WO2011104790A1 - 移載装置及びワーク載置装置 - Google Patents

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WO2011104790A1
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work
workpiece
guide members
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中西秀明
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村田機械株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a transfer device for transferring a work and a work placement device used together with the transfer device.
  • Patent Document 1 discloses a transfer device (transfer device) using a Bernoulli chuck that generates a suction force by ejecting high pressure air.
  • the transfer device disclosed in Patent Document 1 takes out a sheet-like substrate (work) from a flat stage and transfers it, and a Bernoulli chuck as a suction means and a work disposed on the flat stage. And a control guide for controlling the position of the workpiece.
  • the control guide includes a control unit having an inclined surface formed thereon, and when the sheet-like work is sucked by the Bernoulli chuck by bringing the end of the work into contact with the inclined surface formed on the control unit, It prevents the two from contacting each other. Furthermore, the control guide regulates the movement of the work in the planar direction by the inclined surface of the control unit when the work is transported in a suctioned state.
  • a solar cell wafer as a work, an electrode of a lithium ion battery, etc. are thin and weak in strength.
  • the sheet-like substrate is moved by the Bernoulli chuck by bringing the end portion of the sheet-like work into contact with the inclined surface formed in the control unit. When it is aspirated, it prevents both from contacting. Therefore, when taking out a sheet-like work from a flat stage, there is a possibility that breakage such as breakage of the work may occur.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and when taking out and holding a work from the work mounting device on which the work is mounted, and the work mounting device holding the work
  • a transfer device capable of preventing a guide member for preventing lateral displacement of a workpiece from coming into contact with the peripheral portion of the workpiece during transfer, and a workpiece mounting device used together with the transfer device. Intended to be provided.
  • the transfer apparatus when the work is transported around the non-contact holding unit, the non-contact holding unit for holding the work in a non-contact state, the base member to which the non-contact holding unit is attached
  • the plurality of guide members are spaced apart from each other so as to surround the work, and have a plurality of guide members protruding from the base member, and a moving mechanism for moving the base member in the space, the plurality of guide members being at least
  • the parts are configured to be movable in directions away from each other, and when the work is taken out from the work mounting device on which the work is mounted, or the held work is mounted on the work mounting device
  • the non-contact holding unit approaches the workpiece placement surface of the workpiece placement device, at least a portion of the plurality of guide members is formed in the workpiece placement device. Along, thus being moved away from each other.
  • the periphery of the non-contact holding unit is approached as the non-contact holding unit approaches the workpiece mounting surface of the workpiece mounting apparatus on which the workpiece is placed or on which the workpiece is placed.
  • a plurality of guide members arranged in the direction move in the direction away from each other along a guide guide formed in the work placement device. Therefore, when taking out the work or placing the work, each of the plurality of guide members is spread outside the periphery of the work.
  • the guide member is the peripheral portion of the workpiece and It is possible to prevent contact.
  • the plurality of guide members be disposed to face each other across the non-contact holding unit. This arrangement makes it possible to effectively prevent lateral displacement of the work held by the non-contact holding unit at the time of work conveyance.
  • the transfer device includes an urging member that applies an urging force to the plurality of guide members to move the guide members toward each other as the plurality of guide members move away from each other, and the plurality of guide members As the non-contact holding unit is separated from the workpiece mounting surface of the workpiece mounting device, the biasing members of the biasing member move along the guide guide formed in the workpiece mounting device in a direction approaching each other. preferable.
  • the plurality of guide members expanded when taking out the work move closer to each other by the biasing force of the biasing member as the non-contact holding unit is separated from the workpiece mounting surface of the workpiece mounting device. For example, it moves to a position substantially in contact with the periphery of the workpiece. Therefore, when the held work is transported, it is possible to appropriately restrict the lateral movement of the work.
  • the guide member preferably includes a cylindrical proximal end and a conical distal end continuous from the proximal end. In this way, when transporting the workpiece, the contact area between the peripheral portion of the workpiece and the guide member can be further reduced. In addition, when the guide member is guided to the guide guide portion formed in the work placement device, it is possible to move more smoothly.
  • the biasing member is preferably a torsion spring.
  • the spring force of the torsion spring it is possible to apply an urging force to the respective guide members, which causes the respective guide members to approach each other as the plurality of guide members move away from each other.
  • the movable mechanism can be made smaller and lighter.
  • the guide member is preferably formed of an elastic body.
  • the elasticity of the elastic body can be used to expand each of the plurality of guide members outside the peripheral edge of the work.
  • the plurality of guide members are deformed to be separated from each other by utilizing the restoring force of the elastic body, it is possible to apply an urging force to the respective guide members 40 which acts in the direction in which the plurality of guide members approach each other.
  • the guide member is preferably a plate-like member having a constant width in the direction along the outer edge of the workpiece to be held. In this way, the guide member can be easily deformed and expanded. In addition, lateral movement of the workpiece can be stably regulated when the workpiece is transported.
  • the transfer device it is preferable to use a Bernoulli chuck as the non-contact holding unit.
  • the Bernoulli effect is generated by the high pressure air ejected from the Bernoulli chuck being discharged from between the workpiece and the workpiece, and a suction force is generated.
  • the workpiece can be held in a noncontact manner.
  • the transfer device it is preferable to use, as the movement mechanism, a parallel mechanism robot that moves the base member horizontally while keeping the base member horizontal via a plurality of links.
  • the parallel mechanism robot has features that there are no actuators in the movable part, can be reduced in weight, and can be driven at high speed and with high precision, so the base member to which the noncontact holding unit and guide member are attached is moved at high speed. be able to. Therefore, by using the parallel mechanism robot as the moving mechanism, it is possible to transfer the work at high speed while preventing lateral displacement of the work.
  • a work placement device is a work placement device used together with any of the above-described transfer devices, and a plurality of guides as the non-contact holding unit constituting the transfer device approaches the work placement surface. It is characterized by having a guide guide part which guides each guide member in a direction in which the members move away from each other.
  • the non-contact holding unit is mounted on the work mounting surface by guiding the plurality of guide members disposed around the non-contact holding unit along the guide guide portion.
  • a plurality of guide members can be moved away from each other. Therefore, when taking out a work or placing a work, it becomes possible to extend a plurality of guide members outside the periphery of the work.
  • the present invention when the workpiece is taken out from the workpiece placement device on which the workpiece is placed and held, and when the workpiece being held is placed on the workpiece placement device, lateral displacement of the workpiece at the time of transportation It is possible to prevent the guide member preventing the contact with the peripheral portion of the work.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the work-loading tray on the removal side, taken along line VI-VI of FIG. 5; It is a top view of the workpiece mounting tray by the side of mounting.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an entire configuration of a parallel mechanism robot 100 to which the noncontact holding device 1 is attached.
  • FIG. 2 is a view showing the parallel mechanism robot 100 viewed from the direction of arrow A1 in FIG.
  • the parallel mechanism robot 100 has a base portion 102 at the top.
  • the parallel mechanism robot 100 is supported by fixing a flat mounting surface 102a (see FIG. 2) formed on the lower surface side of the base portion 102 to, for example, a horizontal ceiling or the like.
  • three support members 103 are provided on the lower surface side of the base portion 102.
  • Each support member 103 supports an electric motor 104, respectively.
  • the electric motor 104 is supported such that the axis C2 of the motor shaft is parallel (i.e., horizontal) to the mounting surface 102 a of the base portion 102.
  • each electric motor 104 is also centered on the vertical axis C1 of the base portion 102. They are placed at equal angles (120 degrees) (see FIG. 2).
  • each electric motor 104 On the output shaft of each electric motor 104, an arm support member 105 having a substantially hexagonal column shape is fixed coaxially with the axis C2. The arm support member 105 rotates about the axis C2 by driving the electric motor 104.
  • Each electric motor 104 is connected to an electronic control unit 130 including a motor driver, and the rotation of the output shaft of the electric motor 104 is controlled by the electronic control unit 130.
  • the parallel mechanism robot 100 has three arm bodies 106, and each arm body 106 is configured to include a first arm 107 and a second arm 108.
  • the first arm 107 is a long hollow cylindrical member formed of, for example, carbon fiber reinforced plastic (CFRP).
  • CFRP carbon fiber reinforced plastic
  • the proximal end of the first arm 107 is attached to the side surface of the arm support member 105.
  • the first arm 107 is fixed so that its axis is orthogonal to the above-mentioned axis C2.
  • the base end of the second arm 108 is connected to the free end of the first arm 107 so that the second arm 108 can swing around the free end of the first arm 107.
  • the second arm 108 is configured to include a pair of elongated rods 109 and 109, and the pair of rods 109 and 109 are arranged to be parallel to each other in the longitudinal direction.
  • the rod 109 is also a long hollow cylindrical member formed of, for example, carbon fiber reinforced plastic (CFRP) or the like.
  • CFRP carbon fiber reinforced plastic
  • the proximal end of each rod 109 is connected to the free end of the first arm 107 by a pair of ball joints 110, 110.
  • the axis C3 connecting between the ball joints 110 and 110 at the base end of each rod 109 is disposed parallel to the axis C2 of the electric motor 104.
  • one rod 109 and the other rod 109 are connected to each other by the connecting member 111 near the base end of the second arm 108, and one rod 109 and the other are connected near the free end of the second arm 108.
  • the rod 109 is connected to each other by a connecting member 112.
  • the connecting member 111 and the connecting member 112 each have, for example, a tension coil spring as a biasing member, and bias the pair of rods 109 and 109 in a direction to draw each other.
  • the connecting member 111 and the connecting member 112 may have different structures, but preferably have the same structure from the viewpoint of low cost.
  • Each connecting member 111, 112 has a function to prevent each rod 109 from rotating about an axis parallel to its own longitudinal direction.
  • the parallel mechanism robot 100 also has a bracket 114 for rotatably mounting the noncontact holding device 1 (details will be described later).
  • the bracket 114 is a plate-like member having a substantially regular triangle shape.
  • the mounting surface 114a (the lower surface of the bracket 114 in FIG. 1) of the non-contact holding device 1 of the bracket 114 becomes parallel (that is, horizontal) to the mounting surface 102a of the base portion 102 by the three arm bodies 106. To be held.
  • each mounting piece 115 is a free end portion of each arm main body 106 (a free end portion of a pair of rods 109 and 109 constituting the second arm 108
  • the bracket 114 swings relative to each arm body 106 about the free end of each arm body 106.
  • each end of each mounting piece 115 of the bracket 114 is connected to the free end of each corresponding rod 109, 109 by each ball joint 116, 116.
  • the axis C4 (see FIG. 2) connecting the pair of ball joints 116, 116 is parallel to the axis C3 corresponding to each arm body 106 because the distances between the ball joints 110 and 116 of each rod 109 are all equal.
  • bracket 114 swings with respect to each arm main body 106 by moving in parallel with the horizontal plane.
  • the bracket 114 is supported by the three arm bodies 106 so as to be able to move parallel to the horizontal plane on all sides of the substantially regular triangular bracket 114.
  • the distance between the pair of ball joints 110 at the connecting portion between the first arm 107 and the second arm 108 and the pair of balls at the connecting portion between each rod 109 of the second arm 108 and the bracket 114 The distance between the joints 116, 116 is set equal. Therefore, the pair of rods 109 and 109 constituting the second arm are always disposed parallel to each other over the entire length in the longitudinal direction.
  • the bracket since all of the axes C2, C3, and C4 are parallel to the mounting surface 102a of the base portion 102, the bracket is provided regardless of how each of the three first arms 107 rotates about the axis C2.
  • the parallel relationship between the mounting surface 114 a of the non-contact holding device 1 114 and the mounting surface 102 a of the base portion 102 is maintained.
  • the rotational position of the arm support member 105 fixed to the output shaft of each electric motor 104 is controlled in accordance with the command from the electronic control unit 130, whereby the position of the free end of each first arm 107 It is controlled.
  • the position of the free end of each second arm 108 follows the position of the controlled free end of each first arm 107, and as a result, the position of the mounting surface 114a of the non-contact holding device 1 of the bracket 114 is Uniquely determined. At this time, as described above, the bracket 114 moves while maintaining the horizontal posture.
  • the parallel mechanism robot 100 has, at its center, a pivot rod 120 extending downward from the base portion 102 and an electric motor 121 for rotating the pivot rod 120.
  • the electric motor 121 is fixed to the base portion 102 with its axis output directed vertically downward.
  • One end of the pivot rod 120 is connected to the output shaft of the electric motor 121 via a universal joint (hereinafter referred to as "universal joint") 122 and a reduction gear 124 configured by a combination of a plurality of gears.
  • the reduction gear ratio of the reduction gear 124 is five.
  • the other end of the pivot rod 120 is connected to the noncontact holding device 1 via the universal joint 123.
  • the lower connection portions of the non-contact holding device 1 and the universal joint 123 are rotatably fixed to the bracket 114 via a bearing or the like so that the central axes thereof are in the vertical direction.
  • the pivot rod 120 is realized by a rod 120 a and a cylinder 120 b and is configured to be extensible.
  • the pivot rod 120 is a ball spline and can transmit the rotation of the rod 120a to the cylinder 120b.
  • the universal joints 122 and 123 are adopted at both ends of the pivot rod 120, the pivot rod is moved even if the bracket 114 is moved to the predetermined position vertically and horizontally by the drive of the three electric motors 104. 120 can move following the predetermined position.
  • a configuration including the pivot rod 120 and the universal joints 122 and 123 will be referred to as a pivot 125.
  • the electronic control unit 130 drives the arm body 106 by controlling the three electric motors 104 to move the noncontact holding device 1 to the target position. Further, the electronic control device 130 drives the pivot rod 120 by controlling the electric motor 121, and rotates the non-contact holding device 1 to the target rotation angle position.
  • a programmable logic controller PLC
  • the electronic control unit 130 is configured of a microprocessor that performs computations, a ROM that stores programs and the like for causing the microprocessors to execute each process, and a RAM that temporarily stores various data such as computation results.
  • the electronic control unit 130 is connected with an input / output device 131 as a setting means for receiving an operation input by the operator and a display means for displaying the state of the parallel mechanism robot 100 and the setting contents.
  • an input / output device 131 for example, a touch panel display, a liquid crystal display, and a keyboard are preferably used.
  • the operator can set control data of the electric motors 104 and 121 using the input / output device 131.
  • the electronic control device 130 drives the electric motor 104 and the electric motor 121 by executing the program stored in the ROM using the set control data, and thereby the position of the non-contact holding device 1 in the three-dimensional space Control (x, y, z) and rotation angle ( ⁇ ).
  • FIG. 3 is a perspective view of the noncontact holding device 1 as viewed from the bottom side.
  • the noncontact holding device 1 ejects high pressure air to generate suction force, and a Bernoulli chuck 20 for holding a workpiece 80 (see FIG. 8 etc.) in a noncontact state, and a predetermined distance around the Bernoulli chuck 20. And a plurality of (eight in the present embodiment) guide members 30 for preventing lateral displacement of the work 80 during conveyance of the work 80, and a chuck base to which the Bernoulli chuck 20 and the guide member 30 are attached And 10).
  • the chuck base 10 is a square plate-like member whose outer dimension is formed one size larger than the workpiece 80 to be held.
  • the chuck base 10 is formed of an industrial plastic or the like which is light in weight and excellent in strength.
  • the shape, size, and the like of the chuck base 10 are preferably set in accordance with the shape, size, and the like of the workpiece to be held.
  • An attachment 12 is attached to the center of the upper surface of the chuck base 10.
  • the chuck base 10 is connected to the pivot rod 120 via the bracket 114 by the attachment 12, and is configured to be pivotable by the pivot rod 120.
  • the Bernoulli chuck 20 has a cylindrical main body 21 attached to the lower surface side of the chuck base 10. A recess 22 is formed on the end face of the cylindrical main body 21.
  • the Bernoulli chuck 20 is mounted such that the opening surface of the recess 22 formed in the main body 21 faces the workpiece 80 to be held, that is, the opening surface of the recess 22 faces downward.
  • the opening surface of the main body 21 of the Bernoulli chuck 20 forms a workpiece holding surface for holding the workpiece 80 in a noncontact manner.
  • a plurality of (three at an interval of 90 degrees in this embodiment) ejection holes 23 for ejecting high pressure air into the recess 22 are formed on the surface of the main body 21 facing the recess 22, a plurality of (three at an interval of 90 degrees in this embodiment) ejection holes 23 for ejecting high pressure air into the recess 22 are formed.
  • the jet holes 23 are formed so as to penetrate the main body 21 obliquely downward in a direction in contact with the inner peripheral surface of the recess 22 from the side surface of the main body 21 to the bottom surface of the recess 22.
  • An air pipe (not shown) is attached to each jet hole 23.
  • the air pipe is connected to an air pump (not shown) for supplying high pressure air.
  • the Bernoulli chuck 20 functions as a noncontact holding unit described in the claims.
  • a plurality of (eight in the present embodiment) pin-shaped guide members 30 are provided to protrude in the vertical direction with respect to the chuck base 10.
  • the eight guide members 30 are arranged around the Bernoulli chuck 20 so as to surround the workpiece 80 when the workpiece 80 is transported. More specifically, the guide members 30 are arranged in pairs (two in total) at intervals at the end of each side of the chuck base 10 (four sets in total), and the guide members 30 of each set are the Bernoulli chuck 20. It is disposed so as to face each other.
  • the guide member 30 and the respective sides of the work 80 have a clearance of about 0.1 to 0.2 mm so that the guide member 30 substantially contacts the held work 80 in a steady state.
  • the arrangement of the guide member 30 is preferably set according to the shape of the work 80 or the like.
  • Each guide member 30 is configured to include a cylindrical proximal end 30 a whose one end is attached to the chuck base 10 and a substantially conical distal end 30 b continuous from the proximal end 30 a.
  • the total length of each guide member 30 is set longer than the dimension in the height direction of the Bernoulli chuck 20, and the tip of each guide member 30 protrudes below the workpiece holding surface of the Bernoulli chuck 20.
  • Each guide member 30 is, for example, filled with UHPE (Ultra High Molecular Weight Polyethylene: ultra high molecular weight polyethylene), PEEK (polyether ether ketone), or PTFE (tetrafluoroethylene) or the like to reduce friction. It is formed of a polymer material or the like.
  • the opposing guide members 30 are configured to be movable in directions away from each other, and the work 80 is taken out from the work placement tray 70 (see FIGS. 5 and 6) on the removal side on which the work 80 is placed. Or when the workpiece 80 being held is placed on the workpiece placement tray 71 on the placement side (see FIG. 7), the workpiece placement surface 75 of the workpiece placement trays 70 and 71 is held in a non-contact manner As the apparatus 1 (Bernoulli chuck 20) approaches, it moves away from each other along the guide guide holes 72 formed in the work placement trays 70 and 71.
  • the work placement trays 70 and 71 correspond to the work placement device described in the claims.
  • the guide guide hole 72 corresponds to the guide guide part as described in a claim.
  • FIG. 4 is a schematic view showing the movable mechanism of one guide member 30 in an enlarged manner.
  • the movable mechanism of the other guide member 30 is also set as the same structure.
  • a long hole 11 is formed in the direction orthogonal to the side.
  • the guide member 30 is provided such that the upper end thereof penetrates the elongated hole 11 and two washers 31 and 32 disposed so as to sandwich the chuck base 10 from above and below.
  • the guide member 30 and the washers 31 and 32 are fastened by screws 33 from the upper end side of the guide member 30.
  • the pin-shaped guide member 30 is attached to the long hole 11 so as to be slidable along the long hole 11 without coming off the long hole 11.
  • a torsion spring 34 is attached to the top surface of the chuck base 10.
  • the torsion spring 34 is disposed inside the elongated hole 11 along the axis of the elongated hole 11 so that a biasing force (tensile force) is generated in the inward direction along the axial direction of the elongated hole 11.
  • One end of the torsion spring 34 is locked to the upper surface of the chuck base 10 through a pin 36, and the other end is locked to a washer 31 attached to the upper surface of the chuck base 10 through a pin 37.
  • the other end of the torsion spring 34 may be coaxially engaged with the head of the screw 33.
  • the torsion spring 34 applies an urging force to the guide member 30 which acts in a direction in which the guide member 30 abuts on one end (inner side) of the elongated hole 11.
  • the guide member 30 is in contact with one end side (inner side) of the long hole in the steady state. More specifically, the guide member 30 and the respective sides of the work 80 have a clearance of about 0.1 to 0.2 mm so that the guide member 30 substantially contacts the held work 80 in a steady state.
  • guide guide holes 72 formed in the workpiece placement trays 70 and 71. The opposing guide members 30 move along the elongated holes 11 in a direction (outside) away from each other.
  • the torsion springs 34 apply an urging force to the guide members 30 so that the guide members 30 move closer to each other. Therefore, after taking out the work 80 from the work mounting tray 70 or after mounting the work 80 on the work mounting tray 71, the Bernoulli chuck 20 is separated from the work mounting surface of the work mounting trays 70 and 71.
  • the opposing guide members 30 move in directions approaching each other along the guide guide holes 72 formed in the work placement trays 70 and 71 by the biasing force of the torsion springs 34, and return to the steady position.
  • FIG. 5 is a plan view of the work placement tray 70 on the takeout side
  • FIG. 6 is a longitudinal cross-sectional view of the work placement tray 70 along the line VI-VI in FIG.
  • FIG. 7 is a plan view of the work placement tray 71 on the placement side.
  • the take-out work placement tray 70 on which the work 80 to be held is placed and the work placement tray 71 on the placement side on which the held work 80 is placed may be placed The only difference is the number of work pieces 80 that can be made, and the other configurations are the same.
  • the work placement tray 70 on the take-out side has two work placement surfaces 75 so that two works 80 can be placed.
  • the workpiece placement tray 71 on the placement side has six (2 ⁇ 3) workpiece placement surfaces 75 so that six workpieces 80 can be placed.
  • FIG. 5 shows a state in which the work 80 is mounted only on the work mounting surface 75 on the left side of the drawing.
  • FIG. 6 the state in which the workpiece
  • a square work placement surface 75 on which the work 80 is placed is formed on the upper surfaces of the work placement trays 70 and 71.
  • the workpiece mounting surface 75 is formed to have substantially the same dimensions as the dimensions of the workpiece 80.
  • a substantially rectangular guide guide hole 72 for guiding the guide member 30 is formed along each side on the outer side of the substantially central portion of each side of the work placement surface 75.
  • the inner side surface of the guide guide hole 72 is an inclined portion (inclined region) 72a which is inclined from the opening toward the center of the hole, and a vertical portion (vertical region) which smoothly continues downward from the inclined portion 72a. And 72b.
  • the guide guide holes 72 guide the respective guide members 30 in the direction in which the opposing guide members 30 move away from each other along the inclined portion 72a as the Bernoulli chuck 20 descends and approaches the workpiece mounting surface 75. Further, the guide guide holes 72 guide the respective guide members 30 in the direction in which the opposing guide members 30 approach each other along the inclined portion 72a as the Bernoulli chuck 20 is lifted and separated from the work placement surface 75. Note that two guide members 30 can enter into one guide guide hole 72.
  • work guide protrusions 74 having a trapezoidal cross section are provided along the respective sides of the work placement surface 75.
  • the work guide projection 74 guides the work 80 to a predetermined position when the work 80 is placed. That is, when the work 80 held by the Bernoulli chuck 20 is placed, it is guided along the inclined surface of the work guide projection 74 and placed at a predetermined position of the work placement surface 75.
  • a circular through hole 73 is formed in the central portion of the workpiece mounting surface 75.
  • the through holes 73 are provided to prevent the work placement trays 70 and 71 from being pulled by a negative pressure by supplying air from the lower side when the work 80 is taken out by the Bernoulli chuck 20. , Air vent holes.
  • FIG. 8 is a view for explaining the operation of the guide member 30 of the non-contact holding device 1, and the motion of the guide member 30 when the Bernoulli chuck 20 takes out the work 80 in chronological order from the top It is shown.
  • the Bernoulli chuck 20 descends in the vertical direction (arrow A2) and approaches the workpiece placement surface 75 of the workpiece placement tray 70.
  • the Bernoulli chuck 20 holds the work 80 in a noncontact manner in a state where the opposing guide members 30 are expanded by the guide guide holes 72. Therefore, the workpiece 80 can be held and taken out without the guide member 30 coming into contact with the peripheral portion of the workpiece 80.
  • the opposing guide member 30 is attached with a torsion spring 34. By the force, it moves in a direction approaching each other along the inner side surface of the guide guide hole 72 formed in the work mounting tray 70, and returns to the steady position.
  • the workpiece 80 is held by suction by the Bernoulli chuck 20, and the relative position between the workpiece 80 and the guide member 30 does not change in the height direction, and the clearance gradually decreases. Therefore, the movement of the workpiece 80 in the lateral direction is restricted without being rubbed in the axial direction of the guide member 30. This prevents lateral displacement of the workpiece 80 during transport.
  • the noncontact holding device 1 (Bernoulli chuck 20) takes out the solar cell wafer 230 from the work placement tray 70 on the takeout side, and then the solar cell wafer 230
  • the case of conveying to the workpiece placement tray 71 on the placement side while aligning the rotational angle position of the above will be described as an example.
  • the movement operation after transfer of the solar cell wafer 230 to removal of the next solar cell wafer 230 is the same as or similar to the operation to be described below except that the operation direction is reversed. I omit explanation.
  • FIG. 9 is a bird's-eye view for demonstrating the outline
  • the first conveyor 200 and the second conveyor 201 are arranged in parallel with each other, and the parallel mechanism robot 100 is installed above the two conveyors.
  • Each of the first conveyor 200 and the second conveyor 201 is moved by pitch feeding while repeating a predetermined speed or pause from the right side to the left side of the drawing.
  • a solar cell wafer 230 placed on the work placement tray 70 on the take-off side is flowing.
  • the solar cell wafer 230 is, for example, a square thin plate of length 156 ⁇ width 156 ⁇ thickness 0.1 to 0.2 mm.
  • a work placement tray 71 on the placement side on which the solar battery wafers 230 are aligned and stored is carried on the second conveyor 201 and is flowing.
  • the workpiece placement tray 71 on the placement side has six (2 ⁇ 3) workpiece placement surfaces 75 partitioned in a grid shape, and is placed on the workpiece placement tray 70 by the parallel mechanism robot 100.
  • the disposed solar cell wafer 230 is transferred to each work mounting surface 75 of the work mounting tray 71.
  • the parallel mechanism robot 100 drives the arm body 106 to move the non-contact holding device 1 (Bernoulli chuck 20), and after approaching the solar cell wafer 230 mounted on the work mounting tray 70, the solar cell
  • the operation of taking out the wafer 230 by the non-contact holding device 1 and conveying it to the work mounting tray 71 is repeatedly executed.
  • the parallel mechanism robot 100 rotates the non-contact holding device 1 when holding and transporting the solar cell wafer 230 in the direction of the square solar cell wafer 230 so that the work mounting surface of the work mounting tray 71
  • the solar cell wafer 230 is stored in the workpiece mounting surface 75 of the workpiece mounting tray 71 in accordance with the direction 75.
  • the first conveyor 200 is provided with a first encoder 210 for detecting the amount of movement of the first conveyor 200.
  • the first encoder 210 outputs the detected movement amount of the first conveyor 200 to the electronic control device 130.
  • a second encoder 211 for detecting the amount of movement of the second conveyor 201 is attached to the second conveyor 201.
  • the second encoder 211 outputs the detected amount of movement of the second conveyor 201 to the electronic control device 130.
  • an imaging device 220 such as a CCD camera is attached above the first conveyor 200.
  • the image pickup device 220 picks up an image of the solar cell wafer 230 placed on the flowing work placement tray 70, obtains the center of gravity position and direction (angle) of the solar cell wafer 230, and outputs it to the electronic control device 130. .
  • an optical sensor 221 for detecting the leading end of the work placement tray 71 is attached to the second conveyor 201.
  • the optical sensor 221 outputs a detection signal to the electronic control unit 130.
  • the work placement tray 70 flows on the first conveyor 200 at an uneven pitch or an arbitrary direction (angle) by the rotation of the non-contact holding device 1 and the position detection of the imaging device 220. Even in this case, the electronic control device 130 can appropriately control the position of the noncontact holding device 1 and take out the solar cell wafer 230.
  • the electronic control unit 130 calculates the position of the solar cell wafer 230 based on the position of the center of gravity of the solar cell wafer 230 and the amount of movement of the first conveyor 200. Further, the electronic control unit 130 calculates the position of the work placement tray 71 based on the detection signal of the tip of the work placement tray 71 and the movement amount of the second conveyor 201. The electronic control unit 130 rotates the respective electric motors 104 to drive the arm main body 106 based on the determined position of the solar cell wafer 230 and the position of the work mounting tray 71, and is horizontal to the work mounting tray 70. The solar cell wafer 230 placed on top is accessed from the top to take out the solar cell wafer 230, and then the inside of the space is transported, and the work cell mounting tray 71 is accessed from the top and held. The tray 71 is horizontally placed.
  • the Bernoulli chuck 20 descends in the vertical direction and approaches the work placement surface 75 of the work placement tray 70. Thereafter, the guide member 30 contacts the inner side surface of the guide guide hole 72, and as the Bernoulli chuck 20 descends and approaches the work placement surface 75, the guide member 30 facing along the inclined portion 72a of the guide guide hole 72. Are gradually expanded in the direction away from each other. Then, with the guide member 30 expanded by the guide guide hole 72, the Bernoulli chuck 20 holds the solar cell wafer 230 in a noncontact manner. Therefore, the solar cell wafer 230 can be held and taken out without the guide member 30 coming into contact with the peripheral portion of the solar cell wafer 230.
  • the opposing guide member 30 is biased by the torsion spring 34. It moves in a direction approaching each other along the inner side surface of the guide guide hole 72 formed in the work mounting tray 70 and returns to the steady position. This prevents lateral displacement of the solar cell wafer 230 during transport.
  • the Bernoulli chuck 20 holding the solar cell wafer 230 descends in the vertical direction, and the work mounting surface 75 of the work mounting tray 71 is approach. Thereafter, the guide member 30 contacts the inner side surface of the guide guide hole 72, and as the Bernoulli chuck 20 descends and approaches the work placement surface 75, the guide member 30 facing along the inclined portion 72a of the guide guide hole 72. Are gradually expanded in the direction away from each other. Then, the Bernoulli chuck 20 places the solar cell wafer 230 on the workpiece placement surface 75 of the workpiece placement tray 71 in a state where the guide member 30 is expanded by the guide guide hole 72.
  • the solar cell wafer 230 can be mounted without the guide member 30 coming into contact with the peripheral portion of the solar cell wafer 230.
  • guide member 30 opposed by the urging force of torsion spring 34 as Bernoulli chuck 20 separates from work mounting surface 75 of work mounting tray 71. It moves in a direction approaching each other along the inner side surface of the guide guide hole 72 formed in the work mounting tray 71 and returns to the steady position.
  • the electronic control device 130 drives the electric motor 121 based on the obtained orientation of the solar cell wafer 230 while transporting the solar cell wafer 230, and the pivot shaft (that is, the noncontact holding device 1) To align the direction of the solar cell wafer 230 with the workpiece mounting surface 75 of the workpiece mounting tray 71.
  • the above operation is repeatedly performed in real time, so that the solar cell wafer 230 placed on the work placement tray 70 flowing on the first conveyor 200 flows on the second conveyor 201.
  • the tray 71 is aligned and stored.
  • the hand position accuracy of the parallel mechanism robot 100 When taking out the solar cell wafer 230 from the work placement tray 70 or placing it on the work placement tray 71, the hand position accuracy of the parallel mechanism robot 100, the position accuracy of the first conveyor 200 and the second conveyor 201, imaging In addition to the detection position accuracy of the device 220, the relative position between the non-contact holding device 1 and the work placement trays 70 and 71 slightly deviates due to vibration of each part of the device. According to the present embodiment, by the extension of the guide member 30, it is possible to absorb the displacement and take it out or place it without contacting the peripheral portion of the solar cell wafer 230.
  • the workpiece mounting tray 20 approaches the workpiece mounting tray It moves in the direction away from each other along the guide guide holes 72 formed in 70 and 71. Therefore, when taking out the work 80 or placing the work 80, each of the eight guide members 30 is spread outside the peripheral edge of the work 80. As a result, when the work 80 is taken out from the work placement tray 70 on which the work 80 is placed, or when the held work 80 is placed on the work placement tray 71, the guide member 30 Can be prevented from coming into contact with the peripheral portion of the work 80. As a result, it is possible to prevent the deterioration of the performance due to the damage to the edge of the workpiece, for example, when taking out or placing the workpiece such as a solar cell wafer.
  • the eight guide members 30 are disposed to face each other with the Bernoulli chuck 20 interposed therebetween. Therefore, the lateral displacement of the workpiece 80 held by the Bernoulli chuck 20 is effective when the workpiece 80 is transported. Can be prevented.
  • the eight guide members 30 expanded when taking out the workpiece 80 move away from the workpiece loading surface 75 of the workpiece loading tray 70 from the Bernoulli chuck 20, the biasing force of the torsion spring 34 Thus, they move in directions approaching each other, and move, for example, to a position substantially in contact with the peripheral portion of the workpiece 80. Therefore, when the held work 80 is transported, it is possible to appropriately restrict the lateral movement of the work 80.
  • the guide member 30 is composed of the cylindrical proximal end 30a and the conical distal end 30b continuous from the proximal end 30a, when transporting the workpiece 80, The contact area between the peripheral portion of the work 80 and the guide member 30 can be further reduced. Further, when the guide member 80 is guided to the guide guide holes 72 formed in the work placement trays 70 and 71, it can be moved more smoothly.
  • the urging forces are applied to the respective guide members 30 such that the guide members 30 move closer to one another as the eight guide members 30 move away from one another by utilizing the spring force of the torsion spring 34.
  • the movable mechanism can be reduced in size and weight.
  • the high pressure air jetted from the Bernoulli chuck 20 is discharged from between the workpiece 80 and the workpiece 80 to generate the Bernoulli effect, and a suction force is generated.
  • the workpiece 80 can be held in a noncontact manner.
  • the parallel mechanism robot 100 has features that there is no actuator at the movable part, can be reduced in weight, and can be driven at high speed and with high precision. Therefore, the base member 10 to which the Bernoulli chuck 20 and the guide member 30 are attached is very fast. Can be moved by Therefore, by using the parallel mechanism robot 100 as the movement mechanism, it is possible to transfer the work 80 at high speed while preventing lateral displacement of the work 80.
  • the work placement surface is provided by guiding the eight guide members 30 disposed around the Bernoulli chuck 20 along the guide guide holes 72. As the Bernoulli chuck 20 approaches 75, the eight guide members 30 can be moved away from one another. Therefore, when the workpiece 80 is taken out or when the workpiece 80 is mounted, the eight guide members 30 can be spread outside the peripheral edge of the workpiece 80.
  • FIG. 10 is a side view showing the configuration of the noncontact holding device 2.
  • FIG. 11 is a perspective view of the non-contact holding device 2 holding the work 80 as viewed from the bottom side. 10 and 11, the same or equivalent components as or to those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals.
  • the noncontact holding device 2 is different from the noncontact holding device 1 in that the noncontact holding device 2 includes a plate shaped guide member 40 formed of an elastic body instead of the pin shaped guide member 30.
  • the noncontact holding device 2 is different from the noncontact holding device 1 in that the noncontact holding device 2 does not have the movable mechanism shown in FIG.
  • the other configuration is the same as that of the non-contact holding device 1 described above, and thus the description thereof is omitted here.
  • the configuration of the parallel mechanism robot other than the non-contact holding device 2 is also the same as that of the parallel mechanism robot 100 according to the first embodiment described above, and thus the description thereof is omitted here.
  • a plurality of (four in the present embodiment) plate-like guide members 40 are vertically provided to protrude from the lower surface of the chuck base 10A.
  • the four guide members 40 are arranged at intervals around the Bernoulli chuck 20 so as to surround the workpiece 80 when the workpiece 80 is transported. More specifically, the guide members 40 are disposed at the end of each side of the chuck base 10A, and the guide members 40 are disposed to face each other with the Bernoulli chuck 20 interposed therebetween. Further, in more detail, the guide member 40 and each side of the work 80 have a clearance of about 0.1 to 0.2 mm so that the guide member 40 substantially contacts the held work 80 in a steady state. Are arranged to have The arrangement of the guide member 40 is preferably set in accordance with the shape of the work 80 or the like.
  • each guide member 40 is set longer than the dimension in the height direction of the Bernoulli chuck 20, and the tip of each guide member 40 protrudes below the workpiece holding surface of the Bernoulli chuck 20.
  • the tip of the guide member 40 is obliquely cut on the inside. Thereby, the inner side surface of the guide guide hole 72 can be smoothly contacted.
  • the guide member 40 has a constant width (for example, about 35 mm) in the direction along the outer edge of the workpiece 80 to be held.
  • Each guide member 40 is formed of, for example, an elastic body such as fluorine rubber, urethane rubber or silicone rubber.
  • the surface may be provided with, for example, a DLC (diamond like carbon) coating or the like in order to improve sliding and to improve abrasion resistance.
  • the opposing guide members 40 are configured to be able to deform (move) in the direction in which the lower end portions thereof are separated from each other by utilizing its elasticity. Therefore, when the work 80 is taken out from the work placement tray 70 on the take-out side on which the work 80 is placed and placed, or the held work 80 is placed on the work placement tray 71 on the placement side
  • the non-contact holding device 2 (Bernoulli chuck 20) approaches the work placement surface 75 of the work placement trays 70 and 71, along the guide guide holes 72 formed in the work placement trays 70 and 71.
  • the lower end portions of the opposing guide members 40 are deformed so as to warp in the direction away from each other.
  • the opposing guide members 40 deform in directions away from each other, a restoring force (biasing force) is generated in the directions in which the opposing guide members 40 approach each other. Therefore, after taking out the work 80 from the work mounting tray 70 or after mounting the work 80 on the work mounting tray 71, the Bernoulli chuck 20 is separated from the work mounting surface of the work mounting trays 70 and 71.
  • the opposing guide members 40 move in directions approaching each other by their own restoring force (biasing force) along the guide guide holes 72 formed in the work placement trays 70 and 71, and return to the steady position. That is, the guide member 40 also functions as a biasing member described in the claims.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining the movement of the guide member 40 of the noncontact holding device 2.
  • the Bernoulli chuck 20 descends in the vertical direction and approaches the workpiece placement surface 75 of the workpiece placement tray 70.
  • the Bernoulli chuck 20 descends and approaches the work placement surface 75, the lower end of the guide member 40 along the inclined portion 72a of the guide guide hole 72. The parts gradually deform away from one another.
  • the Bernoulli chuck 20 holds the work 80 in a noncontact manner. Therefore, the workpiece 80 can be held and taken out without the guide member 40 coming into contact with the peripheral portion of the workpiece 80.
  • the guide members 40 facing each other have their own restoring force as the Bernoulli chuck 20 ascends in the vertical direction and moves away from the workpiece mounting surface 75 Due to the biasing force, it moves in the direction approaching each other along the inner side surface of the guide guide hole 72 formed in the work mounting tray 70, and returns to the steady position. This prevents lateral displacement of the workpiece 80 during transport.
  • the guide member 40 is formed of a plate-like elastic body. Therefore, when taking out the work 80 or placing the work 80, it is possible to expand each of the four guide members 40 outside the peripheral portion of the work 80 by utilizing the elasticity of the elastic body. Also, as the four guide members 40 are deformed so as to be separated from each other by utilizing the restoring force of the elastic body, it is possible to apply an urging force to the respective guide members 40 which acts in the direction in which the guide members 40 approach each other. .
  • the guide member 40 is formed in a plate shape having a constant width in the direction along the outer edge of the workpiece 80 to be held, the guide member 40 can be easily deformed and expanded. it can. In addition, when the workpiece 80 is transported, lateral movement of the workpiece 80 can be stably restricted.
  • the structure can be simplified, and therefore, the size, weight, and cost can be further reduced.
  • the shape, size, number, and arrangement of the guide member 30 and the guide member 40, the shape, size, and material of the base members 10 and 10A, and the size, number, arrangement, and the like of the Bernoulli chuck 20 are as described above. It is not limited and can be set arbitrarily according to the shape, size, weight, etc. of the workpiece 80 to be held.
  • the guide members do not necessarily have to be disposed opposite to each other.
  • three guide members are arranged at intervals of 120 ° around the circular work. It may be arranged. In that case, the guide guide holes of the work placement tray are formed in accordance with the arrangement of the guide members.
  • two pin-shaped guide members 30 are inserted into one rectangular guide guide hole 72, but the guide guide hole 72 may be formed into two circular or elliptical guide guide holes. Alternatively, one pin-shaped guide member may enter into each of the guide guide holes.
  • a tray (work placement trays 70 and 71) for placing one work 80 flatly and stored is used as a work placement device for placing the work 80 thereon, but in place of the tray, A cassette that stacks and accommodates a large number of works 80 may be used.
  • the application range of the parallel mechanism robot 100 is not limited to the palletizing process of the solar cell wafer 230.

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Abstract

　パラレルメカニズムロボット（１００）に取り付けられた非接触保持装置（１）は、正方形の板状のベース部材（１０）と、ベース部材（１０）の裏面中央部に取り付けられたベルヌーイチャック（２０）と、ベルヌーイチャック（２０）を挟んで対向して配置されて、ベース部材（１０）の裏面に突設された８本のピン状のガイド部材（３０）とを備えている。対向するガイド部材（３０）は、互いに離れる方向に移動可能に構成されており、ワーク載置トレイ（７０，７１）のワーク載置面（７５）にベルヌーイチャック（２０）が近づくに従って、該ワーク載置トレイ（７０，７１）に形成されているガイド案内孔（７２）の内面に沿って、互いに離れる方向に移動する。

Description

移載装置及びワーク載置装置
　本発明は、ワークを移載する移載装置、及び該移載装置と共に用いられるワーク載置装置に関する。
　近年、例えば太陽電池ウェハー、リチウムイオン電池の電極などの比較的薄いワークを移載（ピックアンドプレース）する際に、ワークに直接触れることなくワークを保持することができる非接触保持装置を利用した移載装置が用いられている。このような非接触保持装置を利用した移載装置として高圧エアを噴出して吸引力を発生させるベルヌーイチャックを利用した搬送装置（移載装置）が特許文献１に開示されている。
　特許文献１に開示されている移載装置は、シート状の基板（ワーク）を平板状ステージから取り出して移載するものであり、吸引手段としてのベルヌーイチャックと、平板状ステージに配置されるワークの端部と当接する位置に設けられ、ワークの位置を制御する制御ガイドとを有している。この制御ガイドは、傾斜面が形成された制御部を含み、ワークの端部を制御部に形成された傾斜面に当接させることによって、ベルヌーイチャックによってシート状のワークが吸引されたときに、両者が接触することを防止している。さらに、制御ガイドは、ワークが吸引された状態で搬送される際に、制御部の傾斜面によってワークの平面方向の移動を規制している。
特開２００４－８３１８０号公報
　ところで、一般的に、ワークとしての太陽電池ウェハー、リチウムイオン電池の電極などは、厚さが薄く、強度的にも脆弱である。しかしながら、特許文献１に開示されている移載装置では、上述したように、シート状のワークの端部を制御部に形成された傾斜面に当接させることによって、ベルヌーイチャックによってシート状基板が吸引されたときに、両者が接触することを防止している。そのため、平板状ステージからシート状のワークを取り出す際に、ワークの割れ等の破損を生ずるおそれがある。
　また、特許文献１に開示されている移載装置では、平板状ステージからシート状のワークを取り出す際に、ベルヌーイチャック及び制御ガイドの位置がワークに対してずれると、制御部に形成された傾斜面がワークの周縁部に擦り付けられるおそれがある。このように、ワークを取り出して保持する際（ピックアップ時）、又はワークを載置する際（プレース時）に、ワークの周縁部が擦られることによってエッジにダメージが与えられると、例えば太陽電池ウェハーなどの性能を劣化させる要因となる。
　本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、ワークが載置されているワーク載置装置からワークを取り出して保持する際、及び、保持しているワークをワーク載置装置に載置する際に、搬送時にワークの横ずれを防止するガイド部材がワークの周縁部と接触することを防止することが可能な移載装置、及び該移載装置と共に用いられるワーク載置装置を提供することを目的とする。
　本発明に係る移載装置は、ワークを非接触状態で保持する非接触保持ユニットと、非接触保持ユニットが取り付けられたベース部材と、非接触保持ユニットの周囲に、ワークが搬送される際に該ワークを包囲するように互いに間隔を空けて配置されて、ベース部材に突設された複数のガイド部材と、ベース部材を空間内で移動させる移動機構とを備え、複数のガイド部材は、少なくとも一部分が互いに離れる方向に移動可能に構成されており、ワークが載置されているワーク載置装置からワークが取出される際、又は、保持されているワークがワーク載置装置に載置される際に、ワーク載置装置のワーク載置面に非接触保持ユニットが近づくに従って、複数のガイド部材の少なくとも一部分が、ワーク載置装置に形成されているガイド案内部に沿って、互いに離れる方向に移動することを特徴とする。
　本発明に係る移載装置によれば、ワークが載置されている、又は、ワークを載置するワーク載置装置のワーク載置面に非接触保持ユニットが近づくに従って、非接触保持ユニットの周囲に配置されている複数のガイド部材が、ワーク載置装置に形成されているガイド案内部に沿って、互いに離れる方向に移動する。よって、ワークを取り出す際、又はワークを載置する際に、複数のガイド部材それぞれはワークの周縁部よりも外側に拡げられる。その結果、ワークが載置されているワーク載置装置からワークが取出される際、又は、保持されているワークがワーク載置装置に載置される際に、ガイド部材がワークの周縁部と接触することを防止することが可能となる。
　本発明に係る移載装置では、複数のガイド部材が、非接触保持ユニットを挟んで、対向して配置されていることが好ましい。このように配置すれば、ワーク搬送時に、非接触保持ユニットに保持されているワークの横ずれを効果的に防止することが可能となる。
　本発明に係る移載装置は、複数のガイド部材が互いに離れる程、複数のガイド部材が互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材に付与する付勢部材を備え、複数のガイド部材が、ワーク載置装置のワーク載置面から非接触保持ユニットが離れるに従って、ワーク載置装置に形成されているガイド案内部に沿って、付勢部材の付勢力により、互いに近づく方向に移動することが好ましい。
　この場合、ワークを取り出す際に拡げられていた複数のガイド部材が、ワーク載置装置のワーク載置面から非接触保持ユニットが離れるに従って、付勢部材の付勢力により、互いに近づく方向に移動し、例えば、ワークの周縁部と略当接する位置に移動する。よって、保持されたワークが搬送される際に、ワークの横方向の移動を適切に規制することが可能となる。
　本発明に係る移載装置では、ガイド部材が、円筒状の基端部と、該基端部から連続する円錐状の先端部とを含むことが好ましい。このようにすれば、ワークを搬送する際に、ワークの周縁部とガイド部材との接触面積をより小さくすることができる。また、ガイド部材がワーク載置装置に形成されているガイド案内部に導かれる際に、よりスムーズに移動させることが可能となる。
　本発明に係る移載装置では、上記付勢部材が、トーションバネであることが好ましい。この場合、トーションバネのバネ力を利用して、複数のガイド部材が互いに離れる程、ガイド部材それぞれが互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材に付与することができる。また、トーションバネを用いることにより、可動機構をより小型・軽量化することができる。
　本発明に係る移載装置では、ガイド部材が、弾性体から形成されていることが好ましい。このようにすれば、ワークを取り出す際、又はワークを載置する際に、弾性体の弾性を利用して、複数のガイド部材それぞれをワークの周縁部よりも外側に拡げることができる。また、弾性体の復元力を利用して、複数のガイド部材が互いに離れるように変形する程、複数のガイド部材が互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材４０に付与ことができる。
　ここで、当該ガイド部材は、保持されるワークの外縁に沿った方向に一定の幅を有する板状部材であることが好ましい。このようにすれば、ガイド部材を容易に変形させて拡げることができる。また、ワーク搬送時に、ワークの横方向の移動を安定して規制することができる。
　本発明に係る移載装置では、上記非接触保持ユニットとして、ベルヌーイチャックを用いることが好ましい。この場合、ベルヌーイチャックから噴出された高圧エアがワークとの間から排出されることによってベルヌーイ効果が生じ、吸引力が発生する。よって、ワークを非接触で保持することができる。
　本発明に係る移載装置では、移動機構として、複数のリンクを介して、上記ベース部材を水平に保ったまま移動させるパラレルメカニズムロボットを用いることが好ましい。パラレルメカニズムロボットは、可動部にアクチュエータがなく、軽量化が可能で、高速、高精度に駆動できるという特徴を有するため、非接触保持ユニット及びガイド部材が取り付けられたベース部材を非常に高速で動かすことができる。そのため、移動機構としてパラレルメカニズムロボットを用いることにより、ワークの横ずれを防止しつつ、ワークを高速に移載することが可能となる。
　本発明に係るワーク載置装置は、上記いずれかの移載装置と共に用いられるワーク載置装置であって、移載装置を構成する非接触保持ユニットがワーク載置面に近づくに従って、複数のガイド部材が互いに離れる方向に各ガイド部材を案内するガイド案内部を有することを特徴とする。
　本発明に係るワーク載置装置によれば、非接触保持ユニットの周囲に配置されている複数のガイド部材を、ガイド案内部に沿って案内することにより、ワーク載置面に非接触保持ユニットが近づくに従って、複数のガイド部材を互いに離れる方向に移動させることができる。よって、ワークを取り出す際、又はワークを載置する際に、複数のガイド部材をワークの周縁部よりも外側に拡げることが可能となる。
　本発明によれば、ワークが載置されているワーク載置装置からワークを取り出して保持する際、及び、保持しているワークをワーク載置装置に載置する際に、搬送時にワークの横ずれを防止するガイド部材がワークの周縁部と接触することを防止することが可能となる。
第１実施形態に係る、非接触保持装置が取り付けられたパラレルメカニズムロボットの全体構成を示す斜視図である。 図１中の矢印Ａ１方向から見たパラレルメカニズムロボットを示す図である。 非接触保持装置を底面側から見た斜視図である。 非接触保持装置のガイド部材の可動機構を拡大して示す模式図である。 取出側のワーク載置トレイの平面図である。 図５のＶＩ－ＶＩ線に沿った取出側のワーク載置トレイの断面図である。 載置側のワーク載置トレイの平面図である。 非接触保持装置のガイド部材の動作を説明するための図である。 太陽電池ウェハーのパレタイジング工程の概要を説明するための鳥瞰図である。 第２実施形態に係る非接触保持装置の構成を示す側面図である。 第２実施形態に係る非接触保持装置を底面側から見た斜視図である。 第２実施形態に係る非接触保持装置のガイド部材の動きを説明するための図である。
　以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図において、同一要素には同一符号を付して重複する説明を省略する。
（第１実施形態）
　まず、図１及び図２を併せて用いて、第１実施形態に係る、非接触保持装置１が取り付けられたパラレルメカニズムロボット１００（特許請求の範囲に記載の移載装置に相当）の全体構成について説明する。図１は、非接触保持装置１が取り付けられたパラレルメカニズムロボット１００の全体構成を示す斜視図である。また、図２は、図１中の矢印Ａ１方向から見たパラレルメカニズムロボット１００を示す図である。
　パラレルメカニズムロボット１００は、上部にベース部１０２を有している。パラレルメカニズムロボット１００は、ベース部１０２の下面側に形成された平らな取付面１０２ａ（図２参照）が例えば水平な天井等に固定されることによって支持される。一方、ベース部１０２の下面側には、３つの支持部材１０３が設けられている。各支持部材１０３には、それぞれ電動モータ１０４が支持されている。電動モータ１０４は、モータ軸の軸線Ｃ２がベース部１０２の取付面１０２ａに対して平行（すなわち水平）となるように支持されている。それぞれの支持部材１０３は、ベース部１０２の鉛直方向軸線Ｃ１を中心として等しい角度（１２０度）を開けて配置されており、各電動モータ１０４もまた、ベース部１０２の鉛直方向軸線Ｃ１を中心として等しい角度（１２０度）を開けて配置される（図２参照）。
　各電動モータ１０４の出力軸には、軸線Ｃ２に対して同軸に略六角柱形状のアーム支持部材１０５が固定されている。アーム支持部材１０５は、電動モータ１０４が駆動されることにより軸線Ｃ２を中心として回転する。なお、各電動モータ１０４は、モータドライバを含む電子制御装置１３０に接続されており、電動モータ１０４の出力軸の回転がこの電子制御装置１３０によって制御される。
　パラレルメカニズムロボット１００は、３本のアーム本体１０６を有しており、各アーム本体１０６は、第１アーム１０７及び第２アーム１０８を含んで構成される。第１アーム１０７は、例えば炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）等で形成された長尺の中空円筒部材である。第１アーム１０７の基端部は、アーム支持部材１０５の側面に取り付けられている。第１アーム１０７は、その軸線が上述した軸線Ｃ２と直交するように固定される。
　第１アーム１０７の遊端部には、第２アーム１０８の基端部が連結され、第２アーム１０８が、第１アーム１０７の遊端部を中心として揺動できるように構成されている。第２アーム１０８は、一対の長尺のロッド１０９，１０９を含んで構成されており、一対のロッド１０９，１０９は、その長手方向において互いに平行となるように配置されている。ロッド１０９も、例えば炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）等で形成された長尺の中空円筒部材である。各ロッド１０９の基端部は、第１アーム１０７の遊端部に、一対のボールジョイント１１０，１１０によって連結されている。なお、各ロッド１０９の基端部における各ボールジョイント１１０，１１０間を結ぶ軸線Ｃ３は、電動モータ１０４の軸線Ｃ２に対して平行となるよう配置されている。
　また、第２アーム１０８の基端部付近において一方のロッド１０９と他方のロッド１０９とが連結部材１１１で互いに連結されており、第２アーム１０８の遊端部付近において一方のロッド１０９と他方のロッド１０９とが連結部材１１２で互いに連結されている。連結部材１１１、及び連結部材１１２は、例えば、付勢部材としての引張コイルバネを有しており、一対のロッド１０９，１０９を互いに引き合う方向に付勢する。なお、連結部材１１１と連結部材１１２とは、異なる構造であっても構わないが同一構造であることが低コストの観点から好ましい。いずれの連結部材１１１，１１２も、各ロッド１０９が自身の長手方向に平行な軸線まわりに回転することを防止する機能を有する。
　また、パラレルメカニズムロボット１００は、非接触保持装置１（詳細は後述する）を回動可能に取り付けるためのブラケット１１４を有している。ブラケット１１４は、略正三角形状をした板状部材である。このブラケット１１４は、３本のアーム本体１０６によって、ブラケット１１４の非接触保持装置１の取付面１１４ａ（図１におけるブラケット１１４の下面）がベース部１０２の取付面１０２ａと平行（すなわち水平）になるように保持される。
　すなわち、ブラケット１１４の各辺には取付片１１５が形成されており、各取付片１１５がそれぞれのアーム本体１０６の遊端部（第２アーム１０８を構成する一対のロッド１０９，１０９の遊端部）に連結されることで、ブラケット１１４は、各アーム本体１０６に対して、各アーム本体１０６の遊端部を中心として揺動する。詳しくは、ブラケット１１４の各取付片１１５の各端部が、対応する各ロッド１０９，１０９の遊端部に各ボールジョイント１１６，１１６によって連結される。一対のボールジョイント１１６，１１６を結ぶ軸線Ｃ４（図２参照）は、各ロッド１０９のボールジョイント部１１０と１１６との間の距離が全て等しいことにより各アーム本体１０６に対応する軸線Ｃ３と平行になるため、電動モータ１０４の軸線Ｃ２に対しても平行となる。このため、各アーム本体１０６が駆動される際に、ブラケット１１４は、水平面に対して平行に移動することにより各アーム本体１０６に対して揺動する。そして、略正三角形状のブラケット１１４のすべての辺において、水平面に対して平行に移動できるように、ブラケット１１４が３本のアーム本体１０６によって支持されている。
　上述したように、第１アーム１０７と第２アーム１０８との連結部における一対のボールジョイント１１０，１１０間の距離と、第２アーム１０８の各ロッド１０９とブラケット１１４との連結部における一対のボールジョイント１１６，１１６間の距離とは等しく設定されている。そのため、第２アームを構成する一対のロッド１０９，１０９は、必ずその長手方向の全長において互いに平行に配置される。ここで、軸線Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４のいずれもが、ベース部１０２の取付面１０２ａに平行であるから、３つの第１アーム１０７それぞれが軸線Ｃ２を中心にどのように回動したとしても、ブラケット１１４の非接触保持装置１の取付面１１４ａとベース部１０２の取付面１０２ａとの平行関係が維持される。
　そして、電子制御装置１３０からの指令に応じて、各電動モータ１０４の出力軸に固定されたアーム支持部材１０５の回転位置が制御されることで、各第１アーム１０７の遊端部の位置が制御される。この制御された各第１アーム１０７の遊端部の位置に、各第２アーム１０８の遊端部の位置が追従し、その結果、ブラケット１１４の非接触保持装置１の取付面１１４ａの位置が一意に決まる。このとき、上述したように、ブラケット１１４は、水平姿勢を維持したまま移動する。
　また、パラレルメカニズムロボット１００は、その中央にベース部１０２から下方に延びる旋回軸ロッド１２０と、この旋回軸ロッド１２０を回転するための電動モータ１２１とを有する。電動モータ１２１は、その軸出力を鉛直下方に向けた状態でベース部１０２に固定されている。旋回軸ロッド１２０の一端部は、自在継手（以下「ユニバーサルジョイント」という）１２２、及び、複数のギヤの組み合わせにより構成された減速機１２４を介して電動モータ１２１の出力軸に連結されている。なお、本実施形態では減速機１２４の減速比を５とした。一方、旋回軸ロッド１２０の他端部は、ユニバーサルジョイント１２３を介して非接触保持装置１に接続されている。さらに、非接触保持装置１及びユニバーサルジョイント１２３の下方接続部は、その中心軸が鉛直方向となるようにベアリング等を介してブラケット１１４に回転自在に固定されている。
　旋回軸ロッド１２０は、ロッド１２０ａとシリンダ１２０ｂとにより実現され、伸縮自在に構成されている。ここで、旋回軸ロッド１２０はボールスプラインであり、ロッド１２０ａの回転をシリンダ１２０ｂに伝達することが可能である。また、旋回軸ロッド１２０の両端部にユニバーサルジョイント１２２，１２３が採用されているため、ブラケット１１４が３つの電動モータ１０４の駆動により上下、前後左右の所定の位置に移動したとしても、旋回軸ロッド１２０は、その所定位置に追従して移動することができる。なお、以下、旋回軸ロッド１２０、及びユニバーサルジョイント１２２，１２３を含む構成を旋回軸１２５という。
　すなわち、電動モータ１２１と非接触保持装置１との間では、減速機１２４、ユニバーサルジョイント１２２、旋回軸ロッド１２０（ロッド１２０ａ，シリンダ１２０ｂ）、ユニバーサルジョイント１２３の機械要素が直列に接続されており、電動モータ１２１の回転駆動力は、直列に接続されたこれらの機械要素を介して、非接触保持装置１に伝達される。電動モータ１２１は、電子制御装置１３０に接続されており、電動モータ１２１の回転がこの電子制御装置１３０により制御されることにより、非接触保持装置１の回転角度位置が制御される。
　上述したように、電子制御装置１３０は、３つの電動モータ１０４を制御することによってアーム本体１０６を駆動し、非接触保持装置１を目標位置まで動かす。また、電子制御装置１３０は、電動モータ１２１を制御することによって旋回軸ロッド１２０を駆動し、非接触保持装置１を目標回転角度位置まで回転させる。電子制御装置１３０としては、例えば、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）、又は専用の制御用コンピュータ等が好適に用いられる。電子制御装置１３０は、演算を行うマイクロプロセッサ、マイクロプロセッサに各処理を実行させるためのプログラム等を記憶するＲＯＭ、演算結果などの各種データを一時的に記憶するＲＡＭ等により構成されている。
　また、電子制御装置１３０には、オペレータによる操作入力を受け付ける設定手段およびパラレルメカニズムロボット１００の状態や設定内容を表示する表示手段としての入出力装置１３１が接続されている。なお、入出力装置１３１としては、例えば、タッチパネルディスプレイ、又は、液晶ディスプレイとキーボード等が好適に用いられる。オペレータは、入出力装置１３１を用いて、電動モータ１０４，１２１の制御データを設定することができる。電子制御装置１３０は、設定された制御データを用いてＲＯＭに記憶されているプログラムを実行することにより、電動モータ１０４及び電動モータ１２１を駆動して、非接触保持装置１の３次元空間における位置（ｘ，ｙ，ｚ）及び回転角度（θ）を制御する。
　続いて、図３を用いて、ブラケット１１４を介して旋回軸ロッド１２０の他端に取り付けられている非接触保持装置１の構造について説明する。ここで、図３は、非接触保持装置１を底面側から見た斜視図である。
　非接触保持装置１は、高圧エアを噴出して吸引力を発生させ、ワーク８０（図８等参照）を非接触状態で保持するベルヌーイチャック２０と、ベルヌーイチャック２０の周囲に所定の間隔を空けて配置され、ワーク８０の搬送時に該ワーク８０の横ずれを防止する複数（本実施形態では８本）のガイド部材３０と、ベルヌーイチャック２０及びガイド部材３０が取り付けられるチャックベース（特許請求の範囲に記載のベース部材に相当）１０とを備えている。
　チャックベース１０は、外形寸法が、保持されるワーク８０よりも一回り大きく形成された、正方形の板状の部材である。チャックベース１０は、軽量で強度に優れる工業用プラスチック等から形成されている。なお、チャックベース１０の形状、寸法などは、保持されるワークの形状、寸法などに応じて設定されることが好ましい。チャックベース１０の上面中央部にはアタッチメント１２が取り付けられている。このアタッチメント１２により、チャックベース１０は、ブラケット１１４を介して旋回軸ロッド１２０と接続されており、旋回軸ロッド１２０によって回動可能に構成されている。
　ベルヌーイチャック２０は、チャックベース１０の下面側に取り付けられる円柱状の本体２１を有している。円柱状の本体２１の端面には凹部２２が形成されている。そして、ベルヌーイチャック２０は、本体２１に形成された凹部２２の開口面が、保持されるワーク８０と対向するように、すなわち、凹部２２の開口面が下側を向くようにして取り付けられる。ベルヌーイチャック２０の本体２１の開口面は、ワーク８０を非接触で保持するワーク保持面を形成する。
　本体２１の凹部２２に臨む面には、凹部２２内に高圧エアを噴出するための噴出孔２３が複数（本実施形態では９０度間隔で４つ）形成されている。噴出孔２３は、本体２１の側面から凹部２２の底面にかけて、凹部２２の内周面と接する方向に、本体２１を斜め下方向に貫通するように形成されている。各噴出孔２３にはエア配管（図示省略）が取り付けられている。このエア配管は、高圧エアを供給するエアポンプ（図示省略）に接続されている。
　エアポンプからエア配管を通して噴出孔２３に高圧エアが供給されると、噴出孔２３を通して凹部２２内に高圧エアが噴出される。噴射された高圧エアは、凹部２２の内周面に沿って斜め下方向に進み、開口端面とワーク８０との隙間から排出される。これによって、高圧エアが凹部２２の内周面から開口端面に突入する際に流速が上がり、凹部２２の内部圧力が下降する。この負圧によって、ワーク８０に対して吸引力が発生する。その結果、ワーク８０が非接触保持される。ベルヌーイチャック２０は、特許請求の範囲に記載の非接触保持ユニットとして機能する。
　チャックベース１０の下面側には、複数（本実施形態では８本）のピン状のガイド部材３０が、チャックベース１０に対して垂直方向に突設されている。８本のガイド部材３０は、ベルヌーイチャック２０の周囲に、ワーク８０が搬送される際に該ワーク８０を包囲するように互いに間隔を空けて配置されている。より詳細には、ガイド部材３０は、チャックベース１０の各辺の端部に間隔を空けて２本ずつ組となって（合計４組）配置され、各組のガイド部材３０がベルヌーイチャック２０を挟んで、対向するように配置されている。また、ガイド部材３０は、定常状態で、保持されたワーク８０と略当接するように、より詳細には、ガイド部材３０とワーク８０の各辺とが、０．１～０．２ｍｍ程度のクリアランスを有するように配置されている。なお、ガイド部材３０の配置は、ワーク８０の形状等に応じて設定することが好ましい。
　各ガイド部材３０は、その一端がチャックベース１０に取り付けられる円柱状の基端部３０ａと、該基端部３０ａから連続する略円錐状の先端部３０ｂとを含んで構成されている。各ガイド部材３０の全長は、ベルヌーイチャック２０の高さ方向の寸法よりも長く設定されており、各ガイド部材３０の先端は、ベルヌーイチャック２０のワーク保持面よりも下側に突出している。各ガイド部材３０は、例えば、ＵＨＰＥ（Ｕｌｔｒａ　Ｈｉｇｈ　Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｗｅｉｇｈｔ　Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ：超高分子量ポリエチレン）やＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、あるいは、これらにＰＴＦＥ（四フッ化エチレン）等を充填して摩擦を低減した高分子材料などから形成されている。
　対向するガイド部材３０は、互いに離れる方向に移動可能に構成されており、ワーク８０が載せて置かれている取出側のワーク載置トレイ７０（図５，６参照）からワーク８０が取出される際、又は、保持されているワーク８０が載置側のワーク載置トレイ７１（図７参照）に載置される際に、ワーク載置トレイ７０，７１のワーク載置面７５に非接触保持装置１（ベルヌーイチャック２０）が近づくに従って、ワーク載置トレイ７０，７１に形成されているガイド案内孔７２に沿って、互いに離れる方向に移動する。なお、ワーク載置トレイ７０，７１は、特許請求の範囲に記載のワーク載置装置に相当する。また、ガイド案内孔７２は、特許請求の範囲に記載のガイド案内部に相当する。
　ここで、図４を参照しつつ、ガイド部材３０の可動機構について説明する。図４は、一つのガイド部材３０の可動機構を拡大して示す模式図である。なお、他のガイド部材３０の可動機構も同一の構成とされている。チャックベース１０の各辺の端部には、当該辺と直交する方向に長孔１１が形成されている。ガイド部材３０は、その上端が、長孔１１、及び、チャックベース１０を上下から挟むように配設された２枚のワッシャ３１，３２を貫くように設けられる。そして、ガイド部材３０とワッシャ３１，３２とは、ガイド部材３０の上端側から螺子３３により締結されている。これにより、ピン状のガイド部材３０が長孔１１から抜けることなく、且つ長孔１１に沿って摺動可能に、長孔１１に取り付けられる。
　また、チャックベース１０の上面には、トーションバネ３４が取り付けられている。トーションバネ３４は、長孔１１の軸線方向に沿って内部方向に付勢力（引張り力）が発生するように、長孔１１の軸線に沿って該長孔１１よりも内側に配置される。トーションバネ３４の一端は、チャックベース１０の上面にピン３６を介して係止されており、他端はチャックベース１０の上面側に取り付けられたワッシャ３１にピン３７を介して係止されている。なお、トーションバネ３４の他端は、螺子３３の頭部に同軸に係止されていてもよい。これにより、トーションバネ３４は、ガイド部材３０が長孔１１の一端（内部側）に当接する方向に作用する付勢力をガイド部材３０に付与する。
　このようにトーションバネ３４によって付勢されることにより、ガイド部材３０は、定常状態において、長孔の一端側（内部側）に当接される。すなわち、ガイド部材３０は、定常状態で、保持されたワーク８０と略当接するように、より詳細には、ガイド部材３０とワーク８０の各辺とが、０．１～０．２ｍｍ程度のクリアランスを有するように配置される。一方、後述するワーク載置トレイ７０からワーク８０を取り出す際、又は、ワーク載置トレイ７１にワーク８０を載置する際には、ワーク載置トレイ７０，７１に形成されたガイド案内孔７２により、対向するガイド部材３０が互いに離れる方向（外部側）に長孔１１に沿って移動する。このとき、トーションバネ３４は、対向するガイド部材３０が長孔１１に沿って互いに離れる方向に移動する程、ガイド部材３０が互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材３０に付与する。そのため、ワーク載置トレイ７０からワーク８０を取り出した後、又は、ワーク載置トレイ７１にワーク８０を載置した後に、ワーク載置トレイ７０，７１のワーク載置面からベルヌーイチャック２０が離れるに従って、対向するガイド部材３０は、トーションバネ３４の付勢力により、ワーク載置トレイ７０，７１に形成されているガイド案内孔７２に沿って、互いに近づく方向に移動し、定常位置に戻る。
　ここで、図５～７を併せて参照しつつ、ワーク８０を移載する際に、非接触保持装置１が取り付けられたパラレルメカニズムロボット１００と共に用いられるワーク載置トレイ７０，７１について説明する。図５は、取出側のワーク載置トレイ７０の平面図であり、図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に沿った、ワーク載置トレイ７０の縦断面図である。図７は、載置側のワーク載置トレイ７１の平面図である。なお、保持するワーク８０が載せて置かれている取出側のワーク載置トレイ７０と、保持しているワーク８０を載置する載置側のワーク載置トレイ７１とは、載せて置くことができるワーク８０の数のみが異なり、その他の構成は同一である。ちなみに、取出側のワーク載置トレイ７０は、２枚のワーク８０を載置できるように、２つのワーク載置面７５を有している。一方、載置側のワーク載置トレイ７１は、６枚のワーク８０を載置できるように、６つ（２×３）のワーク載置面７５を有している。なお、図５では、図面左側のワーク載置面７５にのみワーク８０が載置された状態を示している。また、図６では、４つのワーク載置面７５にワーク８０が載置された状態を示している。
　ワーク載置トレイ７０，７１の上面には、ワーク８０を載置する正方形のワーク載置面７５が形成されている。ワーク載置面７５は、ワーク８０の寸法と略同一の寸法に形成されている。ワーク載置面７５の各辺の略中央部の外側には、各辺に沿って、ガイド部材３０を案内する略矩形のガイド案内孔７２が形成されている。ガイド案内孔７２の内側面は、開口部から孔の中心方向に向かって傾斜している傾斜部（傾斜領域）７２ａと、該傾斜部７２ａから下側に滑らかに連続する垂直部（垂直領域）７２ｂとを含んでいる。ガイド案内孔７２は、ベルヌーイチャック２０が下降してワーク載置面７５に近づくに従って、傾斜部７２ａに沿って、対向するガイド部材３０が互いに離れる方向に各ガイド部材３０を案内する。また、ガイド案内孔７２は、ベルヌーイチャック２０が上昇してワーク載置面７５から離れるに従って、傾斜部７２ａに沿って、対向するガイド部材３０が互いに近づく方向に各ガイド部材３０を案内する。なお、１つのガイド案内孔７２には、２本のガイド部材３０が進入できるように構成されている。
　また、ワーク載置トレイ７０，７１のガイド案内孔７２の両側には、ワーク載置面７５の各辺に沿って、断面が台形状をしたワーク案内突起７４が設けられている。ワーク案内突起７４は、ワーク８０が載置される際に、該ワーク８０を所定の位置に誘導するものである。すなわち、ベルヌーイチャック２０に保持されたワーク８０は、載置される際に、ワーク案内突起７４の傾斜面に沿って誘い込まれ、ワーク載置面７５の所定位置に載置される。
　さらに、ワーク載置面７５の中心部分には、円形の貫通孔７３が形成されている。この貫通孔７３は、ベルヌーイチャック２０でワーク８０を取り出すときに、下側からエアが供給されることにより、ワーク載置トレイ７０，７１が負圧で引っ張られないようにするために設けられた、エア抜き用の孔である。
　ここで、図８を参照しつつ、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を取り出しに行くときのガイド部材３０の動きを説明する。なお、図８は、非接触保持装置１のガイド部材３０の動作を説明するための図であり、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を取り出しに行くときのガイド部材３０の動きを上から順に時系列に示したものである。まず、図８の上段に示されるように、ベルヌーイチャック２０が鉛直方向（矢印Ａ２）に下降し、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５に接近する。
　その後、図８の中段に示されるように、ガイド部材３０がガイド案内孔７２の内側面と接し、ベルヌーイチャック２０が下降してワーク載置面７５に接近するに従って、ガイド案内孔７２の傾斜部７２ａに沿って、対向するガイド部材３０が互いに離れる方向（矢印Ａ３）に徐々に拡張される。そのため、各ガイド部材３０は、ワーク８０の周縁部と接触しない。
　そして、図８の下段に示されるように、対向するガイド部材３０がガイド案内孔７２により拡張された状態で、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を非接触保持する。よって、ガイド部材３０がワーク８０の周縁部と接触することなく、ワーク８０を保持して取り出すことができる。なお、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を取り出した後、ベルヌーイチャック２０が鉛直方向に上昇し、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５から離れるに従って、対向するガイド部材３０は、トーションバネ３４の付勢力により、ワーク載置トレイ７０に形成されているガイド案内孔７２の内側面に沿って互いに近づく方向に移動し、定常位置に戻る。その間、ワーク８０は、ベルヌーイチャック２０により吸着保持されており、ワーク８０とガイド部材３０との相対位置は、高さ方向には変わることなく、徐々にクリアランスが小さくなっていく。そのため、ワーク８０は、ガイド部材３０の軸方向に擦られることなく横方向の移動が規制される。これにより、搬送中のワーク８０の横ずれが防止される。
　次に、図９を用いて、パラレルメカニズムロボット１００の動作について説明する。ここでは、太陽電池用ウェハー（ワーク）のパレタイジング工程において、非接触保持装置１（ベルヌーイチャック２０）が、取出側のワーク載置トレイ７０から太陽電池ウェハー２３０を取り出した後に、該太陽電池ウェハー２３０の回転角度位置を合わせつつ、載置側のワーク載置トレイ７１まで搬送する場合を例にして説明する。なお、太陽電池ウェハー２３０の搬送後から、次の太陽電池ウェハー２３０の取り出しまでの移動の動作は、以下に説明する動作と動作方向が逆になること以外は同一又は同様であるので、ここでは説明を省略する。なお、図９は、太陽電池のパレタイジング工程の概要を説明するための鳥瞰図である。
　まず、図９を参照しつつ、太陽電池ウェハー２３０のパレタイジング工程の概要について説明する。この工程では、第１コンベア２００、及び第２コンベア２０１が互いに並行に配置されるとともに、これら２本のコンベアの上方にパラレルメカニズムロボット１００が設置されている。第１コンベア２００及び第２コンベア２０１それぞれは、図面右側から左側へ所定の速度もしくは一時停止を繰り返しながらピッチ送りで移動している。第１コンベア２００上には取出側のワーク載置トレイ７０に載置された太陽電池ウェハー２３０が流れている。ここで、太陽電池ウェハー２３０は、例えば、縦１５６×横１５６×厚さ０．１～０．２ｍｍの正方形の薄板である。一方、第２コンベア２０１には太陽電池ウェハー２３０が揃えて収納される載置側のワーク載置トレイ７１が乗って流れている。ここで、載置側のワーク載置トレイ７１は、升目状に仕切られた６つ（２×３）のワーク載置面７５を有し、パラレルメカニズムロボット１００により、ワーク載置トレイ７０に載置されている太陽電池ウェハー２３０がワーク載置トレイ７１の各ワーク載置面７５に移載される。
　パラレルメカニズムロボット１００は、アーム本体１０６を駆動して非接触保持装置１（ベルヌーイチャック２０）を移動させ、ワーク載置トレイ７０に載置されている太陽電池ウェハー２３０に近づいた後、該太陽電池ウェハー２３０を非接触保持装置１で取り出してはワーク載置トレイ７１まで搬送するといった動作を繰り返し実行する。また、パラレルメカニズムロボット１００は、正方形の太陽電池ウェハー２３０の向きを、該太陽電池ウェハー２３０を保持して搬送するときに非接触保持装置１を回転させてワーク載置トレイ７１のワーク載置面７５の向きに合わせ、太陽電池ウェハー２３０をワーク載置トレイ７１のワーク載置面７５に収納する。
　より詳細に説明すると、第１コンベア２００には、第１コンベア２００の移動量を検出する第１エンコーダ２１０が取り付けられている。第１エンコーダ２１０は、検出された第１コンベア２００の移動量を電子制御装置１３０に出力する。一方、第２コンベア２０１には、第２コンベア２０１の移動量を検出する第２エンコーダ２１１が取り付けられている。第２エンコーダ２１１は、検出された第２コンベア２０１の移動量を電子制御装置１３０に出力する。また、第１コンベア２００の上方には、例えばＣＣＤカメラ等の撮像装置２２０が取り付けられている。撮像装置２２０は、流れてくるワーク載置トレイ７０に載置されている太陽電池ウェハー２３０を撮像して、太陽電池ウェハー２３０の重心位置と向き（角度）を求め、電子制御装置１３０に出力する。さらに、第２コンベア２０１には、ワーク載置トレイ７１の先端部を検出する光学センサ２２１が取り付けられている。光学センサ２２１は、検出信号を電子制御装置１３０に出力する。上記のごとく、非接触保持装置１の回転と撮像装置２２０の位置検出とにより、ワーク載置トレイ７０が第１コンベア２００上を不等ピッチあるいは任意の向き（角度）で流れてきた場合であっても、電子制御装置１３０が非接触保持装置１の位置を適切に制御し、太陽電池ウェハー２３０を取り出すことが可能となる。
　電子制御装置１３０は、太陽電池ウェハー２３０の重心位置と第１コンベア２００の移動量とに基づいて太陽電池ウェハー２３０の位置を演算する。また、電子制御装置１３０は、ワーク載置トレイ７１の先端部の検出信号と第２コンベア２０１の移動量とに基づいてワーク載置トレイ７１の位置を演算する。電子制御装置１３０は、求められた太陽電池ウェハー２３０の位置とワーク載置トレイ７１の位置とに基づいて、各電動モータ１０４を回転してアーム本体１０６を駆動し、ワーク載置トレイ７０に水平に置かれた太陽電池ウェハー２３０に上方からアクセスして太陽電池ウェハー２３０を取り出した後に空間内を搬送し、ワーク載置トレイ７１に上方からアクセスして保持している太陽電池ウェハー２３０をワーク載置トレイ７１に水平に載置する。
　より詳細には、太陽電池ウェハー２３０をワーク載置トレイ７０から取り出す際には、ベルヌーイチャック２０が鉛直方向に下降し、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５に接近する。その後、ガイド部材３０がガイド案内孔７２の内側面と接し、ベルヌーイチャック２０が下降してワーク載置面７５に接近するに従って、ガイド案内孔７２の傾斜部７２ａに沿って、対向するガイド部材３０が互いに離れる方向に徐々に拡張される。そして、ガイド部材３０がガイド案内孔７２により拡張された状態で、ベルヌーイチャック２０が太陽電池ウェハー２３０を非接触保持する。よって、ガイド部材３０が太陽電池ウェハー２３０の周縁部と接触することなく、太陽電池ウェハー２３０を保持して取り出すことができる。ベルヌーイチャック２０が太陽電池ウェハー２３０を取り出した後、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５からベルヌーイチャック２０が上昇して離れるに従って、対向するガイド部材３０は、トーションバネ３４の付勢力により、ワーク載置トレイ７０に形成されているガイド案内孔７２の内側面に沿って互いに近づく方向に移動し、定常位置に戻る。これにより、搬送中の太陽電池ウェハー２３０の横ずれが防止される。
　同様に、太陽電池ウェハー２３０をワーク載置トレイ７１に載置する際には、太陽電池ウェハー２３０を保持したベルヌーイチャック２０が鉛直方向に下降し、ワーク載置トレイ７１のワーク載置面７５に接近する。その後、ガイド部材３０がガイド案内孔７２の内側面と接し、ベルヌーイチャック２０が下降してワーク載置面７５に接近するに従って、ガイド案内孔７２の傾斜部７２ａに沿って、対向するガイド部材３０が互いに離れる方向に徐々に拡張される。そして、ガイド部材３０がガイド案内孔７２により拡張された状態で、ベルヌーイチャック２０が太陽電池ウェハー２３０をワーク載置トレイ７１のワーク載置面７５に載置する。よって、ガイド部材３０が太陽電池ウェハー２３０の周縁部と接触することなく、太陽電池ウェハー２３０を載置することができる。なお、ベルヌーイチャック２０が太陽電池ウェハー２３０を載置した後、ワーク載置トレイ７１のワーク載置面７５からベルヌーイチャック２０が離れるに従って、対向するガイド部材３０は、トーションバネ３４の付勢力により、ワーク載置トレイ７１に形成されているガイド案内孔７２の内側面に沿って互いに近づく方向に移動し、定常位置に戻る。
　また、電子制御装置１３０は、太陽電池ウェハー２３０を搬送しているときに、求められた太陽電池ウェハー２３０の向きに基づいて、電動モータ１２１を駆動して旋回軸（すなわち非接触保持装置１）を回転し、太陽電池ウェハー２３０の向きをワーク載置トレイ７１のワーク載置面７５に合わせる。以上の動作が実時間で繰り返して実行されることにより、第１コンベア２００の上を流れるワーク載置トレイ７０に載置されている太陽電池ウェハー２３０が、第２コンベア２０１の上を流れるワーク載置トレイ７１に揃えて収納される。太陽電池ウェハー２３０をワーク載置トレイ７０から取り出す際、又は、ワーク載置トレイ７１に載置する際、パラレルメカニズムロボット１００の手先位置精度、第１コンベア２００及び第２コンベア２０１の位置精度、撮像装置２２０の検出位置精度の他、装置各所の振動等により、非接触保持装置１とワーク載置トレイ７０，７１との相対位置は若干のズレを生じる。本実施形態によれば、ガイド部材３０の拡張により、そのズレを吸収して、太陽電池ウェハー２３０の周縁部と接触することなく、取り出し、又は載置することが可能となる。
　本実施形態によれば、ベルヌーイチャック２０の周囲に配置されている８本のガイド部材３０が、ワーク載置トレイ７０，７１のワーク載置面７５にベルヌーイチャック２０が近づくに従って、ワーク載置トレイ７０，７１に形成されているガイド案内孔７２に沿って、互いに離れる方向に移動する。よって、ワーク８０を取り出す際、又はワーク８０を載置する際に、８本のガイド部材３０それぞれはワーク８０の周縁部よりも外側に拡げられる。その結果、ワーク８０が載置されているワーク載置トレイ７０からワーク８０が取出される際、又は、保持されているワーク８０がワーク載置トレイ７１に載置される際に、ガイド部材３０がワーク８０の周縁部と接触することを防止することが可能となる。その結果、例えば太陽電池ウェハーなどのワークの取り出し時又は載置時に、ワークのエッジにダメージが与えられることによる性能の劣化を防止することができる。
　本実施形態によれば、８本のガイド部材３０が、ベルヌーイチャック２０を挟んで、対向して配置されているため、ワーク８０搬送時に、ベルヌーイチャック２０に保持されているワーク８０の横ずれを効果的に防止することが可能となる。
　本実施形態によれば、ワーク８０を取り出す際に拡げられていた８本のガイド部材３０が、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５からベルヌーイチャック２０が離れるに従って、トーションバネ３４の付勢力により、互いに近づく方向に移動し、例えば、ワーク８０の周縁部と略当接する位置に移動する。よって、保持されたワーク８０が搬送される際に、ワーク８０の横方向の移動を適切に規制することが可能となる。
　本実施形態によれば、ガイド部材３０が、円筒状の基端部３０ａ、及び該基端部３０ａから連続する円錐状の先端部３０ｂから構成されているため、ワーク８０を搬送する際に、ワーク８０の周縁部とガイド部材３０との接触面積をより小さくすることができる。また、ガイド部材８０がワーク載置トレイ７０，７１に形成されているガイド案内孔７２に導かれる際に、よりスムーズに移動させることが可能となる。
　本実施形態によれば、トーションバネ３４のバネ力を利用して８本のガイド部材３０が互いに離れる程、ガイド部材３０それぞれが互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材３０に付与することができる。また、トーションバネ３４を用いることにより、可動機構を小型・軽量化することができる。
　本実施形態によれば、ベルヌーイチャック２０から噴出された高圧エアがワーク８０との間から排出されることによってベルヌーイ効果が生じ、吸引力が発生する。よって、ワーク８０を非接触で保持することができる。
　パラレルメカニズムロボット１００は、可動部にアクチュエータがなく、軽量化が可能で、高速、高精度に駆動できるという特徴を有するため、ベルヌーイチャック２０及びガイド部材３０が取り付けられたベース部材１０を非常に高速で動かすことができる。そのため、移動機構としてパラレルメカニズムロボット１００を用いることにより、ワーク８０の横ずれを防止しつつ、ワーク８０を高速に移載することが可能となる。
　本実施形態に係るワーク載置トレイ７０，７１によれば、ベルヌーイチャック２０の周囲に配置されている８本のガイド部材３０を、ガイド案内孔７２に沿って案内することにより、ワーク載置面７５にベルヌーイチャック２０が近づくに従って、８本のガイド部材３０を互いに離れる方向に移動させることができる。よって、ワーク８０を取り出す際、又はワーク８０を載置する際に、８本のガイド部材３０をワーク８０の周縁部よりも外側に拡げることが可能となる。
（第２実施形態）
　上述した非接触保持装置１ではピン状のガイド部材３０を用いたが、ピン状のガイド部材３０に代えて、板状のガイド部材を用いることもできる。次に、図１０及び図１１を用いて、第２実施形態に係る非接触保持装置２の構成について説明する。図１０は、非接触保持装置２の構成を示す側面図である。また、図１１は、ワーク８０を保持した非接触保持装置２を底面側から見た斜視図である。なお、図１０，１１において第１実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号が付されている。
　非接触保持装置２は、ピン状のガイド部材３０に代えて、弾性体から形成された板状のガイド部材４０を備えている点で非接触保持装置１と異なっている。また、非接触保持装置２は、図４で示した可動機構を有していない点で非接触保持装置１と異なっている。その他の構成は、上述した非接触保持装置１と同一であるので、ここでは説明を省略する。また、非接触保持装置２以外のパラレルメカニズムロボットの構成についても、上述した第１実施形態に係るパラレルメカニズムロボット１００と同一であるので、ここでは説明を省略する。
　チャックベース１０Ａの下面側には、複数（本実施形態では４つ）の板状のガイド部材４０が、チャックベース１０Ａの下面に対して垂直方向に突設されている。４つのガイド部材４０は、ベルヌーイチャック２０の周囲に、ワーク８０を搬送する際に該ワーク８０を包囲するように互いに間隔を空けて配置されている。より詳細には、各ガイド部材４０は、チャックベース１０Ａの各辺の端部に配置され、ガイド部材４０がベルヌーイチャック２０を挟んで、対向するように配置されている。また、ガイド部材４０は、定常状態で、保持されたワーク８０と略当接するように、より詳細には、ガイド部材４０とワーク８０の各辺とが、０．１～０．２ｍｍ程度のクリアランスを有するように配置されている。なお、ガイド部材４０の配置は、ワーク８０の形状等に応じて設定することが好ましい。
　各ガイド部材４０の高さは、ベルヌーイチャック２０の高さ方向の寸法よりも長く設定されており、各ガイド部材４０の先端は、ベルヌーイチャック２０のワーク保持面よりも下側に突出している。ガイド部材４０の先端部は、内側が斜めにカットされている。これにより、ガイド案内孔７２の内側面とスムーズに接することができる。また、ガイド部材４０は、保持されるワーク８０の外縁に沿った方向に一定の幅（例えば３５ｍｍ程度）を有している。各ガイド部材４０は、例えば、フッ素ゴム、ウレタンゴム又はシリコンゴムなどの弾性体から形成されている。また、その表面には、滑りを良くし、耐磨耗性を向上させるために、例えば、ＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）コーティングなどを施してもよい。
　対向するガイド部材４０は、その弾性を利用して、その下端部が互いに離れる方向に変形（移動）可能に構成されている。そのため、ワーク８０が載せて置かれている取出側のワーク載置トレイ７０からワーク８０が取出される際、又は、保持されているワーク８０が載置側のワーク載置トレイ７１に載置される際に、ワーク載置トレイ７０，７１のワーク載置面７５に非接触保持装置２（ベルヌーイチャック２０）が近づくに従って、ワーク載置トレイ７０，７１に形成されているガイド案内孔７２に沿って、対向するガイド部材４０が互いに離れる方向に下端部が反り返るように変形する。
　このとき、対向するガイド部材４０が互いに離れる方向に変形する程、各ガイド部材４０には、対向するガイド部材４０が互いに近づく方向に復元力（付勢力）が発生する。そのため、ワーク載置トレイ７０からワーク８０を取り出した後、又は、ワーク載置トレイ７１にワーク８０を載置した後に、ワーク載置トレイ７０，７１のワーク載置面からベルヌーイチャック２０が離れるに従って、対向するガイド部材４０は、ワーク載置トレイ７０，７１に形成されているガイド案内孔７２に沿って、自身の復元力（付勢力）により、互いに近づく方向に移動し、定常位置に戻る。すなわち、ガイド部材４０は、特許請求の範囲に記載の付勢部材としても機能する。
　ここで、図１２を参照しつつ、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を取り出しに行くときのガイド部材４０の動きを説明する。なお、図１２は、非接触保持装置２のガイド部材４０の動きを説明するための図である。まず、ベルヌーイチャック２０が鉛直方向に下降し、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５に接近する。その後、ガイド部材４０がガイド案内孔７２の内側面と接し、ベルヌーイチャック２０が下降してワーク載置面７５に接近するに従って、ガイド案内孔７２の傾斜部７２ａに沿って、ガイド部材４０の下端部が互いに離れる方向に徐々に変形する。
　そして、図１２に示されるように、ガイド部材４０の下端部がガイド案内孔７２により反り返るように変形された状態で、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を非接触保持する。よって、ガイド部材４０がワーク８０の周縁部と接触することなく、ワーク８０を保持して取り出すことができる。なお、ベルヌーイチャック２０がワーク８０を取り出した後、ベルヌーイチャック２０が鉛直方向に上昇し、ワーク載置トレイ７０のワーク載置面７５から離れるに従って、対向するガイド部材４０は、自身の復元力（付勢力）により、ワーク載置トレイ７０に形成されているガイド案内孔７２の内側面に沿って互いに近づく方向に移動し、定常位置に戻る。これにより、搬送中のワーク８０の横ずれが防止される。
　本実施形態によれば、ガイド部材４０が、板状の弾性体から形成されている。そのため、ワーク８０を取り出す際、又はワーク８０を載置する際に、弾性体の弾性を利用して、４つのガイド部材４０それぞれをワーク８０の周縁部よりも外側に拡げることができる。また、弾性体の復元力を利用して、４つのガイド部材４０が互いに離れるように変形する程、ガイド部材４０それぞれが互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材４０に付与することができる。
　本実施形態によれば、ガイド部材４０が、保持されるワーク８０の外縁に沿った方向に一定の幅を有する板状に形成されているため、ガイド部材４０を容易に変形させて拡げることができる。また、ワーク８０搬送時に、ワーク８０の横方向の移動を安定して規制することができる。
　さらに、本実施形態によれば、図４で示した可動機構を廃止することができるため、構造を簡略化でき、よって、より小型・軽量化・低コスト化することができる。
　また、第１実施形態及び第２実施形態いずれの場合であっても、ガイド部材３０，４０とガイド案内孔７２との接触はすべてワーク８０より下側で起こる。したがって、万一、摩擦による磨耗粉が発生した場合であっても、磨耗粉がそのまま下方に落下すれば、ワーク８０が磨耗粉により汚染されることはない。さらに、ガイド部材３０，４０の摺動部は、ワーク８０と直接接触しないため、磨耗粉の付着からより安全に守られる。クリーンルーム内で使用される場合は、ダウンフローにより清浄な空気が下向きに流れているため、万一、磨耗粉が発生・浮遊しても、摺動位置より上方のワーク８０はさらに汚染されにくくなる。
　以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、ガイド部材３０及びガイド部材４０の形状・大きさ・数・配置、ベース部材１０，１０Ａの形状・大きさ・材質、及び、ベルヌーイチャック２０の大きさ、数、配置などは上記実施形態に限定されるものではなく、保持するワーク８０の形状・大きさ・重量などに応じて任意に設定することができる。例えば、正方形のワークに代えて、円形のワークを移載する場合には、ガイド部材は必ずしも対向して配置する必要はなく、例えば、円形のワークの周囲に１２０°間隔で３つのガイド部材を配置してもよい。その場合、ワーク載置トレイのガイド案内孔は、ガイド部材の配置に合わせて形成される。
　上記第１実施形態では、１つの矩形のガイド案内孔７２に２本のピン状のガイド部材３０が進入する構成としたが、該ガイド案内孔７２を２つの円形又は楕円形のガイド案内孔に分け、それぞれのガイド案内孔に１本のピン状のガイド部材が進入する構成としてもよい。
　また、上記実施形態では、ワーク８０を載せて置くワーク載置装置として一枚のワーク８０を平置きして収容するトレイ（ワーク載置トレイ７０，７１）を用いたが、トレイに代えて、多数枚のワーク８０を積み重ねて収容するカセットを用いてもよい。
　上記実施形態では、パラレルメカニズムロボット１００を太陽電池ウェハー２３０のパレタイジング工程に適用した場合を例として説明したが、パラレルメカニズムロボット１００の適用範囲は、太陽電池ウェハー２３０のパレタイジング工程には限られない。
　１，２　非接触保持装置
　１０，１０Ａ　チャックベース
　２０　ベルヌーイチャック
　２１　本体
　２２　凹部
　２３　噴出孔
　３０，４０　ガイド部材
　７０，７１　ワーク載置トレイ
　７２　ガイド案内孔
　８０　ワーク
　１００　パラレルメカニズムロボット
 

Claims (20)

  1. 　ワークを非接触状態で保持する非接触保持ユニットと、
    　前記非接触保持ユニットが取り付けられたベース部材と、
    　前記非接触保持ユニットの周囲に、ワークが搬送される際に該ワークを包囲するように互いに間隔を空けて配置されて、前記ベース部材に突設された複数のガイド部材と、
    　前記ベース部材を空間内で移動させる移動機構と、を備え、
    　前記複数のガイド部材は、少なくとも一部分が互いに離れる方向に移動可能に構成されており、
    　ワークが載置されているワーク載置装置からワークが取出される際、又は、保持されているワークがワーク載置装置に載置される際に、ワーク載置装置のワーク載置面に前記非接触保持ユニットが近づくに従って、前記複数のガイド部材の少なくとも一部分が、ワーク載置装置に形成されているガイド案内部に沿って、互いに離れる方向に移動することを特徴とする移載装置。
  2. 　前記複数のガイド部材は、前記非接触保持ユニットを挟んで、対向して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
  3. 　前記複数のガイド部材が互いに離れる程、前記複数のガイド部材が互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材に付与する付勢部材を備え、
    　前記複数のガイド部材は、前記ワーク載置装置のワーク載置面から前記非接触保持ユニットが離れるに従って、前記ワーク載置装置に形成されているガイド案内部に沿って、前記付勢部材の付勢力により、互いに近づく方向に移動することを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
  4. 　前記ガイド部材は、円筒状の基端部と、該基端部から連続する円錐状の先端部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
  5. 　前記付勢部材は、トーションバネであることを特徴とする請求項３に記載の移載装置。
  6. 　前記ガイド部材は、弾性体から形成されていることを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
  7. 　前記ガイド部材は、保持される前記ワークの外縁に沿った方向に一定の幅を有する板状部材であることを特徴とする請求項６に記載の移載装置。
  8. 　前記非接触保持ユニットは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
  9. 　前記移動機構は、複数のリンクを介して、前記ベース部材を水平に保ったまま移動させるパラレルメカニズムロボットであることを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
  10. 　請求項１に記載の移載装置と共に用いられるワーク載置装置であって、
    　前記移載装置を構成する前記非接触保持ユニットがワーク載置面に近づくに従って、前記複数のガイド部材が互いに離れる方向に各ガイド部材を案内するガイド案内部を有することを特徴とするワーク載置装置。
  11. 　前記複数のガイド部材が互いに離れる程、前記複数のガイド部材が互いに近づく方向に作用する付勢力を各ガイド部材に付与する付勢部材を備え、
    　前記複数のガイド部材は、前記ワーク載置装置のワーク載置面から前記非接触保持ユニットが離れるに従って、前記ワーク載置装置に形成されているガイド案内部に沿って、前記付勢部材の付勢力により、互いに近づく方向に移動することを特徴とする請求項２に記載の移載装置。
  12. 　前記ガイド部材は、円筒状の基端部と、該基端部から連続する円錐状の先端部とを含むことを特徴とする請求項２に記載の移載装置。
  13. 　前記ガイド部材は、円筒状の基端部と、該基端部から連続する円錐状の先端部とを含むことを特徴とする請求項３に記載の移載装置。
  14. 　前記ガイド部材は、弾性体から形成されていることを特徴とする請求項２に記載の移載装置。
  15. 　前記ガイド部材は、弾性体から形成されていることを特徴とする請求項３に記載の移載装置。
  16. 　前記非接触保持ユニットは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする請求項２に記載の移載装置。
  17. 　前記非接触保持ユニットは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする請求項３に記載の移載装置。
  18. 　前記移動機構は、複数のリンクを介して、前記ベース部材を水平に保ったまま移動させるパラレルメカニズムロボットであることを特徴とする請求項２に記載の移載装置。
  19. 　前記移動機構は、複数のリンクを介して、前記ベース部材を水平に保ったまま移動させるパラレルメカニズムロボットであることを特徴とする請求項３に記載の移載装置。
  20. 　請求項３に記載の移載装置と共に用いられるワーク載置装置であって、
    　前記移載装置を構成する前記非接触保持ユニットがワーク載置面に近づくに従って、前記複数のガイド部材が互いに離れる方向に各ガイド部材を案内するガイド案内部を有することを特徴とするワーク載置装置。
     
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