WO2011086791A1 - 防塵機構付きリニアアクチュエータ - Google Patents

防塵機構付きリニアアクチュエータ Download PDF

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WO2011086791A1
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dustproof
linear actuator
housing member
belt
belts
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浅生　利之
田中　俊也
利明 水野
訓延 小川
稔 塚田
幸寿 小林
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Thk株式会社
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • Y10T74/1872—Imperforate enclosure

Definitions

  • the present invention relates to a linear actuator with a dustproof mechanism, for example, a linear actuator with a dustproof mechanism suitable for use as a drive mechanism used in a clean room.
  • a linear actuator with a dustproof mechanism proposed in Patent Document 1 below has a function capable of reliably preventing dust leakage from an opening of an actuator housing, and a dustproof belt at the opening of the actuator housing In order to avoid interference with the projecting portion of the moving stage, a detouring means for the dustproof belt is provided for the moving stage.
  • FIG. 10 is a view for explaining the configuration of a linear actuator with a dustproof mechanism according to the prior art, in which (a) shows the top surface of the linear actuator with a dustproof mechanism, and (b) shows the dustproof mechanism. The front of the attached linear actuator is shown, and (c) in the figure shows a cross section of the linear actuator with a dustproof mechanism.
  • a linear actuator 1 with a dustproof mechanism includes an elongated box-shaped housing member 2, a ball screw 3 supported in a rotatable state in the housing member 2, and a rotation of the ball screw 3.
  • a moving stage 4 that reciprocates linearly according to the movement and a drive motor 5 for rotating the ball screw 3 are provided.
  • the housing member 2 includes a horizontal substrate 21, a pair of left and right vertical side plates 22 and 23 that extend vertically from the upper surface of the horizontal substrate 21 and extend in parallel with the ball screw 3, and front and rear ends of the vertical side plates 22 and 23. And end blocks 24 and 25 attached to each other.
  • One end block 24 supports one end of the ball screw 3 in a rotatable state. Further, the other end portion of the ball screw 3 is supported by the other end block 25 in a rotatable state, and is connected to the drive motor 5 through the block 25.
  • the upper end portions of the left and right vertical side plates 22 and 23 are bent at right angles toward the inside to form left and right horizontal upper plate portions 22a and 23a.
  • a central partition plate 26 is disposed between the left and right horizontal upper plate portions 22a and 23a, and the front and rear ends of the central partition plate 26 are fixedly attached to end blocks 24 and 25, respectively.
  • a left opening 27 extending in the axial direction of the ball screw 3, that is, in the moving direction of the moving stage 4 is formed between the horizontal upper plate portion 22 a and the central partition plate 26.
  • a right opening 28 is formed between the horizontal upper plate portion 23 a and the central partition plate 26.
  • the openings 27 and 28 are sealed with dustproof belts 29 and 30 wider than these openings. These dustproof belts 29 and 30 are bridged between the end blocks 24 and 25 along the lower surfaces of the horizontal upper plate portions 22a and 23a and the central partition plate 26, respectively.
  • the housing member 2 seals the horizontal substrate 21, the vertical side plates 22 and 23 (horizontal upper plate portions 22 a and 23 a), the central partition plate 26, the end blocks 24 and 25, and the openings 27 and 28.
  • the partition chamber is partitioned into a box shape by the dustproof belts 29 and 30, and covers the ball screw 3 to play a role of retaining dust generated from the actuator in the partition chamber.
  • the moving stage 4 includes a nut block 41 in which a ball screw nut screwed to the ball screw 3 is formed, a lower plate 42 fixed to the upper surface of the nut block 41, and the lower plate 42.
  • An intermediate plate 43 fixed to the upper surface and an upper plate 44 fixed to the upper surface of the intermediate plate 43 are provided. Both side surfaces of the nut block 41 are slidably supported in the axial direction of the ball screw 3 by linear guide rails 31 attached to the inside of the housing member 2.
  • the moving stage 4 is configured such that the upper plate 44 is located outside the housing member 2, and the middle plate 43, the lower plate 42, and the nut block 41 are located inside the housing member 2.
  • the upper plate 44 is configured to project outward from the openings 27 and 28, and can be applied with a moving force by being connected to the guide object.
  • rollers 61 to 66 that project horizontally are installed in a rotatable state as bypass means for bypassing the dustproof belts 29 and 30, respectively.
  • the rollers 63 and 64 in the central portion are arranged to be one step lower than the rollers 61, 62, 65, and 66 on both ends in the axial direction (note that The roller denoted by reference numeral 65 is installed at a position facing the roller 66, but does not appear in Fig. 10. Therefore, in the following description, it will be written in parentheses.)
  • the dust-proof belts 29 and 30 are bridged between the rollers 61 to 66 so that the upper plate 44 protruding outward from the openings 27 and 28 and the dust-proof belts 29 and 30 do not interfere with each other.
  • the dustproof belts 29 and 30 are stretched over the rollers 61 to 66 so as to bypass the lower portion of the protruding portion of the upper plate 44, specifically, the left side ((a) in FIG. 10).
  • the dust-proof belt 29 on the upper side of the paper passes through the upper side of the front roller 61, spans the lower side of the central roller 63, and further passes the upper side of the rear roller (65).
  • the dust-proof belt 30 on the right side passes over the front roller 62 and is bridged below the central roller 63, and further on the rear side.
  • the upper side of the roller 66 is passed.
  • the linear actuator 1 with a dustproof mechanism since the linear actuator 1 with a dustproof mechanism according to the prior art has the above-described configuration, the openings 27 and 28 formed along the movement locus of the moving stage 4 are blocked by the dustproof belts 29 and 30. It is possible to always maintain the state. Accordingly, the dust generated from the sliding portion of the ball screw 3 and the ball screw nut included in the nut block 41, the sliding portion of the nut block 41 and the linear guide rail 31, and the like is separated from the opening 27, which the housing member 2 includes. No leakage occurs to the outside via 28.
  • the dust-proof belts 29 and 30 are disposed inside the housing member 2, and each dust-proof belt with respect to the moving stage 4 that moves along the openings 27 and 28. Since 29 and 30 can be detoured below the moving stage 4, even when the moving stage 4 moves, the sealed state of the openings 27 and 28 by the dustproof belts 29 and 30 can always be maintained. ing.
  • the dustproof belts 29 and 30 are structured to be attached to the upper surfaces of the end blocks 24 and 25 by bolts via the plates 70 and 70, and the dustproof belts 29 and 30 are loosened. It is attached with a predetermined tension applied. According to such a conventional structure, it is difficult to apply tension uniformly in the width direction of the dustproof belts 29 and 30, and the dustproof belts 29 and 30 depend on the width dimension of the dustproof belts 29 and 30 and the tension applied. However, there is a possibility that the sealing performance between the housing member 2 and the dustproof belts 29 and 30 may be deteriorated by bending in the vertical direction as shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b).
  • the dustproof belts 29 and 30 are curved in an upward bow shape as shown in FIG. It has been found that when it becomes large (approximately 50 mm or more), it curves in a downward bow-like shape as shown in FIG.
  • the dustproof belt 29 , 30 is curved and the mounting state thereof changes, and the mounting state of the dustproof belts 29, 30 cannot be adjusted in accordance with the curved state of the dustproof belts 29, 30.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and prevents the dustproof belt from being deformed regardless of the size of the linear actuator.
  • An object of the present invention is to provide a linear actuator with a dustproof mechanism that can enhance the sealing performance between the two and exhibit high dustproof performance.
  • a linear actuator with a dustproof mechanism that solves the above-mentioned problems has a ball screw and a ball screw nut that engages with the ball screw, and in the axial direction of the ball screw as the ball screw rotates.
  • a moving stage that is freely reciprocated linearly; a housing member that is disposed so as to cover at least the ball screw; an opening formed in the housing member along a moving locus of the moving stage; and the opening.
  • a dustproof belt that is bridged inside the housing member by mounting means disposed at both ends of the housing member for sealing, and maintaining the sealing of the opening by the dustproof belt, In order to realize movement along the opening, the dust-proof belt at a position overlapping the moving stage is bypassed.
  • the dust-proof belt is wound around the mounting means and is sandwiched between the mounting means and the end of the housing member.
  • the dustproof belt is wound around the attachment means and is sandwiched between the attachment means and the end of the housing member, so that the tension is uniformly and strongly applied in the width direction of the dustproof belt.
  • the dustproof belt can be fixed on the surface where the end of the housing member and the mounting means come into contact with each other, deformation of the dustproof belt can be prevented and the sealing performance can be improved.
  • FIG. 1 It is an external appearance perspective view of the linear actuator with a dustproof mechanism concerning a 1st embodiment. It is a figure for demonstrating the external appearance structure of the linear actuator with a dust-proof mechanism which concerns on 1st Embodiment, (a) is a top surface, (b) is a front in the figure, (c) is a motor side in the figure. In the figure, (d) shows the side surface opposite to the motor. It is a perspective view for demonstrating the internal structure of the linear actuator with a dustproof mechanism which concerns on 1st Embodiment, (a) is a top view, (b) is a front view, (c) in the figure.
  • (a) is a figure for demonstrating the position of the attachment hole provided in the dustproof belt.
  • (B) is sectional drawing which showed the attachment state of the dustproof belt.
  • (c) shows a cross section of a linear actuator with a dustproof mechanism. It is a figure which shows the attachment method of the dustproof belt of the linear actuator with a dustproof mechanism which concerns on a prior art. It is sectional drawing which showed the attachment state of the dust-proof belt of the linear actuator with a dust-proof mechanism based on a prior art, (a) is a figure which shows the state which slackened up like the bow upwards, (b) is downward in the figure It is a figure which shows the state which became loose like a bow.
  • FIG. 1 is an external perspective view of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the first embodiment
  • FIG. 2 is an explanatory view of the external configuration of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the first embodiment
  • 3A is a top view
  • FIG. 3B is a front view
  • FIG. 3C is a motor side surface
  • FIG. 3D is an anti-motor side surface.
  • FIG. 4C shows a side view of the motor side
  • FIG. 4D shows a side view of the non-motor side.
  • FIG. 4 explains a method for attaching the dustproof belt of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the first embodiment.
  • Fig. 5 is a top perspective view for illustrating a case with a dustproof mechanism according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining a method of attaching the dustproof belt of the actuator, and FIG. 6 is a diagram showing a configuration of the dustproof belt of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the first embodiment. It is a figure for demonstrating the position of the attachment hole provided in the dustproof belt, and (b) in the figure is sectional drawing which showed the attachment state of the dustproof belt.
  • the linear actuator 100 with a dustproof mechanism according to the first embodiment has substantially the same configuration as the linear actuator 1 with a dustproof mechanism according to the above-described prior art, but for further improvement of the dustproof function, As shown in FIGS. 1 to 3, end plate covers 105a and 105b that can cover both end portions of the housing member 2 are provided.
  • the characteristic of the linear actuator 100 with a dustproof mechanism according to the present embodiment is the method of attaching the dustproof belts 29 and 30.
  • a method for attaching the dustproof belts 29 and 30 will be described in detail with reference to FIGS.
  • the mounting means 71 attached to the end block 24 on the counter-motor side will be described as an example, and the shape and mounting method will be specifically described.
  • the end block 25 on the motor side is the end on the counter-motor side. Since the structure is almost the same as that of the block 24, a reference numeral is attached and a detailed drawing is omitted.
  • the dustproof belts 29 and 30 of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the present embodiment are wound around the mounting means 71 whose ends are formed in a block shape, and the mounting means 71 and It is clamped and attached by the end blocks 24 and 25.
  • the attachment means 71 and the upper surface of the end block 24 of the housing member 2 are attached so as to be located on the same plane, and the dustproof belts 29 and 30 are provided on the upper surface of the attachment means 71 and the side surface facing the end block 24. Mounted in surface contact.
  • the dustproof belts 29 and 30 are attached to the attachment means 71 by screwing bolts into bolt holes drilled in the lower surface of the attachment means 71. As described above, the dustproof belts 29 and 30 are wound around the mounting means 71 by a quarter of the circumference along the lower surface of the mounting means 71, the side surface and the upper surface facing the end block 24.
  • the dustproof belts 29 and 30 are attached to the attachment means 71 by attachment holes 121 formed close to both end sides in the width direction of the dustproof belts 29 and 30. As described above, when the attachment holes 121 are formed on both end sides of the dustproof belts 29 and 30, sufficient tension can be applied to both ends of the dustproof belts 29 and 30 when the dustproof belts 29 and 30 are bridged. .
  • the dustproof belts 29 and 30 are wound around the mounting means 71 and are sandwiched between the mounting means 71 and the end blocks 24 and 25 of the housing member 2.
  • the sheets 29 and 30 are tensioned by the contact surfaces of the attachment means 71 and the end blocks 24 and 25. According to such a configuration, the entire dustproof sheets 29 and 30 can be pulled uniformly and strongly over the entire width direction. Therefore, as shown in FIG. 6B, the dustproof belts 29 and 30 can be bridged horizontally along the longitudinal direction of the housing member 2, and a gap between the dustproof belts 29 and 30 and the housing member 2 is formed. It is possible to improve the sealing performance of the linear actuator 100 with the dustproof mechanism by securely sealing.
  • the linear actuator 100 with a dustproof mechanism according to the first embodiment has been described.
  • the second embodiment to be described next describes an example of a linear actuator with a dustproof mechanism having a shape different from that of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the first embodiment. Note that members that are the same as or similar to those in the first embodiment described above are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.
  • FIG. 7 is a view for explaining a method of attaching the dustproof belt of the linear actuator with dustproof mechanism according to the second embodiment
  • FIG. 8 is a bypass means of the linear actuator with dustproof mechanism according to the second embodiment
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a dustproof belt of a linear actuator with a dustproof mechanism according to the second embodiment.
  • the linear actuator with a dustproof mechanism according to the present embodiment is an embodiment related to a linear actuator with a dustproof mechanism that is larger than the linear actuator with a dustproof mechanism according to the first embodiment described above.
  • 1 shows an embodiment relating to a linear actuator with a dustproof mechanism whose dimension in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the dustproof belts 29 and 30 is approximately 50 mm or more.
  • the dustproof belts 29 and 30 of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the present embodiment are disposed below the attachment means 71 a in the same manner as the dustproof belts 29 and 30 according to the first embodiment described above. It is attached by bolts, is wound around the attachment means 71a by 3/4 round, and is attached to the housing member 2 by being sandwiched between the end blocks 24 and 25 and the attachment means 71a.
  • the upper surface of the attaching means 71a refers to a surface facing the openings 27 and 28 of the linear actuator with a dustproof mechanism according to this embodiment, and is a surface facing the dustproof belts 29 and 30 in FIG.
  • the tension applied to the dustproof belts 29 and 30 can be released at both ends, and the tension at both ends of the dustproof belts 29 and 30 is slightly higher than that at the center. Can be weakened. Therefore, in a large linear actuator with a dustproof mechanism, as shown in FIG. 12B, the tension at both ends of the dustproof belts 29 and 30 is increased, and the dustproof belts 29 and 30 are bent into a downward bow shape.
  • the dust-proof belt 29 is horizontally disposed along the longitudinal direction of the housing member 2 in the linear actuator 100 with the dust-proof mechanism according to the first embodiment as shown in FIG. , 30 can be bridged, and the gap between the dustproof belts 29, 30 and the housing member 2 can be reliably sealed to improve the sealing performance of the linear actuator with a dustproof mechanism.
  • escape means 61a to 66a are formed in the bypass means of the linear actuator with a dustproof mechanism according to the present embodiment.
  • the bypass means has substantially the same configuration as that of the conventional linear actuator with a dustproof mechanism described in the background section, but the rollers 61 to 66 constituting the bypass means are all formed with the same escape means. 8 shows the details of the rollers 61 and 62 in detail, and the description of the remaining rollers 63 to 66 is omitted.
  • the rollers 61 and 62 are rotatably attached to an intermediate plate 43 placed on a lower plate 42 that constitutes a moving stage, and dustproof belts 29 and 30 are bridged over the rollers 61 and 62. . Further, the rollers 61 and 62 are provided with escape means 61a and 62a having both ends in the axial direction having a smaller diameter than the central side, and are stepped along the axial direction. The escape means 61a and 62a are formed in the vicinity of positions facing both end portions of the dustproof belts 29 and 30, like the escape grooves 72 and 72 of the mounting means 71a described above.
  • the tension applied to the dustproof belts 29 and 30 can be released at both ends thereof, and both end portions of the dustproof belts 29 and 30 are released.
  • the tension at can be made slightly weaker than at the center. Therefore, in a large linear actuator with a dustproof mechanism, as shown in FIG. 12 (b), the tension at both ends of the dustproof belts 29 and 30 increases, and the dustproof belts 29 and 30 are bent into a downward bow shape.
  • the dust-proof belt 29 is horizontally disposed along the longitudinal direction of the housing member 2 in the linear actuator 100 with the dust-proof mechanism according to the first embodiment as shown in FIG. , 30 can be bridged, and the gap between the dustproof belts 29, 30 and the housing member 2 can be reliably sealed to improve the sealing performance of the linear actuator with a dustproof mechanism.
  • the dustproof belts 29 and 30 of the linear actuator with a dustproof mechanism are provided with a mounting hole 120 on the center side in the width direction orthogonal to the longitudinal direction. , 30 is configured to weaken the tension applied to both ends thereof. Therefore, by reducing the tension, the dustproof belts 29 and 30 can be bridged horizontally along the longitudinal direction of the housing member 2, and the gap between the dustproof belts 29 and 30 and the housing member 2 is surely sealed. Thus, the sealing performance of the linear actuator with a dustproof mechanism can be improved.
  • the dustproof belts 29 and 30 have been described as being wrapped around the mounting means 71 and 71a by 3/4.
  • the dustproof belts 29 and 30 are connected to the end blocks 24 and 25 and the mounting means 71. , 71a may be wound a plurality of times.
  • the escape means is not limited to the stepped shape, and the dustproof belts 29, 30 You may form a groove
  • the linear actuator with a dustproof mechanism has a dustproof mechanism that can appropriately adjust the tension applied to the dustproof belt and can reliably seal the gap between the housing member and the dustproof belt to improve the sealing performance.
  • a linear actuator can be provided.

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Abstract

　どのような大きさのリニアアクチュエータであっても、防塵ベルトの変形を防止して、防塵ベルトとハウジング部材との間の密封性能を高め、高い防塵性能を発揮することができる防塵機構付きリニアアクチュエータを提供する。　少なくともボールねじを覆って配設されるハウジング部材と、移動ステージの移動軌跡に沿ってハウジング部材に形成される開口部と、開口部を封鎖するためにハウジング部材の両端部に配置される取付手段によってハウジング部材の内側に架け渡される防塵ベルトと、を備え、防塵ベルトによる開口部の封鎖を維持しながら移動ステージの開口部に沿った移動を実現するために、移動ステージと重畳する位置にある防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、防塵ベルトは、取付手段に巻きつけられるとともに、取付手段とハウジング部材の端部によって挟持されている。

Description

防塵機構付きリニアアクチュエータ
　本発明は、防塵機構付きリニアアクチュエータに係り、例えば、クリーンルーム内において使用する駆動機構として用いるのに適した防塵機構付きのリニアアクチュエータに関するものである。
　これまで本出願人やその関連法人では、下記特許文献１に開示されるような防塵機構を備える種々のアクチュエータ（移動対象が運動するのを案内する運動案内装置を含む。）を提案している。例えば、下記特許文献１において提案した防塵機構付きリニアアクチュエータは、アクチュエータハウジングの開口部からの粉塵漏出を確実に防止することのできる機能を備えるものであり、アクチュエータハウジングの開口部での防塵ベルトと移動ステージの突出部との干渉を避けるために、移動ステージに対して防塵ベルトの迂回手段を設けたことを特徴とするものである。
　この下記特許文献１に開示される防塵機構付きリニアアクチュエータについて、図１０を用いて説明する。なお、図１０は、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成を説明するための図であり、図中（ａ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの上面を示し、図中（ｂ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの正面を示し、図中（ｃ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの横断面を示している。
　図１０に示すように、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１は、細長い箱形のハウジング部材２と、この中に回転自在の状態で支持されたボールねじ３と、このボールねじ３の回転運動に応じて往復直線運動する移動ステージ４と、ボールねじ３を回転させるための駆動モータ５とを有している。
　ハウジング部材２は、水平基板２１と、この水平基板２１の上面から垂直に起立してボールねじ３と平行に延びる左右一対の垂直側板２２，２３と、これら垂直側板２２，２３の前端及び後端に取り付けられた端部ブロック２４，２５とを備えている。一方の端部ブロック２４によってボールねじ３の一端が回転自在の状態で支持されている。また、ボールねじ３の他端側の部分は、他方の端部ブロック２５によって回転自在の状態で支持されているとともに、当該ブロック２５を貫通して駆動モータ５の側に連結されている。
　左右の垂直側板２２，２３の上端部分は内側に向けて直角に折曲がり、左右の水平上板部分２２ａ，２３ａとなっている。これら左右の水平上板部分２２ａ，２３ａの中間には、中央仕切り板２６が配置されており、この中央仕切り板２６の前後端はそれぞれ端部ブロック２４，２５に取り付け固定されている。この結果、水平上板部分２２ａ及び中央仕切り板２６の間に、ボールねじ３の軸線方向、すなわち移動ステージ４の移動方向に延びる左側開口部２７が形成されている。同様に、水平上板部分２３ａと中央仕切り板２６の間には右側開口部２８が形成されている。
　各開口部２７，２８は、これらの開口部よりも広幅の防塵ベルト２９，３０によって封鎖されている。これらの防塵ベルト２９，３０は、それぞれ水平上板部分２２ａ，２３ａ及び中央仕切り板２６の下面側に沿って、端部ブロック２４，２５の間に架け渡されている。
　以上のように、ハウジング部材２は、水平基板２１、垂直側板２２，２３（水平上板部分２２ａ，２３ａ）、中央仕切り板２６、端部ブロック２４，２５、及び開口部２７，２８を封鎖している防塵ベルト２９，３０によって箱形に仕切られた区画室となっており、ボールねじ３を覆うことによってアクチュエータから発生する粉塵を当該区画室内に留める役割を担っている。
　次に、移動ステージ４は、ボールねじ３に螺合しているボールねじナットが形成されているナットブロック４１と、このナットブロック４１の上面に固定されている下プレート４２、この下プレート４２の上面に固定されている中プレート４３、及びこの中プレート４３の上面に固定されている上プレート４４とを備えている。ナットブロック４１の両側面は、ハウジング部材２の内部に取り付けられているリニアガイドレール３１によって、ボールねじ３の軸線方向に向けて摺動自在に支持されている。
　移動ステージ４は、上プレート４４がハウジング部材２の外側に位置し、中プレート４３、下プレート４２及びナットブロック４１がハウジング部材２の内部に位置するように構成されている。つまり、上プレート４４は各開口部２７，２８から外部に突出して構成されており、案内対象物と接続することによって案内対象物に移動力を付与できるようになっている。
　また、移動ステージ４におけるハウジング部材２の内側に位置する左右側面には、防塵ベルト２９，３０を迂回させるための迂回手段として、それぞれ水平に張り出したローラ６１～６６が回転自在の状態で設置されている。これらローラ６１～６６の配置位置については、軸方向両端側のローラ６１，６２，６５，６６に比べて、中央部のローラ６３，６４が一段低い位置となるように配置されている（なお、符号６５のローラは、ローラ６６と対向する位置に設置されているが、図１０中では表れない。そこで、以下の説明では括弧書きで記すこととする。）。
　そして、各開口部２７，２８から外部に突出する上プレート４４と、防塵ベルト２９，３０とが干渉することが無いように、各ローラ６１～６６には、各防塵ベルト２９，３０が架け渡されている。すなわち、防塵ベルト２９，３０は、上プレート４４の突出部分の下方を迂回するように各ローラ６１～６６に対して架け渡されており、具体的には、左側（図１０中の（ａ）における紙面上側）の防塵ベルト２９が、前側のローラ６１の上側を通り、中央のローラ６３の下側に架け渡され、更に、後側のローラ（６５）の上側を通っている。また、右側（図１０中の（ａ）における紙面下側）の防塵ベルト３０についても同様に、前側のローラ６２の上側を通り、中央のローラ６３の下側に架け渡され、更に、後側のローラ６６の上側を通っている。
　従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１は、以上のような構成を備えているので、移動ステージ４の移動軌跡に沿って形成されている開口部２７，２８が、防塵ベルト２９，３０による封鎖状態を常に維持することが可能となっている。したがって、ボールねじ３とナットブロック４１が有するボールねじナットとの摺動部分や、ナットブロック４１とリニアガイドレール３１との摺動部分等から発生した粉塵は、ハウジング部材２が有する開口部２７，２８を介して外部に漏れ出すことがないようになっている。
　また、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１では、防塵ベルト２９，３０がハウジング部材２の内側に配置されており、開口部２７，２８に沿って移動する移動ステージ４に対して各防塵ベルト２９，３０が移動ステージ４の下方に迂回できるようになっているので、移動ステージ４が移動する際にも、防塵ベルト２９，３０による開口部２７，２８の封鎖状態を常に維持できるようになっている。
特開２０００－２６６１５１号公報
　しかしながら、図１１に示すように、防塵ベルト２９，３０は、端部ブロック２４，２５の上面にプレート７０，７０を介してボルトによって取り付けられる構造となっており、防塵ベルト２９，３０を弛みのないように所定の張力を付与して取り付けられている。このような従来の構造によると、防塵ベルト２９，３０の幅方向に均一に張力を付与することが難しく、防塵ベルト２９，３０の幅寸法や付与する張力の大きさによって、防塵ベルト２９，３０が図１２（ａ）および（ｂ）に示すように上下方向に湾曲して、ハウジング部材２と防塵ベルト２９，３０との間の密封性能が低下してしまう可能性を含んでいた。
　また、本発明者らの研究の結果、防塵ベルト２９，３０の幅寸法が小さいと、防塵ベルト２９，３０は、図１２（ａ）に示すような上向きの弓なり形状に湾曲し、幅寸法が大きく（概略５０ｍｍ以上）なると、図１２（ｂ）に示すような下向きの弓なり形状に湾曲することが判明している。
　このように、従来の防塵機構付きリニアアクチュエータの構造によると、適切に防塵ベルトを取り付けるために防塵ベルトに張力を調整したり、防塵機構付きリニアアクチュエータの大きさを変更した場合に、防塵ベルト２９，３０が湾曲してその取付状態に変化が生じ、防塵ベルト２９，３０の湾曲の状態に合わせて防塵ベルト２９，３０の取付状態を調整することができないといった問題があった。
　本発明は、上記課題を解決するために成されたものであって、どのような大きさのリニアアクチュエータであっても、防塵ベルトが変形することを防止して、防塵ベルトとハウジング部材との間の密封性能を高め、高い防塵性能を発揮することができる防塵機構付きリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
　上記課題を解決する本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、ボールねじと、前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、少なくとも前記ボールねじを覆って配設されるハウジング部材と、前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の両端部に配置される取付手段によって前記ハウジング部材の内側に架け渡される防塵ベルトと、を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記防塵ベルトは、前記取付手段に巻きつけられるとともに、前記取付手段と前記ハウジング部材の端部によって挟持されていることを特徴とする。
　本発明によれば、防塵ベルトは、前記取付手段に巻きつけられるとともに、取付手段とハウジング部材の端部によって挟持されているので、防塵ベルトの幅方向に均一にかつ強力に張力を付与することができるとともに、防塵ベルトの固定をハウジング部材の端部と取付手段とが当接する面で受けることができるので、防塵ベルトの変形を防止し、密封性能を向上させることができる。
第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観斜視図である。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観構成を説明するための図であり、図中（ａ）は上面を、図中（ｂ）は正面を、図中（ｃ）はモータ側側面を、図中（ｄ）は反モータ側側面を示している。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの内部構成を説明するための透視図であり、図中（ａ）は上面視を、図中（ｂ）は正面視を、図中（ｃ）はモータ側側面視を、図中（ｄ）は反モータ側側面視を示している。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための上面斜視図である。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図である。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図であり、図中（ａ）は防塵ベルトに設けられた取付孔の位置を説明するための図であり、図中（ｂ）は防塵ベルトの取付状態を示した断面図である。 第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図である。 第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの迂回手段の構造を説明するための図である。 第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図である。 従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成を説明するための図であり、図中（ａ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの上面を示し、図中（ｂ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの正面を示し、図中（ｃ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの横断面を示している。 従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を示す図である。 従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付状態を示した断面図であり、図中（ａ）は上向きに弓なりに弛んだ状態を示す図であり、図中（ｂ）は下向きに弓なりに弛んだ状態を示す図である。
　以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。さらに、以下で行う実施形態の説明では、背景技術の欄で説明した部材と同一又は類似する部材について、同一符号を付して説明を省略する。
　［第１の実施形態］
　図１から図６を用いて、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の説明を行う。ここで、図１は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観斜視図であり、図２は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観構成を説明するための図であり、図中（ａ）は上面を、図中（ｂ）は正面を、図中（ｃ）はモータ側側面を、図中（ｄ）は反モータ側側面を示しており、図３は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの内部構成を説明するための透視図であり、図中（ａ）は上面視を、図中（ｂ）は正面視を、図中（ｃ）はモータ側側面視を、図中（ｄ）は反モータ側側面視を示しており、図４は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための上面斜視図であり、図５は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図であり、図６は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図であり、図中（ａ）は防塵ベルトに設けられた取付孔の位置を説明するための図であり、図中（ｂ）は防塵ベルトの取付状態を示した断面図である。
　第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、上述した従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１とほぼ同様の構成を有しているが、防塵機能のより一層の向上のために、図１～図３に示すように、ハウジング部材２の両端部側を覆うことが可能なエンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂを備えている。
　本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の特徴は、防塵ベルト２９，３０の取付方法にある。この防塵ベルト２９，３０の取付方法について、図４から図６を用いて詳細に説明を行う。
　以下、反モータ側の端部ブロック２４に取り付けられる取付手段７１を例にして、その形状や取付方法を具体的に説明するが、モータ側の端部ブロック２５については、反モータ側の端部ブロック２４とほぼ同様の構造を有しているので、符号を付して詳細な図面を省略する。図４及び５に示すように、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルト２９，３０は、その端部がブロック状に形成された取付手段７１に巻きつけられると共に、取付手段７１と端部ブロック２４，２５とによって挟持されて取り付けられている。
　取付手段７１とハウジング部材２の端部ブロック２４の上面は同一平面上に位置するように取り付けられており、防塵ベルト２９，３０は、取付手段７１の上面および端部ブロック２４と対向する側面と面接触して取り付けられている。また、取付手段７１の下面に穿孔されたボルト孔にボルトを螺合することにより防塵ベルト２９，３０は取付手段７１に取り付けられている。このように、防塵ベルト２９，３０は、取付手段７１の下面，端部ブロック２４と対向する側面および上面に沿って、取付手段７１に３／４周巻きつけられている。
　さらに、防塵ベルト２９，３０は、図６に示すように、防塵ベルト２９，３０の幅方向における両端側に寄って形成された取付孔１２１によって取付手段７１に取り付けられている。このように、防塵ベルト２９，３０の両端側に取付孔１２１を形成すると、防塵ベルト２９，３０を架け渡した際に、防塵ベルト２９，３０の両端にまで十分な張力を付与することができる。
　また、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、防塵ベルト２９，３０を取付手段７１に巻きつけ、取付手段７１とハウジング部材２の端部ブロック２４，２５によって挟持されているので、防塵シート２９，３０は、取付手段７１と端部ブロック２４，２５との当接面によって張力を付与されている。このような構成によると、防塵シート２９，３０全体を幅方向全般にわたって均一にかつ強力に引張ることができる。したがって、図６（ｂ）に示すように、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の密封性を向上させることができる。
　［第２の実施形態］
　以上、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００について説明した。次に説明する第２の実施形態は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータと異なる形状を有する防塵機構付きリニアアクチュエータの実施例について説明を行うものである。なお、上述した第１の実施形態の場合と同一又は類似する部材については、同一符号を付して説明を省略する。
　図７は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図であり、図８は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの迂回手段の構造を説明するための図であり、図９は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図である。
　本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、上述した第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータよりも大型の防塵機構付きリニアアクチュエータに係る実施形態を示したものであり、具体的には、防塵ベルト２９，３０の長手方向と直交する幅方向の寸法が概略５０ｍｍ以上の防塵機構付きリニアアクチュエータに関する実施形態を示したものである。
　図７に示すように、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルト２９，３０は、上述した第１の実施形態に係る防塵ベルト２９，３０と同様に、取付手段７１ａの下側にボルトによって取り付けられ、取付手段７１ａに３／４周巻きつけられ、端部ブロック２４，２５と取付手段７１ａとに挟持されてハウジング部材２に取り付けられている。
　ここで、取付手段７１ａの上面には、防塵ベルト２９，３０の幅方向における両端部に対向する位置の近傍に逃げ面としての逃げ溝７２，７２が形成されている。ここで、取付手段７１ａの上面とは、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの開口部２７，２８と対向する面をいい、図７における防塵ベルト２９，３０と対向する面である。
　このように、取付手段７１ａに逃げ溝７２を形成すると、防塵ベルト２９，３０に付与した張力を両端側で逃すことができ、防塵ベルト２９，３０の両端部における張力を中央部に比べて若干弱くすることができる。したがって、大型の防塵機構付きリニアアクチュエータでは、図１２（ｂ）に示すように、防塵ベルト２９，３０の両端部での張力が大きくなって、防塵ベルト２９，３０が下向きの弓なり形状に湾曲してしまうが、当該張力を弱めることで、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００で図６（ｂ）に示したように、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータの密封性を向上させることができる。
　図８に示すように、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの迂回手段に逃げ手段６１ａ～６６ａが形成されている。なお、迂回手段は、背景技術の欄で説明した従来の防塵機構付きリニアアクチュエータとほぼ同様の構成を備えているが、迂回手段を構成する各ローラ６１～６６は全て同様の逃げ手段が形成されているので、ローラ６１及び６２を詳細に詳細に説明した図８を示し、その余のローラ６３～６６については、その説明を省略する。
　ローラ６１，６２は、移動ステージを構成する下プレート４２上に載置された中プレート４３に回転自在に取り付けられており、ローラ６１，６２の上側に防塵ベルト２９，３０が架け渡されている。さらに、ローラ６１，６２には軸方向の両端側が中央側よりも小径の逃げ手段６１ａ，６２ａが形成され、軸線方向に沿って段付き形状とされている。この逃げ手段６１ａ，６２ａは、上述した取付手段７１ａの逃げ溝７２，７２と同様に防塵ベルト２９，３０の両端部に対向する位置の近傍に形成されている。
　このように、迂回手段を構成するローラ６１～６６に逃げ手段６１ａ～６６ａを形成すると、防塵ベルト２９，３０に付与した張力をその両端側で逃すことができ、防塵ベルト２９，３０の両端部における張力を中央部に比べて若干弱くすることができる。したがって、大型の防塵機構付きリニアアクチュエータでは、図１２（ｂ）に示すように、防塵ベルト２９，３０の両端部での張力が大きくなって、防塵ベルト２９，３０が下向きの弓なり形状に湾曲してしまうが、当該張力を弱めることで、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００で図６（ｂ）に示したように、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータの密封性を向上させることができる。
　また、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルト２９，３０は、図９に示すように、長手方向と直交する幅方向における中心側に取付孔１２０が形成されており、防塵ベルト２９，３０に付与する張力をその両端側で弱くするように構成されている。したがって、当該張力を弱めることで、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータの密封性を向上させることができる。
　以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。
　例えば、上記実施形態においては、防塵ベルト２９，３０は、取付手段７１，７１ａに３／４周巻きつけた場合について説明したが、防塵ベルト２９，３０が端部ブロック２４，２５と取付手段７１，７１ａに挟持されていれば、複数回巻きつけても構わない。
　また、上記実施形態においては、ローラ６１～６６を段付き形状に形成して、逃げ手段を形成した場合について説明したが、逃げ手段は、段付き形状に限定されず、防塵ベルト２９，３０の両端部に対向する位置の近傍に溝を形成しても構わない。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
　本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、防塵ベルトに付与する張力を適切に調整することができ、ハウジング部材と防塵ベルトの隙間を確実に封鎖して密封性を向上させることができる防塵機構付きリニアアクチュエータを提供することができる。
　　２　ハウジング部材，　　３　ボールねじ，　　４　移動ステージ，　５　　駆動モータ，　　２１　水平基板，　　２２，２３　垂直側板，　　２４，２５　端部ブロック，　　２６　中央仕切り版，　　２７，２８　開口部，　　２９，３０　防塵ベルト，　　６１，６２，６３，６４，（６５），６６　ローラ，　　６１ａ，６２ａ，（６３ａ，６４ａ，６５ａ，６６ａ）　逃げ手段，　　７１，７１ａ　取付手段，　　７２　逃げ溝。

Claims (5)

  1. 　ボールねじと、
    　前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、
    　少なくとも前記ボールねじを覆って配設されるハウジング部材と、
    　前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、
    　前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の両端部に配置される取付手段によって前記ハウジング部材の内側に架け渡される防塵ベルトと、
    　を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
    　前記防塵ベルトは、前記取付手段に巻きつけられるとともに、前記取付手段と前記ハウジング部材の端部によって挟持されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
  2. 　請求項１に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
    　前記防塵ベルトは、前記取付手段に形成されたボルト孔に、前記防塵ベルトに形成された取付孔を介して取付ボルトを螺合することによって取付られており、
    　前記取付孔は、前記防塵ベルトの長手方向と直交する幅方向における両端側に形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
  3. 　請求項１に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
    　前記防塵ベルトは、前記取付手段に形成されたボルト孔に、前記防塵ベルトに形成された取付孔を介して取付ボルトを螺合することによって取付られており、
    　前記取付孔は、前記防塵ベルトの長手方向と直交する幅方向における中心側に形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
  4. 　請求項２または３に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
    　前記取付手段の少なくとも前記防塵ベルトの前記幅方向における両端部に対向する位置に逃げ面が形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
  5. 　請求項２から４のいずれか１項に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
    　前記迂回手段には、前記防塵ベルトの前記幅方向における両端部に対向する位置に逃げ手段が形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
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