JPH08279545A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 走行用長孔を好適に閉塞した基板搬送装置を
提供する。 【構成】 先端に基板支持部１を備えたアーム２は隔壁
４の走行用長孔５を貫通して可動台１１に連結され、駆
動部３は可動台１１をＸ軸方向に移動する。可動台１１
にはアーム２を挟んで一対のローラ１２ａ、１２ｂが軸
１３ａ、１３ｂ回りに回動自在に付設され、各ローラ１
２ａ、１２ｂには各々シート状のシール部材１４ａ、１
４ｂの一端側が巻回され、各シール状部材１４ａ、１４
ｂは長孔５を隔壁４の内側から閉塞するように配備さ
れ、その他端側は基台６の側壁６ａ、６ｂに支持されて
いる。各ローラ１２ａ、１２ｂはタイミングベルト１６
等により連動して同方向に回動される。アーム２の移動
の際、各シール部材１４ａ、１４ｂのローラ１２ａ、１
２ｂからの引き出し、巻取りが連動して行なわれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板あるいは基板を収
納したカセットを１軸方向に搬送させる基板搬送装置に
係り、特には、基板支持部と駆動部との間の隔壁に形成
されたアーム走行用の走行用長孔を閉塞するための技術
に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の基板搬送装置は、図１０に示す
ように、基板Ｗや、基板Ｗを収納したカセットＣを、開
閉自在のハンガー１ａで引っ掛けたり（図１０（ａ）、
（ｃ）のカセットＣの場合）、吸着（図１０（ｂ）の単
体の基板Ｗの場合）して支持する基板支持部１と、基板
支持部１に連結されたアーム２と、アーム２を１軸方向
（図１０（ａ）ではＸ軸方向、同図（ｂ）ではＹ軸方
向、同図（ｃ）ではＺ軸方向）に移動させる、コンベア
やネジ軸駆動機構などで構成される駆動部３と、基板支
持部１と駆動部３との間に設けられた隔壁４などを備え
て構成されている。

【０００３】隔壁４は基台６の一つの面であって、基板
支持部１は隔壁４（基台６）の外側に配置され、駆動部
３は隔壁４の内側（基台６の内部）に配置されるので、
アーム２は隔壁４を貫通している。従って、駆動部３が
アーム２を介して基板支持部１に支持された基板Ｗやカ
セットＣを所定方向に搬送するときに、このアーム２の
走行を許容するように、隔壁４には基板搬送方向に沿っ
てアーム走行用の走行用長孔（以下では、単に「長孔」
と略すこともある）５が形成されている。

【０００４】上記隔壁４は、駆動部３側で発生する粉塵
（パーティクル）を隔壁４の外側、すなわち、基板支持
部１に支持されている基板ＷやカセットＣ、さらには、
この隔壁４の外側に配備されている基板処理部７（洗浄
処理槽など：図１０（ａ）参照）に排出することを防止
するとともに、基板処理部７から発生する腐食性雰囲気
などが隔壁４の内側の駆動部３に流れ込むのを防止する
ために設けられているが、上述したように、この隔壁４
にはアーム走行用の長孔５が形成されているので、この
長孔５を介して、パーティクルが隔壁４の内側から外側
に排出したり、腐食性雰囲気などが隔壁４の外側から内
側に流れ込むという問題があった。

【０００５】そこで、このような不都合を解消するため
に、アーム走行用の長孔５を閉塞するための技術が従来
いくつか提案・実施されている。これを以下に説明す
る。

【０００６】＜第１従来技術＞図１１を参照する。図１
１は、第１従来技術に係る基板搬送装置の概略構成を示
す正面図である。なお、この第１従来例および以下の各
従来例は、図１０（ａ）の装置に適用したものである。

【０００７】この装置は、アーム２の基端部が移動台１
００に連結され、この移動台１００が、駆動部３によっ
て図のＸ軸方向に移動されることにより、アーム２を介
して基板支持部１がＸ軸方向に移動される。なお、図１
１では、移動台１００が、モータ３ｘによって回転駆動
されるネジ軸３ｙに螺合され、ネジ軸３ｙに並設された
ガイド軸３ｚにガイドされて駆動部３を構成している。

【０００８】移動台１００には、複数本（図では４本）
のローラ１０１が回動自在に立設されており、両端部が
長孔５の長手方向の端部外側において基台６の内側面
（側壁６ａ、６ｂ）にそれぞれ支持されたシート状のシ
ール部材１０２が、長孔５を内側から閉塞するととも
に、アーム２の外側を迂回するように各ローラ１０１に
架けられている。これにより、図１１の実線と仮想線で
示すように、移動台１００の移動に伴い、シール部材１
０２のアーム２付近の迂回部分がアーム２とともに移動
変位し、アーム２の突出部以外の長孔５がシール部材１
０２で閉塞される。

【０００９】＜第２従来技術＞図１２を参照する。図１
２は、第２従来技術に係る基板搬送装置の概略構成を示
す正面図である。この装置では、アーム２を挟んで一対
の蛇腹状のシール部材１１０が隔壁４の内側に配備され
ている。これらシール部材１１０は、一端側がそれぞれ
アーム２に取り付けられ、他端側が長孔５の長手方向の
端部外側において基台６の側壁６ａ、６ｂにそれぞれ支
持されて長孔５を内側から閉塞している。図１１と同様
の構成を有する駆動部３によってアーム２が移動される
と、各シール部材１１０は伸縮して長孔５を常に閉塞す
る。

【００１０】＜第３従来技術＞図１３を参照する。図１
３は、第３従来技術に係る基板搬送装置の概略構成を示
す正面図である。この装置では、アーム２を挟んで一対
の巻取りバネ付ローラ１２０が設けられている。これら
ローラ１２０にはそれぞれシート状のシール部材１２１
の一端側が巻回され、各シール部材１２１の他端側は、
長孔５の長手方向の端部外側において基台６の側壁６
ａ、６ｂにそれぞれ支持されている。図１１と同様の構
成を有する駆動部３によって、例えば、アーム２が図の
右側に移動すれば、図の左側のローラ１２０に巻回され
たシール部材１２１がそのローラ１２０から巻き出さ
れ、一方、図の右側のローラ１２０に巻回されたシール
部材１２１は、そのローラ１２０に取り付けられている
巻取りバネ１２２によってそのローラ１２０に巻き取ら
れていく。また、アーム２が図の左側に移動すれば、上
記と逆に、右側のローラ１２０に巻回されたシール部材
１２１がそのローラ１２０から巻き出され、左側のロー
ラ１２０に巻回されたシール部材１２１は巻取りバネ１
２２によってそのローラ１２０に巻き取られていく。こ
れにより、一対のシール部材１２１が長孔５を閉塞す
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、この種の基板搬送装置は、基板支持部
１を隔壁４に対して接離させるために、アーム２を隔壁
４の長孔５から伸縮させるように構成する場合がある。
このような場合、アーム２を伸縮させるための伸縮機構
を駆動部３と別途備えなければならないが、第１従来技
術では、シール部材１０２がアーム２の外側を迂回して
いるので、図１４に示すように、この伸縮機構２００
（図では、移動台１００に固設されたモータ２００ｘで
回転駆動されるネジ軸２００ｙがアーム２に螺合される
とともに、ネジ軸２００ｙに並設されたガイド軸２００
ｚにアーム２がガイドされて構成している。）をシール
部材１０２の外側に配置せざるを得ない。従って、この
伸縮機構２００から発生するパーティクルがシール部材
１０２の外側面（基板支持部１側を向く面）に付着し、
シール部材１０２のこのパーティクルが付着した部分が
アーム２のＸ軸方向への移動に伴い長孔５近くに移動さ
れ、長孔５からパーティクルが隔壁４の外側に排出され
るという問題がある。

【００１２】また、第１従来技術では、アーム２が長尺
で隔壁４の内側部分のアーム２の長さが長くなれば、シ
ール部材１０２のアーム２付近の迂回部分におけるシー
ル部材１０２の折り返しが大きくなり、これが駆動抵抗
となって駆動部３に負担をかけるという問題もある。

【００１３】また、第２従来技術では、アーム２の移動
の際に各シール部材１１０が伸縮し、このシール部材１
１０の伸縮動作によってシール部材１１０が隔壁４と擦
れ、これによって新たに発塵し、このパーティクルが長
孔５を介して隔壁４の外側に排出されるという問題があ
る。

【００１４】また、第３従来技術では、ローラ１２０へ
のシール部材１２１の巻取りを、巻取りバネ１２２で行
なっているが、アーム２の移動のたびにローラ１２０へ
のシール部材１２１の巻取りが繰り返し行なわれるの
で、この度重なる巻取り動作によって巻取りバネ１２２
が疲労し、シール部材１２１の巻取り動作が正常に行な
われなくなる。これにより、シール部材１２１が弛んで
しまうので、長孔５の閉塞効果が低下し、隔壁４の外側
へパーティクルが排出されたり、隔壁４の内側に腐食性
雰囲気が流れ込み易くなるという問題がある。

【００１５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、駆動部に影響を与えず、また、隔壁外
側へパーティクルが排出されたり、隔壁内側に腐食性雰
囲気が流れ込むのを継続して防止し、さらに、新たな発
塵などを起き難くして走行用長孔を閉塞することができ
る基板搬送装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板あるいは基板を収納
したカセット（以下、これらを「基板」という）を支持
する基板支持部と、前記基板支持部に連結されたアーム
と、前記アームを１軸方向に移動させる駆動部と、前記
基板支持部と前記駆動部との間に設けられ、前記アーム
が走行するための走行用長孔が形成された隔壁と、を備
えた基板搬送装置において、前記アームを挟んで各々回
動自在に前記アームに連結された一対のローラと、前記
走行用長孔を閉塞するように配備され、一端側が前記走
行用長孔の長手方向の端部外側にそれぞれ支持され、他
端側が前記各ローラにそれぞれ巻回されたシート状の一
対のシール部材と、前記一対のローラを連動して同方向
に回動させる連動手段と、を備えたものである。

【００１７】また、請求項２に記載の発明は、上記請求
項１に記載の基板搬送装置において、前記各シール部材
の一端側を、前記走行用長孔の長手方向の端部外側方向
に付勢させる付勢手段を備えたものである。

【００１８】

【作用】本発明の作用は次のとおりである。すなわち、
請求項１に記載の発明によれば、一対のローラがアーム
を挟んで各々回動自在にアームに連結され、各ローラに
は、それぞれ走行用長孔を閉塞するように配備され、一
端側が走行用長孔の長手方向の端部外側にそれぞれ支持
されたシート状の一対のシール部材の他端部がそれぞれ
巻回されている。駆動部によってアームが移動される
と、移動方向と反対側に取り付けられたローラに巻回さ
れたシール部材がそのローラから引き出され、これによ
りそのローラは回転される。この回転が連動手段によっ
て他方のローラをその回転方向と同じ回転方向に回転さ
せる結果、他方のローラに巻回されているシール部材が
そのローラに巻き取られていく。これにより、アームが
移動しても、走行用長孔は一対のシール部材により常に
閉塞される。

【００１９】また、請求項２に記載の発明によれば、ア
ーム移動時におけるシール部材のローラからの引出しや
ローラへの巻取り動作において、付勢手段が、各シール
部材の一端側を、走行用長孔の長手方向の端部外側方向
に付勢させた状態で行なうので、各シール部材の弛みが
なくなる。

【００２０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。 ＜第１実施例＞図１は、本発明の第１実施例に係る基板
搬送装置の概略構成を示す斜視図である。なお、この第
１実施例は、請求項１に記載の発明に対応する。また、
この第１実施例および後述する第２実施例は、図１０
（ａ）の基板搬送装置に適用した場合を例に採り説明し
ている。

【００２１】本実施例では、アーム２は可動台１１上に
取り付けられ、駆動部３がこの可動台１１をＸ軸方向に
移動させることにより、アーム２がＸ軸方向に移動さ
れ、アーム２の先端に連結された基板支持部１（ハンガ
ー１ａ）に支持されたカセット（基板）がＸ軸方向に搬
送される。

【００２２】なお、図１では、駆動部３はネジ軸駆動機
構によって構成されている。すなわち、可動台１１は、
ネジ軸３ｙに螺合されているとともに、ガイド軸３ｚに
摺動自在に嵌め付けられている。ネジ軸３ｙは、一端部
が基台６の側壁６ａに固設されたネジ受け部材３ｗに回
動自在に支持され、他端部が基台６の側壁６ｂに固設さ
れたモータ６ｘの回転軸に連結され、このモータ６ｘに
よって回転駆動される。ガイド軸３ｚは、ネジ軸３ｙに
並設されて基台６（側壁６ａ、６ｂ）に固設さている。
これにより、モータ６ｘが正逆方向に回転されると、可
動台１１が図のＸ軸方向に往復動される。なお、駆動部
３は上記ネジ軸駆動機構で構成する以外にも、例えば、
可動台１１をコンベアで図のＸ軸方向に往復動させる構
成など種々の構成で実施される。また、以下の各変形例
や第２実施例の駆動部３もこの第１実施例と同様に構成
される。

【００２３】この可動台１１には、アーム２を挟んで一
対のローラ１２ａ、１２ｂが軸１３ａ、１３ｂ回りにそ
れぞれ回動自在に連結されている。各ローラ１２ａ、１
２ｂにはそれぞれシート状のシール部材１４ａ、１４ｂ
の一端側が巻回されている。これらシール部材１４ａ、
１４ｂは、走行用長孔５を隔壁４の内側から閉塞するよ
うに配備され、その他端部側は、隔壁４に形成されたア
ーム走行用の走行用長孔５の長手方向の各端部外側にお
いて基台６の側壁６ａ、６ｂにそれぞれ支持されてい
る。なお、ローラ１２ａ、１２ｂは、アーム２の延びる
方向（図では、Ｚ軸方向）とアーム２の移動方向（走行
用長孔５の長手方向であって、図ではＸ軸方向）とに直
交する方向（図ではＹ軸方向）に平行な軸（１３ａ、１
３ｂ）回りに回動可能に構成されている。

【００２４】また、軸１３ａ、１３ｂにはプーリ１５
ａ、１５ｂが取り付けられ、これらプーリ１５ａ、１５
ｂにタイミングベルト１６が架けられて、一対のローラ
１２ａ、１２ｂを連動して同方向に回動させるように構
成している。なお、本実施例では、プーリ１５ａ、１５
ｂ、タイミングベルト１６が、本発明における連動手段
を構成する。

【００２５】次に、上記第１実施例装置の動作を説明す
る。図に示す状態において、走行用長孔５は一対のシー
ル部材１４ａ、１４ｂによって閉塞されている。

【００２６】次に、例えば、アーム２が図の右方向に移
動されると、移動方向と反対側の左側のローラ１２ａに
巻回されたシール部材１４ａがローラ１２ａから引き出
され、これによりローラ１２ａは反時計回りに回転され
る。この回転はタイミングベルト１６を介して他方のロ
ーラ１２ｂに伝動され、このローラ１２ｂがローラ１２
ａの回転に連動して反時計回りに回転される。この結
果、シール部材１４ｂはローラ１２ｂに巻き取られる。

【００２７】また、逆に、アーム２が図の左方向に移動
されると、上記と同様の動作により、右側のローラ１２
ｂからシール部材１４ｂが引き出され、これに連動して
シール部材１４ａは左側のローラ１２ａに巻き取られて
いく。

【００２８】このように、アーム２が移動しても、各ロ
ーラ１２ａ、１２ｂがシール部材１４ａ、１４ｂの引出
しと巻取りを連動して行なうので、アーム２が移動して
もシール部材１４ａ、１４ｂは、常に走行用長孔５を閉
塞している。

【００２９】次に、上記第１実施例装置に対する変形例
をいくつか紹介する。なお、これら変形例は後述する第
２実施例装置にも適宜変形実施することもできる。 〔第１変形例〕上記実施例では、アーム２と一対のロー
ラ１２ａ、１２ｂとを可動台１１を介して連結したが、
例えば、図２に示すように、平面視で「Ｔ」の字形状の
連結部材２１ａ、２１ｂによってローラ１２ａ、１２ｂ
をアーム２に直接、回動自在に連結してもよい。すなわ
ち、この連結部材２１ａ、２１ｂがアーム２に連結さ
れ、各連結部材２１ａ、２１ｂの間に軸１３ａ、１３ｂ
が回動自在に連結され、軸１３ａ、１３ｂにローラ１２
ａ、１２ｂと、タイミングベルト１６が架けられるプー
リ１５ａ、１５ｂとが連結されている。

【００３０】なお、図２（ａ）は、第１変形例の概略構
成を示す正面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ
−Ａ矢視断面図である。また、以下のいくつかの変形例
では、アーム２と各ローラ１２ａ、１２ｂの連結をこの
第１変形例に準じて図示しているが、これら変形例にお
いても、アーム２と各ローラ１２ａ、１２ｂの連結を上
記第１実施例のように構成することはもちろん可能であ
る。

【００３１】〔第２変形例〕一対のローラ１２ａ、１２
ｂの回動を連動させる連動手段は、上記第１実施例のよ
うにタイミングベルト１６を用いる構成以外にも、図３
に示すように、軸１３ａ、１３ｂに連結された一対のピ
ニオン２２ａ、２２ｂと、これら各ピニオン２２ａ、２
２ｂに噛合し、アーム２の移動方向（この場合はＸ軸方
向）に平行に配備されたラック２３とにより構成するこ
とも可能である。なお、ラック２３は基台６に支持され
ている。図３の構成の場合、アーム２が移動されると各
ピニオン２２ａ、２２ｂが同方向に回転される結果、ア
ーム２の移動方向と反対側のローラ１２ａまたは１２ｂ
からシール部材１４ａまたは１４ｂが引き出され、一
方、アーム２の移動方向のローラ１２ｂまたは１２ａに
シール部材１４ｂまたは１４ａが巻き取られる。

【００３２】〔第３変形例〕一軸方向に移動されるアー
ム２、基板支持部１を複数個並設した基板搬送装置にお
いても本発明は同様に適用できる。この場合、図４に示
すように、両端のアーム２ａ、２ｃの外側に取り付けら
れたローラ１２ａａ、１２ｃｂに巻回された各シール部
材１４ａａ、１４ｃｂの一端側が基台６の側壁６ａ、６
ｂに支持され、アーム２ａ、２ｂ間のシール部材１４ａ
ｂの各端部側は、ローラ１２ａｂ、１２ｂａに各々巻回
され、アーム２ｂ、２ｃ間のシール部材１４ｂｃの各端
部側は、ローラ１２ｂｂ、１２ｃａに各々巻回されてい
る。このように構成すれば、アーム２ａまたは２ｂまた
は２ｃが任意に移動しても、移動するアーム２ａまたは
２ｂまたは２ｃに取り付けられた一対のローラ１２ａ
ａ、１２ａｂまたは１２ｂａ、１２ｂｂまたは１２ｃ
ａ、１２ｃｂにシール部材１４ａａ、１４ａｂまたは１
４ａｂ、１４ｂｃまたは１４ｂｃ、１４ｃｂを引出し、
巻取るので、各アーム２ａ〜２ｃの移動にかかわらず、
走行用長孔５はシール部材１４ａａ、１４ａｂ、１４ｂ
ｃ、１４ｃｂによって常に閉塞される。なお、図中、符
号３ａ、３ｂ、３ｃはアーム２ａ、２ｂ、２ｃを各々Ｘ
軸方向に移動させる駆動部である。また、図４では、移
動されるアーム２、基板支持部１を３個並設した場合を
示しているが、４個以上並設される場合も同様に構成す
ることができる。

【００３３】〔第４変形例〕上記実施例では、シール部
材１４ａ、１４ｂを隔壁４の内側に配備して走行用長孔
５を閉塞したが、図５に示すように、シール部材１４
ａ、１４ｂを隔壁４の外側に配備して走行用長孔５を閉
塞するように構成してもよい。なお、図中符号２４ａ、
２４ｂは、各シール部材１４ａ、１４ｂの一端側を支持
するために隔壁４の上方に延長した基台６の側壁部分を
示す。

【００３４】〔第５変形例〕アーム２を長孔５から伸縮
させる伸縮機構を備えた場合の構成を図６に示す。図に
示すように、本実施例では、第１従来例のようにシール
部材１４ａ、１４ｂがアーム２を迂回していないので、
シール部材１４ａ、１４ｂの内側に伸縮機構を設けるこ
とができ、この伸縮機構から発生するパーティクルは駆
動部３から発生するパーティクルと同様にシール部材１
４ａ、１４ｂにより隔壁４の外側に排出するのを防止す
ることができる。なお、図に示す伸縮機構は、可動台１
１に支持されたモータ２０１で回転駆動されるネジ軸２
０２に、アーム２に連結された部材２０３が螺合され、
可動台１１に支持されたガイド軸２０４に、アーム２に
連結された部材２０５が摺動自在に嵌め付けられ、モー
タ２０１を回転させることによりアーム２を長孔５から
伸縮させる（Ｚ方向に移動）させるように構成さてい
る。また、図では、アーム２と各ローラ１２ａ、１２ｂ
の連結を可動台１１を介して行う場合の構成で示してい
るが、連結部材２１ａ、２１ｂにより連結する場合でも
同様に伸縮機構２００をシール部材１４ａ、１４ｂの内
側に設けることができる。

【００３５】〔第６変形例〕上記実施例では、カセット
Ｃ（基板Ｗ）をＸ軸方向に搬送する基板搬送装置（図１
０（ａ））を例に採り説明したが、図１０（ｂ）および
（ｃ）に示す、基板ＷやカセットＣをＹ軸方向およびＺ
軸方向に搬送する基板搬送装置にも本発明は同様に適用
することができ、これを図７（ａ）および（ｂ）に示
す。

【００３６】＜第２実施例＞第２実施例装置の構成を図
８を参照して説明する。図８（ａ）は、第２実施例装置
の概略構成を示す正面図であり、図８（ｂ）は、一方の
シール部材の一端部側の概略構成を示す平面図である。
なお、この第２実施例は、請求項２に記載の発明に対応
する。

【００３７】本実施例は、上記第１実施例（第１変形
例）において、各シール部材１４ａ、１４ｂの一端側
を、走行用長孔５の長手方向の端部外側方向に付勢させ
る付勢手段を備えたことを特徴とするもので、その他の
構成は第１実施例装置（第１変形例）と同様であるの
で、図１、図２と同一符号を付して詳述を省略する。

【００３８】この第２実施例では、上記付勢手段を引張
バネ３０で構成している。すなわち、各シール部材１４
ａ、１４ｂの端部側辺と、基台６の側壁６ａ、６ｂとを
複数個（図ではそれぞれ３個）の引張バネ３０で連結
し、各シール部材１４ａ、１４ｂの端部側辺を、走行用
長孔５の長手方向の端部外側方向に均一に付勢させるよ
うに構成している。なお、図８（ｂ）では、シール部材
１４ａの一端部側の構成を示しているが、シール部材１
４ｂの一端部側も同様に構成されている。

【００３９】このように構成することにより、アーム２
の移動時におけるシール部材１４ａ、１４ｂのローラ１
２ａ、１２ｂからの引出しやローラ１２ａ、１２ｂへの
巻取り動作において、各シール部材１４ａ、１４ｂの弛
みがなくなり、シール部材１４ａ、１４ｂによる走行用
長孔５の閉塞が常に正常に行なわれ、長孔５の閉塞効果
の低下を防止することができる。

【００４０】なお、上記付勢手段をテンションプーリを
用いて構成することもできる。これを図９を参照して説
明する。なお、図９では、一方のシール部材１４ａ側の
付勢手段の構成を示しているが、他方のシール１４ｂ側
の付勢手段の構成も同様である。以下では、図９に示す
一方のシール部材１４ａ側の付勢手段の構成について説
明する。

【００４１】このテンションプーリ４０は、軸４１の先
端に回動自在に取り付けられ、この軸４１は、基台６の
側壁６ａに揺動自在に取り付けられ、また、引張バネ４
２によって図の左上方に付勢されている。シール部材１
４ａは、長孔５の長手方向の端部（図ではこの端部を矢
印ＹＥで示している）外側において、ローラ４３とテン
ションプーリ４０との間に挟まれ、シール部材１４ａの
一端側が基台６の側壁６ａに支持されている。なお、ロ
ーラ４３は、ローラ１２ａから走行用長孔５の長手方向
の端部（矢印ＹＥで示す位置）までの間のシール部材１
４ａの、隔壁４との間の間隔を均一にするために設けた
もので、図に示す位置において回動自在に基台６に回動
自在に支持されている。

【００４２】このように構成することにより、ローラ４
３によりローラ１２ａから走行用長孔５の長手方向の端
部までの間のシール部材１４ａの、隔壁４との間の間隔
が均一に保持されつつ、テンションプーリ４０によって
シール部材１４ａが図の左上方に押し上げる結果、シー
ル部材１４ａの一端側が、走行用長孔５の長手方向の端
部外側方向に付勢させる。なお、テンションプーリ４０
は、例えば、ローラ状部材などで構成され、シール部材
１４ａの幅方向を均一に左上方に押し上げることで、シ
ール部材１４ａを走行用長孔５の長手方向の端部外側方
向に均一に付勢させるように構成している。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、一方の
シート状のシール部材をローラから引き出し、それに連
動して他方のシール部材をローラに巻き取ることで走行
用長孔をシール部材で閉塞するように構成したので、ア
ームの移動に対してもシール部材によって走行用長孔が
常に閉塞され、隔壁内側からのパーティクルが隔壁外側
に排出されるのを防止できるとともに、隔壁外側の腐食
性雰囲気などが隔壁内側に流れ込むのを防止できる。

【００４４】また、請求項１に記載の発明の構成によれ
ば、第２従来技術のようにシール部材が伸縮せず、シー
ル部材と他の部材（隔壁など）とが擦れ難くなり、新た
な発塵などが起き難くなる。

【００４５】さらに、請求項１に記載の発明によれば、
第１従来技術のようにシール部材がアームを迂回しない
ので、アームを走行用長孔から伸縮させるための伸縮機
構をシール部材の内側に設けることができ、この伸縮機
構から発生するパーティクルは、駆動部から発生するパ
ーティクルとともに、シール部材によって隔壁外側に排
出されない。しかも、シール部材がアームを迂回しない
ので、駆動部へ余分な負担がかからなくなる。

【００４６】また、シール部材のローラからの引き出し
やローラへの巻取りは、アーム移動動作が一方のローラ
の回転動作に変換され、この回転が連動手段によって他
方の回転に伝えられることにより連動して行なわれるの
で、第３従来技術のように巻取りバネなどを用いる必要
がなく、従って、引出し、巻取り動作を繰り返し行なっ
ても正常動作が継続され、シール部材による走行用長孔
の閉塞効果が低下しない。

【００４７】また、請求項２に記載の発明によれば、各
シール部材の一端側を、走行用長孔の長手方向の端部外
側方向に付勢させる付勢手段を備えたので、アーム移動
時におけるシール部材のローラからの引出しやローラへ
の巻取り動作において、各シール部材の弛みがなくな
り、シール部材による走行用長孔の閉塞が常に正常に行
なわれ、長孔の閉塞効果の低下を防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る基板搬送装置の概略
構成を示す斜視図である。

【図２】第１変形例の概略構成を示す正面図とそのＡ−
Ａ矢視断面図である。

【図３】第２変形例の概略構成を示す一部正面図であ
る。

【図４】第３変形例の概略構成を示す正面図である。

【図５】第４変形例の概略構成を示す正面図である。

【図６】第５変形例の概略構成を示す正面図である。

【図７】第６変形例の概略構成を示す正面図と側面図で
ある。

【図８】第２実施例装置の概略構成を示す正面図と一部
平面図である。

【図９】第２実施例装置の変形例の概略構成を示す一部
正面図である。

【図１０】基板搬送装置の概略構成を示す一部省略外観
図である。

【図１１】第１従来技術に係る基板搬送装置の概略構成
を示す正面図である。

【図１２】第２従来技術に係る基板搬送装置の概略構成
を示す正面図である。

【図１３】第３従来技術に係る基板搬送装置の概略構成
を示す正面図である。

【図１４】第１従来技術の問題点を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１ … 基板支持部 ２ … アーム ３ … 駆動部 ４ … 隔壁 ５ … 走行用長孔 １１ … 可動台 １２ａ、１２ｂ … 一対のローラ １４ａ、１４ｂ … 一対のシール部材 １５ａ、１５ｂ … プーリ １６ … タイミングベルト ２１ａ、２１ｂ … 連結部材 ３０ … 引張バネ ４０ … テンションプーリ Ｗ … 基板 Ｃ … カセット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板あるいは基板を収納したカセット
   （以下、これらを「基板」という）を支持する基板支持
   部と、 前記基板支持部に連結されたアームと、 前記アームを１軸方向に移動させる駆動部と、 前記基板支持部と前記駆動部との間に設けられ、前記ア
   ームが走行するための走行用長孔が形成された隔壁と、 を備えた基板搬送装置において、 前記アームを挟んで各々回動自在に前記アームに連結さ
   れた一対のローラと、 前記走行用長孔を閉塞するように配備され、一端側が前
   記走行用長孔の長手方向の端部外側にそれぞれ支持さ
   れ、他端側が前記各ローラにそれぞれ巻回されたシート
   状の一対のシール部材と、 前記一対のローラを連動して同方向に回動させる連動手
   段と、 を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
   て、 前記各シール部材の一端側を、前記走行用長孔の長手方
   向の端部外側方向に付勢させる付勢手段を備えたことを
   特徴とする基板搬送装置。