WO2011108467A1 - 銅箔の表面処理方法、表面処理銅箔およびリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔 - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a copper foil surface treatment method, a surface-treated copper foil, and a copper foil for a negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery using the surface-treated copper foil.
  • the characteristics of the negative electrode determine the charge / discharge characteristics as a secondary battery and the superiority or inferiority of maintaining a high potential.
  • the negative electrode, particularly the negative electrode current collector it is necessary to improve the current collection capacity of the negative electrode current collector in order to increase the capacity of the lithium ion secondary battery.
  • the negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery was manufactured by, for example, applying carbon (graphite) mixed with a binder (binder) as an active material to both surfaces of a copper foil and drying under pressure.
  • carbon graphite
  • binder binder
  • the current collection capacity of the negative electrode current collector can be improved by increasing the thickness of the active material made of carbon mixed with a binder, but with a uniform thickness on both sides of the copper foil used as the current collector. It is technically difficult to stack carbon. Furthermore, there is a problem that the battery size is increased by thickly laminating the carbon active material.
  • Silicon-based active materials have a specific hardness and large expansion and contraction between particles during charge and discharge. Silicon-based active materials have a much higher charge / discharge capacity than carbon-based active materials. Since the silicon-based active material can reduce the particle size, a decrease in capacity due to the charge / discharge cycle can be suppressed to a small level. For these reasons, silicon-based active materials are expected to be the most practical materials when applied to the negative electrode current collector of a secondary battery.
  • a metal foil as a current collector and laminating a silicon-based active material on the current collector to form a negative electrode, for example, a high capacity of a lithium ion secondary battery and a long life of charge / discharge can be achieved simultaneously. It is expected.
  • the silicon-based active material is required to have an appropriate “roughness” on the surface of the current collector to be bound because of its fine particle size. If the surface roughness of the current collector of the secondary battery is appropriate, it can be “packed with a lot of silicon-based active material” and can contribute to the improvement of the capacity of the secondary battery. In addition, in order to employ a silicon-based active material for the current collector of the secondary battery, it is essential that the metal foil used for the current collector has appropriate hardness and metallic plasticity (elongation).
  • JP 2008-127618 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-168596 JP 2000-294250 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-112326 JP-A-11-86869
  • the essential requirements for a negative electrode current collector material of a lithium ion secondary battery with a metal foil are electrical conductivity, ease of surface processing on both sides of the metal foil, adhesion with an active material, Therefore, it has the characteristic which is excellent in the ultrasonic bondability of the current collecting terminal.
  • copper foil has both electrical conductivity and ultrasonic bonding properties of current collecting terminals among these essential requirements, there is still room for improvement in terms of surface shape and adhesion to the active material.
  • a first roughening treatment layer made of metallic copper is provided on a copper foil having an untreated surface as a base material in order to improve adhesion with an active substance by pulse cathode electrolytic plating treatment.
  • a surface-treated copper foil provided with a second copper plating layer by a smooth copper plating treatment.
  • the active material is a silicon-based active material
  • the surface-treated copper foil is used as a copper foil for a negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery.
  • the surface untreated copper foil as the base material is a rolled copper foil or rolled copper alloy foil made of oxygen-free copper, or a rolled copper foil or rolled copper alloy foil, or a minute through-hole through which ions can penetrate.
  • a step of forming a first roughening treatment layer capable of adhering an active material made of metallic copper to a copper foil having an untreated surface as a base material by pulse cathode electrolytic plating treatment;
  • a copper foil surface treatment method for forming a second copper plating layer by a smooth copper plating treatment on the surface of the chemical treatment layer.
  • the surface treatment method includes a step of forming a third rust preventive layer with a rust preventive agent on the surface of the second copper plating layer, and a fourth protective layer with a coupling agent formed on the surface of the third rust preventive layer. Further comprising the step of:
  • the first roughening treatment layer made of metallic copper is provided on the copper foil of the surface untreated as the base material in order to improve the adhesion with the silicon-based active substance by the pulse cathode electrolytic plating treatment,
  • a second copper plating layer by a smooth copper plating treatment is provided, and a third rust prevention layer by a rust inhibitor on the surface of the second copper plating layer.
  • a copper foil for a negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery is provided in which a fourth protective layer made of a coupling agent is provided on the surface of the third antirust layer.
  • a surface-treated copper foil having electrical conductivity, ease of surface processing on both sides of a metal foil, adhesion to an active material, and excellent ultrasonic bonding properties, and the copper A foil surface treatment method is provided.
  • the negative electrode collector of a lithium ion secondary battery has electrical conductivity, ease of surface processing on both sides of the metal foil, adhesion to the active material, and excellent ultrasonic bonding properties.
  • An electric body can be provided.
  • FIG. 3 (A) illustrates the primary roughening process layer a
  • FIG.3 (B) further illustrates the secondary roughening layer b. It is a figure to do.
  • 2nd Embodiment of this invention It is a figure explaining the 1st form of 3rd Embodiment of this invention. It is a figure explaining the 2nd form of 3rd Embodiment of this invention.
  • a silicon-based active material for example, a silicon-based active material is used, and a surface-treated copper foil suitable for use as a collector electrode of a secondary battery, for example, a lithium ion secondary battery is illustrated.
  • a surface treatment method and the surface-treated copper foil of the present invention are not limited to application to the above-described examples and the examples described in detail below, and make use of the characteristics of the surface-treated copper foil of the present invention. It can also be applied to other uses.
  • the copper foil according to the embodiment of the present invention is, for example, a copper foil used for a current collector of a secondary battery, which has electrical conductivity, ease of processing on both sides of the foil, silicon activity From the viewpoint of processing, adhesion with a substance, and excellent ultrasonic bondability of a current collecting terminal.
  • a copper foil surface treatment method and a surface-treated copper foil according to a first embodiment of the present invention will be described.
  • a substrate to be surface treated with no surface treatment (hereinafter, untreated hereinafter) made of copper which does not contain oxygen (oxygen-free copper, oxygen-free copper)
  • a rolled copper foil (hereinafter referred to as untreated, oxygen-free, rolled copper foil) is used.
  • untreated, oxygen-free, rolled copper foil is used.
  • the adhesion with the silicon-based active material is improved, and the binding characteristics with the binder (binder) are increased.
  • the roughened surface is low-roughened and excellent in uniformity, and the surface layer of the roughened copper particles is smooth.
  • the surface roughness Rz defined in JIS-B-0601 is 0.8 to 2.5 ⁇ m on both surfaces of the oxygen-free rolled copper foil A having an untreated surface as a substrate.
  • the rolled copper foil A is preferably an oxygen-free copper foil having excellent electrical conductivity in the range of 35 to 45 kN / cm 2 (50 to 65 MPa if Young's modulus) as defined by IPC-TM-650.
  • the mechanical properties of the untreated, oxygen-free, rolled copper foil A it is preferable to employ a copper foil having an elongation rate of 3.5% or more at room temperature, for example, 25 ° C. This is because, for example, it is necessary to maintain and follow the expansion and contraction of the silicon-based active material during charging / discharging of a lithium ion secondary battery.
  • the copper foil of the first embodiment of the present invention emphasizes particularly heat resistance and plastic followability during the drying process of the silicon active material coating laminate and during charging / discharging after being incorporated into a lithium ion secondary battery. Therefore, as a base material, mechanical properties such as Vickers hardness Hv (Vickers Hardness) value in the range of 80 to 110 may be used, and the elongation rate of copper foil (elongation property ratio at normal temperature, the same shall apply hereinafter). 3.5% or more is sufficient. With such a copper foil, peeling of the silicon-based active material resulting from significant plastic deformation due to thermal history and breakage as a current collector are unlikely to occur.
  • Hv Vickers hardness
  • FIG. 1 is an explanatory view showing one embodiment of a surface treatment step of a copper foil for producing a copper foil for a negative electrode current collector, for example, as a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an explanatory view showing another form of the copper foil surface treatment process for producing a copper foil for a negative electrode current collector, for example, as the first embodiment of the present invention. Only the 5A rust prevention treatment is different.
  • 3A and 3B are enlarged views of one surface of the copper foil formed by the surface roughening treatment illustrated in FIGS. 1 and 2.
  • the surface treatment according to the first embodiment of the present invention is based on a primary surface roughening process (step 1) and a secondary surface roughening process (or smoothing process, step 3). That is, the surface of the untreated rolled copper foil A made of oxygen-free copper as a base material is roughened uniformly by pulse cathode electroplating as shown in FIG. Further, the rough surface a is smoothed by smooth copper plating as illustrated in FIG. 3B (step 3).
  • “Smooth plating” is “capsule plating” with a low current applied to maintain a healthy state without dropping the “dendritic copper particles” that have been burnt-plated in the first roughening treatment.
  • First roughening process In the first roughening treatment tank 1, the roughening treatment is performed in the first roughening treatment tank 1 with the copper foil surface of the base material being subjected to pulse cathode electrolysis treatment with extremely low roughening and uniformly. Processing is performed (primary roughening processing, first step). That is, on both surfaces of the untreated, oxygen-free and rolled copper foil illustrated in FIG. 3A (however, the illustration of FIG. 3A shows only one surface), for example, surface roughness A uniform bump-shaped copper particle layer a having a Rz of about 1.5 to 1.6 ⁇ m is formed.
  • Second roughening process (second step) Next, in the second copper plating treatment tank 2, as step 3, in order to keep the copper particle layer a adhering to the surface of the bump-shaped copper particles applied by the first roughening treatment in a healthy manner, FIG. As exemplified in B), the encapsulated copper layer b made of smooth copper plating is attached by cathodic electroplating as a secondary roughening treatment (secondary roughening treatment or smoothing treatment, third step).
  • secondary roughening treatment or smoothing treatment third step.
  • the rough surface of the copper foil after the second smooth copper plating treatment is, for example, used as a current collector of a secondary battery, so that the surface roughness Rz defined in JIS-B-0601 is 3.0 ⁇ m or less.
  • the range is preferably from 2.5 to 3.0 ⁇ m, more preferably from 2.4 to 2.5 ⁇ m.
  • the reason for roughening the surface of the untreated rolled copper foil A is, for example, improving the adhesion of the silicon-based active material mixed with the binder to the surface of the copper foil used as the current collector of the secondary battery, And, it is for applying more uniformly without dropping more silicon active substances.
  • the surface-roughened copper foil according to the first embodiment of the present invention can be applied uniformly without causing adhesion of the silicon-based active material mixed with the binder and removing more active material. Roughening (unevenness) that can be processed is applied.
  • Rust prevention treatment (step 5), protective layer treatment (step 7)
  • a rust preventive layer forming process (step 5 and step 5A) is further performed.
  • a protective layer formation process (step 7) is performed.
  • the rolled copper foil A wound on the reel 6A is continuously surface-treated through a plurality of treatment tanks described below, and wound on the take-up reel 6B.
  • First roughening process As a base material, untreated copper foil (rolled copper foil made of oxygen-free copper, hereinafter referred to as untreated rolled copper foil) A wound around a reel 6A is prepared.
  • untreated copper foil rolled copper foil made of oxygen-free copper, hereinafter referred to as untreated rolled copper foil
  • first roughening treatment tank 1 two pairs of iridium oxide anodes 11 that are separated with a shielding plate 13 interposed therebetween are arranged on both sides of the rolled copper foil A.
  • the copper-sulfuric acid electrolytic solution 12 flows in the first roughening treatment tank 1 at a predetermined flow rate.
  • the first roughening treatment tank 1 is filled with a copper-sulfuric acid electrolyte solution 12 and stirred at a predetermined flow rate, or the copper-sulfuric acid electrolyte solution 12 is fed from the bottom of the first roughening treatment tank 1.
  • first circulating laminar flow velocity a predetermined flow velocity
  • the untreated rolled copper foil A unwound from the reel 6A is guided to the first roughening treatment tank 1, and the surface of the first roughening treatment tank 1 has roughened copper particles by the “pulse cathode electrolytic plating method”.
  • Surface a is formed. That is, a pulsed current is applied between the power supply contact roll 7 and the iridium oxide anode 11 that are in contact with the untreated rolled copper foil A when it is conveyed by the take-up reel 6B.
  • Electrolytic plating is performed intermittently to form the first roughened layer a made of bump-shaped finely roughened copper particles, for example, illustrated in FIG. 3A on both sides of the untreated rolled copper foil A. To do. Details of the pulse cathode electrolytic plating process will be described later.
  • the second copper plating treatment layer Led to 2.
  • Second roughening process (step 3) In the second copper plating tank 2, a pair of iridium oxide anodes 21 located on both sides of the copper foil B are disposed.
  • the copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 flows in the cupric plating tank 2 at a predetermined flow rate.
  • the copper-sulfuric acid treatment tank 2 is filled with a copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 and stirred at a predetermined flow rate, or the copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 is supplied from the bottom of the cupric-plating electrolytic treatment tank 2.
  • a predetermined flow velocity (hereinafter referred to as “second circulation laminar flow velocity”) flows in a circulating laminar flow state that is liquefied and overflows.
  • Smooth copper plating is performed by the current applied to the power supply contact roll 7 and the iridium oxide anode 21, and as illustrated in FIG. 3B, both sides of the copper foil B on which the primary roughening layer a is formed. Then, the smooth copper plating layer (second copper plating layer) b illustrated in FIG. 3B is formed through the copper-sulfuric acid electrolytic solution 22.
  • the copper foil C that has been subjected to the smooth copper plating treatment is washed in the water rinsing tank 25 (step 4) and then guided to the third surface treatment layer 3.
  • a rust prevention layer (third rust prevention layer) not shown in FIG. 3 is formed as a step 5 on the surface of the rough surface of the copper foil after the second copper plating process in the step 3.
  • a stainless steel (SUS) anode 31 is disposed in the third surface treatment tank 3.
  • the third surface treatment tank 3 is also filled with a chromate electrolyte solution 32, and a chromate rust prevention layer is applied to both sides of the copper foil C by plating with a current applied to the power supply contact roll 7 and the anode 31.
  • the antirust layer may be chromate anticorrosion (FIG. 1, step 5) or organic anticorrosion (FIG. 2, step 5A).
  • the chromium adhesion amount is preferably 0.005 to 0.020 mg / dm 2, for example, as a metallic chromium as a coating that does not change its surface to copper oxide.
  • FIG. 2 is different from the process of step 5 illustrated in FIG. 1, in the third surface treatment tank 3 ⁇ / b> A, the rust preventive layer shown as step 5 ⁇ / b> B is formed with an organic rust preventive agent, for example, BTA (benzo triazole). To do.
  • BTA benzo triazole
  • the other processes are the same as those described with reference to FIG.
  • the third surface treatment tank 3A is filled with the BTA solution 37, the BTA film is applied to both surfaces of the copper foil C, and further dried by the drying device 34 (step 6A) to form a rust preventive layer made of BTA. Form.
  • the copper foil D on which the chromate rust preventive layer (third rust preventive layer) is applied in the third surface treatment tanks 3 and 3A is washed in the water washing tank 35 (step 6) and then guided to the fourth surface treatment tank 4. .
  • Protective layer formation process (step 7) It is desirable to provide a protective layer (fourth protective layer) made of a chemical single molecule made of a silane coupling agent on the surface of the third antirust layer.
  • the fourth surface treatment tank 4 is filled with a silane coupling liquid (agent) 42, and a silane coupling agent is applied to the surface of the copper foil D on which the chromate rust preventive layer is formed.
  • the adhesion amount of the silane coupling agent is preferably 0.001 to 0.015 mg / dm 2 as silicon.
  • the copper foil E to which the fourth protective layer (not shown in FIG. 3) by the silane coupling agent is applied in the fourth surface treatment tank 4 is dried through the drying device 5 (step 8) and wound on the winding roll 6B. Taken.
  • First roughening process In the first roughening treatment, a layer a of bumpy rough particles of tricopper illustrated in FIG. 3A is formed on the surface of the untreated, oxygen-free, rolled copper foil A.
  • the first roughening treatment layer a provided on the surface of the untreated rolled copper foil A is a copper sulfate using a copper-sulfuric acid electrolyte solution 12 to which an arsenic compound and metal molybdenum are added in the first roughening treatment tank 1. It is formed by a “pulse cathode electroplating method” using a bath.
  • Pulse Cathodic Electroplating Method To determine the on-time (time during which current is applied) and off-time (time during which no current is applied) in performing pulse cathodic electroplating, copper concentration / sulfuric acid concentration ⁇ It is necessary to consider the average current density, electrolyte flow rate, bath temperature, and treatment time. For these settings, it is empirically confirmed that the conditions for sound “burnt plating” can be replaced with pulsed cathode electrolytic plating treatment by DC electrolytic plating treatment, and that equivalent or better sound treatment can be achieved. .
  • the normal peak current value is approximately (the sum of the ratios of the on time and off time) ⁇ the average current value flows during the on time.
  • the total ratio of the on time and the off time is, for example, 5 when the on time is 10 ms and the off time is 40 ms, and the total ratio is 7 when the on time is 10 ms and the off time is 60 ms.
  • the average current density is generally set to the current value when performing “DC electrolytic plating” that enables sound “burn plating” at the set bath temperature.
  • the treatment time is preferably a value obtained when “DC electrolytic plating treatment” is performed.
  • the processing time is 2.5 to 5.0 seconds.
  • the flow rate of the copper-sulfuric acid electrolyte solution 12 is sufficient if it is possible to supply copper ions that can follow a healthy galvanization limit current density, so that it is sufficient to be about half the conveying speed of the copper foil A. For example, when the conveyance speed is 6 to 12 m / min, the flow rate is 3 to 6 m / min.
  • the laboratory found that it is essential that the ratio of on-time to off-time, that is, the on-time / off-time range from 1: 4 to 1: 6. It was.
  • the on time / off time is in the range of 1: 1 to less than 1: 4, there is no significant difference from the pulse electrolytic plating process.
  • the peak current becomes high, the burnt plating becomes extremely dendritic, and the powder fallout becomes remarkable, and falls off into the first roughening treatment tank 1 to hinder sound burnt plating.
  • Copper-sulfuric acid electrolytic solution As the copper-sulfuric acid electrolytic solution 12, for example, copper sulfate as copper is 20 to 30 g / L, sulfuric acid concentration is H 2 SO 4 as 90 to 110 g / L, and sodium molybdate as Mo is 0.15 to The bath temperature is set to 18.5 to 28.5 ° C. with an electrolyte containing 0.35 g / L and chlorine mixed in 0.005 to 0.010 g / L in terms of chlorine ions.
  • Pulse cathodic electroplating treatment The density of the pulsed current applied between the feeding contact roll 7 and the iridium oxide anode 11, that is, the pulse cathodic electroplating current density is set to, for example, 22 to 31.5 A / dm2.
  • the peak current density (current density during on-time) is determined by the on-time, off-time, and pulse cathode electrolysis average plating current density.
  • the value is not particularly limited.
  • the on-time can be 10 to 60 ms.
  • the peak current density is preferably set to 157.5 A / dm 2 or less, and more preferably in the range of 154 to 157.5 A / dm 2.
  • the appropriate copper-sulfur electrolyte layer 12 a (see FIG. 3 (A)) with the appropriate flow rate of the copper-sulfuric acid electrolyte 12 and the appropriate inter-electrode distance of the iridium oxide anode 11. Is formed on the surface of the untreated, oxygen-free, rolled copper foil A.
  • the surface roughness Rz of the roughened layer a is, for example, 1.5 to 1.6 ⁇ m.
  • the first roughened copper foil B is moved to the second treatment tank 2.
  • the current density applied between the feeding contact roll 7 and the iridium oxide anode 11 is 15 to 20 A / dm 2 so that the copper bump roughening particles do not fall out in the same bath of the first roughening treatment tank 1. It is also possible to carry out electrolytic plating with smooth copper in the first roughening treatment tank 1 by the same process as described below, following the pulse cathode electrolytic plating under the conditions set to about.
  • Second step In the second treatment tank 2, the layer a of fine copper roughened particles adhering to the surface of the copper foil A in the first roughening treatment tank 1 is prevented from falling off from the surface of the copper foil, and individual fine Smooth copper plating treatment is performed for the purpose of adjusting the surface shape of the copper roughened particles and uniformly adjusting the surface area to be small.
  • Copper-sulfuric acid electrolyte 22 The electrolytic solution 22 in the second treatment tank 2 was set to 35 to 55 g / L of copper sulfate as copper, 90 to 110 g / L of sulfuric acid concentration as H 2 SO 4 , and a bath temperature of 35 to 55 ° C., for example.
  • the cathode electrolytic plating current density applied continuously between the roll 7 and the anode 21 was set to 15 to 20 A / dm2.
  • a smooth copper plating is formed on the surface of the first roughening treatment layer (fine copper roughening particles) with an appropriate flow rate of the electrolytic solution 22 and an appropriate distance between the electrodes of the iridium oxide anode 21.
  • the roughness Rz of the final roughened shape after smooth plating is the surface roughness Rz defined in JIS-B-0601, and both sides of the copper foil are 3.0 ⁇ m or less, preferably 2.3-3.
  • the thickness is preferably in the range of 0.0 ⁇ m, more preferably in the range of 2.4 to 2.5 ⁇ m.
  • the surface-treated copper foil E is used as a current collector for a secondary battery by smooth copper plating treatment, problems with charging / discharging due to copper particle detachment, inadvertent adhesion to the separator in the secondary battery, Abnormal electrodeposition with the lithium compound used for the positive electrode of the secondary battery can be avoided.
  • the film thickness in the case of chromate treatment is preferably in the range of 0.005 to 0.025 mg / dm 2 as the amount of metallic chromium, for example. Within this adhesion amount range, the surface does not change to copper oxide for up to 24 hours under the conditions of the salt spray test (salt water concentration: 5% -NaCl, temperature 35 ° C.) specified in JIS-Z-2371.
  • organic rust preventives typified by BTA are also commercially available as derivative compounds having excellent heat resistance, and can be properly used. Incidentally, if it is an organic rust preventive agent, for example, even if it is immersed in a bath adjusted to 35-40 ° C. at 5.0 Wt% (weight percent) of product number C-143 of Chiyoda Chemical Co., Ltd., chromate Rust prevention effect comparable to processing is obtained.
  • the surface of the copper foil D subjected to the chromate treatment is appropriately coated with a silane coupling agent (fourth protective layer).
  • a silane coupling agent (fourth protective layer).
  • the coupling agent is appropriately selected depending on the target active material.
  • an epoxy-based, amino-based, or vinyl-based coupling agent that is excellent in compatibility with a silicon-based active material.
  • the coupling agent having a “double bond” or “azo compound” in its structural formula is preferable because it is rich in crosslinking reaction and excellent in adhesion effect.
  • the type and type are not limited, but the adhesion amount of the silane coupling agent applied to the roughened surface of the copper foil is at least silicon in order to improve the adhesion at least chemically.
  • the range is preferably 0.001 to 0.015 mg / dm2.
  • the base material is made of oxygen-free and rolled copper A, and is an untreated rolled copper foil A having a thickness of 0.018 mm.
  • the surface roughness Rz specified in JIS-B-0601 is 0.8 ⁇ m, and normal temperature ( For example, using a copper foil having an elongation of 6.2% at 25 ° C., a roughening treatment was performed on both surfaces of the copper foil under the following conditions. In this roughening treatment, the surface of the copper foil is roughened on the bottom side from the inlet of the first roughening treatment tank 1 separated by the shielding plate 13, and the back surface of the copper foil is roughened on the tank outlet side from the bottom.
  • the on-time is set to 10 ms
  • the off-time is set to 60 ms (the ratio of the on-time / off-time ratio is 7)
  • the copper foil While moving A / at the conveying speed described above, the primary roughening treatment by pulse cathode electrolytic plating was performed, and the first roughening treatment layer a was applied to both surfaces.
  • the reason why the pulse cathode electrolytic plating process is divided into two times as described above is to ensure the setting effect of the on-time and the off-time, and the double-sided process at the limited flow rate in the primary roughening tank 1 is performed. This is because when the applied current reaches the peak current, the supply of copper ions is insufficient on both sides of the copper foil A, thereby avoiding the problem of uneven roughening treatment.
  • a rust preventive layer was formed by dipping and drying in a chromate bath containing 3 g / L of CrO 3 .
  • Condition 4 Protective layer formation condition Thereafter, an epoxy-based silane coupling agent (Silaace S-510, manufactured by Chisso Corporation) adjusted to 0.5 wt% was applied as a thin film on the second roughened layer.
  • an epoxy-based silane coupling agent Silicaace S-510, manufactured by Chisso Corporation
  • Table 3 shows the surface roughness of the surface-treated copper foil obtained under the measurement conditions, the results and the evaluation method and above, as measured by Rz defined in JIS-B-0601.
  • the uniformity of the roughening treatment was evaluated as follows. First, the surface-treated copper foil E was cut into 250 mm square, and a commercially available polyphenylene ether (PPE) resin-based substrate (equivalent to Megtron-6 prepreg made by Panasonic Electric Works Co., Ltd.) was superposed on both surfaces of the roughening treatment, followed by heat press lamination. As a double-sided copper-clad laminate, it was peeled off, and the uniformity of the roughening treatment was evaluated from the state of adhesion as follows.
  • PPE polyphenylene ether
  • the peel strength was measured by the measuring method defined in JIS-C-6482 used for measuring the peel adhesion to the substrate.
  • Evaluation is roughening uniformity if there is no “difference” between the maximum and minimum values of the measurement chart, and the chart is stripped (that is, the chart is drawn straight and without blur). As an excellent product, the evaluation was “ ⁇ ”. If the chart blur was within 0.02 kg / cm, the evaluation was “ ⁇ ”. If it was within 0.05 kg / cm, the evaluation was “ ⁇ ”, and if it exceeded 0.05 kg / cm, the evaluation was “x”. These are shown in Table 3 as numerical variations in adhesion strength.
  • the presence or absence of abnormal roughening treatment was evaluated by visual observation with an optical microscope for the degree of remaining copper (substrate surface after full-surface etching).
  • ⁇ indicates that there is no residual copper per unit area (0.5 mm ⁇ 0.5 mm), and ⁇ indicates that almost no copper is observed.
  • the case was evaluated as ⁇ , and the case of being prominent was evaluated as ⁇ and is shown in Table 3.
  • Example 2 is an untreated rolled copper foil made of oxygen-free copper as a base material and having a thickness of 0.018 mm.
  • the surface roughness on both sides of the copper foil is 2 as the surface roughness Rz specified in JIS-B-0601.
  • a copper foil having a thickness of 0.5 ⁇ m and a normal temperature elongation of 6.2% was used. That is, the surface roughness of the substrate is different from that of Example 1.
  • Others are subjected to a roughening treatment under the same conditions as in Example 1, and roughening and surface treatment are performed so that the surface roughness of the second copper plating layer is 3.0 ⁇ m or less in surface roughness Rz, The same evaluation measurement as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 3.
  • Example 3 As a base material, an oxygen-free copper rolled foil with a thickness of 0.018 mm, an elongation at room temperature of 3.6%, and a surface roughness Rz of 0.8 to 1.1 ⁇ m (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) ) was used. That is, the surface roughness of the base material is different from those of Examples 1 and 2. Other than that, the same roughening and surface treatment as in Example 1 were performed, and the same evaluation measurement as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 3.
  • Example 4 The untreated rolled copper foil used in Example 1 was used as the substrate, and the off-time during pulse cathodic electroplating under the primary roughening treatment conditions was 40 ms. Otherwise, the same roughening and surface treatment as in Example 1 is performed, and the same roughening treatment and surface treatment as in Example 1 are performed so that the roughness on the surface treatment side obtained is 3.0 ⁇ m or less in Rz. The same evaluation measurement as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 3.
  • Example 1 As a base material, a bath composition of a copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 similar to that in Example 1 is used on both sides of an untreated rolled copper foil made of oxygen-free copper used in Example 1, and instead of the pulse cathode electrolytic plating process, A direct current cathode electrolysis treatment was performed, and the obtained front and back roughened surfaces were treated so that the roughness was Rz of 3.0 ⁇ m or less. Otherwise, the same treatment as in Example 1 was performed, and the same evaluation measurement as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 3.
  • Example 2 The same evaluation measurement as in Example 1 was performed except that the untreated rolled copper foil used in Example 2 as a base material was subjected to the same treatment as in Comparative Example 1. The results are shown in Table 3.
  • Example 3 The same evaluation measurement as in Example 1 was performed except that the same treatment as in Comparative Example 1 was performed on the untreated rolled copper foil used in Example 3 as a base material. The results are shown in Table 3.
  • Comparative Example 4 As a base material, an untreated MP-18 ⁇ m copper foil mat side (electrodeposited surface side Rz) is made into a middle profile (MP) shape that is classified as an IPC standard by columnar crystals according to electrolytic foil conditions. 3.8 ⁇ m) was subjected to the same treatment and evaluation measurement as in Comparative Example 1 by direct current electrolytic treatment. The results are shown in Table 3.
  • the surface-treated copper foils of Examples 1 to 4 had the same surface roughness on both the front and back sides, and the roughening characteristics on both sides were comparable. From such evaluation, the surface-treated copper foil is used as, for example, a current collector of a lithium ion secondary battery, and a silicon-based active material is applied and dried on the surface to form a negative electrode current collector.
  • the lithium ion secondary battery in which the system active material can be laminated with a uniform thickness and the laminate is used as a negative electrode has excellent charge / discharge characteristics and has a long life.
  • Examples 1 to 3 were good, and it was found that it is more preferable to set the on-time of the charging current of the pulse electrolytic plating process in the first roughening process to 10 ms and the off-time to 60 ms.
  • the copper foils of Comparative Examples 1 to 3 have the same degree of roughness Rz as Examples 1 to 4 and higher adhesion strength than the Examples, but the adhesion strength is higher and lower than that of the copper foil. However, the point of remaining copper was not satisfactory.
  • the surface-treated copper foil of the comparative example was coated and dried with a silicon-based active material on the surface as a current collector for a lithium ion secondary battery, but was not satisfactory from the viewpoint of thickness uniformity as a negative electrode current collector
  • the lithium ion secondary battery using the laminate as the negative electrode was inferior in charge / discharge characteristics and had a short life.
  • oxygen free rolled copper foil is used as a base material, and it is roughened by pulse cathodic electroplating as a primary roughening treatment, and further subjected to a surface treatment by a smoothing treatment.
  • the copper foil can be manufactured with substantially similar characteristics on both sides of the copper foil. Therefore, for example, it is suitable as a current collector for a lithium ion secondary battery.
  • the negative electrode made of the copper foil surface-treated according to the first embodiment of the present invention has an excellent effect of avoiding a potential defect of the lithium ion secondary battery and prolonging the charge / discharge life.
  • the surface-treated copper foil according to the first embodiment of the present invention is, for example, a silicon-activated material that has a specific hardness and a large expansion and contraction between particles during charge and discharge in a current collector of a lithium ion secondary battery. Even in the case of adhering, it is possible to satisfy the increase in capacity and long charge / discharge life of the lithium ion secondary battery.
  • the copper foil of the embodiment of the present invention is excellent in electrical conductivity, ease of processing on both sides of the foil, and adhesion with a silicon active material, and is a copper for a negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery Not limited to foil, it can be applied to various uses.
  • the current collector terminal is excellent in ultrasonic bondability, and can be applied to various applications that require these characteristics.
  • the substrate of the second embodiment of the present invention is different from the substrate of the first embodiment in that the perforated surface untreated copper foil or the perforated surface not provided with through holes.
  • Use treated copper alloy foil hereinafter, when it is not necessary to distinguish between copper foil and copper alloy foil, it is simply expressed as untreated copper foil or copper foil.
  • the perforated surface untreated copper foil either electrolytic copper foil or rolled copper foil can be used.
  • the perforated surface untreated copper alloy foil any copper-based alloy can be adopted.
  • the surface roughness as defined in JIS-B-0601 is the surface of the substrate before and after the through hole is formed. It is preferable to employ a copper foil having a Rz in the range of 0.8 to 2.5 ⁇ m.
  • the electrolytic copper foil is preferably in a state in which the electrodeposited crystal grains at the time of foil production are very fine particles, and the electrolytic copper foil has a granular crystal structure with a fine cross section on the mat surface side.
  • the electrolytic copper foil having such a crystal structure has an elongation at room temperature of, for example, 25 ° C. of 3.5% or more.
  • a silicon-based active material when considering application to a lithium ion secondary battery, a silicon-based active material This is because, even at a press temperature (in the range of about 150 to 180 ° C.) at the time of pressure bonding heating lamination, the material sufficiently follows thermal expansion and contraction.
  • the reason why the mechanical properties of the surface-untreated electrolytic copper foil as a base material before drilling the through-hole is preferably that the elongation at normal temperature is 3.5% or more in the first embodiment
  • the active material is applied to the surface of the roughened copper foil that has been drilled, and the silicon-based active material is expanded and contracted during charge and discharge after the secondary battery is assembled as an electrode. This is because the adhesiveness with the active material is maintained, and appropriate tracking characteristics with respect to the thermal history are ensured.
  • the base material is a surface untreated rolled copper foil or a surface untreated rolled alloy copper foil
  • the substrate is a surface untreated rolled copper foil
  • oxygen-free copper is preferable has been described as the base material of the first embodiment.
  • the characteristics of the surface untreated rolled copper foil or surface untreated rolled alloy copper foil before drilling are in the range of 35 to 45 kN / cm 2 (50 to 65 MPa for Young's modulus) as specified in IPC-TM-650. It is preferable.
  • the primary roughening treatment layer a (Fig. 3 (A)) is formed on the both surfaces of the copper foil by the same treatment as in the first step in the first embodiment, with a very low roughness and uniform bump-shaped copper particles or copper alloy particles. Is applied by pulsed cathodic electroplating.
  • the same process as in step 3 of the first embodiment was used on the primary roughened layer in the primary roughening.
  • a smooth secondary treatment layer (capsule plating layer) is provided by applying a smooth plating (cathodic electroplating) layer b (see FIG. 3B) with a plating solution having the same component as the particles.
  • the bump-like fine particles of the secondary roughened layer provided by the smooth plating process maintain the primary roughened layer in a healthy shape and achieve uniformity of the particles and prevention of falling off.
  • the rough surface after the smooth plating treatment has a surface roughness Rz specified in JIS-B-0601 of 3.0 ⁇ m or less, preferably 2.5 to 3.0 ⁇ m.
  • a rust-prevention layer is provided on the surface of the rough surface after the secondary smooth plating treatment.
  • a rust-prevention layer as described in the first embodiment, chromate rust prevention or organic rust prevention may be used.
  • a protective layer made of a single molecule of a coupling agent is provided on the surface of the rust preventive layer, as described in the first embodiment.
  • the substrate is a copper foil
  • the perforated copper foil of the second embodiment of the present invention is also particularly at the time of the drying process of the active material coating lamination and at the time of charging / discharging after being incorporated in the secondary battery.
  • Appropriate mechanical properties are required because heat resistance and plastic followability are important.
  • the value of Vickers hardness Hv is preferably in the range of about 80 to 110, and the elongation at normal temperature is preferably about 3.5% or more.
  • the aperture ratio refers to the ratio of the total area of the opening portions to the area of the untreated copper foil before a large number of through holes are formed.
  • the area of the opening portion of one through hole is preferably an area through which lithium ions can pass, for example, 0.01 mm 2 or less. If the area of the opening portion of one through hole is 0.01 mm 2 or less, the opening portion is closed by the roughening process in step 1, but a gap through which lithium ions can pass remains. As a result, even if there is a difference in the amount of active material attached to both sides of the current collector, the amount of occlusion of the entire active material can be utilized to the maximum without being restricted by the lithium occlusion amount on the side with the smaller amount of adhesion. If the area of the opening part of one through-hole is larger than 0.01 mm2, the active substance is connected on both the front and back sides, which is effective for current collection characteristics. On the other hand, if there is a fragile part in the opening part, Cracks may occur around the opening of the copper foil due to expansion and contraction during charging and discharging.
  • step 1 The untreated copper foil A1 in which the through holes are drilled is guided to the first roughening treatment tank 1 as in Step 1 in the first embodiment, and the surface of the roughened copper particles is obtained by pulse cathode electrolytic plating. Is formed, and a primary roughening treatment layer a (see FIG. 3A) made of bump-like fine roughened particles made of copper particles is formed on both surfaces of the copper foil A1.
  • the copper foil B1 on which the primary roughening treatment layer a is formed is guided to the second copper plating treatment tank 2 after being washed in the water washing tank 15 (step 2).
  • step 3 In the second copper plating treatment tank 2, the smooth copper plating treatment layer b is applied in the same manner as the method described above as step 3 of the first embodiment.
  • the copper foil C1 that has been subjected to the smooth plating treatment is washed in the water washing tank 25 (step 4) and then guided to the third treatment tank 3.
  • Step 5A Formation of rust prevention layer
  • a chromate rust preventive layer is provided by the same method as described above as Step 5 in FIG. 1 or Step 5A in FIG.
  • the copper foil D1 provided with the chromate rust preventive layer in the third surface treatment tank 3 is guided to the fourth surface treatment tank 4 after being washed in the water washing tank 35 (step 6).
  • step 7 Formation of protective layer (step 7)
  • a silane coupling agent is apply
  • the copper foil E1 coated with the silane coupling agent is wound around the winding roll 6B through the drying device 5.
  • the said roughening process process is a process about a copper foil.
  • the base material is a copper alloy foil
  • the primary roughening treatment and the secondary roughening treatment may be performed by the above treatment, but depending on the copper alloy foil, it is preferable to perform the roughening treatment with the same alloy as the copper alloy. There is also.
  • a roughening treatment having the same alloy composition as that of the untreated copper alloy foil A1 is performed, a copper-sulfuric acid electrolysis based on copper in which the same kind of metal as the copper alloy foil is appropriately dissolved in the first roughening treatment tank 1 is used.
  • the liquid 12 is filled, and the first roughening treatment tank 1 forms primary roughening treatment layers made of bump-like fine roughening particles made of copper alloy particles on both surfaces of the copper alloy foil A1.
  • the substrate is an electrolytic copper foil
  • an electrolytic copper foil is used as the untreated perforated copper foil A1
  • a crystal structure composed of columnar grains is used to further improve the characteristics of the silicon-based active material and the secondary battery characteristics.
  • a double-sided glossy electrolytic copper foil having a smooth surface shape is preferable to the electrolytic copper foil having a surface roughness Rz as defined in JIS-B-0601 of 0.8. A range of less than 2.5 ⁇ m is preferred.
  • the substrate is a rolled copper foil or a rolled alloy copper foil
  • OFC material oxygen-free copper material
  • the base material has an elongation percentage of 3.5% or more regardless of whether it is an electrolytic copper foil, a rolled copper foil, or an alloy copper foil.
  • the primary roughening treatment provided on both surfaces of the copper foil is a silicon compound in the first roughening treatment tank 1 Or by a cathodic electroplating method using a copper sulfate bath with a copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 to which metallic molybdenum is added.
  • Examples and Comparative Examples Examples and comparative examples of the second embodiment will be described.
  • cathode electrolytic plating conditions are described separately for “pulse cathode electrolysis” in the first step and “DC cathode electrolysis” in the second step.
  • Example 5 As a base material, an untreated electrolytic copper foil with a thickness of 0.018 mm manufactured on the mirror side on the liquid surface side under electrolytic foil conditions was punched and punched by a punching machine 100 to a diameter of 50 ⁇ m and an aperture ratio of 55%. Aki electrolytic copper foil "was prepared. The surface roughness on the matte side (electrodeposition liquid side) of the electrolytic copper foil before drilling is 0.8 ⁇ m with the surface roughness Rz specified in JIS-B-0601, and the glossy side (drum side).
  • both surfaces of the copper foil are roughened under the following conditions: Treated.
  • Example 1 As in Example 1 in the first embodiment, with the shielding plate 13 sandwiched, the matting side (electrodeposition liquid side) from the inlet of the first roughening treatment tank 1 to the mat side (electrodeposition liquid side) and the first from the bottom.
  • the roughening treatment was divided on the glossy surface side (drum peeling surface side) on the exit side of the roughening treatment tank 1, and the roughening treatment was performed on both surfaces of the copper foil.
  • the pulse treatment is divided into two times, and therefore heat generation at the peak current is larger than that of a non-perforated copper foil.
  • the on-time and off-time of the current applied to the iridium oxide anode 11 for the pulse cathode electrolytic plating process can be individually set so that both sides of the foil This is because the surface roughness by the finish roughening treatment is matched.
  • a smooth copper plating treatment was performed by a secondary roughening treatment by DC cathodic electroplating on both sides at the bottom side from the entrance of the second copper plating treatment tank 2.
  • composition of the bath (copper-sulfuric acid electrolyte solution 22) for forming the first roughening treatment layer and the treatment conditions are the same as those in the first embodiment shown in Table 1.
  • Condition 2 and the second smooth copper plating layer forming treatment condition are the same as the condition 1 of the first embodiment shown in Table 2.
  • Condition 3 and the formation conditions of a rust prevention layer are the same as the formation conditions of the rust prevention layer in 1st Embodiment.
  • the measurement conditions, results, and evaluation method are the same as the measurement conditions, results, and evaluation method described in the first embodiment.
  • the evaluation of the remaining copper is the same as in the first embodiment.
  • Example 6 As a base material, a copper foil having a glossy surface roughness of 2.5 ⁇ m in surface roughness Rz and a room temperature elongation of 5.2% of untreated electrolytic copper foil before drilling (double-sided gloss manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) Using electrolytic copper foil), the same roughening and surface treatment as in Example 5 were performed so that the surface roughness of both surfaces after the secondary roughening surface treatment in Step 2 was 3.0 ⁇ m or less in Rz. The same evaluation measurement as in Example 5 was performed. The results are shown in Table 6.
  • Example 7 As a base material, instead of the untreated electrolytic copper foil used in Example 5 before drilling, the thickness was 18 ⁇ m, the room temperature elongation was 4.2%, and the surface roughness of both surfaces of the base material was 0.2 in Rz. An 8 ⁇ m oxygen-free copper rolled foil (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) was used. Others were roughened and surface-treated after drilling as in Example 5, and the same evaluation measurement as in Example 5 was performed. The results are shown in Table 6.
  • Example 8 A copper-tin alloy foil (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) having a thickness of 18 ⁇ m, a normal temperature elongation of 3.5% and a tin content of 0.15% was used as the base material.
  • the roughening treatment was performed under the conditions 1 and 2 shown in Tables 4 and 5. Except for stannous sulfate described in Condition 1 in Table 3 and Condition 2 in Table 4, conditions are the same as Conditions 1 and 2 shown in Tables 1 and 2 above.
  • the roughening treatment and the surface treatment were carried out so that the obtained surface roughness Rz was 3.0 ⁇ m or less, as in Example 5, except that the composition of the copper-sulfuric acid electrolyte solution 22 in the roughening treatment step was different.
  • the same evaluation measurement as in Example 5 was performed. The results are shown in Table 6.
  • Condition 1A composition of the bath (copper-sulfuric acid electrolyte solution 22) for forming the first roughening treatment layer and treatment conditions
  • Copper sulfate 23.5 g / l as metallic copper Sulfuric acid ... 100g / l
  • Sodium molybdate 0.25 g / l as molybdenum
  • Hydrochloric acid 0.002 g / l as chloride ion Stannous sulfate ... 2.35g / l as tin Ferric sulfate ...
  • Condition 2A second smooth copper plating layer forming treatment condition, copper-sulfuric acid electrolytic solution 22
  • Copper sulfate 45g / l as metallic copper
  • Stannous sulfate ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ 4.5g / l as tin Sulfuric acid ... 110g / l
  • Bath temperature 50.5 °C
  • cathode electroplating current density 18.5A / dm2
  • both sides of the perforated copper foil used in Example 5 were obtained by subjecting them to the same bath composition as in Example 5, except that they were subjected to DC cathode electrolytic plating treatment instead of pulse cathode electrolytic plating treatment. It processed so that it might become 3.0 micrometers or less by the roughness Rz of the roughening surface of. Otherwise, the same treatment as in Example 5 was performed, and the same evaluation measurement as in Example 5 was performed. The results are shown in Table 6.
  • Comparative Example 6 As a base material, the same evaluation measurement as in Example 5 was performed except that the same processing as in Comparative Example 5 was performed on both surfaces of the perforated copper foil used in Example 6. The results are shown in Table 6.
  • Example 7 As a base material, the same evaluation measurement as in Example 5 was performed except that the same processing as in Comparative Example 5 was performed on both surfaces of the perforated rolled copper foil used in Example 7. The results are shown in Table 6.
  • Example 8 As a substrate, the same evaluation measurement as in Example 5 was performed, except that both surfaces of the rolled alloy foil used in Example 8 were subjected to the same treatment as in Comparative Example 5. The results are shown in Table 6.
  • a foil As a base material, a foil is formed into a middle profile (MP) shape that is classified as an IPC standard by columnar crystals according to electrolytic foil production conditions.
  • the surface roughness Rz on the mat surface side is 3.8 ⁇ m
  • the surface roughness Rz on the glossy surface side is The same treatment and evaluation measurement as in Example 5 were performed on a 1.8 ⁇ m MP-18 ⁇ m non-perforated copper foil by the same direct current electrolytic plating treatment as that in Step 2. The results are shown in Table 6.
  • the copper foils of Examples 5 to 8 had the same surface roughness on both the front and back surfaces, and the roughening characteristics on both sides were comparable. Compared with Examples 5-8, the copper foils of Comparative Examples 5-8 have better adhesion strength than Examples 5-8, but are inferior to Examples 5-8 in terms of variation in adhesion strength and residual copper. From the viewpoint of binding the active material laminated on the current collector with a uniform thickness, when it is adopted as a current collector for a secondary battery, a problem occurs in charge / discharge characteristics. In the general-purpose electrolytic copper foil of Comparative Example 9, since the surface roughness of the front and back of the untreated foil was greatly different, the roughened state on both sides could not be brought close to each other by the roughening treatment. Therefore, it is difficult to make the surface roughness of both surfaces uniform by roughening treatment, and adopting a copper foil having a considerable difference in the surface roughness of the front and back surfaces of the untreated copper foil as the base material is preferable. Judged not.
  • the copper foil obtained by surface-treating the perforated copper foil roughened by the pulse cathodic electrolysis treatment of the second embodiment of the present invention can be manufactured with substantially similar characteristics on both sides of the foil,
  • it is suitable as a copper foil as a current collector for a lithium ion secondary battery.
  • the third embodiment of the present invention is, for example, a rolled copper foil, a rolled copper alloy foil (surface-treated copper foil) suitable for a negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery, and its production
  • the present invention relates to a method (surface treatment method).
  • a method surface treatment method
  • the surface-treated copper foil suitable for the rolled copper foil (alloy foil) for the negative electrode current collector of the lithium ion secondary battery according to the third embodiment of the present invention is a rolled copper foil whose surface is untreated as the substrate.
  • a first roughening layer made of metal copper or a copper alloy is provided on the surface of (alloy foil) by a roughening treatment by pulse cathode electrolytic plating or a direct current cathode electrolytic roughening treatment.
  • a rolled copper foil made of tough pitch copper (aerobic copper) or oxygen-free copper, or a copper alloy foil cast and rolled by an appropriate metal composition is used.
  • the substrate is subjected to a surface treatment and processed into, for example, a current collector of a secondary battery.
  • a rolled copper foil made of oxygen-free copper is preferable in terms of conductivity and elongation, as described as the base material in the first embodiment. This is because the ingot does not contain oxygen or metal oxide.
  • the rolled copper alloy foil is employed when it is necessary to adjust the properties that cannot be achieved by the rolled copper foil made of oxygen-free copper, such as elongation and conductivity, depending on the usage conditions of the copper foil.
  • the copper alloy foil copper alloys of copper and various metals can be selected in consideration of characteristics such as hardness, elongation, heat resistance, rust resistance and the like.
  • copper alloy foil for example, copper-tin-based, copper-chromium-based, copper-zinc-based, copper having properties such that workability (elongation) and electrical conductivity are similar to electrolytic copper foil and rolling conditions are advantageous -Iron, copper-nickel, copper-tin-chromium, copper-zinc-tin, copper-nickel-tin, copper-nickel-silicon, etc. .
  • Untreated rolled copper foil (alloy foil) as the base material has a surface roughness Rz specified in JIS-B-0601 in the range of 0.8 to 2.5 ⁇ m. It is also preferable to use a rolled copper foil (alloy foil) having excellent electrical conductivity in the range of 35 to 45 kN / cm 2 (50 to 65 MPa for Young's modulus) as defined by IPC-TM-650. .
  • the mechanical properties of the rolled copper foil it is preferable to employ one having an elongation at room temperature of 3.5% or more. The reason is that it is required to maintain adhesion to the expansion and contraction of the silicon-based active material during charge and discharge and to follow the expansion and contraction.
  • the surface of an untreated rolled copper foil (alloy foil) as a substrate is subjected to a roughening treatment by pulse cathode electrolytic plating treatment or direct current as the first roughening treatment.
  • a roughening treatment is carried out by cathodic electroplating to form copper (alloy) particles on the surface of the untreated rolled copper (alloy) foil with extremely low roughness and evenness.
  • the surface is roughened by a smooth plating process.
  • the roughening of the front and back of the untreated rolled copper foil (alloy foil) as the base material improves the adhesion of the silicon-based active material to the surface of the copper foil (current collector) and increases the number of active materials. This is because the material is uniformly coated without dropping off.
  • the adhesion with the silicon-based active material mixed with the binder is improved, and more active material is not dropped off. Roughening (unevenness) that can be applied uniformly is applied.
  • the bump-shaped fine particles adhering to the first roughening treatment by the smooth plating treatment maintain the sound shape and the uniformity of the particles.
  • the rough surface of the second plating layer has a surface roughness Rz specified in JIS-B-0601 of 3.0 ⁇ m or less, preferably 2.5 to 3.0 ⁇ m.
  • Formation process anticorrosive layer then preferably similar to that described in the form of the first embodiment, providing the anticorrosive layer (third anticorrosive layer) on the surface of the second plating layer.
  • a protective layer (fourth protective layer) composed of a monomolecular layer of a silane coupling agent is desirably provided on the surface of the anticorrosive layer.
  • step 1 In FIG. 5, untreated rolled copper foil (alloy foil) wound on a reel 6A (rolled foil subjected to electrolytic degreasing after rolling) A2 is attached to roughened particles by pulse cathode electrolytic treatment or DC cathode electrolytic roughening treatment.
  • first roughening treatment tank 1A To the first roughening treatment tank 1A .
  • both sides of the rolled copper (alloy) foil A2 are simultaneously subjected to pulse cathodic electrolytic treatment or direct current cathodic electrolysis roughening treatment on both sides of the rolled copper (alloy) foil A2 to form fine roughened copper (alloy) particles with a bump.
  • a first roughened layer composed of roughened copper particles is formed.
  • one surface of untreated copper (alloy) foil is roughened by the roughening process of the bottom side from the inlet of the first roughening tank 1B, and the first roughening tank 1B
  • the other surface may be roughened from the bottom side to the outlet side. That is, the first electrode 11A for roughening one surface of the untreated copper (alloy) foil A2 is disposed on the bottom side from the inlet of the first roughening treatment tank 1A, and a pulse is applied to one surface of the copper foil A2. Cathodic electrolysis or DC cathodic electrolysis roughening is performed, and a roughening process is performed on one surface with the second electrode 11B.
  • the copper foil having one surface subjected to the roughening treatment is sent from the bottom side of the first roughening treatment tank 1A to the outlet side, and the other of the untreated copper (alloy) foil by the electrode 11B disposed in the middle thereof.
  • This surface is subjected to pulse cathode electrolytic treatment or direct current cathode electrolytic roughening treatment, and the other surface of the copper foil A2 is subjected to roughening treatment.
  • the advantage of performing the roughening treatment separately on only one surface instead of performing the roughening treatment on both surfaces of the rolled foil A2 in this manner will be described later.
  • the rolled copper (alloy) foil B2 subjected to the roughening treatment on both sides is washed in the water washing tank 15 (step 2) and then guided to the second plating treatment tank 2.
  • the second plating tank 2 is provided with an iridium oxide electrode 21 and filled with an electrolytic solution 22 having the same composition as the copper-sulfuric acid electrolyte 12 in the first roughening tanks 1A and 1B. A second plating layer) is applied.
  • the copper (alloy) foil C2 that has been subjected to the smooth plating process is guided to the third surface treatment tank 3 after being washed in the washing tank 25 (step 4).
  • the third surface treatment tank 3 illustrated in FIG. 5 is provided with a SUS anode 31, is filled with a chromate electrolyte solution 32, and is provided with a chromate rust preventive layer.
  • the copper (alloy) foil D2 provided with the chromate rust prevention layer (third rust prevention layer) in the third surface treatment tank 3 is washed in the water washing tank 35 (step 6), it is guided to the fourth surface treatment tank 4. It is burned.
  • step 7 The fourth surface treatment tank 4 is filled with a silane coupling liquid 42, and a silane coupling agent is applied to the surface of the copper (alloy) foil D.
  • the rust preventive layer can be formed of an organic rust preventive agent.
  • FIG. 5 shows a process of forming a rust preventive layer with an organic rust preventive agent.
  • the third surface treatment tank 3A is filled with a BTA solution 37, a BTA film is applied to the surface of the copper foil C2, and a drying device 34 is shown. To form a rust prevention tank made of BTA.
  • the copper (alloy) foil E2 provided with the fourth protective layer is wound around the winding roll 6 through the drying device 5.
  • the adhesion with the silicon-based active material is improved, and the binder (binder) is bonded.
  • the roughened surface is low-roughened and excellent in uniformity, and the surface layer of the roughened copper particles is smooth.
  • a copper foil having a surface roughness Rz of 0.8 to 2.5 ⁇ m as defined in JIS-B-0601 and a normal temperature elongation of 3.5% or more on both sides of the rolled copper foil is used. It is preferable to use it.
  • the surface-treated copper (alloy) foil of the third embodiment of the present invention has particularly good heat resistance and plastic followability during the drying process of the active material coating lamination and charging / discharging after being incorporated into the secondary battery. Therefore, the mechanical properties, for example, the Vickers hardness Hv value is preferably in the range of 80 to 180, and the elongation of the copper (alloy) foil (elongation property ratio at normal temperature, the same shall apply hereinafter) should be 3.5% or more. It is enough. With such a copper (alloy) foil, the active material is peeled off from the remarkable plastic deformation due to the thermal history and the current collector is not broken.
  • the first roughening treatment layer provided on the pulsed cathode electrolytic treatment untreated rolled copper (alloy) foil A2 is applied in the first roughening treatment tank 1A by the pulsed cathode electrolytic plating method. That is, in the first roughening treatment, bump-shaped roughened particles of copper or copper alloy are formed on the surface of the untreated copper (alloy) foil. As a specific example of forming the copper roughened particle layer, the composition of the copper-sulfuric acid electrolyte solution 12 described in the first embodiment and the current application conditions for the pulse cathode electrolysis treatment are applied, and an appropriate flow rate is set. A healthy layer of roughened copper bumps is formed on the copper foil surface with the distance between the electrodes. Next, the first roughened copper foil B is moved to the second copper plating bath 2.
  • DC cathodic electrolysis roughening treatment untreated rolled copper (alloy) first roughened layer provided on the foil A, in the first roughened treatment tank 1A it is also effective to apply the direct current cathodic electrolysis roughening treatment.
  • the copper roughened particle layer basically, the plating bath composition and bath temperature conditions used in the pulse cathode electrolytic plating method can be used, but the cathode electrolytic plating current density is 28 to 38.5 A. / Dm 2, a current is continuously applied, and in the first roughening treatment tank 1A, a sound layer of rough copper bumps is formed on the surface of the copper foil at an appropriate flow rate and inter-electrode distance.
  • a low flow rate when a low flow rate is selected, it is performed under a low current density condition as an applied current to the power supply contact roll 7 and the iridium oxide anode 11, and when a high flow rate is selected, a high current density is preferably selected.
  • the fine roughened particles adhering in the first roughening treatment are prevented from falling off from the surface of the copper (alloy) foil, and the surface shape of the individual fine roughened particles is adjusted.
  • a smooth plating process is performed for the purpose of reducing the surface area uniformly.
  • This second roughening treatment can avoid problems with charging and discharging due to copper (alloy) particle detachment, inadvertent adhesion to the separator, and abnormal electrodeposition with the lithium compound used in the positive electrode.
  • Copper-sulfuric acid electrolyte 22 Specifically, the copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 in the cupric plating tank 2 is 35 to 55 g / L of copper sulfate as copper, and the sulfuric acid concentration (H2SO4). ) Is set to 90 to 110 g / L, and the bath temperature is set to 35 to 55 ° C.
  • Cathodic electroplating current density is set to 15 to 20 A / dm 2, and smooth copper plating is formed on the surface of the first roughened layer (fine copper roughened particles) at an appropriate flow rate and inter-electrode distance. .
  • the roughness Rz of the final roughened shape after the smooth plating is preferably the surface roughness Rz defined in JIS-B-0601, and the both surfaces are 3.0 ⁇ m or less.
  • Rust prevention treatment Next, preferably, a chromate rust preventive agent is dipped or, if necessary, cathodic electrolysis treatment (third surface treatment tank 3 in FIG. 1) to provide a third rust prevention layer to enhance the rust prevention power.
  • a silane coupling agent is suitably coated (fourth protective layer).
  • the base material is made of oxygen-free copper, 0.018 mm thick untreated rolled copper foil, and the surface roughness of both surfaces of the base material is 0.8 ⁇ m with the surface roughness Rz specified in JIS-B-0601.
  • the both surfaces of this foil were roughened under the following conditions.
  • the roughening treatment according to the steps shown in FIG. 5, the roughening treatment is divided into the surface from the inlet to the bottom side of the first roughening treatment tank and the back surface from the bottom to the tank outlet side, the on time is 10 ms, and the off time is 60 ms.
  • the first catalyzed roughening treatment was carried out on both surfaces by setting a pulse cathodic electrolysis roughening treatment.
  • the reason why the pulse processing is divided into two times is to ensure the effect of setting the on-time and off-time, and the double-sided processing at the limited flow rate in the first roughening treatment tank 1A has a peak current. This is to avoid the occurrence of unevenness in the roughening treatment due to insufficient supply of copper ions on both sides.
  • smooth plating was applied to the surface of the first roughening layer by DC electrolytic capsule plating at the bottom side from the entrance of the second copper plating tank 2 at the bottom side simultaneously to provide a second plating layer.
  • composition of the bath (copper-sulfuric acid electrolyte solution 22) for forming the first roughening treatment layer and the treatment conditions are the same as those of the first embodiment.
  • Condition 2 the second smooth copper plating layer forming treatment condition, and the copper-sulfuric acid electrolytic solution 22 are the same as the condition 2 of the first embodiment.
  • Condition 3 and the formation conditions of the rust preventive layer are the same as the condition 3 of the first embodiment.
  • Condition 4 and the conditions for forming the protective layer are the same as condition 3 in the first embodiment.
  • Table 8 shows the results of measuring the surface roughness of the obtained double-side roughened copper foil with the surface roughness Rz defined in JIS-B-0601.
  • the measurement conditions, results, and evaluation method are the same as those described in the first embodiment.
  • the base material consists of a rolled foil of tough pitch copper (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.), an untreated rolled copper foil with a thickness of 0.018 mm, and the surface roughness on both sides specified in JIS-B-0601 A rolled copper foil having an Rz of 2.5 ⁇ m and a normal temperature elongation of 6.2% was used. Others were roughened under the same conditions as in Example 9, and roughened and surface-treated so that the surface roughness Rz of the second plating layer was 3.0 ⁇ m or less. Evaluation measurement was performed. The results are shown in Table 8.
  • Example 11 Instead of the untreated rolled copper foil used in Example 8, as a base material, EFTEC-3 copper having a thickness of 0.018 mm, an elongation at room temperature of 3.6% and a surface roughness Rz of 1.1 ⁇ m was used. A tin alloy rolled foil (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) was used. Others were subjected to the same roughening and surface treatment as in Example 8, and the same evaluation measurement as in Example 8 was performed. The results are shown in Table 8.
  • Example 12 The untreated rolled copper foil used in Example 8 was used as the substrate, and the off time during pulse cathodic electrolysis under the primary roughening treatment conditions was 40 ms. Others perform the same roughening and surface treatment as in Example 8, and perform the same roughening treatment and surface treatment as in Example 8 so that the surface roughness Rz on the surface treatment side to be obtained is 3.0 ⁇ m or less, The same evaluation measurement as in Example 8 was performed. The results are shown in Table 8.
  • Example 13 In the untreated rolled copper foil made of oxygen-free copper used in Example 8 as a base material, the following conditions shown in Table 7 are set so that the surface roughness Rz of the obtained front and back roughened surfaces is 3.0 ⁇ m or less. And DC cathode electrolysis treatment (current density value was 28.5 A / dm @ 2). In Table 7, ferric sulfate conditions are added to Table 1. After the second plating layer forming step, the same treatment as in Example 8 was performed, and the same evaluation measurement as in Example 8 was performed. The results are shown in Table 8.
  • Comparative Example 12 As a base material, the same copper foil as in Comparative Example 10 was subjected to the same treatment and evaluation measurement as in Example 12. The results are shown in Table 8.
  • the surface-treated copper foils of Examples 8 to 12 had no variation in roughening shape, and the roughening characteristics on both sides were inferior.
  • a copper (alloy) foil was used as a current collector, a silicon-based active material was coated on the surface and dried under pressure to form a negative electrode.
  • the silicon-based active material could be laminated to a uniform thickness.
  • the lithium ion secondary battery incorporating the negative electrode had excellent charge / discharge characteristics and a long life.
  • the evaluation results of Examples 8 and 9 are better than those of Example 11, and it can be seen that the on / off time of pulse electrolysis in the first roughening treatment is preferably set to 10 ms / 60 ms.
  • the electrolytic copper foils of Comparative Examples 10 to 12 have the same roughness on the glossy surface side and higher adhesion strength than the Examples, but the roughness on both the front and back surfaces is greatly different. Therefore, the roughened state on both sides could not be made the same, and the adhesion strength was greatly different between the front and back. In particular, satisfaction was not obtained in terms of the remaining copper on the electrodeposition liquid surface side.
  • a silicon-based active material was applied onto the surface and dried under pressure, but this was not satisfactory from the viewpoint of thickness uniformity as a negative electrode current collector.
  • a lithium ion secondary battery using the laminate as a negative electrode has a potential difference between the front and back surfaces of the negative electrode, and when such a potential difference occurs, a circuit is formed by assembling multiple batteries in series or in parallel. As a result, a failure was induced in the charge / discharge efficiency, and the characteristics as a current collector could not be satisfied.
  • the rolled copper (alloy) foil roughened by the pulse cathode electrolytic roughening treatment or DC cathode electrolytic roughening treatment of the third embodiment of the present invention can be manufactured to have substantially the same characteristics on both sides. Therefore, for example, it is suitable as a current collector for a lithium ion secondary battery, and the negative electrode using the rolled copper (alloy) foil avoids potential defects of the lithium ion secondary battery and has a long life of charge / discharge life. It has an excellent effect.
  • the surface-treated copper foil of the present invention is applied to the copper foil for a negative electrode current collector of the lithium ion secondary battery exemplified as the first to third embodiments. Is not limited, and can be applied to other uses showing the same demands as the copper foil for a negative electrode current collector of a lithium ion secondary battery.

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Abstract

表裏両面が均一な形状で、たとえば、リチウムイオン二次電池のケイ素系活物質の特性を充分に発揮させて、二次電池の高容量と充放電の長寿命を同時に達成できる負極集電体用銅箔と、その銅箔を用いた負極電極を提供する。たとえば、基材として無酸素銅からなる未処理圧延銅箔の表面に、銅－硫酸電解液１２が充填された第一粗化処理槽１において、パルス陰極電解粗化処理で金属銅からなる第一粗化処理層を形成し、銅－硫酸電解液２２が充填された第二銅メッキ処理槽２において、第一粗化処理層表面に平滑銅メッキ処理による第二銅メッキ層を形成する。

Description

銅箔の表面処理方法、表面処理銅箔およびリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔
　本発明は、銅箔の表面処理方法と表面処理された銅箔、並びに、表面処理された銅箔を用いたリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔に関する。
　リチウムイオン二次電池は、正極と同様に負極の特性が二次電池としての充放電特性や高電位維持の優劣を左右する。
　負極、特に、負極集電体について考慮すると、リチウムイオン二次電池の高容量化のため、負極集電体の集電容量を向上させることが必要である。
　リチウムイオン二次電池の負極集電体は、たとえば、銅箔の両表面に活物質として結着剤（バインダー）を混ぜ合わせたカーボン（黒鉛）を塗工加圧乾燥させて製造されていたが、カーボンを用いた場合、高容量と充放電の長期寿命を必要とする用途、たとえば、ハイブリット自動車や電気自動車用などの用途には、満足できるものではなかった。
　たとえば、負極集電体の集電容量の向上は結着剤を混ぜ合わせたカーボンからなる活物質の厚みを増すことで可能であるが、集電体として用いる銅箔の両面に均一な厚みでカーボンを積層させることが技術的に困難である。さらに、カーボン活物質を厚く積層することで電池の寸法が大きくなるという不具合がある。
　活物質をカーボンに代えて、ケイ素（珪素）系に変更してリチウムの吸着量を著しく向上させる技術が進んできている。
　ケイ素系活物質は特有の硬さと、充放電時の粒子間の膨張収縮が大きい。ケイ素系活物質はカーボン系活物質に比べ充放電容量が非常に大きい。
　ケイ素系活物質は粒径を小さくできることから、充放電サイクルによる容量の低下が小さく抑えることができる。
　これらのことから、ケイ素系の活物質は二次電池の負極集電体に適用するに当たって最も実用性に近い材料として期待されている。
　かかる金属箔を集電体とし、該集電体にケイ素系活物質を積層して負極電極とすることで、たとえば、リチウムイオン二次電池の高容量と充放電の長寿命化が同時に達成できると期待されている。
　ケイ素系の活物質はその粒径の細かさから、結着対象となる集電体の表面に適宜な「粗度」が求められる。
　二次電池の集電体の表面粗度が適正であると、“ケイ素系活物質をたくさん詰め込む”ことができ二次電池の容量の向上に寄与することができる。
　また、二次電池の集電体にケイ素系活物質を採用するには、集電体に用いる金属箔は、適宜な硬度と金属的な塑性（伸び）を有することも必須要件となる。
特開２００８－１２７６１８号公報 特開平１０－１６８５９６号公報 特開２０００－２９４２５０号公報 特開平１０－１１２３２６号公報 特開平１１－８６８６９号公報
　一般に、金属箔でリチウムイオン二次電池の負極集電体材料に必須な要件は、電気伝導性、金属箔の表裏両面の表面加工の容易性、活物質との密着性、強いては、加工のため、集電端子の超音波接合性に優れる特性を有することである。
　銅箔はこれらの必須要件のうち電気伝導性、集電端子の超音波接合性は兼ね備えているが、表面形状、活物質との密着性については未だ改善の余地を残している。
　そこで、表裏両面が均一な形状で特にケイ素系活物質の特性を充分に発揮させ、たとえば、リチウムイオン二次電池の高容量と充放電の長寿命を同時に達成できる、負極集電体にも適した銅箔が要望されている。
　本発明によれば、基材として表面未処理の銅箔に、パルス陰極電解メッキ処理で活性物質との密着性を高めるため金属銅からなる第一粗化処理層が設けられ、該第一粗化処理層の表面に、前記付着した銅粒子を保ため、平滑銅メッキ処理による第二銅メッキ層が設けられている、表面処理銅箔が提供される。
　好ましくは、前記活性物質はケイ素系活物質であり、当該表面処理銅箔はリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔として使用される。
　前記基材としての表面未処理の銅箔が、無酸素銅からなる圧延銅箔または圧延銅合金箔、または、圧延銅箔または圧延銅合金箔、または、イオンが貫通可能な微小な貫通孔が複数穿設された圧延銅箔または圧延銅合金箔である。
　また本発明によれば、基材として表面未処理の銅箔に、パルス陰極電解メッキ処理で金属銅からなる活性物質を付着可能な第一粗化処理層を形成する工程と、該第一粗化処理層の表面に平滑銅メッキ処理による第二銅メッキ層を形成する、銅箔の表面処理方法が提供される。
　好ましくは、表面処理方法は、前記第二銅メッキ層表面に防錆剤による第三防錆層を形成する工程、および、該第三防錆層表面にカップリング剤による第四保護層を形成する工程とをさらに有する。
　また本発明によれば、基材として表面未処理の銅箔に、パルス陰極電解メッキ処理で、ケイ素系活性物質との密着性を高めるため金属銅からなる第一粗化処理層が設けられ、該第一粗化処理層の表面に、付着した銅粒子を保ため、平滑銅メッキ処理による第二銅メッキ層が設けられ、前記第二銅メッキ層表面に防錆剤による第三防錆層が設けられ、該第三防錆層表面にカップリング剤による第四保護層が設けられている、リチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔が提供される。
　本発明によれば、電気伝導性、金属箔の表裏両面の表面加工の容易性、活物質との密着性、さらに、超音波接合性に優れる特性を有する、表面処理銅箔、および、その銅箔の表面処理方法が提供される。
　また本発明によれば、電気伝導性、金属箔の表裏両面の表面加工の容易性、活物質との密着性、さらに、超音波接合性に優れる特性を有する、リチウムイオン二次電池の負極集電体を提供することができる。
本発明の第１実施の形態の第１形態を説明する図である。 本発明の第１実施の形態の第２形態を説明する図である。 本発明の実施の形態による銅箔の断面形状を図解する図であり、図３（Ａ）は一次粗化処理層ａを図解し、図３（Ｂ）はさらに二次粗化層ｂを図解する図である。 本発明の第２実施の形態を説明する図である。 本発明の第３実施の形態の第１形態を説明する図である。 本発明の第３実施の形態の第２形態を説明する図である。
　本発明の実施の形態として、活性物質として、たとえば、ケイ素系活性物質を用い、二次電池、たとえば、リチウムイオン二次電池の集電体電極に用いて好適な表面処理した銅箔を例示して述べる。
　ただし、本発明の表面処理方法および表面処理された銅箔は、上述した例示および下記に詳述する例示への適用が限定されるものではなく、本発明の表面処理した銅箔の特徴を生かした他の用途にも適用可能である。
　銅箔に要求される条件
　本発明の実施の形態の銅箔は、たとえば、二次電池の集電体に用いる銅箔は、電気伝導性と、箔の表裏両面の加工の容易性、ケイ素活性物質との密着性、強いては、加工の観点から、集電端子の超音波接合性に優れているものである。
　第１実施の形態
　本発明の第１実施の形態の銅箔の表面処理方法および表面処理した銅箔を述べる。
　基材
　本発明の第１実施の形態において、表面処理の対象となる基材として、表面処理されていない（以下、未処理という）酸素を含有しない銅（無酸素銅、酸素フリー銅）からなる圧延銅箔（以下、未処理・無酸素・圧延銅箔という）を用いる。
　無酸素銅からなる圧延銅箔を使用すると、銅箔に圧延するインゴットに不純物が含まれず、銅箔の性質が変化することがなく、特に、脆性による懸念がない。
　基材の表面を、たとえば、リチウムイオン二次電池の負極集電体用に粗化する方法としては、ケイ素系活物質との密着性を高め、結着剤（バインダー）との結着特性の向上を図るために、粗化処理面が低粗化で均一性に優れ、かつ粗化銅粒子の表層を平滑とすることが重要である。
　このためには、基材として、表面が未処理の無酸素・圧延銅箔Ａの両面共に形状粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで０．８～２．５μｍ、かつ、室温状態、たとえば、２５°Ｃでの常温伸び率が３．５％以上ある無酸素・圧延銅箔を用いることが好ましい。
　また、圧延銅箔Ａとして、ＩＰＣ‐ＴＭ‐６５０に規定される値で３５～４５ｋＮ／ｃｍ2の範囲（ヤング率であれば５０～６５ＭＰａ）の電気伝導性に優れる無酸素銅箔が好ましい。
　未処理・無酸素・圧延銅箔Ａの機械的特性は、常温状態、たとえば、２５°Ｃでの伸び率が３．５％以上ある銅箔を採用することが好ましい。その理由は、たとえば、リチウムイオン二次電池の充放電時のケイ素系活物質の膨張収縮に対して密着性を維持し、かつ追随する必要が求められるからである。
　本発明の第１実施の形態の銅箔は、特に、ケイ素活性物質塗工積層の乾燥工程時とリチウムイオン二次電池に組み込まれた後の充放電時の耐熱性と塑性追随性を重視することから、基材として、機械的特性、たとえば、ビッカース硬度Ｈｖ（Vickers Hardness）値で、８０～１１０の範囲であれば良く、銅箔の伸び率（常温状態での伸び物性率、以下同様）は３．５％以上であれば十分である。このような銅箔であれば熱履歴による著しい塑性変形から生じるケイ素系活物質の剥離や集電体として破断は生じにくい。
　表面処理工程の概要
　図１は、本発明の第１実施の形態として、たとえば、負極集電体用銅箔を製造する銅箔の表面処理工程の一形態を示す説明図である。
　図２は、本発明の第１実施の形態として、たとえば、負極集電体用銅箔を製造する銅箔の表面処理工程の他の形態を示す説明図であり、図１の工程とはステップ５Ａの防錆処理のみ異なる。
　図３（Ａ）、（Ｂ）は、図１および図２に図解の表面粗化処理によって形成された銅箔の一方の面の拡大図である。
　表面粗化処理（ステップ１、３）
　本発明の第１実施の形態の表面処理は、１次表面粗化処理（ステップ１）、２次表面粗化処理（または平滑処理、ステップ３）を基本とする。
　すなわち、基材としての無酸素銅からなる未処理圧延銅箔Ａの表面をパルス陰極電解メッキ処理により未処理圧延銅箔Ａの表面を、図３（Ａ）に例示したように、均一に粗化し（ステップ１）、さらに、平滑銅メッキ処理により粗面ａを、図３（Ｂ）に例示したように、平滑にする（ステップ３）。
　“平滑メッキ”は、第一粗化処理でヤケメッキされた脱落し易い“樹枝状銅粒子”を脱落させずに健全な態を保たせるために施す、低電流による“カプセルメッキ”である。
　第一粗化処理（第１ステップ）
　その粗化処理は、ステップ１の一次粗化処理として、第一粗化処理槽１において、基材の銅箔表面に極めて低粗化に、かつ均一に、銅粒子をパルス陰極電解処理により表面処理を施す（１次粗化処理、第１ステップ）。すなわち、図３（Ａ）に例示した、未処理・無酸素・圧延銅箔の双方の面に（ただし、図３（Ａ）の図解は一方の面のみ示している）、たとえば、表面粗さＲｚで１．５～１．６μｍ程度の均一なコブ状の銅粒子の層ａを形成する。
　第二粗化処理（第２ステップ）
　次いで、第二銅メッキ処理槽２において、ステップ３として、第一次粗化処理により施したコブ状の銅粒子個々の表面に付着した銅粒子の層ａを健全に保つために、図３（Ｂ）に例示したように、平滑な銅メッキからなるカプセル銅層ｂを二次粗化処理として陰極電解メッキで付着する（２次粗化処理または平滑処理、第３ステップ）。
　この平滑銅メッキ処理により、１次粗化処理によるコブ状の微細粒子の層ａは、健全な形状を維持すると共に粒子の均一性が保たれる。
　第二平滑銅メッキ処理後の銅箔の粗面は、たとえば、二次電池の集電体として使用するため、ＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで３．０μｍ以下にする、好ましくは２．５～３．０μｍの範囲、さらに好ましくは２．４～２．５μｍの均一な範囲とする。
　未処理圧延銅箔Ａの表面を粗面化する理由は、たとえば、二次電池の集電体として用いる銅箔の表面に対する結着剤を混合したケイ素系活性物質の密着性を改善すること、および、より多くのケイ素活性物質を脱落させることなく均一に塗工するためである。
　このように、本発明の第１実施の形態による表面粗化した銅箔は、結着剤を混合したケイ素系活性物質との密着性と、より多くの活性物質を脱落させることなく均一に塗工できる粗化（凹凸）が施されている。
　防錆処理（ステップ５）、保護層処理（ステップ７）
　本発明の第１実施の形態の表面処理は、好ましくは、さらに、防錆層の形成処理（ステップ５、ステップ５Ａ）を行う。
　本発明の第１実施の形態の表面処理は、さらに、好ましくは、保護層の形成処理（ステップ７）を行う。
　装置構成および工程
　図１～図３を参照して、本発明の第１実施の形態としての負極集電体用銅箔の製造方法（銅箔の表面処理方法）について詳述する。
　リール６Ａに巻き取られた圧延銅箔Ａは、下記に述べる複数の処理槽を通って連続的に表面処理されて、巻き取りリール６Ｂで巻き取られる。
　第一粗化処理（第１ステップ）
　基材として、リール６Ａに巻き取られた未処理銅箔（無酸素銅からなる電解脱脂済みの圧延銅箔、以下、未処理圧延銅箔）Ａを準備する。
　第一粗化処理槽１には、遮蔽板１３を挟んで隔離された２対の酸化イリジウムアノード１１の各対が圧延銅箔Ａの両面に配置されている。
　銅－硫酸電解液１２は第一粗化処理槽１内において所定の流速で流動している。たとえば、第一粗化処理槽１には銅－硫酸電解液１２が充填されており所定の流速で攪拌されている、または、銅－硫酸電解液１２は第一粗化処理槽１のボトムから給液されてオーバーフローさせる循環層流状態で所定の流速（以下、「第一循環層流速度」という）で流動している。
　リール６Ａから巻き戻された未処理圧延銅箔Ａは、第一粗化処理槽１に導かれ、第一粗化処理槽１においてその表面に、「パルス陰極電解メッキ法」による粗化銅粒子表面ａが形成される。すなわち、未処理圧延銅箔Ａが巻き取りリール６Ｂにより搬送されるとき接する給電コンタクトロール７と酸化イリジウムアノード１１との間にパルス状の電流を印加することにより、銅－硫酸電解液１２を介して断続して電解メッキが行われ、未処理圧延銅箔Ａの両側に、たとえば、図３（Ａ）に例示した、コブ状の微細粗化銅粒子からなる第一粗化処理層ａを形成する。このパルス陰極電解メッキ処理の詳細は後述する。
　第一粗化処理槽１において未処理圧延銅箔Ａの両側に一次粗化処理層ａが形成された銅箔Ｂは水洗槽１５で洗浄された後（ステップ２）、第二銅メッキ処理層２へ導かれる。
　第２粗化処理（ステップ３）
　第二銅メッキ処理槽２には、銅箔Ｂの両側に位置する１対の酸化イリジウムアノード２１が配置されている。
　銅－硫酸電解液２２は第二銅メッキ処理槽２内において所定の流速で流動している。たとえば、第二銅メッキ処理槽２には銅－硫酸電解液２２が充填されており所定の流速で攪拌される、または、銅－硫酸電解液２２が第二銅メッキ処理槽２のボトムから給液されてオーバーフローさせる循環層流状態で所定の流速（以下、「第二循環層流速度」という）が流動している。
　給電コンタクトロール７と酸化イリジウムアノード２１とに印加された電流により平滑銅メッキ処理が行われ、図３（Ｂ）に例示したように、一次粗化処理層ａが形成された銅箔Ｂの両側に銅－硫酸電解液２２を介して、図３（Ｂ）に例示した、平滑銅メッキ層（第二銅メッキ層）ｂが形成される。
　平滑銅メッキ処理が施された銅箔Ｃは水洗槽２５で洗浄された後（ステップ４）、第三表面処理層３へ導かれる。
　防錆層の形成処理（ステップ５、５Ａ）
　次いで、好ましくは、ステップ３による第二銅メッキ処理後の銅箔の粗面の表面に、ステップ５として、図３には図示しない、防錆層（第三防錆層）を形成する。
　第三表面処理槽３には、ステンレススチール（ＳＵＳ）製のアノード３１が配置されている。
　第三表面処理槽３にはまたクロメート電解液３２が充填されており、給電コンタクトロール７とアノード３１とに印加された電流によるメッキにより、銅箔Ｃの両側にクロメート防錆層が施される。
　防錆層としては、クロメート防錆でも（図１、ステップ５）、有機防錆でも（図２、ステップ５Ａ）でも良い。
　クロメート防錆処理の場合のクロム付着量は、表面が酸化銅に変色しない程度の被膜として、金属クロムとして、たとえば、０．００５～０．０２０ｍｇ／ｄｍ2とすることが好ましい。
　図２は、図１に図解したステップ５の処理と異なり、第三表面処理槽３Ａにおいて、ステップ５Ｂとして示した防錆層を有機防錆剤、たとえば、ＢＴＡ（ベンゾ・トリ・アゾール）で形成する。その他は、図１を参照して述べた処理および装置と同様である。
　第三表面処理槽３Ａには、ＢＴＡ溶液３７が充填され、銅箔Ｃの両表面にＢＴＡ膜を塗布し、さらに、乾燥装置３４で乾燥させて（ステップ６Ａ）、ＢＴＡからなる防錆層を形成する。
　有機防錆剤として、たとえば、ＢＴＡ系の誘導体を選定した場合は、ＪＩＳ－Ｚ－２３７１に規定される塩水噴霧試験（塩水濃度：５％－ＮａＣｌ、温度３５℃）の条件下で、２４時間までは表面が酸化銅に変色しない程度の被膜を形成する。
　第三表面処理槽３、３Ａにおいてクロメート防錆層（第三防錆層）が施された銅箔Ｄは水洗槽３５で洗浄された後（ステップ６）、第四表面処理槽４へ導かれる。
　保護層の形成処理（ステップ７）
　上述した第三防錆層の表面にシランカップリング剤からなるケミカル的な単分子からなる保護層（第四保護層）を設けることが望ましい。
　第四表面処理槽４にはシランカップリング液（剤）４２が充填されており、クロメート防錆層が形成された銅箔Ｄの表面にシランカップリング剤を塗布する。
　シランカップリング剤の付着量はケイ素として０．００１～０．０１５ｍｇ／ｄｍ2とすることが望ましい。
　第四表面処理槽４においてシランカップリング剤による第四保護層（図３に図示せず）が施された銅箔Ｅは乾燥装置５を経て乾燥され（ステップ８）、巻取りロール６Ｂに巻き取られる。
　上述した各工程の処理の詳細を述べる。
　第一粗化処理（第１ステップ）
　第一粗化処理は、未処理・無酸素・圧延銅箔Ａの表面に、図３（Ａ）に例示した、三銅のコブ状の粗化粒子の層ａを形成させる。未処理圧延銅箔Ａの表面に設ける第一粗化処理層ａは、第一粗化処理槽１において砒素化合物や金属モリブデンが添加されている、銅－硫酸電解液１２を用いた、硫酸銅浴を用いた「パルス陰極電解メッキ法」により形成する。　
　パルス陰極電解メッキ処理法
　パルス陰極電解メッキ処理を行う上での、オン・タイム（電流を印加する時間）とオフ・タイム（電流を印加しない期間）とを決定するには、銅濃度・硫酸濃度・平均電流密度・電解液の流速・浴温・処理時間を考慮する必要がある。これらの設定には、経験的に、直流電解メッキ処理で、健全な「ヤケメッキ」ができる条件を、パルス陰極電解メッキ処理に置き換えて、同等もしくはそれ以上に健全な処理ができることを確認しておく。
　パルス陰極電解メッキ処理法で重要なことは、ロール７とアノード１１とに印加する電流の最大値（ピーク）である。
　通常ピーク電流値は、おおよそ（オンタイムとオフタイムとの比率の合計）×平均電流値が、オンタイム時に流れる。オンタイムとオフタイムとの比率の合計は、たとえば、オンタイム１０ｍｓ、オフタイム４０ｍｓのときは比率の合計は５、オンタイム１０ｍｓ、オフタイム６０ｍｓのときは比率の合計は７である。
　この場合、銅－硫酸電解液１２の流速が遅く銅イオンの供給が不十分であったり、他方、銅－硫酸電解液１２の流速が速く銅イオンの供給が過剰であると、健全な「ヤケメッキ」ができない。そこで、銅－硫酸電解液１２の管理容易性に富む銅濃度浴を設定して、平均電流密度・流速・浴温・処理時間を制御して処理する。
　平均電流密度は、上記設定浴温で健全な「ヤケメッキ」が可能となる「直流電解メッキ処理」を行った時の電流値を設定することが一般的であるのでそれを採用すると、浴温と処理時間（通電時間）も「直流電解メッキ処理」を行った時の値を用いることが好ましい。たとえば、処理時間は２．５～５．０秒である。
　銅－硫酸電解液１２の流速は、健全なヤケメッキ限界電流密度に追従できる銅イオンの供給が可能であればよいので、銅箔Ａの搬送速度の半分程度の速さで十分である。たとえば、搬送速度を６～１２ｍ／分とすると、流速は３～６ｍ／分となる。
　なお、パルス陰極電解メッキ処理の場合、ピーク電流時の銅イオンの供給が重要となり、理論上は、銅箔の搬送速度より速い銅－硫酸電解液１２の流速を必要とする。しかしながら、オフタイム時も銅イオンは供給されるので、オンタイムの比率の合計が大きくなるに従って銅－硫酸電解液１２の流速を速くする必要はなく、実用上は、銅－硫酸電解液１２の流動速度は直流電解メッキ処理と同様の銅箔の搬送速度の半分程度の流速で処理が可能である。
　オンタイム・オフタイムの決定としては、実験室では、オンタイムとオフタイムとの比率、すなわち、オンタイム／オフタイムが１：４～１：６の範囲であることが必須であることを見いだした。
　オンタイム／オフタイムが、１：１～１：４未満の範囲ではパルス電解メッキ処理と大差がない。他方、上記範囲を越えると、ピーク電流が高くなりヤケメッキが極端に樹枝針状となり、粉落ちが顕著となり、第一粗化処理槽１中に脱落し、健全なヤケメッキを阻害する。
　具体例
　たとえば、搬送速度を６～１２ｍ／分、銅－硫酸電解液１２の流速（第一循環層流速度）を３～６ｍ／分、電解処理時間を２．５～５．０秒、とした。
　銅－硫酸電解液
　銅－硫酸電解液１２として、たとえば、硫酸銅を銅として２０～３０ｇ／Ｌ、硫酸濃度をＨ2ＳＯ4として９０～１１０ｇ／Ｌ、モリブデン酸ナトリウムをＭｏとして０．１５～０．３５ｇ／Ｌ、塩素を塩素イオン換算で０．００５～０．０１０ｇ／Ｌ混入した電解液で、浴温度１８．５～２８．５℃に設定する。
　パルス陰極電解メッキ処理
　給電コンタクトロール７と酸化イリジウムアノード１１との間に印加するパルス状の電流の密度、すなわち、パルス陰極電解メッキ電流密度を、たとえば、２２～３１．５Ａ／ｄｍ2に設定する。
　なお、上述したように、ピーク電流密度（オンタイム時の電流密度）は、オンタイム、オフタイムと、パルス陰極電解平均メッキ電流密度によって決まる。
　その値は、特に限定はされないが、たとえば、オンタイムを１０～６０ｍｓとすることができる。たとえば、オンタイムを１０ｍｓとした場合には、ピーク電流密度は１５７．５Ａ／ｄｍ2以下となる様に設定するのが好ましく、１５４～１５７．５Ａ／ｄｍ2の範囲であると、より好ましい。
　上述した適宜な銅－硫酸電解液１２の流速と、適宜な酸化イリジウムアノード１１の極間距離とで、上記電解条件で、健全な銅コブ粗化粒子の層ａ（図３（Ａ）参照）を未処理・無酸素・圧延銅箔Ａの表面に形成する。
　粗化層ａの表面粗さＲz は、たとえば、１．５～１．６μｍである。
　次いで第一粗化処理された銅箔Ｂを第二処理槽２へ移動させる。
　第一粗化処理槽１の同一浴内で前記銅コブ粗化粒子が脱落しないように、必要により、給電コンタクトロール７と酸化イリジウムアノード１１との間に印加する電流密度を１５～２０Ａ／ｄｍ2程度に設定した条件で、パルス陰極電解メッキに続けて、第一粗化処理槽１内において、下記に述べる方法と同様な処理により、平滑銅による電解メッキを施すことも可能である。
　第３ステップ（第二粗化処理）
　第二処理槽２では、第一粗化処理槽１内で銅箔Ａの表面に付着した微細銅粗化粒子の層ａを銅箔の面上より脱落させないようにすることと、個々の微細銅粗化粒子の表面形状を整え表面積を小さく均一に整えることを目的として平滑銅メッキ処理を施す。
　具体例を述べる。
　銅－硫酸電解液２２
　第二処理槽２における電解液２２は、たとえば、硫酸銅を銅として３５～５５ｇ／Ｌ、硫酸濃度をＨ2ＳＯ4として９０～１１０ｇ／Ｌとし、浴温度３５～５５℃に設定した。
　平滑電解メッキ条件
　ロール７とアノード２１との間に連続的に印加する陰極電解メッキ電流密度を１５～２０Ａ／ｄｍ2に設定した。
　適宜な電解液２２の流速と、適宜な酸化イリジウムアノード２１の極間距離とで、平滑な銅メッキを第一粗化処理層（微細銅粗化粒子）の表面に形成する。
　たとえば、銅箔の搬送速度は、第１スタッフにおける搬送速度、たとえば、６～１２ｍ／分と同じであり、第二循環層流速度は、３～６ｍ／分である。
　電解時間は、平滑メッキなので、（電流密度×処理時間＝平滑メッキ量）で規定され、たとえば、３．７５～７．５秒程度である。
　この場合の平滑メッキ後の最終的な粗化形状の粗度ＲｚはＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで銅箔の両面共に３．０μｍ以下、好ましくは、２．３～３．０μｍの範囲、さらに好ましくは、２．４～２．５μｍの範囲にすることが好ましい。
　平滑銅メッキ処理により、表面処理銅箔Ｅを二次電池の集電体としてに用いた場合に、銅粒子離脱による充放電への不具合や、二次電池内のセパレターへの不用意な付着、二次電池の正極に用いられるリチウム化合物との異常電析を回避することができる。
　防錆層の形成（ステップ５、５Ａ）
　ステップ３の処理によりＲｚ＝３．０μｍ以下に仕上がった銅箔Ｃの表面に、好ましくは、クロメート防錆剤を浸漬処理、或いは、陰極電解処理して第三防錆層を設け、表面処理銅箔の防錆力を高める。
　クロメート処理の場合の皮膜厚みは、金属クロム量として、たとえば、０.００５～０.０２５ｍｇ／ｄｍ2の範囲が好ましい。この付着量範囲であればＪＩＳ-Ｚ－２３７１に規定される塩水噴霧試験（塩水濃度：５％－ＮａＣｌ、温度３５℃）の条件下で２４時間までは表面が酸化銅に変色しない。
　防錆層の形成にはＢＴＡに代表される有機系防錆剤でもその誘導体化合物に耐熱性に優れるものが市販されており、適宜使い分けることができる。因みに有機防錆剤であれば、たとえば、千代田ケミカル株式会社の品番Ｃ－１４３の５．０Ｗｔ％(重量パーセント)で３５～４０℃に調整された浴中に浸漬し乾燥させたものでも、クロメート処理と遜色ない防錆効果が得られる。
　保護層の形成（ステップ７）
　クロメート処理の施された銅箔Ｄの面に、好ましくは、シランカップリング剤を適宜コーティング（第四保護層）する。
　シランカップリング剤処理により、特に、ケイ素系活物質に混合されるバインダーとの密着結着性を高めることができる。
　カップリング剤は対象となる活物質により適宜選択されるが、本発明の第１実施の形態においては、特に、ケイ素系活物質との相性に優れるエポキシ系、アミノ系、ビニル系のカップリング剤を選択することが好ましく、その構造式に“二重結合”や“アゾ化合物”を有するカップリング剤は、架橋反応に富み密着効果に優れ、好ましい。
　本発明の第１実施の形態においては品種および種類を限定しないが、少なくともケミカル的に密着性を向上させるため、銅箔の粗化処理面に塗布するシランカップリング剤の付着量はケイ素として、たとえば、０.００１～０.０１５ｍｇ／ｄｍ2の範囲であることが好ましい。
　実施例および比較例
　以下、本発明の実施の形態に基づく実施例と比較例を述べる。
　〔実施例１〕
　基材として、無酸素・圧延銅Ａからなり、厚み０．０１８ｍｍの未処理圧延銅箔Ａで、表面粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定の表面粗さＲｚが０．８μｍで、常温（たとえば、２５°Ｃ）伸び率が６．２％の銅箔を用いて、この銅箔の両面に以下の条件で粗化処理を施した。
　この粗化処理では、遮蔽板１３で分離された、第一粗化処理槽１の入口からボトム側で銅箔の表面に粗化する処理と、ボトムから槽出口側で銅箔の裏面に粗化処理を分けて、給電コンタクトロール７と酸化イリジウムアノード１１に印加する電流について、オンタイムを１０ｍｓ、オフタイムを６０ｍｓに設定して（オンタイム・オフタイムの比率の合計は７）、銅箔Ａ／を上述した搬送速度でで移動させながら、パルス陰極電解メッキによる１次粗化処理を行い両面に第一粗化処理層ａを施した。
　パルス陰極電解メッキ処理を上記のごとく二回に分けた理由は、オンタイムとオフタイムの設定効果を確実にするためであり、限られた一次粗化処理槽１内の流速での両面処理は、印加する電流がピーク電流に達した場合に、銅イオンの供給が銅箔Ａの両面共に不十分となり粗化処理ムラの不具合を起こすのを回避するためである。
　次いで、第二銅メッキ処理槽２における平滑銅メッキ処理として、ローラ７とアノード２１に連続的に直流電流を印加し、第二銅メッキ処理槽２の入口からボトム側で同時に、両側の第一粗化処理層面に直流電解カプセルメッキで第２粗化層を施した。
　実施例１～４および比較例１～５では、陰極電解メッキ条件を、第１ステップにおける「パルス陰極電解メッキ」と、第３ステップにおける「直流陰極電解メッキ」とに分けて記載する。
　[表１]
　〔条件１、第一粗化処理層を形成する浴（銅－硫酸電解液２２）組成と処理条件〕
　　　硫酸銅・・・・・・・・・・・・・・・・金属銅として23.5ｇ／Ｌ
　　　硫酸・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・100ｇ／Ｌ
　　　モリブデン酸ナトリウム・・・・・・モリブデンとして0.25ｇ／Ｌ
　　　塩酸・・・・・・・・・・・・・・・塩素イオンとして0.002ｇ／Ｌ
　　　硫酸第二鉄・・・・・・・・・・・・・・金属鉄として0.20ｇ／Ｌ
　　　硫酸クロム・・・・・・・・・・・・三価クロムとして0.20ｇ／Ｌ
　　　浴温度：25.5℃
　　　パルス陰極電解オンタイム・・・・・10ｍｓ
　　　パルス陰極電解オフタイム・・・・・60ｍｓ
　　　パルス陰極電解平均メッキ電流密度：・・・・・22.5Ａ／ｄｍ2
　〔表２〕
　　　　〔条件２、第二平滑銅メッキ層形成処理条件、銅－硫酸電解液２２〕
　　　硫酸銅・・・・・・・・・・・・・・・・・金属銅として45ｇ／Ｌ
　　　硫酸・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・110ｇ／Ｌ
　　　浴温度：・・・・・・・・・・・・・・・・・50.5℃
　　　直流陰極電解メッキ電流密度：・・・・・・・18.5Ａ／ｄｍ2 
　条件３、防錆層の形成条件
　防錆処理として、ＣｒＯ3として３ｇ／Ｌを含むクロメート浴中に浸漬・乾燥して防錆層を形成した。
　条件４、保護層の形成条件
　その後、０．５ｗｔ％に調整したエポキシ系のシランカップリング剤（チッソ株式会社製サイラエースＳ－５１０）を、第２粗化層の上に薄膜塗布した。
　測定条件と結果および評価方法
　以上の条件で得られた表面処理銅箔の表面粗度をＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定されるＲｚで測定して、表３に示した。
　粗化処理の均一性は次のようにして評価した。
　先ず、表面処理銅箔Ｅを２５０ｍｍ角に切断し、その粗化処理両面に市販のポリフェニレンエーテル(ＰＰＥ)樹脂系基板（Panasonic電工製メグトロン－６プリプレグ相当）を重ね合わせて加熱プレス積層して、両面銅張積層板として、引き剥がし、密着性の状態から下記のように粗化処理の均一性を評価した。
　粗化処理の均一性は、基材との引き剥がし密着性の測定に用いるＪＩＳ－Ｃ－６４８１に規定される測定方法により引き剥がし強度を測定した。
　評価（バラツキチャート評価）は、測定チャートの最大値と最小値の“差”が無く引き剥がされていれば（すなわち、チャートにブレが無く直線的に描かれていれば）、粗化均一性に優れるものとして評価を「◎」とした。チャートのブレが０．０２ｋｇ/ｃｍ以内であれば評価を「○」とした。０．０５ｋｇ／ｃｍ以内であれは評価を「△」とし、０．０５ｋｇ／ｃｍを超える場合は評価を「×」とした。
　これらの密着強度の数値バラツキとして表３に記載した。
　異常粗化処理の有無を残銅（全面エッチング後の基板表面）の程度を光学顕微鏡による目視観察で評価した。
　残銅は、前記銅張積層板の面をエッチング後、単位面積（０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）当たりの残銅が全く見られない場合を◎、殆ど見られない場合を○、多少見られる場合を△、顕著に見られる場合を×として評価して表３に記載した。
　〔実施例２〕
　実施例２は、基材として、無酸素銅からなり、厚み０．０１８ｍｍの未処理圧延銅箔で、銅箔の両面の表面粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定の表面粗さＲｚで２．５μｍ、常温伸び率が６．２％の銅箔を用いた。
　すなわち、実施例１とは、基材の表面粗さが異なる。その他は実施例１で施したと同様な条件で粗化処理を施し、第二銅メッキ層の表面粗度が表面粗さＲｚで３．０μｍ以下となるように粗化および表面処理を行い、実施例１と同様の評価測定を行った。
　その結果を表３に示す。
　〔実施例３〕
　基材として、厚さ０．０１８ｍｍで、常温での伸び率が３．６％で、表面粗度がＲｚで０．８～１．１μｍの無酸素銅圧延箔（古河電気工業（株）製造）を用いた。
　すなわち、実施例１、２とは、基材の表面粗さが異なる。その他は、実施例１と同様の粗化および表面処理を行い、実施例１と同様の評価測定を行った。
　その結果を表３に示す。
　〔実施例４〕
　基材として実施例１で用いた未処理圧延銅箔を用い、一次粗化処理条件のパルス陰極電解メッキ時のオフタイムを４０ｍｓとした。その他は、実施例１と同様の粗化および表面処理を行い、得られる表面処理側の粗度がＲｚで３．０μｍ以下となるように実施例１と同様の粗化処理および表面処理を行い、実施例１と同様の評価測定を行った。
　その結果を表３に示す。
　［比較例１］
　基材として、実施例１に用いた無酸素銅からなる未処理圧延銅箔の両面側に実施例１と同様の銅－硫酸電解液２２の浴組成で、パルス陰極電解メッキ処理に代えて、直流陰極電解処理を施し、得られた表裏両粗化面の粗度がＲｚで３．０μｍ以下となるように処理した。その他は、実施例１と同じ処理を施し、実施例１と同様の評価測定を行った。
　その結果を表３に示す。
　［比較例２］
　基材として実施例２に用いた未処理圧延銅箔に、比較例１と同様な処理を施した以外は、実施例１と同様の評価測定を行った。その結果を表３に示す。
　［比較例３］
　基材として、実施例３に用いた未処理圧延銅箔に、比較例１と同様な処理を施した以外は、実施例１と同様の評価測定を行った。その結果を表３に示す。
　［比較例４］
　基材として、電解製箔条件により柱状結晶でＩＰＣ規格に分類されるミドルプロファイル（ＭＰ）形状に製箔された未処理のＭＰ－１８μｍの銅箔マット面側（電着液面側のＲｚは３．８μｍ）に、直流電解処理により比較例１と同様の処理および評価測定を行った。その結果を表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表３から明らかなように、実施例１～４の表面処理銅箔は、表面粗度が表裏とも同程度で、両面の粗化特性が遜色ないものであった。
　かかる評価からそれらの表面処理銅箔を、たとえば、リチウムイオン二次電池の集電体とし、その表面にケイ素系活性物質を塗工加圧乾燥し、負極集電体を形成しても、ケイ素系活物質を均一な厚みに積層でき、該積層体を負極電極としたリチウムイオン二次電池は充放電特性に優れ、長期の寿命を有するものであった。
　特に、実施例１～３は評価結果が良好であり、第一粗化処理におけるパルス電解メッキ処理の充電電流のオン時間を１０ｍｓ、オフ時間を６０ｍｓにするのがより好ましいことが判った。
　実施例１～４と比較して比較例１～３の銅箔は、粗度Ｒｚは実施例１～４と同程度で、かつ密着強度は実施例より高いものの、密着強度が銅箔の表裏で異なり、残銅の点でも満足が得られなかった。
　比較例の表面処理銅箔を、リチウムイオン二次電池の集電体として表面上にケイ素系活物質を塗工加圧乾燥したが、負極集電体としての厚み均一性の観点から満足できず、積層体を負極電極としたリチウムイオン二次電池は充放電特性に劣り、寿命も短命であった。
　比較例４は、基材としての未処理電解銅箔の表裏双方の粗度が大きく異なっているために、両面の粗化状態を同様にすることができず、密着強度が表裏で大きく異なる。
　また、表面処理銅箔の表裏両面の表面形状が相違するためにケイ素系活物質を表裏両面に同じ厚さで積層することができず、電位の差を生じてしまった。上記のように電位の差が生ずると、たとえば、二次電池として、複数本を直列または並列に組んで回路を構成すると、二次電池の充放電効率に不具合を誘発し、集電体としての特性を満足することができなかった。
　上述したように、本発明の第１実施の形態として、基材として無酸素・圧延銅箔を用い、１次粗化処理としてパルス陰極電解メッキ処理により粗化され、さらに平滑処理による表面処理された銅箔は、銅箔の両面を略同様な特性に製造することができる。
　したがって、たとえば、リチウムイオン二次電池用の集電体として好適である。
　さらに、本発明の第１実施の形態により表面処理された銅箔による負極電極はリチウムイオン二次電池の電位の不具合を回避し、充放電寿命の長寿をもたらす、優れた効果を有する。
　このように、本実施の第１形態の表面処理銅箔は、たとえば、リチウムイオン二次電池の集電体に、特有の硬さと、充放電時の粒子間の膨張収縮が大きいケイ素係活物質を付着させた場合でも、リチウムイオン二次電池の高容量化と充放電の長期寿命化を満足させることができる。
　本発明の実施の形態の銅箔は、電気伝導性と、箔の表裏両面の加工の容易性、ケイ素活性物質との密着性に優れており、リチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔に限らず、種々の用途に適用することができる。
　また、加工の観点から、集電端子の超音波接合性に優れており、これらの特性を必要とする種々の用途に適用することができる。
　第２実施の形態
　基材
　本発明の第２実施の形態の基材は、第１実施の形態の基材と異なり、貫通孔が穿設された穴あき表面未処理銅箔または穴あき表面未処理銅合金箔を用いる。
　以下、銅箔と銅合金箔とを区別して表現する必要がないときは、単に、未処理銅箔又は銅箔と表現する。
　穴あき表面未処理銅箔としては、電解銅箔または圧延銅箔どちらでも用いることができる。
　穴あき表面未処理銅合金箔としては、銅を主体とした合金であれば採用できる。銅合金箔として、特に、銅－錫合金を採用することが好ましい。錫の含有量が０．１５％以下で、導電率が８５％ＩＡＣＳ以上、すなわち、純銅の導電率の８５％以上の銅－錫合金を採用することがより好ましい。
　基材が、表面未処理電解銅箔または表面未処理電解銅合金箔である場合は、貫通孔を穿設する前の基材の表裏の素地がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで０．８～２．５μｍの範囲にある銅箔を採用することが好ましい。上記電解銅箔は製箔時の電析結晶粒が非常に微細粒子で、電解銅箔のマット面側の断面が細かな粒状結晶構造となっている状態が好ましい。
　この様な結晶構造を有する電解銅箔は、常温、たとえば、２５°Ｃでの伸び率が３．５％以上あり、たとえば、リチウムイオン二次電池への適用を考慮した場合、ケイ素系活物質を圧着加熱積層時のプレス温度（１５０～１８０℃程度範囲）でも、十分に熱伸縮に対し追随性を有するためである。
　貫通孔を穴あける前の基材としての表面未処理電解銅箔の機械的特性が、常温での伸び率が３．５％以上であることを好ましいとする理由は、第１実施の形態においても述べたように、穴あけ加工された粗化処理銅箔表面に活物質を塗工し、電極として二次電池を組み立てた後の充放電時のケイ素系活物質の膨張収縮に対してケイ素系活物質との密着性が維持され、熱履歴に対する適宜な追随特性が確保されるためである。
　基材が表面未処理圧延銅箔または表面未処理圧延合金銅箔の場合は、銅箔の両面共に表面粗さＲｚで１．５μｍ以下の銅箔を採用することが好ましい。
　基材が表面未処理圧延銅箔の場合は無酸素銅、又は、錫を含有した銅合金インゴットを圧延した銅箔を採用することが好ましい。無酸素銅が好ましいことは、第１実施の形態の基材として述べた。
　穴あけ前の表面未処理圧延銅箔または表面未処理圧延合金銅箔の特性はＩＰＣ‐ＴＭ‐６５０に規定される値で３５～４５ｋＮ／ｃｍ2の範囲（ヤング率であれば５０～６５ＭＰａ）であることが好ましい。
　粗化処理
　穴あき粗化処理銅箔は、二次電池への適用を考慮した場合、ケイ素系活物質との密着性を強め、より多くの活物質を脱落させることなく均一に保持するために、銅箔両面に、第１実施の形態における第１ステップと同様の処理で、極めて低粗化で均一なコブ状の銅粒子又は銅合金粒子による一次粗化処理層ａ（図３（Ａ）参照）をパルス陰極電解メッキ処理により施す。
　次いで、一次粗化処理が施された一次粗化処理層を健全に保つために一次粗化処理層の上に、第１実施の形態のステップ３と同様の処理で、一次粗化で用いた粒子と同一成分のメッキ液で平滑にメッキ（陰極電解メッキ）層ｂ（図３（Ｂ）参照）を施すことで平滑な二次処理層（カプセルメッキ層）を設ける。平滑メッキ処理により設ける二次粗化層のコブ状の微細粒子は、一次粗化処理層を健全な形状に維持すると共に粒子の均一性と脱落防止が達成される。平滑メッキ処理後の粗面は、ＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで３．０μｍ以下、好ましくは２．５～３．０μｍの範囲とすることが好ましい。
　防錆処理層の形成
　好ましくは、第１実施の形態において述べたと同様に、二次平滑メッキ処理後の粗面の表面に防錆層を設ける。
　防錆層としては、第１実施の形態と同様、クロメート防錆でも有機防錆でも良い。
　保護層の形成
　さらに、好ましくは、第１実施の形態において述べたと同様に、防錆層の表面にカップリング剤の単分子からなる保護層を設ける。
　図４を参照して、本発明の第２実施の形態の穴あき粗化処理銅箔の製造方法（表面処理方法）について述べる。
　穿設処理
　まず、基材が銅箔である場合について述べる。
　基材の１例として表面未処理銅箔に、パンチング機１００で銅箔を貫通する多数の貫通孔を穿設する。
　本発明の第２実施の形態の穴あき銅箔も、第１実施の形態として述べたように、特に活物質塗工積層の乾燥工程時と二次電池に組み込まれた後の充放電時の耐熱性と塑性追随性が重視されることから、適宜な機械的特性が要求される。たとえば、ビッカース硬度Ｈｖの値は、８０～１１０程度の範囲が好ましく、常温での伸び率は３．５％程度以上であることが好ましい。
　このような穴あき銅箔であれば、開口率が最大５５％を超えなければ熱履歴による著しい塑性変形から生じる活性物質の剥離や集電体としての用いた場合に銅箔の破断は起きない。
　開口率とは、多数の貫通孔を穿設する前の未処理銅箔の面積に対する、開口部分の合計面積の比率を言う。
　１つの貫通孔の開口部分の面積は、リチウムイオンが通過可能な面積、たとえば、０．０１ｍｍ2以下であることが好ましい。
　１つの貫通孔の開口部分の面積が０．０１ｍｍ2以下であると、ステップ１の粗化処理によって開口部分が塞がるが、リチウムイオンが通過可能な隙間は残る。これにより、集電体両面の活物質付着量に差が生じても、付着量の少ない側のリチウム吸蔵量に規制されることなく、活性物質全体の吸蔵量を最大限に利用できる。
　１つの貫通孔の開口部分の面積が０．０１ｍｍ2より大きいと、活性物質が表裏両面でつながり集電特性には効果的であるが、一方で開口部分に脆弱な箇所があると、活性物質の充放電時の膨張収縮によって銅箔開口部分の周囲に亀裂が入ることがある。
　第１粗化処理（ステップ１）
　貫通孔が穿設された未処理銅箔Ａ１は、第１実施の形態におけるステップ１の処理と同様、第一粗化処理槽１に導かれて、パルス陰極電解メッキにより粗化銅粒子の表面が形成されて、銅箔Ａ１の両面に銅粒子からなるコブ状の微細粗化粒子からなる一次粗化処理層ａ（図３（Ａ）参照）が形成される。
　一次粗化処理層ａが形成された銅箔Ｂ１は水洗槽１５で洗浄された後（ステップ２）、第二銅メッキ処理槽２へ導かれる。
　第２粗化処理（ステップ３）
　第二銅メッキ処理槽２において、第１実施の形態のステップ３として上述した方法と同様、平滑銅メッキ処理層ｂが施される。
　平滑メッキ処理が施された銅箔Ｃ１は水洗槽２５で洗浄された後（ステップ４）、第三処理槽３へ導かれる。
　防錆層の形成（ステップ５、ステップ５Ａ）
　第三表面処理槽３において、図１のステップ５または図２のステップ５Ａとして上述したと同様の方法で、クロメート防錆層が設けられる。
　第三表面処理槽３においてクロメート防錆層が設けられた銅箔Ｄ１は水洗槽３５で洗浄された後（ステップ６）、第四表面処理槽４へ導かれる。
　保護層の形成（ステップ７）
　第四表面処理槽４において、第１実施の形態のステップ７として上述した処理と同様の方法で、銅箔Ｄ１の表面にシランカップリング剤を塗布する。
　第四表面処理槽４においてシランカップリング剤を塗布された銅箔Ｅ１は乾燥装置５を経て巻取りロール６Ｂに巻き取られる。
　基材が銅合金箔の場合
　上記粗化処理工程は基材が銅箔についての工程である。
　基材が銅合金箔の場合は、上記の処理で一次粗化処理、二次粗化処理を行ってもいいが、銅合金箔によっては銅合金と同じ合金で粗化処理することが好ましい場合もある。
　未処理銅合金箔Ａ１と同様な合金組成の粗化処理を施す場合には、第一粗化処理槽１に銅合金箔と同一種類の金属が適宜に溶解された銅主体の銅－硫酸電解液１２が充填され、第一粗化処理槽１で銅合金箔Ａ１の両面に銅合金粒子からなるコブ状の微細粗化粒子からなる一次粗化処理層を形成する。
　基材が電解銅箔の場合
　未処理穴あき銅箔Ａ１として電解銅箔を使用する場合は、ケイ素系活物質の特性、二次電池特性をより向上させるために柱状晶粒からなる結晶構造を有する電解銅箔より、平滑な表面形状をなす両面光沢電解銅箔の方が好ましく、電解製箔後の表裏の表面粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで０．８以上２．５μｍ未満の範囲のものが好ましい。
　基材が圧延銅箔または圧延合金銅箔の場合
　基材が圧延銅箔または圧延合金銅箔の場合は、無酸素銅材（ＯＦＣ材）を用いるのが好ましい。
　基材として、電解銅箔、圧延銅箔、合金銅箔の区別なく、基材の常温での伸び率は３．５％以上であることが好ましい。
　基材が合金箔でない穴あき銅箔の場合
　基材として、合金箔でない穴あき銅箔とした場合に、銅箔の両面に設ける一次粗化処理は第一粗化処理槽１でケイ素系化合物や金属モリブデンが添加されている銅－硫酸電解液２２による硫酸銅浴を用いたパルス陰極電解メッキ法により施される。
　実施例および比較例
　第２実施の形態の実施例と比較例を述べる。
　実施例５～８、および、比較例５～９は陰極電解メッキ条件を、第１ステップにおける「パルス陰極電解」と第２ステップにおける「直流陰極電解」とに分けて記載する。
　〔実施例５〕
　基材として、電解製箔条件により液面側も鏡面に製造された厚み０．０１８ｍｍの未処理電解銅箔に、パンチング機１００により、直径５０μｍで開口率５５％に打ち抜き加工穴あけされた「穴あき電解銅箔」を用意した。
　穴あけ前の電解銅箔のマット面側（電着液面側）の形状粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定の表面粗さＲｚで０．８μｍ、光沢面側（ドラム面側）の表面粗さＲｚが１．２μｍで、かつ常温伸び率が６．２％の銅箔（古河電気工業株式会社製造の両面光沢電解銅箔）を用いて、その銅箔の両面に以下の条件で粗化処理を施した。
　なお、第１実施の形態における実施例１と同様、遮蔽板１３を挟んで、第一粗化処理槽１の入口からボトム側でマット面側（電着液面側）に、ボトムから第一粗化処理槽１の出口側で光沢面側（ドラム剥離面側）に粗化処理を分けて、銅箔の両面に粗化処理を施した。
　パルス処理を二回に分けた理由は、穴あき銅箔であるために非穴あき銅箔に比べて、ピーク電流時の発熱が大きくなるため、第一粗化処理槽１の槽内での銅箔Ａ１の切断や伸び不具合を回避するためで、加えて、パルス陰極電解メッキ処理のため酸化イリジウムアノード１１に印加する電流のオンタイム－オフタイムの設定を個別に行えるようにして箔の両面の仕上げ粗化処理による表面粗度を一致させるようにするためである。
　次いで、平滑銅メッキ処理を、第二銅メッキ処理槽２の入口からボトム側で両面同時に直流陰極電解メッキにより二次粗化処理を施した。
　条件１、第一粗化処理層を形成する浴（銅－硫酸電解液２２）組成と処理条件は、表１に示した第１実施の形態の条件１と同じである。
　条件２、第二平滑銅メッキ層形成処理条件（銅－硫酸電解液２２）は、表２に示した第１実施の形態の条件１と同じである。
　条件３、防錆層の形成条件は、第１実施の形態における防錆層の形成条件と同じである。
　測定条件と結果および評価方法も、第１実施の形態として述べた測定条件と結果および評価方法と同様である。
　残銅の評価も第１実施の形態と同じである。
　〔実施例６〕
　基材として、穴あけ前の未処理電解銅箔の光沢面側粗度が表面粗さＲｚで２．５μｍ、かつ常温伸び率が５．２％の銅箔（古河電気工業株式会社製造の両面光沢電解銅箔）を用いて、ステップ２による二次粗化表面処理後の両面の表面粗度がＲｚで３．０μｍ以下となるように実施例５と同様の粗化および表面処理を行い、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　〔実施例７〕
　基材として、実施例５で用いた穴あけ前の未処理電解銅箔の代わりに、厚さ１８μｍで、常温伸び率が４．２％で、基材の両面の表面粗度がＲｚで０．８μｍの無酸素銅の圧延箔（古河電気工業（株）製造）を用いた。その他は実施例５と同様の穴あけ加工後に粗化および表面処理を行い、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　〔実施例８〕
　基材として、厚さ１８μｍで常温伸び率が３．５％で錫の含有率が０．１５％の銅－錫合金箔（古河電気工業（株）製造）を用い、基材の両面に以下の表４、５に示す条件１、２で粗化処理を施した。
　表３の条件１、表４の条件２に記載の硫酸第一錫を除いて、上記表１、２に示した、条件１、２と同じである。
　なお、粗化処理工程における銅－硫酸電解液２２の組成が相違する以外は実施例５と同様に、得られる処理表面の粗さＲｚで３．０μｍ以下となるように粗化処理および表面処理を行い、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　 [表４]
　条件１Ａ、第一粗化処理層を形成する浴（銅－硫酸電解液２２）組成と処理条件
　　　硫酸銅・・・・・・・・・・・・・・・・金属銅として23.5ｇ／ｌ
　　　硫酸・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・100ｇ／ｌ
　　　モリブデン酸ナトリウム・・・・・・モリブデンとして0.25ｇ／ｌ
　　　塩酸・・・・・・・・・・・・・・・塩素イオンとして0.002ｇ／ｌ
　　　硫酸第一錫・・・・・・・・・・・・・・・・スズとして2.35ｇ／ｌ
　　　硫酸第二鉄・・・・・・・・・・・・・・金属鉄として0.20ｇ／ｌ
　　　硫酸クロム・・・・・・・・・・・・三価クロムとして0.20ｇ／ｌ
　　　浴温度：25.5℃
　　　パルス陰極電解オンタイム・・・・・10ｍｓ
　　　パルス陰極電解オフタイム・・・・・60ｍｓ
　　　パルス陰極電解平均メッキ電流密度：22.5Ａ／ｄｍ2
　 [表５]
　条件２Ａ、第二平滑銅メッキ層形成処理条件、銅－硫酸電解液２２〕
　　　硫酸銅・・・・・・・・・・・・・・・・・金属銅として45ｇ／ｌ
　　　硫酸第一錫・・・・・・・・・・・・・・・・・錫として4.5ｇ／ｌ
　　　硫酸・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・110ｇ／ｌ
　　　浴温度：50.5℃
　　　直流陰極電解メッキ電流密度：18.5Ａ／ｄｍ2 
　〔比較例５〕
　基材として、実施例５に用いた穴あき銅箔の両面に、実施例５と同様の浴組成で、ただし、パルス陰極電解メッキ処理に代えて、直流陰極電解メッキ処理を施し、得られる双方の粗化面の粗さＲｚで３．０μｍ以下となる様に処理した。それ以外は実施例５と同じ処理を施し、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　〔比較例６〕
　基材として、実施例６に用いた穴あき銅箔の両面に、比較例５と同様な処理を施した以外は、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　〔比較例７〕
　基材として、実施例７に用いた穴あき圧延銅箔の両面に、比較例５と同様な処理を施した以外は、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　〔比較例８〕
　基材として、実施例８に用いた圧延合金箔の両面に、比較例５と同様な処理を施した以外は、実施例５と同様の評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
　〔比較例９〕
　基材として、電解製箔条件により柱状結晶でＩＰＣ規格に分類されるミドルプロファイル（ＭＰ）形状に製箔されマット面側の表面粗さＲｚが３．８μｍ、光沢面側の表面粗さＲｚが１．８μｍのＭＰ－１８μｍ非穴あけ銅箔に、ステップ２の処理と同様の直流電解メッキ処理により実施例５と同様の処理および評価測定を行った。
　その結果を表６に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表６から明らかなように、実施例５～８の銅箔は表面粗度が表裏とも同程度で、両面の粗化特性が遜色ないものであった。
　実施例５～８と比較して比較例５～８の銅箔は、密着強度は実施例５～８より勝るが、密着強度のバラツキと残銅の点で実施例５～８より劣り、負極集電体に積層する活物質を均一な厚みで結着する観点からすると、二次電池用集電体として採用する場合、充放電特性に問題を生じることになる。
　比較例９の汎用の電解銅箔では、未処理箔の表裏の表面粗度が大きく異なっているため、粗化処理で両面の粗化状態を近接させることができなかった。そのため、基材としての未処理銅箔の表裏の表面粗度にかなりの差がある銅箔を採用することは、粗化処理で両面の表面粗度を均一にすることが困難であり、好ましくないと判断される。
　上述したように本発明の第２実施の形態のパルス陰極電解処理により粗化された穴あき銅箔を表面処理した銅箔は、箔の両面を略同様な特性に製造することができるので、たとえば、リチウムイオン二次電池用集電体としての銅箔として好適である。
　第３実施の形態
　本発明の第３実施の形態は、たとえば、リチウムイオン二次電池の負極電極用集電体に適した圧延銅箔、圧延銅合金箔（表面処理銅箔）と、その製造方法（表面処理方法）に関する。
　本明細書において、圧延銅箔と、圧延銅合金箔とを区別して表現する必要がないときは、圧延箔または圧延銅（合金）箔と表現することがある。
　基材
　本発明の第３実施の形態としてのリチウムイオン二次電池の負極集電体用圧延銅箔（合金箔）に好適な表面処理銅箔は、基材として、表面が未処理圧延銅箔（合金箔）の表面にパルス陰極電解メッキによる粗化処理、または、直流陰極電解粗化処理で金属銅又は銅合金からなる第一粗化処理層が設けられている。
　本発明の第３実施の形態の基材の表面未処理銅箔として、タフピッチ銅（有酸素銅）、無酸素銅からなる圧延銅箔や、適宜な金属配合により鋳造圧延された銅合金箔を使用し、この基材に表面処理を施して、たとえば、二次電池の集電体に加工する。
　基材として、無酸素銅からなる圧延銅箔は、第１実施の形態の基材として述べたように、導電性や伸びの点で好ましい。インゴットに酸素や金属酸化物が含まれていないからである。
　基材として、圧延銅合金箔は、銅箔の使用条件により無酸素銅からなる圧延銅箔では達成できない性質、たとえば、伸び率や導電率の調整が必要なときに採用する。
　銅合金箔としては、硬度、伸び、耐熱性、防錆性等々の特性を勘案して銅と種々の金属との銅合金が選択できる。銅合金箔として、たとえば、加工性（伸び率）や導電率が電解銅箔に近似する性質を有し、圧延条件が有利な、銅－錫系、銅－クロム系、銅－亜鉛系、銅－鉄系、銅－ニッケル系、銅－錫－クロム系、銅－亜鉛－錫系、銅－ニッケル－錫系、銅－ニッケル－珪素系等の中から用途により選択して採用することができる。
　基材としての未処理圧延銅箔（合金箔）としては、その表裏の粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで０．８～２．５μｍの範囲にあるものを採用することが好ましく、また、ＩＰＣ－ＴＭ－６５０に規定される値で３５～４５ｋＮ／ｃｍ2の範囲（ヤング率であれば５０～６５ＭＰａ）の電気伝導性に優れる圧延銅箔（合金箔）が好ましい。
　圧延銅箔（合金箔）の機械的特性は、常温での伸びが３．５％以上であるものを採用することが好ましい。その理由は、充放電時のケイ素系活物質の膨張収縮に対して密着性を維持し、かつ伸び縮みに追随する必要が求められるからである。
　粗化処理
　本発明の第３実施の形態において、基材としての未処理圧延銅箔（合金箔）の表面を、第１粗化処理として、パルス陰極電解メッキ処理による粗化処理、または、直流陰極電解メッキによる粗化処理を行い、未処理圧延銅（合金）箔表面に極めて低粗化に、かつ均一に、銅（合金）粒子を形成する。
　さらに、第２粗化処理として、平滑メッキ処理により粗面化する。
　基材としての未処理圧延銅箔（合金箔）の表裏を上記粗面化するのは銅箔（集電体）の表面に対するケイ素系活物質の密着性を改善することと、より多くの活物質を脱落させることなく均一に塗工するためである。
　本発明の第３実施の形態の銅箔（集電体）の表面には、結着剤を混合したケイ素系活物質との密着性を向上させ、かつより多くの活物質を脱落させることなく均一に塗工できる粗化（凹凸）が施されている。
　平滑メッキ処理により一次粗化処理で付着したコブ状の微細粒子は健全な形状を維持すると共に粒子の均一性を保つ。該第二メッキ層の粗面はＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで３．０μｍ以下、好ましくは２．５～３．０μｍの範囲とする。
　防錆層の形成処理
　次いで、好ましくは、第１実施の形態において述べたと同様、第二メッキ層の表面に防錆層（第三防錆層）を設ける。
　保護層の形成処理
　防錆層の表面に、第１実施の形態において述べたと同様、シランカップリング剤の単分子層からなる保護層（第四保護層）を設けることが望ましい。
　図５、図６を参照して、本発明の第３実施の形態としての負極集電体用として好適な未処理圧延銅箔（合金箔）の表面処理方法について述べる。
　１次粗化処理（ステップ１）
　図５においてリール６Ａに巻き取られた未処理圧延銅箔（合金箔）（圧延後電解脱脂処理した圧延箔）Ａ２をパルス陰極電解処理または直流陰極電解粗化処理により粗化粒子を付着するための第一粗化処理槽１Ａに導く。
　第一粗化処理槽１Ａで、圧延銅（合金）箔Ａ２の両面に、同一箇所で同時に、パルス陰極電解処理または直流陰極電解粗化処理で、微細粗化銅（合金）粒子コブ状の微細粗化銅粒子からなる第一粗化処理層を形成する。
　なお、図６に示すように第一粗化処理槽１Ｂの入口からボトム側の粗化処理で未処理銅（合金）箔の一方の面を粗化処理し、第一粗化処理槽１Ｂのボトム側から出口側で他方の面に粗化処理を施すようにしても良い。
　すなわち、第一粗化処理槽１Ａの入口からボトム側に未処理銅（合金）箔Ａ２の一方の面を粗化するための第１電極１１Ａを配置して銅箔Ａ２の一方の面にパルス陰極電解処理または直流陰極電解粗化処理を行い、一方の面に第２電極１１Ｂで粗化処理を施す。
　一方の面に粗化処理を施された銅箔は、第一粗化処理槽１Ａのボトム側から出口側に送られ、その途中に配置された電極１１Ｂで未処理銅（合金）箔の他方の面にパルス陰極電解処理または直流陰極電解粗化処理を施し、銅箔Ａ２の他方の面に粗化処理を施す。
　このように圧延箔Ａ２の両面に一度に粗化処理するのではなく、片方の面のみに別々に粗化処理する利点については後述する。
　両面に粗化処理を施された圧延銅（合金）箔Ｂ２は水洗槽１５で洗浄された後（ステップ２）、第二メッキ処理槽２へ導かれる。
　２次粗化処理（ステップ３）
　第二メッキ処理槽２には酸化イリジウム電極２１が配置され、第一粗化処理槽１Ａ、１Ｂにおける銅－硫酸電解液１２と同様の組成の電解液２２が充填されており、平滑メッキ処理（第二メッキ層）が施される。
　平滑メッキ処理が施された銅（合金）箔Ｃ２は水洗槽２５で洗浄された後（ステップ４）、第三表面処理槽３へ導かれる。
　防錆層の形成（ステップ５）
　図５に図解した第三表面処理槽３にはＳＵＳアノード３１が配置され、クロメート電解液３２が充填されており、クロメート防錆層が設けられる。
　第三表面処理槽３においてクロメート防錆層（第三防錆層）が設けられた銅（合金）箔Ｄ２は水洗槽３５で洗浄された後（ステップ６）、第四表面処理槽４へ導かれる。
　保護層の形成（ステップ７）
　第四表面処理槽４にはシランカップリング液４２が充填されており、銅（合金）箔Ｄの表面にシランカップリング剤を塗布する。
　防錆層は有機防錆剤で形成することも可能である。
　図５は防錆層を有機防錆剤で形成する工程を示しており、第三表面処理槽３ＡにはＢＴＡ溶液３７が充填され、銅箔Ｃ２の表面にＢＴＡ膜を塗布し、乾燥装置３４で乾燥させてＢＴＡからなる防錆槽を形成する。
　第四保護層が設けられた銅（合金）箔Ｅ２は乾燥装置５を経て巻取りロール６に巻き取られる。
　未処理銅（合金）箔Ａ２の表面をリチウムイオン二次電池の負極集電体用に粗化する方法としては、ケイ素系活物質との密着性を高め、結着剤（バインダー）との結着特性の向上を図るために、粗化処理面が低粗化で均一性に優れ、かつ粗化銅粒子の表層を平滑とすることが重要である。
　このためには、圧延銅箔の両面共に形状粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで０．８～２．５μｍ、かつ常温伸びが３．５％以上ある銅箔を用いることが好ましい。
　本発明の第３実施の形態の表面処理銅（合金）箔は、特に活物質の塗工積層の乾燥工程時と二次電池に組み込まれた後の充放電時の耐熱性と塑性追随性を重視することから、機械的特性、たとえば、ビッカース硬度Ｈｖ値で８０～１８０の範囲が好ましく、銅（合金）箔の伸び（常温での伸び物性率、以下同様）は３．５％以上であれば十分である。このような銅（合金）箔であれば熱履歴による著しい塑性変形から生じる活物質の剥離や集電体として破断は起きない。
　パルス陰極電解処理
　未処理圧延銅（合金）箔Ａ２に設ける第一粗化処理層は第一粗化処理槽１Ａにおいてパルス陰極電解メッキ法により施す。すなわち、第一粗化処理は未処理銅（合金）箔表面に銅または銅合金のコブ状の粗化粒子を形成させる。
　銅粗化粒子層を形成する具体例として、第１実施の形態として述べた、銅－硫酸電解液１２の組成、および、パルス陰極電解処理のための電流印加条件を適用し、適宜な流速と極間距離とで、健全な銅コブ粗化粒子の層を銅箔表面に形成する。
　次いで第一粗化処理された銅箔Ｂを第二銅メッキ処理槽２へ移動させる。
　図６に示すように、パルス陰極電解メッキを圧延銅（合金）箔Ａ２の表裏に別々に施すには、第一粗化処理槽１Ａの入口からボトム側間で片側一方の表面を前記した処理条件で粗化処理をし、次いでボトム側から第一粗化処理槽１Ａの出口にかけてもう一方の表面を粗化する方法が、粗化形状の均一安定性の面からも好ましく、パルス陰極電解メッキ方法としては好ましい手法である。
　圧延銅（合金）箔Ａ２の両面を同時に粗化処理する方法と比較して、瞬時のピーク電流密度の合算による箔の発熱から波及する「ダレ延び」や、「ヤケ処理異常」等々の不具合を抑制する等の効果がある。またパルス陰極電解メッキ法を用いる場合には、ピーク電流密度に叶った流速を選択する事が必要である。
　直流陰極電解粗化処理
　未処理圧延銅（合金）箔Ａに設ける第一粗化処理層は、第一粗化処理槽１Ａにおいて、直流陰極電解粗化処理により施すことも有効である。
　この銅粗化粒子層を形成する具体例として、基本的にはパルス陰極電解メッキ法で用いたメッキ浴組成と浴温度条件を用いることが出来るが、陰極電解メッキ電流密度を２８～３８．５Ａ／ｄｍ2に設定し、連続的に電流を印加し、第一粗化処理槽１Ａにおいて、適宜な流速と極間距離とで、健全な銅コブ粗化粒子の層を銅箔表面に形成する。
　この場合、低流速を選択する場合には、給電コンタクトロール７と酸化イリジウムアノード１１に印加電流として低電流密度条件で行い、高流速の場合には高電流密度の設定選択が好ましい。
　第二銅メッキ処理槽２では、第一粗化処理で付着した微細粗化粒子を銅（合金）箔の面上より脱落させないようにすることと、個々の微細粗化粒子の表面形状を整え、表面積を小さく均一に整えることを目的として平滑メッキ処理を施す。この第二粗化処理で銅（合金）粒子離脱による充放電への不具合やセパレータへの不用意な付着、正極に用いられるリチウム化合物との異常電析を回避することができる。
　銅－硫酸電解液２２
　第二銅メッキ処理槽２における銅－硫酸電解液２２は、具体的には、硫酸銅を銅として３５～５５ｇ／Ｌ、硫酸濃度（Ｈ2ＳＯ4
）を９０～１１０ｇ／Ｌとし、浴温度３５～５５℃に設定する。
　メッキ条件
　陰極電解メッキ電流密度を１５～２０Ａ／ｄｍ2に設定し、適宜な流速と極間距離とで、平滑な銅メッキを第一粗化処理層（微細銅粗化粒子）の表面に形成する。
　この場合の平滑メッキ後の最終的な粗化形状の粗度ＲｚはＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで両面共に３．０μｍ以下とすることが好ましい。
　防錆処理
　次いで、好ましくは、クロメート防錆剤を浸漬処理或いは必要に応じて陰極電解処理（図１の第三表面処理槽３）して第三防錆層を設け、防錆力を高める。
　保護層形成
　更に、好ましくは、シランカップリング剤を適宜コーティング（第四保護層）する。
　実施例および比較例
　本発明の第３実施の形態の実施例を述べる。
　［実施例９］
　基材として無酸素銅からなり、厚み０．０１８ｍｍの未処理圧延銅箔で、基材の表裏両面の表面粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定の表面粗さＲｚで０．８μｍで、常温伸びが６．２％の圧延銅箔を用いて、この箔の両面に以下の条件で粗化処理を施した。
　この粗化処理では図５に示す工程に従い、第一粗化処理槽の入口からボトム側で表面に、ボトムから槽出口側で裏面に粗化処理を分けてオンタイムは１０ｍｓ、オフタイムは６０ｍｓに設定してパルス陰極電解粗化処理を行い両面に第一粗化処理層を設けた。
　パルス処理を二回に分けた理由は、オンタイム－オフタイムの設定効果を確実にするためであり、限られた第一粗化処理槽１Ａの槽内流速での両面処理は、ピーク電流に達した場合に銅イオンの供給が両面共に不十分となり粗化処理ムラ不具合を起こすのを回避するためである。
　次いで第一粗化処理層面に平滑メッキ処理を第二銅メッキ処理槽２の入口からボトム側で表裏両面同時に直流電解カプセルメッキで施し、第二メッキ層を設けた。
　条件１、第一粗化処理層を形成する浴（銅－硫酸電解液２２）組成と処理条件は、第１実施の形態の条件１と同じである。
　条件２、第二平滑銅メッキ層形成処理条件、銅－硫酸電解液２２は、第１実施の形態の条件２と同じである。
　条件３、防錆層の形成条件は第１実施の形態の条件３と同じである。
　条件４、保護層の形成条件は第１実施の形態の条件３と同じである。
　得られた両面粗化処理銅箔の表面粗度をＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで測定した
　その結果を表８に示す。
　測定条件と結果および評価方法も第１実施の形態において述べた方法と同様である。
　［実施例１０］
　基材として、タフピッチ銅の圧延箔（古河電気工業（株）製造）からなり、厚み０．０１８ｍｍの未処理圧延銅箔で、両面の表面粗度がＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定の表面粗さＲｚで２．５μｍ、常温伸びが６．２％の圧延銅箔を用いた。その他は実施例９で施したと同様な条件で粗化処理を施し、第二メッキ層の表面粗さＲｚが３．０μｍ以下となるように粗化および表面処理を行い、実施例９と同様の評価測定を行った。
　その結果を表８に示す。
　［実施例１１］
　実施例８で用いた未処理の圧延銅箔の代わりに、基材として、厚さ０．０１８ｍｍで、常温伸びが３．６％で、表面粗さＲｚが１．１μｍのＥＦＴＥＣ－3銅－錫合金圧延箔（古河電気工業（株）製造）を用いた。その他は、実施例８と同様の粗化および表面処理を行い、実施例８と同様の評価測定を行った。
　その結果を表８に示す。
　［実施例１２］
　基材として実施例８で用いた未処理圧延銅箔を用い、一次粗化処理条件のパルス陰極電解時のオフタイムを４０ｍｓとした。その他は実施例８と同様の粗化および表面処理を行い、得られる表面処理側の表面粗さＲｚが３．０μｍ以下となるように実施例８と同様の粗化処理および表面処理を行い、実施例８と同様の評価測定を行った。
　その結果を表８に示す。
　［実施例１３］
　基材として実施例８に用いた無酸素銅からなる未処理圧延銅箔に、得られる表裏粗化面の表面粗さＲｚが３．０μｍ以下となるように、表７に示した以下の条件で直流陰極電解処理（電流密度値は２８．５Ａ／ｄｍ2）を施した。
　表７には、表１に対して、硫酸第二鉄の条件が付加されている。
　第二メッキ層形成工程以降は実施例８と同じ処理を施し、実施例８と同様の評価測定を行った。
　その結果を表８に示す。
　 [表７]
　　　　　　　　〔条件３Ａ、第一粗化処理層形成浴組成と処理条件〕
　　　硫酸銅・・・・・・・・・・・・・・・・金属銅として23.5ｇ／Ｌ
　　　硫酸・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・100ｇ／Ｌ
　　　モリブデン酸ナトリウム・・・・・・モリブデンとして0.25ｇ／Ｌ
　　　塩酸・・・・・・・・・・・・・・・塩素イオンとして0.002ｇ／Ｌ
　　　硫酸第二鉄・・・・・・・・・・・・・・金属鉄として0.20ｇ／Ｌ
　　　硫酸クロム・・・・・・・・・・・・三価クロムとして0.20ｇ／Ｌ
　　　浴温度：25.5℃
　　　直流陰極電解メッキ電流密度：・・・・・28.5Ａ／ｄｍ2
　［比較例１０］
　基材として、電解製箔条件により柱状結晶でＩＰＣ規格に分類されるミドルプロファイル（ＭＰ）形状に製箔された未処理のＭＰ－１８μｍの銅箔（電着液面側のＲｚは３．８μｍ、ドラム面側のＲｚは２．２μｍ）に、実施例８と同様の処理および評価測定を行った。
　その結果を表８に示す。
　［比較例１１］
　基材として、比較例１０と同じ銅箔に、実施例１１と同様の処理および評価測定を行った。その結果を表８に示す。
　［比較例１２］
　基材として、比較例１０と同じ銅箔に、実施例１２と同様の処理および評価測定を行った。その結果を表８に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表８から明らかなように、実施例８～１２の表面処理銅箔は、粗化形状のバラツキが無く、両面の粗化特性が遜色ないものであった。
　かかる銅（合金）箔を集電体とし、その表面にケイ素系活物質を塗工加圧乾燥し、負極電極を形成したところ、ケイ素系活物質を均一な厚みに積層できた。該負極電極を組み込んだリチウムイオン二次電池は充放電特性に優れ、長期の寿命を有するものであった。特に実施例８、９は評価結果が実施例１１に比べ良好であり、第一粗化処理のパルス電解のオン／オフタイムを１０ｍｓ／６０ｍｓにするのが好ましいことが分かる。
　実施例５～１２と比較して比較例１０～１２の電解銅箔は、光沢面側の粗度は同程度で、かつ密着強度は実施例より高いものの、表裏双方の粗度が大きく異なっているために、両面の粗化状態を同様にすることができず、密着強度が表裏で大きく異なってしまった。また、特に、電着液面側の残銅の点でも満足が得られなかった。この銅箔を集電体として表面上にケイ素系活物質を塗工加圧乾燥したが、負極集電体としての厚み均一性の観点から満足できなかった。このため該積層体を負極電極としたリチウムイオン二次電池は負極電極の表裏両面で電位に差が生じ、このように電位に差が生ずると、複数本を直列または並列に組んで回路を構成すると充放電効率に不具合を誘発し、集電体としての特性を満足することができなかった。
　上述したように本発明の第３実施の形態のパルス陰極電解粗化処理または直流陰極電解粗化処理により粗化された圧延銅（合金）箔は、両面を略同様な特性に製造することができるので、たとえば、リチウムイオン二次電池用の集電体として好適であり、この圧延銅（合金）箔を用いた負極電極はリチウムイオン二次電池の電位不具合を回避し、充放電寿命の長寿をもたらす、優れた効果を有するものである。
　本発明の第１～第３実施の形態について述べたが、本発明の表面処理銅箔は、第１～第３実施の形態として例示したリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔への適用が限定されるものではなく、リチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔と同様の要望を示す他の用途に適用できる。
　１…第一粗化処理槽、２…第二銅メッキ処理槽、３…第三表面処理槽、４…第四表面処理槽、７…給電コンタクトロール、１１…酸化イリジウムアノード、１２…銅－硫酸電解液、２２…銅－硫酸電解液、１００…パンチング機

Claims (23)

  1. 　基材として表面未処理の銅箔に、パルス陰極電解メッキ処理により活性物質との密着性を高めるため金属銅からなる第一粗化処理層が設けられ、
    　該第一粗化処理層の表面に、付着した銅粒子を保つため、平滑銅メッキ処理による第二銅メッキ層が設けられている、
    　表面処理銅箔。
  2. 　前記活性物質はケイ素系活性物質であり、
    　当該表面処理銅箔はリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔として使用される、
    　請求項１に記載の表面処理銅箔。
  3. 　前記二次銅メッキ層の表面粗度が、ＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで３．０μｍ以下である、
      請求項２に記載の表面処理銅箔。
  4. 　前記基材としての未処理圧延銅箔の常温状態での伸び率が３．５％以上であり、
    　前記基材としての未処理圧延銅箔のビッカース硬度が８０～１１０の範囲にある、
    　請求項２に記載の表面処理銅箔。
  5. 　前記基材としての未処理圧延銅箔の少なくとも粗化処理される表面の素地が、ＪＩＳ－Ｂ－０６０１に規定される表面粗さＲｚで０．８～２．５μｍの範囲にある、
    　請求項２に記載の表面処理銅箔。
  6. 　前記基材の厚さは、０．００１８ｍｍである、
    　請求項２に記載の表面処理銅箔。
  7. 　前記基材としての表面未処理の銅箔が、無酸素銅からなる圧延銅箔または圧延銅合金箔である、
    　請求項１～６のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  8. 　前記基材としての表面未処理の銅箔が、圧延銅箔または圧延銅合金箔である、
    　請求項１～６のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  9. 　前記基材としての表面未処理の銅箔が、イオンが貫通可能な微小な貫通孔が複数穿設された圧延銅箔または圧延銅合金箔である、
    　請求項１～６いずれか記載の表面処理銅箔。
  10. 　前記貫通孔の１つの孔の開口部分の面積が０．０１ｍｍ2以下である、
      請求項９に記載の表面処理銅箔。
  11. 　前記貫通孔の開口部分の合計面積が、前記貫通孔を穿設する前の未処理箔の面積に対して５５％以下である、
      請求項１０または１１に記載の表面処理銅箔。
  12. 　前記貫通孔が穿設された未処理圧延銅箔又は未処理銅圧延合金箔の厚みが、８～３５μｍであり、
    　導電率が８５％ＩＡＣＳ以上である、
    　請求項９～１１のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  13. 　前記基材としての圧延銅合金箔が、銅と錫の合金からなる箔である、
      請求項９に記載の表面処理銅箔。
  14. 　前記第二銅メッキ層の上に、防錆剤による第三防錆層が設けられ、
    　該第三防錆層の上に、カップリング剤による第四保護層が設けられている、
    　請求項１～１３のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  15. 　前記第三防錆層がクロム層からなり、該クロム層のクロム付着量が、金属クロムとして０．００５～０．０２５ｍｇ／ｄｍ2であり、
    　前記第四保護層がシランカップリング剤からなり、該シランカップリング剤の付着量が、ケイ素として０．００１～０．０１５ｍｇ／ｄｍ2である、
    　請求項１４に記載の表面処理銅箔。
  16. 　基材として表面未処理の銅箔に、パルス陰極電解メッキ処理で金属銅からなる活性物質を付着可能な第一粗化処理層を形成する工程と、
    　該第一粗化処理層の表面に平滑銅メッキ処理により第二銅メッキ層を形成する、
    　銅箔の表面処理方法。
  17. 　前記パルス陰極電解メッキ処理は、
    　第一粗化処理槽に銅－硫酸電解液を所定の流速で流動させた状態で、
    　前記第一粗化処理槽内に配設された第１電極と前記基材が前記第一粗化処理槽の外部において接する第２電極との間に、所定のオンタイムで所定の電流密度で電流を印加し、所定のオフタイムで電流の印加を停止する処理を反復する、
    　請求項１６に記載の表面処理方法。
  18. 　前記パルス陰極電解粗化処理は、
    　第一粗化処理槽内に銅－硫酸電解液を所定の流速で流動させた状態で、
    　前記第一粗化処理槽の入口からボトム側で前記未処理圧延銅箔の一方の表面に、ボトムから前記第一粗化処理槽１の出口側でもう一方の表面にそれぞれ粗化処理を行い、
    　前記基材の表裏別々に前記第一粗化処理層を形成する、
      請求項１６に記載の銅箔の表面処理方法。
  19. 　前記第一粗化処理槽に充填された前記銅－硫酸電解液は、硫酸銅を銅として２０～３０ｇ／Ｌ、硫酸濃度をＨ2ＳＯ4
    として９０～１１０ｇ／Ｌ、モリブデン酸ナトリウムをＭ
    ｏとして０．１５～０．３５ｇ／Ｌ、塩素を塩素イオン換算で０．００５～０．０１０ｇ／Ｌ混入した電解液で、浴温度１８．５～２８．５℃に設定されており、
    　ピーク電流密度が１５７．５Ａ／ｄｍ2 以下で、前記オンタイムは１０ｍｓであり、前記オフタイムは６０ｍｓであり、前記オンタイムと前記オフタイムとを反復して前記パルス陰極電解処理を行う、
    　請求項１７または１８に記載の表面処理方法。
  20. 　前記平滑銅メッキ処理は、
    　第二銅メッキ処理槽内に銅－硫酸電解液を所定の流速で流動させた状態で、
    　前記第二銅メッキ処理槽内に配設された第１電極と前記基材が前記第二銅メッキ処理槽の外部において接する第２電極との間に、所定の電流密度で電流を連続して印加して行う、
    　請求項１６に記載の表面処理方法。
  21. 　前記第二銅メッキ処理槽に充填された前記銅－硫酸電解液は、硫酸銅を銅として３５～５５ｇ／Ｌ、硫酸濃度をＨ2ＳＯ4
    として９０～１１０ｇ／Ｌとし、浴温度３５～５５℃
    に設定されている、
    　請求項２０に記載の表面処理方法。
  22. 　前記第二銅メッキ層表面に防錆剤による第三防錆層を形成する工程、および、
    　該第三防錆層表面にカップリング剤による第四保護層を形成する工程と
    　をさらに有する、
    　請求項１６～２１のいずれかに記載の表面処理方法。
  23. 　基材として表面未処理の銅箔に、パルス陰極電解メッキ処理によりケイ素系活性物質との密着性を高めるため金属銅からなる第一粗化処理層が設けられ、
    　該第一粗化処理層の表面に、付着した銅粒子を保つため、平滑銅メッキ処理による第二銅メッキ層が設けられ、
    　前記第二銅メッキ層表面に防錆剤による第三防錆層が設けられ、
    　該第三防錆層表面にカップリング剤による第四保護層が設けられている、
    　リチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔。
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KR1020127025886A KR20130027484A (ko) 2010-03-01 2011-02-25 동박의 표면처리방법, 표면처리된 동박, 및 리튬 이온 2차 전지의 음극 컬렉터용 동박
CN2011800220398A CN102884660A (zh) 2010-03-01 2011-02-25 铜箔的表面处理方法、表面处理铜箔及锂离子充电电池的负极集电体用铜箔
EP11750577A EP2544282A1 (en) 2010-03-01 2011-02-25 Surface treatment method for copper foil, surface treated copper foil and copper foil for negative electrode collector of lithium ion secondary battery

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016158775A1 (ja) * 2015-03-31 2016-10-06 三井金属鉱業株式会社 粗化処理銅箔、キャリア付銅箔、銅張積層板及びプリント配線板

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5301993B2 (ja) 2005-08-12 2013-09-25 モジュメタル エルエルシー 組成変調複合材料及びその形成方法
TWI438915B (zh) * 2008-02-21 2014-05-21 Sanyo Electric Co 太陽能電池模組
EP3009532A1 (en) 2009-06-08 2016-04-20 Modumetal, Inc. Electrodeposited nanolaminate coatings and claddings for corrosion protection
JP5128695B2 (ja) * 2010-06-28 2013-01-23 古河電気工業株式会社 電解銅箔、リチウムイオン二次電池用電解銅箔、該電解銅箔を用いたリチウムイオン二次電池用電極、該電極を使用したリチウムイオン二次電池
JP5306418B2 (ja) * 2010-07-09 2013-10-02 日新製鋼株式会社 銅被覆鋼箔、負極用電極及び電池
WO2016044720A1 (en) 2014-09-18 2016-03-24 Modumetal, Inc. A method and apparatus for continuously applying nanolaminate metal coatings
EA032264B1 (ru) 2013-03-15 2019-05-31 Модьюметл, Инк. Способ нанесения покрытия на изделие, изделие, полученное вышеуказанным способом, и труба
BR112015022020A8 (pt) 2013-03-15 2019-12-10 Modumetal Inc objeto ou revestimento e seu processo de fabricação
CA2905575C (en) 2013-03-15 2022-07-12 Modumetal, Inc. A method and apparatus for continuously applying nanolaminate metal coatings
US10472727B2 (en) 2013-03-15 2019-11-12 Modumetal, Inc. Method and apparatus for continuously applying nanolaminate metal coatings
WO2014145771A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Modumetal, Inc. Electrodeposited compositions and nanolaminated alloys for articles prepared by additive manufacturing processes
KR101535853B1 (ko) * 2013-10-31 2015-07-13 한국생산기술연구원 마이크로 하드닝을 이용한 고강도 동박의 제조방법 및 이에 의해 제조된 고강도 동박
CN103789806B (zh) * 2013-12-12 2016-08-17 深圳首创新能源股份有限公司 电镀槽
CN104099652A (zh) * 2014-07-09 2014-10-15 山东金宝电子股份有限公司 一种电子铜箔的表面处理粗化工艺
EA201790644A1 (ru) 2014-09-18 2017-08-31 Модьюметал, Инк. Способы изготовления изделий электроосаждением и процессами послойного синтеза
CN107109663B (zh) * 2014-12-05 2020-03-10 纳美仕有限公司 高频信号传输电路形成用表面处理铜箔、覆铜层压板及印刷线路板
CN104577039B (zh) * 2014-12-13 2016-11-16 山东精工电子科技有限公司 钛酸锂负极集流体的制备方法
US9397343B1 (en) * 2015-10-15 2016-07-19 Chang Chun Petrochemical Co., Ltd. Copper foil exhibiting anti-swelling properties
US10243244B2 (en) 2015-11-04 2019-03-26 Johnson Controls Technology Company Systems and methods for bonding metal parts to the polymer packaging of a battery module
KR102029139B1 (ko) * 2015-11-09 2019-10-07 케이씨에프테크놀로지스 주식회사 전해동박, 그것을 포함하는 전극, 그것을 포함하는 이차전지, 및 그것의 제조방법
JP6182584B2 (ja) * 2015-12-09 2017-08-16 古河電気工業株式会社 プリント配線板用表面処理銅箔、プリント配線板用銅張積層板及びプリント配線板
US9707738B1 (en) 2016-01-14 2017-07-18 Chang Chun Petrochemical Co., Ltd. Copper foil and methods of use
CN107346831A (zh) * 2016-05-04 2017-11-14 上海奇谋能源技术开发有限公司 一种提高锂离子电池使用寿命的方法
CN105810949A (zh) * 2016-05-25 2016-07-27 江苏深苏电子科技有限公司 一种高比表面积集流体的制备方法
CN109952391B (zh) 2016-09-08 2022-11-01 莫杜美拓有限公司 在工件上提供层压涂层的方法，及由其制备的制品
EP3512987A1 (en) 2016-09-14 2019-07-24 Modumetal, Inc. System for reliable, high throughput, complex electric field generation, and method for producing coatings therefrom
KR20180040754A (ko) * 2016-10-12 2018-04-23 케이씨에프테크놀로지스 주식회사 핸들링이 용이한 전해동박, 그것을 포함하는 전극, 그것을 포함하는 이차전지, 및 그것의 제조방법
CN110114210B (zh) 2016-11-02 2022-03-04 莫杜美拓有限公司 拓扑优化的高界面填充结构
CN108400338B (zh) * 2017-02-03 2021-11-30 Ｊｘ金属株式会社 表面处理铜箔以及使用其的集电体、电极及电池
JP7193915B2 (ja) * 2017-02-03 2022-12-21 Ｊｘ金属株式会社 表面処理銅箔並びにこれを用いた集電体、電極及び電池
KR102646185B1 (ko) * 2017-02-27 2024-03-08 에스케이넥실리스 주식회사 우수한 접착력을 갖는 동박, 그것을 포함하는 전극, 그것을 포함하는 이차전지, 및 그것의 제조방법
CA3057836A1 (en) 2017-03-24 2018-09-27 Modumetal, Inc. Lift plungers with electrodeposited coatings, and systems and methods for producing the same
US11286575B2 (en) 2017-04-21 2022-03-29 Modumetal, Inc. Tubular articles with electrodeposited coatings, and systems and methods for producing the same
KR101992840B1 (ko) * 2017-06-20 2019-06-27 케이씨에프테크놀로지스 주식회사 울음과 찢김이 최소화된 동박, 그것을 포함하는 전극, 그것을 포함하는 이차전지, 및 그것의 제조 방법
CN108122691B (zh) * 2017-12-25 2020-06-19 赣州市中金高能电池材料股份有限公司 锂离子电容器集流体箔材及其制造方法
US10337115B1 (en) * 2018-01-05 2019-07-02 Chang Chun Petrochemical Co., Ltd. Surface treated copper foil for high speed printed circuit board products including the copper foil and methods of making
CN111771015B (zh) * 2018-02-23 2022-03-29 古河电气工业株式会社 电解铜箔以及使用该电解铜箔的锂离子二次电池用负极、锂离子二次电池、覆铜层叠板和印刷布线板
EP3784823A1 (en) 2018-04-27 2021-03-03 Modumetal, Inc. Apparatuses, systems, and methods for producing a plurality of articles with nanolaminated coatings using rotation
CN109065833B (zh) * 2018-06-28 2021-04-02 合肥国轩高科动力能源有限公司 一种锂电池硅碳复合负极片的多孔集流体表面处理方法
KR102684656B1 (ko) 2018-09-27 2024-07-15 주식회사 엘지에너지솔루션 양면 균일 전해 동박의 제조방법
JP7320862B2 (ja) * 2018-11-09 2023-08-04 深▲せん▼市元子科技有限公司 膜及び製造プロセス
US20220275530A1 (en) * 2019-08-05 2022-09-01 Sms Group Gmbh Method and system for electrolytically coating a steel strip by means of pulse technology
TWI705160B (zh) * 2019-12-09 2020-09-21 長春石油化學股份有限公司 電解銅箔、包含其的電極和覆銅積層板
CN113130334B (zh) * 2019-12-31 2024-06-18 盛合晶微半导体(江阴)有限公司 提高底部金属与焊垫辨识度的方法
US20210381115A1 (en) * 2020-06-05 2021-12-09 Uchicago Argonne, Llc Production of lithium via electrodeposition
KR20220077630A (ko) 2020-12-02 2022-06-09 주식회사 엘지에너지솔루션 동박 제조방법 및 동박 제조장치
KR20220077626A (ko) 2020-12-02 2022-06-09 주식회사 엘지에너지솔루션 동박 제조방법 및 동박 제조장치
CN112921371A (zh) * 2021-01-21 2021-06-08 江苏铭丰电子材料科技有限公司 高频覆铜板用rtf铜箔的表面粗化固化处理方法
CN114744146B (zh) * 2021-03-29 2024-09-10 宁德新能源科技有限公司 电化学装置和电子装置
EP4359588A1 (en) * 2021-06-25 2024-05-01 MacDermid Enthone Inc. Complex waveform for electrolytic plating
EP4166696A4 (en) * 2021-09-03 2023-08-09 Contemporary Amperex Technology Co., Limited METAL FOIL AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF, AND CURRENT COLLECTOR, ELECTRODE, BATTERY AND ELECTRICAL DEVICE
KR102413279B1 (ko) * 2021-11-11 2022-06-27 (주)미디어테크 리튬메탈 배터리 음극재용 리튬박 합지장치
LU502546B1 (en) * 2022-07-21 2024-01-22 Circuit Foil Luxembourg Copper foil, secondary battery comprising the same and production method thereof
CN118391879B (zh) * 2024-06-27 2024-09-13 江苏三层科技有限公司 一种复合铜箔的烘干装置

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6317597A (ja) * 1986-07-10 1988-01-25 古河サーキットフォイル株式会社 印刷回路用銅箔及びその製造方法
JPH10112326A (ja) 1996-10-04 1998-04-28 Furukawa Battery Co Ltd:The アルカリ二次電池用電極
JPH10168596A (ja) 1996-12-10 1998-06-23 Fukuda Metal Foil & Powder Co Ltd 銅箔の表面処理方法
JPH1186869A (ja) 1997-09-01 1999-03-30 Nippon Foil Mfg Co Ltd 二次電池に用いる孔開き集電体
JP2000294250A (ja) 1999-04-08 2000-10-20 Hitachi Cable Ltd Ｌｉイオン電池の負極集電体用銅材およびＬｉイオン電池
JP2002266041A (ja) * 2001-03-07 2002-09-18 Kobe Steel Ltd 圧延銅合金箔及びその製造方法
JP2003086186A (ja) * 2001-09-07 2003-03-20 Sony Corp 電 池
JP2004171904A (ja) * 2002-11-20 2004-06-17 Sanyo Electric Co Ltd リチウム二次電池用電極の製造方法
JP2005048277A (ja) * 2003-07-15 2005-02-24 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd キャリア箔付電解銅箔及びそのキャリア箔付電解銅箔の製造方法
JP2005197205A (ja) * 2003-12-12 2005-07-21 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 非水電解液二次電池用負極集電体
JP2007087789A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Hitachi Cable Ltd リチウムイオン二次電池用負極及びその製造方法
JP2008059765A (ja) * 2006-08-29 2008-03-13 Hitachi Maxell Ltd 非水系二次電池
JP2008127618A (ja) 2006-11-20 2008-06-05 Furukawa Circuit Foil Kk 交流給電による銅箔の表面処理方法
JP2009205888A (ja) * 2008-02-27 2009-09-10 Nippon Mining & Metals Co Ltd リチウム二次電池用負極及びその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW511408B (en) * 2000-09-18 2002-11-21 Nippon Denkai Kk Method of producing copper foil for fine wiring
CN100399604C (zh) * 2005-10-09 2008-07-02 北京中科天华科技发展有限公司 锂离子电池集流体铜箔的表面处理方法
CN100567572C (zh) * 2006-11-28 2009-12-09 山东金宝电子股份有限公司 电解铜箔的灰色表面处理工艺
KR101148610B1 (ko) * 2006-12-27 2012-05-21 파나소닉 주식회사 전지, 전극 및 이들에 이용하는 집전체

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6317597A (ja) * 1986-07-10 1988-01-25 古河サーキットフォイル株式会社 印刷回路用銅箔及びその製造方法
JPH10112326A (ja) 1996-10-04 1998-04-28 Furukawa Battery Co Ltd:The アルカリ二次電池用電極
JPH10168596A (ja) 1996-12-10 1998-06-23 Fukuda Metal Foil & Powder Co Ltd 銅箔の表面処理方法
JPH1186869A (ja) 1997-09-01 1999-03-30 Nippon Foil Mfg Co Ltd 二次電池に用いる孔開き集電体
JP2000294250A (ja) 1999-04-08 2000-10-20 Hitachi Cable Ltd Ｌｉイオン電池の負極集電体用銅材およびＬｉイオン電池
JP2002266041A (ja) * 2001-03-07 2002-09-18 Kobe Steel Ltd 圧延銅合金箔及びその製造方法
JP2003086186A (ja) * 2001-09-07 2003-03-20 Sony Corp 電 池
JP2004171904A (ja) * 2002-11-20 2004-06-17 Sanyo Electric Co Ltd リチウム二次電池用電極の製造方法
JP2005048277A (ja) * 2003-07-15 2005-02-24 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd キャリア箔付電解銅箔及びそのキャリア箔付電解銅箔の製造方法
JP2005197205A (ja) * 2003-12-12 2005-07-21 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 非水電解液二次電池用負極集電体
JP2007087789A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Hitachi Cable Ltd リチウムイオン二次電池用負極及びその製造方法
JP2008059765A (ja) * 2006-08-29 2008-03-13 Hitachi Maxell Ltd 非水系二次電池
JP2008127618A (ja) 2006-11-20 2008-06-05 Furukawa Circuit Foil Kk 交流給電による銅箔の表面処理方法
JP2009205888A (ja) * 2008-02-27 2009-09-10 Nippon Mining & Metals Co Ltd リチウム二次電池用負極及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016158775A1 (ja) * 2015-03-31 2016-10-06 三井金属鉱業株式会社 粗化処理銅箔、キャリア付銅箔、銅張積層板及びプリント配線板

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Publication number Publication date
CN102884660A (zh) 2013-01-16
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