照しつつ説明する。なお、本発明ではNdFeB系焼結磁石の基材を製造する方法は特に問わないが、例えば特開2006-019521号公報に記載の方法を用いることで、磁気特性の高い基材をニアネットシェイプで製造することができる。
　図１は、本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法の説明図である。この図に示すように、本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法では、後述する粒界拡散処理において化学的又は物理的に変化しない材料から成り、RHを含むペースト状の塗布物Ｒが一方の面に均一に塗布されたシート１０を用意する（図１(a)）。
　塗布物Ｒは、RHが50wt%以上含まれる金属や合金などの粉末（以下、「RH粉末」とする）と粘性材を混合したペーストである。粘性材にはシリコーングリース又は流動パラフィン等を用いる。粘性材として例えばシリコーングリースを採用した場合には、粘度調整のためにシリコーンオイル等を混合するのも有効である。
　また、本実施例ではRH粉末として、Tb:92wt%、Ni:4.3wt%、Al:3.7wt%のTbNiAl合金の粉末を使用した。もちろん、Tbの代わりにDy等の重希土類元素を使用しても良い。なお、同量のRH粉末を基材Ｓの表面に塗布した場合の粉末粒子の分布は粒径が小さい方が一様になり、粒界拡散処理によって安定的に磁気特性が向上するようになる。従って、RH粉末の粒径は小さければ小さい方が望ましいが、粒径を小さくするにつれて、微細化のための手間やコストが大きくなる。この微細化のための手間やコストの点からRH粉末の粒径は2μm以上が望ましい。また、粒界拡散処理後の磁気特性と分布の一様性を勘案したRH粉末の粒径の上限は100μm、好ましくは50μm、更に好ましくは20μmである。
　RH粉末とシリコーングリースの重量混合比は所望のペースト粘度に調整すべく任意に選択できるが、RH粉末の比率が低ければ、粒界拡散処理の際にRH粉末が基材内部に侵入する量も低下してしまう。従って、RH粉末の比率は80wt%以上、好ましくは85wt%以上、更には90wt%以上がより好ましい。なお、シリコーングリースの量が5wt%未満になるとRH粉末との混合が不十分でペースト化できずシートへの塗布が困難になるので、シリコーングリースの量は5wt%以上が好ましい。また、粘度調整のために用いるシリコーンオイル等の混合比率は15wt%程度まで増やすことも可能であるが、それによってRH粉末の比率が低くなり、粒界拡散処理の際にRH粉末が基材内部に侵入する量も低下してしまうため、理想的には5wt%以下が好ましい。
　シート１０の塗布面を基材Ｓの塗布対象面（基材Ｓの上面と下面）に向け、互いに密着させる（図１(b)）。その後、シート１０で覆われた基材Ｓをトレイ１１に載置し（図１(c)）、加熱炉１２に入れ、不活性ガス雰囲気下又は無酸素下にてシート１０ごと基材Ｓの加熱処理（粒界拡散処理）を行う（図１(d)）。
　以上が本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法の概要であるが、必要であれば粒界拡散処理後に時効処理を施しても良い。
　本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法を、従来法と比較する。図１のように基材Ｓの上下の面に塗布物Ｒを塗布する場合、従来は、(a)トレイ１１にそのまま載せる（図２(a)）、(b)トレイ２１に基材の形状に略等しい孔を設け、その孔の縁に保持部２１１として段を設け、基材Ｓの下面の端部のみを保持する（図２(b)）、(c)トレイ３１に尖形状の支持部３１１を設け、トレイ３１と基材Ｓの下面の接触面積を最小限に抑える（図２(c)）、等の方法が用いられていた。
　これらのうち(a)の方法では、(i)基材Ｓの下面に塗布された塗布物Ｒが加熱処理の間にトレイ１１に付着し、塗布物Ｒの利用効率が低下する、(ii)トレイ１１に付着した塗布物Ｒが加熱処理によって溶着する、という問題がある。
　(b)の方法では、(i)保持部２１１を設けることにより、トレイ２１の製造コストが高くなる、(ii)基材Ｓを保持部２１１に載せる手間が必要になる、(iii)基材Ｓの形状や大きさ等に応じて保持部２１１の形状を変える必要がある、(iv)基材Ｓの下面の端部には塗布物Ｒを塗布することが難しい、という問題がある。
　(c)の方法では、(i)支持部３１１を設けることにより、トレイ３１の製造コストが高くなる、(ii)接触面積が最小限ではあっても、ある程度は塗布物Ｒが支持部３１１に付着する、(iii)トレイ３１に溶着した塗布物Ｒの除去が通常のトレイに比べて面倒である、という問題がある。
　これに対し、本実施例の方法では、(i)予め塗布物Ｒを塗布しておいたシート１０を基材Ｓに被せるだけで良いため、作業が高速化する、(ii)塗布物Ｒがトレイ１１に付着することを防ぐことができる、(iii)トレイ１１に(b)及び(c)の方法のような保持部や支持部を設ける必要がないため、コストを抑えることができる、という利点がある。
　本実施例の方法では、図３(a)に示すように、水平方向に並べた複数の基材Ｓの同じ側の面をまとめて、塗布物Ｒを塗布した１枚のシート１０（基材Ｓの上下両面を合わせて２枚のシート１０）で覆っても良い。また、図３(a)に示した塗布物Ｒを塗布した２枚のシート１０と複数の基材Ｓを合わせたもの（図３(a)の符号Ａ参照）を上下方向に複数段重ねることもできる（図３(b)）。上記(a)～(c)の従来法では、上下方向に複数段重ねる場合、段数分だけトレイが必要であり、また、下段にある基材Ｓの上面に塗布された塗布物Ｒが、上段のトレイの下面に付着しないように注意しなければならない。一方、本実施例の方法では容易に複数段重ねることができるため、大量生産に向いている。
　以上のように、本実施例の粒界拡散法によるNdFeB系焼結磁石の製造方法は、低コスト、高速化、大量生産に向いた方法である。
　なお、塗布物Ｒの粘性によっては、粒界拡散処理の間にシート１０が基材Ｓから剥離してしまうことがある。これを防ぐためには、図３(c)に示すように、最上段の上面側のシート１０の上に重し１３を載せることが望ましい。この重し１３及び／又は基材Ｓの重みによって、粒界拡散処理の間も各段の上下のシート１０は自然に基材Ｓと密着する。なお、図３(c)に示した方法ではシート１０と基材Ｓの密着性を高めるための手段として重し１３を用いたが、重し１３以外にも、プレスシリンダ等の機械的に圧力を加えるものを用いても良い。
　また、塗布物Ｒの使用量を節約するため、シート１０への塗布物Ｒの塗布領域を、基材Ｓを配置する部分のみに限定することも可能である（図３(d)）。その場合、基材Ｓを挟む上下のシート１０に塗布する塗布物Ｒの塗布領域は、基材Ｓの上下の面に対向する部分となるようにセットすることが必要となる。
　シート１０には、グラファイトシートを用いることができる。また、シート１０には、図４に示すような凹凸形状を設けることが望ましい。このようなシート１０は、図５に示すように、プレス型１４にグラファイトシート１０Ａを載せ、該グラファイトシート１０Ａの上にゴムシート１５を被せたうえでプレスすることにより、得ることができる。
　シート１０に凹凸形状を設けることにより、以下の利点が生じる。
　第１の利点は、図６(a)に示すように、塗布物Ｒをシート１０の塗布面に摩り切り一杯に塗布すれば、シート１０の塗布面側に設けた凹部の数及び容積によって、塗布物Ｒの量が簡単に決まることである。また、プレス型１４を予め複数用意しておけば、プレス型１４を交換し、シート１０を作製し直すだけで、基材Ｓへの塗布量を容易に調整することができる。また、シート１０が使用に耐えられなくなっても、簡単に且つ低コストで交換することができる。
　第２の利点は、基材Ｓとシート１０を十分に密着させることにより、基材Ｓの表面がシート１０の凹部の蓋のような役割を果たし、凹部に貯留された塗布物Ｒが漏出しにくくなることである（図６(b)）。これによって塗布物Ｒが基材Ｓの塗布対象面上に不均一に分布することを防ぐことができる。
　以上が、従来法と比較した、本実施例の方法の製造工程上の利点であるが、本実施例の方法による利点は、製造した磁石の磁気特性にも現れる。以下、本実施例の方法により製造した焼結磁石の磁気特性を表１に示す。また、比較例として、図２(c)に示すように載置した基材Ｓに粒界拡散処理を施すことにより製造した焼結磁石の磁気特性を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 なお、表１のBrは残留磁束密度（磁化曲線（J-H曲線）又は減磁曲線（B-H曲線）の磁場Hが0のときの磁化J又は磁束密度Bの大きさ）、Jsは飽和磁化（磁化Jの最大値）、HcBは減磁曲線によって定義される保磁力、HcJは磁化曲線によって定義される保磁力、(BH)Max、は最大エネルギー積（減磁曲線における磁束密度Bと磁場Hの積の極大値）、Br/Jsは配向度、HKは磁化Jが残留磁束密度Brの90%のときの磁界Hの値、SQは角型性（HK/HcJ）を示している。これらの数値が大きいほど、良い磁石特性が得られているということである。
　また、表１の基材Ｓ１は、表１の比較例と実施例の磁石の基材として使用する、厚さ方向が磁化方向である縦7mm×横7mm×厚さ4mmのNdFeB系焼結磁石である。比較例１及び比較例２は、図２(c)に示すように載置した基材Ｓ１に粒界拡散処理を施すことにより製造した磁石であり、比較例１は粒界拡散処理後に時効処理を行わなかった磁石、比較例２は比較例１の磁石に対して粒界拡散処理後に時効処理を行った磁石である。実施例１～４は本実施例の製造方法により得られた磁石であり、実施例１及び２は粒界拡散処理後に時効処理を行わなかった磁石、実施例３及び４はそれぞれ実施例１及び２の磁石に対して粒界拡散処理後に時効処理を行った磁石である。
　比較例１及び２と実施例１～４の粒界拡散処理はいずれも、室温から1時間かけて450℃まで昇温した後、450℃に保ったまま1時間加熱し、それから2時間かけて875℃まで昇温した後、875℃に保ったまま10時間加熱し、その後室温まで冷却することにより行った。
　比較例２と実施例３及び４の時効処理は、480℃で1.5時間加熱することにより行った。
　塗布物Ｒには、上記のTbNiAl合金粉末とシリコーングリースを重量比で80:20の割合で混合した混合物10gにシリコーンオイルを0.07g添加したペーストを使用した。また、比較例１及び２では、基材Ｓ１の7mm×7mmの両磁極面にそれぞれ10mgずつ、合計20mgのペーストを塗布した。実施例１～４では、2枚のシート１０にそれぞれ9mgずつ、合計18mgのペーストを塗布し、基材Ｓ１の両磁極面にそれぞれ貼り付けた後、2kgf/cm2(≒20MPa）の圧力（以下、この圧力のことを「密着圧」と称する）を印加することにより、サンプルＳ１にシート１０を密着させた。なお、密着圧は0.01kgf/cm2 (≒0.1MPa）～10kgf/cm2 (≒100MPa）の範囲とすることが望ましい。密着圧が0.01kgf/cm2より小さくては密着性が不十分となり、10kgf/cm2より大きくては量産に向かない。
　シート１０には、図４に示した凹凸形状を有するグラファイトシートを用いた。
　実施例のトレイ１１及び比較例のトレイ３１には、ジルコニア製の板を用いた。
　表１に示すように、比較例１及び２と実施例１～４の磁石はいずれも粒界拡散処理により基材Ｓ１に比べて保磁力HcJが大幅に向上する一方、残留磁束密度Brや最大エネルギー積(BH)Maxが僅かに低下するが、比較例１及び２の磁石の方が、実施例１～４の磁石よりこれらの磁気特性の変化の度合いが大きい。この比較例と実施例の磁気特性の違いは、塗布物Ｒの塗布量に起因するものと考えられる。
　一方、実施例１～４の磁石は、比較例１及び２の磁石に対し、角型性SQが向上していた。上述のように、ハードディスク等のボイスコイルモータ、ハイブリッド自動車や電気自動車の駆動用モータ、電動補助型自転車用モータ、産業用モータ、高級スピーカー、ヘッドホン、永久磁石式磁気共鳴診断装置等の用途に使用されるNdFeB系焼結磁石は高い保磁力HcJ、高い最大エネルギー積(BH)max及び高い角型比SQを有することが要求される。表１に示すように、本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法は、角型性の優れた焼結磁石を製造するのに好適な製造方法である。
　また、時効処理を施すことで、より角型性SQを向上させることができることが表１より分かる。
　次に、塗布物Ｒとして、上記のTbNiAl合金粉末とシリコーングリースを重量比でそれぞれ80:20の割合で混合した混合物10gにシリコーンオイルを0.03g添加したペーストを使用した場合の実験結果を表２に示す。この表２の実験で用いるペーストは、表１の実験で用いたペーストよりも粘性を高めたものである。
　なお、表２の基材Ｓ２は、比較例３～６及び実施例５～８の磁石を粒界拡散処理により製造する際の基材として使用する縦7mm×横7mm×厚さ4mmのNdFeB系焼結磁石である。また、比較例３～６に使用する塗布物の量は10mg×2の20mg、実施例５～８に使用する塗布物の量は7mg×2の14mgである。比較例３及び４、実施例５及び６は粒界拡散処理後に時効処理を行わなかった磁石、比較例５及び６、実施例７及び８はそれぞれ比較例３及び４、実施例５及び６の磁石に対して粒界拡散処理後に時効処理を行った磁石である。表２の粒界拡散処理、時効処理、密着圧、シート及びトレイの条件は、表１の実験条件と同じである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２に示すように、実施例５～８の磁石は比較例３～６の磁石に比べて保磁力HcJが低い。これは、粒界拡散処理の間にシート１０が基材Ｓから剥離したためである。本実施例のNdFeB系焼結磁石の製造方法では、粒界拡散処理中にシート１０が基材Ｓから剥離しないように、ペースト粘度に応じて、シート１０を基材Ｓに密着させる際の密着圧や、図３(c)及び(d)に示すような重し１３の有無、重し１３の重量の最適化を図ることが望ましい。
　表３に、表２の実施例５～８と同じ実験条件で、粒界拡散処理中に、シート１０を挟んで基材Ｓ２の上に基材1個（7mm角の面積）当たり36gの重し１３を載せることにより製造した磁石の磁気特性を示す。なお、表３の実施例９～１１は粒界拡散処理後に時効処理を行わなかった磁石、実施例１２～１４はそれぞれ実施例９～１１の磁石に対して粒界拡散処理後に時効処理を行った磁石である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表３の実験では、シート１０を挟んで基材Ｓ２の上に重し１３を載せることにより、粒界拡散処理の間、シート１０が基材Ｓ２から剥離することなく、両者の密着性を保つことができた。その結果、表３に示すように保磁力HcJが大幅に改善した。また、角型性SQについても、実施例１０及び１１では多少低いものの、実施例１０及び１１の磁石に対して時効処理を施した実施例１３及び１４の磁石では95%以上という極めて良好な結果が得られた。また、実施例１２の角型性SQは、他の比較例及び実施例の磁石と比較して最高値が得られた。
　なお、表３の実験では基材1個あたり36gの重し１３を用いたが、この実験において粒界拡散処理の間に印加する圧力は0.1MPa以上（基材1個あたり約5g以上）であれば、同等の結果が得られた。
　以上、本発明に係るNdFeB系焼結磁石の製造方法について実施例を用いて説明したが、本発明の製造方法はこれだけに限定されない。例えば、上記実施例では基材Ｓの上面と下面の両面にシート１０を介して塗布物Ｒを塗布する場合を示したが、製造磁石の用途によっては、一方の面にのみ塗布物Ｒを塗布する場合もある。このような場合には、もちろん一方の面にのみシート１０を被せるだけで良い。また、上面や下面以外にも、基材Ｓの側面にシート１０を貼り付けることも当然可能である。
１０…シート
１０Ａ…グラファイトシート
１１、２１、３１…トレイ
１２…加熱炉
１３…重し
１４…プレス型
１５…ゴムシート
２１１…保持部
３１１…支持部

Claims (11)

  1. 　重希土類元素を含む塗布物をNdFeB系焼結磁石の基材に塗布した後に、該塗布物が塗布された基材を加熱することにより、前記塗布物中の重希土類元素を該基材中に粒界を通じて拡散させる粒界拡散処理工程を含むNdFeB系焼結磁石の製造方法において、
    　シートに前記塗布物を塗布し、
    　前記シートに塗布された塗布物が前記基材の塗布対象面に接するように、該シートと該基材を密着させ、
    　前記シートごと前記基材を加熱することにより前記粒界拡散処理を行う、
    　ことを特徴とするNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  2. 　前記シートの塗布面側に、多数の凹部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  3. 　前記凹部の数又は深さを調整することによって、前記塗布物の量を調整することを特徴とする請求項２に記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  4. 　前記シートにグラファイトシートを用いることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  5. 　前記粒界拡散処理の間、前記シートを前記基材に密着させておくことを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  6. 　前記粒界拡散処理中に前記シートに圧力を印加し、前記基材と前記塗布物の密着性を高めることを特徴とする請求項５に記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  7. 　水平方向に並べた複数個の基材の同じ側の面を一枚のシートでまとめて覆うことを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  8. 　複数個の基材を、各基材の上面と下面をそれぞれシートで覆いつつ鉛直方向に重ねることを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  9. 　前記粒界拡散処理の後に時効処理を行うことを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  10. 　前記シートが、前記基材よりも前記重希土類元素の拡散性の低い素材であることを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
  11. 　前記シートが、前記粒界拡散処理において化学的、物理的に変化しない素材であることを特徴とする請求項１～１０のいずれかに記載のNdFeB系焼結磁石の製造方法。
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