JP4714722B2 - 圧電アクチュエータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器 - Google Patents
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Description
(第一の実施形態)
図1は、本発明を適用した実施の形態1の圧電アクチュエータを用いたステージを示す図である。図2は、圧電アクチュエータの圧電振動子を示し、(a)は圧電振動子の斜視構造、(b)は第1の圧電振動子の平面構造、(c)、(d)は第2の圧電振動子の構造を示す。図3は、圧電振動子の変形例を示し、(a)は圧電振動子の斜視構造、(b)は圧電振動子の平面構造を示す。図4、5は、圧電アクチュエータの回路結線の一例を示す。
(第二の実施形態)
図6は、本発明を適用した実施の形態2の超音波を利用したステージの斜視構造を示す。図7は超音波モータの一部を破断した構造を示す。
(第三の実施形態)
図8は、本発明を適用した実施の形態3に係わる圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージを用いた印刷装置の主要構造を示す図である。 印刷装置の主要部は、レーザー光発生装置21、22と、レーザー光発生装置21、22の下流に配設した本発明の第2の移動体としての移動ステージ23、24と、移動ステージ23、24の下流に配設したハーフミラー25と、ハーフミラー25の下流に配設したポリゴンスキャナ26と、ポリゴンスキャナ26の下流に配設したfθレンズ27と、fθレンズ27の下流に配設した検出素子28a、28bから構成されている。
(第四の実施形態)
本形態の特徴は、本発明を適用した圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージを電子機器に用いた点にある。
2 第1の移動体
3 第2の移動体
4 第1の圧電アクチュエータ
5 第1の弾性部材
6 第2の圧電アクチュエータ
7 第2の弾性部材
11 支持台
12 第1の移動体
13 第2の移動体
14 第1の超音波モータ
15 第1の弾性部材
16 第2の超音波モータ
17 第2の弾性部材
21、22 レーザー光発生装置
23、24 移動ステージ
25 ハーフミラー
26 ポリゴンスキャナ
27 fθレンズ
28a、28b 検出素子
41、61 圧電振動子
44 第1の圧電振動子
45 第2の圧電振動子
131 光軸補正レンズ
143 弾性体
144 圧電素子
145 ロータ
231、241 シリンドリカルレンズ
A 伸縮振動波
B1、B2 屈曲振動波
C1、C2 屈曲振動
D レーザー光
E レーザー光
Claims (5)
- 支持台と、
前記支持台に対して一の方向に移動可能な移動体と、
二つの異なる振動を励振する矩形状の圧電振動子と、
前記圧電振動子の振動の節に固定され前記支持台に設けられた溝と係合される支持部材と、
前記圧電振動子に設けられた出力取り出し部材と、
前記圧電振動子に加圧力を与える加圧機構と、
を備え、前記移動体を前記一の方向に移動させる圧電アクチュエータを利用したステージであって、
前記溝は前記圧電振動子を移動可能に案内し、前記出力取り出し部材は前記加圧力に従い前記移動体に当接することを特徴とする圧電アクチュエータを利用したステージ。 - 前記圧電振動子は複数の圧電振動子を積層した構造からなることを特徴とする請求項1に記載のステージ。
- 前記圧電振動子は伸縮振動と屈曲振動を発生することを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ。
- 請求項1に記載のステージにおいて、
前記移動体に対して前記一の方向と異なる他の方向に移動可能な第二の移動体と、
二つの異なる振動を励振する矩形状の第二の圧電振動子と、
前記第二の圧電振動子の振動の節に固定され前記移動体の溝に係合し前記第二の移動体の方向に移動可能に案内される第二の支持部材と、
前記第二の圧電振動子に加圧力を与える第二の加圧機構と、
前記第二の圧電振動子に設けられた第二の出力取り出し部材と、からなり前記第二の加圧機構の加圧力により前記第二の出力取り出し部材を前記第二の移動体に当接させて前記第二の移動体を前記他の方向に移動させる第二の圧電アクチュエータを利用したステージ。 - 請求項1から請求項4の何れか一つに記載のステージを備えたことを特徴とする電子機器。
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