JP2007202300A - サーボモータ駆動装置 - Google Patents

サーボモータ駆動装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007202300A
JP2007202300A JP2006017851A JP2006017851A JP2007202300A JP 2007202300 A JP2007202300 A JP 2007202300A JP 2006017851 A JP2006017851 A JP 2006017851A JP 2006017851 A JP2006017851 A JP 2006017851A JP 2007202300 A JP2007202300 A JP 2007202300A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amplifiers
amplifier
order
detection circuit
abnormality detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006017851A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4999144B2 (ja
Inventor
Ichiro Araya
一朗 新家
Sumifumi Ichikawa
純文 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sodick Co Ltd
Original Assignee
Sodick Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sodick Co Ltd filed Critical Sodick Co Ltd
Priority to JP2006017851A priority Critical patent/JP4999144B2/ja
Publication of JP2007202300A publication Critical patent/JP2007202300A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4999144B2 publication Critical patent/JP4999144B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
    • H02P25/06Linear motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
    • H02P25/06Linear motors
    • H02P25/064Linear motors of the synchronous type

Abstract

【課題】より大きな推力を容易に得ることができるサーボモータ用の駆動装置を提供する。
【解決手段】各相のコイルから成るコイルブロック71、72、73を複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流I、I、Iを供給するアンプ1、2、3を複数並列に設ける。モーションコントローラ40と複数のアンプを下り方向の信号線41、42、43によってディジーチェイン接続してモーションコントローラが指令信号Uを複数のアンプのうちマスタアンプ1へ供給し指令信号はマスタアンプからより下位のスレーブアンプ2、3へ順に伝搬されるようにした。
【選択図】図1

Description

本発明は、工作機械等に使用されるサーボモータとサーボモータ駆動装置に関する。特に、本発明は、複数のアンプから制御電流をサーボモータへ供給するサーボモータ駆動装置に関する。
図3は、一般的な三相交流サーボモータ用アンプの基本的な構成を示している。アンプOAは、3つのパワー素子12と2つの電流検出器14を有する電流ループ回路10を含んでいる。モータ制御装置であるモーションコントローラ(図示しない)は指令信号UをアンプOAに送る。アンプOAはパワー素子12を通して電流を指令信号Uが示す値まで増幅し制御電流を出力する。制御電流I、I、Iは、サーボモータSMの各相のコイル群、すなわちU相コイル群70u、V相コイル群70v、W相コイル群70wへ供給される。各相のコイル群は、並列に接続された複数のコイルから成っている。制御電流は電流検出器14の検出電流によって補正される。サーボモータSMやアンプOA内に異常検出器が設けられ、アンプOAは異常検出器の情報に基づきエラー信号Erをモーションコントローラに出力する。例えば、図3中の異常検出器20は、アンプOA内の過電力を検出する。
サーボモータSMの各相で並列コイルの数を増やすと、応答性を低下させずにサーボモータSMの推力を大きくすることができる。しかし、パワー素子12によって並列コイルに供給可能な瞬時最大電流には限界がある。したがって、応答性を低下させずに大きくできる推力にも限界がある。
例えば、工作機械のように移動体の質量が比較的大きい場合、より大きな推力がサーボモータに要求される。特に、応答性能や加速性能に対する要求が年々高まっていることからサーボモータにリニアモータを採用する傾向にある。伝達機構のないリニアモータでは、所要の最大加速度と最高速度で移動させることができる移動体の最大の質量はサーボモータの推力に直接的に依存する。これまでの構成のアンプでは加速時における瞬時最大電流が不足し、十分な推力を得ることができなくなってきている。もっとも、1つの移動体を複数のリニアモータによって駆動することも考えられる。しかしながら、この場合、複数のリニアモータを同期させる装置などいくつかの付加的な機能を必要としてしまう。
ところで、特許文献1に開示されるように、並列に設けられたコイルの1つに対し1つのアンプを接続する方式、いわゆるマルチアンプ方式のモータ駆動装置が知られている。このようなマルチアンプ方式を利用する場合、コイル数の増加に応じてアンプの数も増加させる。こうして、供給可能な制御電流を増大させ、サーボモータの推力を増大させることができる。
特開2003−47285号公報
しかしながら、複数のアンプを設けると、モーションコントローラは複数のアンプのそれぞれに対し指令信号を供給する必要がある。したがって、指令信号を伝送するケーブルがアンプの数、言い換えれば、コイルの数だけ要求される。その結果、コイルの数を増やすとモーションコントローラの構成を変更する必要が生じるとともに、配線が複雑化あるいは困難になり、サーボモータの推力に物理的な限界を生じさせる。そのため、結局、大きな推力を得ることが困難になる。したがって、単に並列コイルのそれぞれに個別のアンプを接続する構成は、コイルを増やす毎にアンプを追加しなければならない。また、そのような構成は、基板や配線の数を増大させ、あるいは装置や基板の大幅な設計の変更を余儀なくさせる。
また、複数のアンプに対して電源装置から電力を供給する必要があるが、電力を送電するケーブルがコイルの数だけ要求される。したがって、配線が面倒であり、予期される最大数のアンプに適する電源装置を構成しておくことが要求される。また、アンプの数だけエラー信号が発生するので、モーションコントローラと複数のアンプ間に複数の信号を処理する装置が別に要求される。
本発明は、上記課題に鑑みて、容易により大きな推力を得ることができるサーボモータ用の駆動装置を提供することを目的とする。本発明によるいくつかの具体的な利点は、追ってより詳細に説明される。
ある観点から見る本発明は、上記課題を解決するため、各相のコイルから成るコイルブロック(71、72、73)を複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流(I、I、I)を供給するアンプ(1、2、3)を複数並列に設け、モーションコントローラ(40)と複数のアンプを下り方向の信号線(41、42、43)によってディジーチェイン接続してモーションコントローラが指令信号(U)を複数のアンプのうちマスタアンプ(1)へ供給し指令信号はマスタアンプからより下位のスレーブアンプ(2、3)へ順に伝搬されるようにしたサーボモータ駆動装置である。
好ましくは、電源装置(50)と複数のアンプをもう1つの下り方向の信号線(51、52、53)によってディジーチェイン接続して電源装置が電力(W)をマスタアンプへ供給し電力はより下位のスレーブアンプへ順に伝搬されるようにした。
さらに好ましくは、複数のアンプはそれぞれの内部の異常を検出する異常検出回路(30)を含み、モーションコントローラと複数のアンプを上り方向の信号線(31、32、33)によってディジーチェイン接続してマスタアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号(Er)がモーションコントローラへ送られより下位のスレーブアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がより上位のアンプを順に経由してモーションコントローラへ到来するようにした。
別の観点から見る本発明は、各相のコイルから成るコイルブロックを複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流を供給するアンプを複数並列に設け、電源装置と複数のアンプを下り方向の信号線によってディジーチェイン接続して電源装置が電力を複数のアンプのうちマスタアンプへ供給し電力はより下位のスレーブアンプへ順に伝搬されるようにしたサーボモータ制御装置である。
さらに別の観点から見る本発明は、各相のコイルから成るコイルブロックを複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流を供給するアンプを複数並列に設け、複数のアンプにそれぞれの内部の異常を検出する異常検出回路を設け、モーションコントローラと複数のアンプを上り方向の信号線によってディジーチェイン接続してマスタアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がモーションコントローラへ送られより下位のスレーブアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がより上位のアンプを順に経由してモーションコントローラへ到来するようにしたサーボモータ駆動装置である。
本発明のサーボモータ駆動装置では、各相のコイルから成るコイルブロックを複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流を供給するアンプを複数並列に設け、複数のアンプをディジーチェイン接続したので、配線が複雑化せず複数のアンプとモーションコントローラをつなぐ信号ケーブル又は電力ケーブルは、モーションコントローラとマスタアンプ間にのみ設ければよい。したがって、多数のアンプを含むサーボモータ駆動装置を容易に提供し大きな推力を発生するサーボモータを実現できる。また、各アンプは基本的に同一の構成でよいから、アンプの数を増加する場合に、追加のアンプを最下位アンプへ接続すればよくモーションコントローラやサーボモータ駆動装置に大幅な設計変更が要求されない。
以下に、図1及び2を参照して,本発明のサーボモータ駆動装置を詳細に説明する。なお,明細書及び図面において,実質的に同一の要素に同一の参照番号を与えその説明を省略する。
図1中のサーボモータ7は三相交流同期型リニアモータである。サーボモータ7の一次側ユニットを構成する各相コイルを複数のコイルに分割している。各コイルは、例えば、櫛歯状の鋼板の積層体により形成された鉄心に巻装されている。U相コイルを複数のコイルu71、u72、u73へ分割し、V相コイルを複数のコイルv71、v72、v73へ分割し、W相コイルを複数のコイルw71、w72、w73へ分割している。各相のコイルで構成されるコイルブロック71、72、73はそれぞれのアンプ1、2、3へ接続される。コイルブロック71は複数のコイルu71、v71、w71により、コイルブロック72は複数のコイルu72、v72、w72により、コイルブロック73は複数のコイルu73、v73、w73により構成される。なお、図1は、実際のコイル配置を示すものではなく、コイルブロック71、72、73と複数のアンプとの接続を示している。
サーボモータ駆動装置PWが、1つのマスタアンプ1と2つのスレーブアンプ2、3を含む。説明を簡単にするため、実施例では、コイルブロックとスレーブアンプの組み合わせが3つ示されているが、3つ以上の組み合わせが設けられてもよい。各アンプ1、2、3はディジーチェイン接続される。モーションコントローラ40と電源装置50の出力は、唯一、最上位アンプであるマスタアンプ1の入力へ接続される。他のアンプ2、3は、モーションコントローラ40と電源装置50へ接続されていない。次位のアンプであるスレーブアンプ2はマスタアンプ1に隣接し、スレーブアンプ3は最下位アンプである。
モーションコントローラ40は指令信号Uを下り方向の信号線41を通してマスタアンプ1へのみ供給する。より下位のアンプであるスレーブアンプ2、3は他のアンプを通してモーションコントローラ40から指令信号Uを入力できる。電源装置50は電力線51を通して商用交流を変圧および整流してマスタアンプ1へ電力Wを供給する。より下位のアンプであるスレーブアンプ2、3は他のアンプを通して電源装置50から電力Wを入力できる。
マスタアンプ1の制御電流I、I、I用の出力は、コイルブロック71の各相コイルu71、v71、w71へ接続される。マスタアンプ1の信号出力は下り方向の信号線42によって次位のスレーブアンプ2の信号入力へ接続される。また、スレーブアンプ2の制御電流I、I、I用の出力はコイルブロック72の各相コイルu72、v72、w72へ接続される。スレーブアンプ2の信号出力は下り方向の信号線43によってスレーブアンプ3の信号入力へ接続される。スレーブアンプ3の制御電流I、I、I用の出力はコイルブロック73の各相コイルu73、v73、w73へ接続される。アンプ1、2、3は制御電流I、I、Iをそれぞれのコイルブロック71、72、73へ供給してサーボモータ7を駆動する。
このように、モーションコントローラ40と複数のアンプ1、2、3は、下り方向の信号線41、42、43によってディジーチェイン接続される。モーションコントローラ40から出力される指令信号Uは、マスタアンプを経由して下位のアンプ2、3へ順に伝搬される。また、電源装置50と複数のアンプ1、2、3は、電力線51、52、53によってディジーチェイン接続され、電力Wは、上位のアンプから下位のアンプへ順に供給される。
各アンプは、基本的に同一の構成を有する。マスタアンプ1は、コイルブロック71の各相コイルu71、v71、w71へ制御電流I、I、Iを供給する。指令信号Uは、マスタアンプ1の接続回路8を通して、スレーブアンプ2へ伝搬される。スレーブアンプ2はコイルブロック72の各相コイルu72、v72、w72へ制御電流I、I、Iを供給する。指令信号Uは、さらにスレーブアンプ2の接続回路8を通して、スレーブアンプ3へ伝搬される。スレーブアンプ3はコイルブロック73の各相コイルu73、v73、w73へ制御電流I、I、Iを供給する。なお、マスタアンプ1はそのパワー素子12に電力Wを供給すると共にその接続回路8を通してスレーブアンプ2へ電力Wを供給する。同様に、スレーブアンプ2はスレーブアンプ3へ電力Wを供給し、スレーブアンプ3はスレーブアンプ4へ電力Wを供給する。図2では、電力Wの供給は省略されている。
また、アンプ1、2、3は、それぞれ、サーボモータ7の種々の異常を検出する異常検出回路30を備える。マスタアンプ1の接続回路8は、スレーブアンプ2からエラー信号Erを入力できる。スレーブアンプ2、3の接続回路8は、それぞれスレーブアンプ3、4からエラー信号Erを入力できる。
図2中に示すように、接続回路8は、フォトカプラ82、D/Aコンバータ84、ゲート回路86を含んでいる。マスタアンプ1の接続回路8は、モーションコントローラ40から、指令信号Uとして、U相の指令信号ucとV相の指令信号vcを入力する。接続回路8中のD/Aコンバータ84は、指令電流を電流ループ回路10へ出力する。電流ループ回路10は指令電流と検出電流の偏差を増幅し、コイルu71、v71、w711へ制御電流I、I、Iを供給する。また、フォトカプラ82から出力される指令信号Uは、ゲート回路86を通してスレーブアンプ2の接続回路8へ供給される。
マスタアンプ1の異常検出回路30は、過電力、加熱、電源異常をそれぞれ検出する検出器20、22、24を含む。検出器20、22、24のエラー信号Erは、接続回路8中の論理和回路26とフォトカプラ88を通って、モーションコントローラ40へ到来する。スレーブアンプ2中に発生したエラー信号Erは、上り方向の信号線32、マスタアンプ1の論理和回路26とフォトカプラ88を経由してモーションコントローラ40へ到来する。スレーブアンプ3中に発生したエラー信号Erは、上り方向の信号線33、より上位のスレーブアンプ2中の論理和回路26とフォトカプラ88、マスタアンプ1中の論理和回路26とフォトカプラ88を順に経由して、モーションコントローラ40へ到来する。
本発明は、サーボモータ用のアンプに適用される。本発明によって容易に大きな推力のリニアモータを得ることができるようになり、特に工作機械のテーブルなどを移動させるリニアモータの利点を向上させる。
本発明のサーボモータ駆動装置の構成を示すブロック図である。 図1のマスタアンプとスレーブアンプの構成を示すブロック図である。 従来のアンプの構成を示すブロック図である。
符号の説明
PW サーボモータ駆動装置
SM サーボモータ
1 マスタアンプ
2、3 スレーブアンプ
7 サーボモータ
8 接続回路
10 電流ループ回路
12 パワー素子
14 電流検出器
20 過電力検出器
22 加熱検出器
24 電源異常検出器
26 論理和回路
30 異常検出回路
31、32、33 上り方向の信号線
40 モーションコントローラ
41、42、43 下り方向の信号線
50 電源装置
51、52、53 電力線
71、72、73 コイルブロック
82 フォトカプラ
84 D/Aコンバータ
86 ゲート回路
88 フォトカプラ

Claims (9)

  1. 各相のコイルから成るコイルブロックを複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流を供給するアンプを複数並列に設け、モーションコントローラと複数のアンプを下り方向の信号線によってディジーチェイン接続してモーションコントローラが指令信号を複数のアンプのうち最上位アンプへ供給し指令信号は最上位アンプからより下位のアンプへ順に伝搬されるようにしたサーボモータ駆動装置。
  2. 電源装置と複数のアンプを第2の下り方向の信号線によってディジーチェイン接続して電源装置が電力を前記最上位アンプへ供給し電力はより下位のアンプへ順に伝搬されるようにした請求項1に記載のサーボモータ駆動装置。
  3. 複数のアンプはそれぞれの内部の異常を検出する異常検出回路を含み、モーションコントローラと複数のアンプを上り方向の信号線によってディジーチェイン接続して前記最上位アンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がモーションコントローラへ送られより下位のアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がより上位のアンプを順に経由してモーションコントローラへ到来するようにした請求項1に記載のサーボモータ駆動装置。
  4. 前記最上位アンプは、その異常検出回路から発生するエラー信号と、より下位のアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号との論理和をとる論理和回路を含む請求項3に記載のサーボモータ駆動装置。
  5. 各相のコイルから成るコイルブロックを複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流を供給するアンプを複数並列に設け、電源装置と複数のアンプを下り方向の信号線によってディジーチェイン接続して電源装置が電力を複数のアンプのうち最上位アンプへ供給し電力はより下位のアンプへ順に伝搬されるようにしたサーボモータ駆動装置。
  6. 複数のアンプはそれぞれの内部の異常を検出する異常検出回路を含み、モーションコントローラと複数のアンプを上り方向の信号線によってディジーチェイン接続して前記最上位アンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がモーションコントローラへ送られより下位のアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がより上位のアンプを順に経由してモーションコントローラへ到来するようにした請求項5に記載のサーボモータ駆動装置。
  7. 前記最上位アンプは、その異常検出回路から発生するエラー信号と、より下位のアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号との論理和をとる論理和回路を含む請求項6に記載のサーボモータ駆動装置。
  8. 各相のコイルから成るコイルブロックを複数並列に接続し、複数のコイルブロックのそれぞれへ制御電流を供給するアンプを複数並列に設け、複数のアンプにそれぞれの内部の異常を検出する異常検出回路を設け、モーションコントローラと複数のアンプを上り方向の信号線によってディジーチェイン接続して最上位アンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がモーションコントローラへ送られより下位のアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号がより上位のアンプを順に経由してモーションコントローラへ到来するようにしたサーボモータ駆動装置。
  9. 前記最上位アンプは、その異常検出回路から発生するエラー信号と、より下位のアンプ中の異常検出回路から発生するエラー信号との論理和をとる論理和回路を含む請求項8に記載のサーボモータ駆動装置。
JP2006017851A 2006-01-26 2006-01-26 サーボモータ駆動装置 Active JP4999144B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006017851A JP4999144B2 (ja) 2006-01-26 2006-01-26 サーボモータ駆動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006017851A JP4999144B2 (ja) 2006-01-26 2006-01-26 サーボモータ駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007202300A true JP2007202300A (ja) 2007-08-09
JP4999144B2 JP4999144B2 (ja) 2012-08-15

Family

ID=38456321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006017851A Active JP4999144B2 (ja) 2006-01-26 2006-01-26 サーボモータ駆動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4999144B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011151004A1 (de) * 2010-06-04 2011-12-08 Festo Ag & Co. Kg Handhabungssystem zur handhabung von gegenständen
WO2012028390A3 (de) * 2010-08-31 2013-04-04 Etel S.A. Steuerschaltung für einen elektromotor mit einem stromversorgungssteuergerät
JP2017042029A (ja) * 2015-08-21 2017-02-23 村田機械株式会社 リニアモータシステム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08156354A (ja) * 1994-12-07 1996-06-18 Canon Inc 用紙給送装置
JP2000020119A (ja) * 1998-06-29 2000-01-21 Fanuc Ltd 多軸協調制御方法
JP2000501279A (ja) * 1996-08-26 2000-02-02 ブリュックナー マシーネンバウ ゲーエムベーハー リニアモータにより駆動される装置の制御装置
JP2001292587A (ja) * 2000-04-05 2001-10-19 Toshiba Corp 交流電動機制御装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08156354A (ja) * 1994-12-07 1996-06-18 Canon Inc 用紙給送装置
JP2000501279A (ja) * 1996-08-26 2000-02-02 ブリュックナー マシーネンバウ ゲーエムベーハー リニアモータにより駆動される装置の制御装置
JP2000020119A (ja) * 1998-06-29 2000-01-21 Fanuc Ltd 多軸協調制御方法
JP2001292587A (ja) * 2000-04-05 2001-10-19 Toshiba Corp 交流電動機制御装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011151004A1 (de) * 2010-06-04 2011-12-08 Festo Ag & Co. Kg Handhabungssystem zur handhabung von gegenständen
WO2012028390A3 (de) * 2010-08-31 2013-04-04 Etel S.A. Steuerschaltung für einen elektromotor mit einem stromversorgungssteuergerät
US8860354B2 (en) 2010-08-31 2014-10-14 Etel S.A. Control circuit for an electric motor having a power-supply control device
JP2017042029A (ja) * 2015-08-21 2017-02-23 村田機械株式会社 リニアモータシステム

Also Published As

Publication number Publication date
JP4999144B2 (ja) 2012-08-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102195551B (zh) 用于五相机同步电流调整的方法、系统和设备
JP2007295647A (ja) インバータの同期運転方式
CN101984553B (zh) 电压矢量选择方法及依该方法建立的多电机同步控制系统
JP6200859B2 (ja) モータ制御装置、及びそれに用いる誤配線検出方法
JP2001157487A (ja) 回転電機の制御装置
JP5648722B1 (ja) リニアモータシステム
JP2017093056A (ja) 電力変換装置及び電動パワーステアリング装置
WO2008018183A1 (fr) Système de commande d'une pluralité de moteurs
GB2391076A (en) Servo control device
JP2008043046A (ja) サーボモータの制御方法
JP4999144B2 (ja) サーボモータ駆動装置
JP5977589B2 (ja) 電動機の制御システム
US7932689B2 (en) Motor drive system for driving motor provided with a plurality of windings
CN201854230U (zh) 多电机同步控制系统
JP5081633B2 (ja) モータ制御装置
JP4817116B2 (ja) ステージ装置
US9136791B2 (en) Motor driving device, integrated circuit device, motor apparatus and motor driving system
JP4893075B2 (ja) 同期制御システム
JP2004086716A (ja) 数値制御装置
JP5447400B2 (ja) モータ駆動装置、モータ駆動システム
JP3259441B2 (ja) 誘導電動機のベクトル制御装置
JP2009116711A (ja) サーボアンプおよび基準位置調整方法
JP2008090825A (ja) 位置検出器をマルチドロップ接続した多軸制御システム
JP2018191475A (ja) アクチュエータ制御装置
JP2008043111A (ja) 誘導機制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090123

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110715

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110721

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110915

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120511

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120514

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4999144

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250