JP2019092295A - 圧電駆動装置、電子部品搬送装置およびロボット - Google Patents
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- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 32
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 15
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011965 cell line development Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
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- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
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- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
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- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
Description
前記支持部に支持され、前記支持部に対して第1方向に移動可能な第1移動部と、
前記第1移動部に支持され、前記第1移動部に対して前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動部と、
第1圧電アクチュエーターを備え、前記第1圧電アクチュエーターの駆動によって前記第1移動部が前記支持部に対して前記第1方向に移動し、前記第1圧電アクチュエーターの停止によって前記第1移動部が前記支持部に保持される第1駆動部と、
第2圧電アクチュエーターを備え、前記第2圧電アクチュエーターの駆動によって前記第2移動部が前記第1移動部に対して前記第2方向に移動し、前記第2圧電アクチュエーターの停止によって前記第2移動部が前記第1移動部に保持される第2駆動部と、を有し、
前記第1移動部を前記支持部に保持する第1保持力と、前記第2移動部を前記第1移動部に保持する第2保持力と、が互いに異なっていることを特徴とする。
これにより、第1保持力および第2保持力を独立して適正に設定することができるため、第1保持力および第2保持力の一方が過剰となったり、反対に不足したりすることが抑制される。そのため、安定した駆動と省電力化の両立を図ることのできる圧電駆動装置となる。
これにより、第1駆動力および第2駆動力を独立して適正に設定することができるため、第1駆動力および第2駆動力の一方が過剰となったり、反対に不足したりすることが抑制される。そのため、安定した駆動と省電力化の両立を図ることのできる圧電駆動装置となる。
前記第1駆動部が備える前記第1圧電アクチュエーターの数と、前記第2駆動部が備える前記第2圧電アクチュエーターの数と、が互いに異なっていることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエーターの数を適宜設定するだけで、簡単に、第1、第2保持力および第1、第2駆動力を適切に設定することができる。
前記第2駆動部は、複数の前記第2圧電アクチュエーターが積層されている圧電モジュールを有していることが好ましい。
これにより、複数の圧電アクチュエーターを別々に配置する場合と比べて、第1駆動部および第2駆動部の省スペース化を図ることができる。そのため、圧電駆動装置の小型化および軽量化を図ることができる。
前記第2保持力は、前記第1保持力よりも大きいことが好ましい。
これにより、支持部が第2方向に移動することにより生じる加速度にも耐えられる必要十分な大きさの第2保持力を確保することができる。
第3圧電アクチュエーターを備え、前記第3圧電アクチュエーターの駆動によって前記第3移動部が前記第2移動部に対して回動し、前記第3圧電アクチュエーターの停止によって前記第3移動部が前記第2移動部に保持される第3駆動部と、を有することが好ましい。
このように、第1移動部および第2移動部に加えてさらに第3移動部を追加することで可動軸が3軸となり、圧電駆動装置の利便性がより向上する。
これにより、圧電駆動装置の効果を享受でき、安定した駆動と省電力化の両立を図ることのできる電子部品搬送装置となる。
前記第1部材に支持され、前記第1部材に対して変位可能な第2部材と、
前記第2部材に支持され、前記第2部材に対して変位可能な第3部材と、
第1圧電アクチュエーターを備え、前記第1圧電アクチュエーターの駆動によって前記第2部材が前記第1部材に対して変位し、前記第1圧電アクチュエーターの停止によって前記第2部材が前記第1部材に保持される第1駆動部と、
第2圧電アクチュエーターを備え、前記第2圧電アクチュエーターの駆動によって前記第3部材が前記第2部材に対して変位し、前記第2圧電アクチュエーターの停止によって前記第3部材が前記第2部材に保持される第2駆動部と、を有し、
前記第2部材を前記第1部材に保持する第1保持力と、前記第3部材を前記第2部材に保持する第2保持力と、が互いに異なっていることを特徴とする。
これにより、第1保持力および第2保持力を独立して適正に設定することができるため、第1保持力および第2保持力の一方が過剰となったり、反対に不足したりすることが抑制される。そのため、安定した駆動と省電力化の両立を図ることのできるロボットとなる。
これにより、第1駆動力および第2駆動力を独立して適正に設定することができるため、第1駆動力および第2駆動力の一方が過剰となったり、反対に不足したりすることが抑制される。そのため、安定した駆動と省電力化の両立を図ることのできるロボットとなる。
前記第1駆動部が備える前記第1圧電アクチュエーターの数と、前記第2駆動部が備える前記第2圧電アクチュエーターの数と、が互いに異なっていることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエーターの数を適宜設定するだけで、簡単に、第1、第2保持力および第1、第2駆動力を適切に設定することができる。
まず、本発明の第1実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係るロボットについて説明する。
Claims (10)
- 支持部と、
前記支持部に支持され、前記支持部に対して第1方向に移動可能な第1移動部と、
前記第1移動部に支持され、前記第1移動部に対して前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動部と、
第1圧電アクチュエーターを備え、前記第1圧電アクチュエーターの駆動によって前記第1移動部が前記支持部に対して前記第1方向に移動し、前記第1圧電アクチュエーターの停止によって前記第1移動部が前記支持部に保持される第1駆動部と、
第2圧電アクチュエーターを備え、前記第2圧電アクチュエーターの駆動によって前記第2移動部が前記第1移動部に対して前記第2方向に移動し、前記第2圧電アクチュエーターの停止によって前記第2移動部が前記第1移動部に保持される第2駆動部と、を有し、
前記第1移動部を前記支持部に保持する第1保持力と、前記第2移動部を前記第1移動部に保持する第2保持力と、が互いに異なっていることを特徴とする圧電駆動装置。 - 前記第1移動部を前記支持部に対して移動させる第1駆動力と、前記第2移動部を前記第1移動部に対して移動させる第2駆動力と、が互いに異なっている請求項1に記載の圧電駆動装置。
- 前記第1圧電アクチュエーターおよび前記第2圧電アクチュエーターは、互いに同じ構成であり、
前記第1駆動部が備える前記第1圧電アクチュエーターの数と、前記第2駆動部が備える前記第2圧電アクチュエーターの数と、が互いに異なっている請求項1または2に記載の圧電駆動装置。 - 前記第1駆動部は、複数の前記第1圧電アクチュエーターが積層されている圧電モジュールを有し、
前記第2駆動部は、複数の前記第2圧電アクチュエーターが積層されている圧電モジュールを有している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。 - 前記支持部は、前記第2方向に移動可能であり、
前記第2保持力は、前記第1保持力よりも大きい請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。 - 前記第2移動部に支持され、前記第2移動部に対して前記第1方向および前記第2方向に交差する第3方向に沿う軸まわりに回動可能な第3移動部と、
第3圧電アクチュエーターを備え、前記第3圧電アクチュエーターの駆動によって前記第3移動部が前記第2移動部に対して回動し、前記第3圧電アクチュエーターの停止によって前記第3移動部が前記第2移動部に保持される第3駆動部と、を有する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
- 第1部材と、
前記第1部材に支持され、前記第1部材に対して変位可能な第2部材と、
前記第2部材に支持され、前記第2部材に対して変位可能な第3部材と、
第1圧電アクチュエーターを備え、前記第1圧電アクチュエーターの駆動によって前記第2部材が前記第1部材に対して変位し、前記第1圧電アクチュエーターの停止によって前記第2部材が前記第1部材に保持される第1駆動部と、
第2圧電アクチュエーターを備え、前記第2圧電アクチュエーターの駆動によって前記第3部材が前記第2部材に対して変位し、前記第2圧電アクチュエーターの停止によって前記第3部材が前記第2部材に保持される第2駆動部と、を有し、
前記第2部材を前記第1部材に保持する第1保持力と、前記第3部材を前記第2部材に保持する第2保持力と、が互いに異なっていることを特徴とするロボット。 - 前記第2部材を前記第1部材に対して移動させる第1駆動力と、前記第3部材を前記第2部材に対して移動させる第2駆動力と、が互いに異なっている請求項8に記載のロボット。
- 前記第1圧電アクチュエーターおよび前記第2圧電アクチュエーターは、互いに同じ構成であり、
前記第1駆動部が備える前記第1圧電アクチュエーターの数と、前記第2駆動部が備える前記第2圧電アクチュエーターの数と、が互いに異なっている請求項8または9に記載のロボット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017219425A JP7027829B2 (ja) | 2017-11-14 | 2017-11-14 | 圧電駆動装置および電子部品搬送装置 |
CN201811338700.6A CN109787507B (zh) | 2017-11-14 | 2018-11-12 | 压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人 |
US16/188,987 US11043909B2 (en) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | Piezoelectric driving device, electronic-component conveying apparatus, and robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017219425A JP7027829B2 (ja) | 2017-11-14 | 2017-11-14 | 圧電駆動装置および電子部品搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019092295A true JP2019092295A (ja) | 2019-06-13 |
JP7027829B2 JP7027829B2 (ja) | 2022-03-02 |
Family
ID=66433687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017219425A Active JP7027829B2 (ja) | 2017-11-14 | 2017-11-14 | 圧電駆動装置および電子部品搬送装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11043909B2 (ja) |
JP (1) | JP7027829B2 (ja) |
CN (1) | CN109787507B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017009542B3 (de) * | 2017-10-13 | 2019-01-03 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Positioniervorrichtung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016078213A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6252333B1 (en) * | 1998-02-20 | 2001-06-26 | Seiko Instruments Inc. | Stage utilizing ultrasonic motor and electronic equipment and printer utilizing the stage |
DK1127380T3 (da) | 1998-10-26 | 2008-09-15 | Nanomotion Ltd | Multiretningsmotorer |
JP4714722B2 (ja) | 2007-11-08 | 2011-06-29 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器 |
JP5621687B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2014-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド及びロボット |
JP5929139B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびプリンター |
JP5929138B2 (ja) | 2011-12-06 | 2016-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーターおよびロボット |
JP6040528B2 (ja) | 2012-01-17 | 2016-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラーおよび検査装置 |
JP2014007917A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーターの駆動方法、圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP6308801B2 (ja) * | 2013-04-12 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、及び自動ステージ |
JP6503940B2 (ja) * | 2015-07-08 | 2019-04-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
-
2017
- 2017-11-14 JP JP2017219425A patent/JP7027829B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-12 CN CN201811338700.6A patent/CN109787507B/zh active Active
- 2018-11-13 US US16/188,987 patent/US11043909B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016078213A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109787507B (zh) | 2023-11-17 |
JP7027829B2 (ja) | 2022-03-02 |
US11043909B2 (en) | 2021-06-22 |
US20190149066A1 (en) | 2019-05-16 |
CN109787507A (zh) | 2019-05-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210727 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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