WO2011151004A1 - Handhabungssystem zur handhabung von gegenständen - Google Patents

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telescopic arm
drive
handling system
telescopic
holding
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Michael Freund
Robert Eschmann
Lukas Küffer
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Festo SE and Co KG
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    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H10P72/3302—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • H10P72/3306—Horizontal transfer of a single workpiece

Definitions

  • the invention relates to a handling system for handling in particular plate-shaped objects, comprising a transport device which has at least one transfer unit which has object holding means which can be moved horizontally by carrying out a linear transfer movement, and which has drive means for producing the transfer movement.
  • Such handling systems are used, inter alia, in the solar and flat panel industry and serve there for handling plate-shaped objects, in particular to be coated glass plates.
  • DE 10 2005 039 453 AI describes a processing plant for processing flat substrates, which is equipped with a handling system of the type mentioned.
  • This known handling system has a transport device which has a plurality of guideways on which transfer units are mounted in such a way by means of guide carriages that they can be moved into a plurality of processing stations and there in each case opposite a processing module
  • Each transfer unit includes a flat box which defines a transfer chamber in which, for example, circulating steel belts are housed, which function as article holding means realized in the form of support means and on which the respective one to be handled Subject is filed.
  • a corresponding drive of these steel belts an object lying thereon is displaced transversely to the direction of travel of the transfer units and can be introduced into a processing module.
  • an article to be transferred as it is transferred to a processing module, gradually leaves the article holding means, compromising its stability and adversely affecting the accuracy of positioning of the article in the processing module.
  • a device for loading and unloading a press which is equipped with movable between different positions trolley.
  • Each trolley is provided on both longitudinal sides with clamping and suction devices, which are supported by movable transversely to the direction of travel of the trolley telescopic arms.
  • the telescopic arms allow the clamping and suction units to be positioned above plates to raise or lower them as needed.
  • the transfer unit has a support structure and at least one of the support having carried structure telescopic arm unit, wherein the Te ⁇ leskoparmaji includes a plurality in the direction of transfer movement relative to each other and relative to the support structure displaceable, parallel telescopic arms, including a drivable by the drive means drive telescopic arm and the object holding means exhibiting holding telescopic arm is located, wherein the drive telescopic arm and any telescopic arm disposed between the drive telescopic arm and the telescopic arm telescopic arm is equipped with a coupling device which contains a deflection around herum formaten, bend flexible tension cord, said arranged on the drive telescopic arm tension cord both with respect to the support structure as well as with respect to the adjacent him telescopic arm is fixed in place and wherein the holding telescopic arm is fixed in place with respect to the tension cord of the adjacent telescopic arm.
  • Umpositioniervorganges to be fixed to the article-holding means. This ensures optimum stability during article transfer and high precision when depositing at a designated location.
  • a part of the transfer unit namely the telescopic arms, carry along the transfer movement and may be able to move laterally beyond the usually remaining supporting structure and an object, for example a glass plate, with permanent support to a place next to the transfer unit, for example, in a processing module to spend.
  • the transfer unit can be kept very narrow transversely to the direction of the transfer movement, which allows the openings of possibly associated processing modules with a very small cross section in order to minimize the influence on the inside of the processing module atmosphere during the duration of opening by external influences.
  • An article to be transferred is held to the article support means disposed on the support telescoping arm and, together with them, is caused to move linearly by activating drive means engaging the drive telescoping arm.
  • the drive means cause a linear process of the drive telescopic arm, which due to the at least one existing coupling device has the effect that all other telescopic arms, including the holding telescopic arm, also perform a linear movement relative to the telescopic arm carrying them, which ultimately, based on the movement of the drive telescopic arm, a displacement and speed translation result.
  • the transfer unit has only two telescopic arms, namely a drive telescopic arm and a holding telescopic arm
  • the holding telescopic arm moves at twice the speed of the support structure acting as a base and twice as long as the drive telescopic arm.
  • With a total of three telescopic arms per Telekoparmisme results in a translation by the factor "3".
  • the telescopic arm unit is equipped with only two telescopic arms or with more than two telescopic arms depends in particular on the desired transfer distance and transfer speed.
  • the at least one telescopic arm unit contains a total of three telescopic arms, namely a drive telescopic arm, provided with an object holding means holding telescopic arm and an intermediate intermediate telescopic arm arranged therebetween.
  • the respective coupling device has a flexurally flexible, for example rope-shaped or band-shaped tensile strand, which is wrapped around deflecting means, in particular roll-shaped deflecting means. It is possible, the pull cord in one piece or in several parts, in particular from several successive Buchstrangabitesen, form.
  • the latter opens up the possibility of biasing one of the tension cord sections by means of a spring so that strains can be compensated by elasticity or temperature.
  • the transport device preferably contains a
  • Positioning device on which the at least one transfer unit is arranged and which makes it possible to move and position the transfer unit in a direction perpendicular to the transfer movement horizontal direction or in a vertical direction or both horizontally and vertically. In this way, repositioning objects can be moved with high flexibility in space.
  • a particularly advantageous construction of the telescopic arm unit provides that the existing telescopic arms are arranged horizontally next to one another transversely to their longitudinal axes. In this way, a small overall height of the telescopic arm unit can be realized. Particularly advantageous is a pertinent arrangement that extend all telescopic arms at least approximately in a common horizontal plane.
  • Adjacent telescopic arms are conveniently linear guide means linearly displaceable supported each other. Darü beyond the drive telescopic arm can also be slidably mounted by linear guide means on the support structure. This results in a high stability of the telescopic arm unit.
  • the linear guide means expediently each comprise at least one guide rail and at least one guide carriage mounted linearly displaceably on the guide rail and supported in the transverse direction.
  • the interaction of guide rail and guide carriage is effected by plain bearing means and / or rolling bearing means.
  • the linear guide means are preferably arranged transversely to their longitudinal axes horizontally next to each other, which allows the A attitude of a low overall height of the transfer unit All linear guide means may, for example, at least approaching in a common horizontal plane.
  • the drive means are expediently equipped with a drive unit which at least one in the direction having the transfer movement extending linear drive.
  • This linear drive is fixed in place on the support structure and has a drivable to a linear output movement driven part which is coupled for movement with the drive telescopic arm.
  • the drive unit electrically actuated, in particular equipped with an electric servomotor or stepper motor, a design is preferred in which the drive unit has at least one fluid-operated and preferably rodless linear drive.
  • a fluid-actuated linear drive has the advantage that it is easily vacuum-compatible, which ensures particularly universal application possibilities.
  • the drive unit is equipped with at least two parallel-connected and drive-coupled linear drives.
  • the at least one transfer unit could be equipped with only a single telescopic arm unit.
  • a design is considered to be particularly advantageous which has at least two telescoping arm units arranged horizontally next to each other transversely to the direction of the transfer movement and which are arranged together on one and the same support structure.
  • These two or more than two telescoping arm units are drivingly synchronized, so that their holding telescopic arms equipped with article-holding means are always synchronously extendable and retractable.
  • the double arrangement of Teleskoparmicaen offers the advantageous possibility of a particularly stable and precise support of objects to be transported, while high torsional rigidity and small footprint.
  • the telescopic arm units are in particular arranged horizontally next to one another in such a way that, in the extended state, they protrude laterally in the manner of an at least two-pronged fork over the preferably plate-shaped support structure.
  • the drive unit is, as seen in a vertical plan view of the transfer unit, expediently arranged between the two telescopic arm units, preferably centrally between these two telescopic arm units. Then, the drive telescopic arms of both telescopic arm units are coupled for movement via at least one driver to the output part of the at least one linear drive of the drive unit.
  • a driver at least one flexible strand, such as a steel cable or a steel strip, can be used.
  • a permanently particularly high precision with relatively simple production offers a design in which the driver is designed like a strut and rigidly connects the drive telescopic arms while bridging the space between them.
  • This driver may for example be designed plate-shaped. It may extend above or, preferably, below the drive unit past the latter, wherein it may be fastened to the output part of the at least one linear drive.
  • the transfer unit has, in the retracted state of the at least one telescopic arm unit, a starting outline that can be labeled as a base outline.
  • a starting outline that can be labeled as a base outline.
  • both the object holding means and the drive means are located.
  • the at least one telescopic arm unit is advantageously ensured that in the extended State of the telescopic arm while the drive means continue to lie within the base outline, the telescopic arm unit (s) and in particular the article-holding means, however, at least partially protrude laterally beyond the base outline. In this way, an object held on the article-holding means, which in the retracted state of the telescoping arm unit (s) lies within the base outline, can be completely transferred out of the base outline, while retaining the support of the object carrying it. holding means.
  • the article-holding means are in particular realized as a support means on which the object to be transported can be placed, so that it is retained for example due to friction.
  • the article may be undermined and then lifted by the article-holding means for its picking up.
  • the support means are arranged on the upwardly facing longitudinal side of the holding telescopic arm, selectively distributed support elements formed, which may consist of an elastically yielding material.
  • the article holding means can also be designed as gripping means.
  • they can consist of one or more suction pads, which hold a transportable object with negative pressure.
  • grippers are electrostatic grippers, as described for example in DE 102 32 080 AI or WO 2004/077531 AI.
  • these article-holding means may for example be arranged exclusively on the at least one holding telescopic arm be.
  • article holding means which have a holding plate which is equipped, for example, with support elements arranged on the upper side or with gripping means of the previously described kind arranged on the underside.
  • the holding plate may for example be attached to the top or bottom of the holding telescopic arms. It is also possible to operate the transfer unit with 180 ° orientation.
  • the at least one transfer unit is equipped with position detection means, in particular in the form of a position measuring system, with which the current position of the object holding means can be detected directly or indirectly.
  • the position detection device cooperates expediently with a drive telescopic arm.
  • the handling system can be readily conceived such that the telescoping arm units are horizontally extendable and positionable relative to the preferably plate-like support structure starting from a retracted basic position in two opposite directions.
  • processing modules arranged on opposite sides of a transfer unit and, for example, to take objects from a processing module arranged on one side of the transfer unit and to feed into a processing module arranged on the other side of the transfer unit to hand over.
  • a movement stop in the retracted home position is not mandatory.
  • FIG. 1 shows a partially schematized plan view of a preferred embodiment of the handling system according to the invention in connection with a processing plant, wherein the existing Teleskoparmikien are shown in the retracted basic position and wherein a transportable plat- tenförmiger object is indicated by dash-dotted lines,
  • Figure 2 is an end view of the arrangement of Figure 1 with
  • FIG. 3 shows a side view of the transfer unit present in the handling system of FIGS. 1 and 2, looking in the direction of arrow III from FIG. 1,
  • FIG. 4 shows a top view of the transfer unit shown in FIGS. 1 to 3 in an intermediate position of the telescopic arm units, which lies between the retracted basic position and the extended end position, wherein an object to be transferred is again shown with a dot-dash line
  • FIG. 4 is a side view of the transfer unit from FIG. 4 looking in the direction of arrow V
  • a top view of the transfer unit with telescopic arm units moved into the extended end position and with dash-dotted illustration of an article to be transferred a side view of the transfer unit from FIG. 6 looking in the direction of arrow VII
  • an end view of FIG 1 a schematic side view of the transfer unit with viewing direction according to arrow II in the retracted basic position of a transport unit
  • FIG. 1 shows a schematic side view of the transfer unit, as seen in the transfer unit of FIGS.
  • FIG. 10 shows the arrangement from FIG. 9 with the telescopic arm unit partially extended in accordance with a side view according to arrow V from FIG. 4, and FIG.
  • Figure 11 shows the arrangement of Figures 9 and 10 in a side view according to arrow VII of Figure 6 for the illustration of the extended end position of a Teleskoparmiser.
  • FIG. 1 schematically shows a detail of a processing device 1 in which objects 2, in particular flat or plate-shaped objects 2, can be processed.
  • the processing Device for a device for coating glass plates in the solar and / or flat screen industry.
  • the processing device 1 contains, by way of example, a loading / unloading module 3 and a plurality of processing modules 4, which are arranged lying one after the other in a row.
  • a handling system 5 is arranged, which is able to remove objects to be processed 2 from the loading / unloading module 3 and spend in one of the processing modules 4, and to remove after processing from the respective processing module 4 and again to return to the loading / unloading module 3 for slipping out of the processing device 1.
  • the handling system 5 can also be used for repositioning objects 2 between different processing modules 4.
  • An essential component of the handling system 5 is a transport device designated in its entirety by reference numeral 6.
  • the same comprises at least one transfer unit 7 and expediently also serving for the desired method and positioning of the transfer unit 7
  • the positioning device 8 has a linear guide 12, which enables a process of the transfer unit 7 in a horizontal, first traversing direction 13.
  • the transfer unit 7 is expediently mounted on the linear guide 12 by means of a lifting device 14, which makes it possible to move the transfer unit 7 in a direction perpendicular to the first direction of travel 13, vertical second travel direction 15.
  • One or more drive means, not shown, of the positioning device 8 allow the travel drive of the transfer unit 7 in order to be able to cause the said movement movements 13, 15.
  • the transfer unit 7 can be moved along the row of modules 3, 4 in order to be able to position each of the modules 3, 4 horizontally opposite one another. If all the modules 3, 4 are at the same height, the vertical second movement possibility 15 of the transfer unit 7 can be dispensed with.
  • a transfer unit 7 is intended to serve only a single module or two modules located opposite one another on opposite sides of the transfer unit, the horizontal and / or vertical movement possibilities of the transfer unit 7 can also be dispensed with. In this case, one saves a consuming constructed positioning 8.
  • Each module 3, 4 has a not shown, normally closed opening, which faces the transport device 6.
  • the transport unit 7 can be positioned in the exemplary embodiment by methods in the first direction of travel 13 so that it faces one of the openings of the modules 3, 4.
  • the loading / unloading module 3 serves to feed and dispose plate-shaped objects 2 to be processed.
  • the transfer unit 7 can pick up an item 2 located in the loading / unloading module 3, bring it out, move it into the area opposite a processing module 4 and then, after having previously released the associated opening, insert it into the selected processing module 4 and place it there. In this way, an object 2 can be transferred between the loading / unloading module 3 and a processing module 4. Reverse transfers are also possible and also subject transfers between different processing modules
  • the transfer unit 7, which may be present once or several times, contains an expediently plate-shaped and preferably horizontally oriented support structure 16. This exemplarily defines a horizontally extending, vertically upwardly pointing support plane 16a. About this support structure 16, the transfer unit 7 is fixed to the positioning device 8. In other words, it works
  • Positioning device 8 on the support structure 16 is able to move selbige in the first direction of travel 13 and, optionally, in the second direction of travel 15.
  • the support structure 16 carries in the region of the supporting plane 16a two telescopic arm units 17, 18, each containing a plurality of telescopic arms 22 which are movable relative to each other and also each with respect to the support structure 16 by executing a direction indicated by a double arrow linear transfer movement 23.
  • the transfer movement 23 is oriented horizontally and, in the exemplary embodiment, runs at right angles to the first travel direction 13 and also to the optional second travel direction 15.
  • Each telescopic arm 22 has a longitudinal shape. All telescopic arms 22 are aligned with their longitudinal direction parallel to the transfer movement 23.
  • the two transfer units 17, 18 transversely and in particular at right angles to the direction of
  • Transfer movement 23 arranged at a distance horizontally next to each other.
  • the support structure 16 carries together both Teleskoparmiseren 17, 18th
  • each telescopic arm unit 17, 18 contains a total of three telescopic arms 22. Specifically, these are a drive telescopic arm 22a, a holding telescopic arm 22c and an intermediate these two telescopic arms 22a, 22c arranged intermediate telescopic arm 22b.
  • the drive telescopic arm 22a is mounted so as to be linearly displaceable on the support structure 16 by means of first linear guide means 24a for carrying out the transfer movement 23.
  • first linear guide means 24a for carrying out the transfer movement 23.
  • adjacent telescopic arms 22a, 22b, 22c are mounted so as to be linearly displaceable relative to one another and, secondly, that the drive telescopic arm 22a is displaceably mounted on the support structure 16.
  • each telescopic arm 22 is expediently shaped like a spar, although it can be composed of several components.
  • the designation of the "holding telescopic arm” 22c is due to the fact that it is equipped with article holding means 25 in the embodiment of its vertically upwardly facing upper side.
  • support means 25 designed as support means can also be directly from the upwardly facing, in particular flat, outer surface of the holding telescopic arm 22c It is expedient if the article holding means 25 designed as a support means have non-slip properties.
  • the object holding means 25 allow the loose laying of the object to be transferred 2.
  • An object to be transferred or transported 2 is thus placed from above on the two Teleskoparmismeen 17, 18, where at he, as illustrated in the drawing, the bridged between the adjacent Teleskoparmikien 17, 18 intermediate space 26 and rests on the object - holding means 25 of both holding telescopic arms 22c rattle safely.
  • the article-holding means 25 may for example also be designed as gripping means which engage an object to be transferred, in particular from below or from above.
  • gripping means are realized, for example, in the form of vacuum grippers or on the basis of electrostatic grippers. Also mechanical grippers are possible.
  • the gripping means may, as in the embodiment, the support means, be arranged at the top of the respective holding telescopic arm, wherein the Teleskoparmikien or the entire transfer unit 7, depending on whether an object is to be taken from below or from above, either in the Orientation shown in the drawing operates or in a rotated by 180 ° orientation, - so quasi upside down - so that in the embodiment facing upwards side of the holding telescopic arms facing down.
  • the transfer movement 23 can be caused by drive means 27.
  • the latter are arranged by way of example on the support structure 16, in particular on the support plane 16a, and are in drive connection with each drive telescopic arm 22a.
  • Each adjacent directly telescoping arms 22a, 22b; 22b, 22c are each drivingly coupled by a coupling device 28. By this coupling is achieved that from the caused by the drive means 27 transfer movement 23 of the drive telescopic arm 22a a
  • Transfer movement 23 of the subsequent intermediate telescopic arm 22b is generated, wherein from the transfer movement 23 of this intermediate telescopic arm 22b, the transfer movement 23 of the holding telescopic arm 22c is generated.
  • a first coupling device 28 arranged on the drive telescopic arm 22a has two deflection means 32 arranged at an axial distance from one another on the drive telescopic arm 22a, preferably in the form of deflection rollers rotatably mounted on the drive telescopic arm 22a, and a loop wrapped around these two deflection means 32.
  • bend-flexible tension cord 33 is in particular a rope or a band, preferably of metal or of a high-tensile plastic material. Shown is a one-piece variant of the pull string 33, but this may readily consist of several successively arranged strand parts or strand sections.
  • a comparably formed further coupling device 28 is arranged, whose component Nenten in the drawing with identical reference numerals.
  • Each tensile strand 33 can execute a reciprocating orbital movement (double arrow 30) about the deflection means 32 that it is looped around.
  • strand spaces 33a, 33b extending between the deflection means 32 each move in one or the other direction of the transfer movement 23.
  • Each tensile strand 33 has, by way of example, a first strand strand 33a and a second strand strand 33b.
  • the tensile strand 33 arranged on the drive telescopic arm 22a is fixed in a stationary manner with its first strand strand 33a to at least one fastening point 34 on the support structure 16.
  • the second strand run 33b of this tensile strand 33 is fixed in place on at least one second attachment point 35 on the telescopic arm 22 adjacent to the drive telescopic arm 22a, which by way of example is the intermediate telescopic arm 22b.
  • the tension cord 33 of the intermediate telescopic arm 22b As far as the tension cord 33 of the intermediate telescopic arm 22b is concerned, its first strand strand 33a is fixedly fixed to the intermediate telescopic arm 22b at at least one third attachment point 36b and its second strand strand 33b is fixed to the retaining telescopic arm 22c at at least one fourth attachment point 37 ,
  • the latter means that the holding telescopic arm 22c is fixed at least stationary with respect to the tension cord 33 of the adjacent telescopic arm 22, which is formed in the embodiment of the intermediate telescopic arm 22b.
  • the stationary fixation of the holding device takes place. Teleskoparmes 22a accordingly at the second strand strand 33b of the drive -Teleskoparm 22a arranged pull string 33rd
  • attachment tabs 38 which are able to bridge existing distances.
  • each telescopic arm unit 17, 18 starting from the basic position by corre sponding activation of the drive means 27 optionally in the egg ne or other axial direction.
  • the transport device 6 is able to operate modules 3, 4 arranged on both sides of the transfer unit 7.
  • the transfer unit 7 in a plan view from above, it has in the retracted state of the telescopic arm units 17, 18, as shown in FIGS. 1 to 3 and 9, a base outline 42 defined in the embodiment by the outline of the plate-shaped support structure 16.
  • a base outline 42 defined in the embodiment by the outline of the plate-shaped support structure 16.
  • both the object-holding means 25 and the drive means 27 are located in an outline. More precisely, in the retracted basic position, both telescopic arm units 17, 18 are arranged completely within the base contour 42.
  • the transfer unit 7 easily in the first Moving direction 13 along the laterally arranged adjacent modules 3, 4 are moved.
  • FIGS. 4, 5 and 10 show how the article holding means 25 gradually move sideways out of the base outline 42 when the telescoping arm units 17, 18 are actuated.
  • FIGS. 4, 5 and 10 illustrate an intermediate position, in which the article support means 25 lie partially outside the base outline 42.
  • the transfer unit 7 assumes a position opposite the opening of a module 3, 4 and if the opening of the respective module 3, 4 is released, the telescopic arm units 17, 18 completely engage the object holding means 25 when the extended end position is taken up , 4 on.
  • an object 2 can be easily removed from a module 3, 4 or stored in a module 3, 4, wherein it is held stationary during the entire transfer to the article-holding means 25.
  • the object-holding means 25 are retracted in the lowered position in the second travel direction 15 of the transfer unit 7 into the relevant module until they are below the male object 2, whereupon they are lifted until the article 2 rests on the article holding means 25. Now the telescopic arm unit 17, 18 can be moved out together with the resting object 2 from the relevant module 3, 4.
  • the deposition of an object 2 in a module 3, 4 is done in reverse sequence of movements.
  • the article holding means 25 are used together with the article 2 in the Transfer direction 23 retracted into the module 3, 4.
  • the transfer unit 7 and consequently the article holding means 25 are lowered so that the object 2 is deposited on support means arranged within the module 3, 4 and subsequently the telescope arm units 17, 18 are moved out of the module 3, 4 without article 2 can be.
  • the article holding means 25 are designed as gripping means which can grasp an object from above, the at least one holding telescopic arm 22c for receiving an article 2 above it is retracted into a module 3, 4.
  • the transfer unit 7 can then be lowered for a short time.
  • the at least one holding telescopic arm 22 c is retracted with object 2 hanging thereon in the relevant module, whereupon the generated gripping force is removed, so that the object 2 dissolves.
  • the drop can be combined with a short-term vertical movement.
  • the two Teleskoparmismeen 17, 18 extend from the base outline 42, they have in the embodiment together the structure of a two-pronged fork.
  • Each Teleskoparmiser 17, 18 corresponds to a forks, the interposed space 26 is preferably completely free.
  • the intermediate space 26 existing between adjacent telescopic arm units 17, 18 is at least partially occupied at least in that area in which the holding telescopic arms 22c are located.
  • the object holding means 25 in this case have a holding plate which adjoins the holding telescopic arms 22c. Barter Teleskoparmikien 17, 18 is fixed while bridging the gap 26.
  • either supporting means for placing the object to be transported can be present on this holding plate or gripping means for actively gripping the object 2 to be transferred.
  • a plurality of gripping units can be provided as gripping means, which are distributed over the holding plate over a large area and which, for example, as Suction gripper or designed as electrostatic grippers or as a mechanical gripper. In this way, an object to be handled can be detected over a large area and thus very securely, even if it is relatively thin.
  • the mentioned holding plate would be expediently arranged on the vertically upward-facing side, in particular in such a way that it extends over a plurality of holding telescopic arms 22c and bridges the intermediate space 26 therebetween. If the transfer unit 7 in this case be equipped with gripping means which engage an object 2 from above, one will use the Teleskoparmismeen 17, 18 and suitably the entire transfer unit 7, however, in a reversed position by 180 °. As a result, the objects to be transferred can be conveniently transported suspended below the transfer unit.
  • the drive means designated in its entirety by reference numeral 27 preferably include a drive unit 43, which has at least one in the direction of the transfer movement 23 extending linear drive 44, 45.
  • This at least one linear drive 44, 45 is with respect to the support Structure 16 fixed in place and in particular attached to the upwardly facing support plane 16 a of the support structure 16.
  • the drive unit 43 is preferably arranged centrally between the two Teleskoparmiseren 17, 18, wherein it extends parallel to these.
  • the drive unit 43 lies entirely within the base outline 42.
  • the drive unit 43 includes two with parallel alignment side by side arranged side by side linear actuators 44, 45. In this way, in a compact size, a high driving force can be generated.
  • the drive unit 43 could in principle consist of one or more electrical drives, for example, an electric servomotor or stepper motor.
  • an electric servomotor or stepper motor for example, an electric servomotor or stepper motor.
  • a refinement in fluid-actuated design has proved to be particularly advantageous, in particular in the form of a pneumatically actuatable drive unit 43.
  • the linear drives 44, 45 expediently each have an elongated, fixed to the support structure 16 stator 46 and a relative to the stator 46 in its longitudinal direction linearly movable output member 47.
  • the stator 46 is attached to the support structure 16.
  • the output member 47 can be driven to a coincident with the direction of the transfer movement 23 output motion.
  • each stator 46 consists of a tubular body in which a linearly displaceable by fluid actuation drive piston is arranged, which is coupled in motion with the outside of the stator 46 linearly displaceably arranged driven part 47.
  • This motion coupling can be mechanical, however, is advantageously carried out in an embodiment contactless in that the drive piston is coupled in motion with the output member 47 by a magnetic permanent magnet magnetic means.
  • Such a system has the advantage that it can be performed absolutely fluid-tight, since there are no dynamic seals with respect to the drive fluid.
  • the two linear drives 44, 45 are functionally connected in parallel, thus driving the Teleskoparmiseren 17, 18 each at the same time and in the same direction.
  • the two drive telescopic arms 22a are drivingly connected to the driven parts 47 in synchronously drivable manner.
  • the drive connection is expediently realized by means of a rigid driver 48 which extends striven * perpendicular to the transfer direction 23 between the two drive -Teleskoparmen 22a, wherein it bridges the gap 26 and is rigidly attached to both drive telescopic arms 22a.
  • the driver 48 is plate-shaped or strip-shaped, wherein it extends either above or below the driven parts 47 transversely to these.
  • the two output members 47 are passed by the driver 48 below. Lead the
  • driver 48 for example one or more cable-shaped or band-shaped drivers which have a drive connection between them. see the create at least one output member 47 and a respec conditions drive telescopic arm 22a.
  • Such ropes or bands are suitably made of steel.
  • each telescopic arm unit 17, 18 are expediently arranged horizontally next to each other transversely to their longitudinal axes and thus transversely to the transfer direction 23. In this case, they can in particular extend at least approximately in a common horizontal plane 52 indicated in FIG.
  • Such a longitudinally adjacent arrangement de telescopic arms 22 allows compliance with very small height dimensions for the Teleskoparmiser 17, 18th
  • linear guide means 24a, 24b, 24c are arranged horizontally next to each other horizontally to their longitudinal axes, whereby they also expediently extend at least approximately in a common horizontal plane 52 Kings NEN.
  • the two drive telescopic arms 22a are expediently located on the outside, while the holding telescopic arms 22c are located on the inside.
  • the term "inside” is to be understood as that longitudinal side of each telescope unit 17 18, which faces the respective other telescope unit 18, 17.
  • linear guide means 24a, 24b, 24c each have at least one and preferably exactly one linearly extending guide rail 53 and at least one on this guide rail 23 linearly displaceably mounted and supported in the transverse direction guide carriage 54.
  • the guide rail 53 is fixed to the one, the guide carriage 54 at the other of the relative zuei each other to be stored components.
  • the guide rail 53 of the first linear guide means 24a is arranged on the support structure 16. It sits in particular on the upwardly facing side of a towering from the support structure 16 supporting spar 55.
  • the associated guide carriage 54 is fixed to the drive telescopic arm 22a.
  • the guide rail 53 of the second linear guide means 24b is fastened on the drive telescopic arm 22a, expediently on a longitudinal side pointing toward the other telescopic arm unit 17 or 18.
  • the associated guide carriage 54 is fixed to the intermediate telescopic arm 22b.
  • Each guide carriage 54 expediently overlaps the associated guide rail 53 in a rider-like manner.
  • each guide carriage 54 may be U-shaped.
  • the guide carriages 54 are oriented so that their U-openings are directed downwards in the case of the first linear guide means 24a and, in the case of the second and third linear guide means 24b, 24c, in the direction of the guide Carriage 54 of the first linear guide means 24a are oriented.
  • the transfer unit 7 expediently has position detection means 56.
  • the same are preferably realized in the form of a position measuring system, with which any position of the object holding means 25 in the
  • Transfer direction 23 can detect.
  • the position of the object holding means 25 is expediently not detected directly, but only indirectly, by detecting the position of at least one drive telescopic arm 22a. Since there is a fixed relationship between the relative movements of the individual telescopic arms 22 of each telescopic arm unit 17, 18, the position detection of a drive telescopic arm 22a can very precisely affect the position of the object holding means 25 or the holding telescopic arms 22c having these object holding means 25 getting closed.
  • the position detecting means 56 are suitably arranged alongside a telescopic arm unit 18, one of which is arranged on the support structure 16 and the other on the drive telescopic arm 22a of the components of the position detecting means 56 to be moved relative to each other.
  • the particular advantage of the telescopic arm system 17, 18 realized in the exemplary embodiment is the optimum adaptation to the spatial and technical conditions of the application.
  • By using two Teleskoparmakuen 17, 18 is used optimally with little effort of the available space, whereby an optionally existing vacuum chamber of the processing apparatus 1 relative can be made small.
  • all of its components are under vacuum, with very high temperatures prevailing in the process chambers present in the processing modules 3.
  • the fluidically and in particular pneumatically actuated drive means 27 are particularly predestined.
  • the transfer unit 7 in the direction of the transfer movement 23 can be made very narrow.
  • the width of the transfer unit 7 is very low in the retracted basic position of the telescopic arm 17, 18.
  • the telescopic arm units 17, 18 can advantageously be extended either in one direction or the other.
  • the drive means 27 are expediently designed so that the at least one driven part 47 in the retracted basic position occupies a central position between the two oriented in the axial direction of the transfer movement 23 end faces of the Teleskoparmismeen 17, 18.
  • the driven parts 47 travel either in the direction of the one or the other side edge of the support structure 16, starting from the middle position.
  • each telescopic arm unit 17, 18 can be summarized in particular to the effect that in each case at least one based on a cable principle coupling device 28 is present.
  • About particular designed as pulleys guide 32 is formed by means of rope or band-shaped tension cords a closed ring. At this pulley then the two are relative to each other attached to moving components of each immediately adjacent telescopic arms 22.
  • the next telescopic arm coupled thereto moves at twice the speed and twice the travel distance.
  • the third telescopic arm functioning as the holding telescopic arm 22c moves as compared to the first telescopic arm 22 forming the drive telescopic arm 22a at three times the speed of the triple path "3s".

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Abstract

Es wird ein Handhabungsgerät zur Handhabung plattenförmiger Gegenstände vorgeschlagen, die mindestens eine Transfereinheit (7) aufweist, die unter Ausführung einer linearen Transferbewegung (23) horizontal verfahrbare Gegenstands-Haltemittel (25) aufweist. Die Transfereinheit (7) verfügt weiterhin über eine Tragstruktur (16) und mindestens eine von dieser getragene Teleskoparmeinheit (18). Die Teleskoparmeinheit (18) setzt sich aus mehreren Teleskoparmen (22) zusammen, die mittels Koppeleinrichtungen (28) antriebsmäßig verbunden sind. Die Koppeleinrichtungen (28) enthalten einen um Umlenkmittel (32) umlaufenden biegeflexiblen Zugstrang (33). Durch diese Bauform können die Gegenstands-Haltemittel (25) trotz schmaler Bauweise der Transfereinheit (7) über eine relativ große Wegstrecke verfahren werden.

Description

Handhabungssystem zur Handhabung von Gegenständen
Die Erfindung betrifft ein Handhabungssystem zur Handhabung von insbesondere plattenförmigen Gegenständen, mit einer Transportvorrichtung, die mindestens eine Transfereinheit aufweist, die über unter Ausführung einer linearen Transferbewegung horizontal verfahrbare Gegenstands -Haltemittel verfügt, und die Antriebsmittel zum Hervorrufen der Transferbewegung aufweist .
Derartige Handhabungssysteme werden unter anderem in der Solar- und Flachbildschirm- Industrie eingesetzt und dienen dort zur Handhabung plattenförmiger Gegenstände, insbesondere zu beschichtender Glasplatten. Die DE 10 2005 039 453 AI beschreibt eine Bearbeitungsanlage zur Bearbeitung flächiger Substrate, die mit einem HandhabungsSystem der eingangs genannten Art ausgestattet ist. Dieses bekannte HandhabungsSystem weist eine Transportvorrichtung auf, die über mehrere Führungsbahnen verfügt, an denen unter Vermittlung von Führungsschlitten Transfereinheiten derart gelagert sind, dass sie in mehrere Bearbeitungsstationen verfahrbar und dort jeweils gegenüberliegend eines Bearbeitungsmoduls
positionierbar sind. Jede Transfereinheit enthält einen flachen Kasten, der eine Transferkammer begrenzt, in der beispielsweise umlaufende Stahlbänder untergebracht sind, die als in Form von Auflagemitteln realisierte Gegenstands- Haltemittel fungieren und auf denen der jeweils handzuhabende Gegenstand abgelegt ist . Bei entsprechendem Antrieb dieser Stahlbänder wird ein darauf liegender Gegenstand quer zur Verfahrrichtung der Transfereinheiten verlagert und kann in ein Bearbeitungsmodul eingeführt werden. Da die Stahlbänder bei diesem Gegenstandstransfer an Ort und Stelle verbleiben, verlässt ein zu transferierender Gegenstand bei der Übergabe in ein Bearbeitungsmodul allmählich die Gegenstands - Haltemittel, was seine Stabilität beeinträchtigt und sich nachteilig auf die Genauigkeit des Positionierens des Gegenstandes in dem Bearbeitungsmodul auswirkt .
Aus der DE 196 06 132 AI ist eine Vorrichtung zum Beschicken und Entleeren einer Presse bekannt, die mit zwischen verschiedenen Positionen verfahrbaren Transportwagen ausgestattet ist. Jeder Transportwagen ist an beiden Längsseiten mit Klemm- und Saugeinrichtungen versehen, die von quer zur Verfahrrichtung der Transportwagen bewegbaren Teleskoparmen getragen sind. Mithilfe der Teleskoparme können die Klemm- und Saugeinheiten oberhalb von Platten positioniert werden, um diese nach Bedarf anzuheben oder abzulegen.
Die DE 19 25 367 U beschreibt eine Arbeitsbühne mit einer durch Teleskoptragarme verfahrbaren Plattform. Weitere Vorrichtungen mit Teleskoparmen offenbaren auch die
FR 2 611 826 AI, die EP 0 362 680 A2 , DE 91 10 687 Ul und die US 4, 907, 768.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Handhabungssystem der eingangs genannten Art zu schaffen, das trotz platzsparender Bauweise einen präzisen Transfer von Gegenständen ermöglicht.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, dass die Transfereinheit eine Tragstruktur und mindestens eine von der Trag- struktur getragene Teleskoparmeinheit aufweist, wobei die Te¬ leskoparmeinheit mehrere in Richtung der Transferbewegung relativ zueinander und relativ zu der Tragstruktur verschiebbare, zueinander parallele Teleskoparme enthält, unter denen sich ein durch die Antriebsmittel antreibbarer Antriebs- Teleskoparm und ein die Gegenstands-Haltemittel aufweisender Halte-Teleskoparm befindet, wobei der Antriebs-Teleskoparm und jeder eventuell zwischen dem Antriebs-Teleskoparm und dem Halte-Teleskoparm angeordnete Teleskoparm mit einer Koppeleinrichtung ausgestattet ist, die einen um Umlenkmittel herumgeschlungenen, biegeflexiblen Zugstrang enthält, wobei der am Antriebs-Teleskoparm angeordnete Zugstrang sowohl bezüglich der Tragstruktur als auch bezüglich des ihm benachbarten Teleskoparmes ortsfest fixiert ist und wobei der Halte-Teleskoparm ortsfest bezüglich des Zugstranges des ihm benachbarten Teleskoparmes fixiert ist.
Auf diese Weise besteht die Möglichkeit, einen umzu- positionierenden Gegenstand während des gesamten
Umpositioniervorganges an den Gegenstands-Haltemitteln fixiert zu lassen. Dies gewährleistet eine optimale Stabilität während eines Gegenstandstransfers sowie eine hohe Präzision beim Ablegen an einer dafür vorgesehenen Stelle. Ein Teil der Transfereinheit, nämlich die Teleskoparme, machen die Transferbewegung mit und sind gegebenenfalls in der Lage, seitlich über die in der Regel ortsfest verbleibende Tragstruktur hinauszufahren und einen Gegenstand, zum Beispiel eine Glasplatte, bei dauerhafter Unterstützung an einen neben der Transfereinheit befindlichen Ort, beispielsweise in ein Bearbeitungsmodul, zu verbringen. Die Transfereinheit kann bei Bedarf quer zur Richtung der Transferbewegung sehr schmal gehalten werden, was es erlaubt, die Öffnungen eventuell zugeordneter Bearbeitungsmodule mit sehr kleinem Querschnitt auszuführen, um die im Innern des Bearbeitungsmoduls herrschenden Atmosphäre während der Dauer des Öffnens durch äußere Einflüsse möglichst wenig zu beeinträchtigen.
Ein zu transferierender Gegenstand ist an den am Halte- Teleskoparm angeordneten Gegenstands-Haltemitteln gehalten und wird zusammen mit diesen zu einer linearen Transferbewegung veranlasst, indem an dem Antriebs-Teleskoparm angreifende Antriebsmittel aktiviert werden. Die Antriebsmittel rufen ein lineares Verfahren des Antriebs-Teleskoparmes hervor, was aufgrund der mindestens einen vorhandenen Koppeleinrichtung den Effekt hat, dass alle weiteren Teleskoparme, einschließlich des Halte-Teleskoparmes , ebenfalls eine Linearbewegung relativ zu dem sie tragenden Teleskoparm ausführen, was letztlich, bezogen auf die Bewegung des Antriebs- Teleskoparmes, eine Weg- und Geschwindigkeitsübersetzung zur Folge hat. Verfügt die Transfereinheit beispielsweise über lediglich zwei Teleskoparme, nämlich einen Antriebs- Teleskoparm und einen Halte-Teleskoparm, bewegt sich der Halte-Teleskoparm bezogen auf die als Basis fungierende Tragstruktur mit doppelter Geschwindigkeit und um die doppelte Wegstrecke wie der Antriebs-Teleskoparm. Bei insgesamt drei Teleskoparmen pro Telekoparmeinheit ergibt sich eine Übersetzung um den Faktor „ 3 " .
Ob die Teleskoparmeinheit mit nur zwei Teleskoparmen oder mit mehr als zwei Teleskoparmen ausgestattet wird, hängt insbesondere von der gewünschten Transferstrecke und Transfergeschwindigkeit ab. In aller Regel ist es empfehlenswert, zwischen den Antriebs-Teleskoparm und den Halte-Teleskoparm mindestens einen als Zwischen-Teleskoparm bezeichenbaren weiteren Teleskoparm einzugliedern, der dann seinerseits mit den jeweils benachbarten Teleskoparmen über eine Koppeleinrichtung antriebsmäßig gekoppelt ist. Als derzeit optimal hin- sichtlich des Verhältnisses zwischen Aufwand und Nutzen wird eine Ausgestaltung angesehen, bei der die mindestens eine Teleskoparmeinheit insgesamt drei Teleskoparme enthält, nämlichen einen Antriebs-Teleskoparm, einen mit Gegenstands- Haltemitteln versehenen Halte-Teleskoparm und einen dazwischen angeordneten Zwischen-Teleskoparm.
Die jeweilige Koppeleinrichtung verfügt über einen biegeflexiblen, beispielsweise seilförmig oder bandförmig ausgebildeten Zugstrang, der um Umlenkmittel, insbesondere rollenförmi- ge Umlenkmittel, herumgeschlungen ist. Es besteht die Möglichkeit, den Zugstrang einteilig oder mehrteilig, insbesondere aus mehreren aufeinanderfolgenden Zugstrangabschnitten zusammengesetzt, auszubilden. Letzteres eröffnet beispielsweise die Möglichkeit, einen der Zugstrangabschnitte mittels einer Feder vorzuspannen, so dass Dehnungen durch Elastizität oder Temperatur kompensiert werden können.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Transportvorrichtung enthält vorzugsweise eine
Positioniereinrichtung, an der die mindestens eine Transfereinheit angeordnet ist und die es ermöglicht, die Transfereinheit in einer zur Transferbewegung rechtwinkeligen horizontalen Richtung oder in einer vertikalen Richtung oder sowohl horizontal als auch vertikal zu verfahren und zu positionieren. Auf diese Weise können umzupositionierende Gegenstände mit hoher Flexibilität im Raum verfahren werden. Es besteht insbesondere die Möglichkeit, die Positioniereinrichtung so aufzubauen, dass die Transfereinheit längs einer Reihe von Bearbeitungsmodulen verfahrbar ist und sich gegenüberliegend jedes dieser Bearbeitungsmodule positionieren lässt, um von dieser Position aus ein Beladen oder Entladen eines Bearbeitungsmoduls durchführen zu können. Auch können bei vertikaler Verfahrbarkeit Höhenunterschiede zwischen den Bearbeitungsmodulen ausgeglichen werden.
Ein besonders vorteilhafter Aufbau der Teleskoparmeinheit sieht vor, dass die vorhandenen Teleskoparme quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind. Auf diese Weise lässt sich eine geringe Bauhöhe der Teleskoparmeinheit realisieren. Besonders vorteilhaft ist eine dahingehende Anordnung, dass sich sämtliche Teleskoparme zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene erstrecken.
Benachbarte Teleskoparme sind zweckmäßigerweise durch Linear führungsmittel linear verschiebbar aneinander gelagert. Darü ber hinaus kann der Antriebs -Teleskoparm ebenfalls durch Linearführungsmittel an der Tragstruktur verschiebbar gelagert sein. Auf diese Weise ergibt sich eine hohe Stabilität der Teleskoparmeinheit .
Die Linearführungsmittel enthalten zweckmäßigerweise jeweils mindestens eine Führungsschiene und mindestens einen an der Führungsschiene linear verschiebbar gelagerten und in Querrichtung abgestützten Führungsschlitten. Das Zusammenwirken von Führungsschiene und Führungsschlitten erfolgt durch Gleitlagermittel und/oder durch Wälzlagermittel.
Die Linearführungsmittel sind vorzugsweise quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet, was die Ein haltung einer geringen Bauhöhe der Transfereinheit gestattet Alle Linearführungsmittel können beispielsweise zumindest an nähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene verlaufen.
Die Antriebsmittel sind zweckmäßigerweise mit einer Antriebs einheit ausgestattet, die mindestens einen sich in Richtung der Transferbewegung erstreckende Linearantrieb aufweist. Dieser Linearantrieb ist an der Tragstruktur ortsfest fixiert und verfügt über ein zu einer linearen Abtriebsbewegung antreibbares Abtriebsteil, das mit dem Antriebs -Teleskoparm bewegungsgekoppelt ist. Obgleich es prinzipiell möglich wäre, die Antriebseinheit elektrisch betätigt auszubilden, insbesondere ausgestattet mit einem elektrischen Servomotor oder Schrittmotor, wird eine Bauform bevorzugt, bei der die Antriebseinheit mindestens einen fluidbetätigten und vorzugsweise kolbenstangenlosen Linearantrieb aufweist. Ein fluidbe- tätigter Linearantrieb hat den Vorteil, dass er problemlos vakuumtauglich ist, was besonders universelle Einsatzmöglichkeiten gewährleistet.
Um bei kleinen Abmessungen hohe Antriebskräfte generieren zu können, ist es vorteilhaft, wenn die Antriebseinheit mit wenigstens zwei parallel geschalteten und antriebsmäßig miteinander gekoppelten Linearantrieben ausgestattet ist.
Prinzipiell könnte die mindestens eine Transfereinheit mit nur einer einzigen Teleskoparmeinheit ausgestattet sein. Als besonders vorteilhaft wird jedoch ein Aufbau angesehen, der über mindestens zwei quer zur Richtung der Transferbewegung mit Abstand horizontal nebeneinander angeordnete Teleskoparmeinheiten verfügt, die gemeinsam an ein und derselben Tragstruktur angeordnet sind. Diese beiden oder mehr als zwei Teleskoparmeinheiten sind antriebsmäßig synchronisiert, so dass ihre mit Gegenstands-Haltemitteln ausgestatteten Halte- Teleskoparme stets synchron aus- und einfahrbar sind. Die Doppelanordnung von Teleskoparmeinheiten bietet die vorteilhafte Möglichkeit eines besonders stabilen und präzisen Abstützens von zu transportierenden Gegenständen, bei gleichzeitig hoher Verwindungssteifigkeit und geringem Platzbedarf. Die Teleskoparmeinheiten sind insbesondere derart horizontal nebeneinander angeordnet, dass sie im ausgefahrenen Zustand gemeinsam nach Art einer mindestens zweizinkigen Gabel über die bevorzugt plattenförmige Tragstruktur seitlich hinausragen .
Die Antriebseinheit ist, in vertikaler Draufsicht auf die Transfereinheit gesehen, zweckmäßigerweise zwischen den beiden Teleskoparmeinheiten angeordnet, vorzugsweise mittig zwischen diesen beiden Teleskoparmeinheiten. Es sind dann die Antriebs -Teleskoparme beiden Teleskoparmeinheiten über mindestens einen Mitnehmer mit dem Abtriebsteil des mindestens einen Linearantriebes der Antriebseinheit bewegungsgekoppelt. Als Mitnehmer kann mindestens ein biegeflexibler Strang, beispielsweise ein Stahlseil oder ein Stahlband, eingesetzt werden. Eine dauerhaft besonders hohe Präzision bei relativ einfacher Herstellung bietet dagegen eine Bauform, bei der der Mitnehmer strebenartig ausgebildet ist und die Antriebs- Teleskoparme unter Überbrückung des dazwischen vorhandenen Zwischenraumes starr miteinander verbindet . Dieser Mitnehmer kann beispielsweise plattenförmig gestaltet sein. Er kann sich oberhalb oder, vorzugsweise, unterhalb der Antriebseinheit an letzterer vorbei erstrecken, wobei er an dem Abtriebsteil des mindestens einen Linearantriebes befestigt sein kann.
In vertikaler Draufsicht betrachtet verfügt die Transfereinheit im eingefahren Zustand der mindestens einen Teleskoparmeinheit über einen als Basis-Umriss bezeichenbaren Ausgangs- umriss. Innerhalb dieses Basis-Umrisses befinden sich in der Grundstellung der Teleskoparmeinheit (en) sowohl die Gegen- stands-Haltemittel als auch die Antriebsmittel. Durch entsprechende Gestaltung der mindestens einen Teleskoparmeinheit ist zweckmäßigerweise gewährleistet, dass im ausgefahrenen Zustand der Teleskoparmeinheiten zwar die Antriebsmittel weiterhin innerhalb des Basis-Umrisses liegen, die Teleskoparmeinheit (en) und insbesondere die Gegenstands-Haltemittel jedoch zumindest teilweise seitlich über den Basis-Umriss hinausragen. Auf diese Weise kann ein an den Gegenstands - Haltemitteln gehaltener Gegenstand, der im eingefahrenen Zustand der Teleskoparmeinheit (en) innerhalb des Basis-Umrisses liegt, komplett aus dem Basis-Umriss hinaus transferiert werden, unter ständiger Beibehaltung der Unterstützung durch die ihn tragenden Gegenstands-Haltemittel.
Die Gegenstands-Haltemittel sind insbesondere als Auflagemittel realisiert, auf die der zu transportierende Gegenstand auflegbar ist, so dass er beispielsweise reibungsbedingt festgehalten wird. Der Gegenstand kann zu seinem Aufnehmen von den Gegenstands-Haltemitteln unterfahren und dann angehoben werden. Vorzugsweise sind die Auflagemittel von an der nach oben weisenden Längsseite des Halte-Teleskoparms angeordneten, punktuell verteilten Auflageelementen gebildet, die aus einem elastisch nachgiebigen Material bestehen können. Es ist jedoch auch möglich, die Außenfläche des Halte- Teleskoparmes unmittelbar direkt als Auflagemittel zu nutzen.
Alternativ zu reinen Auflagemitteln können die Gegenstands- Haltemittel auch als Greifmittel konzipiert sein. Sie können beispielsweise aus einem oder mehreren Sauggreifern bestehen, die einen zu transportierenden Gegenstand mit Unterdruck festhalten. Eine andere verwendbare Art von Greifern sind elektrostatische Greifer, wie sie beispielsweise in der DE 102 32 080 AI oder der WO 2004/077531 AI beschrieben werden.
Bei allen Ausführungsformen der Gegenstands-Haltemittel können diese Gegenstands-Haltemittel beispielsweise ausschließlich an dem mindestens einen Halte-Teleskoparm angeordnet sein. Darüber hinaus besteht die Möglichkeit, Gegenstands - Haltemittel vorzusehen, die über eine Halteplatte verfügen, die beispielsweise mit an der Oberseite angeordneten Auflageelementen oder mit an der Unterseite angeordneten Greifmitteln der zuvor geschilderten Art ausgestattet ist. Durch eine solche Halteplatte können auch die Halte-Teleskoparme mehrerer benachbarter Teleskoparmeinheiten miteinander verbunden sein .
Je nachdem, ob die Halteplatte zum Auflegen von Gegenständen oder zum Greifen von Gegenständen genutzt wird, kann sie beispielsweise an der Oberseite oder an der Unterseite der Halte-Teleskoparme befestigt sein. Auch ist es möglich, die Transfereinheit mit um 180° gewendeter Ausrichtung zu betreiben.
Es ist von Vorteil, wenn die mindestens eine Transfereinheit mit Positionserfassungsmitteln ausgestattet ist, insbesondere in Form eines Wegmesssystems, mit dem sich die aktuelle Position der Gegenstands-Haltemittel direkt oder indirekt erfassen lassen. Die Positionserfassungseinrichtung kooperiert zweckmäßigerweise mit einem Antriebs -Teleskoparm.
Das Handhabungssystem lässt sich ohne weiteres derart konzipieren, dass die Teleskoparmeinheiten relativ zu der bevorzugt plattenartigen Tragstruktur ausgehend von einer eingefahrenen Grundstellung in zwei einander entgegengesetzte Richtungen horizontal ausfahrbar und positionierbar sind. Auf diese Weise besteht die Möglichkeit, auf entgegengesetzten Seiten einer Transfereinheit angeordnete Bearbeitungsmodule abwechselnd zu bedienen und beispielsweise Gegenstände aus einem auf der einen Seite der Transfereinheit angeordneten Bearbeitungsmodul zu entnehmen und in ein auf der anderen Seite der Transfereinheit angeordnetes Bearbeitungsmodul zu übergeben. Bei dieser Übergabebewegung ist ein Bewegungsstopp in der eingefahrenen Grundstellung nicht zwingend erforderlich. Es besteht also die vorteilhafte Möglichkeit, die Teleskoparmeinheiten ohne Bewegungsunterbrechung von der einen ausgefahrenen Endstellung in die zur entgegengesetzten Seite ausgefahrene andere Endstellung zu verlagern.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:
Figur 1 eine teilweise schematisierte Draufsicht auf eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Handhabungssystems im Zusammenhang mit einer Bearbeitungsanlage, wobei die vorhandene Teleskoparmeinheiten in der eingefahrenen Grundstellung gezeigt sind und wobei ein zu transportierender plat- tenförmiger Gegenstand strichpunktiert angedeutet ist ,
Figur 2 eine Stirnansicht der Anordnung aus Figur 1 mit
Blickrichtung gemäß Pfeil II,
Figur 3 eine Seitenansicht der bei dem Handhabungssystem der Figuren 1 und 2 vorhandenen Transfereinheit mit Blickrichtung gemäß Pfeil III aus Figur 1,
Figur 4 eine Draufsicht auf die aus Figuren 1 bis 3 ersichtliche Transfereinheit in einer Zwischenstellung der Teleskoparmeinheiten, die zwischen der eingefahrenen Grundstellung und der ausgefahrenen Endstellung liegt, wobei ein zu transferierender Gegenstand wiederum mit strichpunktierter Linie gezeigt ist, eine Seitenansicht der Transfereinheit aus Figur 4 mit Blickrichtung gemäß Pfeil V, eine Draufsicht auf die Transfereinheit bei in die ausgefahrene Endstellung verfahrenen Teleskoparmeinheiten und mit strichpunktierter Illustration eines zu transferierenden Gegenstandes, eine Seitenansicht der Transfereinheit aus Figur 6 mit Blickrichtung gemäß Pfeil VII, eine Stirnansicht einer bevorzugten Ausgestaltung einer Teleskoparmeinheit, wie sie bei der Transfereinheit der Figuren 1 bis 7 verwirklicht ist, mit Blickrichtung gemäß Pfeil VIII aus Figur 1, eine schematische Seitenansicht der Transfereinheit mit Blickrichtung gemäß Pfeil II in der eingefahrenen Grundstellung einer Transporteinheit,
Figur 10 die Anordnung aus Figur 9 bei teilweise ausgefahrener Teleskoparmeinheit entsprechend einer Seitenansicht gemäß Pfeil V aus Figur 4, und
Figur 11 die Anordnung aus Figuren 9 und 10 in einer Seitenansicht gemäß Pfeil VII aus Figur 6 zur Illustration der ausgefahrenen Endstellung einer Teleskoparmeinheit .
Die Figur 1 zeigt schematisch einen Ausschnitt einer Bearbeitungsvorrichtung 1, in der Gegenstände 2, insbesondere flächige bzw. plattenförmige Gegenstände 2, bearbeitet werden können. Beispielsweise handelt es sich bei der Bearbeitungs- Vorrichtung um eine Vorrichtung zur Beschichtung von Glasplatten in der Solar- und/oder Flachbildschirmindustrie.
Die Bearbeitungsvorrichtung 1 enthält exemplarisch ein Lade- /Endlademodul 3 und mehrere Bearbeitungsmodule 4, die in einer Reihe liegend aufeinanderfolgend angeordnet sind. Neben der Modulreihe ist ein Handhabungssystem 5 angeordnet, das in der Lage ist, zu bearbeitende Gegenstände 2 aus dem Lade- /Endlademodul 3 zu entnehmen und in eines der Bearbeitungsmodule 4 zu verbringen, sowie nach der Bearbeitung aus dem betreffenden Bearbeitungsmodul 4 zu entnehmen und wieder an das Lade-/Endlademodul 3 zum Herausschleusen aus der Bearbeitungsvorrichtung 1 zurückzubringen. Das Handhabungssystem 5 kann auch zur Umpositionierung von Gegenständen 2 zwischen verschiedenen Bearbeitungsmodulen 4 eingesetzt werden.
Ein wesentlicher Bestandteil des Handhabungssystems 5 ist eine in ihrer Gesamtheit mit Bezugsziffer 6 bezeichnete Transportvorrichtung. Selbige umfasst mindestens eine Transfereinheit 7 und zweckmäßigerweise auch eine zum wunschgemäßen Verfahren und Positionieren der Transfereinheit 7 dienende
Positioniereinrichtung 8.
Die Positioniereinrichtung 8 verfügt über eine Linearführung 12, die ein Verfahren der Transfereinheit 7 in einer horizontalen, ersten Verfahrrichtung 13 ermöglicht. Die Transfereinheit 7 ist dabei zweckmäßigerweise unter Vermittlung einer Hubeinrichtung 14 an der Linearführung 12 gelagert, die es ermöglicht, die Transfereinheit 7 in einer zur ersten Verfahrrichtung 13 rechtwinkeligen, vertikalen zweiten Verfahrrichtung 15 zu verfahren. Eine oder mehrere nicht dargestellte Antriebseinrichtungen der Positioniereinrichtung 8 ermöglichen den Verfahrantrieb der Transfereinheit 7, um die genannten Verfahrbewegungen 13, 15 hervorrufen zu können. Durch Verfahren in der ersten Verfahrrichtung 13 kann die Transfereinheit 7 längs der Reihe von Modulen 3, 4 bewegt werden, um sie horizontal gegenüberliegend jeweils eines der Module 3, 4 positionieren zu können. Befinden sich alle Module 3, 4 auf gleicher Höhe, kann auf die vertikale zweite Verfahrmöglichkeit 15 der Transfereinheit 7 verzichtet werden .
Soll eine Transfereinheit 7 lediglich ein einziges Modul bedienen oder zwei sich auf entgegengesetzten Seiten der Transfereinheit gegenüberliegende Module, kann auf die horizontale und/oder auf die vertikale Verfahrmöglichkeit der Transfereinheit 7 auch verzichtet werden. In diesem Falle erspart man sich eine aufwendig konstruierte Positioniereinrichtung 8.
Jedes Modul 3, 4 hat eine nicht dargestellte, normalerweise geschlossene Öffnung, die der Transportvorrichtung 6 zugewandt ist. Die Transporteinheit 7 kann beim Ausführungsbeispiel durch Verfahren in der ersten Verfahrrichtung 13 so positioniert werden, dass sie einer der Öffnungen der Module 3, 4 gegenüberliegt.
Das Lade -/Endlademodul 3 dient dazu, zu bearbeitende platten- förmige Gegenstände 2 ein- und auszuschleusen. Die Transfereinheit 7 kann einen in dem Lade -/Endlademodul 3 befindlichen Gegenstand 2 aufnehmen, herausholen, in den einem Bearbeitungsmodul 4 gegenüberliegenden Bereich verfahren und dann, nachdem zuvor die zugeordnete Öffnung freigegeben wurde, in das ausgewählte Bearbeitungsmodul 4 einführen und dort ablegen. Auf diese Weise lässt sich ein Gegenstand 2 zwischen Lade- /Endlademodul 3 und einem Bearbeitungsmodul 4 transferieren. Umgekehrte Transfers sind ebenfalls möglich und auch Gegenstandstransfers zwischen verschiedenen Bearbeitungsmodulen Die Transfereinheit 7, die einfach oder mehrfach vorhanden sein kann, enthält eine zweckmäßigerweise plattenförmig ausgebildete und bevorzugt horizontal ausgerichtete Tragstruktur 16. Diese definiert exemplarisch eine horizontal verlaufende, vertikal nach oben weisende Tragebene 16a. Über dieser Tragstruktur 16 ist die Transfereinheit 7 an der Positioniereinrichtung 8 fixiert. Mit anderen Worten wirkt die
Positioniereinrichtung 8 auf die Tragstruktur 16 und ist in der Lage, selbige in der ersten Verfahrrichtung 13 und, optional, in der zweiten Verfahrrichtung 15 zu verlagern.
Die Tragstruktur 16 trägt im Bereich der Tragebene 16a zwei Teleskoparmeinheiten 17, 18, die jeweils mehrere Teleskoparme 22 beinhaltet, die relativ zueinander und auch jeweils mit Bezug zu der Tragstruktur 16 unter Ausführung einer durch einen Doppelpfeil angedeuteten linearen Transferbewegung 23 verfahrbar sind. Die Transferbewegung 23 ist horizontal ausgerichtet und verläuft beim Ausführungsbeispiel rechtwinkelig zu der ersten Verfahrrichtung 13 und auch zu der optionalen zweiten Verfahrrichtung 15.
Jeder Teleskoparm 22 hat eine Längsgestalt. Alle Teleskoparme 22 sind mit ihrer Längsrichtung parallel zu der Transferbewegung 23 ausgerichtet.
An der Tragstruktur 16 sind die beiden Transfereinheiten 17, 18 quer und insbesondere rechtwinkelig zur Richtung der
Transferbewegung 23 mit Abstand horizontal nebeneinander angeordnet. Die Tragstruktur 16 trägt gemeinsam beide Teleskoparmeinheiten 17, 18.
Exemplarisch enthält jede Teleskoparmeinheit 17, 18 insgesamt drei Teleskoparme 22. Im Einzelnen sind dies ein Antriebs- Teleskoparm 22a, ein Halte-Teleskoparm 22c und ein zwischen diesen beiden Teleskoparmen 22a, 22c angeordneter Zwischen- Teleskoparm 22b.
Der Antriebs-Teleskoparm 22a ist unter Vermittlung erster Li- nearführungsmittel 24a zur Ausführung der Transferbewegung 23 linear verschiebbar an der Tragstruktur 16 gelagert. Man kann insgesamt also sagen, dass zum einen jeweils benachbarte Teleskoparme 22a, 22b, 22c linear verschiebbar aneinander gelagert sind und dass zum anderen der Antriebs-Teleskoparm 22a an der Tragstruktur 16 verschiebbar gelagert ist.
Jeder Teleskoparm 22 ist im Übrigen zweckmäßigerweise holmartig gestaltet, wobei er sich allerdings aus mehreren Bestandteilen zusammensetzen kann.
Die Bezeichnung des „Halte-Teleskoparmes" 22c rührt daher, dass er - beim Ausführungsbeispiel an seiner vertikal nach oben weisenden Oberseite - mit Gegenstands-Haltemitteln 25 ausgestattet ist. Selbige sind beim Ausführungsbeispiel als Auflagemittel ausgebildet, insbesondere in Gestalt von in Längsrichtung des Halte-Teleskoparms 22c punktuell verteilten Auflageelementen, die beispielsweise aus Kunststoffmaterial bestehen. Allerdings können als Auflagemittel konzipierte Ge- genstands-Haltemittel 25, wie dies in Figuren 9 bis 11 illustriert ist, auch unmittelbar von der nach oben weisenden, insbesondere ebenen Außenfläche des Halte-Teleskoparmes 22c gebildet sein. Zweckmäßig ist es, wenn die als Auflagemittel konzipierten Gegenstands-Haltemittel 25 über rutschfeste Eigenschaften verfügen.
Die Gegenstands-Haltemittel 25 ermöglichen das lose Auflegen des zu transferierenden Gegenstandes 2. Ein zu transferierender bzw. zu transportierender Gegenstand 2 ist also von oben her auf die beiden Teleskoparmeinheiten 17, 18 aufgelegt, wo- bei er, wie dies in der Zeichnung illustriert ist, den zwischen den benachbarten Teleskoparmeinheiten 17, 18 vorhandenen Zwischenraum 26 überbrückt und auf den Gegenstands - Haltemitteln 25 beider Halte-Teleskoparme 22c verrutschungs- sicher aufliegt.
Dadurch, dass die Gegenstands-Haltemittel 25 an dem Halte- Teleskoparm 22c angeordnet sind, sind sie zusammen mit diesem unter Ausführung der linearen Transferbewegung 23 horizontal verfahrbar .
Die Gegenstands-Haltemittel 25 können beispielsweise auch als Greifmittel ausgebildet sein, die einen zu transferierenden Gegenstand insbesondere von unten her oder von oben her ergreifen. Solche Greifmittel sind beispielsweise in Form von auf Unterdruckbasis arbeitenden Sauggreifern oder auf der Basis elektrostatischer Greifer verwirklicht. Auch mechanische Greifer sind möglich. Die Greifmittel können, wie beim Ausführungsbeispiel die Auflagemittel , an der Oberseite des jeweiligen Halte-Teleskoparmes angeordnet sein, wobei man die Teleskoparmeinheiten oder die gesamte Transfereinheit 7, je nachdem, ob ein Gegenstand von unten oder von oben her ergriffen werden soll, entweder in der aus der Zeichnung ersichtlichen Ausrichtung betriebt oder in einer um 180° gedrehten Ausrichtung, - also quasi auf dem Kopf stehend - so dass die beim Ausführungsbeispiel nach oben weisende Seite der Halte-Teleskoparme nach unten weist.
Die Transferbewegung 23 ist durch Antriebsmittel 27 hervorrufbar. Letztere sind exemplarisch an der Tragstruktur 16, insbesondere an deren Tragebene 16a, angeordnet und stehen mit jedem Antriebs-Teleskoparm 22a in Antriebsverbindung. Einander jeweils unmittelbar benachbarte Teleskoparme 22a, 22b; 22b, 22c sind jeweils durch eine Koppeleinrichtung 28 antriebsmäßig gekoppelt. Durch diese Kopplung wird erreicht, dass aus der durch die Antriebsmittel 27 hervorgerufenen Transferbewegung 23 des Antriebs -Teleskoparmes 22a eine
Transferbewegung 23 des darauffolgenden Zwischen-Teleskoparmes 22b generiert wird, wobei aus der Transferbewegung 23 dieses Zwischen-Teleskoparmes 22b die Transferbewegung 23 des Halte-Teleskoparmes 22c erzeugt wird.
Letztlich werden also sämtliche Linearbewegungen der zur gleichen Teleskoparmeinheit 17, 18 gehörenden Teleskoparme 22 durch das Antreiben des Antriebs-Teleskoparmes 22a hervorgerufen, mit dem die Antriebsmittel 27 kooperieren.
Aufbau und Wirkungsweise der Koppeleinrichtungen 28 ist besonders gut aus Figuren 8 bis 11 ersichtlich.
Eine an dem Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnete erste Koppeleinrichtung 28 verfügt über zwei mit axialem Abstand zueinander am Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnete Umlenkmittel 32 - vorzugsweise in Gestalt von am Antriebs-Teleskoparm 22a drehbar gelagerten Umlenkrollen -, sowie einen um diese beiden Umlenkmittel 32 herumgeschlungenen, biegeflexiblen Zugstrang 33. Bei dem Zugstrang 33 handelt es sich insbesondere um ein Seil oder um ein Band, vorzugsweise aus Metall oder aus einem hoch zugfesten Kunststoffmaterial. Abgebildet ist eine einteilige Variante des Zugstranges 33, dieser kann jedoch ohne weiteres auch aus mehreren aufeinanderfolgend angeordneten Strangteilen bzw. Strangabschnitten bestehen.
An dem Zwischen-Teleskoparm 22a ist eine vergleichbar ausgebildete weitere Koppeleinrichtung 28 angeordnet, deren Kompo- nenten in der Zeichnung mit identischen Bezugszeichen versehen sind.
Jeder Zugstrang 33 kann eine hin und her gehende Umlaufbewe - gung (Doppelpfeil 30) um die von ihm umschlungenen Umlenkmittel 32 ausführen. Bei dieser Umlaufbewegung 30 bewegen sich zwischen den Umlenkmitteln 32 erstreckenden Strangtrume 33a, 33b jeweils in der einen oder anderen Richtung der Transferbewegung 23.
Jeder Zugstrang 33 verfügt exemplarisch über einen ersten Strangtrum 33a und einen zweiten Strangtrum 33b. Der am An- triebs-Teleskoparm 22a angeordnete Zugstrang 33 ist mit seinem ersten Strangtrum 33a an mindestens einer Befestigungsstelle 34 an der Tragstruktur 16 ortsfest fixiert. Der zweite Strangtrum 33b dieses Zugstranges 33 ist an mindestens einer zweiten Befestigungsstelle 35 an dem dem Antriebs -Teleskoparm 22a benachbarten Teleskoparm 22 ortsfest fixiert, bei dem es sich exemplarisch um den Zwischen-Teleskoparm 22b handelt.
Was den Zugstrang 33 des Zwischen-Teleskoparmes 22b anbelangt, so ist dessen erster Strangtrum 33a an mindestens einer dritten Befestigungsstelle 36 ortsfest an dem Zwischen- Teleskoparm 22b fixiert und sein zweiter Strangtrum 33b ist an mindestens einer vierten Befestigungsstelle 37 ortsfest am Halte-Teleskoparm 22c befestigt. Letzteres bedeutet, dass der Halte-Teleskoparm 22c jedenfalls ortsfest bezüglich des Zugstranges 33 des ihm benachbarten Teleskoparmes 22 fixiert ist, der beim Ausführungsbeispiel von dem Zwischen- Teleskoparm 22b gebildet ist.
Bei einer Ausführungsform, die keinen Zwischen-Teleskoparm 22b besitzt, erfolgt die ortsfeste Fixierung des Halte- Teleskoparmes 22a dementsprechend am zweiten Strangtrum 33b des am Antriebs -Teleskoparm 22a angeordneten Zugstranges 33.
Es wäre ohne weiteres auch denkbar, anstelle nur eines einzigen Zwischen-Teleskoparmes 22b mehrere Zwischen-Teleskoparme 22b zwischen den Antriebs -Teleskoparm 22a und den Halte- Teleskoparm 22c einzugliedern, wobei in diesem Falle die Kopplung in gleicher Weise wie vorstehend geschildert stattfindet .
Die gegenseitige Fixierung der einzelnen Komponenten an den Befestigungsstellen 34-37 erfolgt beispielsweise mittels Befestigungslaschen 38, die in der Lage sind, vorhandene Abstände zu überbrücken.
Bei Bedarf können einzelne Befestigungsstellen auch mehrfach vorhanden sein.
Ein Vergleich der Figuren 9 bis 11 macht die bei Aktivierung der Antriebsmittel 27 stattfindenden Bewegungsabläufe deutlich.
Beginnend mit der in Figur 9 gezeigten eingefahrenen Grundstellung, sind sämtliche Teleskoparme 22 eingefahren und liegen zweckmäßigerweise in Achsrichtung der Transferbewegung 23 im Wesentlichen auf gleicher Höhe.
Bei Betätigung der Antriebsmittel 27 erfährt der Antriebs- Teleskoparm 22a einen Vorschub, wobei sein Zugstrang 33 an der ersten Befestigungsstelle 34 ortsfest bleibt. Die Folge hiervon ist, dass dieser Zugstrang 33 um die Umlenkmittel 32 des sich bewegenden Antriebs-Teleskoparmes 22a umläuft und hierdurch, wie aus Figuren 10 und 11 ersichtlich ist, die an dem Zugstrang 33 angeordnete zweite Befestigungsstelle 35 ei- ne axiale Verlagerung erfährt. Diese axiale Verlagerung hat zur Folge, dass der an der zweiten Befestigungsstelle 35 angeordnete Zwischen-Teleskoparm 22b mitgenommen wird. Da dessen Zugstrang 33 an der dritten Befestigungsstelle 36 ortsfest am Antriebs-Teleskoparm 22a fixiert ist, läuft auch der Zugstrang 33 des Zwischen-Teleskopartnes 22b um die Umlenkmit tel 32 des Zwischen-Teleskoparmes 22b um. Letzteres hat zur Folge, dass die am zweiten Strangtrum 33b des betreffenden Zugstranges 33 geordnete vierte Befestigungsstelle 37 ihrerseits axial verlagert wird und dabei den Halte-Teleskoparm 22c mit den daran angeordneten Gegenstands-Haltemitteln 25 mitnimmt .
Die Linearbewegung der einzelnen Teleskoparme 22 findet gleichzeitig und relativ zueinander mit gleicher Geschwindig keit statt. Durch die Kopplung wird jedoch erreicht, dass letztlich der Halte-Teleskoparm 22c bezüglich dem Antriebs- Teleskoparm 22a mit der dreifachen Geschwindigkeit um die dreifache Wegstrecke verlagert wird. Diese Weg- und Geschwin digkeitsübersetzung reduziert sich vom Faktor „drei" auf den Faktor „zwei", wenn auf den Zwischen-Teleskoparm 22b verzieh tet wird.
Auf diese Weise kann die Teleskoparmeinheit 17, 18 aus der eingefahrenen Grundstellung in die ausgefahrene Endstellung bewegt werden. Zum Zurückfahren in die Grundstellung sind le diglich die Antriebsmittel mit umgekehrten Vorzeichen zu betreiben.
Vorteilhafterweise besteht die Möglichkeit, jede Teleskoparm einheit 17, 18 ausgehend von der Grundstellung durch entspre chende Aktivierung der Antriebsmittel 27 wahlweise in die ei ne oder andere axiale Richtung auszufahren. Auf diese Weise ist die Transportvorrichtung 6 in der Lage, beidseits der Transfereinheit 7 angeordnete Module 3, 4 zu bedienen.
Wenn man die Transfereinheit 7 in einer Draufsicht von oben betrachtet, verfügt sie in dem aus Figuren 1 bis 3 und 9 ersichtlichen eingefahrenen Zustand der Teleskoparmeinheiten 17, 18 über einen beim Ausführungsbeispiel vom Umriss der plattenförmigen Tragstruktur 16 definierten Basis-Umriss 42. Innerhalb dieses Basis-Umrisses befinden sich bei eingefahrenen Teleskoparmeinheiten 17, 18 sowohl die Gegenstands - Haltemittel 25 als auch die Antriebsmittel 27. Genauer gesagt sind beim Ausführungsbeispiel in der eingefahrenen Grundstellung beide Teleskoparmeinheiten 17, 18 vollständig innerhalb des Basis-Umrisses 42 angeordnet.
Ein flächiger bzw. plattenförmiger Gegenstand, der auf den Gegenstands-Haltemitteln 25 abgelegt ist, befindet sich in der eingefahrenen Grundstellung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 zweckmäßigerweise ebenfalls zur Gänze innerhalb des Basis- Umrisses 42. Auf diese Weise kann die Transfereinheit 7 problemlos in der ersten Verfahrrichtung 13 entlang den seitlich daneben angeordneten Modulen 3, 4 verfahren werden.
Wenn durch Betätigung der Antriebsmittel 27 die Teleskoparmeinheiten 17, 18 in der Trahsferrichtung 23 bewegt werden, fahren sie allmählich seitwärts über den genannten Basis- Umriss 42 hinaus. Dies gilt insbesondere für die Halte- Teleskoparme 22c und die an diesen angeordneten Gegenstands- Haltemitteln 25.
Man erkennt anhand Figuren 4, 5 und 10, wie die Gegenstands- Haltemittel 25 bei Betätigung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 allmählich seitwärts aus dem Basis-Umriss 42 hinausfahren. Die Figuren 4, 5 und 10 illustrieren eine Zwischenstellung, in der die Gegenstands-Haltemittel 25 zum Teil außerhalb des Basis-Umrisses 42 liegen.
In der in Figuren 6, 7 und 11 illustrierten ausgefahrenen Endstellung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 sind die Gegenstands-Haltemittel 25 und insbesondere auch die diese aufweisenden Halte-Teleskoparme 22c zur Gänze aus dem Basis-Umriss 42 herausgefahren. Entsprechendes für den auf den Gegen- stands-Haltemitteln 25 aufliegenden Gegenstand 2.
Nimmt die Transfereinheit 7 eine der Öffnung eines Moduls 3, 4 gegenüberliegende Position ein und ist die Öffnung des betreffenden Moduls 3, 4 freigegeben, tauchen die Teleskoparmeinheiten 17, 18 bei Einnahme der ausgefahrenen Endstellung mit ihren Gegenstands-Haltemitteln 25 vollständig in das betreffende Modul 3, 4 ein. Somit kann also ein Gegenstand 2 problemlos aus einem Modul 3, 4 herausgenommen oder in ein Modul 3, 4 eingelagert werden, wobei er während des gesamten Transfers ortsfest an den Gegenstands-Haltemitteln 25 gehalten ist.
Um einen Gegenstand 2 in einem Modul 3, 4 aufzunehmen, werden beim Ausführungsbeispiel die Gegenstands-Haltemittel 25 im in der zweiten Verfahrrichtung 15 abgesenkten Zustand der Transfereinheit 7 in das betreffende Modul eingefahren, bis sie unterhalb des aufzunehmenden Gegenstandes 2 liegen, worauf sie angehoben werden, bis der Gegenstand 2 auf den Gegenstands-Haltemitteln 25 aufliegt. Jetzt kann die Teleskoparmeinheit 17, 18 gemeinsam mit dem aufliegenden Gegenstand 2 aus dem betreffenden Modul 3, 4 herausgefahren werden.
Das Ablegen eines Gegenstandes 2 in einem Modul 3, 4 geschieht in umgekehrter Bewegungsabfolge. Die Gegenstands- Haltemittel 25 werden gemeinsam mit dem Gegenstand 2 in der Transferrichtung 23 in das Modul 3, 4 eingefahren. Im eingefahrenen Zustand werden die Transfereinheit 7 und mithin die Gegenstands-Haltemittel 25 abgesenkt, so dass der Gegenstand 2 auf innerhalb des Moduls 3, 4 angeordneten Auflagemitteln abgelegt wird und darauffolgend die Teleskoparmeinheiten 17, 18 wieder aus dem Modul 3, 4 ohne Gegenstand 2 herausgefahren werden können.
Wenn die Gegenstands-Haltemittel 25 als Greifmittel ausgebildet sind, die einen Gegenstand von oben her ergreifen können, wird der mindestens eine Halte-Teleskoparm 22c zur Aufnahme eines Gegenstandes 2 oberhalb diesem in ein Modul 3, 4 eingefahren. Zum Ergreifen des Gegenstandes kann die Transfereinheit 7 anschließend kurzzeitig abgesenkt werden. Zum Ablegen eines Gegenstandes 2 in einem Modul 3, 4 wird der mindestens eine Halte-Teleskoparm 22c mit daran hängendem Gegenstand 2 in das betreffende Modul eingefahren, worauf die erzeugte Greifkraft entfernt wird, so dass sich der Gegenstand 2 löst. Auch das Ablegen kann mit einer kurzzeitigen Vertikalbewegung kombiniert werden.
Wenn die beiden Teleskoparmeinheiten 17, 18 aus dem Basis- Umriss 42 ausfahren, weisen sie beim Ausführungsbeispiel gemeinsam die Struktur einer zweizinkigen Gabel auf. Jede Teleskoparmeinheit 17, 18 entspricht hierbei einem Gabelzinken, wobei der dazwischen angeordnete Zwischenraum 26 vorzugsweise komplett frei ist.
Bei einer nicht dargestellten Ausführungsform ist der zwischen benachbarten Teleskoparmeinheiten 17, 18 vorhandene Zwischenraum 26 zumindest in demjenigen Bereich zumindest partiell belegt, in dem sich die Halte-Teleskoparme 22c befinden. Die Gegenstands-Haltemittel 25 verfügen hierbei über eine Halteplatte, die an den Halte-Teleskoparmen 22c benach- barter Teleskoparmeinheiten 17, 18 befestigt ist und dabei den Zwischenraum 26 überbrückt. An dieser Halteplatte können dann je nach Realisierungsform entweder Auflagemittel zum Auflegen des zu transportierenden Gegenstandes vorhanden sein oder aber Greifmittel zum aktiven Ergreifen des zu transferierenden Gegenstandes 2. Als Greifmittel können beispielsweise mehrere Greifeinheiten vorgesehen sein, die großflächig über die Halteplatte verteilt sind und die beispielsweise als Sauggreifer oder als elektrostatische Greifer oder als mechanischer Greifer konzipiert sind. Auf diese Weise kann ein handzuhabender Gegenstand großflächig und damit sehr sicher erfasst werden, auch wenn er relativ dünn ist. Ebenso besteht die Möglichkeit, durch die Gegenstands-Haltemittel 25 gleichzeitig mehrere kleinere Gegenstände zu ergreifen und zu transportieren.
Bei der Transfereinheit 7 des Ausführungsbeispiels würde man die erwähnte Halteplatte zweckmäßigerweise an der vertikal nach oben weisenden Seite anordnen, insbesondere derart, dass sie sich über mehrere Halte-Teleskoparme 22c hinweg erstreckt und den dazwischen befindlichen Zwischenraum 26 überbrückt. Soll die Transfereinheit 7 in diesem Fall mit Greifmitteln ausgestattet sein, die einen Gegenstand 2 von oben her ergreifen, wird man die Teleskoparmeinheiten 17, 18 und zweckmäßigerweise die gesamte Transfereinheit 7 jedoch in einer um 180° umgedrehten Lage verwenden. Dadurch können die zu transferierenden Gegenstände bequem unterhalb der Transfereinheit an dieser hängend transportiert werden.
Die in ihrer Gesamtheit mit Bezugsziffer 27 bezeichneten Antriebsmittel enthalten vorzugsweise eine Antriebseinheit 43, die mindestens einen sich in der Richtung der Transferbewegung 23 erstreckenden Linearantrieb 44, 45 aufweist. Dieser mindestens eine Linearantrieb 44, 45 ist bezüglich der Trag- struktur 16 ortsfest fixiert und insbesondere an der nach oben weisenden Tragebene 16a der Tragstruktur 16 befestigt. Die Antriebseinheit 43 ist vorzugsweise mittig zwischen den beiden Teleskoparmeinheiten 17, 18 angeordnet, wobei sie sich parallel zu diesen erstreckt. Die Antriebseinheit 43 liegt zur Gänze innerhalb des Basis-Umrisses 42.
Beim Ausführungsbeispiel enthält die Antriebseinheit 43 zwei mit paralleler Ausrichtung Seite an Seite nebeneinander angeordnete Linearantriebe 44, 45. Auf diese Weise kann bei kompakten Abmessungen eine hohe Antriebskraft erzeugt werden.
Die Antriebseinheit 43 könnte prinzipiell aus einem oder mehreren elektrischen Antrieben bestehen, beispielsweise aus einem elektrischen Servomotor oder Schrittmotor. Als besonders vorteilhaft hat sich allerdings eine Ausgestaltung in fluid- betätigter Bauart erwiesen, insbesondere in Gestalt einer pneumatisch betätigbaren Antriebseinheit 43.
Unabhängig von ihrer Ausgestaltung verfügen die Linearantriebe 44, 45 zweckmäßigerweise jeweils über einen langgestreckten, an der Tragstruktur 16 fixierten Stator 46 und ein bezüglich dem Stator 46 in dessen Längsrichtung linear bewegbares Abtriebsteil 47. Der Stator 46 ist an der Tragstruktur 16 befestigt. Durch Betätigung des Linearantriebes 44, 45 kann das Abtriebsteil 47 zu einer mit der Richtung der Transferbewegung 23 zusammenfallenden Abtriebsbewegung angetrieben werden .
Beim Ausführungsbeispiel besteht jeder Stator 46 aus einem Rohrkörper, in dem ein durch Fluidbeaufschlagung linear verschiebbarer Antriebskolben angeordnet ist, der mit dem außen an dem Stator 46 linear verschiebbar angeordneten Abtriebsteil 47 bewegungsgekoppelt ist. Diese Bewegungskopplung kann mechanisch sein, ist bei Ausführungsbeispiel jedoch in vorteilhafter Weise berührungslos ausgeführt, indem der Antriebskolben mit dem Abtriebsteil 47 durch eine permanentmag netische Magneteinrichtung bewegungsgekoppelt ist. Ein solches System hat den Vorteil, dass es absolut fluiddicht ausgeführt werden kann, da bezüglich des Antriebsfluides keine dynamischen Dichtungen vorhanden sind.
Die beiden Linearantriebe 44, 45 sind funktionell parallel geschaltet, treiben also die Teleskoparmeinheiten 17, 18 jeweils gleichzeitig und gleichsinnig an. Hierzu sind die beiden Antriebs-Teleskoparme 22a in synchron antreibbarer Weise mit den Abtriebsteilen 47 antriebsmäßig verbunden.
Die antriebsmäßige Verbindung wird zweckmäßigerweise mittels eines starren Mitnehmers 48 realisiert, der sich strebenarti* rechtwinkelig zu der Transferrichtung 23 zwischen den beiden Antriebs -Teleskoparmen 22a erstreckt, wobei er den Zwischenraum 26 überbrückt und an beiden Antriebs-Teleskoparmen 22a starr befestigt ist. Vorzugsweise ist der Mitnehmer 48 plat- tenförmig oder leistenförmig ausgebildet, wobei er sich entweder oberhalb oder unterhalb der Abtriebsteile 47 quer zu diesen erstreckt.
Beim Ausführungsbeispiel werden die beiden Abtriebsteile 47 von dem Mitnehmer 48 unterhalb passiert. Führen die
Abtriebsteile 47 die lineare Abtriebsbewegung aus, wird selbige von dem Mitnehmer 48 direkt mitgemacht und folglich direkt auf die Antriebs-Teleskoparme 22a übertragen, so dass die Teleskoparmeinheiten 17, 18 synchron betätigt werden.
Es wäre denkbar, auf eine andere Art von Mitnehmer 48 zurück zugreifen, beispielsweise auf einen oder mehrere seilförmig oder bandförmige Mitnehmer, die eine Antriebsverbindung zwi- sehen dem mindestens einen Abtriebsteil 47 und einem jeweili gen Antriebs-Teleskoparm 22a schaffen. Derartige Seile oder Bänder bestehen zweckmäßigerweise aus Stahl.
Wie insbesondere aus Figuren 3 und 8 gut ersichtlich ist, sind die Teleskoparme 22 jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 zweckmäßigerweise quer zu ihren Längsachsen und mithin quer zu der Transferrichtung 23 horizontal nebeneinander angeordnet. Hierbei können sie insbesondere zumindest annähernd in einer in Figur 8 angedeuteten gemeinsamen Horizontalebene 52 verlaufen. Eine solche, längsseitig benachbarte Anordnung de Teleskoparme 22 ermöglicht die Einhaltung sehr geringer Höhenabmessungen für die Teleskoparmeinheit 17, 18.
Die vorgenannten Illustrationen machen deutlich, dass zweckmäßigerweise auch die Linearführungsmittel 24a, 24b, 24c que zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind, wobei auch sie sich zweckmäßigerweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene 52 erstrecken kön nen .
In Richtung der Transferbewegung 23 betrachtet, liegen die beiden Antriebs -Teleskoparme 22a zweckmäßigerweise außen, während die Halte-Teleskoparme 22c innen liegen. Unter „innen" ist dabei diejenige Längsseite jeder Teleskopeinheit 17 18 zu verstehen, die der jeweils anderen Teleskopeinheit 18, 17 zugewandt ist .
In den Figuren 9 bis 11 sind die Teleskoparme 22 nur der bes seren Übersichtlichkeit wegen vertikal übereinanderliegend dargestellt .
Es ist zweckmäßig, wenn die Linearführungsmittel 24a, 24b, 24c jeweils mindestens eine und vorzugsweise genau eine sich linear erstreckende Führungsschiene 53 aufweisen sowie mindestens einen an dieser Führungsschiene 23 linear verschiebbar gelagerten und in Querrichtung abgestützten Führungsschlitten 54. Die Führungsschiene 53 ist an der einen, der Führungsschlitten 54 an der anderen der jeweils relativ zuei nander zu lagernden Komponenten fixiert .
Exemplarisch ist die Führungsschiene 53 der ersten Linearfüh rungsmittel 24a an der Tragstruktur 16 angeordnet. Sie sitzt insbesondere an der nach oben weisenden Seite eines von der Tragstruktur 16 hochragenden Tragholmes 55. Der zugeordnete Führungsschlitten 54 ist am Antriebs-Teleskoparm 22a befestigt .
Die Führungsschiene 53 der zweiten Linearführungsmittel 24b ist am Antriebs-Teleskoparm 22a befestigt, zweckmäßigerweise an einer zur anderen Teleskoparmeinheit 17 bzw. 18 hin weisenden Längsseite. Der zugeordnete Führungsschlitten 54 ist an dem Zwischen-Teleskoparm 22b befestigt.
Schließlich befindet sich die Führungsschiene 53 der dritten Linearführungsmittel 24c am Zwischen-Teleskoparm 22b, und zwar insbesondere an einer zur jeweils benachbarten Teleskop armeinheit 17 bzw. 18 weisenden Längsseite. Der zugeordnete Führungsschlitten 54 ist am Halte-Teleskoparm 22c angeordnet
Jeder Führungsschlitten 54 übergreift die zugeordnete Führungsschiene 53 zweckmäßigerweise reiterartig. Hierzu kann jeder Führungsschlitten 54 U-förmig gestaltet sein. Vorzugsweise sind die Führungsschlitten 54 so ausgerichtet, dass ih re U-Öffnungen im Falle der ersten Linearführungsmittel 24a nach unten und im Falle der zweiten und dritten Linearfüh- rungsmittel 24b, 24c seitwärts, in Richtung zum Führungs- Schlitten 54 der ersten Linearführungsmittel 24a orientiert sind .
Damit sich die Gegenstands-Haltemittel 25 optimal positionieren lassen, verfügt die Transfereinheit 7 zweckmäßigerweise über Positionserfassungsmittel 56. Selbige sind vorzugsweise in Form eines Wegmesssystems realisiert, mit dem sich stufenlos jede Position der Gegenstands-Haltemittel 25 in der
Transferrichtung 23 erfassen lässt. Die Position der Gegenstands-Haltemittel 25 wird dabei allerdings zweckmäßigerweise nicht direkt erfasst, sondern lediglich indirekt, durch Erfassung der Position mindestens eines Antriebs-Teleskoparmes 22a. Da zwischen den Relativbewegungen der einzelnen Teleskoparme 22 jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 eine feste Beziehung besteht, kann durch die Positionserfassung eines Antriebs-Teleskoparmes 22a sehr präzise auf die Position der Gegenstands-Haltemittel 25 bzw. der diese Gegenstands- Haltemittel 25 aufweisenden Halte-Teleskoparme 22c geschlossen werden.
Die Positionserfassungsmittel 56 sind zweckmäßigerweise längsseits neben einer Teleskoparmeinheit 18 angeordnet, wobei von den relativ zueinander zu bewegenden Komponenten der Positionserfassungsmittel 56 die eine an der Tragstruktur 16 und die andere an dem Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnet ist .
Der besondere Vorteil des beim Ausführungsbeispiel realisierten Teleskoparmsystems 17, 18 besteht in der optimalen Anpassung an die räumlichen und technischen Gegebenheiten des Anwendungsfalls. Durch die Verwendung zweier Teleskoparmeinheiten 17, 18 wird mit relativ wenig Aufwand der vorhandene Bauraum optimal ausgenutzt, wodurch eine gegebenenfalls vorhandene Vakuumkammer der Bearbeitungsvorrichtung 1 relativ klein gestaltet werden kann. Bei einer vorteilhaften Anwendung der Bearbeitungsvorrichtung 1 stehen sämtliche ihrer Komponenten unter Vakuum, wobei in den in den Bearbeitungsmodulen 3 vorhandenen Prozesskammern sehr hohe Temperaturen herrschen. Für den Betrieb unter Vakuum und bei hohen Temperaturen sind die fluidisch und insbesondere pneumatisch betätigbaren Antriebsmittel 27 besonders prädestiniert.
Indem die Gegenstands-Haltemittel 25 Bestandteil eines Teleskoparmsystems 17, 18 sind, kann die Transfereinheit 7 in Richtung der Transferbewegung 23 sehr schmal ausgebildet werden. Die Baubreite der Transfereinheit 7 ist in der eingefahrenen Grundstellung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 sehr gering .
Ausgehend von der eingefahrenen Grundstellung können die Teleskoparmeinheiten 17, 18 zweckmäßigerweise wahlweise in die eine oder andere Richtung ausgefahren werden. Um dies zu gewährleisten, sind die Antriebsmittel 27 zweckmäßigerweise so ausgebildet, dass das mindestens eine Abtriebsteil 47 in der eingefahrenen Grundstellung eine Mittelposition zwischen den beiden in Achsrichtung der Transferbewegung 23 orientierten Stirnseiten der Teleskoparmeinheiten 17, 18 einnimmt. Wird die Antriebseinheit 43 betätigt, fahren die Abtriebsteile 47 ausgehend von der Mittenposition entweder in Richtung des einen oder des anderen Seitenrandes der Tragstruktur 16.
Das Funktionsprinzip jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 lässt sich insbesondere dahingehend zusammenfassen, dass jeweils mindestens eine auf einem Seilzugprinzip basierende Koppeleinrichtung 28 vorhanden ist. Über insbesondere als Umlenkrollen gestaltete Umlenkmittel 32 wird mittels seil- oder bandförmiger Zugstränge ein geschlossener Ring gebildet. An diesem Seilzugring werden dann die beiden relativ zueinander zu bewegenden Komponenten der jeweils unmittelbar benachbarten Teleskoparme 22 befestigt. Wir nun ein Teleskoparm 22 um einen Weg „s" bewegt, bewegt sich der daran gekoppelte nächs te Teleskoparm mit der doppelten Geschwindigkeit und dem dop pelten Weg. Kommen drei Teleskoparme zur Anwendung, bewegt sich der als Halte-Teleskoparm 22c fungierende dritte Teleskoparm verglichen mit dem den Antriebs-Teleskoparm 22a bildenden ersten Teleskoparm 22 mit der dreifachen Geschwindigkeit um den dreifachen Weg „3s".
Durch die Linearführungsmittel 24a, 24b, 24c sind die Teleskoparme 22 jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 aneinander abgestützt und verwindungssteif miteinander verbunden.

Claims

Ansprüche
1. HandhabungsSystem zur Handhabung von insbesondere plat- tenförmigen Gegenständen (2) , mit einer Transportvorrichtung (6) , die mindestens eine Transfereinheit (7) aufweist, die über unter Ausführung einer linearen Transferbewegung (23) horizontal verfahrbare Gegenstands-Haltemittel (25) verfügt, und die Antriebsmittel (27) zum Hervorrufen der Transferbewegung (23) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) eine Tragstruktur (16) und mindestens eine von der Tragstruktur (16) getragene Teleskoparmeinheit (17, 18) aufweist, wobei die Teleskoparmeinheit (17, 18) mehrere in Richtung der Transferbewegung (23) relativ zueinander und relativ zu der Tragstruktur (16) verschiebbare, zueinander parallele Teleskoparme (22) enthält, unter denen sich ein durch die Antriebsmittel (27) antreibbarer Antriebs-Teleskoparm (22a) und ein die Gegenstands-Haltemittel (25) aufweisender Halte-Teleskoparm (22c) befindet, wobei der Antriebs- Teleskoparm (22a) und jeder eventuell zwischen dem Antriebs- Teleskoparm (22a) und dem Halte-Teleskoparm (22c) angeordnete Teleskoparm (22b) mit einer Koppeleinrichtung (28) ausgestattet ist, die einen um Umlenkmittel (32) herumgeschlungenen, biegeflexiblen Zugstrang (33) enthält, wobei der am Antriebs- Teleskoparm (22a) angeordnete Zugstrang (33) sowohl bezüglich der Tragstruktur (16) als auch bezüglich des ihm benachbarten Teleskoparmes (22b) ortsfest fixiert ist und wobei der Halte- Teleskoparm (22c) ortsfest bezüglich des Zugstranges (33) des ihm benachbarten Teleskoparmes (22b) fixiert ist.
2. Handhabungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eines Transfereinheit (7) an einer Positioniereinrichtung (8) angeordnet ist, mittels der sie in einer zur Transferbewegung (23) rechtwinkeligen horizontalen Richtung (13) und/oder in einer vertikalen Richtung (15) verfahrbar und positionierbar ist.
3. Handhabungssystem nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Transfereinheit (7) mindestens einen zwischen dem Antriebs -Teleskoparm (22a) und dem Halte-Teleskoparm (22c) angeordneten Zwischen-Teleskoparm (22b) aufweist, wobei der Zugstrang (33) jedes Zwischen- Teleskoparmes (22b) ortsfest bezüglich beiden ihm benachbarten Teleskoparmen (22a, 22c) fixiert ist.
4. HandhabungsSystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Teleskoparmeinheit (17, 18) drei Teleskoparme (22 ) in Gestalt eines Antriebs -Teleskoparmes (22a) , eines Zwischen-Teleskoparmes (22b) und eines Halte- Teleskoparmes (22c) aufweist.
5. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Teleskoparme (22) der mindestens einen Teleskoparmeinheit (17, 18) quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind, wobei sie sich zweckmäßigerweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene (52) erstrecken.
6. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebs-Teleskoparm (22a) durch Linearführungsmittel (24a) an der Tragstruktur (16) in Achsrichtung der Transferbewegung (23) verschiebbar gelagert ist und dass jeweils benachbart zueinander angeordnete Teleskoparme (22a, 22b; 22b, 22c) ebenfalls durch Linearführungs- mittel (24b, 24c) in Achsrichtung der Transferbewegung (23) verschiebbar aneinander gelagert sind, wobei die Linearfüh- rungsmittel (24a, 24b, 24c) zweckmäßigerweise mindestens eine am jeweils einen Teil angeordnete Führungsschiene (53) und mindestens einen am jeweils anderen Teil angeordneten, an der zugeordneten Führungsschiene (53) verschiebbar gelagerten Führungsschlitten (54) enthalten.
7. Handhabungssystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Linearführungsmittel (24a, 24b, 24c) quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind, wobei sie sich zweckmäßigerweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene (52) erstrecken.
8. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsmittel (27) eine Antriebseinheit (43) umfassen, die mindestens einen sich in Richtung der Transferbewegung (23) erstreckenden Linearantrieb (44, 45) aufweist, der bezüglich der Tragstruktur (16) ortsfest fixiert ist und ein mit dem Antriebs-Teleskoparm (22a) mindestens einer Teleskoparmeinheit (17, 18) bewegungsgekoppeltes, zu einer linearen Abtriebsbewegung antreibbares Abtriebsteil (47) aufweist, wobei der Linearantrieb (44, 45) zweckmäßigerweise als fluidbetätigter, kolbenstangenloser Linearantrieb ausgebildet ist.
9. Handhabungssystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheit (43) wenigstens zwei parallel geschaltete Linearantriebe (44, 45) aufweist.
10. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) mindestens zwei quer zur Richtung der Transferbewegung (23) mit Abstand horizontal nebeneinander angeordnete Teleskoparmeinheiten (17, 18) aufweist, denen gemeinsam eine Tragstruktur (16) zugeordnet ist, an der ihre Antriebs -Teleskoparme (22a) verschiebbar gelagert sind, wobei die Antriebs -Teleskoparme (22a) der beiden Teleskoparmeinheiten (17, 18) in synchron antreibbarer Weise mit den Antriebsmitteln (27) in Antriebsverbindung stehen.
11. Handhabungssystem nach Anspruch 10 in Verbindung mit Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheiten (43) in vertikaler Draufsicht auf die Transfereinheit (7) gesehen, zwischen den beiden Teleskoparmeinheiten (17, 18) angeordnet ist, wobei die Antriebs -Teleskoparme (22a) beider Teleskoparmeinheiten (17, 18) über mindestens einen Mitnehmer (48) mit dem Abtriebsteil (47) des mindestens einen Linearantriebes (44, 45) bewegungsgekoppelt sind, wobei der Mitnehmer (48) zweckmäßigerweise strebenartig ausgebildet ist und die Antriebs -Teleskoparme (22a) unter Überbrückung des dazwischen vorhandenen Zwischenraumes (26) insbesondere starr miteinander verbindet.
12. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) im eingefahrenen Zustand der mindestens einen Teleskoparmeinheit (17, 18) und in vertikaler Draufsicht betrachtet einen Basis- Umriss (42) aufweist, innerhalb dessen sich sowohl die Gegen- stands-Haltemittel (25) als auch die Antriebsmittel (27) befinden, wobei im ausgefahrenen Zustand der mindestens einen Teleskoparmeinheit (17, 18) die Antriebsmittel (27) innerhalb des Basis-Umrisses (42) liegen, während die Gegenstands - Haltemittel (25) zumindest teilweise über den Basis-Umriss (42) hinausragen.
13. Handhabungssystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) wenigstens zwei horizontal nebeneinander angeordnete Teleskoparmeinheiten (17, 18) aufweist, die im ausgefahrenen Zustand nach Art einer mindestens zweizinkigen Gabel über den Basis-Umriss (42) hinausragen.
14. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragstruktur (16) der Transfereinheit (7) plattenförmig ausgebildet und zweckmäßigerweise in einer Horizontalebehe ausgerichtet ist.
15. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenstands-Haltemittel (25) als zum Auflegen eines Gegenstandes dienende Auflagemittel ausgebildet und zweckmäßigerweise von an der nach oben weisenden Längsseite des Halte-Teleskoparmes (22c) angeordneten, punktuell verteilten Auflageelementen gebildet sind.
16. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass jede Koppeleinrichtung (28) als Umlenkmittel (32) zwei mit Abstand zueinander drehbar am zugeordneten Teleskoparm (22) gelagerte Umlenkrollen aufweist, um die ein zweckmäßigerweise seilförmiger oder bandförmiger Zugstrang (33) herumgeschlungen ist.
17. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) insbesondere in Form eines WegmessSystems realisierte Positionserfas- sungsmittel (56) für die mindestens eine Teleskoparmeinheit (17, 18) aufweist.
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