WO2011136278A1 - 熱交換用プレートの元板材、及び熱交換用プレートの元板材の製造方法 - Google Patents

Abstract

　本発明は、プレス加工が施された後に熱交換用のプレートとなる熱交換用のプレートの元板材、及びその製造方法を提供する。本発明に係る熱交換用プレート４の元板材２は、表面に凹部及び凸部が形成されたチタン製の平板材１で構成され、後処理としてプレス加工が施された後に熱交換用プレート４になる。凸部５の高さをＲｚ（μｍ）、凹部６の幅をＬ（μｍ）、隣り合う凸部５間のピッチをＰ（μｍ）としたとき、（Ｒｚ×Ｌ／Ｐ）で定義される形状パラメータが１２μｍ以下となるように、凹部６及び凸部５が形成されている。

Description

熱交換用プレートの元板材、及び熱交換用プレートの元板材の製造方法

　本発明は、熱交換用プレートの元板材、及び熱交換用プレートの元板材の製造方法に関する。

　従来より、熱交換器等に組み込まれる熱交換用プレートは高い伝熱性を有していることが望まれている。伝熱性を向上させるためには、プレートの表面にミクロンオーダの微細な凹凸を形成することによりプレートの表面積を拡大することがよい。ミクロンオーダの微細な凹凸を転写する方法として、例えば、特許文献１に示されるような技術が開発されている。
　特許文献１に示される金属板表面への転写方法では、移送ロールの回転によって移送される金属シートに対して、転写ロールの外周面に形成された凹凸状の転写部が押圧される。これによって、金属シートの表面に、転写ロールの転写部と略同じ凹凸状の被転写部が形成される。

　一方、特許文献２には、プレート式熱交換器が開示されている。このプレート式熱交換器では、所定パターンの開孔列が形成された２枚のプレートを開孔列を交差させて重ねることにより形成されたプレートセットと、四隅に連通孔を開孔した隔壁プレートとが交互に積層されている。隔壁プレートで区画されて形成された流体の流通層を形成し、各流通層を上下の一層を隔てた流通層と連通させたプレート式熱交換器を開示する。伝熱性や強度の向上のため、熱交換器に使用される熱交換用プレート自体に、例えば「ヘリンボーン」と言われる高さ数ｍｍ～数ｃｍの山形の溝がプレス成形される。その後、熱交換用プレートが熱交換器内に組み込まれる。

日本国特開２００６－２３９７４４号公報 日本国特開２００９－１９２１４０号公報（例えば、図６）

　特許文献１に開示された熱交換用プレートでは、平板材の表面にミクロンオーダの微細な凹凸を形成することで表面積を拡大することによって、伝熱性が向上されている。しかしながら、表面に微細な凹凸が形成された平板材がそのままの形で熱交換用プレートとなることは少ない。
　すなわち、特許文献２の図６に開示されているように、微細な凹凸が形成された平板材は、通常、その平面に例えば「ヘリンボーン」と言われる高さ数ｍｍ～数ｃｍの山形の溝がプレス成形される。その後、平板材が熱交換器内へ組み込まれる。そのため、微細な凹凸が形成された後の平板材は、プレス成形性が望まれている。

　また、平板材はチタンから製造されることがある。チタンは異方性を有する材料であり、材料の異方性は応力集中部における板厚の減少や歪み勾配等の変形挙動に影響する。そのため、チタンは、異方性のない他の材料と比較しプレス成形性などが著しく悪い。また、チタンは焼き付きやすい材料であるため、プレス時に潤滑油の油膜切れが起こると、材料の破断、プレス金型や工具との接触によりきずが発生しやすくなる。

　当然ながら、特許文献１や特許文献２には、チタン製の平板材に対する困難性を克服した熱交換用プレートを製造する技術は開示されていない。

　本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであって、伝熱性が非常に優れると共に、熱交換用のプレートへと容易に成形可能な熱交換用プレートの元板材、及びこの元板材の製造方法を提供することを目的とする。

　前記目的を達成するため、本発明は以下の技術的手段を備える。
　すなわち、本発明における熱交換用プレートの元板材は、チタン製の平板材の表面に微細な凹部及び凸部を形成することによって形成され、プレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材であって、前記凸部の高さをＲｚ（μｍ）、前記凹部の幅をＬ（μｍ）、隣り合う前記凸部間のピッチをＰ（μｍ）としたとき、（Ｒｚ×Ｌ／Ｐ）で定義される形状パラメータが１２μｍ以下となるように、前記凹部及び前記凸部が形成されていることを特徴とする。

　前記形状パラメータが４μｍ以上となるように、前記凹部及び前記凸部が形成されることが好ましい。
　また、前記凸部は平面視で円形状であって、前記平板材の表面に千鳥状に形成されることが好ましい。
　さらに、前記凸部の高さＲｚは、十点平均粗さで５μｍ以上であり、且つ、前記平板材の厚みをｔ（μｍ）としたとき、０．１×ｔ（μｍ）以下であることが好ましい。

　また、本発明における熱交換用プレートの元板材の製造方法は、チタン製の平板材の表面に微細な凹部及び凸部を形成することによって形成され、プレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材の製造方法であって、
　前記凸部の高さをＲｚ（μｍ）、前記凹部の幅をＬ（μｍ）、隣り合う前記凸部間のピッチをＰ（μｍ）としたとき、（Ｒｚ×Ｌ／Ｐ）で定義される形状パラメータが１２μｍ以下となるように、前記凹部及び凸部を形成することを特徴とする。

　前記形状パラメータが４μｍ以上となるように、前記凹部及び前記凸部を形成することが好ましい。
　また、前記凸部を平面視で円形状に形成すると共に、前記凸部を平板材の表面に千鳥状に配置して形成することが好ましい。
　さらに、前記凸部の高さＲｚが十点平均粗さで５μｍ以上、且つ前記平板材の厚みをｔ（μｍ）としたときに０．１×ｔ（μｍ）以下となるように、前記平板材の表面に前記凸部を形成することが好ましい。

　本発明の技術に係る元板材を用いることにより、後処理であるプレス加工時に割れ等を生じることなく、熱交換用プレートを容易に製造することができる。また、元板材の表面に凹部及び凸部が形成されることにより、非常に優れた伝熱性を有する熱交換用プレートを製造することができるようになる。

（ａ）～（ｃ）は熱交換用プレートの製造方法を示す図であり、（ｄ）は（ｂ）のＩ部拡大図である。 元板材の表面に形成された凹部及び凸部を示した図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＩＩ－ＩＩ断面図である。 元板材の表面に形成された凹部及び凸部の別の例を示した図である。 Ｌ／Ｐと応力集中率との関係を示した図である。 元板材の表面に形成された凹部及び凸部の寸法形状と伝熱効率との関係と、元板材の表面に形成された凹部及び凸部の寸法形状とプレス成形性スコアとの関係を示した図である。 （ａ）は元板材の表面に凹部及び凸部を形成する装置の概略図であり、（ｂ）は（ａ）のＶＩ部分の拡大図、（ｃ）は（ａ）のＶＩ’部分の拡大図である。 プレス成形性スコアＰｆを算出するための参考図である。

　以下、図面に基づき、本発明の実施の形態を説明する。
　図１は、熱交換用プレートの製造方法を示した概念図である。
　熱交換用プレートを製造するにあたっては、まず、図１（ａ）に示されるように、所定の大きさを有する素材である平板材１を用意する。そして、図１（ｂ）に示されるように、平板材１をプレス加工して平板材１の表面１ａに微細な凹凸形状を形成することにより、表面２ａに微細な凹凸形状が形成されたプレート元板２（元板材）が作成される。次に、図１（ｃ）に示されるように、プレート元板２（元板材）をプレス加工して、例えば山形の溝（ヘリンボーン）３を形成することにより、熱交換用プレート４が製造される。

　図１（ａ）に示される平板材１はチタン材であって、その寸法、板厚は最終製品である熱交換用プレート４に所望される寸法、板厚を考慮して決定される。
　この平板材１の表面１ａに対して、後述する加工装置１０を用いて微細な凹凸形状（複数の凸部５と、これら凸部５に挟まれた凹部６）を形成することにより、プレート元板２が形成される。凹凸形状が形成されたプレート元板２は、伝熱性が非常に向上し、熱伝達率が非常に高い。加えて、本発明のプレート元板２はチタン製であるため、他金属と比較して、耐食性、強度、軽量化などの特性が優れている。それゆえに、プレート式熱交換器のプレートなど、耐食性、強度が必要となる製品に対して好適である。

　ヘリンボーン３は、骨格形状を呈した複数の溝であり、溝の高さは数ｍｍ～数ｃｍである。この元板２は、熱交換器内へ組み込まれる。熱交換器内部の作動流体の流れが不均一である場合でも、ヘリンボーン３などに代表される斜格子形状の凹凸は、どの方向から流れてくる作動流体に対しても直交する壁となり得るので、乱流による伝熱性向上に寄与することとなる。

　以降、プレート元板２の表面の凹凸形状の詳細について述べる。
　図２（ａ）に示されるように、プレート元板２の表面２ａに形成された凸部５は、平面視で円形であって、その直径Ｄは４００μｍ以上である。凸部５の平面視での配置は、千鳥状となっている。ここで、千鳥状の配置（千鳥配置）は、横方向（Ｘ方向）に隣接する凸部５、５の中心を結んだ直線と、縦方向（Ｙ方向）に隣接する凸部５、５の中心を結んだ直線と、が直交しないことを意味する。また、ここで、用語「隣接する」は、最短距離に位置することを意味する。

　具体的には、図２（ａ）に示されるように、プレート元板２において、縦方向（Ｙ方向）に隣接する凸部５、５は、横方向（Ｘ方向）に半ピッチだけズレている。ここでは、横方向（Ｘ方向）に隣接する凸部５の中心同士を結んだ直線（一点鎖線）Ａと、縦方向（Ｙ方向）に隣接する凸部５の中心同士を結んだ直線（一点鎖線）Ｂと、により形成される角度θが、６０°となるように凸部５が配置されている。
　このように、凸部５の配置が千鳥状であることにより、熱交換器内の作動流体の流れが不均一である場合であっても、凸部５がどの方向からの作動流体の流れに対しても直交する壁となり得るため、乱流による伝熱性向上に寄与する。また、凸部５の配置が千鳥状であることにより、チタン等の異方性のある材料に対しても、異方性起因の応力集中に対応できる。

　縦方向や横方向に隣接する凸部５間の距離Ｌ（凹部６の幅Ｌ）は、２００μｍ以上が好ましい。なお、凹部６の幅Ｌは、横方向又は縦方向に隣接する凸部５同士の最短距離を意味する。隣り合う凸部５間のピッチをＰ、凸部５の直径をＤとすると、凹部６の幅Ｌは、以下の式により求められる。
　Ｌ＝Ｐ－（Ｄ／２）×２
　ここで、隣り合う凸部５間のピッチＰは、横方向又は縦方向に隣接する凸部５の中心間の距離（互いに対して最短距離にある凸部５の中心間の距離）を意味する。

　図２（ａ）に示される凹部６の幅Ｌは、縦方向及び横方向ともに同じ値を有する。すなわち、縦方向に隣接する凸部５同士の最短距離と、横方向に隣接する凸部５同士の最短距離と、が共に同じ値を有する。隣接する凸部５間のピッチＰ（隣接する凸部５の中心間の距離）は、６００μｍ以上が好ましい。
　図２（ｂ）に示されるように、凸部５は、断面視にて上方に立ち上がる上壁８と、この上壁８の上縁を水平に結ぶ表壁９と、から台形状に構成されている。十点平均粗さＲｚにて示される凸部５（上壁８）の高さ（以降、高さＲｚと示すことがある）は、５μｍ以上であって、プレート元板２の板厚ｔの１／１０以下、すなわち０．１×ｔ以下となっている。

　凸部５の高さＲｚの当該範囲は、板厚に対して凸部が大きすぎると、後述する加工装置１０での圧延転写の際に平坦度（形状）が確保できず、圧延安定性が得られないために定められる。また、平坦度が確保できていない板では、後工程でのプレス成形時に応力分布が発生するため、応力が高い箇所において割れが発生する。すなわち、凸部５の高さＲｚが大きすぎると、プレス加工の際に割れの原因（起点）となり、きずの原因となる。一方、高さＲｚが小さすぎる（５μｍ以下である）と、伝熱効率が向上できなくなる。

　ところで、凸部５は平面視形状は、完全な円形でなくてもよく、扁平率０．２程度までの楕円形も含む。なお、凸部５の平面視形状としては、他に角形など様々な形状が考えられるが、後工程で行われるプレス加工時の応力集中回避の観点から、略円形であることが好ましい。また、凸部５の配置状態は、図２に示される形状に限定されない。

　例えば、図３に示されるように、横方向に隣接する凸部５の中心同士を結んだ直線（一点鎖線）Ｃと、縦方向に隣接する凸部５の中心同士を結んだ直線（一点鎖線）Ｄとの角度θが４５°となるように、凸部５が配置されてもよい。角度θは他の値であってもよい。

　本発明者は、プレート元板２を製造するにあたって、プレート元板２の表面に形成される凸部５の高さＲｚ、隣接する凸部５間の最短距離（凹部６の幅Ｌ）、隣接する凸部５間のピッチＰを最適なものとするため、形状パラメータ[Ｒｚ×（Ｌ／Ｐ）]に着目した。

　まず、上述した形状パラメータのうち、凸部５の高さＲｚを一定として、（凹部６の幅Ｌ／隣り合う凸部のピッチＰ）を変化させたときを考えると、図４に示されるように、Ｌ／Ｐが増加するにしたがって応力集中率Ｋｔが増加する傾向がある。応力集中率Ｋｔが高いと、割れ易く成形性が低い。これに対し、応力集中率Ｋｔが低いと、割れにくく成形性が高い。すなわち、凹部６の幅Ｌが大きすぎたり、凸部のピッチＰが狭すぎると、応力が集中し、プレス成形（ヘリンボーン等を成形するためのプレス加工）を実施したときなどに割れが発生し易くなる。

　一方、上述した形状パラメータのうち、凸部５の高さＲｚを変化させて高くすると、凹部６の幅Ｌや隣り合う凸部５間のピッチＰを変化させたときと同様に、プレス成形の実施時に、不均一な応力分布が発生して応力が高い箇所において割れが発生する恐れがある。
　したがって、プレート元板２のプレス成形性を考えると、凸部５の高さＲｚ又は凹部６の幅Ｌが大きすぎず、凸部のピッチＰは狭すぎないことが最適であると考えられる。したがって、これらを表す形状パラメータには上限値があると考えられる。

　そこで、本発明者らは、様々な形状の凹凸が形成されたチタン製のプレート元板２に対してコンピュータシミュレーションを行い、形状パラメータ［Ｒｚ×（Ｌ／Ｐ）］とプレス成形性スコアＰｆとの関係を明らかにした。

　ここで、「プレス成形性スコア」（Ｐｆ）は、プレス加工での成形性の評価に用いられる指標である。プレス成形性スコアＰｆの値が６０点以上であれば、プレス成形により割れなどが発生せず、所望とする形状に確実に成形できるとされている。本実施形態では、図７に示されるように、成形後（プレス後）の熱交換用プレート４に対し、３０箇所について点数を付け、これらの点数をまとめることによりプレス成形性スコアＰｆが算出される。
　詳しくは、熱交換用プレート４において、縦方向（Ｙ方向）に向くＡ線、Ｃ線、Ｅ線と交わる各部分では、割れが生じず健全なら２点、ネッキング傾向があれば１点、割れが生じていれば０点とする。また、縦方向（Ｙ方向）に向くＢ線、Ｄ線と交わる各部分では、健全なら１点、ネッキング傾向があれば０．５点、割れが生じていれば０点とする。そして、各部分の点数に、図７に示されるＲの値の逆数を掛けることによって、割れの状態を数値化する。そして、全体の総点数に対する、割れが生じていない割合を計算し、その値をプレス成形性スコアＰｆとする。

　図５は、形状パラメータとプレス成形性スコアＰｆとの関係を示している。図５に示されるように、形状パラメータが大きくなるにつれてプレス成形性スコアＰｆは低下するが、形状パラメータが１２μｍ以下であれば、プレス成形性スコアＰｆが６０点以上なる。すなわち、形状パラメータが１２μｍ以下であれば、プレス成形性Ｐｆの低下は回避できる。

　ところで、本発明のプレート元板２は、熱交換器を構成するプレートの元となるものであり、熱交換を行う隔壁となるものである。ゆえに、本発明のプレート元板２は、熱伝達率が大きい（伝熱効率が大きい）ことも要求される。

　そこで、凹部及び凸部が形成されていない平板の伝熱効率を１．００とし、凹部及び凸部が形成されたプレート（熱交換用プレート）における伝熱効率Ｈｔとする。熱交換用プレートの伝熱効率Ｈｔは１．００よりも大きいことが必要であるが、現実の熱交換器で著しい作用を奏するためには、伝熱効率Ｈｔは１．０５以上であることが望ましい。
　ここで、伝熱効率Ｈｔと形状パラメータとの関係を考える。図５に示されるように、例えば、凸部５の高さＲｚを小さくしたり、凹部６の幅Ｌを小さくしたり、凸部のピッチＰを大きくすることによって、形状パラメータは１２μｍから徐々に小さくなる。このように、形状パラメータを徐々に小さくすると伝熱効率も徐々に小さくなり、凹部及び凸部が形成されていない平板の伝熱効率に近づくことになる。しかしながら、形状パラメータが４μｍ以上であれば、現実の熱交換器で必要とされる伝熱効率（１．０５以上）を確保することができる。

　したがって、伝熱効率の点からは、プレート元板２を製造する際に、形状パラメータが４μｍ以上であることが好ましい。
　さて、凹部６の幅Ｌが小さくなるほど、形状パラメータは小さくなる。流体を流したときの温度境界層の観点から考えると、凹部６の幅Ｌが小さ過ぎると伝熱性の低下を招いてしまう。このため、凹部６の幅Ｌもある程度確保されるほうが良く、形状パラメータも、ある程度大きい必要があると思われる。

　このように、凹部６の幅Ｌと温度境界層との関係性から見ても、形状パラメータはある程度確保される必要がある。具体的には、形状パラメータは、上述したように４μｍ以上にする必要があると考えられる。
　前述したように、形状パラメータを４μｍ～１２μｍ内のいずれかの値とし、凸部５の高さＲｚを十点平均粗さで５μｍ以上、且つ平板材の厚みｔに対して０．１×ｔ（μｍ）以下とする。これにより、凹部６の幅Ｌ及び凸部５のピッチＰは必然的に決定される（導出される）。

　加えて、後工程で実施されるプレス作業での加工性や凸部５の変形防止のため、図２（ａ）に示される形状の凹部６及び凸部５を有するプレート元板２においては、圧着面積比Ｓが式（１）を満たすことが好ましい。
　加えて、後工程で実施されるプレス作業での加工性や凹凸部５の変形防止を考えるのであれば、プレート元板２における圧着面積比Ｓが、図２（ａ）の凹凸形状においては、式（１）を満たすようにすることが好ましい。
　平板材１（チタン）の降伏応力σｙ＞プレス時に凸部５にかかる面圧（Ｆ／Ｓ）　（１）
　ここで、
　Ｓ１＝Ｐ・Ｐ・tan(θ／１８０・π)／４
　Ｓ２＝π／４・Ｄ・Ｄ／２
　整理すると、
　Ｓ１＝Ｐ^２・tan（πθ／１８０）／４
　Ｓ２＝πＤ^２／８
　また、
　Ｓ＝圧着面積比＝Ｓ２／Ｓ１
　Ｆ＝プレス加工時の荷重
　Ｄ＝凸部５の直径
　上記Ｓ１は、図２（ａ）における平面の面積（図２（ａ）における直線Ａ及び直線Ｂにより囲まれる三角形の面積）である。上記Ｓ２は、図２（ａ）における凸部５の面積（前述の三角形内に存在する凸部５の面積）である。

　このように、形状パラメータが４μｍ～１２μｍとなるような凹部６及び凸部５が表面に形成されている、チタン製の元板材２を用いることで、プレス加工時に割れ等を生じることなく、熱交換器を構成する熱交換用プレート４を製造することができる。このようにして製造された熱交換用プレート４は、熱交換率が１．０５以上であって非常に優れた伝熱性を有するものとなる。この熱交換用プレート４が組み込まれた熱交換器は、熱交換効率の非常に高いものとなる。

　ところで、上記したプレート元板２は、図６に示されるような加工装置１０を用いて形成されることができる。
　加工装置１０は、移送ロール１１と、加工ロール１２と、支持ロール１３と、を備えている。移送ロール１１は、加工ロール１２の上流側及び下流側に配置され、平板材１を移送する。

　加工ロール１２は、移送されている平板材１の表面に、ミクロンオーダ（数μｍ～数百μｍ）の凹凸を形成する。具体的には、加工ロール１２は、プレート元板２における形状パラメータが４μｍ～１２μｍとなるように、高さＲｚ及びピッチＰを有する凸部５と、幅Ｌを有する凹部６を、平板材１の表面１ａに形成する。

　加工ロール１２の外周面の全周には、凸状（台形の凸）となる加工部１４がエッチングや放電ダルにより形成されている（図６（ｂ）参照）。加工部１４の高さは、加工後に得られるプレート元板２における凸部５の高さＲｚが５μｍ以上となるように、且つ、平板材の厚みｔに対して、凸部５の高さＲｚが０．１×ｔ（μｍ）以下となるように設定されている。加工ロール１２の表面層は、耐荷重性や耐摩耗性の観点より、Ｃｒメッキ又はタングステンカーバイト処理されているとよい。

　この加工装置１０は、加工ロール１２を回転させながら加工ロール１２に設けられた加工部１４を平板材１の表面に押しつける。これによって、平板材１の表面に、加工部１４を反転した形状の凹部６が形成されて、凸部５が形成される。このように、加工装置１０によって、プレート元板２の形状パラメータを４μｍ～１２μｍ以下とし、プレート元板２の凸部５の高さＲｚを５μｍ以上、且つプレート元板２の板厚ｔに対して１０％以下とすることができる（図６（ｃ）参照）。なお、凸部５を形成する装置は、上記した加工装置に限定されない。

　ところで、今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
　例えば、上記実施形態では、熱交換用のプレート４が、プレート元板２をプレス加工することにより製造されるが、このプレス加工は何でも良く、上述したようなヘリンボーンを形成するものでなくてもよい。

　なお、本発明でプレス成形性の評価基準として用いられた「プレス成形性スコア」は、一般的なプレス成形性の評価方法とされているエリクセン値（エリクセン試験）と良好な相関関係があることが知られている。したがって、本発明で用いたプレス成形性スコアによっても、プレス成形性が正確に評価できる。

　本出願は２０１０年４月２８日出願の日本特許出願（特願２０１０－１０３５２５）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

　本発明の熱交換用プレートの元板材は、海洋発電等に用いられる熱交換器を構成するプレートの元板として好適である。

　　１　　平板材
　　１ａ　平板材の表面
　　２　　プレート元板（元板材）
　　２ａ　プレート元板の表面
　　３　　溝
　　４　　熱交換用プレート
　　５　　凸部
　　６　　凹部
　　８　　上壁
　　９　　表壁
　１０　　加工装置
　１１　　移送ロール
　１２　　加工ロール
　１３　　支持ロール

Claims (8)

1. 　チタン製の平板材の表面に凹部及び凸部を形成することによって形成され、プレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材であって、
   　前記凸部の高さをＲｚ（μｍ）、前記凹部の幅をＬ（μｍ）、隣り合う前記凸部間のピッチをＰ（μｍ）としたとき、（Ｒｚ×Ｌ／Ｐ）で定義される形状パラメータが１２μｍ以下となるように、前記凹部及び前記凸部が形成されていることを特徴とする熱交換用プレートの元板材。
2. 　前記形状パラメータが４μｍ以上となるように、前記凹部及び前記凸部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の熱交換用プレートの元板材。
3. 　前記凸部は平面視で円形状であって、前記平板材の表面に千鳥状に形成されることを特徴とする請求項１に記載の熱交換用プレートの元板材。
4. 　前記凸部の高さＲｚは、十点平均粗さで５μｍ以上であり、且つ、前記平板材の厚みをｔ（μｍ）としたとき、（０．１×ｔ）μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の熱交換用プレートの元板材。
5. 　チタン製の平板材の表面に凹部及び凸部を形成することによって形成され、プレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材の製造方法であって、
   　前記凸部の高さをＲｚ（μｍ）、前記凹部の幅をＬ（μｍ）、隣り合う前記凸部間のピッチをＰ（μｍ）としたとき、（Ｒｚ×Ｌ／Ｐ）で定義される形状パラメータが１２μｍ以下となるように、前記凹部及び凸部を形成することを特徴とする熱交換用プレートの元板材の製造方法。
6. 　前記形状パラメータが４μｍ以上となるように、前記凹部及び前記凸部を形成することを特徴とする請求項５に記載の熱交換用プレートの元板材の製造方法。
7. 　前記凸部を平面視で円形状に形成すると共に、前記凸部を平板材の表面に千鳥状に配置して形成することを特徴とする請求項５に記載の熱交換用プレートの元板材の製造方法。
8. 　前記凸部の高さＲｚが十点平均粗さで５μｍ以上、且つ前記平板材の厚みをｔ（μｍ）としたときに（０．１×ｔ）μｍ以下となるように、前記平板材の表面に前記凸部を形成することを特徴とする請求項５に記載の熱交換用プレートの元板材の製造方法。

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